JP7201805B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
前記第一の高周波電力が第一の期間と前記第一の期間に隣接する第二の期間と振幅が0である第三の期間を有する第一の波形により変調されるとともに前記第二の高周波電力が期間Aと期間Bを有する第二の波形により変調される場合、前記期間Aの各々の前記第二の高周波電力が前記第一の期間と前記第二の期間に供給されるように前記第二の高周波電源を制御する制御装置をさらに備え、
前記第二の期間の振幅は、前記第一の期間の振幅より小さく、かつ0より大きく、
前記期間Aの振幅は、前記期間Bの振幅より大きいことにより達成される。
代表的な本発明にかかるプラズマ処理装置の一つは、試料がプラズマ処理される処理室と、プラズマを生成するための第一の高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記試料が載置される試料台と、前記試料台に第二の高周波電力を供給する第二の高周波電源とを備えるプラズマ処理装置において、
前記第一の高周波電力が第一の期間と前記第一の期間に隣接する第二の期間を有する第一の波形により変調されるとともに前記第二の高周波電力が期間Aと期間Bを有する第二の波形により変調される場合、前記期間Aの各々の前記第二の高周波電力が前記第一の期間と前記第二の期間に供給されるように前記第二の高周波電源を制御する制御装置をさらに備え、
前記第一の高周波電源は、パルス変調されていない高周波電力を供給する高周波電源とパルス変調された高周波電力を供給する高周波電源を具備し、
前記第二の期間の振幅は、前記第一の期間の振幅より小さく、かつ0より大きく、
前記期間Aの振幅は、前記期間Bの振幅より大きいことにより達成される。
代表的な本発明にかかるプラズマ処理装置の一つは、試料がプラズマ処理される処理室と、プラズマを生成するための第一の高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記試料が載置される試料台と、前記試料台に第二の高周波電力を供給する第二の高周波電源とを備えるプラズマ処理装置において、
前記第一の高周波電力が第一の期間と前記第一の期間に隣接する第二の期間を有する第一の波形により変調されるとともに前記第二の高周波電力が期間Aと期間Bを有する第二の波形により変調される場合、前記期間Aの各々の前記第二の高周波電力が前記第一の期間と前記第二の期間に供給されるように前記第二の高周波電源を制御する制御装置をさらに備え、
前記第二の高周波電源は、パルス変調されていない高周波電力を供給する高周波電源とパルス変調された高周波電力を供給する高周波電源を具備し、
前記第二の期間の振幅は、前記第一の期間の振幅より小さく、かつ0より大きく、
前記期間Aの振幅は、前記期間Bの振幅より大きいことにより達成される。
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
図1は、本発明の実施形態にかかる、ECR方式のマイクロ波プラズマエッチング装置(以下、プラズマ処理装置1とする)の縦断面の概略構成図である。プラズマ処理装置1における、処理室、試料台、試料等の各部は、概略的に円筒や円柱や円板等の軸対称形状を有する。
本明細書中で、「切り替え時をまたいで電力が印加される」とは、該切り替え時の前から電力の印加が開始され、該切り替え後までその電力の印加が続くことをいい、例えば期間Aの各々の第二の高周波電力が、第一の高周波電力における第一の期間と第二の期間に供給されることなどをいう。
図1で、プラズマ処理装置1の真空容器101内部の処理室122の下部には、真空排気装置119が接続されている。また、処理室122の内部上部には、シャワープレート102及び石英天板103が配置されている。シャワープレート102は、複数の孔を有している。ガス供給装置120から供給されるプラズマエッチング処理用のガスを、シャワープレート102の孔を通じて処理室122内に導入する。シャワープレート102の上には、石英天板103が配置され、石英天板103との間にガス供給用の間隙が設けられている。石英天板103は、上方からの電磁波を透過させ、処理室122の上方を気密に封止する。
エッチング処理を開始するにあたり、処理室122内へウエハ111が搬送される。試料台110にウエハ111を吸着させた後、レシピに基づいて、エッチングガスがガス供給装置120からマスフローコントロ-ラ(図示省略)を介して、石英天板103と石英シャワープレート102の間を通過して、石英シャワープレート102のガス孔より処理室122に導入される。さらに真空容器101内を所定の圧力とし、マイクロ波電源106の発振により処理室122内にプラズマ121を発生させる。またRFバイアス電源117からRFバイアスを出力し、プラズマ121からウエハ111へイオンを引き込むことでエッチング(プラズマ処理)が進行する。エッチングガスやエッチングにより発生した反応生成物は、排気装置119から排気される。
マイクロ波電源106のハイ電力P1:600ワット(50-2000ワットの範囲で変更可)、
マイクロ波電源106のロー電力P2:150ワット(20-1600ワットの範囲で変更可)、
マイクロ波電力のハイ・ロー周波数F1:500ヘルツ、
マイクロ波電力のハイ・ロー周期T1=1/F1(秒)、
マイクロ波電力のハイ・ローデューティ比D1:40%、
マイクロ波電力のハイ区間TH:1ミリ秒、
マイクロ波電力のロー区間TL:1ミリ秒、
マイクロ波電力のオン・オフ周波数F2:100ヘルツ、
マイクロ波電力のオン・オフ周期:T2=1/F2(秒)、
マイクロ波電力のオン・オフデューティ比D2:80%、
マイクロ波電力のオン時間T3=T2・D2、
マイクロ波電力のオン周波数F3(=1/T3):125ヘルツ、
(ただし、マイクロ波電力のハイ・ロー周波数F1は、マイクロ波電力のオン周波数F3の倍数となっていること。マイクロ波電力のハイ区間THの開始時を基準点PSTとする。)
RFバイアスのオン電力:100ワット(10-500ワットの範囲で変更可)、
RFバイアスのオフ電力:0ワット
RFバイアスのハイ・ロー周期TB(=T1):2ミリ秒、
RFバイアスの周波数FB1(=1/TB):500ヘルツ(10-5000ヘルツの範囲で変更可)、
RFバイアスのオン区間BON:1ミリ秒、
RFバイアスのオフ区間BOF:1ミリ秒、
RFバイアスのデューティー比:30%(1-100%の範囲で変更可)、
RFバイアスのディレイ時間TD:0.6ミリ秒、
RFバイアスのディレイRD(=TD/T1):30%、
(ただし、マイクロ波電力のオン時間以外は、RFバイアスを使用しない。)
図4Aは、図3Aの例とは逆に、マイクロ波電力ロー区間TLからマイクロ波電力ハイ区間THへの切り替え時をまたいでRFバイアスを印加したときの各ガスのプラズマ密度のグラフを示し、図4Bは、プラズマ密度の変化を拡大して示すとともに、エッチング形状を概略的に示したものである。
図5は、マイクロ波電源から、マイクロ波のハイ電力P1、マイクロ波のロー電力P2に加えて、マイクロ波電力のオフ電力P0=0の3ステージでのパルス発振を可能とした場合のシーケンスにおいて、マイクロ波パルスのパラメータおよび範囲を示した図である。マイクロ波電力(a)の変化をグラフ501に示し、RFバイアスの変化(b)をグラフ502に示す。この例では、マイクロ波電力は、ハイ区間TH(第一の期間)と、ロー区間TL(第二の期間)と、振幅ゼロのオフ区間(T2-T3:第三の期間)とを有する。
以下、第4実施形態について説明する。図6は、発振されるマイクロ波電力をハイ電力P1とロー電力P2の2値化したことに加えて、印加されるRFバイアスもハイ電力P3、ロー電力P4と2値化した状態で示す、図2と同様な図である。ここで、マイクロ波電力(a)のグラフは601、プラズマ密度(b)のグラフは602、プラズマインピーダンス(c)のグラフは604、RFバイアス(d)のグラフは605で示している。
第5実施形態について説明する。図7は、図6と同様な図である。図7において、第4実施形態と同じRFバイアスの6つのパラメータを用いて、マイクロ波電力ハイ区間THからマイクロ波電力ロー区間TLへの切り替えのタイミングでRFバイアスのハイ電力P3を印加し、同時にマイクロ波電力ロー区間TLからマイクロ波電力ハイ区間THへの切り替えタイミングで、RFバイアスのロー電力P4を印加している。このとき供給されるRFバイアスの変化をグラフ704で示す。ここでは簡略化して、RFバイアスのハイ電力P3とRFバイアスのロー電力P4の大きさを同じとしている。すなわち、RFバイアスは、ゼロとP3との間でパルス状に繰り返し変化する。
比較例について説明する。図8A,8Bは、図7と同様な図であるが、Vppを(e)に追加している。上述した実施形態と同様に、マイクロ波電力ハイ区間THとマイクロ波電力ロー区間TLとがパルス状に交互に繰り返されるようにマイクロ波電力を供給する方式であるが、第1比較例として示す図8Aにおいては、グラフ801で示すようにRFバイアスが連続波(一定)である。この時の試料台上における電圧のVppの変化を、グラフ802により示している。
第6実施形態について説明する。図9は、図8Bと同様な図であり、マイクロ波電力、RFバイアスと、Vppとの関係を示すシーケンスを示した図である。マイクロ波電力(a)のグラフは901、プラズマ密度(b)のグラフは902、プラズマインピーダンス(c)のグラフは903、RFバイアス(d)のグラフは904、Vpp(e)のグラフは905で示している。
第7実施形態について説明する。図10は、図2と同様な図であるが、(e)にRFバイアス反射波の変化を示し、(f)にVppの変化を示している。図10を参照して、マッチングボックス115において行われるRFバイアスの整合方法について説明する。
第8実施形態について説明する。図11Aは、2セットのマイクロ波電源装置と、2セットのRFバイアス電源装置を有するプラズマ処理装置の概略断面図である。図11Bは、本実施形態で用いられるマイクロ波電力の変化を示す図であり、図11Cは、本実施形態で用いられるRFバイアスの変化を示す図である。
Claims (10)
- 試料がプラズマ処理される処理室と、プラズマを生成するための第一の高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記試料が載置される試料台と、前記試料台に第二の高周波電力を供給する第二の高周波電源とを備えるプラズマ処理装置において、
前記第一の高周波電力が第一の期間と前記第一の期間に隣接する第二の期間と振幅が0である第三の期間を有する第一の波形により変調されるとともに前記第二の高周波電力が期間Aと期間Bを有する第二の波形により変調される場合、前記期間Aの各々の前記第二の高周波電力が前記第一の期間と前記第二の期間に供給されるように前記第二の高周波電源を制御する制御装置をさらに備え、
前記第二の期間の振幅は、前記第一の期間の振幅より小さく、かつ0より大きく、
前記期間Aの振幅は、前記期間Bの振幅より大きいことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 試料がプラズマ処理される処理室と、プラズマを生成するための第一の高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記試料が載置される試料台と、前記試料台に第二の高周波電力を供給する第二の高周波電源とを備えるプラズマ処理装置において、
前記第一の高周波電力が第一の期間と前記第一の期間に隣接する第二の期間を有する第一の波形により変調されるとともに前記第二の高周波電力が期間Aと期間Bを有する第二の波形により変調される場合、前記期間Aの各々の前記第二の高周波電力が前記第一の期間と前記第二の期間に供給されるように前記第二の高周波電源を制御する制御装置をさらに備え、
前記第一の高周波電源は、パルス変調されていない高周波電力を供給する高周波電源とパルス変調された高周波電力を供給する高周波電源を具備し、
前記第二の期間の振幅は、前記第一の期間の振幅より小さく、かつ0より大きく、
前記期間Aの振幅は、前記期間Bの振幅より大きいことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 試料がプラズマ処理される処理室と、プラズマを生成するための第一の高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記試料が載置される試料台と、前記試料台に第二の高周波電力を供給する第二の高周波電源とを備えるプラズマ処理装置において、
前記第一の高周波電力が第一の期間と前記第一の期間に隣接する第二の期間を有する第一の波形により変調されるとともに前記第二の高周波電力が期間Aと期間Bを有する第二の波形により変調される場合、前記期間Aの各々の前記第二の高周波電力が前記第一の期間と前記第二の期間に供給されるように前記第二の高周波電源を制御する制御装置をさらに備え、
前記第二の高周波電源は、パルス変調されていない高周波電力を供給する高周波電源とパルス変調された高周波電力を供給する高周波電源を具備し、
前記第二の期間の振幅は、前記第一の期間の振幅より小さく、かつ0より大きく、
前記期間Aの振幅は、前記期間Bの振幅より大きいことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置において、
前記制御装置は、前記期間Aの各々の前記第二の高周波電力が前記第一の期間の一部と前記第二の期間の一部に供給されるように前記第二の高周波電源を制御することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項4に記載のプラズマ処理装置において、
前記期間Bの振幅は0であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置において、
前記期間Aは、前記第一の期間より長いことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項6に記載のプラズマ処理装置において、
前記期間Bの振幅は0であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、
前記制御装置は、前記第二の高周波電力が前記第三の期間に供給されないように前記第二の高周波電源を制御することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置において、
前記第二の高周波電力の反射電力を抑制する整合器をさらに備え、
前記制御装置は、前記第一の期間から前記第二の期間への移行後または前記第二の期間から前記第一の期間への移行後、前記第二の高周波電力の整合が行われるように前記整合器を制御することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置において、
前記期間Aは、前記第二の期間より長いことを特徴とするプラズマ処理装置。
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