JP7246677B2 - SCREEN MASK, SCREEN PRINTING APPARATUS, AND PRINTED MATERIAL MANUFACTURING METHOD - Google Patents

SCREEN MASK, SCREEN PRINTING APPARATUS, AND PRINTED MATERIAL MANUFACTURING METHOD Download PDF

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Description

本発明の実施形態は、スクリーンマスク、スクリーン印刷装置、印刷物の製造方法、及びスクリーンマスクの支持部材に関する。 TECHNICAL FIELD Embodiments of the present invention relate to a screen mask, a screen printing apparatus, a method for manufacturing a printed matter, and a support member for a screen mask.

印刷手法の一つであるスクリーン印刷法は、メッシュ部上に樹脂組成物で形成された所定の開口パターンが形成されたスクリーンマスクを用い、印刷媒体に任意の印刷体を形成する方法である。このスクリーン印刷法は、例えば配線、電極、蛍光材料の印刷等、種々の印刷に用いられ、電子部品等を含む様々な分野で利用されている。 Screen printing, which is one of the printing methods, is a method of forming an arbitrary print on a printing medium using a screen mask having a predetermined opening pattern formed of a resin composition on a mesh portion. This screen printing method is used for various printing such as printing of wiring, electrodes, fluorescent materials, etc., and is used in various fields including electronic parts.

近年、電子部品の小型化、高品質化により、スクリーンマスクの高精度化が求められている。 In recent years, due to the miniaturization and improvement in quality of electronic components, there is a demand for higher precision screen masks.

例えば、スクリーンマスクは、塗布材を透過可能な孔を有するメッシュ部と、メッシュ部に設けられ開口パターンを有するマスク膜と、を備える。 For example, a screen mask includes a mesh portion having holes through which a coating material can pass, and a mask film provided in the mesh portion and having an opening pattern.

このようなスクリーンマスクにおいて、パターンを有するマスク膜を保持するメインメッシュと、メインメッシュの外周に配置されメインメッシュよりも伸びやすく構成されたサポートメッシュと、を接着剤で固定したいわゆるコンビネーション型のメッシュが知られている。例えばサポートメッシュは、合成樹脂材料で構成され、伸縮性を有している。 In such a screen mask, a so-called combination type mesh in which a main mesh holding a patterned mask film and a support mesh arranged around the main mesh and configured to stretch more easily than the main mesh are fixed with an adhesive. It has been known. For example, the support mesh is made of a synthetic resin material and has elasticity.

特開2013-169783号公報JP 2013-169783 A

印刷時には、塗布材を保持したスクリーンマスクを印刷媒体に所定のギャップを介して対向配置させ、スキージ等によりスクリーンマスクを印刷媒体に押しつけることで、塗布材が印刷媒体に転写され、スクリーンマスクの開口パターンに対応する画が描画される。このとき、メッシュ部が伸びることにより位置ずれが発生する場合がある。 During printing, the screen mask holding the coating material is placed facing the print medium with a predetermined gap, and the screen mask is pressed against the print medium with a squeegee or the like, thereby transferring the coating material to the print medium and opening the screen mask. A picture corresponding to the pattern is drawn. At this time, positional deviation may occur due to stretching of the mesh portion.

本発明は高精度の印刷が可能なスクリーンマスク、スクリーン印刷装置、印刷物の製造方法、及びスクリーンマスクの支持部材を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a screen mask capable of high-precision printing, a screen printing apparatus, a method for producing a printed matter, and a supporting member for the screen mask.

本発明の一態様にかかるスクリーンマスクは、塗布材を透過する透過部を有するメッシュ部と、前記メッシュ部に設けられ、所定のパターンを有する、マスク膜と、前記メッシュ部の周縁部の少なくとも一部を支持するサポート部材と、前記サポート部材の外周部を支持するフレームと、を備える。
前記サポート部材は金属材料で板状に構成されたサポートプレートであり、
前記メッシュ部は、塗布材を透過する孔部を有するメインメッシュと、前記メインメッシュよりも伸び率が低く構成され前記メインメッシュの外周に設けられたサポートメッシュと、を備え、
前記メインメッシュ及び前記サポートメッシュは金属材料で構成される。
A screen mask according to an aspect of the present invention comprises: a mesh portion having a transmission portion through which a coating material passes; a mask film provided in the mesh portion and having a predetermined pattern; and at least one of a peripheral portion of the mesh portion. and a frame that supports the outer periphery of the support member.
The support member is a plate-shaped support plate made of a metal material,
The mesh portion includes a main mesh having holes through which the coating material passes, and a support mesh configured to have a lower elongation rate than the main mesh and provided on the outer periphery of the main mesh,
The main mesh and the support mesh are made of metal material.

本発明の実施形態によれば、高精度の印刷が可能なスクリーンマスク、スクリーン印刷装置、及び印刷物の製造方法を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to embodiment of this invention, the manufacturing method of the screen mask which can print with high precision, a screen printing apparatus, and a printed matter can be provided.

第1実施形態にかかるスクリーンマスクの構成を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing the configuration of the screen mask according to the first embodiment; 同実施形態にかかるスクリーン印刷装置の側面図。The side view of the screen printing apparatus concerning the same embodiment. 同スクリーン印刷装置の側面図。The side view of the same screen printing apparatus. 第1実施形態,他の実施形態、及び比較例にかかるスクリーンマスクと印刷物の位置精度を示す説明図。Explanatory drawing which shows the positional accuracy of the screen mask and printed matter concerning 1st Embodiment, other embodiment, and a comparative example.

以下、本発明の第1実施形態にかかるスクリーン印刷装置10及びスクリーンマスク20について図1乃至図3を参照して説明する。図1は本実施形態に係るスクリーン印刷装置10をZ方向から見た平面図であり図2はスクリーン印刷装置のX方向から見た側面図、図3はY方向から見た側面図である。なお、各図では説明のため、適宜構成を拡大、縮小、省略して示している。図中矢印X,Y,Zは互いに直交する3方向をそれぞれ示しており、第1方向はY方向、第2方向はX方向である。 A screen printing apparatus 10 and a screen mask 20 according to a first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 3. FIG. FIG. 1 is a plan view of a screen printing apparatus 10 according to this embodiment viewed from the Z direction, FIG. 2 is a side view of the screen printing apparatus viewed from the X direction, and FIG. 3 is a side view of the screen printing apparatus viewed from the Y direction. In addition, in each drawing, for the sake of explanation, the configuration is appropriately enlarged, reduced, or omitted. Arrows X, Y, and Z in the drawing respectively indicate three directions orthogonal to each other, the first direction being the Y direction and the second direction being the X direction.

図1乃至図3に示すように、スクリーン印刷装置10は、スクリーンマスク20と、スクリーンマスク20の印刷面側である一方の面(表面)に対向して印刷媒体30を保持する保持部材12と、スクリーンマスク20の印刷面側とは反対の他方の面(裏面)に当接した状態で移動可能に構成されたスキージ13と、スキージ13を移動させる移動手段と、スクリーンマスク20を印刷媒体30に対向して支持する支持手段14と、を備える。 As shown in FIGS. 1 to 3, the screen printing apparatus 10 includes a screen mask 20 and a holding member 12 that holds a printing medium 30 facing one surface (surface) of the screen mask 20, which is the printing surface side. , a squeegee 13 configured to be movable while in contact with the other surface (back surface) of the screen mask 20 opposite to the printing surface side; moving means for moving the squeegee 13; and a support means 14 that supports the .

スクリーン印刷装置10は、印刷媒体30の表面に、各種印刷材料を所定のパターンで形成する。スクリーン印刷装置10は、例えば、チップ部品(コンデンサー、チップ抵抗、インダクター、サーミスター等)、タッチパネル、液晶基板(Liquid crystal display, LCD)シール、LTCC(Low Temperature Co-fired ceramics)基板、太陽電池用電極、その他の電子部品等の製造に用いられる。 The screen printing device 10 forms various printing materials in a predetermined pattern on the surface of the printing medium 30 . Screen printer 10, for example, chip parts (capacitors, chip resistors, inductors, thermistors, etc.), touch panels, liquid crystal substrate (Liquid crystal display, LCD) seals, LTCC (Low Temperature Co-fired ceramics) substrates, for solar cells It is used in the manufacture of electrodes and other electronic components.

図1乃至図3に示すように、スクリーンマスク20は、フレーム21と、フレーム21に張設されたメッシュ部22と、メッシュ部22に形成されたマスク膜23と、メッシュ部22のマスク膜23よりも外周に配されるサポート部材としてのサポートプレート24と、を備える。スクリーンマスク20において、印刷を行う際に印刷媒体30の表面に対向する側を表面とし、その反対側であって塗布材が供給される側を裏面とする。本実施形態においては一例として320サイズのスクリーンマスク20を用いる。 As shown in FIGS. 1 to 3, the screen mask 20 includes a frame 21, a mesh portion 22 stretched on the frame 21, a mask film 23 formed on the mesh portion 22, and a mask film 23 on the mesh portion 22. and a support plate 24 as a support member arranged on the outer periphery. In the screen mask 20, the side facing the surface of the printing medium 30 when printing is performed is the front side, and the opposite side to which the coating material is supplied is the back side. In this embodiment, a 320-size screen mask 20 is used as an example.

フレーム21は、互いに平行な2対の辺を有し、例えば所望のサイズの方形の開口部21aを備える枠状に構成される。フレーム21は、例えばアルミニウム等の金属材料で構成される。例えば320サイズのフレーム21において、厚さ寸法は13mm~18mm、すなわち、枠の短手に対して3.5%~7%程度、幅寸法は16mm~26mm、すなわち枠の短手に対して5%~8%程度に構成される。フレーム21は、接着剤によりその表面にサポートプレート24が接合される。フレーム21はサポートプレート24を介してメッシュ部22の外周縁を支持し、開口部21aにメッシュ部22を張設する。 The frame 21 has two pairs of sides parallel to each other, and is configured in a frame shape having, for example, a rectangular opening 21a of a desired size. The frame 21 is made of a metal material such as aluminum. For example, in the frame 21 of 320 size, the thickness dimension is 13 mm to 18 mm, that is, about 3.5% to 7% of the short side of the frame, and the width dimension is 16 mm to 26 mm, that is, 5 mm to the short side of the frame. % to 8%. A support plate 24 is bonded to the surface of the frame 21 with an adhesive. The frame 21 supports the outer periphery of the mesh portion 22 via the support plate 24, and stretches the mesh portion 22 in the opening 21a.

またフレーム21は、所定量の塗布材をマスク膜23の裏面側に保持する枠としても機能する。 The frame 21 also functions as a frame that holds a predetermined amount of coating material on the back side of the mask film 23 .

メッシュ部22は、伸び率の異なる中央部のメインメッシュ26と外周部のサポートメッシュ27とがUV硬化性の接着剤で固定されて接続されたいわゆるコンビネーション型である。メッシュ部22は、フレーム21の開口部21a内にマスク膜23を保持する。 The mesh part 22 is a so-called combination type in which a central main mesh 26 and a peripheral support mesh 27 having different elongation rates are fixed and connected with a UV-curing adhesive. The mesh portion 22 holds the mask film 23 within the opening 21 a of the frame 21 .

メインメッシュ26は、経糸26aと緯糸26bとが編まれて形成された織物であり、塗布材を透過可能に開口した透過部である孔部26cを多数有している。メインメッシュ26の経糸26aと緯糸26bは、例えばステンレス,タングステン等の金属のワイヤで構成されている。経糸26aと緯糸26bは、それぞれ例えば矢印Aに沿うスキージ13の移動方向に対して、斜めに延びている。 The main mesh 26 is a woven fabric formed by weaving warp yarns 26a and weft yarns 26b, and has a large number of holes 26c, which are permeable parts that are open to allow the application material to pass through. The warp yarns 26a and the weft yarns 26b of the main mesh 26 are composed of metal wires such as stainless steel and tungsten. The warp yarns 26a and the weft yarns 26b extend diagonally with respect to the moving direction of the squeegee 13 along arrow A, for example.

メインメッシュ26は、例えば一辺のサイズがフレーム21の30%以上80%以下であり、例えば一辺の長さL3が150mm~240mmの、正方形状又は長方形状に構成されている。本実施形態においては一例として一辺の長さL3=200mmの正方形とした。 The main mesh 26 has a square or rectangular shape with a side size of 30% or more and 80% or less of the frame 21 and a side length L3 of 150 mm to 240 mm, for example. In this embodiment, as an example, a square having a side length L3 of 200 mm is used.

サポートメッシュ27は、メインメッシュ26の外周に接着剤によって接合されている。サポートメッシュ27は、経糸27aと緯糸27bとが編まれて形成された織物であるメッシュ部材で構成され、外周縁が少なくとも一部においてサポートプレート24に支持されている。本実施形態においては、サポートメッシュ27は全周においてサポートプレート24の一方の面に接着され、支持される。サポートメッシュ27の外形、すなわちメッシュ部材のうちサポートプレート24の開口部24a内に規定される部位は、一辺の長さL2がフレーム21の40%以上90%以下であり、例えば190mm~280mmの矩形状に構成されている。本実施形態では一例として一辺の長さL2=250mmの正方形とした。サポートメッシュ27は、メインメッシュ26よりも伸び率が低く構成されている。サポートメッシュ27の、経糸27aと緯糸27bとは、例えばステンレス等の金属のワイヤで構成されている。 The support mesh 27 is bonded to the outer circumference of the main mesh 26 with an adhesive. The support mesh 27 is composed of a mesh member that is a woven fabric formed by knitting warp yarns 27a and weft yarns 27b, and has an outer peripheral edge at least partially supported by the support plate 24. As shown in FIG. In this embodiment, the support mesh 27 is adhered to and supported by one surface of the support plate 24 along the entire circumference. The outer shape of the support mesh 27, that is, the portion of the mesh member defined within the opening 24a of the support plate 24 has a side length L2 of 40% or more and 90% or less of the frame 21, for example, a rectangular shape of 190 mm to 280 mm. configured in shape. In this embodiment, as an example, a square having a side length L2 of 250 mm is used. The support mesh 27 is configured to have a lower elongation rate than the main mesh 26. - 特許庁The warps 27a and the wefts 27b of the support mesh 27 are made of metal wires such as stainless steel.

例えば本実施形態において、メインメッシュ26の伸び率は、サポートメッシュ27の伸び率よりも大きい。例えば、引張り試験機にて引張った場合、メインメッシュ26の伸び率がサポートメッシュ27の伸び率の1倍~5倍である。 For example, in this embodiment, the elongation rate of the main mesh 26 is greater than the elongation rate of the support mesh 27 . For example, when pulled by a tensile tester, the elongation rate of the main mesh 26 is 1 to 5 times the elongation rate of the support mesh 27 .

サポートメッシュ27の外形はフレーム21の開口部21aの形状に対応する形状であって、X方向の寸法とY方向の寸法が同等の正方形状に構成されている。サポートメッシュ27の外周が例えば合成ゴム系やシアノアクリレート系の接着剤等によってサポートプレート24に接合され、支持されている。 The outer shape of the support mesh 27 has a shape corresponding to the shape of the opening 21a of the frame 21, and is formed in a square shape whose dimensions in the X direction and the Y direction are the same. The outer circumference of the support mesh 27 is joined to and supported by the support plate 24 with, for example, a synthetic rubber-based or cyanoacrylate-based adhesive.

マスク膜23は、光硬化性の樹脂組成物、例えばPVA、PVAc、シリコン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等からなる層である。マスク膜23は、メッシュ部22に形成され、サポートプレート24の開口部24a内のメインメッシュ26に配されている。 The mask film 23 is a layer made of a photocurable resin composition such as PVA, PVAc, silicon resin, acrylic resin, epoxy resin, or the like. The mask film 23 is formed on the mesh portion 22 and arranged on the main mesh 26 inside the opening 24 a of the support plate 24 .

マスク膜23は例えば一辺の長さが開口部24aの長さの30%~90%程度に構成されている。マスク膜23には、マスクレス露光によって、印刷用の所定の開口パターン23aが形成されている。開口パターン23aはメインメッシュ26部分に形成されている。例えば開口パターン23aは、マスク膜23の有効エリアA3において、同じモジュールパターン23bが縦方向及び横方向にそれぞれ複数、例えば30列及び40列で、マトリクス状に、配列されている。例えば各モジュールパターンはラインパターンであり、ライン幅は20μm~50μmに構成されている。 The length of one side of the mask film 23 is, for example, about 30% to 90% of the length of the opening 24a. A predetermined opening pattern 23a for printing is formed in the mask film 23 by maskless exposure. The opening pattern 23a is formed in the main mesh 26 portion. For example, in the effective area A3 of the mask film 23, the opening pattern 23a is formed by arranging a plurality of the same module patterns 23b in the vertical direction and the horizontal direction, for example, 30 rows and 40 rows in a matrix. For example, each module pattern is a line pattern with a line width of 20 μm to 50 μm.

本実施形態において、メインメッシュ26の外縁よりも中央側にパターンが形成される有効エリアA3が規定され、その有効エリアA3の内側に、開口パターン23aが形成される。有効エリアA3内であって、開口パターン23aの外側の所定箇所には複数のアライメントマークAMが設けられている。アライメントマークAMは、所定の長方形の領域を規定するコーナーを含む例えば8箇所に設けられている。 In this embodiment, an effective area A3 in which a pattern is formed is defined on the central side of the outer edge of the main mesh 26, and the opening pattern 23a is formed inside the effective area A3. A plurality of alignment marks AM are provided at predetermined locations within the effective area A3 and outside the opening pattern 23a. Alignment marks AM are provided at, for example, eight locations including corners that define a predetermined rectangular area.

マスク膜23は、開口パターン23aにおいて感光性樹脂が存在せず、メッシュ部22の孔部を通過して塗布材が裏面から表面へと透過可能な印刷部を構成する。マスク膜23の開口パターン23a以外であってメッシュ部22の孔部が感光性樹脂で塞がれた部位は、塗布材としてのインクを透過しない非印刷部を構成する。 The mask film 23 forms a printing portion in which the photosensitive resin does not exist in the opening pattern 23a and the coating material can pass through the holes of the mesh portion 22 from the back surface to the front surface. The portions other than the opening pattern 23a of the mask film 23, where the holes of the mesh portion 22 are closed with the photosensitive resin, form non-printing portions through which the ink as the coating material does not pass.

マスク膜23の開口パターン23aに塗布材が保持された状態で、メッシュ部22の変形によりマスク膜23が印刷媒体30に接離することで、塗布材が開口パターン23aから印刷媒体30に転写される。 In a state where the coating material is held in the opening patterns 23a of the mask film 23, the mask film 23 contacts and separates from the printing medium 30 due to the deformation of the mesh portion 22, whereby the coating material is transferred from the opening patterns 23a to the printing medium 30. be.

サポートプレート24は、例えばアルミニウム等の金属材料で構成され、メッシュ部22の外周縁に貼付けられた枠状のプレート部材である。サポートプレート24は、例えば中央に開口部24aが形成された矩形状に構成される。サポートプレート24は、メッシュ部22の裏面側の外周縁、すなわち本実施形態においてはサポートメッシュ27の外周縁に、貼付けられている。サポートプレート24の板厚は0.1mm以上5mm以下程度であり、例えば本実施形態においては厚さ0.2mmに構成されている。サポートプレート24は開口部24aが例えば一辺の長さL2が190mm以上280mm以下の矩形状であり例えば本実施形態においては一辺の長さL2=250mm四方の正方形とした。また、サポートプレート24の幅寸法は20mm以上65mm以下とし、例えば本実施形態においては35mmとした。例えばサポートプレート24がフレーム21から延出する延出部の寸法は、フレーム21の幅寸法よりも大きい。 The support plate 24 is a frame-shaped plate member made of a metal material such as aluminum and attached to the outer periphery of the mesh portion 22 . The support plate 24 is configured, for example, in a rectangular shape with an opening 24a formed in the center. The support plate 24 is attached to the outer peripheral edge of the mesh portion 22 on the back side, that is, to the outer peripheral edge of the support mesh 27 in this embodiment. The thickness of the support plate 24 is about 0.1 mm or more and 5 mm or less, and for example, the thickness is 0.2 mm in this embodiment. The support plate 24 has a rectangular opening 24a with a side length L2 of 190 mm or more and 280 mm or less. The width dimension of the support plate 24 is set to 20 mm or more and 65 mm or less, for example, 35 mm in this embodiment. For example, the extension of the support plate 24 from the frame 21 is larger than the width of the frame 21 .

サポートプレート24の内周縁はフレーム21の内周縁よりも内側に位置している。このため、フレーム21の開口部21a内において、サポートプレート24の開口部24aの縁にメッシュ部22の外周縁が全周に亘って接着され、支持される。 The inner peripheral edge of the support plate 24 is positioned inside the inner peripheral edge of the frame 21 . Therefore, in the opening 21a of the frame 21, the outer periphery of the mesh portion 22 is adhered to the edge of the opening 24a of the support plate 24 over the entire circumference and supported.

メッシュ部22は、フレーム21と、フレーム21から開口部21aの内方に延出する薄い板状のサポートプレート24とによって構成される支持部材に、支持される。 The mesh portion 22 is supported by a support member composed of a frame 21 and a thin plate-like support plate 24 extending from the frame 21 toward the inside of the opening 21a.

スキージ13は例えばウレタンゴム・シリコンゴム・合成ゴム・金属・プラスチック等の材料から、例えば薄い板状に構成される。例えば、スキージ13は先端の厚みが低減するように面取りされている。スキージ13はフレーム21に対して往復移動可能に構成されている。例えばスキージ13は移動方向と直交する方向においてマスク膜23の領域の全長にわたる長さを有して構成される。スキージ13の先端部分13aがスクリーンマスク20の裏面に当接し、表側に押しつけられた状態で、Y方向に沿う移動方向に移動することで、マスク膜23の全面を押圧し、塗布材が予め充填された開口パターン23aから塗布材を表側に押し出す。 The squeegee 13 is made of a material such as urethane rubber, silicon rubber, synthetic rubber, metal, plastic, or the like, and is formed in a thin plate shape, for example. For example, the squeegee 13 is chamfered to reduce the thickness of the tip. The squeegee 13 is configured to be able to reciprocate with respect to the frame 21 . For example, the squeegee 13 is configured to have a length covering the entire region of the mask film 23 in the direction orthogonal to the movement direction. The front end portion 13a of the squeegee 13 is in contact with the back surface of the screen mask 20 and pressed against the front side, and moved in the moving direction along the Y direction, thereby pressing the entire surface of the mask film 23 and filling the coating material in advance. The coating material is extruded to the front side from the opened pattern 23a.

支持手段は、印刷媒体30に対して所定のギャップG1を開けて平行に、フレーム21を支持する。移動手段は、スキージ13を所定の速度で第1方向に沿って移動させる。ここで、G1は例えば、5mm以下とする。 The support means supports the frame 21 in parallel with the print medium 30 with a predetermined gap G1. The moving means moves the squeegee 13 along the first direction at a predetermined speed. Here, G1 is set to 5 mm or less, for example.

次に、本実施形態にかかるスクリーン印刷装置10を用いたスクリーン印刷方法により印刷物31を製造する印刷物の製造方法について、図2及び図3を参照して説明する。まず、スクリーンマスク20の表面側を保持部材12で保持された印刷媒体30の表面に対向させて配置する。 Next, a printed matter manufacturing method for manufacturing a printed matter 31 by a screen printing method using the screen printing apparatus 10 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. First, the surface side of the screen mask 20 is arranged so as to face the surface of the printing medium 30 held by the holding member 12 .

そして、高粘度のペースト状の塗布材をスクリーンマスク20の裏面側、すなわち、印刷媒体30とは反対側の面から供給し、塗布材を開口パターン23a内に充填させる。 Then, a high-viscosity paste-like coating material is supplied from the back side of the screen mask 20, that is, from the side opposite to the printing medium 30, and the opening pattern 23a is filled with the coating material.

次に、スクリーンマスク20の裏面、すなわち印刷面側とは反対側の面に、スキージ13を配置する。このとき、例えばスキージ13を、印刷媒体30の表側の面に対して所定の角度θで配置する。そして、スキージ13をメッシュ部22及びマスク膜23の裏面において、所定の印圧で印刷媒体30側に向けて押しつけながら、Y方向に沿って、所定の速度で移動させる。 Next, the squeegee 13 is arranged on the back surface of the screen mask 20, that is, the surface opposite to the printing surface side. At this time, for example, the squeegee 13 is arranged at a predetermined angle θ with respect to the front surface of the print medium 30 . Then, the squeegee 13 is moved along the Y direction at a predetermined speed while pressing the squeegee 13 toward the print medium 30 side with a predetermined printing pressure on the back surface of the mesh portion 22 and the mask film 23 .

スキージ13は、例えばマスク膜23の裏面全面にわたる領域でマスク膜23を押圧する。スキージ13の押圧により、マスク膜23は押圧される部分が表側に変位するように変形し、印刷媒体30に当接する。スキージ13が通過した塗布材が開口パターン23aから印刷媒体30側に押し出される。 The squeegee 13 presses the mask film 23 in a region covering the entire back surface of the mask film 23, for example. By pressing the squeegee 13 , the mask film 23 is deformed so that the pressed portion is displaced to the front side and comes into contact with the printing medium 30 . The coating material passed by the squeegee 13 is pushed out from the opening pattern 23a toward the print medium 30 side.

スキージ13が通過した後、マスク膜23及びメッシュ部22が復元するように変形して印刷媒体30から離れるとともに、一部の塗布材が印刷媒体30上に転写されて残ることで塗布され、印刷媒体30上にパターン印刷がなされ、印刷物31が完成する。ここでは、開口パターン23aとして複数の同じモジュールパターンを同時に描画し、印刷後に印刷物を切断して分割することで、同じモジュールパターンを有する複数の印刷物が製造される。なお塗布材は、例えば金属材や樹脂材などを含む各種材料であり、印刷対象の種類、例えば、電子部品、ディスプレイ、等によって、多様な材料が用いられる。
印刷時にはX方向に長いスキージ13を、Z方向に押し付けながら、Y方向に所定量移動させる。この移動と押しつけによってメッシュ部22が変形して伸びる。
After the squeegee 13 has passed through, the mask film 23 and the mesh portion 22 are deformed so as to restore and separate from the print medium 30, and part of the coating material is transferred and left on the print medium 30 to be applied and printed. A pattern is printed on the medium 30 and a printed matter 31 is completed. Here, a plurality of the same module patterns are simultaneously drawn as the opening patterns 23a, and the printed matter is cut and divided after printing, thereby manufacturing a plurality of printed matter having the same module pattern. Note that the coating material is, for example, various materials including metal materials and resin materials, and various materials are used depending on the types of objects to be printed, such as electronic components and displays.
During printing, the squeegee 13, which is long in the X direction, is moved in the Y direction by a predetermined amount while being pressed in the Z direction. The mesh portion 22 is deformed and stretched by this movement and pressing.

ここで、スクリーンマスク20において、メッシュ部22の伸び量は、メインメッシュ26の伸び量と、サポートメッシュ27の伸び量の合計となる。ここで、メッシュ部22はその外周縁部が一部、サポートプレート24に貼付けられ支持されていることから、外周縁部の伸び及び変形が抑制される。このため、スクリーンマスク20上の複数のアライメントマークAM1と、印刷物31上に転写されたアライメントマークAM2との誤差は小さくなる。 Here, in the screen mask 20 , the amount of elongation of the mesh portion 22 is the sum of the amount of elongation of the main mesh 26 and the amount of elongation of the support mesh 27 . Here, since the mesh portion 22 is partially supported by the support plate 24 at its outer peripheral edge, elongation and deformation of the outer peripheral edge are suppressed. Therefore, the error between the plurality of alignment marks AM1 on the screen mask 20 and the alignment marks AM2 transferred onto the printed material 31 is reduced.

また、スクリーンマスク20の表面と印刷媒体30とのギャップG1は5mm以下としたことにより、印刷時の伸び及び変形が抑制され、位置ずれが小さくなる。 Further, by setting the gap G1 between the surface of the screen mask 20 and the print medium 30 to 5 mm or less, elongation and deformation during printing are suppressed, and misalignment is reduced.

以上のように構成されたスクリーンマスク20、スクリーン印刷装置10、及びスクリーン印刷方法によれば、単純な構成で高精度の印刷が可能となる。 According to the screen mask 20, the screen printing apparatus 10, and the screen printing method configured as described above, high-precision printing is possible with a simple configuration.

すなわち、サポートプレート24に貼付けられ支持されていることから、外周縁部の伸び及び変形が抑制され、メッシュの変形による印刷形状のずれを抑制できる。 That is, since it is attached and supported by the support plate 24, elongation and deformation of the outer peripheral portion are suppressed, and deviation of the print shape due to deformation of the mesh can be suppressed.

また、ギャップG1は5mm以下としたことにより、印刷時の伸び及び変形が抑制され、印刷形状のずれを抑制できる。 Further, by setting the gap G1 to 5 mm or less, elongation and deformation during printing can be suppressed, and deviation of the printed shape can be suppressed.

特に同媒体に何層も積層して印刷する場合に、好適である。したがって、例えば異なるパターンを有する複数のスクリーンマスクを用いて複数のパターンを重ねて印刷する積層印刷にも好適である。 In particular, it is suitable for printing by laminating many layers on the same medium. Therefore, for example, it is also suitable for lamination printing in which a plurality of screen masks having different patterns are used to overlap and print a plurality of patterns.

また、メッシュ部を金属材料で構成したことにより、引張り強度が強くなるため版離れが良好になり、かつ高位置精度の印刷を可能にする。 In addition, since the mesh portion is made of a metal material, the tensile strength is increased, so the separation of the plate is improved, and printing with high positional accuracy is possible.

また、本実施形態によれば、サポートプレート24を設けることで、メッシュ部22の支持状態を調整できるため、既存のフレーム21及びメッシュ部22を用いることができる。すなわち、既存のスクリーン印刷装置を用いて、支持構造として、フレーム21に、内周に延出するサポートプレート24を追加するだけで、位置精度の高い印刷が実現できるため、汎用性が高い。また、サポートプレート24の幅やギャップG1を調整することにより、メッシュ部22の支持状態を調整できるため、既存のフレーム21やスクリーン印刷装置を用いて、位置精度の高い印刷が実現できる。 Further, according to the present embodiment, since the supporting state of the mesh portion 22 can be adjusted by providing the support plate 24, the existing frame 21 and the mesh portion 22 can be used. That is, by using an existing screen printing apparatus and simply adding a support plate 24 extending inwardly to the frame 21 as a support structure, printing with high positional accuracy can be achieved, so versatility is high. Further, by adjusting the width of the support plate 24 and the gap G1, the support state of the mesh portion 22 can be adjusted. Therefore, the existing frame 21 and screen printer can be used to achieve printing with high positional accuracy.

図4は、本実施形態にかかるスクリーンマスク20と、サポートプレートを用いない比較例1に係るスクリーンマスクA1の、位置精度の測定結果を示す。比較例1にかかるスクリーンマスクA1は、合成樹脂製のサポートメッシュ127と、金属製のメインメッシュ126とで構成されるメッシュ部材122をフレーム121に接合し、サポートプレートを用いない構成とした。その他の条件はスクリーンマスク20と同様とした。 FIG. 4 shows measurement results of the positional accuracy of the screen mask 20 according to this embodiment and the screen mask A1 according to Comparative Example 1 that does not use a support plate. The screen mask A1 according to Comparative Example 1 has a structure in which a mesh member 122 composed of a support mesh 127 made of synthetic resin and a main mesh 126 made of metal is joined to a frame 121 and does not use a support plate. Other conditions were the same as those of the screen mask 20 .

図4は、本実施形態にかかるスクリーンマスク20と、変形例にかかるスクリーンマスク20Aと、比較例にかかるスクリーンマスクA1の、構成と、その動き難さ、位置ずれ量、を比較して示している。 FIG. 4 shows a screen mask 20 according to the present embodiment, a screen mask 20A according to a modified example, and a screen mask A1 according to a comparative example in comparison with each other in configuration, difficulty of movement, and amount of positional deviation. there is

ここで、位置ずれ量は、スクリーンマスク20、A1上の複数のアライメントAM1と、印刷物31上に転写されたアライメントマークAM2との誤差の平均とした。例えば有効エリア内であって開口パターン23aが形成されている描画エリアの外側の目印となる任意の位置に、設定する。すなわち、例えば正方形または長方形を規定する四隅と、その中間点、及びその中心の計9点を設計値上の基準点として設定した。 Here, the positional deviation amount is the average of the errors between the plurality of alignment marks AM1 on the screen mask 20, A1 and the alignment marks AM2 transferred onto the printed material 31. FIG. For example, it is set at an arbitrary position that serves as a mark within the effective area and outside the drawing area in which the aperture pattern 23a is formed. That is, a total of nine points, ie, the four corners defining a square or rectangle, the midpoint thereof, and the center thereof, were set as reference points on design values.

そして、スクリーンマスク20におけるアライメントマークAM1の座標を検出し、これらの座標から算出される中心点との相対的な位置関係を実測の外形情報として検出する。印刷物31上のアライメントマークAM2の座標とその中心との位置関係から、誤差を求め、この誤差の大きさを位置ずれ量とした。 Then, the coordinates of the alignment mark AM1 on the screen mask 20 are detected, and the relative positional relationship with the center point calculated from these coordinates is detected as actually measured outline information. An error was obtained from the positional relationship between the coordinates of the alignment mark AM2 on the printed matter 31 and its center, and the magnitude of this error was taken as the amount of positional deviation.

図4によれば、本実施形態にかかるスクリーンマスク20は位置ずれ量が0μm~15μmとなり、比較例1に係るスクリーンマスクA1は位置ずれ量が25μmより大きい。
すなわち、本実施形態にかかるスクリーンマスク20は、印刷媒体30とマスク膜23の位置ずれが少なく、位置精度が高い。したがって、例えば複数の異なるパターンの印刷を積層させることで、所望の製品を作製する際の重ね合わせ精度が向上するという効果が得られる。
According to FIG. 4, the screen mask 20 according to the present embodiment has a positional deviation amount of 0 μm to 15 μm, and the screen mask A1 according to Comparative Example 1 has a positional deviation amount of more than 25 μm.
That is, the screen mask 20 according to the present embodiment has little positional deviation between the printing medium 30 and the mask film 23, and has high positional accuracy. Therefore, for example, by stacking a plurality of different printed patterns, it is possible to obtain the effect of improving the overlay accuracy when manufacturing a desired product.

なお、本発明は上記各実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。例えば上記実施形態においては、コンビネーション型のメッシュ部を例示したが、これに限られるものではなく、1種類のメインメッシュからなるシングルタイプのメッシュ部22であってもよい。この場合にあっても、上記第1実施形態と同様の効果を得られる。すなわち、メッシュ部22を支持するサポートプレートを備えることにより、メッシュ部の伸びを抑制し、位置ずれを抑制できる。また、メッシュ部22を金属メッシュとすることで、メッシュ部22の伸び及び位置ずれを効果的に抑制できる。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments as they are, and can be embodied by modifying constituent elements without departing from the gist of the present invention at the implementation stage. For example, in the above-described embodiment, a combination type mesh portion was exemplified, but the present invention is not limited to this, and a single type mesh portion 22 made of one type of main mesh may be used. Even in this case, the same effects as in the first embodiment can be obtained. That is, by providing a support plate that supports the mesh portion 22, it is possible to suppress the mesh portion from stretching and to suppress positional displacement. Moreover, by using the mesh part 22 as a metal mesh, the elongation and displacement of the mesh part 22 can be effectively suppressed.

また、上記実施形態においては、サポートメッシュ27の形状を正方形としているが、これに限られるものではなく、例えば他の実施形態として長方形のサポートメッシュ27を用いても、同様の効果を得ることができる。 Further, in the above embodiment, the shape of the support mesh 27 is square, but it is not limited to this. For example, even if a rectangular support mesh 27 is used as another embodiment, the same effect can be obtained. can.

また、フレーム21とサポートプレート24が一体として構成され、フレーム21の一部が内側に突出するプレート状の延出部を一体に有する形状であってもよい。 Alternatively, the frame 21 and the support plate 24 may be configured integrally, and a part of the frame 21 may integrally have a plate-like extension portion projecting inward.

また、上記実施形態においてはフレーム21の一方側の面にサポートプレート24が配され、サポートプレート24の一方側の面に、メッシュ部22が接着される例を示したが、積層の順番や接合方法はこれに限られるものではない。例えばフレーム21にメッシュ部22が接着されていてもよい。あるいはフレーム21とサポートプレート24とでメッシュ部22の外周縁を挟む順番で積層されていてもよい。 In the above embodiment, the support plate 24 is arranged on one side of the frame 21, and the mesh part 22 is adhered to one side of the support plate 24. The method is not limited to this. For example, the mesh portion 22 may be adhered to the frame 21 . Alternatively, the frames 21 and the support plates 24 may be stacked in order to sandwich the outer periphery of the mesh portion 22 .

この他、上記実施形態に例示された各構成要素を削除してもよく、各構成要素の形状、構造、材質等を変更してもよい。上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]
塗布材を透過する透過部を有するメッシュ部と、
前記メッシュ部に設けられ、所定のパターンを有する、マスク膜と、
前記メッシュ部の周縁部の少なくとも一部を支持するサポート部材と、
前記サポート部材の外周部を支持するフレームと、
を備える、スクリーンマスク。
[2]
前記サポート部材は板状に構成されたサポートプレートであり、
前記メッシュ部は、塗布材を透過する孔部を有するメインメッシュと、前記メインメッシュよりも伸び率が低く構成され前記メインメッシュの外周に設けられたサポートメッシュと、を備え、
前記メインメッシュ及び前記サポートメッシュは金属材料で構成される、[1]記載のスクリーンマスク。
[3]
前記メッシュ部に定められた基準点と、印刷物上に転写された基準点の差が、15μm以下である、[1]または[2]に記載のスクリーンマスク。
[4]
[1]乃至[3]のいずれか記載のスクリーンマスクと、
前記スクリーンマスクと印刷媒体とを支持する支持部と、
前記スクリーンマスクの前記印刷面側とは反対側の面に当接して移動可能に構成されたスキージと、を備え、
前記メッシュ部は、前記マスク膜の前記パターンに塗布材が保持された状態で、前記マスク膜が印刷媒体に接離することにより、前記塗布材が前記パターンから前記印刷媒体に転写されるスクリーン印刷装置。
[5]
[4]に記載のスクリーン印刷装置の、前記マスク膜に塗布材を保持させ、
前記スクリーンマスクと前記印刷媒体とを、5mm以下のギャップを介して対向配置し、
前記マスク膜の前記パターンから、前記マスク膜の表面に対向配置された印刷媒体に、前記塗布材を塗布する印刷物の製造方法。
[6]
塗布材を透過する透過部を有するメッシュ部の周縁部を支持する板状のサポート部材と、前記サポート部材の外周部を支持するフレームと、を備える、スクリーンマスクの支持部材。
In addition, each component exemplified in the above embodiment may be deleted, and the shape, structure, material, etc. of each component may be changed. Various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the above embodiments.
The invention described in the original claims of the present application is appended below.
[1]
A mesh part having a transmission part that allows the coating material to pass through;
a mask film provided in the mesh portion and having a predetermined pattern;
a support member that supports at least part of the peripheral edge of the mesh part;
a frame that supports the outer peripheral portion of the support member;
A screen mask.
[2]
The support member is a plate-shaped support plate,
The mesh portion includes a main mesh having holes through which the coating material passes, and a support mesh configured to have a lower elongation rate than the main mesh and provided on the outer periphery of the main mesh,
The screen mask according to [1], wherein the main mesh and the support mesh are made of a metal material.
[3]
The screen mask according to [1] or [2], wherein the difference between the reference points defined on the mesh portion and the reference points transferred onto the printed matter is 15 μm or less.
[4]
a screen mask according to any one of [1] to [3];
a support for supporting the screen mask and the printing medium;
a squeegee configured to be movable in contact with the surface of the screen mask opposite to the printing surface,
The mesh portion is screen-printed in which the coating material is transferred from the pattern to the printing medium by bringing the mask film into contact with and separating from the printing medium while the coating material is held in the pattern of the mask film. Device.
[5]
[4] The mask film of the screen printing apparatus according to [4] holds the coating material,
The screen mask and the print medium are arranged to face each other with a gap of 5 mm or less;
A method of manufacturing a printed matter, wherein the coating material is applied from the pattern of the mask film to a printing medium arranged to face the surface of the mask film.
[6]
A support member for a screen mask, comprising: a plate-shaped support member that supports a peripheral portion of a mesh portion having a transmission portion through which a coating material passes; and a frame that supports the peripheral portion of the support member.

10…スクリーン印刷装置、12…保持部材、13…スキージ、14…支持手段、20、20A…スクリーンマスク、21…フレーム、21a…開口部、22…メッシュ部、23…マスク膜、23a…開口パターン、24…サポートプレート、24a…開口部、26…メインメッシュ、26a…経糸、26b…緯糸、26c…孔部、27…サポートメッシュ、27a…経糸、27b…緯糸、30…印刷媒体、31…印刷物、G1…ギャップ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Screen printing apparatus, 12... Holding member, 13... Squeegee, 14... Support means, 20, 20A... Screen mask, 21... Frame, 21a... Opening part, 22... Mesh part, 23... Mask film, 23a... Opening pattern , 24... Support plate, 24a... Opening, 26... Main mesh, 26a... Warp, 26b... Weft, 26c... Hole, 27... Support mesh, 27a... Warp, 27b... Weft, 30... Print medium, 31... Printed matter , G1 . . . Gap.

Claims (4)

塗布材を透過する透過部を有するメッシュ部と、
前記メッシュ部に設けられ、所定のパターンを有する、マスク膜と、
前記メッシュ部の周縁部の少なくとも一部を支持するサポート部材と、
前記サポート部材の外周部を支持するフレームと、
を備え、
前記サポート部材は金属材料で板状に構成されたサポートプレートであり、
前記メッシュ部は、塗布材を透過する孔部を有するメインメッシュと、前記メインメッシュよりも伸び率が低く構成され前記メインメッシュの外周に設けられたサポートメッシュと、を備え、
前記メインメッシュ及び前記サポートメッシュは金属材料で構成されスクリーンマスク。
A mesh part having a transmission part that allows the coating material to pass through;
a mask film provided in the mesh portion and having a predetermined pattern;
a support member that supports at least part of the peripheral edge of the mesh part;
a frame that supports the outer peripheral portion of the support member;
with
The support member is a plate-shaped support plate made of a metal material ,
The mesh portion includes a main mesh having holes through which the coating material passes, and a support mesh configured to have a lower elongation rate than the main mesh and provided on the outer periphery of the main mesh,
The screen mask, wherein the main mesh and the support mesh are made of a metal material.
前記メッシュ部に定められた基準点と、印刷物上に転写された基準点の差が、15μm以下である、請求項に記載のスクリーンマスク。 2. The screen mask according to claim 1 , wherein a difference between the reference points defined on the mesh portion and the reference points transferred onto the printed material is 15 [mu]m or less. 請求項1または2記載のスクリーンマスクと、
前記スクリーンマスクと印刷媒体とを支持する支持部と、
前記スクリーンマスクの前記印刷媒体に対向する面とは反対側の面に当接して移動可能に構成されたスキージと、を備え、
前記メッシュ部は、前記マスク膜の前記パターンに塗布材が保持された状態で、前記マスク膜が印刷媒体に接離することにより、前記塗布材が前記パターンから前記印刷媒体に転写されるスクリーン印刷装置。
A screen mask according to claim 1 or 2 ;
a support for supporting the screen mask and the printing medium;
a squeegee configured to be movable in contact with the surface of the screen mask opposite to the surface facing the print medium ,
The mesh portion is screen-printed in which the coating material is transferred from the pattern to the printing medium by bringing the mask film into contact with and separating from the printing medium while the coating material is held in the pattern of the mask film. Device.
請求項に記載のスクリーン印刷装置の、前記マスク膜に塗布材を保持させ、
前記スクリーンマスクと前記印刷媒体とを、5mm以下のギャップを介して対向配置し、
前記マスク膜の前記パターンから、前記マスク膜の表面に対向配置された印刷媒体に、前記塗布材を塗布する印刷物の製造方法。
Holding a coating material on the mask film of the screen printing apparatus according to claim 3 ,
The screen mask and the print medium are arranged to face each other with a gap of 5 mm or less;
A method of manufacturing a printed matter, wherein the coating material is applied from the pattern of the mask film to a printing medium arranged to face the surface of the mask film.
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