JP7208901B2 - 容量性高周波微小電気機械スイッチのシステム及び動作方法 - Google Patents
容量性高周波微小電気機械スイッチのシステム及び動作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7208901B2 JP7208901B2 JP2019533554A JP2019533554A JP7208901B2 JP 7208901 B2 JP7208901 B2 JP 7208901B2 JP 2019533554 A JP2019533554 A JP 2019533554A JP 2019533554 A JP2019533554 A JP 2019533554A JP 7208901 B2 JP7208901 B2 JP 7208901B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- electrode
- cmut
- cmut cell
- drift
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0292—Electrostatic transducers, e.g. electret-type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0207—Driving circuits
- B06B1/0223—Driving circuits for generating signals continuous in time
- B06B1/0238—Driving circuits for generating signals continuous in time of a single frequency, e.g. a sine-wave
- B06B1/0246—Driving circuits for generating signals continuous in time of a single frequency, e.g. a sine-wave with a feedback signal
- B06B1/0253—Driving circuits for generating signals continuous in time of a single frequency, e.g. a sine-wave with a feedback signal taken directly from the generator circuit
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0207—Driving circuits
- B06B1/0215—Driving circuits for generating pulses, e.g. bursts of oscillations, envelopes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60B—VEHICLE WHEELS; CASTORS; AXLES FOR WHEELS OR CASTORS; INCREASING WHEEL ADHESION
- B60B1/00—Spoked wheels; Spokes thereof
- B60B1/02—Wheels with wire or other tension spokes
- B60B1/0253—Wheels with wire or other tension spokes the spoke being hollow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2406—Electrostatic or capacitive probes, e.g. electret or cMUT-probes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
CMUTセルの超音波アレイであって、各CMUTセルが、基板、基板に結合された第1の電極、第1の電極から少なくとも部分的に空間的に分離された可撓性メンブレン、及び可撓性メンブレンに結合された第2の電極を含む、CMUTセルの超音波アレイと、
アレイに結合される電圧源であり、電圧源が、各CMUTセルの電極にバイアス電圧及び刺激電圧を供給するように構成される、電圧源と、
CMUTのキャパシタンスの指標値を導き出し、キャパシタンスの指標値に基づいてCMUTセルのドリフト電圧の指標値を決定するように構成されたキャパシタンス感知回路と
を備える。
テスト信号を生成することであり、テスト信号が所定の電圧を有する、生成することと、
テスト信号の減衰信号を測定することであり、テスト信号が少なくともCMUTセルのインピーダンスによって減衰される、測定することと、
減衰信号とテスト信号とに基づいてCMUTセルのインピーダンスを決定することと、
決定されたインピーダンスに基づいてCMUTセルのドリフト電圧を決定することと
を行うように構成される。
基板と、
基板に接続された第1の電極と、
単一の電極から空間的に分離されている可撓性メンブレンと、
可撓性メンブレンに接続された第2の電極と
を備え、
この方法は、超音波生成サイクルのシーケンスを実行するステップを有し、各サイクルが、
CMUTセルの電極のどちらかにバイアス電圧を供給するステップであり、バイアス電圧がCMUTセルを崩潰モードへと駆動する、供給するステップと、
CMUTセルの電極のどちらかに刺激電圧を供給するステップであり、刺激電圧が可撓性メンブレンの一部分を所定の周波数で振動させる、供給するステップと、
刺激電圧を取り除き、それによって、CMUTセルが入来音響信号を受信できるようにするステップと
を有し、
シーケンスが、
第1の極性のバイアス電圧を有する第1のサイクル、及び反対の第2の極性のバイアス電圧を有する第2のサイクル、又は
第1の極性の刺激電圧を有する第3のサイクル、及び反対の第2の極性の刺激電圧を有する第4のサイクル
を含む。
テスト信号を生成するステップであり、テスト信号が所定の電圧を有する、生成するステップと、
テスト信号の減衰信号を測定するステップであり、テスト信号が少なくともCMUTセルのインピーダンスによって減衰される、測定するステップと、
減衰信号とテスト信号とに基づいてCMUTセルのインピーダンスを決定するステップと、
決定されたインピーダンスに基づいてCMUTセルのドリフト電圧を決定するステップと
を有する。
基板と、
基板に接続された第1の電極と、
第1の電極から空間的に分離されている可撓性メンブレンと、
可撓性メンブレンに接続された第2の電極と
第1の電極と第2の電極との間の誘電体スタックであり、
第1の密度の電気的に活性な欠陥を有する第1の誘電体層、及び
第1の密度よりも低い第2の密度の電気的に活性な欠陥を有する第2の誘電体層
を含む、誘電体スタックと
を含む。
第1の誘電体層及び第2の誘電体層の誘電特性に基づいて選択された第3の誘電体層
をさらに含む。
超音波プローブであり、超音波プローブが、
上述で論じたようなCMUTセルのアレイ
を含む、超音波プローブと、
超音波プローブに結合された電圧源であり、電圧源が、
CMUTセルの第1の電極にバイアス電圧を供給することであり、バイアス電圧がCMUTセルを崩潰モードへと駆動するように構成される、供給することと、
CMUTセルの第2の電極に刺激電圧を供給することと
を行うように構成される、電圧源と
を備える。
第2の電極によって検出された入来振動に基づいてデータを生成するように構成された信号プロセッサ
をさらに含む。
基板と、
基板に接続された第1の電極と、
第1の電極から空間的に分離されている可撓性メンブレンと、
可撓性メンブレンに接続された第2の電極と
第1の電極と第2の電極との間の誘電体スタックであり、
第1の密度の電気的に活性な欠陥を有する第1の誘電体層、及び
第1の密度よりも低い第2の密度の電気的に活性な欠陥を有する第2の誘電体層
を含む、誘電体スタックと
を備え、
この方法は、
容量性RFMEMSの電極のどちらかにバイアス電圧を供給し、それによって、第1電極と第2の電極との間に電界を作り出すステップであり、バイアス電圧が容量性RFMEMSを崩潰モードへと駆動するように構成される、作り出すステップと、
電極のどちらかに刺激電圧を供給し、それによって、第1の電極と第2の電極との間の電界を増加させるステップと、
第1の誘電体層を第1の程度の分極に、及び第2の誘電体層を第1の程度よりも低い第2の程度に分極させ、それによって、第1の電極と第2の電極との間のバイアス電圧に負のドリフトを引き起こすステップと、
第1の誘電体層内の空間電荷を第1のレベルの配向に、及び第2の誘電体層内の空間電荷を第1のレベルよりも大きい第2のレベルの配向に配向させ、それによって、第1の電極と第2の電極との間のバイアス電圧に正のドリフトを引き起こし、それによって、第1の電極と第2の電極との間のバイアス電圧の全ドリフトを最小化するステップと
を有する。
容量性微細加工超音波トランスデューサCMUTセルが提供され、CMUTセルは、
基板と、
基板に接続され、中心軸のまわりに形成された第1の電極と、
第1の電極から空間的に分離されている可撓性メンブレンと、
可撓性メンブレンに接続された第2の電極であり、第1の電極と同心である、第2の電極と
を備え、
第1の電極及び第2の電極の一方がリングを含み、そして第3の電極があり、第3の電極は、リング電極と第3の電極とが空間的に分離されるようにリングの中央部分を占める。
Claims (5)
- CMUTセルの超音波アレイであって、各CMUTセルが、基板、前記基板に結合された第1の電極、前記第1の電極から少なくとも部分的に空間的に分離された可撓性メンブレン、及び前記可撓性メンブレンに結合された第2の電極を含む、CMUTセルの超音波アレイと、
前記超音波アレイに結合された電圧源であって、前記CMUTセルのアレイを崩潰モードで動作させ、各CMUTセルの前記電極にバイアス電圧及び刺激電圧を供給する、電圧源と、
前記CMUTセルのうちの少なくとも1つのCMUTセルのキャパシタンスの指標値を導き出し、前記キャパシタンスの前記指標値に基づいて前記CMUTセルのドリフト電圧の指標値を決定するキャパシタンス感知回路であって、前記ドリフト電圧は前記CMUTセルの崩潰電圧のシフト又は変化である、キャパシタンス感知回路と、を備え、
前記キャパシタンス感知回路が、
所定の電圧を有するテスト信号を生成することと、
前記テスト信号の減衰信号を測定することであって、前記テスト信号が少なくとも前記CMUTセルのインピーダンスによって減衰される、測定することと、
前記減衰信号と前記テスト信号とに基づいて前記CMUTセルのインピーダンスを決定することと、
決定された前記インピーダンスに基づいて前記CMUTセルの前記ドリフト電圧を決定することと、を行うように構成され、
前記ドリフト電圧の絶対値が所定の値を超えていることに応じて、前記電圧源が、前記バイアス電圧又は前記刺激電圧の少なくとも一方の極性を反転させる、超音波システム。 - 前記電圧源が、
各CMUTセルの前記電極の一方にバイアス電圧を供給し、
前記CMUTセルの前記電極の他方に刺激電圧を供給する、
請求項1に記載の超音波システム。 - 前記電圧源が、前記極性を1マイクロ秒未満で反転させる、請求項1又は2に記載の超音波システム。
- 各CMUTセルの前記第2の電極が、前記第1の電極と同心であり、
前記第1の電極及び前記第2の電極の一方がリングを含み、前記リングの電極と第3の電極とが空間的に分離されるように前記リングの中央部分を占める当該第3の電極がある、請求項1~3のいずれか1項に記載の超音波システム。 - 前記電圧源が、
前記第1の電極に前記バイアス電圧を供給し、
前記CMUTセルの前記第2の電極に前記刺激電圧を供給する、請求項1~4のいずれか1項に記載の超音波システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022125373A JP7391152B2 (ja) | 2016-12-22 | 2022-08-05 | 容量性高周波微小電気機械スイッチのシステム及び動作方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP16206309 | 2016-12-22 | ||
EP16206309.3 | 2016-12-22 | ||
PCT/EP2017/084088 WO2018115283A1 (en) | 2016-12-22 | 2017-12-21 | Systems and methods of operation of capacitive radio frequency micro-electromechanical switches |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022125373A Division JP7391152B2 (ja) | 2016-12-22 | 2022-08-05 | 容量性高周波微小電気機械スイッチのシステム及び動作方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020502944A JP2020502944A (ja) | 2020-01-23 |
JP2020502944A5 JP2020502944A5 (ja) | 2021-02-04 |
JP7208901B2 true JP7208901B2 (ja) | 2023-01-19 |
Family
ID=57737590
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019533554A Active JP7208901B2 (ja) | 2016-12-22 | 2017-12-21 | 容量性高周波微小電気機械スイッチのシステム及び動作方法 |
JP2022125373A Active JP7391152B2 (ja) | 2016-12-22 | 2022-08-05 | 容量性高周波微小電気機械スイッチのシステム及び動作方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022125373A Active JP7391152B2 (ja) | 2016-12-22 | 2022-08-05 | 容量性高周波微小電気機械スイッチのシステム及び動作方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11458504B2 (ja) |
EP (2) | EP4289521A3 (ja) |
JP (2) | JP7208901B2 (ja) |
CN (1) | CN110325293B (ja) |
WO (1) | WO2018115283A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3659515A1 (en) * | 2018-11-29 | 2020-06-03 | Koninklijke Philips N.V. | Imaging system comprising an ultrasound transducer array and skin contact electrodes, and corresponding imaging method |
US11935397B2 (en) * | 2019-12-30 | 2024-03-19 | Sigmasense, Llc. | Organic and inorganic test system |
IL294825A (en) | 2020-01-20 | 2022-09-01 | Univ Leland Stanford Junior | Labeled electrode and/or pulse wave excitation for a capacitive micromachined ultrasonic transducer |
US11738369B2 (en) * | 2020-02-17 | 2023-08-29 | GE Precision Healthcare LLC | Capactive micromachined transducer having a high contact resistance part |
EP4344795A1 (en) * | 2022-09-27 | 2024-04-03 | Koninklijke Philips N.V. | Cmut drive method |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004503312A (ja) | 2000-06-15 | 2004-02-05 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性マイクロマシン超音波振動子 |
JP2008005885A (ja) | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Hitachi Medical Corp | 超音波診断装置 |
WO2009075280A1 (ja) | 2007-12-13 | 2009-06-18 | Hitachi Medical Corporation | 超音波診断装置と超音波探触子 |
JP2011004281A (ja) | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Canon Inc | 電気機械変換装置および電気機械変換装置の感度ばらつき検出方法 |
WO2013125626A1 (ja) | 2012-02-23 | 2013-08-29 | 日立アロカメディカル株式会社 | 超音波診断装置及び超音波探触子 |
Family Cites Families (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5396143A (en) | 1994-05-20 | 1995-03-07 | Hewlett-Packard Company | Elevation aperture control of an ultrasonic transducer |
US6283919B1 (en) | 1996-11-26 | 2001-09-04 | Atl Ultrasound | Ultrasonic diagnostic imaging with blended tissue harmonic signals |
US6458083B1 (en) | 1996-11-26 | 2002-10-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Ultrasonic harmonic imaging with adaptive image formation |
US6013032A (en) | 1998-03-13 | 2000-01-11 | Hewlett-Packard Company | Beamforming methods and apparatus for three-dimensional ultrasound imaging using two-dimensional transducer array |
US5997479A (en) | 1998-05-28 | 1999-12-07 | Hewlett-Packard Company | Phased array acoustic systems with intra-group processors |
US6499348B1 (en) | 1999-12-03 | 2002-12-31 | Scimed Life Systems, Inc. | Dynamically configurable ultrasound transducer with integral bias regulation and command and control circuitry |
US6530885B1 (en) | 2000-03-17 | 2003-03-11 | Atl Ultrasound, Inc. | Spatially compounded three dimensional ultrasonic images |
US6443901B1 (en) * | 2000-06-15 | 2002-09-03 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Capacitive micromachined ultrasonic transducers |
US6443896B1 (en) | 2000-08-17 | 2002-09-03 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method for creating multiplanar ultrasonic images of a three dimensional object |
US6468216B1 (en) | 2000-08-24 | 2002-10-22 | Kininklijke Philips Electronics N.V. | Ultrasonic diagnostic imaging of the coronary arteries |
US6585653B2 (en) | 2001-07-31 | 2003-07-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Micro-machined ultrasonic transducer (MUT) array |
JP4176450B2 (ja) | 2002-02-13 | 2008-11-05 | 松下電器産業株式会社 | 微小機械振動フィルタ |
US7087023B2 (en) * | 2003-02-14 | 2006-08-08 | Sensant Corporation | Microfabricated ultrasonic transducers with bias polarity beam profile control and method of operating the same |
US7780597B2 (en) * | 2003-02-14 | 2010-08-24 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Method and apparatus for improving the performance of capacitive acoustic transducers using bias polarity control and multiple firings |
US20050215909A1 (en) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Electric field control for capacitive micromachined ultrasound transducers |
US20050219953A1 (en) * | 2004-04-06 | 2005-10-06 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Method and system for operating capacitive membrane ultrasonic transducers |
JP4676988B2 (ja) * | 2005-09-05 | 2011-04-27 | 株式会社日立メディコ | 超音波撮像装置 |
EP1952767B1 (en) * | 2005-11-18 | 2015-07-15 | Hitachi Medical Corporation | Ultrasound diagnostic apparatus and method of calibrating the same |
WO2010097729A1 (en) | 2009-02-27 | 2010-09-02 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Pre-collapsed cmut with mechanical collapse retention |
EP2207484B1 (en) * | 2007-09-17 | 2016-11-09 | Koninklijke Philips N.V. | Production of pre-collapsed capacitive micro-machined ultrasonic transducers and applications thereof |
JP5281338B2 (ja) | 2008-08-29 | 2013-09-04 | 株式会社コンピュータシステム研究所 | 建築設計支援システム、建築設計支援サーバ、建築設計支援プログラム、記憶媒体、および建築設計支援方法 |
US8133182B2 (en) * | 2008-09-09 | 2012-03-13 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Multi-dimensional transducer array and beamforming for ultrasound imaging |
US8315125B2 (en) * | 2009-03-18 | 2012-11-20 | Sonetics Ultrasound, Inc. | System and method for biasing CMUT elements |
JP5473579B2 (ja) * | 2009-12-11 | 2014-04-16 | キヤノン株式会社 | 静電容量型電気機械変換装置の制御装置、及び静電容量型電気機械変換装置の制御方法 |
JP5875244B2 (ja) * | 2011-04-06 | 2016-03-02 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
EP2520917A1 (en) * | 2011-05-04 | 2012-11-07 | Nxp B.V. | MEMS Capacitive Pressure Sensor, Operating Method and Manufacturing Method |
EP2771132B1 (en) | 2011-10-28 | 2018-08-29 | Koninklijke Philips N.V. | Pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell with stress layer |
EP2825856B1 (en) * | 2012-03-13 | 2023-09-27 | Koninklijke Philips N.V. | Capacitive micro-machined ultrasound transducer device with charging voltage source |
JP6185988B2 (ja) * | 2012-05-31 | 2017-08-23 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | ウェハ及びその製造方法 |
US9479162B2 (en) * | 2012-11-28 | 2016-10-25 | Analog Devices, Inc. | Apparatus and methods for ultrasound probes |
JPWO2014087961A1 (ja) | 2012-12-03 | 2017-01-05 | 日本電気株式会社 | 電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器 |
AU2014234071B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-05-17 | Butterfly Network, Inc. | Complementary metal oxide semiconductor (CMOS) ultrasonic transducers and methods for forming the same |
US10209206B2 (en) | 2013-07-08 | 2019-02-19 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Method and system for determining strain distribution in a sample |
US20160199030A1 (en) * | 2013-08-27 | 2016-07-14 | Koninklijke Philips N.V. | Dual mode cmut transducer |
EP3049194B1 (en) * | 2013-09-24 | 2022-06-29 | Koninklijke Philips N.V. | Cmut device manufacturing method, cmut device and apparatus |
EP3052250B1 (en) | 2013-09-27 | 2022-03-30 | Koninklijke Philips N.V. | Ultrasound transducer assembly and method for transmitting and receiving ultrasound waves |
EP3079837B1 (en) * | 2013-12-12 | 2023-02-08 | Koninklijke Philips N.V. | Monolithically integrated three electrode cmut device |
KR20160021558A (ko) * | 2014-08-18 | 2016-02-26 | 삼성전자주식회사 | 초음파 변환기의 구동방법 및 초음파 진단 방치 |
EP3223709B1 (en) | 2014-11-25 | 2019-02-20 | Koninklijke Philips N.V. | Ultrasound system and method |
JP6276474B2 (ja) * | 2014-12-11 | 2018-02-07 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 2端子cmutデバイス |
US9479875B2 (en) * | 2015-01-23 | 2016-10-25 | Silicon Audio Directional, Llc | Multi-mode microphones |
US9503820B2 (en) * | 2015-01-23 | 2016-11-22 | Silicon Audio Directional, Llc | Multi-mode microphones |
US10773277B2 (en) * | 2015-03-05 | 2020-09-15 | Koninklijke Philips N.V. | Ultrasound system and method |
JP6472313B2 (ja) * | 2015-04-16 | 2019-02-20 | キヤノン株式会社 | 探触子及び情報取得装置 |
CN104826243B (zh) | 2015-05-15 | 2018-02-27 | 深圳先进技术研究院 | 一种超声刺激神经组织的装置 |
JP6925286B2 (ja) * | 2015-06-30 | 2021-08-25 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 超音波システム及び超音波パルス送信方法 |
CN106198724B (zh) * | 2016-06-30 | 2018-11-02 | 重庆大学 | 一种多稳态超声检测传感器 |
EP3559972A1 (en) * | 2016-12-22 | 2019-10-30 | Koninklijke Philips N.V. | Systems and methods of operation of capacitive radio frequency micro-electromechanical switches |
-
2017
- 2017-12-21 US US16/472,472 patent/US11458504B2/en active Active
- 2017-12-21 CN CN201780087039.3A patent/CN110325293B/zh active Active
- 2017-12-21 JP JP2019533554A patent/JP7208901B2/ja active Active
- 2017-12-21 EP EP23199781.8A patent/EP4289521A3/en active Pending
- 2017-12-21 EP EP17821633.9A patent/EP3558549B1/en active Active
- 2017-12-21 WO PCT/EP2017/084088 patent/WO2018115283A1/en unknown
-
2022
- 2022-08-05 JP JP2022125373A patent/JP7391152B2/ja active Active
- 2022-09-20 US US17/948,371 patent/US20230012105A1/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004503312A (ja) | 2000-06-15 | 2004-02-05 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性マイクロマシン超音波振動子 |
JP2008005885A (ja) | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Hitachi Medical Corp | 超音波診断装置 |
WO2009075280A1 (ja) | 2007-12-13 | 2009-06-18 | Hitachi Medical Corporation | 超音波診断装置と超音波探触子 |
JP2011004281A (ja) | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Canon Inc | 電気機械変換装置および電気機械変換装置の感度ばらつき検出方法 |
WO2013125626A1 (ja) | 2012-02-23 | 2013-08-29 | 日立アロカメディカル株式会社 | 超音波診断装置及び超音波探触子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP4289521A2 (en) | 2023-12-13 |
EP3558549A1 (en) | 2019-10-30 |
US11458504B2 (en) | 2022-10-04 |
EP3558549B1 (en) | 2024-02-14 |
US20230012105A1 (en) | 2023-01-12 |
JP7391152B2 (ja) | 2023-12-04 |
CN110325293A (zh) | 2019-10-11 |
JP2020502944A (ja) | 2020-01-23 |
WO2018115283A1 (en) | 2018-06-28 |
US20210129187A1 (en) | 2021-05-06 |
CN110325293B (zh) | 2021-06-22 |
EP4289521A3 (en) | 2024-03-27 |
JP2022166105A (ja) | 2022-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11864947B2 (en) | Systems and methods of operation of capacitive radio frequency micro-electromechanical switches | |
JP7208901B2 (ja) | 容量性高周波微小電気機械スイッチのシステム及び動作方法 | |
JP6684817B2 (ja) | 超音波システム及び方法 | |
EP3664939B1 (en) | Capacitive micro-machined ultrasound transducer (cmut) devices and control methods | |
CN107405130B (zh) | 超声系统和方法 | |
US11628472B2 (en) | Capacitive micro-machined ultrasound transducer (CMUT) devices | |
US11241715B2 (en) | Ultrasound system and ultrasonic pulse transmission method | |
US20190310231A1 (en) | Cmut probe, system and method | |
US20160047780A1 (en) | Methods of operating ultrasonic transducers, and ultrasonic devices |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201218 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220210 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220506 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220805 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7208901 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |