JP7212370B2

JP7212370B2 - 近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子の製造方法

Info

Publication number: JP7212370B2
Application number: JP2019221184A
Authority: JP
Inventors: 信一東田
Original assignee: CDM INFRASTRUCTURE & ENVIRONMENTAL, INC.
Current assignee: CDM INFRASTRUCTURE & ENVIRONMENTAL, INC.
Priority date: 2019-05-28
Filing date: 2019-12-06
Publication date: 2023-01-25
Anticipated expiration: 2039-12-06
Also published as: JP2020196945A

Description

本発明は、近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子の製造方法に関する。

従来より、例えば、非特許文献１に示すように、金ナノ粒子は、吸収した光を熱に変換するフォトサーマル効果を示すことから、その熱を用いたがん等の温熱治療やドラッグデリバリーシステムにおけるキャリアーに用いられている。

新留琢郎，新留康郎,"金ナノ粒子を用いたバイオイメージングおよびフォトサーマル治療"，レーザー研究，２０１０年第３８巻第６号４２１－４２６

ところで、５００ｎｍ程度の可視光領域は、生体組織への透過性が低い。このため、生体組織への透過性が高い近赤外領域に吸収波長を有する金属ナノ粒子が望まれている。また、このような金属ナノ粒子の製造に係る時間を短くすることが望まれる。

本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子を短時間で製造することが可能な製造方法を提供することにある。

本発明者が、近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子を短時間での製造を可能とするべく鋭意検討を行った結果、ナノ粒子コロイドとシランカップリング剤を混合する第１工程と、シリカ前駆体を混合する第２工程と、の少なくともいずれかにおいて、混合物に対してマイクロ波を照射することが有意であることを見出し、本発明を完成するに至った。

第１観点に係る近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子の製造方法では、ナノ粒子コロイドとシランカップリング剤を混合する第１工程と、前記第１工程で得られたものに対して、シリカ前駆体を混合する第２工程と、を備え、前記第１工程および／または前記第２工程では、混合物に対してマイクロ波を照射する。

第２観点に係る製造方法では、第１観点に係る製造方法において、近赤外レーザー光を照射する光温熱治療に用いられる近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子を製造するための製造方法である。

第３観点に係る製造方法では、第２観点のいずれかに係る製造方法において、第１工程におけるナノ粒子コロイドは、ソリューションプラズマ法により調製された金属ナノ粒子コロイドである。

第４観点に係る製造方法では、第１観点から第３観点のいずれかに係る製造方法において、ナノ粒子は、金ナノ粒子である。

第５観点に係る製造方法では、第１観点から第４観点のいずれかに係る製造方法において、シランカップリング剤は、メルカプト基を有するものである。

第６観点に係る製造方法では、第５観点に係る製造方法において、シランカップリング剤は、３－メルカプトプロピルトリメトキシシランを含む。

第７観点に係る製造方法では、第１観点から第６観点のいずれかに係る製造方法において、第１工程では、さらに分散剤を混合する。

第８観点に係る製造方法では、第７観点に係る製造方法において、分散剤は、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリビニルアルコール、および、高分子分散剤からなる群より選択される１種または２種以上である。なお、高分子分散剤としては、フコイダン、アルギン酸塩、ヒアルロン酸塩などの多糖類塩からなる群より選択される１種または２種以上とすることができる。

第９観点に係る製造方法では、第１観点から第８観点のいずれかに係る製造方法において、第２工程では、さらに、アミン溶液を混合する。

第１０観点に係る製造方法では、第９観点に係る製造方法において、アミン溶液は、アンモニアである。

第１１観点に係る製造方法では、第１観点から第１０観点のいずれかに係る製造方法において、シリカ前駆体は、テトラエトキシシランである。

第１２観点に係る製造方法では、第１観点から第１１観点のいずれかに係る製造方法において、第１工程において用いられるナノ粒子コロイドは、平均粒子径が５ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。

第１３観点に係る製造方法では、第１観点から第１２観点のいずれかに係る製造方法において、マイクロ波は、周波数が３００ＭＨｚ以上３０ＧＨｚ以下であり、照射出力が１Ｗ以上１０００Ｗ以下である。

第１４観点に係る製造方法では、第１３観点に係る製造方法において、マイクロ波は、間欠的に照射される。

本発明の製造方法によれば、近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子を短時間で製造することが可能となる。

以下、近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子の製造方法について、例を挙げつつ具体的に説明するが、これらの記載は開示の内容を限定するものではない。

近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子の製造方法は、ナノ粒子コロイドとシランカップリング剤を混合する第１工程と、前記第１工程で得られたものに対して、シリカ前駆体を混合する第２工程と、を備え、前記第１工程および／または前記第２工程では、混合物に対してマイクロ波を照射する製造方法である。

（１）近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子
本件において、近赤外域とは、特に限定されないが、例えば、６５０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の波長領域であり、６６０ｎｍ以上８５０ｎｍ以下の波長領域であることが好ましく、６７０ｎｍ以上７５０ｎｍ以下の波長領域であることがより好ましい。この波長領域でプラズモン吸収を持つナノ粒子であれば、生体を透過しやすいため、近赤外レーザー光を照射する光温熱治療において好適に用いられる。

（２）第１工程
第１工程では、ナノ粒子コロイドとシランカップリング剤を混合する。

（２－１）ナノ粒子コロイド
ナノ粒子コロイドは、粒子が液体中に分散したものである。

ナノ粒子としては、例えば、金属ナノ粒子、炭素ナノ粒子を挙げることができる。金属ナノ粒子としては、例えば、白金ナノ粒子、銀ナノ粒子、パラジウムナノ粒子、銅ナノ粒子、金ナノ粒子、および、これら金属の合金ナノ粒子の少なくともいずれかが挙げられる。また、炭素ナノ粒子としては、グラフェン、フラーレンを挙げることができる。なかでも、生体内において毒性が少なく、表面修飾が比較的容易である金ナノ粒子を用いることが好ましい。

ナノ粒子の形状は、特に限定されず、棒状、楕円形状、球状等が挙げられるが、吸収波長を近赤外域まで増大させやすい観点から、棒状、楕円形状が好ましい。

ナノ粒子の平均粒子径は、例えば、５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下であることが好ましい。ナノ粒子の平均粒子径は、動的光散乱法（DLS：Dynamic light scattering）によって測定したもの（積算分布曲線の５０％積算値を示す粒子径であるメジアン径（Ｄ５０））でよい。なお、ナノ粒子の粒子径分布は、平均粒子径±５０ｎｍの範囲内に粒子の９０％以上が存在するものであってよく、平均粒子径±２０ｎｍの範囲内に粒子の９０％以上が存在するような単分散のものであることが好ましい。ここで、ナノ粒子の粒子径分布としては、動的光散乱法（ＤＬＳ）による個数別粒度分布として得られるものであってよく、例えば、Ｍａｌｖｅｒｎ社のＺＳ９０を用いて測定される値を用いることができる。

金属ナノ粒子の調製方法としては、例えば、ソリューションプラズマ法、湿式法（塩化金酸を用いた還元法）、Laser ablation法、マイクロ波plasma法等、が挙げられる。なお、還元剤としては、アミン、アルカリ金属水素化ホウ素塩、ヒドラジン化合物、ヒドロキシルアミン、クエン酸、酒石酸、アスコルビン酸、ギ酸、ホルムアルデヒド等が挙げられる。ここで、細胞毒性のある塩化金酸やカチオン界面活性剤（臭化セチルトリメチルアンモニウム（ＣＴＡＢ）等）や各種還元剤等を用いることなく（これらの洗浄分離の困難性を伴うこと無く）、得られた粒子を生体内に安全に適用できる観点から、ソリューションプラズマ法により得られた金属ナノ粒子を用いることが好ましい。

ソリューションプラズマ法は、溶液中に設けた金属電極に対してパルス電源を供給し、グロー放電、アーク放電、コロナ放電等を生じさせることで、プラズマを生成し、金属ナノ粒子を調製する方法であり、電圧、パルス幅、パルス周波数、パルス波形等の電源条件と、溶質、溶媒の種類や濃度、伝導率やｐＨ等の溶液条件と、形状、大きさ、材質、電極間距離等の電極条件と、加熱、冷却、攪拌等の環境条件等と、を調節することにより、所望のプラズマを生じさせることができる。

特に、得ようとする金属ナノ粒子の金属と同じ金属で構成された線状電極を用いて、水または電解質を含む水溶液中においてプラズマを生じさせて、線状電極から金属ナノ粒子を放出させるソリューションプラズマ法によって、得られた金属ナノ粒子コロイドを用いることが好ましい。ここで、電解質としては、塩化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、極性基を有するアルコール類等を用いることができる。なお、この場合のパルス電源を供給する電極間の距離としては、例えば、１ｍｍ程度とすることができる。また、プラズマを生じさせる溶液としては、電源電圧、周波数、パルス幅に合わせた適当な導電率をもつものを用いることができ、その導電率は、例えば、１０μＳ／ｃｍ以上３００００μＳ／ｃｍ以下であってよく、３５０μＳ／ｃｍ以上１５００μＳ／ｃｍ以下であることが好ましい。

（２－２）シランカップリング剤
シランカップリング剤としては、特に限定されない。なお、金属ナノ粒子との相互作用が強いことから、金属ナノ粒子と共に用いられるシランカップリング剤としては、メルカプトプロピルトリメトキシシラン、メルカプトプロピルトリエトキシシラン、メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン等のメルカプト基を有するものであることが好ましい。なかでも、３－メルカプトプロピルトリメトキシシランを含むものであることが好ましい。

なお、第１工程における液体中のシランカップリング剤の配合量は、例えば、ナノ粒子コロイド１ｇに対して、０．１μＬ以上２５．０μＬの割合で配合させることが好ましく、１．０μＬ以上１０．０μＬの割合で配合することがより好ましい。

（２－３）分散剤
第１工程では、ナノ粒子コロイドとシランカップリング剤以外にさらに分散剤を混合するとよい。

分散剤は、ナノ粒子の凝集を抑制することが可能になり、粒子径が大きくなりすぎることなく、ナノ粒子の表面にシランカップリング剤で覆うことができる。

このような分散剤としては、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリビニルアルコール、および、平均分子量が１０，０００以上５０，０００以下であるような高分子分散剤からなる群より選択される１種または２種以上を用いることができる。なかでも、生体への影響が低く、安全性が高い点で、ポリビニルピロリドンが好ましい。なお、高分子分散剤としては、フコイダン、アルギン酸塩、ヒアルロン酸塩などの多糖類塩からなる群より選択される１種または２種以上とすることができる。塩としては、特に限定されないが、例えば、ナトリウム塩を用いることができる。

なお、第１工程における液体中の分散剤の配合量は、例えば、ナノ粒子コロイド１ｇに対して、０．０１ｇ以上０．８ｇ以下の割合で配合することが好ましく、０．０８ｇ以上０．４ｇ以下の割合で配合することがより好ましい。

（２－４）第１工程におけるマイクロ波の照射
第１工程における混合物に対しては、得られる粒子のプラズモン吸収波長を近赤外域側にシフトさせることができ、第１工程に要する時間を短縮させる観点から、マイクロ波を照射させることが好ましい。

このようなマイクロ波としては、周波数が３００ＭＨｚ以上３０ＧＨｚ以下であり、例えば、２．４ＧＨｚ以上２．５ＧＨｚ以下または５．７ＧＨｚ以上５．９ＧＨｚ以下であってもよい。また、マイクロ波の照射出力は１Ｗ以上１０００Ｗ以下であることが好ましく、照射出力が５０Ｗ以上６００Ｗ以下であることがより好ましく、照射出力が１００Ｗ以上５００Ｗ以下であることがさらに好ましい。

マイクロ波は、照射対象の液体の温度が過度に上昇して沸騰してしまうことを抑制するために（溶液の温度が１００℃を超えることが無いように、より好ましくは７０℃を超えることが無いように）、照射対象の液体の温度制御をＰＩＤ制御するように照射されるか、または、所定の時間間隔をあけて間欠的に照射されることが好ましい。これにより、溶液のゲル化を抑制することが可能となる。なお、マイクロ波を間欠的に照射する場合には、例えば、照射出力が１００Ｗ以上５００Ｗ以下のマイクロ波を、連続して３０秒以上１５０秒以下照射させた後に、照射をやめて、液体を冷却させ、その後、照射出力が１００Ｗ以上５００Ｗ以下のマイクロ波を、連続して３０秒以上１５０秒以下照射させるといった操作を繰り返すようにしてもよい。

（３）第２工程
第２工程では、第１工程で得られた混合物に対して、シリカ前駆体を混合する。これにより、ナノ粒子に対して、加水分解されたシリカ前駆体による被膜を形成することができる。

（３－１）シリカ前駆体
シリカ前駆体としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ（ｎ‐プロポキシ）シラン、テトラ（ｉ‐プロポキシ）シラン、テトラ（ｎ‐ブトキシ）シラン、テトラ（ｔ‐ブトキシ）シラン、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、プロピルトリメトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、イソブチルトリエトキシシラン、シクロヘキシルトリメトキシシラン、シクロヘキシルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、アリルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシランなどが挙げられる。なかでも、テトラエトキシシランが好ましい。

シリカ前駆体は、第２工程において、例えば、ナノ粒子コロイド１ｇに対して、０．００１ｇ以上０．１ｇ以下の割合で配合することが好ましく、０．０１ｇ以上０．０５ｇ以下の割合で配合することがより好ましい。

（３－２）アミン溶液
第２工程では、シリカ前駆体の加水分解反応を促進させる触媒として、アミン溶液をさらに混合させるとよい。

アミン溶液としては、アンモニア、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミンを挙げることができ、なかでも、アンモニアが好ましい。

アミン溶液は、第２工程の溶液中のアミン濃度で、１４０ｍｏｌ／ｍ^３以上３５００ｍｏｌ／ｍ^３以下となるように、より好ましくは３００ｍｏｌ／ｍ^３以上２３００ｍｏｌ／ｍ^３以下となるように配合されるのが好ましい。また、例えば、アミン溶液として５重量％以上３０重量％以下の濃度のアンモニアを用いる場合には、ナノ粒子コロイド１ｇに対して、０．０１ｇ以上０．０８ｇ以下の割合で配合することが好ましい。

（３－３）アルコール類
上記シリカ前駆体とアミン溶液は、アルコール類に溶解させた状態で用いられてもよい。

このようなアルコール類としては、無水エタノールを挙げることができる。

アルコール類は、第２工程において、例えば、ナノ粒子コロイド１ｇに対して、０．０１ｇ以上２．０ｇ以下の割合で配合することが好ましく、０．０３ｇ以上１．０ｇ以下の割合で配合することがより好ましい。

（３－４）第２工程におけるマイクロ波の照射
第２工程における混合物に対しては、得られる粒子のプラズモン吸収波長を近赤外域側にシフトさせることができ、第２工程に要する時間を短縮させる観点から、マイクロ波を照射させることが好ましい。

このようなマイクロ波としては、周波数が２．４ＧＨｚ以上２．５ＧＨｚ以下または５．７ＧＨｚ以上５．９ＧＨｚ以下であり、照射出力が１Ｗ以上１０００Ｗ以下であることが好ましく、照射出力が５０Ｗ以上６００Ｗ以下であることがより好ましく、照射出力が１００Ｗ以上５００Ｗ以下であることがさらに好ましい。

マイクロ波は、照射対象の液体の温度が過度に上昇して沸騰してしまうことを抑制するために（溶液の温度が１００℃を超えることが無いように、より好ましくは７０℃を超えることが無いように）、照射対象の液体の温度制御をＰＩＤ制御するように照射されるか、または、所定の時間間隔をあけて間欠的に照射されることが好ましい。これにより、溶液のゲル化を抑制することが可能となる。なお、マイクロ波を間欠的に照射する場合には、例えば、照射出力が１００Ｗ以上５００Ｗ以下のマイクロ波を、連続して４０秒以上１５０秒以下照射させた後に、照射をやめて、液体を冷却させ、その後、照射出力が１００Ｗ以上５００Ｗ以下のマイクロ波を、連続して４０秒以上１５０秒以下照射させるといった操作を繰り返すようにしてもよい。

なお、得られる粒子のプラズモン吸収波長を近赤外域側にシフトさせつつ製造に要する時間を短縮化できる観点から、第１工程と第２工程の両方でマイクロ波の照射を行うことが好ましい。

なお、第２工程を経て得られるナノ粒子の表面に設けられるシリカ層の厚みは、例えば、５ｎｍ以上１５０ｎｍ以下である。このように、ナノ粒子をシリカでコーティングすることにより、吸収波長を近赤外域にシフトさせることが可能になる。

また、第２工程を経て得られるナノ粒子の平均粒子径は、例えば、２０ｎｍ以上３１０ｎｍ以下である。

（４）得られるナノ粒子の用途
上記製造方法により得られた近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子は、生体を透過しやすい近赤外域の波長を吸収するものであるため、近赤外レーザー光を照射する光温熱治療に好ましく用いられる。

以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明の趣旨を逸脱することがない限り、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

＜実施例１～６および比較例１～６＞
（第１工程）
各実施例および各比較例の第１工程では、ガラス容器において、金ナノ粒子コロイドと、ポリビニルピロリドンと、３－メルカプトプロピルトリメトキシシランとを混合させた。ここで、溶液中の各成分の配合量は、以下の表の通りとした。なお、金ナノ粒子コロイドは、ソリューションプラズマ法によって調製した、塩化金酸や還元剤やカチオン界面活性剤を含まないものであり、水溶媒中に金ナノ粒子が分散したものを用いた。ここで、金ナノ粒子コロイドは、放電水中の金電極間に対してパルス電源を供給してプラズマを生じさせるソリューションプラズマ法によって得た。この金ナノ粒子コロイドは、水の配合量が９９．９９重量％以上のものであった。この金ナノ粒子コロイドの平均粒子径は、１０ｎｍであった。

また、溶液は、マグネティックスターラーを用いて常温下で所定時間攪拌を行った後、適宜、所定の条件でマイクロ波を照射した。なお、表中の「○」は、マイクロ波の照射と冷却を１ｓｔ～５ｔｈに記載の条件で順次行ったことを示し、「／」はマイクロ波の照射等が行われなかったことを示している。

マイクロ波の照射では、マイクロ波発生装置として、三洋電機製オーブンレンジＥＭＯ－ＣＨ７を用いた。マイクロ波の照射では、２．４５ＧＨｚの周波数で、２００Ｗの照射出力のものを、間欠的に照射する態様で行った。具体的には、表に記載のように、所定時間だけマイクロ波を照射した後に、マイクロ波の照射により温度上昇した溶液を、所定時間だけ冷却するという作業を繰り返して行った。溶液の冷却では、４℃での震とう冷却（ＡＤＶＡＮＴＥＣ製恒温冷却水槽ＴＢＬ３２０ＡＢを用いて準備した４℃の冷却水槽に対して、マイクロ波の照射を終えた反応ガラス容器に蓋をしつつ、冷却水槽に入れ、手動で振とう）を所定時間行った。

なお、マイクロ波の照射を行っていない溶液については、常温下での攪拌を行った。

また、各比較例では、各成分が混合された溶液を、常温下、暗所（ポリビニルピロリドンの光分解を抑えるためにガラス容器をアルミフォイルで覆い、入光を遮った）で、マグネティックスターラーを用いて所定時間攪拌を行い、マイクロ波は照射しなかった。

（第２工程）
各実施例および各比較例の第２工程では、第１工程で得られた溶液に対して、テトラエトキシシランと、アンモニア水（１０．５重量％）と、無水エタノールを、以下の表に記載の配合量でそれぞれ混合させた。また、溶液は、マグネティックスターラーを用いて常温下で所定時間攪拌を行った後、適宜、所定の条件でマイクロ波を照射した。

また、各比較例では、各成分が混合された溶液を、４℃の環境下で、マグネティックスターラーを用いて所定時間攪拌を行い、マイクロ波は照射しなかった。なお、各比較例については、攪拌を終えた後に、さらに、４℃の環境下で所定時間放置させた。

なお、第２工程では、照射対象となる液体の量が増大することから、マイクロ波の照射時間を長めに設定した。

（評価）
以上のようにして得られた各実施例および各比較例の金ナノ粒子について、遠心洗浄を行い、ＪＡＳＣＯ製Ｖ－５６０の紫外可視近赤外分光光度計（ＵＶ－ＶＩＳ）を用いて、吸収波長のピークを測定した。なお、遠心洗浄では、金ナノ粒子以外の未反応物を取り除くため、第２工程を経た試料の原液量の倍の精製水を入れ、５分間の超音波撹拌を行った後に遠心分離（３８００ｒｐｍを３０分間）するサイクルを２回行った。そして、得られた沈殿物を、金ナノ粒子コロイドの作製に用いた放電水（同じ導電率を持つ）中に超音波で再分散して、最終生成物とし、吸収波長を測定した。

各実施例および各比較例の条件および測定結果等を以下の表に示す。

以上の各実施例および各比較例によれば、マイクロ波の照射を行わない場合には、粒子の製造に長時間要しているにも関わらず、近赤外域に十分にシフトできていないのに対して、マイクロ波を照射した場合には、近赤外域にシフトさせつつ、粒子の製造に要する時間も短くすることができていることが確認される。

Claims

ナノ粒子コロイドとメルカプト基を有するものであるシランカップリング剤を混合する第１工程と、
前記第１工程で得られたものに対して、シリカ前駆体を混合する第２工程と、
を備え、
前記第１工程および／または前記第２工程では、混合物に対してマイクロ波を照射する、
近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子の製造方法。
ナノ粒子コロイドとシランカップリング剤を混合する第１工程と、
前記第１工程で得られたものに対して、テトラエトキシシランであるシリカ前駆体を混合する第２工程と、
を備え、
前記第１工程および／または前記第２工程では、混合物に対してマイクロ波を照射する、
近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子の製造方法。
前記シランカップリング剤は、メルカプト基を有するものである、
請求項２に記載の製造方法。
前記シランカップリング剤は、３－メルカプトプロピルトリメトキシシランを含む、
請求項１または３に記載の製造方法。
近赤外レーザー光を照射する光温熱治療に用いられる近赤外域のプラズモン吸収をもつナノ粒子を製造するための、
請求項１から４のいずれか１項に記載の製造方法。
前記第１工程における前記ナノ粒子コロイドは、ソリューションプラズマ法により調製された金属ナノ粒子コロイドである、
請求項５に記載の製造方法。
前記ナノ粒子は、金ナノ粒子である、
請求項１から６のいずれか１項に記載の製造方法。
前記第１工程では、さらに分散剤を混合する、
請求項１から７のいずれか１項に記載の製造方法。
前記分散剤は、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリビニルアルコール、および、高分子分散剤からなる群より選択される１種または２種以上である、
請求項８に記載の製造方法。
前記第２工程では、さらに、アミン溶液を混合する、
請求項１から９のいずれか１項に記載の製造方法。
前記アミン溶液は、アンモニアである、
請求項１０に記載の製造方法。
前記第１工程において用いられる前記ナノ粒子コロイドは、平均粒子径が５ｎｍ以上５０ｎｍ以下である、
請求項１から１１のいずれか１項に記載の製造方法。
前記マイクロ波は、周波数が３００ＭＨｚ以上３０ＧＨｚ以下であり、照射出力が１Ｗ以上１０００Ｗ以下である、
請求項１から１２のいずれか１項に記載の製造方法。
前記マイクロ波は、間欠的に照射される、
請求項１３に記載の製造方法。