JP7220127B2 - 巻取り式成膜装置、および、巻取り式成膜装置の調整方法 - Google Patents
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Description
図1を参照して、巻取り式成膜装置の構成を説明する。
図1が示すように、巻取り式成膜装置10(以下、成膜装置10とも称する)は、巻出室11、成膜室12、および、巻取室13を備えている。これらの処理室は、シート状基材Sの搬送方向に沿って記載の順に並んでいる。シート状基材Sは、可撓性を有している。シート状基材Sは、単層構造を有してもよいし、多層構造を有してもよい。シート状基材Sが単層構造を有する場合には、シート状基材Sは、例えば、各種の合成樹脂またはガラスによって形成されてよい。シート状基材Sが多層構造を有する場合には、シート状基材Sは、先に説明した合成樹脂またはガラスによって形成された基板と、基板上に形成された薄膜とを含むことができる。
図2および図3を参照して、第1ローラーR1の構成を説明する。なお、以下に説明する第1ローラーR1の構成は、ガイドローラー24のなかで少なくとも第1ローラーR1が有していればよく、第2ローラーR2および上流ローラー群RUに属するガイドローラー24が以下に説明する構成を有してもよい。
図4から図8を参照して、巻取り式成膜装置10の調整方法を説明する。以下では、巻取り式成膜装置10が備える第1ローラーR1の調整方法を説明するが、以下に説明する調整方法は、第1ローラーR1以外のガイドローラー24の調整にも用いることが可能である。
図4が示すように、成膜装置10の調整方法では、まず、ローラー本体R1Mの周方向における複数の部分に、その部分を特定することが可能な目印を付す。この際に、ローラー本体R1Mの周方向において、ローラー本体R1Mを等分した各部分に目印を付す。言い換えれば、ローラー本体R1Mの周方向に等配され、かつ、互いに等しい中心角を有した複数の部分の各々に対して目印を付す。
図5が示すように、ローラー本体R1Mの周方向において、最大質量を有する部分を特定する。ローラー本体R1Mの周方向において、ローラー本体R1Mの質量が偏りを有する場合には、静止状態にあるローラー本体R1Mを回転させると、ローラー本体R1Mは、最大質量を有する部分が鉛直方向における最下方に位置した状態で回転を停止する。そこで、ローラー本体R1Mにおいて最大質量を有する部分を特定する工程では、静止状態にあるローラー本体R1Mを回転させた後、ローラー本体R1Mが回転を停止したときに最下方に位置する部分を、最大質量を有する部分に特定する。
図6が示すように、例えば、ローラー本体R1Mの周方向において、第3目印MR3が付された部分が最大質量を有する部分であると特定された場合には、ローラー本体R1Mの径方向において、第3目印MR3に対向する第7目印MR7が付された部分に荷重Wを取り付ける。これにより、ローラー本体R1Mと荷重Wとから形成される第1ローラーR1が得られる。
図7が示すように、静止状態の第1ローラーR1に、起動トルクを判断するための基準となる質量を有した基準荷重WRを取り付ける。基準荷重WRの質量は、例えば10gである。基準荷重WRが取り付けられることによって、静止していた第1ローラーR1が回転した場合には、第1ローラーR1の起動トルクが10g以下であると判断することが可能である。一方で、基準荷重WRが取り付けられても、第1ローラーR1が静止している場合には、第1ローラーR1の起動トルクが10gよりも大きいと判断することが可能である。この場合には、第1ローラーR1における静不釣合いが、起動トルクが10gよりも大きくなる程度に大きいと判断することが可能である。
(1)成膜装置10では、第1ローラーR1の起動トルクが第2ローラーR2の起動トルクよりも小さいため、成膜面SSに成膜された薄膜TMに与える負荷が軽減されることによって、薄膜TMに欠陥が生じることが抑えられる。
(5)第1ローラーR1の起動トルク、および、第2ローラーR2の起動トルクの両方が10g以下であれば、第1ローラーR1の起動トルクと第2ローラーR2の起動トルクとの差に起因して、第1ローラーR1が薄膜TMに接した際に、薄膜TMに負荷が加わることがより抑えられる。そのため、薄膜TMに欠陥が生じることが抑えられる。
[起動トルク]
・第1ローラーR1の起動トルクは、10g以上であってもよい。この場合であっても、第1ローラーR1の起動トルクが第2ローラーR2の起動トルクよりも小さいことによって、上述した(1)に準じた効果を得ることはできる。
・第1ローラーR1は荷重Wを備えず、ローラー本体R1Mのみから形成されてもよい。この場合には、例えば、ローラー本体R1Mの周方向において、最大質量を有する部分に凹部を形成することによって、最大質量を有する部分の質量を、ローラー本体R1Mの径方向において、当該部分に対向する部分に近づけることが可能である。これによって、第1ローラーR1の起動トルクが、第2ローラーR2の起動トルクよりも小さくされることによって、上述した(1)に準じた効果を得ることはできる。
Claims (5)
- 成膜源と対向する外周面を有したメインローラーと、
前記メインローラーから送り出されるシート状基材の成膜面に形成された薄膜に接する第1ローラーと、
前記メインローラーから送り出される前記シート状基材の前記成膜面とは反対側の面に接する第2ローラーと、を備え、
前記第1ローラーの起動トルクが、前記第2ローラーの起動トルクよりも小さい
巻取り式成膜装置。 - 前記第1ローラーは、ローラー本体と、前記ローラー本体での静バランスを高めるように、前記第1ローラーの周方向における一部分に取り付けられた荷重と、を備える
請求項1に記載の巻取り式成膜装置。 - 前記第1ローラーの前記起動トルクは、10g以下である
請求項1または2に記載の巻取り式成膜装置。 - 成膜源と対向する外周面を有したメインローラーと、
前記メインローラーから送り出されるシート状を有した基材の成膜面に形成された薄膜に接する第1ローラーと、
前記メインローラーから送り出される前記基材の前記成膜面とは反対側の面と接する第2ローラーと、を備え、
前記第1ローラーの起動トルクおよび前記第2ローラーの起動トルクが、10g以下である
巻取り式成膜装置。 - 成膜源と対向する外周面を有したメインローラーから送り出されるシート状基材の成膜面に接する第1ローラーが備えるローラー本体について、前記ローラー本体の周方向に等配されて互いに等しい中心角を有した複数の部分のなかで最大質量を有する部分を特定することと、
前記ローラー本体の前記周方向において、前記最大質量を有する部分の位置に基づいて、前記ローラー本体での静バランスを高めるように、前記ローラー本体における前記周方向の一部に荷重を取り付けることと、を含む
巻取り式成膜装置の調整方法。
Priority Applications (1)
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7220127B2 (ja) |
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JP2018132372A (ja) | 2017-02-14 | 2018-08-23 | Jfeスチール株式会社 | 回転機械および回転機械の静バランス調整方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0756269Y2 (ja) * | 1990-02-23 | 1995-12-25 | 光洋精工株式会社 | シート搬送装置 |
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JP2018132372A (ja) | 2017-02-14 | 2018-08-23 | Jfeスチール株式会社 | 回転機械および回転機械の静バランス調整方法 |
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JP2020204069A (ja) | 2020-12-24 |
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A977 | Report on retrieval |
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