JP7217626B2 - 塗布型金属酸化物膜の製造方法 - Google Patents
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Description
簡便なパターニングの例として、フォトレジストを用いずに紫外線などを用い直接塗布型金属酸化物と反応させることにより、直接パターニングを行うダイレクトパターニングといった手法がある。この手法は金属酸化物膜においても適用されており、前躯体溶液に、紫外線で反応する感光性成分を添加することにより、感光性を付与しパターニングを行うことができる(下記非特許文献1、2を参照)ことが報告されている。
しかしながら、インクジェット法を用いた形成法においては、極めて重要な要素である膜形状制御の処理が難しい。すなわち、塗布膜の乾燥速度の違いにより、中心部が凹み、端部が盛り上がるコーヒーステイン現象が生じるため、均一な膜に形成することが難しい。特に、大面積化した場合に形状のバラツキが大きくなり、これがTFTにおける移動度に直結してしまい、安定した電気特性を得ることができない。そのため、膜を均一に形成する手法として、湿度コントロールによる膜形状の制御(例えば下記非特許文献3を参照)や加熱した基材へ膜を塗布する製法(例えば下記特許文献1を参照)等によって補正する手法が知られている。
また、金属酸化物前躯体に感光性成分を添加する場合においては、感光性成分が金属酸化物とした場合に、十分に酸化、分解されず残留不純物として振る舞い、性能を低下させる要因となる。
さらに、従来の手法においてはキャリア移動度の点で、必ずしも良好なものとなっているとは言えなかった。
したがって、これまで提案されている手法では、簡易に、かつ良好な性能を有するTFTを形成するための手法が十分ではない。そして、特に大面積化を図る場合に困難である。
本発明の塗布型金属酸化物膜の製造方法は、
金属塩からなる無機酸塩を、過酸化水素が所定の重量割合を占める溶媒に溶解して水溶性の金属酸化物の前駆体溶液を生成する前駆体溶液生成工程と、
前記前駆体溶液生成工程において生成された前記前駆体溶液を所定の被塗布体上に塗布する前駆体塗布工程と、
前記前駆体塗布工程で前記所定の被塗布体上に塗布された前記金属酸化物の前駆体溶液の所定領域にエネルギー線を照射し、該所定領域を酸化させて金属酸化物膜を生成する金属酸化物膜生成工程と、
前記金属酸化物膜生成工程において生成された前記金属酸化物膜をパターニングするエッチング工程と、
を有することを特徴とするものである。
前記無機酸塩が硝酸塩、塩化物塩、硫酸塩、酢酸塩、炭酸塩、フッ化物塩のうちの少なくともいずれか1種類であることが好ましい。
前記エネルギー線は、前記溶媒が活性酸素種を発生することができる強さとされていることが好ましい。
前記エッチング工程において、有機酸を含む溶液によりエッチングを行うことが好ましい。
このような構成の考え方の原点ともいうべき発明(以下、原点発明と称する)は、特願2017-217598号明細書に記載されており、本願発明者等により既に特許庁に開示されている。
しかしながら、この塗布型金属酸化物膜の製造方法では、金属塩からなる無機酸塩を、水を主成分とする溶媒に溶解して、水溶性金属酸化物の前駆体溶液を生成しており、水溶性金属酸化物の前駆体溶液における溶媒の主成分である水が、エネルギー線を照射されることによって、水分解反応を起こし、ヒドロキシルラジカル等の活性酸素種を発生するものであるが、この場合、用途によっては、金属酸化物膜を酸化する程度が必ずしも十分とは言えないため、この金属酸化物膜を備えた電子デバイスにおいて、よりキャリア移動度を高めたいという強い要望があった。
本願発明の塗布型金属酸化物膜の製造方法においては、金属塩からなる無機酸塩を、過酸化水素を含有する溶媒に溶解して、水溶性金属酸化物の前駆体溶液を生成しているので、塗布された金属酸化物膜の溶媒中の過酸化水素が、紫外光などのエネルギー線を照射されることによって、ヒドロキシルラジカルへの分解反応を起こし、酸化力の強い活性酸素種が発生する。これにより金属酸化物膜を酸化する程度が強力となり、この金属酸化物膜を備えた電子デバイスにおいて、キャリア移動度を大幅に高めることが可能となった。
以下、本実施形態に係る塗布型金属酸化物膜の製造方法について説明するが、その前提として、この塗布型金属酸化物膜が半導体層(チャネル層)として積層されるTFTの断面構造について簡単に説明する。
図3は、一般に知られているTFTの断面構造(第1の例:エッチングストップ層なし)を示すものであり、基板101上に、ゲート電極102、ゲート絶縁膜103、塗布型酸化物半導体からなる半導体層104、ソース・ドレイン電極106が積層して構成される。
図4も、一般に知られているTFTの断面構造(第2の例:エッチングストップ層あり)を示すものであり、基板201上に、ゲート電極202、ゲート絶縁膜203、塗布型酸化物半導体からなる半導体層204、半導体層204をエッチングから保護するためのエッチングストップ層205、およびソース・ドレイン電極206が積層して構成される。
TFTの層としては、図3に示すように構成されたものを想定する。
すなわち、基板101上に、ゲート電極102、ゲート絶縁膜103、塗布型半導体層104およびソース・ドレイン電極106を順次形成する。半導体層104は水溶性金属酸化物前躯体溶液を塗布され、この後の処理により金属酸化物膜が形成される。
金属成分の構成としては、酸化物半導体材料で知られるIn-Ga-Zn系酸化物,In-Zn系酸化物、In-Sn-Zn系酸化物、Zn-Sn系酸化物などが挙げられるが、これに限定されるものではないことは勿論である。
より具体的には、酸化物半導体への応用が可能な酸化物を形成する金属原子含有化合物が挙げられ、金属原子を含む、金属塩、ハロゲン化金属化合物、有機金属化合物等を挙げることができる。具体的な金属元素としては、インジウム、ガリウム、亜鉛、アルミニウム、ストロンチウム、ジルコニウム、スズ等を挙げることができる。
H2O2 + hν → 2HO・
生じるヒドロキシルラジカルは、極めて酸化力の強い酸化剤の1つであり、反応性が高く、溶液中に含まれる金属塩と反応する。過酸化水素を含有する水溶液に直接光照射を行うことで、効率的に酸化剤を反応させることが可能となり、酸化膜を形成することができる。
過酸化水素の濃度としては、0.001重量%以上、かつ30重量%以下とすることが望ましく、これにより効率的に光分解によるヒドロキシルラジカルの発生を促し、酸化反応をさせることができる。0.001重量%を下回ると、光分解によりヒドロキシルラジカルの発生量が少なく、酸化剤としての効果が小さくなり過ぎる。一方、30重量%を超えると、過酸化水素の熱分解速度が速くなり、溶液の安定性が阻害される。そのため、同一溶液を用いた場合の塗布型金属酸化物膜のプロセス再現性を悪化させる原因となる。
このような観点から、過酸化水素の濃度としては、1重量%以上、かつ30重量%以下とすることがより望ましく、10重量%以上、かつ20重量%以下とすることがさらに望ましい。
これにより効率的に光分解によるヒドロキシルラジカルの発生を促し、酸化反応をさせることができる。
次に、上述した前駆体溶液塗布工程(a)においては、上記のようにして生成された前駆体溶液を基材(詳しくは、基板、ゲート電極およびゲート絶縁膜を含む)101の上面に塗布することにより前駆体溶液の薄膜を形成する。塗布型半導体層の厚みは、溶液濃度によって、また、溶液を塗布する回数によって調整することができる。
ソフトアニーリング工程は、いわば緩やかな乾燥工程とも称されるものであり、具体的には、塗布された金属酸化物膜中に、溶媒の成分である過酸化水素を残留させることを目的として行われるものであって、この後に行われるエネルギー線照射工程において形成するパターンの酸化処理の実効を担保するためになされる工程である。
ソフトアニーリング処理としては、低温乾燥、自然乾燥、減圧乾燥、熱風・冷風・室温風乾燥、赤外光乾燥等を用いることができる。マイクロ波による加熱装置による反応で乾燥させてもよい。
このエネルギー線照射工程においては、酸化物半導体層(金属酸化物膜)104内に金属酸化物膜内に残留する水分に対し紫外線などのエネルギー線を照射することで、金属酸化物膜のパターン化を容易に行うことができる。
以下、このエネルギー線照射工程(c)において酸化物半導体層104に対してなされる作用について説明する。
このエネルギー線照射工程においては、膜内に残存する水分子に対しエネルギー線を照射して、下記の光化学反応を生じさせる。
H2O2 + hν → 2HO・
このことにより、活性酸素種であるヒドロキシルラジカル(OH・)が生成される。
また、必要に応じて、バンドパスフィルターやIRカットフィルターを組合わせて用いることができる。
エッチング工程では、金属酸化物膜に対してダメージが少ないエッチング溶液を用いることが好ましく、pHで2以上、4以下の範囲とすることにより良好なエッチングを行うことができる。
さらに好ましくは、金属イオンに対し金属配位子錯体を形成するキレート効果のある、ヒドロキシ基とカルボン酸基を有するヒドロキシカルボネート系の有機酸が望ましい。これによると、容易に金属イオン成分に吸着され、望ましいエッチング特性が得られ、パターンとして残す酸化物層への影響を小さくすることができる。このような観点からは、上記有機酸のうち、クエン酸、グリコール酸、酒石酸、リンゴ酸等が好ましい。
なお、この後、上記パターン化した金属酸化物膜について、さらに焼成処理を施すことによって、酸化処理を促進し、さらに優れた特性を有するTFTの半導体層を得ることができる。この場合の焼成処理は、例えば、150℃から600℃にて30分間から6時間の範囲の時間とする。
このときの焼成処理においては、自然乾燥や熱風・冷風・室温風乾燥、赤外光乾燥、減圧乾燥などを用いることができる。マイクロ波による加熱装置による乾燥であってもよい。それぞれの焼成プロセスは大気中だけでなく、酸素中、窒素、アルゴン等のガス雰囲気中において行うことも可能である。
ソース・ドレイン電極106の材料としては、ITO、IZOなどの透明電極や、Al、Ag、Cr、Mo、Tiなどの金属電極やこれらの合金を用いることができる。2層以上を積層することによりコンタクト抵抗を低減させたることができ、また密着性を向上させることができる。
また、ソース・ドレイン電極106および上述したゲート電極102においては、酸化物の組成を導電性の高い材料とすることにより、水溶性金属酸化物前躯体を用いて酸化物に係る導電膜を形成することも可能である。ここでの導電膜を形成する場合における前駆体溶液としては、無機酸塩とする。より具体的には硝酸塩、塩化物塩、硫酸塩、酢酸塩、炭酸塩、フッ化物塩の少なくとも1種の金属塩より構成する。
具体的な酸化物導体材料としては、In-Sn系酸化物、Ga-Zn系酸化物、In-Zn系酸化物、Zn系酸化物などが考えられるが、これに限定されるものではない。
半導体層において作製した手法と同様の手法を用いて、膜内に残留する水分に対し紫外線などのエネルギー線を照射することで、金属酸化物膜のパターン化を容易に行うことができる。
また同様な手法を用いて、酸化物における金属元素の構成を、例えばZr、Hf、Alなどとすることにより、高誘電特性を有する絶縁膜への応用可能な機能性酸化物膜を形成することができる。
本実施形態においては、上述したように過酸化水素を含有する溶媒にエネルギー線を照射し、生成されたヒドロラジカル等の活性酸素種によって、金属酸化物膜を酸化するようにしているので、複雑で面倒なフォトリソグラフィープロセスを省略することができ、プロセスの簡易化を図ることができる。
すなわち、上述した基板101、201は、例えば石英、ガラスやプラスチックフィルムから構成されるが、フレキシブルなプラスチックフィルムで構成することにより、フレキシブルなディスプレイ(例えば有機ELディスプレイ)に適用することが可能である。プラスチックフィルムとしては、たとえばPET、PEN、ポリイミドなどが挙げられ、場合によってはステンレスなどの金属板を用いることができる。
膜厚は、例えば100nmから300nmとされる。
すなわち、本実施例においては、基板1、ゲート電極2およびゲート絶縁膜3として熱酸化膜付の低抵抗シリコンウエハを用いた。次に、塗布型半導体膜4を形成するために、スピンコート法により金属酸化物前躯体薄膜をシリコンウエハ上に塗布した。
以上により、所望のパターンを有する金属酸化物膜を形成した。
このときの半導体層4の膜厚は15 nmであった。
続いて、所定形状の遮光メタルマスクによりマスキングし、モリブデンを用いた、DCスパッタリング法によりソース・ドレイン電極6a、6bを形成した。
これにより、実施例1に係る評価用のTFTを作成した。
下記表2に、実施例1と比較例1におけるキャリア移動度(cm2/Vs)の比較を表す。
すなわち、InとZrの含有モル比率が7:3で同じであっても、水溶性金属酸化物前躯体溶液に過酸化水素を含んでいない比較例1のものでは移動度が6.2cm2/Vsであるのに対し、水溶性金属酸化物前躯体溶液に過酸化水素を含んでいる実施例1においては移動度が12.7cm2/Vsであり、前躯体溶液中に過酸化水素を含有することにより特性の大幅な向上が見られた。
この結果を下記表3に示した。併せて、過酸化水素100%溶液に対する定量分析も行い、その結果を下記表3に示した。
すなわち、DMPOアダクト濃度は、比較例1のものでは検出されなかったのに対し、実施例1のものでは8.9×10-6 mol/Lとの高い値が検出された。なお、過酸化水素100%溶液のDMPOアダクト濃度は、1.2×10-5 mol/Lが測定された。
このように、過酸化水素を添加することにより酸化力の強いヒドロキシルラジカルを発生させることが可能であり、本実施例に示すようなヒドロキシルラジカルを効率的に発生することが可能な溶液を用いることにより、光によるパターニングプロセスの適用が可能となり、また高性能な塗布型酸化物を作成することが可能となった。
また、上記実施形態の塗布型金属酸化物の製造方法に係る電子デバイスであるTFTとして、ボトムゲート型の構成のものについて説明しているが、本発明の塗布型金属酸化物の製造方法に係る電子デバイスであるTFTとしては、トップゲート型の構成のものも同様に適応し得る。但し、トップゲート型のTFTの場合には、金属酸化物膜の前駆体溶液は、通常、ソース・ドレイン電極や基板上に塗布されて金属酸化物膜が形成されることになる。
また、塗布型酸化物膜の製造方法は、TFTの半導体層(チャンネル層)の製造方法として用いられるものに限られず、液晶、プラズマ、EL等の表示素子、太陽電池、さらにはタッチパネルや各種電極等の製造方法にも好適に用いることができる。
また、上述したTFTを用いて表示駆動部を形成し、例えば、有機ELディスプレイ(OLED)やLCD等の種々の表示装置を形成することができる。
したがって、従来の塗布型酸化物半導体に比べて、簡易に、かつ良好な性能を有するTFTを形成することができ、特に大面積化を図ることが可能であり、大変有用である。
上記のような指標とその値を見いだし、これによって本願発明の特徴を物の構造または特性により直接特定することは、およそ実際的ではない。
(塗布型金属酸化物膜の構成)
金属塩からなる無機酸塩を、過酸化水素が所定の重量割合を占める溶媒に溶解して水溶性の金属酸化物の前駆体溶液を生成し、
生成された前記前駆体溶液を所定の被塗布体上に塗布し、
前記所定の被塗布体上に塗布された前記金属酸化物の前駆体溶液の所定領域にエネルギー線を照射し、該領域を酸化させて金属酸化物膜を生成し、
生成された前記金属酸化物膜をパターニングすることにより構成されることを特徴とする塗布型金属酸化物膜。
2、102、202 ゲート電極
3、103、203 ゲート絶縁膜
4、104、204 半導体層(塗布型金属酸化物膜)
205 エッチングストップ層
6、106、206 ソース・ドレイン電極
6a ソース電極
6b ドレイン電極
Claims (6)
- 金属塩からなる無機酸塩を、過酸化水素が所定の重量割合を占める溶媒に溶解して水溶性の金属酸化物の前駆体溶液を生成する前駆体溶液生成工程と、
前記前駆体溶液生成工程において生成された前記前駆体溶液を所定の被塗布体上に塗布する前駆体塗布工程と、
前記前駆体塗布工程で前記所定の被塗布体上に塗布された前記金属酸化物の前駆体溶液の所定領域にエネルギー線を照射し、該所定領域を酸化させて金属酸化物膜を生成する金属酸化物膜生成工程と、
前記金属酸化物膜生成工程において生成された前記金属酸化物膜をパターニングするエッチング工程と、
を有することを特徴とする塗布型金属酸化物膜の製造方法。 - 前記所定の重量割合が1重量%以上、かつ30重量%以下であることを特徴とする請求項1に記載の塗布型金属酸化物膜の製造方法。
- 前記無機酸塩が硝酸塩、塩化物塩、硫酸塩、酢酸塩、炭酸塩、フッ化物塩のうちの少なくともいずれか1種類であることを特徴とする請求項1または2に記載の塗布型金属酸化物膜の製造方法。
- 前記エネルギー線は、前記溶媒が活性酸素種を発生することができる強さとされていることを特徴とする請求項1~3のうちいずれか1項に記載の塗布型金属酸化物膜の製造方法。
- 前記エネルギー線が、180nm以上、かつ400nm以下の波長の紫外線を含む光であることを特徴とする請求項1~4のうちいずれか1項に記載の塗布型金属酸化物膜の製造方法。
- 前記エッチング工程において、有機酸を含む溶液によりエッチングを行うことを特徴とする請求項1~5のうちいずれか1項に記載の塗布型金属酸化物膜の製造方法。
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