JP7226445B2

JP7226445B2 - 光モジュール

Info

Publication number: JP7226445B2
Application number: JP2020527407A
Authority: JP
Inventors: 陽平塩谷
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2018-06-29
Filing date: 2019-06-17
Publication date: 2023-02-21
Anticipated expiration: 2039-06-17
Also published as: US20210257814A1; JPWO2020004100A1; DE112019003271T5; WO2020004100A1

Description

本開示は、光モジュールに関する。本出願は、２０１８年６月２９日出願の日本出願２０１８‐１２４７９１号に基づく優先権を主張し、前記日本出願に記載された全ての記載内容を援用するものである。

複数の半導体発光素子からの光が合波されて出射される発光部と、発光部からの光を走査する走査部とを含む光モジュールが知られている（たとえば、特許文献１～３参照）。
このような光モジュールは、発光部からの光を所望の経路に沿って走査することにより、文字や図形などを描画することができる。

特開２０１４－１８６０６８号公報特開２０１４－５６１９９号公報国際公開第２００７／１２０８３１号

本開示の光モジュールは、第１の光を出射する第１のレーザダイオードと、第１の光とは波長の異なる第２の光を出射する第２のレーザダイオードと、第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性と、第２の光を反射する波長選択性とを有し、第１の光と第２の光とを合波するフィルタと、を備える。

図１は、実施の形態１における光モジュールの構造を示す外観斜視図である。図２は、図１に示す光モジュールにおいて、図１に示すキャップを取り外した状態に対応する図である。図３は、図２に示すキャップを取り外した状態における光モジュールを上面から見た図である。図４は、図３に示すキャップを取り外した状態における光モジュールを側面から見た図である。図５は、実施の形態１における第２フィルタの拡大断面図である。図６は、実施の形態１における光モジュールのうち、配置されたレーザダイオードと、レンズと、フィルタを簡略化して表した図である。図７は、自動車に搭載されるＨＵＤシステムの一例を示す概略図である。図８は、実施の形態２における第２フィルタの拡大断面図である。図９は、実施の形態３における光モジュールのうち、配置されたレーザダイオードと、レンズと、フィルタを簡略化して表した図である。図１０は、実施の形態４における光モジュールのうち、配置されたレーザダイオードと、レンズと、フィルタを簡略化して表した図である。

光モジュールは、一の方向および一の方向に垂直な方向に高速で周期的に揺動するミラーに光を反射させて走査することにより、文字や図形を描画する。半導体発光素子としてのレーザダイオードから出射される光は、出力に応じて偏光角が変化する場合がある。偏光角が変化すると、レーザダイオードから出射される光について、特定方向の直線偏光成分と特定方向以外の直線偏光成分との比率が変化する。そうすると、合波する光について、望み通りの明るさや色調を得ることができない場合がある。また、光モジュールについては、車両等に搭載される場合を考慮し、小型化が求められている。

［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。光モジュールは、第１の光を出射する第１のレーザダイオードと、第１の光とは波長の異なる第２の光を出射する第２のレーザダイオードと、第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性と、第２の光を反射する波長選択性とを有し、第１の光と第２の光とを合波するフィルタと、を備える。

上記光モジュールによれば、小型化を図りながら、合波する光の明るさや色調を精度よく調整することができる。

このような光モジュールに備えられるフィルタは、第１の光を透過し、第２の光を反射する波長選択性を有する。よって、フィルタを透過する第１の光の光路と、フィルタを反射する第２の光の光路とが同じになるよう、第１のレーザダイオード、第２のレーザダイオードおよびフィルタを配置して、第１の光と第２の光とを合波することができる。フィルタは、第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性を有する。よって、フィルタから出射される第１の光のうちの特定方向以外の直線偏光成分の影響を低減して、第１の光の強度を調整することができる。したがって、第１の光の偏光角が変化したとしても、合波する光における第１の光と第２の光との強度比を適切に調整することができる。また、フィルタが、第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性を有するため、新たに光モジュール内に偏光子を設ける必要はない。このような光モジュールによれば、小型化を図りながら、合波する光の明るさや色調を精度よく調整することができる。なお、偏光選択性について、選択的に透過するとは、第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光の透過率が９０％以上であり、第１の光に含まれる特定方向以外の直線偏光成分の光の透過率が１０％以下であることをいう。このような偏光選択性を有するフィルタにおける消光比は１：９以上となり、例えば、車載用のＨＵＤ（ＨｅａｄＵｐＤｉｓｐｌａｙ）として用いる場合には、有効である。偏光選択性については、第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光の透過率が９５％以上であり、第１の光に含まれる特定方向以外の直線偏光成分の光の透過率が５％以下であることが好ましく、第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光の透過率が９８％以上であり、第１の光に含まれる特定方向以外の直線偏光成分の光の透過率が２％以下であることがさらに好ましい。

上記光モジュールにおいて、フィルタは、第１の光が入射する第１の面と、第１の面から入射した第１の光が出射し、第２の光が反射する第２の面と、第１の面を構成する第１の誘電体多層膜と、第２の面を構成する第２の誘電体多層膜と、を含み、第１の誘電体多層膜は、第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性を有し、第２の誘電体多層膜は、第２の光を反射する波長選択性を有してもよい。このようなフィルタは、第１の面を構成する誘電体多層膜の厚みと第２の面を構成する誘電体多層膜の厚みとの差を小さくすることができる。よって、誘電体多層膜の厚みの差に基づくフィルタの反りを小さくすることができる。したがって、合波する光の明るさや色調をより精度よく調整することができる。

上記光モジュールにおいて、フィルタは、第１の光が入射する第１の面と、第１の面から入射した第１の光が出射し、第２の光が反射する第２の面と、第２の面を構成する第２の誘電体多層膜と、を含み、第２の誘電体多層膜は、第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性と、第２の光を反射する波長選択性を有してもよい。このようなフィルタは、第２の面を構成する第２の誘電体多層膜が波長選択性および偏光選択性を有するため、フィルタの製造時において第１の誘電体多層膜と第２の誘電体多層膜とを形成する際のトータルの成膜時間の短縮化を図ることができる。

上記光モジュールにおいて、第１の光の第１の面への入射角は、１０°以上６０°以下であってもよい。このような入射角の範囲では、特定方向の直線偏光成分の光の反射率と、特定方向以外の直線偏光成分の光の反射率との差が大きい。よって、偏光選択性を有する膜を比較的容易に形成することができる。したがって、偏光選択性を有するフィルタを効率的に製造することができる。なお、第１の光の第１の面への入射角は、３５°以上５５°以下とすることが、さらに好ましい。

上記光モジュールにおいて、フィルタは、第１の光に含まれるｐ偏光成分の透過率が９０％以上であり、第１の光に含まれるｓ偏光成分の透過率が１０％以下であってもよい。
このようにすることにより、第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光をｐ偏光成分の光として光学的なロスを少なくし、合波する光の効率的な調整を図ることができる。

上記光モジュールにおいて、フィルタは、第２のレーザダイオードから出射した第２の光の９０％以上を反射してもよい。このようにすることにより、第２の光を効率的に利用することができる。

上記光モジュールにおいて、フィルタによって合波された光を受光する受光素子をさらに備えてもよい。受光素子は、フィルタによって合波された光を受光するため、第１の光について、選択的に透過した特定方向の直線偏光成分の光を受光することになる。よって、受光素子により受光した光の強度を基にレーザダイオードの出力へのフィードバックを図る際に、合波する光の強度比を適切に調整することができる。したがって、合波する光の明るさや色調を精度よく調整することが容易となる。

上記光モジュールにおいて、第１の光および第２の光のうちの少なくともいずれか一方のスポットサイズを変換するレンズを、さらに備えてもよい。このようにすることにより、所望のスポットサイズを有する光を光モジュールから出射することができる。

上記光モジュールは、第１のレーザダイオード、第２のレーザダイオードおよびフィルタを取り囲み、第１のレーザダイオード、第２のレーザダイオードおよびフィルタを封止する保護部材をさらに備えてもよい。このようにすることにより、光モジュールを構成する第１のレーザダイオード、第２のレーザダイオードおよびフィルタを外部環境から有効に保護することができ、高い信頼性を確保することができる。

上記光モジュールは、青色の光を出射する第３のレーザダイオードをさらに備え、第１のレーザダイオードは、赤色の光を出射し、第２のレーザダイオードは、緑色の光を出射するようにしてもよい。このようにすることにより、これらの光を合波し、所望の色の光を形成することができる。特に、赤色の光は、出力に対する偏光角の変化が大きいため、光モジュールにおける光の出力時に偏光角の変化の影響を低減して、合波する光の明るさや色調を精度よく調整することができる。

［実施形態の詳細］
次に、本開示にかかる光モジュールの実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。

（実施の形態１）
まず、図１～図４を参照して実施の形態１について説明する。図１および図２は、実施の形態１における光モジュールの構造を示す外観斜視図である。図２は、図１に示す光モジュールにおいて、図１に示すキャップを取り外した状態に対応する図である。図３は、図２に示すキャップを取り外した状態における光モジュールを上面から見た図である。言い換えると図３は、図２に示すキャップを取り外した状態における光モジュールをＺ軸方向に沿って見た図である。図４は、図３に示すキャップを取り外した状態における光モジュールを側面から見た図である。図４は、Ｘ軸方向から見た図である。なお、図３において、光路は破線で示している。

図１～図４を参照して、本実施の形態における光モジュール１は、光を形成する光形成部２０と、光形成部２０を取り囲み、光形成部２０を封止する保護部材２とを備える。保護部材２は、ベース体としての基部１０と、基部１０に対して溶接された蓋部であるキャップ４０と、を含む。光形成部２０は、保護部材２によりハーメチックシールされている。基部１０は、平板状の形状を有する。光形成部２０は、ベース部材４と、赤色レーザダイオード８１，緑色レーザダイオード８２，青色レーザダイオード８３と、第１レンズ９１，第２レンズ９２，第３レンズ９３と、第１フィルタ９７，第２フィルタ９８，第３フィルタ９９とを含む。光形成部２０は、基部１０の一方の主面１０Ａ上に配置される。キャップ４０は、光形成部２０を覆うように基部１０の一方の主面１０Ａ上に接触して配置される。基部１０の他方の主面１０Ｂ側から一方の主面１０Ａ側まで貫通し、一方の主面１０Ａ側および他方の主面１０Ｂ側の両側に突出するように、複数のリードピン５１が基部１０に設置されている。基部１０とキャップ４０とにより取り囲まれる空間には、たとえば乾燥空気などの水分が低減（除去）された気体が封入されている。キャップ４０には、出射窓４２が形成されている。出射窓４２には、たとえば平行平板状のガラス部材４１が嵌め込まれている。本実施の形態において、保護部材２は、内部を気密状態とする気密部材である。これにより、光形成部２０に含まれる各部材が外部環境から有効に保護され、高い信頼性を確保することができる。

ベース部材４は、電子温度調整モジュール３０と、レーザダイオードベース６０とを含む。電子温度調整モジュール３０は、吸熱板３１、放熱板３２および半導体柱３３を含む。吸熱板３１および放熱板３２は、たとえばアルミナからなっている。基部１０とレーザダイオードベース６０との間に、電子温度調整モジュール３０が配置される。放熱板３２が基部１０の一方の主面１０Ａに接触するように、電子温度調整モジュール３０は基部１０の一方の主面１０Ａに配置される。吸熱板３１がレーザダイオードベース６０に接触して配置される。電子温度調整モジュール３０は、電子冷却モジュールであるペルチェモジュール（ペルチェ素子）である。電子温度調整モジュール３０に電流を流すことにより、吸熱板３１に接触するレーザダイオードベース６０の熱が基部１０へと移動し、レーザダイオードベース６０が冷却される。電子温度調整モジュール３０は、後述するチップ搭載領域６１上に配置されたサーミスタ１００により検出される温度に基づいて、赤色レーザダイオード８１，緑色レーザダイオード８２，青色レーザダイオード８３の温度制御を行う。

レーザダイオードベース６０は、板状の形状を有する。レーザダイオードベース６０は、上面から見て長方形形状（正方形形状）を有する一方の主面６０Ａを有している。レーザダイオードベース６０の一方の主面６０Ａは、チップ搭載領域６１と、レンズ搭載領域６２と、フィルタ搭載領域６３とを含んでいる。チップ搭載領域６１は、一方の主面６０Ａの一の辺を含む領域に、当該一の辺に沿って形成されている。レンズ搭載領域６２は、チップ搭載領域６１に隣接し、かつチップ搭載領域６１に沿って配置されている。フィルタ搭載領域６３は、一方の主面６０Ａの上記一の辺と向かい合う他の辺を含む領域に、当該他の辺に沿って配置されている。チップ搭載領域６１、レンズ搭載領域６２およびフィルタ搭載領域６３は、互いに平行である。

レンズ搭載領域６２におけるレーザダイオードベース６０の厚みと、フィルタ搭載領域６３におけるレーザダイオードベース６０の厚みとは、等しい。レンズ搭載領域６２とフィルタ搭載領域６３とは同一平面に含まれる。チップ搭載領域６１におけるレーザダイオードベース６０の厚みは、レンズ搭載領域６２およびフィルタ搭載領域６３に比べて大きい。その結果、レンズ搭載領域６２およびフィルタ搭載領域６３に比べて、チップ搭載領域６１の高さ（レンズ搭載領域６２を基準とした高さ、すなわちレンズ搭載領域６２に垂直な方向における高さ）が高くなっている。

チップ搭載領域６１上には、平板状の第１サブマウント７１、第２サブマウント７２および第３サブマウント７３が、Ｘ軸方向に並べて配置されている。第１サブマウント７１と第３サブマウント７３とに挟まれるように、第２サブマウント７２が配置されている。
第１サブマウント７１上に、第１のレーザダイオードとしての赤色レーザダイオード８１が配置されている。第２サブマウント７２上に、第２のレーザダイオードとしての緑色レーザダイオード８２が配置されている。第３サブマウント７３上に、第３のレーザダイオードとしての青色レーザダイオード８３が配置されている。赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３の光軸の高さ（一方の主面６０Ａのレンズ搭載領域６２を基準面とした場合の基準面と光軸との距離；Ｚ軸方向における基準面との距離）は、第１サブマウント７１、第２サブマウント７２および第３サブマウント７３により調整されて一致している。なお、チップ搭載領域６１上において、第３サブマウント７３からＸ軸方向に間隔をあけて、レーザダイオードベース６０の温度を検出するサーミスタ１００が配置されている。

レンズ搭載領域６２上には、第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３が配置されている。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３は、それぞれ表面がレンズ面となっているレンズ部９１Ａ，９２Ａ，９３Ａを有している。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３は、レンズ部９１Ａ，９２Ａ，９３Ａとレンズ部９１Ａ，９２Ａ，９３Ａ以外の領域とが一体成型されている。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３のレンズ部９１Ａ，９２Ａ，９３Ａの中心軸、すなわちレンズ部９１Ａ，９２Ａ，９３Ａの光軸は、それぞれ赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３の光軸に一致する。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３は、それぞれ赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３から出射される光のスポットサイズを変換する（ある投影面におけるビーム形状を所望の形状に整形する）。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３により、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３から出射される光のスポットサイズが一致するようにスポットサイズが変換される。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３により、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３から出射される光がコリメート光に変換される。

フィルタ搭載領域６３上には、第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９が配置される。赤色レーザダイオード８１と第１レンズ９１とを結ぶ直線上に、第１フィルタ９７が配置される。緑色レーザダイオード８２と第２レンズ９２とを結ぶ直線上に、第２フィルタ９８が配置される。青色レーザダイオード８３と第３レンズ９３とを結ぶ直線上に、第３フィルタ９９が配置される。第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、それぞれ互いに平行な主面を有する平板状の形状を有している。第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、それぞれ板厚方向から見て長方形形状（正方形形状）を有する。

赤色レーザダイオード８１、第１レンズ９１のレンズ部９１Ａおよび第１フィルタ９７は、赤色レーザダイオード８１の光の出射方向に沿う一直線上に並んで（Ｙ軸方向に並んで）配置されている。緑色レーザダイオード８２、第２レンズ９２のレンズ部９２Ａおよび第２フィルタ９８は、緑色レーザダイオード８２の光の出射方向に沿う一直線上に並んで（Ｙ軸方向に並んで）配置されている。青色レーザダイオード８３、第３レンズ９３のレンズ部９３Ａおよび第３フィルタ９９は、青色レーザダイオード８３の光の出射方向に沿う一直線上に並んで（Ｙ軸方向に並んで）配置されている。

赤色レーザダイオード８１の出射方向、緑色レーザダイオード８２の出射方向および青色レーザダイオード８３の出射方向は、互いに平行である。第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９の主面は、それぞれ赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３の出射方向（Ｙ軸方向）に対して４５°傾斜している。

次に、第１フィルタ９７，第２フィルタ９８，第３フィルタ９９の具体的な構成について説明する。第１フィルタ９７は、板状部材９７Ａを含む。第１フィルタ９７には、レンズ部９１Ａに向く側の面９７Ｂを構成する誘電体多層膜９７Ｃが形成されている（特に図３参照）。誘電体多層膜９７Ｃは、複数の膜を積層するようにして形成されている。第１フィルタ９７は、誘電体多層膜９７Ｃにより赤色の光を反射する。具体的には、第１フィルタ９７の面９７Ｂに入射した光のうち、誘電体多層膜９７Ｃは、６２０～６６０ｎｍの波長の光を９０％以上反射する。この場合、赤色レーザダイオード８１の出射方向に対して４５°傾斜して第１フィルタ９７が配置されているため、赤色の光の入射角は、４５°である。なお、誘電体多層膜９７Ｃの代替として、例えば、アルミニウムや銀といった金属の蒸着膜が採用されてもよい。

次に、第２フィルタ９８の構成について説明する。図５は、実施の形態１における第２フィルタ９８の拡大断面図である。図５は、Ｘ－Ｙ平面で第２フィルタ９８を切断した場合の断面図である。併せて図５を参照して、第２フィルタ９８は、光を透過する部材で構成された板状部材９８Ａを含む。また、第２フィルタ９８は、第１の面９８Ｂと、第２の面９８Ｃとを含む。第２フィルタ９８は、第１の面９８Ｂが第１フィルタ９７側に向き、第２の面９８Ｃが第３フィルタ９９側に向くようにフィルタ搭載領域６３上に配置される。第１の面９８Ｂに、赤色レーザダイオード８１から出射され、第１フィルタ９７の面９７Ｂで反射した第１の光である赤色の光が入射する。

第２フィルタ９８は、第１の面９８Ｂを構成する第１の誘電体多層膜９８Ｄを含む。第１の誘電体多層膜９８Ｄは、赤色の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光であるｐ偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性を有する膜９８Ｅを含む。具体的には、膜９８Ｅでは、赤色の光のうちのｐ偏光成分の光の透過率が９５％以上であり、特定方向以外の直線偏光成分の光であるｓ偏光成分の光の透過率が５％以下である。膜９８Ｅは、複数の層から構成されていてもよいし、単層であってもよい。膜９８Ｅは、第１の面９８Ｂの表側に配置されていてもよいし、第１の誘電体多層膜９８Ｄの内部に配置されていてもよい。このような膜９８Ｅを含むことにより、第２フィルタ９８は、赤色の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性を有する。

第２フィルタ９８は、第２の面９８Ｃを構成する第２の誘電体多層膜９８Ｆを含む。第２の誘電体多層膜９８Ｆの赤色の光のうちのｐ偏光成分の光の透過率およびｓ偏光成分の光の透過率は、共に９５％以上である。第２の誘電体多層膜９８Ｆは、第２の光である緑色の光を反射する膜９８Ｇを含む。具体的には、第２の光である緑色の光の波長である５００～５５０ｎｍの波長の光の膜９８Ｇにおける反射率は、９５％以上である。膜９８Ｇは、複数の層から構成されていてもよいし、単層であってもよい。膜９８Ｇは、第２の面９８Ｃの表側に配置されていてもよいし、第２の誘電体多層膜９８Ｆの内部に配置されていてもよい。このような膜９８Ｇを含む第２の誘電体多層膜９８Ｆおよび第１の誘電体多層膜９８Ｄを含むことにより、第２フィルタ９８は、赤色の光を透過し、緑色の光を反射する波長選択性を有する。

第３フィルタ９９は、光を透過する部材で構成された板状部材９９Ａを含む。また、第３フィルタ９９は、第１の面９９Ｂと、第２の面９９Ｃとを含む。第３フィルタ９９は、第１の面９９Ｂが第２フィルタ９８側に向き、第２の面９９Ｃが出射窓４２側に向くようにフィルタ搭載領域６３上に配置される。第１の面９９Ｂに、第２フィルタ９８の第２の面９８Ｃから出射した赤色の光が入射する。また、第１の面９９Ｂに、緑色レーザダイオード８２から出射され、第２フィルタ９８の第２の面９８Ｃで反射した緑色の光が入射する。

第３フィルタ９９は、第１の面９９Ｂを構成する第１の誘電体多層膜９９Ｄを含む。第１の誘電体多層膜９９Ｄの赤色の光のうちのｐ偏光成分の光の透過率およびｓ偏光成分の光の透過率は、共に９５％以上である。第１の誘電体多層膜９９Ｄの緑色の光の透過率は、９５％以上である。

第３フィルタ９９は、第２の面９９Ｃを構成する形成される第２の誘電体多層膜９９Ｅを含む。第２の誘電体多層膜９９Ｅの赤色の光のうちのｐ偏光成分の光の透過率およびｓ偏光成分の光の透過率は、共に９５％以上である。第２の誘電体多層膜９９Ｅの緑色の光の透過率は、９５％以上である。第２の誘電体多層膜９９Ｅは、第３の光である青色の光を反射する。具体的には、第３の光である青色の光の波長である４３０～４７０ｎｍの波長の光を、９５％以上反射する。

次に、本実施の形態における光モジュール１の動作について説明する。図６は、実施の形態１における光モジュール１のうち、配置された赤色レーザダイオード８１，緑色レーザダイオード８２，青色レーザダイオード８３と、第１レンズ９１，第２レンズ９２，第３レンズ９３と、第１フィルタ９７，第２フィルタ９８，第３フィルタ９９を簡略化して表した図である。

図６を併せて参照して、まず赤色の光について説明する。赤色レーザダイオード８１から出射された赤色の光は、光路Ｌ_１に沿って進行する。この赤色の光は、第１レンズ９１のレンズ部９１Ａに入射し、光のスポットサイズが変換される。具体的には、たとえば赤色レーザダイオード８１から出射された赤色の光がコリメート光に変換される。第１レンズ９１においてスポットサイズが変換された赤色の光は、光路Ｌ_１に沿って進行し、第１フィルタ９７に入射する。この場合、第１フィルタ９７の第１の面９７Ｂから入射する。
この場合、光路Ｌ_１に対して、第１の面９７Ｂが４５°傾斜しているため、赤色の光の入射角は、４５°である。

第１フィルタ９７は第１の面９７Ｂに形成された誘電体多層膜９７Ｃにより赤色の光を９０％以上反射するため、赤色レーザダイオード８１から出射された光は第１の面９７Ｂによってそのほとんどが反射されて、光路Ｌ_４に沿ってさらに進行する。そして、赤色の光は、第２フィルタ９８に入射する。この場合、第２フィルタ９８に含まれる第１の面９８Ｂから第２フィルタ９８に入射する。この場合、光路Ｌ_４に対して、第１の面９８Ｂが４５°傾斜しているため、赤色の光の入射角は、４５°である。

ここで、第２フィルタ９８は、第１の面９８Ｂを構成する第１の誘電体多層膜９８Ｄを含んでいる。第１の誘電体多層膜９８Ｄは、第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光であるｐ偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性を有する膜９８Ｅを含んでいる。したがって、第２フィルタ９８の第１の面９８Ｂから入射した赤色の光について、ｐ偏光成分の光の９５％以上が透過される。また、ｓ偏光成分の光の透過率は、５％以下である。すなわち、赤色の光のうち、ｐ偏光成分の光の大部分が第２フィルタ９８を透過し、ｓ偏光成分の光の大部分がカットされる。

ｐ偏光成分の光の大部分が透過し、ｓ偏光成分の光の大部分がカットされた赤色の光は、第２フィルタ９８内を透過する。第２フィルタ９８は、第２の面９８Ｃを構成する第２の誘電体多層膜９８Ｆを含んでいる。第２の誘電体多層膜９８Ｆのｐ偏光成分の光の透過率およびｓ偏光成分の光の透過率は、共に９５％以上である。したがって、赤色の光はほとんどカットされることなく、第２の面９８Ｃから出射される。赤色の光は、光路Ｌ_４に沿ってさらに進行し、第３フィルタ９９に入射する。この場合、第３フィルタ９９に含まれる第１の面９９Ｂから第３フィルタ９９に入射する。

第３フィルタ９９は、第１の面９９Ｂを構成する第１の誘電体多層膜９９Ｄを含んでいる。第１の誘電体多層膜９９Ｄの赤色の光におけるｐ偏光成分の光の透過率およびｓ偏光成分の光の透過率は、共に９５％以上である。したがって、赤色の光はほとんどカットされることなく、第３フィルタ９９内を透過する。第３フィルタ９９は、第２の面９９Ｃを構成する第２の誘電体多層膜９９Ｅを含んでいる。第２の誘電体多層膜９９Ｅの赤色の光のｐ偏光成分の光の透過率およびｓ偏光成分の光の透過率は、共に９５％以上である。したがって、赤色の光はほとんどカットされることなく、第２の面９９Ｃから出射される。赤色の光は、光路Ｌ_４に沿ってさらに進行し、キャップ４０の出射窓４２に嵌め込まれたガラス部材４１を通って光モジュール１の外部へと出射する。

次に緑色の光について説明する。緑色レーザダイオード８２から出射された緑色の光は、光路Ｌ_２に沿って進行する。この緑色の光は、第２レンズ９２のレンズ部９２Ａに入射し、光のスポットサイズが変換される。具体的には、たとえば緑色レーザダイオード８２から出射された緑色の光がコリメート光に変換される。第２レンズ９２においてスポットサイズが変換された緑色の光は、光路Ｌ_２に沿って進行し、第２フィルタ９８に入射する。この場合、第２の面９８Ｃから第２フィルタ９８に入射する。

ここで、第２フィルタ９８は、第２の面９８Ｃを構成する第２の誘電体多層膜９８Ｆを含んでいる。第２の誘電体多層膜９８Ｆは、第２の光である緑色の光を反射する波長選択性を有する膜９８Ｇを含んでいる。したがって、第２フィルタ９８の第２の面９８Ｃから入射した緑色の光について、９５％以上を反射する。したがって、緑色の光はほとんど透過することなく反射され、第２の面９８Ｃから出射される。緑色の光は、光路Ｌ_４に沿ってさらに進行する。ここで、第２の面９８Ｃを出射して光路Ｌ_４に沿って進行する赤色の光と、第２の面９８Ｃを出射して光路Ｌ_４に沿って進行する緑色の光とが、合波される。

第２の面９８Ｃから出射された緑色の光は、第３フィルタ９９に入射する。この場合、第３フィルタ９９に含まれる第１の面９９Ｂから第３フィルタ９９に入射する。第３フィルタ９９は、第１の面９９Ｂを構成する第１の誘電体多層膜９９Ｄを含んでいる。第１の誘電体多層膜９９Ｄの緑色の光の透過率は、９５％以上である。したがって、緑色の光はほとんどカットされることなく、第３フィルタ９９内を透過する。第３フィルタ９９は、第２の面９９Ｃを構成する第２の誘電体多層膜９９Ｅを含んでいる。第２の誘電体多層膜９９Ｅの緑色の光の透過率は、９５％以上である。したがって、緑色の光はほとんどカットされることなく、第２の面９９Ｃから出射される。緑色の光は、光路Ｌ_４に沿ってさらに進行し、キャップ４０の出射窓４２に嵌め込まれたガラス部材４１を通って光モジュール１の外部へと出射する。

次に、青色の光について説明する。青色レーザダイオード８３から出射された青色の光は、光路Ｌ_３に沿って進行する。この青色の光は、第３レンズ９３のレンズ部９３Ａに入射し、光のスポットサイズが変換される。具体的には、たとえば青色レーザダイオード８３から出射された青色の光がコリメート光に変換される。第３レンズ９３においてスポットサイズが変換された青色の光は、光路Ｌ_３に沿って進行し、第３フィルタ９９に入射する。この場合、第２の面９９Ｃから第３フィルタ９９に入射する。

ここで、第３フィルタ９９は、第２の面９９Ｃを構成する第２の誘電体多層膜９９Ｅを含んでいる。第２の誘電体多層膜９９Ｅは、第３の光である青色の光を反射する波長選択性を有する。したがって、第３フィルタ９９の第２の面９９Ｃから入射した青色の光について、９５％以上を反射する。したがって、青色の光はほとんど透過することなく反射され、第２の面９９Ｃから出射される。青色の光は、光路Ｌ_４に沿ってさらに進行する。ここで、第２の面９９Ｃを出射して光路Ｌ_４に沿って進行する赤色の光および緑色の光と、第２の面９９Ｃを出射して光路Ｌ_４に沿って進行する青色の光とが、合波される。青色の光は、キャップ４０の出射窓４２に嵌め込まれたガラス部材４１を通って光モジュール１の外部へと出射する。

このようにして、赤色、緑色および青色の光が合波されて形成された光（合波光）が光路Ｌ_４に沿って光モジュール１から出射される。出射された光は、例えば、光モジュール１外に配置されたＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）に入射される。ＭＥＭＳでは、一の方向（水平方向）および一の方向に垂直な方向（垂直方向）に高速で周期的に揺動するミラーに光を反射させて走査する。揺動するミラーによる反射により光モジュール１から出射された合波光が走査され、文字や図形が描画される。

このような光モジュール１に備えられる第２フィルタ９８は、第１の光である赤色の光を透過し、第２の光である緑色の光を反射する波長選択性を有する。よって、第２フィルタ９８を透過して出射する赤色の光の光路Ｌ_４と、第２フィルタ９８を反射して出射する緑色の光の光路Ｌ_４とが同じになるよう、第１のレーザダイオード８１、第２のレーザダイオード８２および第２フィルタ９８を配置して、赤色の光と緑色の光とを合波することができる。本実施形態においては、レーザダイオード８３、第３フィルタ９９等を含むため、赤色の光と緑色の光と青色の光とを合波することができる。また、第２フィルタ９８は、赤色の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光であるｐ偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性を有するため、第２フィルタ９８から出射される赤色の光のうちの特定方向以外の直線偏光成分であるｓ偏光成分の光の影響を低減して、赤色の光の強度を調整することができる。よって、合波する光における赤色の光と緑色の光、さらには青色の光との強度比を適切に調整することができる。また、第２フィルタ９８が、赤色の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性を有するため、新たに光モジュール１内に偏光子を設ける必要はない。したがって、このような光モジュール１によれば、小型化を図りながら、合波する光の明るさや色調を精度よく調整することができる。

本実施形態において、第２フィルタ９８は、赤色の光が入射する第１の面９８Ｂと、第１の面９８Ｂから入射した赤色の光が出射し、緑色の光が反射する第２の面９８Ｃと、第１の面９８Ｂを構成する第１の誘電体多層膜９８Ｄと、第２の面９８Ｃを構成する第２の誘電体多層膜９８Ｆと、を含む。第１の誘電体多層膜９８Ｄは、赤色の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光であるｐ偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性を有する膜９８Ｅを含み、第２の誘電体多層膜９８Ｆは、緑色の光を反射する波長選択性を有する膜９８Ｇを含む。このような第２フィルタ９８は、第１の面９８Ｂを構成する誘電体多層膜９８Ｄの厚みと第２の面９８Ｃに形成される誘電体多層膜９８Ｆの厚みとの差を小さくすることができる。よって、誘電体多層膜９８Ｄ，９８Ｆの厚みの差に基づく第２フィルタ９８の反りを小さくすることができる。したがって、合波する光の明るさや色調をより精度よく調整することができる。

本実施形態において、赤色の光の第１の面９８Ｂへの入射角は、４５°であり、１０°以上６０°以下の範囲内である。このような入射角では、特定方向の直線偏光成分の光、例えば、ｐ偏光成分の光の反射率と、特定方向以外の直線偏光成分の光、例えば、ｓ偏光成分の光の反射率との差が大きい。よって、偏光選択性を有する膜９８Ｅを比較的容易に形成することができる。したがって、偏光選択性を有する第２フィルタ９８を効率的に製造することができる。

本実施形態において、第２フィルタ９８は、赤色の光に含まれるｐ偏光成分の透過率が９０％以上であり、赤色の光に含まれるｓ偏光成分の透過率が１０％以下である。具体的には、第２フィルタ９８は、赤色の光に含まれるｐ偏光成分の透過率が９５％以上であり、赤色の光に含まれるｓ偏光成分の透過率が５％以下である。したがって、赤色の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光をｐ偏光成分の光として光学的なロスを少なくし、合波する光の効率的な調整を図ることができる。

本実施形態において、第２フィルタ９８は、緑色レーザダイオード８２から出射した緑色の光の９０％以上を反射するため、緑色の光を効率的に利用することができる。

また、本実施形態においては、
赤色レーザダイオード８１，緑色レーザダイオード８２，青色レーザダイオード８３
から出射される光のスポットサイズを変換する
第１レンズ９１，第２レンズ９２，第３レンズ９３を備えるため、所望のスポットサイズを有する光を光モジュール１から出射することができる。

本実施形態においては、複数のレーザダイオードは、赤色の光を出射する赤色レーザダイオード８１と、緑色の光を出射する緑色レーザダイオード８２と、青色の光を出射する青色レーザダイオード８３とを含む。このようにすることにより、これらの光を合波し、所望の色の光を形成することができる。特に、赤色の光は、出力に対する偏光角の変化が大きいため、上記した構成を採用することにより、光モジュール１における光の出力時に偏光角の変化の影響を低減して、合波する光の明るさや色調を精度よく調整することができる。

なお、本実施形態においては、光モジュール１の外部に設けられ、合波された光を受光する受光素子により、光の強度を監視して各レーザダイオードの出力を制御して、合波する光の明るさや色調を精度よく調整する。

このような光モジュール１については、車載用のＨＵＤに用いる際に有効に利用される。次に、本実施の形態における光モジュール１を自動車に搭載されるＨＵＤシステムの光源として用いた場合について説明する。図７は、自動車に搭載されるＨＵＤシステムの一例を示す概略図である。

図７を参照して、ＨＵＤシステム３は、光モジュール１を含むＭＥＭＳ５と、拡散板２１１と、拡大鏡２１３と、フロントガラス２１４と、を含む。ＭＥＭＳ５は、一の方向（水平方向）および一の方向に垂直な方向（垂直方向）に高速で周期的に揺動するミラーを含む。光モジュール１から出射された合波光、すなわち、赤色の光と緑色の光と青色の光とが合波された合波光を、一の方向（水平方向）および一の方向に垂直な方向（垂直方向）に高速で周期的に揺動するミラーに反射させて走査し、画像を投影する。ＭＥＭＳ５から投影される画像は、中間像として拡散板２１１の表面に結像される。中間像は、拡大鏡２１３によって拡大され、フロントガラス２１４の表示領域２１４ａに投影される。表示領域２１４ａに投影された画像は、フロントガラス２１４で反射されるとともに、フロントガラス２１４の運転者Ｐから見て奥側に虚像２１５が結像される。運転者Ｐは、虚像２１５を目視することで、フロントガラス２１４の虚像２１５が位置する側に画像が表示されているように見ることができる。

ここで、実施の形態１における光モジュール１によれば、合波される光の強度や色調を精度よく調整することができるため、高精度の画像を投影することができる。特に、フロントガラス２１４に大きな入射角で合波光が入射する上記したＨＵＤシステム３では、赤色の光のｐ偏光成分の光の反射率とｓ偏光成分の光の反射率との差に基づく光の強度比への影響を低減することができるため、有効である。また、小型化が図られているため、車内スペースの有効利用を図ることができる。

（実施の形態２）
実施の形態２の光モジュール１は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態２における光モジュール１は、以下の点において実施の形態１の場合とは異なっている。

実施の形態１における光モジュール１に備えられる第２フィルタ９８において、第１の誘電体多層膜９８Ｄは、偏光選択性を有する膜９８Ｅを含み、第２の誘電体多層膜９８Ｆが波長選択性を有する膜９８Ｇを含むこととしたが、実施の形態２における光モジュール１に備えられる第２フィルタ９８においては、第２の誘電体多層膜９８Ｆが偏光選択性を有する膜９８Ｅと、波長選択性を有する膜９８Ｇと、を含む。

図８は、実施の形態２における第２フィルタの断面図である。図８を参照して、第２フィルタ９８は、第２の面９８Ｃを構成する第２の誘電体多層膜９８Ｆが、偏光選択性を有する膜９８Ｅと波長選択性を有する膜９８Ｇとを含む。波長選択性を有する膜９８Ｇの方が、偏光選択性を有する膜９８Ｅよりも第２の面９８Ｃ側に配置されている。このような第２フィルタ９８は、第２の面９８Ｃを構成する第２の誘電体多層膜９８Ｆが波長選択性を有する膜９８Ｇおよび偏光選択性を有する膜９８Ｅを含むため、第２フィルタ９８の製造時において第１の誘電体多層膜９８Ｄと第２の誘電体多層膜９８Ｆとを形成する際のトータルの成膜時間の短縮化を図ることができる。

なお、上記の実施の形態において、第３フィルタ９９に含まれる誘電体多層膜９９Ｄ，９９Ｅのいずれかが、偏光選択性を有するようにしてもよい。すなわち、第３フィルタ９９に備えられる第１の誘電体多層膜９９Ｄが、偏光選択性を有する膜９８Ｅを含んでもよいし、第３フィルタ９９に備えられる第２の誘電体多層膜９９Ｅが、偏光選択性を有する膜９８Ｅを含んでもよい。このようにすることにより、第３フィルタ９９は、赤色の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光であるｐ偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性を有するため、第３フィルタ９９から出射される赤色の光のうちの特定方向以外の直線偏光成分であるｓ偏光成分の光の影響を低減して、赤色の光の強度を調整することができる。よって、合波する光における赤色の光と緑色の光と青色の光との強度比を適切に調整することができる。したがって、このような光モジュール１によっても、小型化を図りながら、合波する光の明るさや色調を精度よく調整することができる。

（実施の形態３）
実施の形態３の光モジュール１は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態２における光モジュール１は、以下の点において実施の形態１の場合とは異なっている。

実施の形態１においては、赤色レーザダイオードから出射される赤色の光の出射方向と、緑色レーザダイオードから出射される緑色の光の出射方向と、青色レーザダイオードから出射される青色の光の出射方向とを全て同じ方向（Ｙ軸方向）としたが、実施の形態３においては、赤色レーザダイオードから出射される赤色の光の出射方向と、緑色レーザダイオードから出射される緑色の光の出射方向および青色レーザダイオードから出射される青色の光の出射方向とが変更されている。図９は、実施の形態３における光モジュール１のうち、配置された赤色レーザダイオード８１，緑色レーザダイオード８２，青色レーザダイオード８３と、第１レンズ９１，第２レンズ９２，第３レンズ９３と、第１フィルタ９７，第２フィルタ９８，第３フィルタ９９を簡略化して表した図である。

図９を参照して、赤色レーザダイオード８１から出射される赤色の光の出射方向は、緑色レーザダイオード８２から出射される緑色の光の出射方向および青色レーザダイオード８３から出射される青色の光の出射方向に直交する方向とする。具体的には、赤色レーザダイオード８１から出射される赤色の光の出射方向をＸ軸方向とし、緑色レーザダイオード８２から出射される緑色の光の出射方向および青色レーザダイオード８３から出射される青色の光の出射方向をＹ軸方向とする。

このような構成によれば、第１フィルタ９７を省略することができる。したがって、光モジュール１を構成する部品の数の削減を図ることができる。

（実施の形態４）
実施の形態４の光モジュール１は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態４における光モジュール１は、以下の点において実施の形態１の場合とは異なっている。

図１０は、実施の形態４における光モジュール１のうち、配置された赤色レーザダイオード８１，緑色レーザダイオード８２，青色レーザダイオード８３と、第１レンズ９１，第２レンズ９２，第３レンズ９３３と、第１フィルタ９７，第２フィルタ９８，第３フィルタ９９を簡略化して表した図である。図１０を参照して、光モジュール１は、受光素子としてのフォトダイオード９４を備える。フォトダイオード９４は、受光部９４Ａを含む。青色レーザダイオード８３、第３レンズ９３のレンズ部９３Ａ、第３フィルタ９９およびフォトダイオード９４の受光部９４Ａは、青色レーザダイオード８３の光の出射方向に沿う一直線上に並んで（Ｙ軸方向に並んで）配置されている。本実施の形態において、第３フィルタ９９は、第１の面９９Ｂにおいて、赤色および緑色の光の大部分を透過するものの、一部を反射する。第３フィルタ９９は、青色の光の大部分を反射するものの、一部を透過する。すなわち、第３フィルタ９９に到達した赤色および緑色の光の一部は、第３フィルタ９９において反射され、光路Ｌ_５に沿って進行してフォトダイオード９４の受光部９４Ａへと入射する。また、第３フィルタ９９に到達した青色の光の一部は、第３フィルタ９９を透過し、光路Ｌ_６に沿って進行してフォトダイオード９４の受光部９４Ａへと入射する。そして、フォトダイオード９４において受光された赤色、緑色および青色の光の強度の情報に基づいて赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３に流れる電流値が調整される。すなわち、本実施の形態においては、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３は、ＡＰＣ（ＡｕｔｏＰｏｗｅｒＣｏｎｔｒｏｌ）駆動により制御することができる。このようにすることにより、赤色レーザダイオード８１，緑色レーザダイオード８２，青色レーザダイオード８３の厳密な制御を行うことができる。すなわち、フォトダイオード９４により受光される光の出力に基づいて、赤色レーザダイオード８１，緑色レーザダイオード８２，青色レーザダイオード８３の出力を適切に調整することができる。すなわち、本実施形態によると、フォトダイオード９４により受光した光の強度を基に赤色レーザダイオード８１，緑色レーザダイオード８２，青色レーザダイオード８３の出力へのフィードバックを図る際に、合波する光の強度比を適切に調整することができる。したがって、合波する光の明るさや色調を精度よく調整することが容易となる。

すなわち、本実施形態における光モジュール１において、フォトダイオード９４は、第３フィルタ９９によって合波された光を受光するため、赤色の光について、選択的に透過した特定方向の直線偏光成分の光であるｐ偏光成分の光を受光することになる。よって、フォトダイオード９４により受光した光の強度を基に赤色レーザダイオード８１の出力へのフィードバックを図る際に、合波する光の強度比を適切に調整することができる。すなわち、合波光を構成する各光の強度比を調整する際に、ｓ偏光成分の光の影響を低減することができる。したがって、合波する光の明るさや色調を精度よく調整することが容易となる。

上記実施の形態においては、３個のレーザダイオードからの光が合波される場合について説明したが、レーザダイオードは２個であってもよく、４個以上であってもよい。また、上記実施の形態においては、第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９として波長選択性フィルタが採用される場合を例示したが、これらのフィルタは、たとえば偏波合成フィルタであってもよい。

なお、上記の実施の形態においては、光モジュール１は、電子温度調整モジュール３０を備えることとしたが、例えば、温度変化が小さい環境での使用では、電子温度調整モジュール３０を備えない構成としてもよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、請求の範囲によって規定され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１光モジュール、２保護部材、３ＨＵＤシステム、４ベース部材、５ＭＥＭＳ
１０基部、１０Ａ，１０Ｂ，６０Ａ主面、２０光形成部、３０電子温度調整モジュール、３１吸熱板、３２放熱板、３３半導体柱、４０キャップ、４１ガラス部材、４２出射窓、５１リードピン、６０レーザダイオードベース、６１チップ搭載領域、６２レンズ搭載領域、６３フィルタ搭載領域、７１第１サブマウント、７２第２サブマウント、７３第３サブマウント、８１赤色レーザダイオード、８２緑色レーザダイオード、８３青色レーザダイオード、９１第１レンズ、９２第２レンズ、９３第３レンズ、９１Ａ，９２Ａ，９３Ａレンズ部、９４フォトダイオード
９４Ａ受光部、９７第１フィルタ、９８第２フィルタ、９９第３フィルタ、９７Ａ，９８Ａ，９９Ａ板状部材、９７Ｂ面、９８Ｂ，９９Ｂ第１の面、９８Ｃ，９９Ｃ第２の面、９７Ｃ誘電体多層膜、９８Ｄ，９９Ｄ第１の誘電体多層膜、９８Ｆ，９９Ｅ第２の誘電体多層膜、９８Ｅ，９８Ｇ膜、１００サーミスタ、２１１拡散板、２１３拡大鏡、２１４フロントガラス、２１４ａ表示領域

Claims

第１の光を出射する第１のレーザダイオードと、
前記第１の光とは波長の異なる第２の光を出射する第２のレーザダイオードと、
前記第２の光を反射することにより前記第１の光と前記第２の光とを合波するフィルタと、を備え、
前記フィルタは、
前記第１の光が入射する第１の面と、
前記第１の面から入射した前記第１の光が出射し、前記第２の光が反射する第２の面と、
前記第１の面を構成する第１の誘電体多層膜と、
前記第２の面を構成する第２の誘電体多層膜と、を含み、
前記第１の誘電体多層膜は、前記第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性を有し、
前記第２の誘電体多層膜は、前記第２の光を反射する波長選択性を有する、光モジュール。
第１の光を出射する第１のレーザダイオードと、
前記第１の光とは波長の異なる第２の光を出射する第２のレーザダイオードと、
前記第２の光を反射することにより前記第１の光と前記第２の光とを合波するフィルタと、を備え、
前記フィルタは、
前記第１の光が入射する第１の面と、
前記第１の面から入射した前記第１の光が出射し、前記第２の光が反射する第２の面と、
前記第２の面を構成する第２の誘電体多層膜と、を含み、
前記第２の誘電体多層膜は、前記第１の光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光選択性と、前記第２の光を反射する波長選択性とを有する、光モジュール。
前記第１の光の前記第１の面への入射角は、１０°以上６０°以下である、請求項１または請求項２に記載の光モジュール。
前記フィルタは、前記第１の光に含まれるｐ偏光成分の透過率が９０％以上であり、前記第１の光に含まれるｓ偏光成分の透過率が１０％以下である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光モジュール。
前記フィルタは、前記第２のレーザダイオードから出射した前記第２の光の９０％以上を反射する、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の光モジュール。
前記フィルタによって合波された光を受光する受光素子をさらに備える、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の光モジュール。
前記第１の光および前記第２の光のうちの少なくともいずれか一方のスポットサイズを変換するレンズをさらに備える、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の光モジュール。
前記第１のレーザダイオード、前記第２のレーザダイオードおよび前記フィルタを取り囲み、前記第１のレーザダイオード、前記第２のレーザダイオードおよび前記フィルタを封止する保護部材をさらに備える、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の光モジュール。
青色の光を出射する第３のレーザダイオードをさらに備え、
前記第１のレーザダイオードは、赤色の光を出射し、
前記第２のレーザダイオードは、緑色の光を出射する、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の光モジュール。