JP7222089B2 - Resin film, metal-clad laminate and method for producing the same - Google Patents

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Description

本発明は、耐熱性、接着性、柔軟性に優れ、かつ高透明性の樹脂フィルム(絶縁樹脂層)及びこれを積層してなる金属張積層体に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a highly transparent resin film (insulating resin layer) having excellent heat resistance, adhesiveness and flexibility, and a metal-clad laminate obtained by laminating the same.

ポリイミドは、テトラカルボン酸無水物とジアミンを原料とし、これらの縮合反応により合成されるポリアミド酸を閉環反応して得られる耐熱性の樹脂で、分子鎖の剛直性、共鳴安定化、強い化学結合により熱分解に優れた抵抗を有し、酸化又は加水分解のような化学変化に対して高い耐久性を持ち、柔軟性、機械的特性及び電気的特性に優れている。一般的に電子機器に使用されるフレキシブルプリント基板(Flexible Printed Circuit Board;FPC)の絶縁樹脂層には、ポリイミドが広く用いられている。 Polyimide is a heat-resistant resin obtained by ring closure reaction of polyamic acid synthesized by condensation reaction of tetracarboxylic anhydride and diamine as raw materials. It has excellent resistance to thermal decomposition, high resistance to chemical changes such as oxidation or hydrolysis, and excellent flexibility, mechanical and electrical properties. Polyimide is widely used for insulating resin layers of flexible printed circuit boards (FPCs) generally used in electronic devices.

一般的にFPCに用いられている市販の銅張積層板における絶縁樹脂層は、全芳香族ポリイミド樹脂からなり、分子内及び分子間での電荷移動錯体の形成により黄褐色を示し、これを無色透明性が要求される透明FPC用途に適用することは困難である。 The insulating resin layer in commercially available copper-clad laminates generally used for FPC consists of a wholly aromatic polyimide resin and exhibits a yellowish brown color due to the formation of intramolecular and intermolecular charge transfer complexes, which is colorless. It is difficult to apply to transparent FPC applications that require transparency.

ポリイミドを無色透明性化するために、ジアミン成分として脂環族ジアミンや脂環族酸無水物を用いることにより分子内及び分子間での電荷移動錯体の形成を抑制することが提案されている。例えば、特許文献1では、脂環族ジアミンと芳香族酸二無水物とから形成される無色透明性の半脂環族ポリイミドが提案され、また特許文献2では、脂環族ジアミンと脂環族酸無水物とからなる無色透明の全脂環族ポリイミドが提案されている。しかし、得られるポリイミドのガラス転移温度はいずれも約280℃以下であり、耐熱性が不十分であり、FPCの絶縁層として主要構成部分に適用することは困難である。また、無色透明ポリイミドは電荷移動錯体形成を抑制することから、FPCに要求される低熱膨張性を満足し難いという問題もある。 In order to make polyimide colorless and transparent, it has been proposed to suppress the formation of intramolecular and intermolecular charge-transfer complexes by using an alicyclic diamine or an alicyclic acid anhydride as a diamine component. For example, Patent Document 1 proposes a colorless and transparent semi-alicyclic polyimide formed from an alicyclic diamine and an aromatic acid dianhydride, and Patent Document 2 proposes an alicyclic diamine and an alicyclic A colorless and transparent wholly alicyclic polyimide composed of an acid anhydride has been proposed. However, the resulting polyimides all have a glass transition temperature of about 280° C. or less, and their heat resistance is insufficient, making it difficult to apply them to the main components as an insulating layer of FPC. Moreover, since colorless and transparent polyimide suppresses the formation of a charge-transfer complex, there is also a problem that it is difficult to satisfy the low thermal expansion property required for FPC.

特許文献3や特許文献4には、フッ素化ポリイミドを絶縁樹脂層とした金属とポリイミドとの積層体が開示されているが、ここに示された積層体は、絶縁層の透明性に着目するものであり、透明性が優れる反面、絶縁層の熱膨張係数と他の特性との制御が不十分であり、平滑な金属層との接着力が低く、FPC用途に適した配線基板用積層体としての特性を十分満足するものではなかった。 Patent Document 3 and Patent Document 4 disclose a laminate of metal and polyimide with a fluorinated polyimide as an insulating resin layer, but the laminate shown here focuses on the transparency of the insulating layer. Although it has excellent transparency, the control of the thermal expansion coefficient and other properties of the insulating layer is insufficient, and the adhesive strength with the smooth metal layer is low, making it suitable for FPC applications. It was not something that fully satisfies the characteristics as.

特許文献5には、透明性を有し、平滑な金属層との接着力の向上を目的としているが、金属層と接着するポリイミドは依然着色があり、ポリイミド層全体の透明度が劣ってしまい、透明FPC用途に適した金属張積層体としての特性を十分満足するものではなかった。 Patent Document 5 has transparency and aims to improve adhesive strength with a smooth metal layer, but the polyimide that adheres to the metal layer is still colored, and the transparency of the entire polyimide layer is poor. The properties of the metal-clad laminate suitable for transparent FPC applications were not fully satisfied.

FPCに使用される金属張積層体は、薄い金属箔とポリイミド層を含む絶縁樹脂層から構成され、金属箔と絶縁樹脂層との熱膨張係数(CTE)の差が大きく異なると、基板に反りやカールが発生し、電子部品を実装する際に寸法が変化して正確な実装ができなくなるといった問題が起こる。一方、透明性に優れた絶縁樹脂層を有する金属張積層体は、配線基板に半導体素子を実装する際、絶縁樹脂層側からの視認性に優れることから、配線基板に光硬化性樹脂を介して半導体素子を接合する場合において、絶縁樹脂層側からの光照射に有利であり、透明FPC用途への使用が期待できる。 Metal-clad laminates used in FPCs are composed of a thin metal foil and an insulating resin layer containing a polyimide layer. This causes problems such as curling and dimensional changes when mounting electronic components, making accurate mounting impossible. On the other hand, a metal-clad laminate having an insulating resin layer with excellent transparency has excellent visibility from the insulating resin layer side when a semiconductor element is mounted on a wiring board. It is advantageous for light irradiation from the insulating resin layer side in the case of joining a semiconductor element by using a thin film, and is expected to be used for transparent FPC.

特開平7-10993号公報JP-A-7-10993 特開2008-163210号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-163210 特開平4-47933号公報JP-A-4-47933 特開2000-198842号公報JP-A-2000-198842 特開2010-155360号公報JP 2010-155360 A

本発明の目的は、優れた耐熱性、熱膨張係数に代表される寸法安定性、柔軟性、接着性と共に、高透明性を併せ持つ配線基板用の樹脂フィルム及び金属張積層体を提供することである。 An object of the present invention is to provide a resin film and a metal-clad laminate for a wiring board which have excellent heat resistance, dimensional stability represented by a coefficient of thermal expansion, flexibility, adhesiveness, and high transparency. be.

本発明者等は上記課題を解決するために検討を重ねた結果、配線基板用積層体又はFPCの絶縁樹脂層に特定のポリイミドを用いると共に適切な層構成とすることで、またポリイミド層の厚みと特定の物性を制御することで、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of repeated studies to solve the above problems, the present inventors have found that by using a specific polyimide for the insulating resin layer of the wiring board laminate or FPC and having an appropriate layer structure, the thickness of the polyimide layer The inventors have found that the above problems can be solved by controlling specific physical properties, and have completed the present invention.

すなわち、本発明は、複数のポリイミド層を有する樹脂フィルムであって、
下記の条件a及びb;
a)厚みが5μm以上200μm以下の範囲内であること;
b)全光線透過率が80%以上であること;
を満たし、
前記ポリイミド層の少なくとも1層がポリイミド層(P1)を含有し、
前記ポリイミド層(P1)を構成しているポリイミドは、酸無水物成分から誘導される酸無水物残基と、ジアミン成分から誘導されるジアミン残基と、を含有しており、
前記ポリイミドは、全酸無水物残基に対し、下記の一般式(1)で表される芳香族テトラカルボン酸無水物から誘導される酸無水物残基を50モル%以上含有し、全ジアミン残基に対し、下記の一般式(2)で表わされる芳香族ジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を50モル%以上含有することを特徴とする樹脂フィルム。

Figure 0007222089000001

[式(1)中、Xは単結合、-O-、又は-C(CF-から選ばれる2価の基を示す。]
Figure 0007222089000002

[式(2)中、Rは独立に、ハロゲン原子、又は炭素数1~6のハロゲン原子で置換されてもよいアルキル基若しくはアルコキシ基、又は炭素数1~6の1価の炭化水素基若しくはアルコキシ基で置換されてもよいフェニル基若しくはフェノキシ基を示し、Zは独立に-O-、-S-、-CH-、-CH(CH)-、-C(CH)-、-CO-、-COO-、-SO-、-NH-又は-NHCO-から選ばれる2価の基を示し、nは0~3の整数、nは0~4の整数を示す。]That is, the present invention provides a resin film having a plurality of polyimide layers,
conditions a and b below;
a) the thickness is in the range of 5 μm or more and 200 μm or less;
b) having a total light transmittance of 80% or more;
The filling,
At least one of the polyimide layers contains a polyimide layer (P1),
The polyimide constituting the polyimide layer (P1) contains an acid anhydride residue derived from an acid anhydride component and a diamine residue derived from a diamine component,
The polyimide contains 50 mol% or more of an acid anhydride residue derived from an aromatic tetracarboxylic acid anhydride represented by the following general formula (1) with respect to all acid anhydride residues, and all diamine A resin film containing 50 mol % or more of a diamine residue derived from an aromatic diamine compound represented by the following general formula (2) based on the residue.
Figure 0007222089000001

[In formula (1), X represents a divalent group selected from a single bond, —O—, and —C(CF 3 ) 2 —. ]
Figure 0007222089000002

[In the formula (2), R is independently a halogen atom, an alkyl group or an alkoxy group optionally substituted with a halogen atom having 1 to 6 carbon atoms, or a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or represents a phenyl group or a phenoxy group which may be substituted with an alkoxy group, and Z is independently -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )-, -C(CH 3 ) 2 -, represents a divalent group selected from --CO--, --COO--, --SO 2 --, --NH-- or --NHCO--, where n1 is an integer of 0-3 and n2 is an integer of 0-4; ]

本発明の樹脂フィルムは、前記ポリイミド層(P1)が最外層に位置することが好適である。 In the resin film of the present invention, the polyimide layer (P1) is preferably positioned as the outermost layer.

また、本発明の樹脂フィルムは、前記条件a及びbに加え、更に条件c)熱膨張係数(CTE)が10ppm/K以上30ppm/K以下の範囲内であることを満たすことが好適である。 In addition to the conditions a and b, the resin film of the present invention preferably satisfies the condition c) that the coefficient of thermal expansion (CTE) is in the range of 10 ppm/K or more and 30 ppm/K or less.

また、本発明の樹脂フィルムは、前記ポリイミド層(P1)が全体の厚みに対して1%以上50%未満の範囲内であることが好適である。 In the resin film of the present invention, the polyimide layer (P1) preferably accounts for 1% or more and less than 50% of the total thickness.

また、本発明の樹脂フィルムは、前記条件a及びbに加え、更に条件d)HAZEが5%以下であることを満たすことが好適である。 Moreover, the resin film of the present invention preferably satisfies condition d) that HAZE is 5% or less in addition to conditions a and b.

また、本発明の樹脂フィルムは、前記条件a及びbに加え、更に条件e)厚みが10μmであるとき、YIが10以下であることを満たすことが好適である。 In addition to the conditions a and b, the resin film of the present invention preferably satisfies condition e) that YI is 10 or less when the thickness is 10 μm.

また、本発明の樹脂フィルムは、前記条件a及びbに加え、更に条件f)厚みが50μmであるとき、YIが30以下であることを満たすことが好適である。 In addition to the conditions a and b, the resin film of the present invention preferably satisfies the condition f) that when the thickness is 50 μm, YI is 30 or less.

また、本発明の樹脂フィルムは、前記ポリイミド層の主たる層を構成するポリイミドが、フッ素原子を含む芳香族ジアミン化合物から誘導されるジアミン残基及び/又はフッ素原子を含む芳香族テトラカルボン酸無水物から誘導される酸無水物残基を含むことが好適である。前記ポリイミド層の主たる層を構成しているポリイミドは、全ジアミン残基に対して、下記の一般式(A1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を50モル%以上含有することが好適である。

Figure 0007222089000003

[一般式(A1)中、置換基Xは独立にフッ素原子で置換されている炭素数1~3のアルキル素基を示し、m及びnは独立に1~4の整数を示す。]Further, in the resin film of the present invention, the polyimide constituting the main layer of the polyimide layer is a diamine residue derived from an aromatic diamine compound containing a fluorine atom and / or an aromatic tetracarboxylic acid anhydride containing a fluorine atom. It is preferred to include an anhydride residue derived from The polyimide constituting the main layer of the polyimide layer contains 50 mol% or more of diamine residues derived from a diamine compound represented by the following general formula (A1) with respect to all diamine residues. is preferred.
Figure 0007222089000003

[In the general formula (A1), the substituent X independently represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms and is substituted with a fluorine atom, and m and n independently represent an integer of 1 to 4. ]

本発明は、複数層のポリイミド層を有する絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層の少なくとも一方の面に積層された金属層と、を備えた金属張積層体であって、
前記絶縁樹脂層が上記樹脂フィルムからなることを特徴とする金属張積層体である。
The present invention provides a metal-clad laminate comprising an insulating resin layer having a plurality of polyimide layers and a metal layer laminated on at least one surface of the insulating resin layer,
The metal-clad laminate is characterized in that the insulating resin layer is made of the resin film.

本発明の金属張積層体は、前記絶縁樹脂層の前記金属層に接するポリイミド層が前記ポリイミド層(P1)であることが好適である。 In the metal-clad laminate of the present invention, it is preferable that the polyimide layer (P1) of the insulating resin layer in contact with the metal layer is the polyimide layer (P1).

また、本発明の金属張積層体は、前記金属層の厚みが1μm以上20μm以下の範囲内であることが好適である。 Further, in the metal-clad laminate of the present invention, it is preferable that the thickness of the metal layer is in the range of 1 μm or more and 20 μm or less.

また、本発明の金属張積層体は、前記金属層の前記絶縁樹脂層に接する表面の十点平均粗さRzjisが0.01μm以上0.5μm以下の範囲内であることが好適である。 In the metal-clad laminate of the present invention, it is preferable that the ten-point average roughness Rzjis of the surface of the metal layer in contact with the insulating resin layer is in the range of 0.01 μm or more and 0.5 μm or less.

また、本発明の金属張積層体は、前記絶縁樹脂層と前記金属層との180°ピール強度が0.5kN/m以上であることが好適である。 Further, in the metal-clad laminate of the present invention, it is preferable that the 180° peel strength between the insulating resin layer and the metal layer is 0.5 kN/m or more.

本発明の金属張積層体は、
絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層の少なくとも一方の面に積層された金属層と、を備えた金属張積層体であって、
前記絶縁樹脂層が、単層又は複数層のポリイミド層からなり、下記の条件a~g;
a)厚みが5μm以上20μm以下の範囲内であること;
b)熱膨張係数(CTE)が10ppm/K以上30ppm/K以下の範囲内であること;
c)全光線透過率が80%以上であること;
d)YIが10以下であること;
e)HAZEが3%以下であること;
f)ガラス転移温度(Tg)が280℃以上であること;
g)引張強度が100MPa以上であること;
を満たすことを特徴とする。
The metal-clad laminate of the present invention is
A metal-clad laminate comprising an insulating resin layer and a metal layer laminated on at least one surface of the insulating resin layer,
The insulating resin layer is composed of a single-layer or multiple-layer polyimide layer, and the following conditions a to g;
a) the thickness is in the range of 5 μm or more and 20 μm or less;
b) a coefficient of thermal expansion (CTE) within the range of 10 ppm/K or more and 30 ppm/K or less;
c) having a total light transmittance of 80% or more;
d) YI is 10 or less;
e) HAZE is 3% or less;
f) having a glass transition temperature (Tg) of 280° C. or higher;
g) a tensile strength of 100 MPa or more;
is characterized by satisfying

本発明の金属張積層体の製造方法は、複数層のポリイミド層を有する絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層の少なくとも一方の面に積層された金属層と、を備えた金属張積層体の製造方法であって、
前記絶縁樹脂層が請求項1に記載の樹脂フィルムからなり、
前記樹脂フィルムにおける前記ポリイミド層(P1)の面と前記金属層と重ね合わせて熱圧着する工程を含むことを特徴とする。
The method for producing a metal-clad laminate of the present invention is for producing a metal-clad laminate comprising an insulating resin layer having a plurality of polyimide layers and a metal layer laminated on at least one surface of the insulating resin layer. a method,
The insulating resin layer is made of the resin film according to claim 1,
It is characterized by including a step of superimposing the surface of the polyimide layer (P1) of the resin film and the metal layer and bonding them by thermocompression.

本発明の樹脂フィルム及び金属張積層体は、優れた耐熱性、寸法安定性、接着性、柔軟性及び高透明性を有するため、特にFPC等の電子部品を製造するための絶縁材料として、とりわけ半導体素子の実装を伴う無色透明性が要求される透明FPCに好適に用いられる。また、本発明の樹脂フィルム及び金属張積層体は、液晶表示装置、有機EL表示装置、タッチパネル、カラーフィルター、電子ペーパー等の表示装置及びこれらの構成部品にも適用可能である。 Since the resin film and metal-clad laminate of the present invention have excellent heat resistance, dimensional stability, adhesiveness, flexibility and high transparency, they are particularly suitable as insulating materials for manufacturing electronic components such as FPCs. It is suitable for use in transparent FPCs that require colorless transparency for mounting semiconductor elements. In addition, the resin film and metal-clad laminate of the present invention can also be applied to display devices such as liquid crystal display devices, organic EL display devices, touch panels, color filters, and electronic paper, and their component parts.

以下、本発明の樹脂フィルムについて、説明する。
本発明の樹脂フィルムは、透明性の観点から、厚みが5μm以上200μm以下の範囲内にあり、可視領域の全光線透過率が80%以上であることを満たす必要がある。
The resin film of the present invention will be described below.
From the viewpoint of transparency, the resin film of the present invention must have a thickness in the range of 5 μm or more and 200 μm or less and must have a total light transmittance of 80% or more in the visible region.

また、複数のポリイミド層を有することによって、透明性のみならず、耐熱性、接着性、柔軟性などの各物性に優れた樹脂フィルムを提供することができる。複数のポリイミド層は、ポリイミド層(P1)と他のポリイミド層との二層構造でもよく、好ましくは三層であり、ポリイミド層(P1)を外層に配置するとよい。より好ましくは、三層のうち内層を除く二つの外層をいずれもポリイミド層(P1)にするとよい。例えば、複数のポリイミド層をキャスト法によって形成する場合では、キャスト面側からポリイミド層(P1)及びポリイミド層(P1)以外のポリイミド層がこの順序で積層された二層構造とすることでもよいし、キャスト面側からポリイミド層(P1)、ポリイミド層(P1)以外のポリイミド層及びポリイミド層(P1)がこの順序で積層された三層構造とすることでもよい。ここで言う「キャスト面」とはポリイミド層を形成する際における、支持体側の面のことを示す。支持体は、金属張積層体の金属層であっても良いし、ゲルフィルム等を形成する際の支持体であっても良い。なお、複数のポリイミド層においてキャスト面と反対側の面は「ラミネート面」と記述するが、特に記述が無い場合、ラミネート面に金属層が積層されていてもされていなくても良い。 Moreover, by having a plurality of polyimide layers, it is possible to provide a resin film that is excellent not only in transparency but also in various physical properties such as heat resistance, adhesiveness, and flexibility. The plurality of polyimide layers may have a two-layer structure of a polyimide layer (P1) and another polyimide layer, preferably three layers, and the polyimide layer (P1) may be arranged as an outer layer. More preferably, of the three layers, two outer layers excluding the inner layer are both polyimide layers (P1). For example, when forming a plurality of polyimide layers by a casting method, it may be a two-layer structure in which the polyimide layer (P1) and the polyimide layer other than the polyimide layer (P1) are laminated in this order from the cast surface side. A three-layer structure in which a polyimide layer (P1), a polyimide layer other than the polyimide layer (P1), and the polyimide layer (P1) are laminated in this order from the cast surface side may be employed. As used herein, the term "cast surface" refers to the surface facing the support when the polyimide layer is formed. The support may be a metal layer of a metal-clad laminate, or may be a support for forming a gel film or the like. The surface opposite to the cast surface of the polyimide layers is described as a "laminate surface", but unless otherwise specified, the laminate surface may or may not have a metal layer laminated thereon.

本発明の樹脂フィルムにおいて、ポリイミド層(P1)を構成するポリイミドは熱可塑性ポリイミドとすることが好ましく、樹脂フィルムとしての接着性を向上させ、例えば金属層や他の樹脂層などの基材との接着層としての適用が好適である。従って、ポリイミド層(P1)を表層部に有する樹脂フィルムが最も好ましい実施形態となる。 In the resin film of the present invention, the polyimide constituting the polyimide layer (P1) is preferably a thermoplastic polyimide. Application as an adhesive layer is preferred. Therefore, the most preferred embodiment is a resin film having a polyimide layer (P1) on its surface layer.

本発明の樹脂フィルムの好ましい実施形態は、熱可塑性のポリイミド層(P1)と、非熱可塑性ポリイミドから構成される非熱可塑性ポリイミド層と、を有し、この非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも一方に熱可塑性ポリイミド層となるポリイミド層(P1)を有するものがよい。すなわち、ポリイミド層(P1)は、非熱可塑性ポリイミド層の片面又は両面に設けるとよい。 A preferred embodiment of the resin film of the present invention has a thermoplastic polyimide layer (P1) and a non-thermoplastic polyimide layer composed of a non-thermoplastic polyimide, and at least one of the non-thermoplastic polyimide layers It is preferable to have a polyimide layer (P1) to be a thermoplastic polyimide layer. That is, the polyimide layer (P1) is preferably provided on one side or both sides of the non-thermoplastic polyimide layer.

また、非熱可塑性ポリイミド層は低熱膨張性のポリイミド層を構成し、熱可塑性ポリイミド層は高熱膨張性のポリイミド層を構成する。ここで、低熱膨張性のポリイミド層は、熱膨張係数(CTE)が好ましくは1ppm/K以上25ppm/K以下の範囲内、より好ましくは3ppm/K以上25ppm/K以下の範囲内のポリイミド層をいう。また、高熱膨張性のポリイミド層は、CTEが好ましくは35ppm/K以上、より好ましくは35ppm/K以上80ppm/K以下の範囲内、更に好ましくは35ppm/K以上70ppm/K以下の範囲内のポリイミド層をいう。ポリイミド層は、使用する原料の組合せ、厚み、乾燥・硬化条件を適宜変更することで所望のCTEを有するポリイミド層とすることができる。
ここで、非熱可塑性ポリイミドとは、一般に加熱しても軟化、接着性を示さないポリイミドのことであるが、本発明では、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、360℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であるポリイミドをいう。また、熱可塑性ポリイミドとは、一般にガラス転移温度(Tg)が明確に確認できるポリイミドのことであるが、本発明では、DMAを用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa未満であり、360℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa未満であるポリイミドをいう。
Also, the non-thermoplastic polyimide layer constitutes a low thermal expansion polyimide layer, and the thermoplastic polyimide layer constitutes a high thermal expansion polyimide layer. Here, the low thermal expansion polyimide layer preferably has a coefficient of thermal expansion (CTE) in the range of 1 ppm/K or more and 25 ppm/K or less, more preferably 3 ppm/K or more and 25 ppm/K or less. say. Further, the high thermal expansion polyimide layer preferably has a CTE of 35 ppm/K or more, more preferably 35 ppm/K or more and 80 ppm/K or less, still more preferably 35 ppm/K or more and 70 ppm/K or less. layer. The polyimide layer can be made into a polyimide layer having a desired CTE by appropriately changing the combination of raw materials to be used, thickness, and drying/curing conditions.
Here, non-thermoplastic polyimide generally refers to polyimide that does not soften or exhibit adhesiveness when heated. A polyimide having a storage modulus of 1.0×10 9 Pa or more at 360° C. and a storage modulus of 1.0×10 8 Pa or more at 360° C. In addition, thermoplastic polyimide is generally a polyimide whose glass transition temperature (Tg) can be clearly confirmed. In the present invention, the storage modulus at 30 ° C. measured using DMA is 1.0 × 10 9 Pa and a storage modulus at 360° C. of less than 1.0×10 8 Pa.

本発明の樹脂フィルムのCTEは、好ましくは10ppm/K以上30ppm/K以下の範囲内がよい。このような範囲に制御することで、カール等の変形を抑制でき、また高い寸法安定性を担保できる。ここで、CTEは、樹脂フィルムの長さ方向(MD方向)及び幅方向(TD方向)の熱膨張係数の平均値である。 The CTE of the resin film of the present invention is preferably in the range of 10 ppm/K or more and 30 ppm/K or less. By controlling the thickness within such a range, deformation such as curling can be suppressed, and high dimensional stability can be ensured. Here, CTE is the average value of thermal expansion coefficients in the length direction (MD direction) and width direction (TD direction) of the resin film.

ポリイミド層全体の厚さは、5μm以上200μm以下の範囲内であるが、各層の厚さは、好ましくは内層が7μm以上50μm以下の範囲内、外層が1μm以上5μm以下の範囲内がよい。より好ましくは内層が7μm以上20μm以下の範囲内、外層が1μm以上3μm以下の範囲内がよい。別の観点から、外層の厚さは、好ましくはポリイミド層全体の厚みの1%以上50%未満の範囲内、より好ましくは1%以上20%以下の範囲内の厚みがよい。 The thickness of the entire polyimide layer is in the range of 5 µm to 200 µm, and the thickness of each layer is preferably in the range of 7 µm to 50 µm for the inner layer and 1 µm to 5 µm for the outer layer. More preferably, the inner layer has a thickness of 7 μm or more and 20 μm or less, and the outer layer has a thickness of 1 μm or more and 3 μm or less. From another point of view, the thickness of the outer layer is preferably in the range of 1% or more and less than 50%, more preferably in the range of 1% or more and 20% or less of the total thickness of the polyimide layer.

本発明の樹脂フィルムは、透明性の観点から、可視領域の全光線透過率が80%以上である。また、波長が450nmにおける光透過率は好ましくは70%以上、より好ましくは80%以上がよい。例えば、樹脂フィルム全体の厚さ20μmにおいて、それを満足することが好ましい。より好ましくは、全光線透過率が85%以上である。このような範囲に制御することで、樹脂フィルムにおける光の反射、散乱による白濁が抑制され、優れた透明性を有するものとなる。全光線透過率が80%未満では、濁度が高くなって、樹脂フィルムの透明性が低下する。 From the viewpoint of transparency, the resin film of the present invention has a total light transmittance of 80% or more in the visible region. Also, the light transmittance at a wavelength of 450 nm is preferably 70% or more, more preferably 80% or more. For example, it is preferable that the thickness of the entire resin film is 20 μm. More preferably, the total light transmittance is 85% or more. By controlling the content within such a range, white turbidity due to reflection and scattering of light in the resin film is suppressed, and excellent transparency is obtained. If the total light transmittance is less than 80%, the turbidity increases and the transparency of the resin film decreases.

本発明の樹脂フィルムは、HAZE(濁度)が好ましくは5%以下、より好ましくは2%以下であることがよい。HAZEが5%を超えると、例えば光散乱が生じやすくなる。また、HAZEは、樹脂フィルムの表面プロファイルに依存し、ロープロファイルの樹脂フィルムであっても、ポリイミド層(P1)を備えるので、接着強度と透明性を両立することができ、例えば微細な金属層を積層する回路基板やガラス基材との貼り合わせ等に好適に利用できる。 The resin film of the present invention preferably has a HAZE (turbidity) of 5% or less, more preferably 2% or less. If the HAZE exceeds 5%, for example, light scattering tends to occur. In addition, HAZE depends on the surface profile of the resin film, and even a low-profile resin film has a polyimide layer (P1), so it is possible to achieve both adhesive strength and transparency. It can be suitably used for laminating a circuit board or a glass base material.

また、本発明の樹脂フィルム厚みが10μmであるとき、YI(黄色度)は10以下であることが好ましい。また、本発明の樹脂フィルムの厚みが50μmであるとき、YIは30以下であることが好ましい。このような範囲に制御することで、樹脂フィルムをほぼ無色に近づけることができる。一方、YIが上記のような範囲を外れると、黄色乃至黄褐色の着色が強くなって、樹脂フィルムの視認性が低下する。 Moreover, when the thickness of the resin film of the present invention is 10 μm, the YI (yellowness index) is preferably 10 or less. Moreover, when the thickness of the resin film of the present invention is 50 μm, YI is preferably 30 or less. By controlling the content within such a range, the resin film can be made nearly colorless. On the other hand, when the YI is out of the above range, the yellow or yellowish brown coloring becomes strong, and the visibility of the resin film is lowered.

ポリイミド層は、酸無水物残基及びジアミン残基を含むポリイミドからなり、少なくとも1層のポリイミド層(P1)を構成しているポリイミドが、酸無水物成分から誘導される全酸無水物残基に対し、一般式(1)で表される芳香族テトラカルボン酸無水物から誘導される酸無水物残基を50モル%以上含有し、好ましくは70モル%以上、より好ましくは90モル%以上がよく、このような範囲にすることで耐熱性及び低リタデーションを発現しやすい。また、該ポリイミドに含まれる全ジアミン残基に対し、一般式(2)で表わされる芳香族ジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を50モル%以上含有する。し、好ましくは70モル%以上、より好ましくは90モル%以上である。なお、従来技術では、一般式(2)で表される芳香族ジアミン化合物は含有量が多いと、ポリイミドの高分子鎖の配列が乱れることにより光学特性と熱的特性が大幅に低下する恐れがあると認識されていたが、本発明者らは、当該ジアミンを一定量以上含有させた特定の組成のポリイミドにおいては、一般的な光学特性及び熱的特性を担保しながら、低リタデーションを示すことを見出している。ここで、低リタデーションとは、10μmの厚みにおける厚み方向リタデーションが200nm以下であることを意味する。 The polyimide layer is made of polyimide containing an acid anhydride residue and a diamine residue, and the polyimide constituting at least one polyimide layer (P1) contains all acid anhydride residues derived from the acid anhydride component. , contains 50 mol% or more, preferably 70 mol% or more, more preferably 90 mol% or more of the acid anhydride residue derived from the aromatic tetracarboxylic anhydride represented by the general formula (1) By setting it in such a range, heat resistance and low retardation can be easily exhibited. Further, the polyimide contains 50 mol % or more of diamine residues derived from the aromatic diamine compound represented by the general formula (2) with respect to all diamine residues contained in the polyimide. and preferably 70 mol % or more, more preferably 90 mol % or more. In the prior art, if the content of the aromatic diamine compound represented by the general formula (2) is large, the alignment of the polymer chains of the polyimide is disturbed, and the optical properties and thermal properties may be greatly reduced. However, the present inventors have found that a polyimide having a specific composition containing a certain amount or more of the diamine exhibits low retardation while ensuring general optical properties and thermal properties. is heading. Here, low retardation means that the retardation in the thickness direction is 200 nm or less at a thickness of 10 μm.

一般式(1)で表される芳香族テトラカルボン酸無水物は、ポリイミドに柔軟性を付与するとともに、高分子鎖間のπ-πスタッキング等の相互作用を減少させ、芳香族テトラカルボン酸残基と芳香族ジアミン残基との間の電荷移動(CT)を起こりにくくするため、得られるポリイミドを無色透明に近づけることができると考えられる。また、一般式(2)で表される芳香族ジアミン化合物は2つ以上のベンゼン環を有し、少なくとも2つのベンゼン環に直結したアミノ基と2価の連結基Zがあることで、ポリイミド分子鎖が有する自由度が増加して高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与し、高靭性化を促すと考えられる。なお、本発明において、酸無水物残基とは、テトラカルボン酸二無水物から誘導された4価の基のことを表し、ジアミン残基とは、ジアミン化合物から誘導された2価の基のことを表す。 The aromatic tetracarboxylic anhydride represented by the general formula (1) imparts flexibility to the polyimide and reduces interactions such as π-π stacking between polymer chains, resulting in It is believed that the resulting polyimide can be made nearly colorless and transparent because charge transfer (CT) between the group and the aromatic diamine residue is less likely to occur. Further, the aromatic diamine compound represented by the general formula (2) has two or more benzene rings, and has an amino group and a divalent linking group Z directly attached to at least two benzene rings, so that the polyimide molecule The degree of freedom of the chains is increased, resulting in high flexibility, which is thought to contribute to the improvement of the flexibility of the polyimide molecular chains and promote the enhancement of toughness. In the present invention, the acid anhydride residue represents a tetravalent group derived from a tetracarboxylic dianhydride, and the diamine residue represents a divalent group derived from a diamine compound. represents

ポリイミド層(P1)を構成するポリイミドに含有する酸無水物残基は、一般式(1)で表される芳香族テトラカルボン酸無水物から誘導される酸無水物残基である。 The acid anhydride residue contained in the polyimide constituting the polyimide layer (P1) is an acid anhydride residue derived from the aromatic tetracarboxylic acid anhydride represented by general formula (1).

Figure 0007222089000004
Figure 0007222089000004

式(1)において、Xは単結合、-O-、又は-C(CF-から選ばれる2価の基を示す。In formula (1), X represents a divalent group selected from a single bond, —O—, and —C(CF 3 ) 2 —.

式(1)で表される芳香族テトラカルボン酸無水物としては、例えば4,4’-オキシジフタル酸二無水物(ODPA)、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-ヘキサフルオロプロパン二無水物(6FDA)が挙げられる。これらの芳香族テトラカルボン酸無水物は、ポリイミドフィルムに強度と柔軟性を与えることが可能であり、耐熱性、透明性に優れ、CTEを適切な範囲に制御できることから好ましい。この中でも特に好ましくは、ODPA、6FDAがよい。 Examples of the aromatic tetracarboxylic anhydride represented by formula (1) include 4,4'-oxydiphthalic dianhydride (ODPA) and 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. (BPDA), 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)-hexafluoropropane dianhydride (6FDA). These aromatic tetracarboxylic anhydrides are preferable because they can impart strength and flexibility to the polyimide film, are excellent in heat resistance and transparency, and can control the CTE within an appropriate range. Among these, ODPA and 6FDA are particularly preferred.

ポリイミド層(P1)を構成するポリイミドに含有するジアミン残基は、一般式(2)で表される芳香族ジアミン化合物から誘導されるジアミン残基である。

Figure 0007222089000005
The diamine residue contained in the polyimide constituting the polyimide layer (P1) is a diamine residue derived from the aromatic diamine compound represented by general formula (2).
Figure 0007222089000005

式(2)において、Zは独立に-O-、-S-、-CH-、-CH(CH)-、-C(CH)-、-CO-、-COO-、-SO-、-NH-又は-NHCO-から選ばれる2価の基を示し、好ましくは-O-である。nは0~4の整数を示し、好ましくは0又は1である。
Rは置換基であり、独立に、ハロゲン原子、又は炭素数1~6のハロゲン原子で置換されてもよいアルキル基若しくはアルコキシ基、又は炭素数1~6の1価の炭化水素基若しくはアルコキシ基で置換されてもよいフェニル基若しくはフェノキシ基を示す。nは独立に0~3の整数を示し、好ましくは0又は1である。ここで、「独立に」とは、上記式(2)において、複数の置換基R、2価の基Z、さらに整数nが、同一でもよいし、異なっていてもよいことを意味する。なお、上記式(2)において、末端の二つのアミノ基における水素原子は置換されていてもよく、例えば-NR(ここで、R,Rは、独立してアルキル基などの任意の置換基を意味する)であってもよい。他のジアミン化合物についても同様である。
ただし、一般式(1)中、Xが単結合である場合、式(2)において、Zは独立に-O-、-S-、-CH-、-CH(CH)-又は-NH-から選ばれる2価の基を示す。
In formula (2), Z is independently -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )-, -C(CH 3 ) 2 -, -CO-, -COO-, -SO 2 represents a divalent group selected from -, -NH- or -NHCO-, preferably -O-. n2 represents an integer of 0 to 4, preferably 0 or 1;
R is a substituent and is independently a halogen atom, an alkyl group or alkoxy group optionally substituted with a halogen atom having 1 to 6 carbon atoms, or a monovalent hydrocarbon group or alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms; represents a phenyl group or phenoxy group which may be substituted with n1 independently represents an integer of 0 to 3, preferably 0 or 1; Here, "independently" means that the plurality of substituents R, divalent group Z, and integer n1 may be the same or different in the above formula (2). In the above formula (2), the hydrogen atoms in the two terminal amino groups may be substituted, for example -NR 3 R 4 (wherein R 3 and R 4 are independently alkyl groups, etc.). meaning any substituent). The same applies to other diamine compounds.
However, in general formula (1), when X is a single bond, in formula (2), Z is independently -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )- or -NH - represents a divalent group selected from;

式(2)で表される芳香族ジアミン化合物としては、例えば、3,3’-ジアミノジフェニルメタン、3,3’-ジアミノジフェニルプロパン、3,3’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルメタン、3,4’-ジアミノジフェニルプロパン、3,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’-ジアミノベンゾフェノン、(3,3’-ビスアミノ)ジフェニルアミン、1,4-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE-R)、3-[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼンアミン、3-[3-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼンアミン、4,4'-[2-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、4,4'-[4-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、4,4'-[5-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、ビス[4,4'-(3-アミノフェノキシ)]ベンズアニリド、4-[3-[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]フェノキシ]アニリン、4,4’-[オキシビス(3,1-フェニレンオキシ)]ビスアニリン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル(BAPE)、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ケトン(BAPK)、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)]ビフェニル、2,2-ビス(4-アミノフェノキシフェニル)プロパン(BAPP)、4,4’‐ジアミノジフェニルエーテルなどが挙げられる。これらの中でも、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE-R)が好ましい。 Examples of aromatic diamine compounds represented by formula (2) include 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl Sulfone, 3,3-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylpropane, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminobenzophenone , (3,3′-bisamino)diphenylamine, 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (APB), 1,3-bis(4-aminophenoxy ) Benzene (TPE-R), 3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzenamine, 3-[3-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzenamine, 4,4'-[2-methyl- (1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[4-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[5-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy ]bisaniline, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-( 3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, bis[4,4'-(3-aminophenoxy)] Benzanilide, 4-[3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]phenoxy]aniline, 4,4'-[oxybis(3,1-phenyleneoxy)]bisaniline, bis[4-(4-aminophenoxy) phenyl]ether (BAPE), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ketone (BAPK), bis[4-(3-aminophenoxy)]biphenyl, bis[4-(4-aminophenoxy)]biphenyl, 2,2-bis(4-aminophenoxyphenyl)propane (BAPP), 4,4'-diaminodiphenyl ether, and the like. Among these, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (APB) and 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R) are preferred.

ただし、本発明の目的を阻害しない限り、他の酸無水物残基を含有してもよい。他の酸無水物残基を含む場合は、全酸無水物残基の50モル%以下であり、好ましくは30モル%未満、より好ましくは10モル%未満である。 However, other acid anhydride residues may be contained as long as the object of the present invention is not impaired. When other acid anhydride residues are included, it is 50 mol% or less, preferably less than 30 mol%, more preferably less than 10 mol% of the total acid anhydride residues.

他の酸無水物残基としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,4,5-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,6,7-テトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、2,6-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-テトラクロロナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3'',4,4''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2'',3,3''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3'',4''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3.4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ペリレン-2,3,8,9-テトラカルボン酸二無水物、ペリレン-3,4,9,10-テトラカルボン酸二無水物、ペリレン-4,5,10,11-テトラカルボン酸二無水物、ペリレン-5,6,11,12-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1,2,7,8-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1, 2,6,7-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1,2,9,10-テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4'-オキシジフタル酸二無水物、(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、ジ(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、ジ(ヘプタフルオロプロピル)ピロメリット酸二無水物、ペンタフルオロエチルピロメリット酸二無水物、ビス{3,5-ジ(トリフルオロメチル)フェノキシ}ピロメリット酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、5,5'-ビス(トリフルオロメチル)-3,3',4,4'-テトラカルボキシビフェニル二無水物、2,2',5,5'-テトラキス(トリフルオロメチル)-3,3',4,4'-テトラカルボキシビフェニル二無水物、5,5'-ビス(トリフルオロメチル)-3,3',4,4'-テトラカルボキシジフェニルエーテル二無水物、5,5'-ビス(トリフルオロメチル)-3,3',4,4'-テトラカルボキシベンゾフェノン二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ベンゼン二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}トリフルオロメチルベンゼン二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)トリフルオロメチルベンゼン二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)テトラキス(トリフルオロメチル)ベンゼン二無水物、2,2-ビス{(4-(3,4-ジカルボキシフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ビフェニル二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ジフェニルエーテル二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル二無水物、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、フルオレニリデンビス無水フタル酸、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸ニ無水物から誘導される酸無水物残基などが挙げられる。これらの中でも、ポリイミドフィルムに強度と柔軟性を与えることが可能であり、ポリイミドフィルムの熱膨張係数(CTE)が上がりすぎず、適切な範囲に制御できることからピロメリット酸二無水物又は3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から誘導される酸無水物残基が好ましい。 Other acid anhydride residues include, for example, pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2',3,3'-benzophenonetetracarboxylic acid Acid dianhydride, 2,3,3',4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,4,5- Tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2 ,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene- 2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 2,6-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5, 8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-tetrachloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-tetrachloronaphthalene-2, 3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 2,2',3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3',4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3 ,3'',4,4''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2'',3,3''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 '',4''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(2,3-dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxy phenyl)-propane dianhydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl)ether dianhydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, bis(3.4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride , bis(2,3-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, bis(3,4-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, 1,1-bis(2,3-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,1-bis(3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, perylene-2,3,8,9-tetracarboxylic dianhydride, perylene-3,4,9,10-tetracarboxylic dianhydride anhydride, perylene-4,5,10,11-tetracarboxylic dianhydride, perylene-5,6,11,12-tetracar carboxylic dianhydride, phenanthrene-1,2,7,8-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,2,6,7-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,2,9,10- tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2,3,4, 5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic dianhydride, (trifluoromethyl)pyromellitic dianhydride, di (trifluoromethyl)pyromellitic dianhydride, di(heptafluoropropyl)pyromellitic dianhydride, pentafluoroethylpyromellitic dianhydride, bis{3,5-di(trifluoromethyl)phenoxy}pyro Melitic dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)hexafluoropropane dianhydride, 5,5'-bis(trifluoromethyl)-3,3',4,4'-tetra Carboxybiphenyl dianhydride, 2,2',5,5'-tetrakis(trifluoromethyl)-3,3',4,4'-tetracarboxybiphenyl dianhydride, 5,5'-bis(trifluoromethyl) )-3,3',4,4'-tetracarboxydiphenyl ether dianhydride, 5,5'-bis(trifluoromethyl)-3,3',4,4'-tetracarboxybenzophenone dianhydride, bis{ (trifluoromethyl)dicarboxyphenoxy}benzene dianhydride, bis{(trifluoromethyl)dicarboxyphenoxy}trifluoromethylbenzene dianhydride, bis(dicarboxyphenoxy)trifluoromethylbenzene dianhydride, bis(di Carboxyphenoxy)bis(trifluoromethyl)benzene dianhydride, bis(dicarboxyphenoxy)tetrakis(trifluoromethyl)benzene dianhydride, 2,2-bis{(4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl }hexafluoropropane dianhydride, bis{(trifluoromethyl)dicarboxyphenoxy}biphenyl dianhydride, bis{(trifluoromethyl)dicarboxyphenoxy}bis(trifluoromethyl)biphenyl dianhydride, bis{(tri fluoromethyl)dicarboxyphenoxy}diphenyl ether dianhydride, bis(dicarboxyphenoxy)bis(trifluoromethyl)biphenyl dianhydride, 1,2, acid anhydride residues derived from 3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, fluorenylidenebisphthalic anhydride, and 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride; Among these, it is possible to give strength and flexibility to the polyimide film, and the coefficient of thermal expansion (CTE) of the polyimide film does not increase too much and can be controlled within an appropriate range, so pyromellitic dianhydride or 3,3 Anhydride residues derived from ',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride are preferred.

同様に、本発明の目的を阻害しない限り、他のジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を含有してもよい。他のジアミン残基を含む場合は、全ジアミン残基の50モル%以下であり、好ましくは30モル%未満、より好ましくは10モル%未満である。 Similarly, diamine residues derived from other diamine compounds may be contained as long as they do not interfere with the object of the present invention. When other diamine residues are included, it is 50 mol % or less, preferably less than 30 mol %, more preferably less than 10 mol % of the total diamine residues.

他のジアミン残基としては、例えば、2,2'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノビフェニル(TFMB)、ビス[4-(アミノフェノキシ)フェニル]スルホン(BAPS)、4,6-ジメチル-m-フェニレンジアミン、2,5-ジメチル-p-フェニレンジアミン、2,4-ジアミノメシチレン、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,5,3',5'-テトラメチル-4,4'-ジアミノジフェニルメタン、2,4-トルエンジアミン、m-フェニレンジアミン、p-フェニレンジアミン、4,4'-ジアミノジフェニルプロパン、3,3'-ジアミノジフェニルプロパン、4,4'-ジアミノジフェニルエタン、3,3'-ジアミノジフェニルエタン、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジアミノジフェニルメタン、2,2-ビス(4-アミノフェノキシフェニル)プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4'-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3'-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4'-ジアミノジフェニルスルホン、3,3'-ジアミノジフェニルスルホン、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、ベンジジン、3,3'-ジアミノビフェニル、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニル、3,3'-ジメトキシベンジジン、4,4"-ジアミノ-p-ターフェニル、3,3"-ジアミノ-p-ターフェニル、ビス(p-アミノシクロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノペンチル)ベンゼン、1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジアミノトルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン-2,5-ジアミン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、ピペラジン、4-(1H,1H,11H-エイコサフルオロウンデカノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(1H,1H-パーフルオロ-1-ブタノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(1H,1H-パーフルオロ-1-ヘプタノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(1H,1H-パーフルオロ-1-オクタノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-ペンタフルオロフェノキシ-1,3-ジアミノベンゼン、4-(2,3,5,6-テトラフルオロフェノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(4-フルオロフェノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(1H,1H,2H,2H-パーフルオロ-1-ヘキサノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(1H,1H,2H,2H-パーフルオロ-1-ドデカノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、(2,5)-ジアミノベンゾトリフルオライド、ジアミノテトラ(トリフルオロメチル)ベンゼン、ジアミノ(ペンタフルオロエチル)ベンゼン、2,5-ジアミノ(パーフルオロヘキシル)ベンゼン、2,5-ジアミノ(パーフルオロブチル)ベンゼン、2,2'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノビフェニル、3,3'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノビフェニル、オクタフルオロベンジジン、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、2,2-ビス(4-アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,3-ビス(アニリノ)ヘキサフルオロプロパン、1,4-ビス(アニリノ)オクタフルオロブタン、1,5-ビス(アニリノ)デカフルオロペンタン、1,7-ビス(アニリノ)テトラデカフルオロヘプタン、2,2'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3',5,5'-テトラキス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノベンゾフェノン、4,4'-ジアミノ-p-テルフェニル、1,4-ビス(p-アミノフェニル)ベンゼン、p-(4-アミノ-2-トリフルオロメチルフェノキシ)ベンゼン、ビス(アミノフェノキシ)ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン、ビス(アミノフェノキシ)テトラキス(トリフルオロメチル)ベンゼン、2,2-ビス{4-(4-アミノフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス{4-(3-アミノフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス{4-(2-アミノフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス{4-(4-アミノフェノキシ)-3,5-ジメチルフェニル}ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス{4-(4-アミノフェノキシ)-3.5-ジトリフルオロメチルフェニル}ヘキサフルオロプロパン、4,4'-ビス(4-アミノ-2-トリフルオロメチルフェノキシ)ビフェニル、4,4'-ビス(4-アミノ-3-トリフルオロメチルフェノキシ)ビフェニル、4,4'-ビス(4-アミノ-2-トリフルオロメチルフェノキシ)ジフェニルスルホン、4,4'-ビス(3-アミノ-5-トリフルオロメチルフェノキシ)ジフェニルスルホン、2,2-ビス{4-(4-アミノ-3-トリフルオロメチルフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン、ビス{(トリフルオロメチル)アミノフェノキシ}ビフェニル、ビス〔{(トリフルオロメチル)アミノフェノキシ}フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、ビス{2-〔(アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロイソプロピル}ベンゼン、4,4'-ビス(4-アミノフェノキシ)オクタフルオロビフェニルから誘導されるジアミン残基などが挙げられる。これらの中でも、透明性が高く、着色の程度が低いポリイミドを製造する観点から、2,2-ビス-[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、9,9-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、2,2’-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノビフェニル、4,4'-bビス(2-(トリフルオロメチル)-4-アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2-ビス(4-(2-(トリフルオロメチル)-4-アミノフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン、4,4‘-ビス(3-(トリフルオロメチル)-4-アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’-ビス(3-(トリフルオロメチル)-4-アミノフェノキシ)ビフェニル、p-ビス(2-トリフルオロメチル)-4-アミノフェノキシ]ベンゼンなどのジアミン化合物から誘導されるジアミン残基が好ましい。 Other diamine residues include, for example, 2,2′-bis(trifluoromethyl)-4,4′-diaminobiphenyl (TFMB), bis[4-(aminophenoxy)phenyl]sulfone (BAPS), 4, 6-dimethyl-m-phenylenediamine, 2,5-dimethyl-p-phenylenediamine, 2,4-diaminomesitylene, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,5,3',5 '-Tetramethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,4-toluenediamine, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 4, 4'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminodiphenylethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis(4-aminophenoxyphenyl)propane, 2,2- bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(4- aminophenoxy)benzene, benzidine, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 4,4"-diamino-p-terphenyl, 3,3"-diamino-p-terphenyl, bis(p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl)ether, bis(p-β-methyl-δ-aminopentyl)benzene , p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4 -Bis(β-amino-t-butyl)toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2,5-diamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediene Amine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, piperazine , 4-(1H,1H,11H-eicosafluoroundecanoxy)-1,3-diaminobenzene, 4-(1H,1H-perfluoro-1-butanoxy)-1,3-diaminobenzene, 4-( 1H,1H-perfluoro-1-heptanoxy)-1,3-diaminobenzene, 4-(1H,1H-perfluoro-1-octanoxy)-1,3-diaminobenzene, 4-pentafluorophenoxy-1,3 -diaminobenzene, 4-(2,3,5,6-tetrafluorophenoxy)-1,3-diaminobenzene, 4-(4-fluorophenoxy)-1,3-diaminobenzene, 4-(1H,1H, 2H,2H-perfluoro-1-hexanoxy)-1,3-diaminobenzene, 4-(1H,1H,2H,2H-perfluoro-1-dodecanoxy)-1,3-diaminobenzene, (2,5) -diaminobenzotrifluoride, diaminotetra(trifluoromethyl)benzene, diamino(pentafluoroethyl)benzene, 2,5-diamino(perfluorohexyl)benzene, 2,5-diamino(perfluorobutyl)benzene, 2,2 '-bis(trifluoromethyl)-4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-bis(trifluoromethyl)-4,4'-diaminobiphenyl, octafluorobenzidine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 2 ,2-bis(4-aminophenyl)hexafluoropropane, 1,3-bis(anilino)hexafluoropropane, 1,4-bis(anilino)octafluorobutane, 1,5-bis(anilino)decafluoropentane, 1,7-bis(anilino)tetradecafluoroheptane, 2,2'-bis(trifluoromethyl)-4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-bis(trifluoromethyl)-4,4'- diaminodiphenyl ether, 3,3',5,5'-tetrakis(trifluoromethyl)-4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-bis(trifluoromethyl)-4,4'-diaminobenzophenone, 4, 4'-diamino-p-terphenyl, 1,4-bis(p-aminophenyl)benzene, p-(4-amino-2-trifluoromethylphenoxy)benzene, bis(aminophenoxy)bis(trifluoromethyl) Benzene, bis(aminophenoxy)tetrakis(trifluoromethyl)benzene, 2,2-bis{4-(4-aminophenoxy)phenyl phenyl}hexafluoropropane, 2,2-bis{4-(3-aminophenoxy)phenyl}hexafluoropropane, 2,2-bis{4-(2-aminophenoxy)phenyl}hexafluoropropane, 2,2- bis{4-(4-aminophenoxy)-3,5-dimethylphenyl}hexafluoropropane, 2,2-bis{4-(4-aminophenoxy)-3.5-ditrifluoromethylphenyl}hexafluoropropane, 4, 4'-bis(4-amino-2-trifluoromethylphenoxy)biphenyl, 4,4'-bis(4-amino-3-trifluoromethylphenoxy)biphenyl, 4,4'-bis(4-amino-2 -trifluoromethylphenoxy)diphenylsulfone, 4,4'-bis(3-amino-5-trifluoromethylphenoxy)diphenylsulfone, 2,2-bis{4-(4-amino-3-trifluoromethylphenoxy) phenyl}hexafluoropropane, bis{(trifluoromethyl)aminophenoxy}biphenyl, bis[{(trifluoromethyl)aminophenoxy}phenyl]hexafluoropropane, bis{2-[(aminophenoxy)phenyl]hexafluoroisopropyl} Examples include diamine residues derived from benzene and 4,4'-bis(4-aminophenoxy)octafluorobiphenyl. Among these, from the viewpoint of producing a polyimide with high transparency and a low degree of coloring, 2,2-bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 9,9-bis[4- (3-aminophenoxy)phenyl]fluorene, 2,2′-bis(trifluoromethyl)-4,4′-diaminobiphenyl, 4,4′-b bis(2-(trifluoromethyl)-4-aminophenoxy )biphenyl, 2,2-bis(4-(2-(trifluoromethyl)-4-aminophenoxy)phenyl)hexafluoropropane, 4,4′-bis(3-(trifluoromethyl)-4-aminophenoxy ) biphenyl, 4,4′-bis(3-(trifluoromethyl)-4-aminophenoxy)biphenyl, p-bis(2-trifluoromethyl)-4-aminophenoxy]benzene and other diamine compounds Diamine residues are preferred.

本実施の形態のポリイミドにおいて、上記酸無水物残基及びジアミン残基の種類や、2種以上の酸無水物残基又はジアミン残基のそれぞれのモル比を選定することにより、靭性、熱膨張性、接着性、ガラス転移温度(Tg)等を制御することができる。 In the polyimide of the present embodiment, toughness, thermal expansion, properties, adhesiveness, glass transition temperature (Tg), etc. can be controlled.

本発明の樹脂フィルムは、全光線透過率が80%以上とするために、主たるポリイミド層(以下、「ポリイミド層(A)」と記すこともある)を構成するポリイミド(以下、「主ポリイミド」と記すこともある)は、フッ素原子を含む芳香族ジアミン化合物から誘導されるジアミン残基及び/又はフッ素原子を含む芳香族テトラカルボン酸無水物から誘導される酸無水物残基を含むことが好ましい。ここで、「主たる」とは、樹脂フィルムを構成する複数のポリイミド層において最も大きな厚みを有することを意味し、好ましくは、樹脂フィルムの全厚みに対して50%以上、より好ましくは60%以上の厚みを有することをいう。 Since the resin film of the present invention has a total light transmittance of 80% or more, the main polyimide layer (hereinafter sometimes referred to as "polyimide layer (A)") is composed of polyimide (hereinafter, "main polyimide" ) contains a diamine residue derived from an aromatic diamine compound containing a fluorine atom and/or an acid anhydride residue derived from an aromatic tetracarboxylic acid anhydride containing a fluorine atom. preferable. Here, "main" means having the largest thickness among the plurality of polyimide layers constituting the resin film, preferably 50% or more, more preferably 60% or more of the total thickness of the resin film. It means having a thickness of

ポリイミド層(A)を構成している主ポリイミドは、フッ素含有ジアミン残基を含有することが好ましい。フッ素含有ジアミン残基は、嵩高いフッ素原子を含有する基を有するため、高分子鎖間のπ-πスタッキング等の相互作用を減少させ、芳香族テトラカルボン酸残基と芳香族ジアミン残基との間の電荷移動(CT)を起こりにくくするため、ポリイミドを無色透明に近づけることができると考えられる。 The main polyimide constituting the polyimide layer (A) preferably contains a fluorine-containing diamine residue. Since the fluorine-containing diamine residue has a group containing a bulky fluorine atom, interaction such as π-π stacking between polymer chains is reduced, and the aromatic tetracarboxylic acid residue and the aromatic diamine residue are It is thought that the polyimide can be made nearly colorless and transparent because charge transfer (CT) between is less likely to occur.

フッ素含有ジアミン残基としては、例えば4,4’-ジアミノ-2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)、1,4-ビス(4-アミノ-2-トリフルオロメチルフェノキシ)ベンゼン、3,4-ジアミノ-2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル、4,4’-ビス(2-(トリフルオロメチル)-4-アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2-ビス(4-(2-(トリフルオロメチル)-4-アミノフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン、4,4’-ビス(3-(トリフルオロメチル)-4-アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’-ビス(3-(トリフルオロメチル)-4-アミノフェノキシ)ビフェニル、p-ビス(2-トリフルオロメチル)-4-アミノフェノキシ]ベンゼン、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン等のジアミン化合物から誘導されるジアミン残基などが挙げられる。 Fluorine-containing diamine residues include, for example, 4,4'-diamino-2,2'-bis(trifluoromethyl)biphenyl (TFMB), 1,4-bis(4-amino-2-trifluoromethylphenoxy)benzene , 3,4-diamino-2,2′-bis(trifluoromethyl)biphenyl, 4,4′-bis(2-(trifluoromethyl)-4-aminophenoxy)biphenyl, 2,2-bis(4- (2-(trifluoromethyl)-4-aminophenoxy)phenyl)hexafluoropropane, 4,4'-bis(3-(trifluoromethyl)-4-aminophenoxy)biphenyl, 4,4'-bis(3 -(trifluoromethyl)-4-aminophenoxy)biphenyl, p-bis(2-trifluoromethyl)-4-aminophenoxy]benzene, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]hexa Examples thereof include diamine residues derived from diamine compounds such as fluoropropane.

フッ素含有ジアミン残基の中でも、下記の一般式(A1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基(以下、「A1残基」と記すことがある)を含有することがより好ましい。

Figure 0007222089000006
Among fluorine-containing diamine residues, it is more preferable to contain a diamine residue derived from a diamine compound represented by the following general formula (A1) (hereinafter sometimes referred to as "A1 residue").
Figure 0007222089000006

一般式(A1)中、置換基Xは独立にフッ素原子で置換されている炭素数1~3のアルキル素基を示し、m及びnは独立に1~4の整数を示す。 In general formula (A1), substituent X independently represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms substituted with a fluorine atom, and m and n independently represent an integer of 1 to 4.

A1残基は、芳香族ジアミン残基であり、2個のベンゼン環が単結合で接続されたビフェニル骨格を有しているので、秩序構造を形成しやすく、分子鎖の面内方向の配向が促進されるため、主たる層であるポリイミド層(A)のCTEの増加を抑制し、寸法安定性を高めることができる。このような観点から、ポリイミド層(A)を構成する主ポリイミドは、全ジアミン残基の合計100モル部に対して、A1残基を50モル部以上含有することが好ましく、50モル部以上100モル部以下の範囲内で含有することがより好ましい。 The A1 residue is an aromatic diamine residue and has a biphenyl skeleton in which two benzene rings are connected by a single bond, so it is easy to form an ordered structure, and the in-plane orientation of the molecular chain is Therefore, it is possible to suppress an increase in the CTE of the polyimide layer (A), which is the main layer, and improve the dimensional stability. From such a viewpoint, the main polyimide constituting the polyimide layer (A) preferably contains 50 mol parts or more of A1 residues with respect to a total of 100 mol parts of all diamine residues, and 50 mol parts or more and 100 It is more preferable to contain within the range of mol parts or less.

A1残基の好ましい具体例としては、4,4’-ジアミノ-2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)、3,4-ジアミノ-2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル等のジアミン化合物から誘導されるジアミン残基が挙げられる。 Preferred specific examples of A1 residues are 4,4'-diamino-2,2'-bis(trifluoromethyl)biphenyl (TFMB), 3,4-diamino-2,2'-bis(trifluoromethyl) Examples include diamine residues derived from diamine compounds such as biphenyl.

ポリイミド層(A)を構成している主ポリイミドは、上記以外のジアミン残基として、一般にポリイミドの合成に使用されるジアミン成分から誘導されるジアミン残基を含んでいてもよい。 The main polyimide constituting the polyimide layer (A) may contain, as a diamine residue other than those described above, a diamine residue derived from a diamine component generally used in polyimide synthesis.

ポリイミド層(A)を構成している主ポリイミドは、フッ素含有酸無水物残基を含有することが好ましい。フッ素含有酸無水物残基は、嵩高いフッ素原子を含有する基を有するため、高分子鎖間のπ-πスタッキング等の相互作用を減少させ、芳香族テトラカルボン酸残基と芳香族ジアミン残基との間の電荷移動(CT)を起こりにくくするため、ポリイミドを無色透明に近づけることができると考えられる。 The main polyimide constituting the polyimide layer (A) preferably contains a fluorine-containing acid anhydride residue. Since the fluorine-containing acid anhydride residue has a group containing a bulky fluorine atom, it reduces interactions such as π-π stacking between polymer chains, resulting in an aromatic tetracarboxylic acid residue and an aromatic diamine residue. It is believed that the polyimide can be made nearly colorless and transparent because charge transfer (CT) between it and the group is less likely to occur.

フッ素含有酸無水物残基としては、例えば2,2'-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物(6FDA)等の酸無水物成分から誘導される酸無水物残基を挙げることができる。 Examples of fluorine-containing acid anhydride residues include acid anhydride residues derived from acid anhydride components such as 2,2'-bis(3,4-dicarboxyphenyl)hexafluoropropane dianhydride (6FDA). can be mentioned.

また、ポリイミド層(A)を構成している主ポリイミドは、ポリイミド層(A)のCTEを上記範囲内に制御するため、下記の式(B1)で表される、ピロメリット酸二無水物(PMDA)から誘導される4価の酸無水物残基(以下、「PMDA残基」と記すことがある)を含有することが好ましい。PMDA残基は、全酸無水物残基の合計100モル部に対して、50モル部以上含有することが好ましく、60モル部以上100モル部以下の範囲内で含有することがより好ましい。PMDA残基が50モル部未満では、ポリイミド層(A)のCTEが高くなって寸法安定性が低下する。

Figure 0007222089000007
In addition, the main polyimide constituting the polyimide layer (A) is pyromellitic dianhydride ( It preferably contains a tetravalent acid anhydride residue (hereinafter sometimes referred to as "PMDA residue") derived from PMDA). The PMDA residue is preferably contained in an amount of 50 mol parts or more, more preferably 60 mol parts or more and 100 mol parts or less, based on a total of 100 mol parts of all acid anhydride residues. If the PMDA residue is less than 50 mol parts, the CTE of the polyimide layer (A) is high and the dimensional stability is lowered.
Figure 0007222089000007

また、ポリイミド層(A)を構成している主ポリイミドは、上記以外の酸無水物残基として、一般にポリイミドの合成に使用される酸無水物成分から誘導される酸無水物残基を含んでいてもよい。そのような酸無水物残基としては、芳香族テトラカルボン酸残基が好ましい。また、脂環式テトラカルボン酸残基を含有してもよく、例えば、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、フルオレニリデンビス無水フタル酸、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸ニ無水物、シクロタノンビススピロノルボルナンテトラカルボン酸二無水物などの脂環式テトラカルボン酸二無水物から誘導される酸無視物残基が好ましく挙げられる。 In addition, the main polyimide constituting the polyimide layer (A) contains, as an acid anhydride residue other than the above, an acid anhydride residue derived from an acid anhydride component generally used in polyimide synthesis. You can An aromatic tetracarboxylic acid residue is preferred as such an acid anhydride residue. It may also contain alicyclic tetracarboxylic acid residues, such as 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, fluorenylidene bisphthalic anhydride, 1,2,4,5 Acid-negative residues derived from alicyclic tetracarboxylic dianhydrides such as -cyclohexanetetracarboxylic dianhydride and cyclotanonebisspironorbornanetetracarboxylic dianhydride are preferred.

次に、複数のポリイミド層を構成するポリイミドの合成方法について説明する。
本実施の形態のポリイミドは、上記酸無水物及びジアミンを溶媒中で反応させ、ポリアミド酸を生成したのち加熱閉環させることにより製造できる。例えば、酸無水物成分とジアミン成分をほぼ等モルで有機溶媒中に溶解させて、0℃以上100℃以下の範囲内の温度で30分乃至24時間撹拌し重合反応させることでポリイミドの前駆体であるポリアミド酸が得られる。反応にあたっては、生成する前駆体が有機溶媒中に5重量%以上30重量%以下の範囲内、好ましくは10重量%以上20重量%以下の範囲内となるように反応成分を溶解する。重合反応に用いる有機溶媒としては、例えば、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド(DMAC)、N-メチル-2-ピロリドン、2-ブタノン、ジメチルスホキシド、硫酸ジメチル、シクロヘキサノン、ジオキサン、テトラヒドロフラン、ジグライム、トリグライム、γ‐プチロラクト等が挙げられる。これらの溶媒を2種以上併用して使用することもでき、更にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素の併用も可能である。また、このような有機溶剤の使用量としては特に制限されるものではないが、重合反応によって得られるポリアミド酸溶液(ポリイミド前駆体溶液)の濃度が5重量%乃至30重量%程度になるような使用量に調整して用いることが好ましい。
Next, a method for synthesizing polyimide constituting a plurality of polyimide layers will be described.
The polyimide of the present embodiment can be produced by reacting the above acid anhydride and diamine in a solvent to produce a polyamic acid, followed by heat ring closure. For example, an acid anhydride component and a diamine component are dissolved in approximately equimolar amounts in an organic solvent and stirred at a temperature within the range of 0° C. or higher and 100° C. or lower for 30 minutes to 24 hours for a polymerization reaction to form a polyimide precursor. A polyamic acid is obtained. In the reaction, the reaction components are dissolved in the organic solvent so that the resulting precursor is within the range of 5% by weight to 30% by weight, preferably within the range of 10% by weight to 20% by weight. Organic solvents used in the polymerization reaction include, for example, N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide (DMAC), N-methyl-2-pyrrolidone, 2-butanone, dimethylsulfoxide, dimethyl sulfate, cyclohexanone, dioxane. , tetrahydrofuran, diglyme, triglyme, γ-butyrolacto and the like. Two or more of these solvents can be used in combination, and aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene can also be used in combination. The amount of the organic solvent to be used is not particularly limited, but is such that the concentration of the polyamic acid solution (polyimide precursor solution) obtained by the polymerization reaction is about 5% by weight to 30% by weight. It is preferable to adjust the amount used.

ポリイミドの合成において、上記酸無水物及びジアミンはそれぞれ、その1種のみを使用してもよく2種以上を併用して使用することもできる。酸無水物及びジアミンの種類や、2種以上の酸無水物又はジアミンを使用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、熱膨張性、接着性、ガラス転移温度等を制御することができる。 In the synthesis of polyimide, each of the above acid anhydrides and diamines may be used alone or in combination of two or more thereof. Thermal expansibility, adhesion, glass transition temperature, etc. can be controlled by selecting the types of acid anhydrides and diamines, and the respective molar ratios when two or more acid anhydrides or diamines are used. .

また、本実施の形態のポリイミドは、末端封止剤を用いてもよい。末端封止剤としてはモノアミン類あるいはジカルボン酸類が好ましい。導入される末端封止剤の仕込み量としては、酸無水物成分1モルに対して0.0001モル以上0.1モル以下の範囲内が好ましく、特に0.001モル以上0.05モル以下の範囲内が好ましい。モノアミン類末端封止剤としては、例えば、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、ブチルアミン、ベンジルアミン、4-メチルベンジルアミン、4-エチルベンジルアミン、4-ドデシルベンジルアミン、3-メチルベンジルアミン、アニリン、4-メチルアニリン等が推奨される。これらのうち、ベンジルアミン、アニリンが好適に使用できる。ジカルボン酸類末端封止剤としては、ジカルボン酸類が好ましく、その一部を閉環していてもよい。例えば、フタル酸、無水フタル酸、4-クロロフタル酸、テトラフルオロフタル酸、シクロペンタン-1,2-ジカルボン酸、4-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸等が推奨される。これらのうち、フタル酸、無水フタル酸が好適に使用できる。 Moreover, a terminal blocker may be used for the polyimide of the present embodiment. Monoamines or dicarboxylic acids are preferable as the terminal blocking agent. The amount of the terminal blocker to be introduced is preferably in the range of 0.0001 mol or more and 0.1 mol or less, particularly 0.001 mol or more and 0.05 mol or less per 1 mol of the acid anhydride component. Within the range is preferred. Monoamine terminal blockers include, for example, methylamine, ethylamine, propylamine, butylamine, benzylamine, 4-methylbenzylamine, 4-ethylbenzylamine, 4-dodecylbenzylamine, 3-methylbenzylamine, aniline, 4-methylaniline and the like are recommended. Among these, benzylamine and aniline are preferably used. Dicarboxylic acids are preferable as the dicarboxylic acid end blocking agent, and a part of them may be ring-closed. For example, phthalic acid, phthalic anhydride, 4-chlorophthalic acid, tetrafluorophthalic acid, cyclopentane-1,2-dicarboxylic acid, 4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid and the like are recommended. Among these, phthalic acid and phthalic anhydride can be preferably used.

合成されたポリアミド酸は、通常、反応溶媒溶液として使用することが有利であるが、必要により濃縮、希釈又は他の有機溶媒に置換することができる。また、ポリアミド酸は一般に溶媒可溶性に優れるので、有利に使用される。ポリアミド酸をイミド化させる方法は、特に制限されず、例えば前記溶媒中で、80℃以上400℃以下の範囲内の温度条件で1時間乃至24時間かけて加熱するといった熱処理が好適に採用される。 It is usually advantageous to use the synthesized polyamic acid as a reaction solvent solution, but if necessary, it can be concentrated, diluted, or replaced with another organic solvent. Polyamic acid is also advantageously used because it is generally excellent in solvent solubility. The method for imidating the polyamic acid is not particularly limited, for example, a heat treatment such as heating for 1 hour to 24 hours under a temperature condition within the range of 80 ° C. or higher and 400 ° C. or lower in the solvent is preferably adopted. .

ポリアミド酸の重量平均分子量は、例えば10,000以上400,000以下の範囲内が好ましく、50,000以上350,000以下の範囲内がより好ましい。重量平均分子量が10,000未満であると、フィルムの強度が低下して脆化しやすい傾向となる。一方、重量平均分子量が400,000を超えると、過度に粘度が増加して塗工作業の際にフィルム厚みムラ、スジ等の不良が発生しやすい傾向になる。 The weight average molecular weight of the polyamic acid is, for example, preferably in the range of 10,000 to 400,000, more preferably in the range of 50,000 to 350,000. If the weight-average molecular weight is less than 10,000, the strength of the film is lowered and the film tends to become brittle. On the other hand, if the weight-average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity increases excessively, and defects such as uneven film thickness and streaks tend to occur during coating.

本実施の形態の樹脂フィルムは、複数のポリイミド層を有し、少なくとも1層のポリイミド層が本実施の形態のポリイミドで構成され、絶縁樹脂からなるフィルム(シート)であってもよく、銅箔、ガラス板、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルムなどの樹脂シート等の基材に積層された状態の絶縁樹脂のフィルムであってもよい。 The resin film of the present embodiment has a plurality of polyimide layers, at least one polyimide layer is composed of the polyimide of the present embodiment, may be a film (sheet) made of an insulating resin, or may be a copper foil. , a glass plate, a polyimide-based film, a polyamide-based film, a polyester-based film, or other resin sheet or the like, or an insulating resin film laminated on a base material.

本実施の形態の樹脂フィルムの形成方法については特に限定されないが、例えば、[1]支持基材に、ポリアミド酸の溶液を塗布・乾燥した後、イミド化して樹脂フィルムを製造する方法(以下、キャスト法)、[2]支持基材に、ポリアミド酸の溶液を塗布・乾燥した後、ポリアミド酸のゲルフィルムを支持基材から剥がし、イミド化して樹脂フィルムを製造する方法などが挙げられる。また、本実施の形態で製造される樹脂フィルムは、複数のポリイミド層からなるので、その製造方法の態様としては、例えば、[3]支持基材に、ポリアミド酸の溶液を塗布・乾燥することを複数回繰り返した後、イミド化を行う方法(以下、逐次塗工法)、[4]支持基材に、多層押出により、同時にポリアミド酸の積層構造体を塗布・乾燥した後、イミド化を行う方法(以下、多層押出法)などが挙げられる。ポリイミド溶液(又はポリアミド酸溶液)を基材上に塗布する方法としては特に制限されず、例えばコンマ、ダイ、ナイフ、リップ等のコーターにて塗布することが可能である。多層のポリイミド層の形成に際しては、ポリイミド溶液(又はポリアミド酸溶液)を基材に塗布、乾燥する操作を繰り返す方法が好ましい。 The method for forming the resin film of the present embodiment is not particularly limited, but for example, [1] a method of applying a polyamic acid solution to a supporting substrate, drying it, and then imidating it to produce a resin film (hereinafter referred to as cast method), and [2] a method in which a polyamic acid solution is applied to a supporting substrate and dried, then the polyamic acid gel film is peeled off from the supporting substrate and imidized to produce a resin film. In addition, since the resin film produced in the present embodiment is composed of a plurality of polyimide layers, the method for producing the film may include, for example, [3] applying and drying a polyamic acid solution to a supporting substrate. After repeating a plurality of times, a method of imidizing (hereinafter referred to as a sequential coating method), [4] The support substrate is simultaneously coated and dried with a polyamic acid laminate structure by multilayer extrusion, followed by imidization. method (hereinafter referred to as multilayer extrusion method), and the like. The method of applying the polyimide solution (or polyamic acid solution) onto the substrate is not particularly limited, and it can be applied, for example, by a comma, die, knife, lip coater, or the like. When forming a multi-layered polyimide layer, a method of repeating the operation of applying a polyimide solution (or a polyamic acid solution) to a base material and drying the solution is preferred.

本実施の形態の樹脂フィルムは、本発明の目的を阻害しない限りにおいて、必要に応じ、ポリイミド層中に無機フィラーを含有してもよい。具体的には、例えば二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ベリリウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、フッ化アルミニウム、フッ化カルシウム等が挙げられる。これらは1種又は2種以上を混合して用いることができる。 The resin film of the present embodiment may optionally contain an inorganic filler in the polyimide layer as long as the object of the present invention is not hindered. Specific examples include silicon dioxide, aluminum oxide, magnesium oxide, beryllium oxide, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, aluminum fluoride, and calcium fluoride. These can be used singly or in combination of two or more.

以下に、本発明の金属張積層体について説明する。
本発明の金属張積層体は、絶縁樹脂層の少なくとも一方の面、すなわち、片側又は両側に金属層を有する。そして、絶縁樹脂層は2層以上のポリイミド樹脂層を有し、少なくとも一層が上述したポリイミド層(P1)である。
The metal-clad laminate of the present invention is described below.
The metal-clad laminate of the present invention has a metal layer on at least one side of the insulating resin layer, that is, on one side or both sides. The insulating resin layer has two or more polyimide resin layers, at least one of which is the polyimide layer (P1) described above.

本実施の形態の金属張積層体において、例えば、ポリイミド層(P1)及び主たるポリイミド層(P2)からなる絶縁樹脂層に、金属層(M1)及び金属層(M2)が積層する実施形態とすると、好ましくは次のような構成1~4が例示される。好ましくは、絶縁樹脂層と金属層との接着性を高めるため、金属層(M1)又は金属層(M2)の少なくとも一方の面に接するポリイミド層(P1)が接着層であることがよい。ここで、主たるポリイミド層(P2)の合計の厚みは、絶縁樹脂層の厚みに対して、50%以上とすることが好ましい。 In the metal-clad laminate of the present embodiment, for example, in an embodiment in which a metal layer (M1) and a metal layer (M2) are laminated on an insulating resin layer composed of a polyimide layer (P1) and a main polyimide layer (P2), , preferably the following configurations 1 to 4 are exemplified. Preferably, the polyimide layer (P1) in contact with at least one surface of the metal layer (M1) or the metal layer (M2) is an adhesive layer in order to enhance the adhesion between the insulating resin layer and the metal layer. Here, the total thickness of the main polyimide layer (P2) is preferably 50% or more of the thickness of the insulating resin layer.

構成1;M1/P1/P2
構成2;M1/P1/P2/P1
構成3;M1/P1/P2/P1/M2
構成4;M1/P1/P2/P1/P2/P1/M2
Configuration 1; M1/P1/P2
Configuration 2; M1/P1/P2/P1
Configuration 3; M1/P1/P2/P1/M2
Configuration 4; M1/P1/P2/P1/P2/P1/M2

本実施の形態の金属張積層体において、絶縁樹脂層は、単層又は複数層のポリイミド層からなるが、複数層のポリイミド層を有することが好ましい。複数のポリイミド層を有することによって、耐熱性、接着性、柔軟性、透明性などの各物性に優れた絶縁樹脂層となすことができる。複数のポリイミド層は、ポリイミド層(P1)と他のポリイミド層との二層構造でもよく、好ましくは三層であり、ポリイミド層(P1)を外層に配置するとよい。より好ましくは、三層のうち内層を除く二つの外層をいずれもポリイミド層(P1)にするとよい。例えば、複数のポリイミド層をキャスト法によって形成する場合では、キャスト面側からポリイミド層(P1)及びポリイミド層(P1)以外のポリイミド層がこの順序で積層された二層構造とすることでもよいし、キャスト面側からポリイミド層(P1)、ポリイミド層(P1)以外のポリイミド層及びポリイミド層(P1)がこの順序で積層された三層構造とすることでもよい。ここで言う「キャスト面」とはポリイミド層を形成する際における、支持体側の面のことを示す。支持体は、金属張積層体の金属層であっても良いし、ゲルフィルム等を形成する際の支持体であっても良い。なお、複数のポリイミド層においてキャスト面と反対側の面は「ラミネート面」と記述するが、特に記述が無い場合、ラミネート面に金属層が積層されていてもされていなくても良い。 In the metal-clad laminate of the present embodiment, the insulating resin layer is composed of a single layer or a plurality of polyimide layers, and preferably has a plurality of polyimide layers. By having a plurality of polyimide layers, an insulating resin layer having excellent physical properties such as heat resistance, adhesiveness, flexibility and transparency can be obtained. The plurality of polyimide layers may have a two-layer structure of a polyimide layer (P1) and another polyimide layer, preferably three layers, and the polyimide layer (P1) may be arranged as an outer layer. More preferably, of the three layers, two outer layers excluding the inner layer are both polyimide layers (P1). For example, when forming a plurality of polyimide layers by a casting method, it may be a two-layer structure in which the polyimide layer (P1) and the polyimide layer other than the polyimide layer (P1) are laminated in this order from the cast surface side. A three-layer structure in which a polyimide layer (P1), a polyimide layer other than the polyimide layer (P1), and the polyimide layer (P1) are laminated in this order from the cast surface side may be employed. As used herein, the term "cast surface" refers to the surface facing the support when the polyimide layer is formed. The support may be a metal layer of a metal-clad laminate, or may be a support for forming a gel film or the like. The surface opposite to the cast surface of the polyimide layers is described as a "laminate surface", but unless otherwise specified, the laminate surface may or may not have a metal layer laminated thereon.

ポリイミド層(P1)を構成するポリイミドは熱可塑性ポリイミドとすることが好ましく、絶縁樹脂層としての接着性を向上させ、金属層との接着層としての適用が好適となる。従って、ポリイミド層(P1)が金属層に直接積層する絶縁樹脂層が最も好ましい実施形態となる。 The polyimide constituting the polyimide layer (P1) is preferably a thermoplastic polyimide, which improves adhesion as an insulating resin layer and is suitable for use as an adhesive layer with a metal layer. Therefore, the most preferred embodiment is an insulating resin layer in which the polyimide layer (P1) is directly laminated on the metal layer.

絶縁樹脂層の好ましい実施形態は、熱可塑性のポリイミド層(P1)と、非熱可塑性ポリイミドから構成される非熱可塑性ポリイミド層と、を有し、この非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも一方に熱可塑性ポリイミド層となるポリイミド層(P1)を有するものがよい。すなわち、ポリイミド層(P1)は、非熱可塑性ポリイミド層の片面又は両面に設けるとよい。 A preferred embodiment of the insulating resin layer has a thermoplastic polyimide layer (P1) and a non-thermoplastic polyimide layer composed of a non-thermoplastic polyimide, and at least one of the non-thermoplastic polyimide layers has a thermoplastic It is preferable to have a polyimide layer (P1) to be a polyimide layer. That is, the polyimide layer (P1) is preferably provided on one side or both sides of the non-thermoplastic polyimide layer.

また、非熱可塑性ポリイミド層は低熱膨張性のポリイミド層を構成し、熱可塑性ポリイミド層は高熱膨張性のポリイミド層を構成する。ここで、低熱膨張性のポリイミド層は、熱膨張係数(CTE)が好ましくは1ppm/K以上25ppm/K以下の範囲内、より好ましくは3ppm/K以上25ppm/K以下の範囲内のポリイミド層をいう。また、高熱膨張性のポリイミド層は、CTEが好ましくは35ppm/K以上、より好ましくは35ppm/K以上80ppm/K以下の範囲内、更に好ましくは35ppm/K以上70ppm/K以下の範囲内のポリイミド層をいう。ポリイミド層は、使用する原料の組合せ、厚み、乾燥・硬化条件を適宜変更することで所望のCTEを有するポリイミド層とすることができる。
ここで、非熱可塑性ポリイミドとは、一般に加熱しても軟化、接着性を示さないポリイミドのことであるが、本発明では、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、350℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であるポリイミドをいう。また、熱可塑性ポリイミドとは、一般にガラス転移温度(Tg)が明確に確認できるポリイミドのことであるが、本発明では、DMAを用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa未満であり、350℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa未満であるポリイミドをいう。
Also, the non-thermoplastic polyimide layer constitutes a low thermal expansion polyimide layer, and the thermoplastic polyimide layer constitutes a high thermal expansion polyimide layer. Here, the low thermal expansion polyimide layer preferably has a coefficient of thermal expansion (CTE) in the range of 1 ppm/K or more and 25 ppm/K or less, more preferably 3 ppm/K or more and 25 ppm/K or less. say. Further, the high thermal expansion polyimide layer preferably has a CTE of 35 ppm/K or more, more preferably 35 ppm/K or more and 80 ppm/K or less, still more preferably 35 ppm/K or more and 70 ppm/K or less. layer. The polyimide layer can be made into a polyimide layer having a desired CTE by appropriately changing the combination of raw materials to be used, thickness, and drying/curing conditions.
Here, non-thermoplastic polyimide generally refers to polyimide that does not soften or exhibit adhesiveness when heated. A polyimide having a storage modulus of 1.0×10 9 Pa or more at 350° C. and a storage modulus of 1.0×10 8 Pa or more at 350° C. In addition, thermoplastic polyimide is generally a polyimide whose glass transition temperature (Tg) can be clearly confirmed. In the present invention, the storage modulus at 30 ° C. measured using DMA is 1.0 × 10 9 Pa and a storage modulus at 350° C. of less than 1.0×10 8 Pa.

絶縁樹脂層の厚さは、5μm以上20μm以下の範囲内である。このような範囲に制御することで、高透明性と無色性を向上させることができる。また、絶縁樹脂層の厚みが上記下限値に満たないと、電気絶縁性が担保出来ないことや、ハンドリング性の低下により製造工程にて取扱いが困難になるなどの問題が生じることがある。一方、絶縁樹脂層の厚みが上記上限値を超えると、エッチング前後の寸法変化が大きくなり、黄色~黄褐色の着色が強くなって、絶縁樹脂層の視認性が低下する。絶縁樹脂層の厚みは、好ましくは5μm以上12μm以下の範囲内がよい。 The thickness of the insulating resin layer is within the range of 5 μm or more and 20 μm or less. By controlling the content within such a range, high transparency and colorlessness can be improved. Further, if the thickness of the insulating resin layer is less than the above lower limit, problems may occur such as the inability to ensure electrical insulation and the deterioration of handling properties, making it difficult to handle in the manufacturing process. On the other hand, if the thickness of the insulating resin layer exceeds the above upper limit value, the dimensional change before and after etching becomes large, and yellow to yellowish brown coloring becomes strong, and the visibility of the insulating resin layer decreases. The thickness of the insulating resin layer is preferably in the range of 5 μm or more and 12 μm or less.

本実施の形態の金属張積層体の寸法安定性と絶縁樹脂層の高透明性及び無色性を維持し、金属層との接着性を向上させるために、金属層に接するポリイミド層(P1)の厚みをT1、主たるポリイミド層(以下、「ポリイミド層(A)」と記すこともある)の厚みをT2とした際に、T1の厚みは1μm以上4μm以下の範囲内が好ましく、T2の厚みは4μm以上19μm以下の範囲内が好ましい。別の観点から、T1の厚みは、絶縁樹脂層の厚みに対して20%以下とすることが好ましい。ここで、「主たる」とは、絶縁樹脂層を構成する複数のポリイミド層において最も大きな厚みを有することを意味し、好ましくは、絶縁樹脂層の厚みに対して60%以上、より好ましくは70%以上の厚みを有することをいう。
主たるポリイミド層は、非熱可塑性ポリイミドで構成することが好ましい。
In order to maintain the dimensional stability of the metal-clad laminate of the present embodiment and the high transparency and colorlessness of the insulating resin layer, and to improve the adhesion with the metal layer, the polyimide layer (P1) in contact with the metal layer When the thickness is T1 and the thickness of the main polyimide layer (hereinafter sometimes referred to as "polyimide layer (A)") is T2, the thickness of T1 is preferably in the range of 1 μm or more and 4 μm or less, and the thickness of T2 is A range of 4 μm or more and 19 μm or less is preferable. From another point of view, the thickness of T1 is preferably 20% or less of the thickness of the insulating resin layer. Here, “main” means having the largest thickness among the polyimide layers constituting the insulating resin layer, preferably 60% or more, more preferably 70% of the thickness of the insulating resin layer. It means having a thickness equal to or greater than
The main polyimide layer is preferably composed of non-thermoplastic polyimide.

絶縁樹脂層は、耐熱性の観点から、ガラス転移温度(Tg)は280℃以上の耐熱性を有する。好ましくは350℃以上、より好ましくは380℃以上である。また、熱分解温度(1%重量減少温度、Td1)としては、好ましくは350℃以上、より好ましくは450℃以上がよい。 From the viewpoint of heat resistance, the insulating resin layer has a glass transition temperature (Tg) of 280° C. or higher. It is preferably 350° C. or higher, more preferably 380° C. or higher. Moreover, the thermal decomposition temperature (1% weight loss temperature, Td1) is preferably 350° C. or higher, more preferably 450° C. or higher.

絶縁樹脂層の熱膨張係数(CTE)は、10ppm/K以上30ppm/K以下の範囲内である。このような範囲に制御することで、カール等の変形を抑制でき、また高い寸法安定性を担保できる。ここで、CTEは、絶縁樹脂層のMD方向及びTD方向の熱膨張係数の平均値である。 The coefficient of thermal expansion (CTE) of the insulating resin layer is within the range of 10 ppm/K or more and 30 ppm/K or less. By controlling the thickness within such a range, deformation such as curling can be suppressed, and high dimensional stability can be ensured. Here, CTE is the average value of thermal expansion coefficients in the MD direction and the TD direction of the insulating resin layer.

絶縁樹脂層は、透明性の観点から、可視領域の全光線透過率が80%以上である。また、波長が450nmにおける光透過率は好ましくは70%以上、より好ましくは80%以上がよい。例えば、絶縁樹脂層の厚さ20μmにおいて、それを満足することが好ましい。より好ましくは、全光線透過率が85%以上である。このような範囲に制御することで、絶縁樹脂層における光の反射、散乱による白濁が抑制され、優れた透明性を有するものとなる。全光線透過率が80%未満では、濁度が高くなって、絶縁樹脂層の透明性が低下する。 From the viewpoint of transparency, the insulating resin layer has a total light transmittance of 80% or more in the visible region. Also, the light transmittance at a wavelength of 450 nm is preferably 70% or more, more preferably 80% or more. For example, it is preferable that the thickness of the insulating resin layer is 20 μm. More preferably, the total light transmittance is 85% or more. By controlling the thickness within such a range, white turbidity due to reflection and scattering of light in the insulating resin layer is suppressed, and excellent transparency is obtained. If the total light transmittance is less than 80%, the turbidity increases and the transparency of the insulating resin layer decreases.

また、絶縁樹脂層のYIは10以下であり、好ましくは5以下、より好ましくは3.5以下である。例えば、絶縁樹脂層の厚さ20μmにおいて、それを満足することが好ましい。このような範囲に制御することで、絶縁樹脂層をほぼ無色に近づけることができる。一方、YIが上記のような範囲を外れると、黄色~黄褐色の着色が強くなって、絶縁樹脂層の視認性が低下する。 The YI of the insulating resin layer is 10 or less, preferably 5 or less, more preferably 3.5 or less. For example, it is preferable that the thickness of the insulating resin layer is 20 μm. By controlling the thickness within such a range, the insulating resin layer can be made nearly colorless. On the other hand, when the YI is outside the above range, yellow to yellowish brown coloring becomes strong, and the visibility of the insulating resin layer is lowered.

絶縁樹脂層のHAZEは3%以下であり、好ましくは2%以下がよい。このような範囲に制御することで、絶縁樹脂層における視認性を向上させることができる。HAZEが3%を超えると、例えば光散乱が生じやすくなる。また、HAZEは、絶縁樹脂層の表面プロファイルに依存し、ロープロファイルの絶縁樹脂層であっても、接着強度と透明性を両立し、例えば微細な金属層を積層する回路基板に好適に利用できる。 The HAZE of the insulating resin layer is 3% or less, preferably 2% or less. By controlling the thickness within such a range, the visibility of the insulating resin layer can be improved. If the HAZE exceeds 3%, for example, light scattering tends to occur. In addition, HAZE depends on the surface profile of the insulating resin layer, and even if it is a low-profile insulating resin layer, it can achieve both adhesive strength and transparency, and can be suitably used for circuit boards on which fine metal layers are laminated, for example. .

絶縁樹脂層の引張強度は100MPa以上であり、好ましくは150MPa以上、より好ましくは200MPa以上がよい。このような範囲に制御することで、絶縁樹脂層の強度を向上させることができる。引張強度が100MPa未満であると、絶縁樹脂層の裂けや破断が生じやすくなる。 The insulating resin layer has a tensile strength of 100 MPa or more, preferably 150 MPa or more, and more preferably 200 MPa or more. By controlling the thickness within such a range, the strength of the insulating resin layer can be improved. If the tensile strength is less than 100 MPa, the insulating resin layer is likely to tear or break.

本実施の形態の金属張積層体における絶縁樹脂層の形成方法については特に限定されないが、例えば、[1]支持基材に、ポリアミド酸の溶液を塗布・乾燥した後、イミド化して樹脂フィルムを製造する方法(以下、キャスト法)、[2]支持基材に、ポリアミド酸の溶液を塗布・乾燥した後、ポリアミド酸のゲルフィルムを支持基材から剥がし、イミド化して樹脂フィルムを製造する方法などが挙げられる。また、絶縁樹脂層が、複数のポリイミド層からなる場合、その製造方法の態様としては、例えば、[3]支持基材に、ポリアミド酸の溶液を塗布・乾燥することを複数回繰り返した後、イミド化を行う方法(以下、逐次塗工法)、[4]支持基材に、多層押出により、同時にポリアミド酸の積層構造体を塗布・乾燥した後、イミド化を行う方法(以下、多層押出法)などが挙げられる。ポリイミド溶液(又はポリアミド酸溶液)を基材上に塗布する方法としては特に制限されず、例えばコンマ、ダイ、ナイフ、リップ等のコーターにて塗布することが可能である。多層のポリイミド層の形成に際しては、ポリイミド溶液(又はポリアミド酸溶液)を基材に塗布、乾燥する操作を繰り返す方法が好ましい。
特に、樹脂フィルムにおけるポリイミド層(P1)の面と金属層と重ね合わせて熱圧着する工程を含むことが望ましい。
The method for forming the insulating resin layer in the metal-clad laminate of the present embodiment is not particularly limited. Production method (hereinafter referred to as casting method) [2] A method of applying a polyamic acid solution to a supporting substrate and drying it, then peeling off the polyamic acid gel film from the supporting substrate and imidizing it to produce a resin film etc. Further, when the insulating resin layer is composed of a plurality of polyimide layers, as an embodiment of the manufacturing method, for example, [3] After repeating coating and drying the polyamic acid solution on the supporting substrate a plurality of times, A method of imidization (hereinafter referred to as a sequential coating method), [4] A method of simultaneously applying and drying a polyamic acid laminate structure to a support substrate by multilayer extrusion and then imidizing (hereinafter referred to as a multilayer extrusion method ) and the like. The method of applying the polyimide solution (or polyamic acid solution) onto the substrate is not particularly limited, and it can be applied, for example, by a comma, die, knife, lip coater, or the like. When forming a multi-layered polyimide layer, a method of repeating the operation of applying a polyimide solution (or a polyamic acid solution) to a base material and drying the solution is preferred.
In particular, it is desirable to include a step of superimposing the surface of the polyimide layer (P1) and the metal layer on the resin film and bonding them by thermocompression.

本実施の形態のポリイミド層は、本発明の目的を阻害しない限りにおいて、必要に応じ、ポリイミド層中に無機フィラーを含有してもよい。具体的には、例えば二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ベリリウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、フッ化アルミニウム、フッ化カルシウム等が挙げられる。これらは1種又は2種以上を混合して用いることができる。 The polyimide layer of the present embodiment may optionally contain an inorganic filler as long as the object of the present invention is not hindered. Specific examples include silicon dioxide, aluminum oxide, magnesium oxide, beryllium oxide, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, aluminum fluoride, and calcium fluoride. These can be used singly or in combination of two or more.

本実施の形態の金属張積層体における金属層の材質としては、特に限定されるものではないが、例えば銅、ステンレス、鉄、ニッケル、ベリリウム、アルミニウム、亜鉛、インジウム、銀、金、スズ、ジルコニウム、タンタル、チタン、鉛、マグネシウム、マンガン及びこれらの合金等が挙げられる。この中でも、銅、鉄又はニッケルの金属元素が好ましい。これら金属層の選定にあっては、ポリイミド層の光透過性、ポリイミド層との接着性など使用目的で必要とされる特性を発現するように選択することになる。 The material of the metal layer in the metal-clad laminate of the present embodiment is not particularly limited, but examples include copper, stainless steel, iron, nickel, beryllium, aluminum, zinc, indium, silver, gold, tin, and zirconium. , tantalum, titanium, lead, magnesium, manganese and alloys thereof. Among these, metal elements such as copper, iron, and nickel are preferable. These metal layers are selected so as to exhibit the characteristics required for the purpose of use, such as the light transmittance of the polyimide layer and the adhesiveness with the polyimide layer.

金属層の厚みは特に限定されるものではないが、好ましくは100μm以下であり、より好ましくは1μm以上20μm以下の範囲内がよい。 Although the thickness of the metal layer is not particularly limited, it is preferably 100 μm or less, more preferably 1 μm or more and 20 μm or less.

本実施の形態の金属張積層体は、例えば本実施の形態のポリイミドを含んで構成される樹脂フィルムを用意し、これに金属をスパッタリングしてシード層を形成した後、例えばメッキによって金属層を形成することによって調製してもよい。 For the metal-clad laminate of the present embodiment, for example, a resin film containing the polyimide of the present embodiment is prepared, a metal is sputtered onto the resin film to form a seed layer, and then a metal layer is formed by, for example, plating. may be prepared by forming.

また、本実施の形態の金属張積層体は、本実施の形態のポリイミドを含んで構成される樹脂フィルムを用意し、これに金属箔を熱圧着などの方法でラミネートすることによって調製してもよい。 Alternatively, the metal-clad laminate of the present embodiment may be prepared by preparing a resin film containing the polyimide of the present embodiment and laminating a metal foil thereon by a method such as thermocompression bonding. good.

本実施の形態の金属張積層体は、樹脂フィルムと金属層の接着性を高めるために、樹脂フィルムの表面を例えばプラズマ処理などの改質処理を施しても良い。 In the metal-clad laminate of the present embodiment, the surface of the resin film may be subjected to modification treatment such as plasma treatment in order to increase the adhesiveness between the resin film and the metal layer.

さらに、本実施の形態の金属張積層体は、金属層の上に本実施の形態のポリアミド酸を含有する塗布液をキャストし、乾燥して塗布膜とした後、熱処理してイミド化し、ポリイミド層を形成する方法(キャスト法)によって調製してもよい。なお、本実施の形態のポリアミド酸を含有する塗布液は、金属層の上に直接にキャストしてもよいし、他のポリアミド酸を含有する塗布膜を形成した後にキャストしてもよい。 Furthermore, the metal-clad laminate of the present embodiment is obtained by casting the coating liquid containing the polyamic acid of the present embodiment on the metal layer, drying it to form a coating film, and then heat-treating it to imidize the polyimide. It may be prepared by a method of forming a layer (casting method). The coating liquid containing polyamic acid of the present embodiment may be cast directly on the metal layer, or may be cast after forming a coating film containing other polyamic acid.

キャスト法では、ポリアミド酸の樹脂層が金属箔に固定された状態でイミド化されるので、イミド化過程におけるポリイミド層の伸縮変化を抑制して、MD方向とTD方向の異方性を低減することができるので、好ましい実施形態となる。 In the casting method, since the polyamic acid resin layer is imidized while being fixed to the metal foil, the expansion and contraction change of the polyimide layer during the imidization process is suppressed, and the anisotropy in the MD and TD directions is reduced. This is the preferred embodiment.

また、両面に金属層を有する金属張積層体を製造する場合は、例えば上記方法により得られた片面金属張積層体のポリイミド層上に、直接、あるいは必要に応じて絶縁樹脂層の透明性を阻害しない接着層を形成した後、金属層を加熱圧着等の手段で積層することにより得ることができる。また金属層を加熱圧着の場合の熱プレス温度については、特に限定されるものではないが、使用される金属層に隣接するポリイミド層のガラス転移温度以上であることが望ましい。また、熱プレス圧力については、使用するプレス機器の種類にもよるが、1kg/m以上500kg/m以下の範囲であることが望ましい。In the case of producing a metal-clad laminate having metal layers on both sides, for example, the transparency of the insulating resin layer may be applied directly onto the polyimide layer of the single-sided metal-clad laminate obtained by the above method, or as necessary. It can be obtained by laminating a metal layer by means of thermocompression bonding or the like after forming an adhesive layer that does not interfere. Also, the hot press temperature in the case of thermocompression bonding of the metal layer is not particularly limited, but it is desirable to be higher than the glass transition temperature of the polyimide layer adjacent to the metal layer used. Further, the hot press pressure is desirably in the range of 1 kg/m 2 or more and 500 kg/m 2 or less, although it depends on the type of press equipment used.

本実施の形態の金属張積層体における絶縁樹脂層の光透過性の観点から、金属層の表面の十点平均粗さRzjisは0.5μm以下とすることが好ましく、より好ましくは0.01μm以上0.3μm以下の範囲内がよく、更に好ましくは0.01μm以上0.2μm以下の範囲内がよい。特に、金属層の表面の十点平均粗さRzjisを0.2μm以下にすることによって、絶縁樹脂層のHAZEを低くすることができるので、より好適な実施形態となる。また、絶縁樹脂層との接着性の観点から、金属層に接する絶縁樹脂層はキャスト面であることが好ましい。 From the viewpoint of the light transmittance of the insulating resin layer in the metal-clad laminate of the present embodiment, the ten-point average roughness Rzjis of the surface of the metal layer is preferably 0.5 μm or less, more preferably 0.01 μm or more. It is preferably in the range of 0.3 μm or less, more preferably in the range of 0.01 μm or more and 0.2 μm or less. In particular, by setting the ten-point average roughness Rzjis of the surface of the metal layer to 0.2 μm or less, the HAZE of the insulating resin layer can be lowered, which is a more preferable embodiment. From the viewpoint of adhesion to the insulating resin layer, the insulating resin layer in contact with the metal layer is preferably a cast surface.

本実施の形態の金属張積層体における絶縁樹脂層と金属層との180°ピール強度は0.5kN/m以上であることが好ましい。なお、本明細書において、全光透過率、CTE及びピール強度は実施例に記載した条件で測定したものであり、特に記載がないものは、室温(23℃)での測定値である。 The 180° peel strength between the insulating resin layer and the metal layer in the metal-clad laminate of the present embodiment is preferably 0.5 kN/m or more. In this specification, the total light transmittance, CTE and peel strength were measured under the conditions described in Examples, and unless otherwise specified, the values were measured at room temperature (23° C.).

本実施の形態の金属張積層体は、主にFPCなどの回路基板材料や、電子部品を製造する過程で使用するマスクなどの部材として有用である。すなわち、本実施の形態の金属張積層体の金属層を常法によってパターン状に加工することによって、パターン化金属張積層体とすることができる。このパターン化金属張積層体は、例えばFPCに代表される回路基板や、トランジスタ、ダイオードなどの能動素子や、抵抗、キャパシタ、インダクタなどの受動デバイスを含む電子回路などの他に、圧力、温度、光、湿度などをセンシングするセンサー素子、発光素子、液晶表示、電気泳動表示、自発光表示などの画像表示素子、無線、有線による通信素子、演算素子、記憶素子、MEMS素子、太陽電池、薄膜トランジスタなどとして利用可能なものである。 The metal-clad laminate of the present embodiment is mainly useful as a material for circuit boards such as FPC, and as a member such as a mask used in the process of manufacturing electronic parts. That is, a patterned metal-clad laminate can be obtained by processing the metal layer of the metal-clad laminate of the present embodiment into a pattern by a conventional method. This patterned metal-clad laminate is used, for example, in circuit boards represented by FPC, electronic circuits including active elements such as transistors and diodes, and passive devices such as resistors, capacitors and inductors, as well as pressure, temperature, Sensor elements that sense light and humidity, light emitting elements, liquid crystal displays, electrophoretic displays, image display elements such as self-luminous displays, wireless and wired communication elements, computing elements, memory elements, MEMS elements, solar cells, thin film transistors, etc. It is available as

以下、実施例に基づいて本発明の内容を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例の範囲に限定されるものではない。なお、以下の実施例において、特にことわりのない限り各種測定、評価は下記によるものである。 EXAMPLES The content of the present invention will be specifically described below based on Examples, but the present invention is not limited to the scope of these Examples. In the following examples, unless otherwise specified, various measurements and evaluations are as follows.

[光透過率、YI(黄色度)の算出]
ポリイミドフィルム(50mm×50mm)を、島津製作所社製のUV-3600分光光度計にて光透過率及びYIを測定した。
1)光透過率
JIS Z 8722に準拠して、波長が400nm、430nm及び450nmの光におけるそれぞれの光透過率(T400、T430及びT450)を算出した。
2)YI
JIS Z 8722に準拠して、下記式(1)で表される計算式に基づいて算出した。
YI=100×(1.2879X-1.0592Z)/Y ・・・(1)
X、Y及びZ:試験片の三刺激値
厚みが10μmにおけるポリイミドフィルムのYI(T10)は、上記式(1)で算出されたYIの値を下記式(2)に代入して算出した。
YI(T10)=YI/T×10 ・・・(2)
T:ポリイミドフィルムの厚み(μm)
[Calculation of light transmittance and YI (yellowness)]
A polyimide film (50 mm×50 mm) was measured for light transmittance and YI using a UV-3600 spectrophotometer manufactured by Shimadzu Corporation.
1) Light transmittance Based on JIS Z 8722, light transmittances (T400, T430 and T450) for light with wavelengths of 400 nm, 430 nm and 450 nm were calculated.
2) YI
Based on JIS Z 8722, it was calculated based on the formula represented by the following formula (1).
YI=100×(1.2879X−1.0592Z)/Y (1)
X, Y and Z: tristimulus values of test piece YI (T10) of a polyimide film with a thickness of 10 μm was calculated by substituting the YI value calculated by the above formula (1) into the following formula (2).
YI (T10) = YI/T x 10 (2)
T: thickness of polyimide film (μm)

[熱膨張係数(CTE)の測定]
ポリイミドフィルム(3mm×15mm)を、熱機械分析(TMA)装置にて5.0gの荷重を加えながら10℃/minの昇温速度で30℃から280℃まで昇温し、次いで、250℃から100℃までの降温し、降温時におけるポリイミドフィルムの伸び量(線膨張)から熱膨張係数を測定した。
[Measurement of coefficient of thermal expansion (CTE)]
A polyimide film (3 mm × 15 mm) is heated from 30 ° C. to 280 ° C. at a heating rate of 10 ° C./min while applying a load of 5.0 g with a thermomechanical analysis (TMA) device, and then from 250 ° C. The temperature was lowered to 100° C., and the thermal expansion coefficient was measured from the amount of elongation (linear expansion) of the polyimide film during the temperature drop.

[熱分解温度(Td1)の測定]
窒素雰囲気下で10~20mgの重さのポリイミドフィルムを、SEIKO社製の熱重量分析(TG)装置TG/DTA6200にて一定の速度で30℃から550℃まで昇温させたときの重量変化を測定し、200℃での重量をゼロとし、重量減少率が1%の時の温度を熱分解温度(Td1)とした。
[Measurement of thermal decomposition temperature (Td1)]
A polyimide film weighing 10 to 20 mg under a nitrogen atmosphere is heated from 30 ° C. to 550 ° C. at a constant rate with a thermogravimetric analysis (TG) device TG / DTA6200 manufactured by SEIKO. The weight at 200° C. was taken as zero, and the temperature at which the weight loss rate was 1% was defined as the thermal decomposition temperature (Td1).

[全光線透過率(T.T.)及びHAZE(濁度)の算出]
ポリイミドフィルム(50mm×50mm)を、日本電色工業社製のHAZE METER NDH500にて、全光線透過率(T.T.)及びHAZE(濁度)をJIS K 7136に準拠して測定した。
[Calculation of total light transmittance (TT) and HAZE (turbidity)]
A polyimide film (50 mm×50 mm) was measured for total light transmittance (TT) and HAZE (turbidity) according to JIS K 7136 using HAZE METER NDH500 manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.

[粘度の測定]
粘度は、恒温水槽付のコーンプレート式粘度計(トキメック社製)にて、合成例で得られたポリアミド酸溶液について25℃で測定した。
[Measurement of viscosity]
The viscosity of the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example was measured at 25° C. using a cone-plate viscometer with a constant temperature water bath (manufactured by Tokimec).

[ガラス転移温度(Tg)の測定]
ポリイミドフィルム(10mm×22.6mm)を動的熱機械分析装置にて20℃から500℃まで5℃/分で昇温させたときの動的粘弾性を測定し、ガラス転移温度(Tanδ極大値:℃)を求めた。
[Measurement of glass transition temperature (Tg)]
A polyimide film (10 mm × 22.6 mm) was measured for dynamic viscoelasticity when the temperature was raised from 20 ° C. to 500 ° C. at 5 ° C./min with a dynamic thermomechanical analyzer, and the glass transition temperature (Tan δ maximum value : °C).

[ピール強度の測定]
テンションテスターを用い、積層体から得られた幅1mmの回路を有する試験サンプルの樹脂側を両面テープによりアルミ板に固定し、銅を180°方向に50mm/minの速度で剥離して、ピール強度を求めた。
[Measurement of peel strength]
Using a tension tester, the resin side of a test sample having a circuit with a width of 1 mm obtained from the laminate was fixed to an aluminum plate with double-sided tape, and the copper was peeled off in the 180 ° direction at a speed of 50 mm / min to measure the peel strength. asked for

[銅箔の表面粗度の測定]
サンプルを約10mm角の大きさにカットし、試料台に両面テープで固定させ、軟X線を照射し、銅箔表面の静電気を除去した後、表面粗さを測定した。走査型プローブ顕微鏡(AFM、ブルカー・エイエックスエス社製、商品名:Dimension Icon型SPM)を用い、以下の測定条件にて銅箔表面の十点平均粗さRz(RzJis)を測定した。測定条件は、下記のとおり。
測定モード;タッピングモード
測定エリア;1μm×1μm
スキャンスピード;1Hz
プローブ;Buruker製、RTESP-300
[Measurement of surface roughness of copper foil]
A sample was cut into a size of about 10 mm square, fixed on a sample table with double-sided tape, irradiated with soft X-rays, and static electricity on the surface of the copper foil was removed, and then the surface roughness was measured. Using a scanning probe microscope (AFM, manufactured by Bruker AXS, trade name: Dimension Icon type SPM), the ten-point average roughness Rz (RzJis) of the copper foil surface was measured under the following measurement conditions. The measurement conditions are as follows.
Measurement mode; Tapping mode Measurement area; 1 μm×1 μm
Scan speed; 1Hz
Probe; RTESP-300 manufactured by Buruker

[引張強度及び引張伸度の測定]
ポリイミドフィルムを12.7mm×150mmに切り出し、引張試験装置(TOYO精機製 STROGRAPHVE1D)を用いて、JIS K 7127に準拠して、室温で50mm/min、100Nで試験を行い、フィルムの引張強度及び引張伸度を測定した。
[Measurement of tensile strength and tensile elongation]
Cut out the polyimide film to 12.7 mm × 150 mm, using a tensile tester (STROGRAPHVE1D manufactured by TOYO SEIKI Co., Ltd.), in accordance with JIS K 7127, at room temperature 50 mm / min, 100 N, the tensile strength and tensile strength of the film Elongation was measured.

[積層体の反りの測定]
反りの評価は、以下の方法で行った。10cm×10cmの金属層とポリイミド層の積層体を、水平な平面上にポリイミド層を上にして静置し、積層体の4隅の平面からの浮きの高さの平均を測定し、10mm以下を「良」、10mmを超える場合を「不可」とした。
[Measurement of Warpage of Laminate]
The evaluation of warpage was performed by the following method. A laminate of a 10 cm × 10 cm metal layer and a polyimide layer is placed on a horizontal plane with the polyimide layer facing up, and the average height of the lift from the plane at the four corners of the laminate is measured, and is 10 mm or less. was "good", and the case of exceeding 10 mm was "improper".

実施例等に用いた略号は、以下の化合物を示す。
APB:1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン
TPE-R:1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン
TFMB:2,2'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノビフェニル
BAPS:ビス[4-(アミノフェノキシ)フェニル]スルホン
AAPBZI:5-アミノ-2-(4-アミノフェニル)ベンゾイミダゾール
PMDA:ピロメリット酸二無水物
6FDA:2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-ヘキサフルオロプロパン二無水物
BPDA:3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
ODPA:4,4’-オキシジフタル酸二無水物
CBDA:1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物
DMAc:N,N-ジメチルアセトアミド
The abbreviations used in the examples and the like indicate the following compounds.
APB: 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene TPE-R: 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene TFMB: 2,2'-bis(trifluoromethyl)-4,4'-diamino Biphenyl BAPS: bis[4-(aminophenoxy)phenyl]sulfone AAPBZI: 5-amino-2-(4-aminophenyl)benzimidazole PMDA: pyromellitic dianhydride 6FDA: 2,2-bis(3,4- dicarboxyphenyl)-hexafluoropropane dianhydride BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride ODPA: 4,4'-oxydiphthalic dianhydride CBDA: 1,2,3, 4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride DMAc: N,N-dimethylacetamide

合成例1~16
ポリアミド酸溶液A~Pを合成するため、窒素気流下で、200mlのセパラブルフラスコの中に、表1で示した固形分濃度となるように溶剤のDMAcを加え、表1に示したジアミン成分及び酸無水物成分を攪拌しながら45℃、2時間加熱し溶解させた。その後、溶液を室温で2日間攪拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸の粘稠な溶液A~Pを調製した。
Synthesis Examples 1-16
In order to synthesize the polyamic acid solutions A to P, the solvent DMAc was added to a 200 ml separable flask under a nitrogen stream so that the solid content concentration was shown in Table 1, and the diamine component shown in Table 1 was added. and the acid anhydride component were dissolved by heating at 45° C. for 2 hours while stirring. Thereafter, the solution was stirred at room temperature for 2 days to carry out a polymerization reaction to prepare viscous solutions A to P of polyamic acid.

Figure 0007222089000008
Figure 0007222089000008

参考例1
ガラス(E-XG、厚み0.5mm)の上に、ポリアミド酸溶液Aを硬化後の厚みが10μmとなるように均一に塗布した後、100℃で加熱乾燥し、溶媒を除去した。次に、100℃から360℃まで段階的な熱処理を行い、イミド化を完結し、ガラスの上にポリイミド層aを形成し、ポリイミド層/ガラスの積層体1aを調製した。
Reference example 1
Polyamic acid solution A was evenly coated on glass (E-XG, thickness 0.5 mm) so that the thickness after curing would be 10 μm, and dried by heating at 100° C. to remove the solvent. Next, stepwise heat treatment was carried out from 100° C. to 360° C. to complete imidization, and a polyimide layer a was formed on the glass to prepare a polyimide layer/glass laminate 1a.

308nmレーザーをガラス側に照射し、レーザーリフトオフ(LLO)にてポリイミド層とガラスを剥離させ、単層ポリイミドフィルムAを調製した。ポリイミドフィルムAの測定結果は次のとおりである。
HAZE;0.4%、全光線透過率(T.T.);89%、光透過率(T400);74%、光透過率(T430);86%、光透過率(T450);88%、YI;2.1、CTE;7ppm/K、熱分解温度(Td1);503℃、ガラス転移温度(Tg);214℃、引張伸度;9.9%、引張強度;105MPa
A single-layer polyimide film A was prepared by irradiating the glass side with a 308 nm laser and separating the polyimide layer from the glass by laser lift-off (LLO). The measurement results of polyimide film A are as follows.
HAZE; 0.4%, total light transmittance (TT); 89%, light transmittance (T400); 74%, light transmittance (T430); 86%, light transmittance (T450); 88% , YI; 2.1, CTE; 7 ppm / K, thermal decomposition temperature (Td1); 503 ° C., glass transition temperature (Tg); 214 ° C., tensile elongation; 9.9%, tensile strength; 105 MPa

参考例2~16
表2に示すポリアミド酸溶液を使用した他は、参考例1と同様にして、単層ポリイミドフィルムB~Pを調製した。ポリイミドフィルムB~Nについて、HAZE、T.T.、T400、T430、T450、YI、CTE、Td1、Tg、引張伸度、及び引張強度を求めた。これらの測定結果を表2に示す。
Reference examples 2 to 16
Single-layer polyimide films B to P were prepared in the same manner as in Reference Example 1, except that the polyamic acid solution shown in Table 2 was used. For polyimide films BN, see HAZE, T.; T. , T400, T430, T450, YI, CTE, Td1, Tg, tensile elongation, and tensile strength were determined. These measurement results are shown in Table 2.

Figure 0007222089000009
Figure 0007222089000009

実施例1
銅箔1(電解銅箔、福田金属箔粉工業社製、商品名;CF-T9DA-SV-12、厚み;12μm、Rzjis;0.01μm)の上に、ポリアミド酸溶液Dの希釈溶液(粘度;3000cP)を硬化後の厚みが1.5μmとなるように均一に塗布した後、125℃で加熱乾燥し、溶媒を除去した。次に、その上にポリアミド酸溶液Fの希釈溶液(粘度;20000cPを硬化後の厚みが17μmとなるように均一に塗布した後、125℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。更に、その上にポリアミド酸溶液Dの希釈溶液(粘度;3000cP)を硬化後の厚みが1.5μmとなるように均一に塗布した後、125℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。このようにして、3層のポリアミド酸層を形成した後、125℃から360℃まで段階的な熱処理を行い、イミド化を完結し、ポリイミド層D/ポリイミド層F/ポリイミド層Dからなる厚みが20μmの絶縁樹脂層1を形成し、金属張積層体1を調製した。金属張積層体1におけるピール強度は、1.2kN/mであった。
Example 1
On copper foil 1 (electrolytic copper foil, manufactured by Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd., trade name: CF-T9DA-SV-12, thickness: 12 μm, Rzjis: 0.01 μm), a diluted solution of polyamic acid solution D (viscosity ; 3000 cP) was uniformly applied so that the thickness after curing was 1.5 μm, and then dried by heating at 125° C. to remove the solvent. Next, a diluted solution of polyamic acid solution F (viscosity: 20000 cP) was uniformly applied so that the thickness after curing was 17 μm, and then dried by heating at 125 ° C. to remove the solvent. A diluted solution (viscosity: 3000 cP) of the polyamic acid solution D was uniformly applied so that the thickness after curing was 1.5 μm, and then dried by heating at 125° C. to remove the solvent. After forming the polyamic acid layer, a stepwise heat treatment is performed from 125° C. to 360° C. to complete imidization, and an insulating resin layer 1 having a thickness of 20 μm and consisting of polyimide layer D/polyimide layer F/polyimide layer D is formed. Then, a metal-clad laminate 1 was prepared.The peel strength of the metal-clad laminate 1 was 1.2 kN/m.

塩化第二鉄水溶液を用いて、銅箔をエッチング除去して、ポリイミドフィルム1を調製した。ポリイミドフィルム1について、HAZE、T.T.、T400、T430、T450、YI(T10)、CTE、Td1及びTgを求めた。これらの測定結果を表3に示す。ここで、YI(T10)は、ポリイミドフィルムの厚みを10μmに換算した黄色度を示す。A polyimide film 1 was prepared by etching away the copper foil with an aqueous solution of ferric chloride. For polyimide film 1, HAZE, T.; T. , T400, T430, T450, YI (T10) , CTE, Td1 and Tg were determined. These measurement results are shown in Table 3. Here, YI (T10) indicates the degree of yellowness when the thickness of the polyimide film is converted to 10 μm.

実施例2~4
実施例1と同様に、金属張積層体2~4を調製するため、表3で示したように、ポリアミド酸の種類と熱処理後の厚みを変えて、絶縁樹脂層2~4を形成し、金属張積層体2~45を調製した。
Examples 2-4
In order to prepare metal-clad laminates 2 to 4 in the same manner as in Example 1, insulating resin layers 2 to 4 were formed by changing the type of polyamic acid and the thickness after heat treatment as shown in Table 3, Metal clad laminates 2-45 were prepared.

塩化第二鉄水溶液を用いて、金属張積層体2~4の銅箔をエッチング除去して、ポリイミドフィルム2~4を調製した。各ポリイミドフィルムのHAZE、T.T.、T400、T430、T450、YI(T10)、CTE、Td1及びTgの測定結果を表3に示す。Polyimide films 2 to 4 were prepared by etching away the copper foils of metal clad laminates 2 to 4 using an aqueous solution of ferric chloride. HAZE of each polyimide film, T. T. , T400, T430, T450, YI (T10) , CTE, Td1 and Tg are shown in Table 3.

実施例5
実施例1におけるポリアミド酸溶液Fの代わりに、ポリアミド酸Lを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層体5を調製した。調製した金属積層体5を15cm×15cmにカットし、この積層体の絶縁樹脂層面に15cm×15cmのサイズにカットした銅箔1を重ね合わせ、プレス機にて、340℃/30minでプレスを行い、両面金属張積層体5を調製した。銅箔を部分的に銅箔エッチングして、1mm銅箔幅の回路パターンを形成した。180°ピール強度を測定したところ、プレス側のピール強度が1.1kN/mであった。また、両面銅箔エッチングを行い、透明なポリイミドフィルム5を調製した。ポリイミドフィルム5の全光線透過率が86%であった。その物性測定結果も表3に示す。
Example 5
A metal-clad laminate 5 was prepared in the same manner as in Example 1, except that polyamic acid L was used instead of polyamic acid solution F in Example 1. The prepared metal laminate 5 was cut into a size of 15 cm × 15 cm, a copper foil 1 cut into a size of 15 cm × 15 cm was superimposed on the insulating resin layer surface of this laminate, and pressed with a press at 340 ° C./30 min. , a double-sided metal-clad laminate 5 was prepared. The copper foil was partially etched to form a circuit pattern with a width of 1 mm copper foil. When the 180° peel strength was measured, the peel strength on the press side was 1.1 kN/m. Also, a transparent polyimide film 5 was prepared by etching the copper foil on both sides. The total light transmittance of the polyimide film 5 was 86%. Table 3 also shows the physical property measurement results.

実施例6
銅箔2(電解銅箔、福田金属箔粉工業社製、商品名;CF-T9DA-SV-12、厚み;12μm、Rzjis;0.8μm)の上に、ポリアミド酸溶液Oの希釈溶液(粘度;6160cP)を硬化後の厚みが1.5μmとなるように均一に塗布した後、125℃で加熱乾燥し、溶媒を除去した。次に、その上にポリアミド酸溶液Fの希釈溶液(粘度;36000cPを硬化後の厚みが7μmとなるように均一に塗布した後、125℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。更に、その上にポリアミド酸溶液Dの希釈溶液(粘度;3700cP)を硬化後の厚みが1.5μmとなるように均一に塗布した後、125℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。このようにして、3層のポリアミド酸層を形成した後、125℃から360℃まで段階的な熱処理を行い、イミド化を完結し、ポリイミド層O/ポリイミド層F/ポリイミド層Dからなる厚みが10μmの絶縁樹脂層6を形成し、片面金属張積層体6を調製した。片面金属張積層体6におけるポリアミド酸塗布面のピール強度は、1.2kN/mであった。
Example 6
A diluted solution of polyamic acid solution O (viscosity ; 6160 cP) was uniformly applied so that the thickness after curing was 1.5 μm, and then dried by heating at 125° C. to remove the solvent. Next, a diluted solution of polyamic acid solution F (viscosity: 36000 cP) was uniformly applied so that the thickness after curing was 7 μm, and then dried by heating at 125 ° C. to remove the solvent. A diluted solution (viscosity: 3700 cP) of polyamic acid solution D was uniformly applied so that the thickness after curing was 1.5 μm, and then dried by heating at 125° C. to remove the solvent. After forming the polyamic acid layer, a stepwise heat treatment is performed from 125° C. to 360° C. to complete imidization, and an insulating resin layer 6 having a thickness of 10 μm and consisting of polyimide layer O/polyimide layer F/polyimide layer D is formed. Then, a single-sided metal-clad laminate 6 was prepared.The peel strength of the polyamic acid-applied surface of the single-sided metal-clad laminate 6 was 1.2 kN/m.

更に、得られた片面金属張積層体6のポリイミド層Dに銅箔2(電解銅箔、福田金属箔粉工業社製、商品名;CF-T9DA-SV-12、厚み;12μm、Rzjis;0.8μm)を重ね、230℃、30分、68kg/m2の圧力で加熱プレスし、両面金属張積層体6を得た。加熱プレスした銅箔と片面金属張積層体6のピール強度は、1.1kN/mであった。
得られた両面金属張積層体6を、塩化第二鉄水溶液を用いて、銅箔をエッチング除去して、ポリイミドフィルム6を調製した。ポリイミドフィルム1について、HAZE、T.T.、T400、T430、T450、YI(T10)、CTE、Td1及びTgを求めた。これらの測定結果を表3に示す。ここで、YI(T10)は、ポリイミドフィルムの厚みを10μmに換算した黄色度を示す。
Furthermore, copper foil 2 (electrolytic copper foil, manufactured by Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd., trade name: CF-T9DA-SV-12, thickness: 12 μm, Rzjis: 0 .8 μm) and hot-pressed at 230° C. for 30 minutes at a pressure of 68 kg/m 2 to obtain a double-sided metal-clad laminate 6 . The peel strength of the heat-pressed copper foil and the single-sided metal-clad laminate 6 was 1.1 kN/m.
A polyimide film 6 was prepared by removing the copper foil from the obtained double-sided metal-clad laminate 6 by etching using an aqueous solution of ferric chloride. For polyimide film 1, HAZE, T.; T. , T400, T430, T450, YI(T10), CTE, Td1 and Tg were determined. These measurement results are shown in Table 3. Here, YI (T10) indicates the degree of yellowness when the thickness of the polyimide film is converted to 10 μm.

実施例7~9
実施例6と同様に、両面金属張積層体7~9を調製するため、表3で示したように、ポリアミド酸の種類と熱処理後の厚みを変えて、絶縁樹脂層7~9を形成し、両面金属張積層体7~9を調製した。
塩化第二鉄水溶液を用いて、金属張積層体7~9の銅箔をエッチング除去して、ポリイミドフィルム7~9を調製した。各ポリイミドフィルムのHAZE、T.T.、T400、T430、T450、YI(T10)、CTE、Td1及びTgの測定結果を表3に示す。
Examples 7-9
In order to prepare double-sided metal clad laminates 7 to 9 in the same manner as in Example 6, insulating resin layers 7 to 9 were formed by changing the type of polyamic acid and the thickness after heat treatment as shown in Table 3. , double-sided metal-clad laminates 7-9 were prepared.
Polyimide films 7-9 were prepared by etching away the copper foils of metal-clad laminates 7-9 using an aqueous ferric chloride solution. HAZE of each polyimide film, T. T. , T400, T430, T450, YI(T10), CTE, Td1 and Tg are shown in Table 3.

Figure 0007222089000010
Figure 0007222089000010

比較例1~2
実施例1と同様に、金属張積層体C1、C2を調製するため、表4で示したように、ポリアミド酸の種類と熱処理後の厚みを変えて、絶縁樹脂層C1、C2を形成し、金属張積層体C1、C2を調製した。
塩化第二鉄水溶液を用いて、金属張積層体C1、C2の銅箔をエッチング除去して、ポリイミドフィルムC1、C2を調製した。各ポリイミドフィルムのHAZE、T.T.、T400、T430、T450、YI(T10)、CTE、Td1及びTgの測定結果を表4に示す。
Comparative Examples 1-2
In order to prepare the metal-clad laminates C1 and C2 in the same manner as in Example 1, the insulating resin layers C1 and C2 were formed by changing the type of polyamic acid and the thickness after heat treatment as shown in Table 4, Metal-clad laminates C1 and C2 were prepared.
The copper foils of the metal-clad laminates C1 and C2 were removed by etching using an aqueous solution of ferric chloride to prepare polyimide films C1 and C2. HAZE of each polyimide film, T. T. , T400, T430, T450, YI( T10 ), CTE, Td1 and Tg are shown in Table 4.

比較例3
ポリアミド酸溶液Gの希釈溶液(粘度;20000cP)を用いて、銅箔1の上に硬化後の厚みが20μmとなるように均一に塗布した後、125℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。その後、125℃から360℃まで段階的な熱処理を行い、イミド化を完結し、ポリイミド層Gの絶縁樹脂層を形成し、金属張積層体C3を調製した。金属張積層体C3におけるピール強度は、0.4kN/mであった。
Comparative example 3
A dilute solution (viscosity: 20000 cP) of polyamic acid solution G was applied evenly on the copper foil 1 so that the thickness after curing was 20 μm, and then dried by heating at 125° C. to remove the solvent. Thereafter, stepwise heat treatment was performed from 125° C. to 360° C. to complete imidization, forming an insulating resin layer of the polyimide layer G, and preparing a metal-clad laminate C3. The peel strength of the metal-clad laminate C3 was 0.4 kN/m.

Figure 0007222089000011
Figure 0007222089000011

実施例10
銅箔3(電解銅箔、日本電解社製、ピーラブル(P)銅箔、厚み;2μm(極薄銅箔)+18μm(キャリア銅箔)、Rz;1.1μm)の上に、ポリアミド酸溶液Dの希釈溶液(粘度;3000cP)を硬化後の厚みが1.0μmとなるように均一に塗布した後、125℃で加熱乾燥し、溶媒を除去した。次に、その上にポリアミド酸溶液Fの希釈溶液(粘度;20000cPを硬化後の厚みが10μmとなるように均一に塗布した後、125℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。更に、その上にポリアミド酸溶液Dの希釈溶液(粘度;3000cP)を硬化後の厚みが1.0μmとなるように均一に塗布した後、125℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。このようにして、3層のポリアミド酸層を形成した後、125℃から360℃まで段階的な熱処理を行い、イミド化を完結し、ポリイミド層D/ポリイミド層F/ポリイミド層Dからなる厚みが12μmの絶縁樹脂層10を形成し、金属張積層体10を調製した。金属張積層体10におけるピール強度は、1.2kN/mであった。
Example 10
Polyamic acid solution D on copper foil 3 (electrolytic copper foil, Nippon Denki Co., Ltd., peelable (P) copper foil, thickness: 2 μm (ultrathin copper foil) + 18 μm (carrier copper foil), Rz: 1.1 μm) (viscosity: 3000 cP) was uniformly applied so that the thickness after curing was 1.0 μm, and then dried by heating at 125° C. to remove the solvent. Next, a diluted solution of polyamic acid solution F (viscosity: 20000 cP) was applied uniformly so that the thickness after curing was 10 μm, and then dried by heating at 125 ° C. to remove the solvent. A diluted solution (viscosity: 3000 cP) of polyamic acid solution D was uniformly applied so that the thickness after curing was 1.0 μm, and then dried by heating at 125° C. to remove the solvent. After forming the polyamic acid layer, a stepwise heat treatment is performed from 125° C. to 360° C. to complete imidization, and an insulating resin layer 10 having a thickness of 12 μm and consisting of polyimide layer D/polyimide layer F/polyimide layer D is formed. Then, a metal-clad laminate 10 was prepared.The peel strength of the metal-clad laminate 10 was 1.2 kN/m.

塩化第二鉄水溶液を用いて、銅箔をエッチング除去して、ポリイミドフィルム10を調製した。ポリイミドフィルム10について、HAZE、T.T.、T400、T430、T450、YI(T10)、CTE、Td1、Tg、ピール強度、引張伸度、引張強度及び積層体の反りを求めた。
これらの測定結果を表5に示す。ここで、YI(T10)は、ポリイミドフィルムの厚みを10μmに換算した黄色度を示す。ピーラブル銅箔の場合、表5の銅箔厚みは、キャリア銅箔を除いた極薄銅箔の厚みを示す(以下の実施例でも同じ)。
A polyimide film 10 was prepared by etching away the copper foil using an aqueous solution of ferric chloride. For polyimide film 10, see HAZE, T.; T. , T400, T430, T450, YI (T10) , CTE, Td1, Tg, peel strength, tensile elongation, tensile strength and warp of the laminate were determined.
Table 5 shows these measurement results. Here, YI (T10) indicates the degree of yellowness when the thickness of the polyimide film is converted to 10 μm. In the case of the peelable copper foil, the copper foil thickness in Table 5 indicates the thickness of the ultra-thin copper foil excluding the carrier copper foil (the same applies to the following examples).

実施例11~16
実施例1と同様に、金属張積層体11~16を調製するため、表5で示したように、ポリアミド酸の種類と熱処理後の厚みを変えて、絶縁樹脂層11~16を形成し、金属張積層体11~16を調製した。
Examples 11-16
In order to prepare the metal-clad laminates 11 to 16 in the same manner as in Example 1, the insulating resin layers 11 to 16 were formed by changing the type of polyamic acid and the thickness after heat treatment as shown in Table 5, Metal clad laminates 11-16 were prepared.

ここで、実施例12~15は、銅箔3に代えて、銅箔4(電解銅箔、福田金属箔粉工業社製、商品名;CF-T9DA-SV-9、厚み;9μm、Rz;0.8μm)を使用した。
一方、実施例13,15,16は、片面金属張積層体ではなく、両面金属張積層体とした。すなわち、片面金属張積層板を15cm×15cmにカットし、基材となる銅箔と同じ種類の銅箔を絶縁樹脂層の反対側(ラミネート面)に重ね合わせ、プレス機にて、240℃/30minでプレスを行い、両面金属張積層体13,15,16を調製した。
Here, in Examples 12 to 15, copper foil 4 (electrolytic copper foil, manufactured by Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd., trade name: CF-T9DA-SV-9, thickness: 9 μm, Rz; 0.8 μm) was used.
On the other hand, in Examples 13, 15, and 16, double-sided metal-clad laminates were used instead of single-sided metal-clad laminates. That is, a single-sided metal-clad laminate was cut into 15 cm × 15 cm, and a copper foil of the same type as the copper foil used as the base material was superimposed on the opposite side (laminate surface) of the insulating resin layer, and pressed at 240 ° C./ Pressing was performed for 30 minutes to prepare double-sided metal-clad laminates 13, 15, and 16.

塩化第二鉄水溶液を用いて、金属張積層体11~16の銅箔をエッチング除去して、ポリイミドフィルム11~16を調製した。各ポリイミドフィルムのHAZE、T.T.、T400、T430、T450、YI(T10)、CTE、Td1、Tg、ピール強度、引張伸度、引張強度及び積層体の反りの測定結果を表5に示す。Polyimide films 11 to 16 were prepared by etching away the copper foils of the metal-clad laminates 11 to 16 using an aqueous solution of ferric chloride. HAZE of each polyimide film, T. T. , T400, T430, T450, YI (T10) , CTE, Td1, Tg, peel strength, tensile elongation, tensile strength and warpage of the laminate are shown in Table 5.

Figure 0007222089000012
Figure 0007222089000012

比較例4~5
実施例10と同様に、金属張積層体C4、C5を調製するため、表6で示したように、ポリアミド酸の種類と熱処理後の厚みを変えて、絶縁樹脂層C4、C5を形成し、金属張積層体C4、C5を調製した。
塩化第二鉄水溶液を用いて、金属張積層体C4、C5の銅箔をエッチング除去して、ポリイミドフィルムC4、C5を調製した。各ポリイミドフィルムのHAZE、T.T.、T400、T430、T450、YI、CTE、Td1、Tg、ピール強度、引張伸度、引張強度及び積層体の反りの測定結果の測定結果を表6に示す。
Comparative Examples 4-5
In order to prepare metal-clad laminates C4 and C5 in the same manner as in Example 10, as shown in Table 6, insulating resin layers C4 and C5 were formed by changing the type of polyamic acid and the thickness after heat treatment, Metal-clad laminates C4 and C5 were prepared.
The copper foils of the metal-clad laminates C4 and C5 were removed by etching using an aqueous ferric chloride solution to prepare polyimide films C4 and C5. HAZE of each polyimide film, T. T. , T400, T430, T450, YI, CTE, Td1, Tg, peel strength, tensile elongation, tensile strength, and warpage of the laminate.

Figure 0007222089000013
Figure 0007222089000013

産業上の利用分野Industrial field of application

本発明の樹脂フィルム及び金属張積層体は、FPC等の電子部品を製造するための絶縁材料として、とりわけ半導体素子の実装を伴う無色透明性が要求される透明FPCに好適に用いられる。また、本発明の樹脂フィルムは、液晶表示装置、有機EL表示装置、タッチパネル、カラーフィルター、電子ペーパー等の表示装置及びこれらの構成部品にも適用可能である。
The resin film and metal-clad laminate of the present invention are suitably used as an insulating material for manufacturing electronic parts such as FPCs, particularly for transparent FPCs that require colorless transparency for mounting semiconductor elements. In addition, the resin film of the present invention can also be applied to display devices such as liquid crystal display devices, organic EL display devices, touch panels, color filters, and electronic paper, and component parts thereof.

Claims (12)

非熱可塑性ポリイミド層と、非熱可塑性ポリイミド層の片面又は両面に設けられる熱可塑性ポリイミド層とを有するポリイミド樹脂フィルムであって、
下記の条件a及びb;
a)厚みが5μm以上200μm以下の範囲内であること;
b)全光線透過率が80%以上であること;
を満たし、
熱可塑性ポリイミド層(P1)を構成する熱可塑性ポリイミドは全酸無水物残基に対し、下記の一般式(1)で表される芳香族テトラカルボン酸無水物から誘導される酸無水物残基を50モル%以上含有し、全ジアミン残基に対し、下記の一般式(2)で表わされる芳香族ジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を50モル%以上含有すること、
非熱可塑性ポリイミド層(P2)を構成する非熱可塑性ポリイミドは、全酸無水物残基に対し、下記式(B1)で表わされるピロメリット酸二無水物から誘導される酸無水物残基を50モル%以上含有し、全ジアミン残基に対し、下記の一般式(A1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を50モル%以上含有することを特徴とするポリイミド樹脂フィルム。
ただし、熱可塑性ポリイミド中に、下記式(X1)で表される構造単位を含まず、下記式(B1)で表されるピロメリット酸二無水物残基を含まない。
Figure 0007222089000014
[式(1)中、Xは単結合、-O-、又は-C(CF-から選ばれる2価の基を示す。]
Figure 0007222089000015
[式(2)中、Rは独立に、ハロゲン原子、又は炭素数1~6のハロゲン原子で置換されてもよいアルキル基若しくはアルコキシ基、又は炭素数1~6の1価の炭化水素基若しくはアルコキシ基で置換されてもよいフェニル基若しくはフェノキシ基を示し、Zは独立に-O-、-S-、-CH-、-CH(CH)-、-C(CH)-、-CO-、-COO-、-SO-、-NH-又は-NHCO-から選ばれる2価の基を示し、nは0~3の整数、nは0~4の整数を示す。ただし、式(1)のXが単結合である場合、式(2)のZは独立に-O-、-S-、-CH-、-CH(CH)-又は-NH-から選ばれる2価の基を示す。]
Figure 0007222089000016
Figure 0007222089000017
[一般式(A1)中、置換基Xは独立にフッ素原子で置換されている炭素数1~3のアルキル素基を示し、m及びnは独立に1~4の整数を示す。]
Figure 0007222089000018
A polyimide resin film having a non-thermoplastic polyimide layer and a thermoplastic polyimide layer provided on one or both sides of the non-thermoplastic polyimide layer ,
conditions a and b below;
a) the thickness is in the range of 5 μm or more and 200 μm or less;
b) having a total light transmittance of 80% or more;
The filling,
The thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layer (P1) is an acid anhydride residue derived from an aromatic tetracarboxylic acid anhydride represented by the following general formula (1) with respect to all acid anhydride residues. containing 50 mol% or more of a group, and containing 50 mol% or more of a diamine residue derived from an aromatic diamine compound represented by the following general formula (2) with respect to all diamine residues;
The non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer (P2) has an acid anhydride residue derived from pyromellitic dianhydride represented by the following formula (B1) with respect to all acid anhydride residues. A polyimide resin film characterized by containing 50 mol% or more and containing 50 mol% or more of a diamine residue derived from a diamine compound represented by the following general formula (A1) with respect to all diamine residues.
However, the thermoplastic polyimide does not contain a structural unit represented by the following formula (X1) and does not contain a pyromellitic dianhydride residue represented by the following formula (B1).
Figure 0007222089000014
[In formula (1), X represents a divalent group selected from a single bond, —O—, and —C(CF 3 ) 2 —. ]
Figure 0007222089000015
[In the formula (2), R is independently a halogen atom, an alkyl group or an alkoxy group optionally substituted with a halogen atom having 1 to 6 carbon atoms, or a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or represents a phenyl group or a phenoxy group which may be substituted with an alkoxy group, and Z is independently -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )-, -C(CH 3 ) 2 -, represents a divalent group selected from --CO--, --COO--, --SO 2 --, --NH-- or --NHCO--, where n1 is an integer of 0-3 and n2 is an integer of 0-4; provided that when X in formula (1) is a single bond, Z in formula (2) is independently selected from —O—, —S—, —CH 2 —, —CH(CH 3 )—, or —NH—; indicates a divalent group that is ]
Figure 0007222089000016
Figure 0007222089000017
[In the general formula (A1), the substituent X independently represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms and is substituted with a fluorine atom, and m and n independently represent an integer of 1 to 4. ]
Figure 0007222089000018
前記熱可塑性ポリイミド層(P1)が最外層に位置することを特徴とする請求項1に記載の樹脂フィルム。 2. The resin film according to claim 1, wherein the thermoplastic polyimide layer (P1) is positioned as the outermost layer. 前記条件a及びbに加え、更に、下記の条件c;
c)熱膨張係数(CTE)が10ppm/K以上30ppm/K以下の範囲内であること;
を満たすことを特徴とする請求項1に記載の樹脂フィルム。
In addition to the above conditions a and b, the following condition c;
c) a coefficient of thermal expansion (CTE) within the range of 10 ppm/K or more and 30 ppm/K or less;
The resin film according to claim 1, which satisfies:
前記熱可塑性ポリイミド層(P1)が全体の厚みに対して1%以上50%未満の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の樹脂フィルム。 2. The resin film according to claim 1, wherein the thermoplastic polyimide layer (P1) accounts for 1% or more and less than 50% of the total thickness. 前記条件a及びbに加え、更に、下記の条件d;
d)HAZEが5%以下であること;
を満たすことを特徴とする請求項1に記載の樹脂フィルム。
In addition to the above conditions a and b, the following condition d;
d) HAZE is 5% or less;
The resin film according to claim 1, which satisfies:
前記条件a及びbに加え、更に、下記の条件e;
e)厚みが10μmであるとき、YIが10以下であること;
を満たすことを特徴とする請求項1に記載の樹脂フィルム。
In addition to the above conditions a and b, the following condition e;
e) a YI of 10 or less when the thickness is 10 μm;
The resin film according to claim 1, which satisfies:
前記条件a及びbに加え、更に、下記の条件f;
f)厚みが50μmであるとき、YIが30以下であること;
を満たすことを特徴とする請求項1に記載の樹脂フィルム。
In addition to the above conditions a and b, the following condition f;
f) a YI of 30 or less when the thickness is 50 μm;
The resin film according to claim 1, which satisfies:
複数層のポリイミド層を有する絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層の少なくとも一方の面に積層された金属層と、を備えた金属張積層体であって、
前記絶縁樹脂層が請求項1に記載の樹脂フィルムからなることを特徴とする金属張積層体。
A metal-clad laminate comprising an insulating resin layer having a plurality of polyimide layers and a metal layer laminated on at least one surface of the insulating resin layer,
A metal-clad laminate, wherein the insulating resin layer comprises the resin film according to claim 1 .
前記絶縁樹脂層の前記金属層に接するポリイミド層が前記熱可塑性ポリイミド層(P1)であることを特徴とする請求項に記載の金属張積層体。 9. The metal-clad laminate according to claim 8 , wherein the polyimide layer in contact with the metal layer of the insulating resin layer is the thermoplastic polyimide layer (P1). 前記金属層の厚みが1μm以上20μm以下の範囲内であることを特徴とする請求項に記載の金属張積層体。 9. The metal-clad laminate according to claim 8 , wherein the metal layer has a thickness in the range of 1 [mu]m to 20 [mu]m. 前記金属層の前記絶縁樹脂層に接する表面の十点平均粗さRzjisが0.01μm以上0.5μm以下の範囲内であることを特徴とする請求項に記載の金属張積層体。 9. The metal-clad laminate according to claim 8 , wherein the ten-point average roughness Rzjis of the surface of the metal layer in contact with the insulating resin layer is in the range of 0.01 [mu]m to 0.5 [mu]m. 前記絶縁樹脂層と前記金属層との180°ピール強度が0.5kN/m以上であることを特徴とする請求項に記載の金属張積層体。 9. The metal-clad laminate according to claim 8 , wherein the 180[deg.] peel strength between the insulating resin layer and the metal layer is 0.5 kN/m or more.
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