JP7173147B2 - Substrate with conductive layer and member for touch panel - Google Patents

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Description

本発明は、導電層付基板、タッチパネル用部材およびタッチパネルに関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a substrate with a conductive layer, a member for a touch panel, and a touch panel.

現在のスマートフォンやタブレット端末の多くは静電容量式タッチパネルが使用されている。静電容量式タッチパネルのセンサー基板は、ガラス上にITO(Indium Ti Oxide)や金属(銀、モリブデン、アルミニウム等)がパターニングされた配線を有し、配線の交差部が絶縁膜で絶縁され、さらに配線の表面に保護膜が形成された多層配線構造が一般的である。一般に、保護膜や絶縁膜は感光性材料によって形成される場合が多い。また、タッチパネルの大型化に伴う高感度化、高解像度化の観点から、配線部を金属で形成する方式の開発が進められているとともに、微細なパターンを形成できる感光性材料が求められている。 Many of the current smartphones and tablet terminals use capacitive touch panels. The sensor substrate of the capacitive touch panel has wiring patterned with ITO (Indium Ti Oxide) or metal (silver, molybdenum, aluminum, etc.) on glass, and the intersection of the wiring is insulated with an insulating film. A multi-layer wiring structure in which a protective film is formed on the surface of wiring is common. In general, protective films and insulating films are often formed of photosensitive materials. In addition, from the viewpoint of higher sensitivity and higher resolution accompanying the increase in size of the touch panel, the development of a method of forming the wiring part with metal is progressing, and there is a demand for a photosensitive material that can form a fine pattern. .

感光性透明材料として、アルカリ可溶性樹脂、重合性モノマー、光重合開始剤およびその他添加剤を含有するUV硬化型コーティング組成物が知られており、タッチパネルの絶縁膜用感光性樹脂組成物が開示されている。(たとえば、特許文献1、2参照)。 As a photosensitive transparent material, a UV curable coating composition containing an alkali-soluble resin, a polymerizable monomer, a photopolymerization initiator and other additives is known, and a photosensitive resin composition for an insulating film of a touch panel has been disclosed. ing. (See Patent Documents 1 and 2, for example).

これらの組成物の特性向上の手法として、特許文献3では特定の比率のカルド樹脂とアクリルポリマーの混合が検討されている。 As a technique for improving the properties of these compositions, Patent Document 3 discusses mixing a cardo resin and an acrylic polymer at a specific ratio.

特開2010-27033号公報JP 2010-27033 A 特開2013-140229号公報JP 2013-140229 A 国際公開第2017/159543号WO2017/159543

多層金属配線は、高温高湿下で層間の絶縁層中を金属イオンが移動するマイグレーション現象が生じ短絡しやすいことから、絶縁層には、高解像度化に加え、高温高湿下でのマイグレーション耐性が求められている。特許文献1や2には、得られた硬化膜が透明性に優れていることが記載されている。しかしながら、パターン加工性や、高温高湿下におけるマイグレーション耐性を満足するものではなかった。また、特許文献3に記載の硬化膜は、マイグレーション耐性を満足するものではなかった。 Multi-layer metal wiring tends to short-circuit due to the migration phenomenon in which metal ions move in the insulating layers between layers under high temperature and high humidity. is required. Patent Documents 1 and 2 describe that the obtained cured film is excellent in transparency. However, pattern workability and migration resistance under high temperature and high humidity conditions were not satisfied. Moreover, the cured film described in Patent Document 3 did not satisfy migration resistance.

本発明は、透明基板上に導電層と絶縁層が形成された導電層付基板であって、前記絶縁層を形成する感光性樹脂組成物が、解像度に優れるとともに、高温高湿下におけるマイグレーション耐性に優れる導電層付基板を提供することを目的とする。 The present invention provides a substrate with a conductive layer in which a conductive layer and an insulating layer are formed on a transparent substrate, wherein the photosensitive resin composition forming the insulating layer has excellent resolution and migration resistance under high temperature and high humidity. An object of the present invention is to provide a substrate with a conductive layer that is excellent in

本発明者らは、側鎖に脂環式骨格およびアルカリ可溶性基を有するアクリルポリマーと、特定の構造を有する化合物とを組み合わせた感光性樹脂組成物を用いて、導電層付基板に絶縁層を形成することによって、本発明の目的を達成できることを見出した。 The present inventors used a photosensitive resin composition in which an acrylic polymer having an alicyclic skeleton and an alkali-soluble group in a side chain and a compound having a specific structure are combined to form an insulating layer on a substrate with a conductive layer. It has been found that the objects of the present invention can be achieved by forming

即ち、本発明の導電層付基板は、透明基板上に導電層と絶縁層が形成された導電層付基板であって、前記絶縁層が(A)側鎖に脂環式骨格およびアルカリ可溶性基を有するアクリルポリマー、(B)光重合開始剤および(C)不飽和二重結合を有する化合物を含有する感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化膜であり、該(C)不飽和二重結合を有する化合物が下記一般式(1)で表される構造を有する化合物(C-1)を含む導電層付基板である。 That is, the substrate with a conductive layer of the present invention is a substrate with a conductive layer in which a conductive layer and an insulating layer are formed on a transparent substrate, and the insulating layer has (A) an alicyclic skeleton and an alkali-soluble group in a side chain. A cured film obtained by curing a photosensitive resin composition containing an acrylic polymer having a (B) photopolymerization initiator and (C) a compound having an unsaturated double bond, the (C) unsaturated double bond The substrate with a conductive layer includes a compound (C-1) in which the compound having a bond has a structure represented by the following general formula (1).

Figure 0007173147000001
Figure 0007173147000001

一般式(1)中、R~Rは水素原子、メタクリロイル基、アクリロイル基または有機基を示す。R~Rのうち3つ以上は、メタクリロイル基またはアクリロイル基である。また、n=0~10である。In general formula (1), R 1 to R 6 each represent a hydrogen atom, a methacryloyl group, an acryloyl group or an organic group. Three or more of R 1 to R 6 are methacryloyl groups or acryloyl groups. Also, n=0 to 10.

本発明の導電層付基板は、透明基板上に導電層と絶縁層が形成された導電層付基板であって、前記絶縁層が、解像度に優れるとともに、高温高湿下におけるマイグレーション耐性に優れる。 The substrate with a conductive layer of the present invention is a substrate with a conductive layer in which a conductive layer and an insulating layer are formed on a transparent substrate, and the insulating layer has excellent resolution and excellent migration resistance under high temperature and high humidity.

実施例におけるマイグレーション耐性の評価に用いる積層基板の構成を示す上面図である。FIG. 3 is a top view showing the configuration of a laminated substrate used for evaluating migration resistance in Examples. 実施例におけるマイグレーション耐性の評価に用いる積層基板の構成を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of a laminated substrate used for evaluating migration resistance in Examples.

本発明の導電層付基板は、透明基板上に導電層と絶縁層が形成された導電層付基板であって、前記絶縁層が(A)側鎖に脂環式骨格およびアルカリ可溶性基を有するアクリルポリマー、(B)光重合開始剤および(C)不飽和二重結合を有する化合物を含有する感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化膜であり、該(C)不飽和二重結合を有する化合物が前記一般式(1)で表される構造を有する化合物(C-1)を含む導電層付基板である:
[アクリルポリマー(A)]
前記絶縁層を形成する感光性樹脂組成物は、(A)側鎖に脂環式骨格およびアルカリ可溶性基を有するアクリルポリマー(以下、アクリルポリマー(A)と呼ぶ)を含有する。
The substrate with a conductive layer of the present invention is a substrate with a conductive layer in which a conductive layer and an insulating layer are formed on a transparent substrate, wherein the insulating layer (A) has an alicyclic skeleton and an alkali-soluble group in its side chain. A cured film obtained by curing a photosensitive resin composition containing an acrylic polymer, (B) a photopolymerization initiator, and (C) a compound having an unsaturated double bond, wherein the (C) unsaturated double bond is The compound having a conductive layer is a substrate with a conductive layer containing a compound (C-1) having a structure represented by the general formula (1):
[Acrylic polymer (A)]
The photosensitive resin composition forming the insulating layer contains (A) an acrylic polymer having an alicyclic skeleton and an alkali-soluble group in a side chain (hereinafter referred to as acrylic polymer (A)).

アクリルポリマー(A)が脂環式骨格を有することにより、絶縁層に疎水性を付与し、高温高湿下におけるマイグレーション耐性を向上させることができる。 By having an alicyclic skeleton in the acrylic polymer (A), it is possible to impart hydrophobicity to the insulating layer and improve migration resistance under high temperature and high humidity.

ここで、脂環式骨格とは、芳香環構造を含まない炭化水素基であり、単環の脂環式骨格および多環の脂環式骨格を含む。単環の脂環式骨格および多環の脂環式骨格を両方含んでも構わない。ただし、脂環式骨格のみで構成されている必要はなく、その一部に鎖状構造を含んでいてもよい。マイグレーション耐性を向上させる観点から、多環脂環式骨格であることが好ましい。 Here, the alicyclic skeleton is a hydrocarbon group that does not contain an aromatic ring structure, and includes monocyclic alicyclic skeletons and polycyclic alicyclic skeletons. Both a monocyclic alicyclic skeleton and a polycyclic alicyclic skeleton may be included. However, it does not need to be composed only of an alicyclic skeleton, and may partially contain a chain structure. From the viewpoint of improving migration resistance, a polycyclic alicyclic skeleton is preferred.

アクリルポリマー(A)は、側鎖に脂環式骨格を有する繰り返し単位として、一般式(2)で表される繰り返し単位を有することが好ましい。 The acrylic polymer (A) preferably has a repeating unit represented by general formula (2) as a repeating unit having an alicyclic skeleton in its side chain.

Figure 0007173147000002
Figure 0007173147000002

一般式(2)中、Rは水素原子またはメチル基を示す。In general formula (2), R7 represents a hydrogen atom or a methyl group.

アクリルポリマー(A)は、全繰り返し単位中、一般式(2)で表される繰り返し単位を0.1~10モル%有することが好ましい。一般式(2)で表される繰り返し単位の含有量が0.1モル%以上であると、絶縁層の疎水性が向上し、高温高湿下におけるマイグレーション耐性がより向上する。一般式(2)で表される繰り返し単位を、1モル%以上有することがより好ましく、2モル%以上有することがさらに好ましい。一方、一般式(2)で表される繰り返し単位が10モル%以下であると、より微細なパターンを形成することができる。 The acrylic polymer (A) preferably has 0.1 to 10 mol % of repeating units represented by general formula (2) in all repeating units. When the content of the repeating unit represented by the general formula (2) is 0.1 mol % or more, the insulating layer is improved in hydrophobicity and further improved in migration resistance under high temperature and high humidity. It is more preferable to have 1 mol % or more, more preferably 2 mol % or more, of the repeating unit represented by the general formula (2). On the other hand, when the repeating unit represented by formula (2) is 10 mol % or less, a finer pattern can be formed.

また、アクリルポリマー(A)は、一般式(3)で表される繰り返し単位を有することが好ましい。 Moreover, it is preferable that the acrylic polymer (A) has a repeating unit represented by the general formula (3).

Figure 0007173147000003
Figure 0007173147000003

一般式(3)中、Rは水素原子またはメチル基を示す。R~R13は水素原子、炭素数1~6の有機基またはヒドロキシル基を示す。R~R13はそれぞれ同じであっても異なっていてもよい。In general formula ( 3 ), R8 represents a hydrogen atom or a methyl group. R 9 to R 13 each represent a hydrogen atom, an organic group having 1 to 6 carbon atoms or a hydroxyl group. R 9 to R 13 may be the same or different.

アクリルポリマー(A)が一般式(3)で表される繰り返し単位を有することにより、アルカリ現像時の膜荒れを防ぎ、絶縁層に高い透明性を付与することができる。アクリルポリマー(A)は、全繰り返し単位中、一般式(3)で表される繰り返し単位を20~50モル%有することが好ましい。一般式(3)で表される繰り返し単位の含有量が20モル%以上有することにより、現像特性が向上し、より微細なパターンを形成することができる。一般式(3)で表される繰り返し単位を、25モル%以上有することがより好ましく、30モル%以上有することがさらに好ましい。一方、一般式(3)で表される繰り返し単位が50モル%以下有することにより、絶縁層の耐光性が向上する。アクリルポリマー(A)が一般式(3)で表される繰り返し単位を、45モル%以下有することがより好ましい。 By having the repeating unit represented by the general formula (3) in the acrylic polymer (A), it is possible to prevent film roughness during alkali development and impart high transparency to the insulating layer. The acrylic polymer (A) preferably has 20 to 50 mol % of repeating units represented by general formula (3) in all repeating units. When the content of the repeating unit represented by formula (3) is 20 mol % or more, development properties are improved and finer patterns can be formed. It is more preferable to have 25 mol% or more, more preferably 30 mol% or more, of the repeating unit represented by the general formula (3). On the other hand, when the repeating unit represented by the general formula (3) is present in an amount of 50 mol % or less, the light resistance of the insulating layer is improved. More preferably, the acrylic polymer (A) contains 45 mol % or less of repeating units represented by general formula (3).

一般式(3)中、R~R13の有機基は炭素数1~6のアルキル基が好ましい。アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、i-ブチル基、t-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基などが挙げられるが、これに限定されない。In general formula (3), the organic groups represented by R 9 to R 13 are preferably alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms. Examples of alkyl groups include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, n-butyl, i-butyl, t-butyl, n-pentyl and n-hexyl groups. is not limited to

アクリルポリマー(A)がアルカリ可溶性基を有することにより、感光性樹脂組成物にパターン加工性を付与し、解像度に優れる絶縁層を得ることができる。 When the acrylic polymer (A) has an alkali-soluble group, it is possible to impart pattern workability to the photosensitive resin composition and obtain an insulating layer with excellent resolution.

ここで、アルカリ可溶性基とは、カルボキシル基、アルコール性水酸基、フェノール性水酸基、スルホ基、リン酸基および酸無水物基から選ばれた基である。特に反応性と汎用性の観点から、カルボキシル基が好ましい。 Here, the alkali-soluble group is a group selected from a carboxyl group, an alcoholic hydroxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfo group, a phosphoric acid group and an acid anhydride group. A carboxyl group is particularly preferred from the viewpoint of reactivity and versatility.

前記アクリルポリマー(A)は、側鎖にアルカリ可溶性基を有する繰り返し単位として、下記一般式(4)で表される繰り返し単位を有することが好ましい。 The acrylic polymer (A) preferably has a repeating unit represented by the following general formula (4) as a repeating unit having an alkali-soluble group in its side chain.

Figure 0007173147000004
Figure 0007173147000004

一般式(4)中、R14は水素原子またはメチル基を示す。In general formula (4), R 14 represents a hydrogen atom or a methyl group.

アクリルポリマー(A)が一般式(4)で表される繰り返し単位を有することにより、アルカリ現像によるパターン加工性を付与することができる。アクリルポリマー(A)は、全繰り返し単位中、一般式(4)で表される繰り返し単位を5~60モル%有することが好ましい。一般式(4)で表される繰り返し単位の含有量が5モル%以上有することにより、現像特性が向上し、より微細なパターンを形成することができる。一般式(4)で表される繰り返し単位を、10モル%以上有することがより好ましい。一方、一般式(4)で表される繰り返し単位が60モル%以下有することにより、樹脂組成物の親水性が低下し、アルカリ現像によるパターン加工が容易となる。アクリルポリマー(A)が一般式(4)で表される繰り返し単位を、45モル%以下有することがより好ましい。 By having the repeating unit represented by the general formula (4), the acrylic polymer (A) can be imparted with pattern processability by alkali development. The acrylic polymer (A) preferably has 5 to 60 mol % of repeating units represented by the general formula (4) in all repeating units. When the content of the repeating unit represented by formula (4) is 5 mol % or more, development properties are improved and finer patterns can be formed. It is more preferable to have 10 mol % or more of repeating units represented by the general formula (4). On the other hand, when the repeating unit represented by the general formula (4) is contained in an amount of 60 mol % or less, the hydrophilicity of the resin composition is lowered, and pattern processing by alkali development is facilitated. More preferably, the acrylic polymer (A) contains 45 mol % or less of repeating units represented by general formula (4).

前記アクリルポリマー(A)は、下記一般式(5)で表される繰り返し単位を有することが好ましい。 The acrylic polymer (A) preferably has a repeating unit represented by the following general formula (5).

Figure 0007173147000005
Figure 0007173147000005

一般式(5)中、R15~R16は水素原子またはメチル基を示す。R15~R16はそれぞれ同じであっても異なっていてもよい。In general formula (5), R 15 to R 16 each represent a hydrogen atom or a methyl group. R 15 to R 16 may be the same or different.

アクリルポリマー(A)が一般式(5)で表される繰り返し単位を有することにより、ネガ型の感光性を呈し、微細パターンの形成が可能となる。アクリルポリマー(A)は、全繰り返し単位中、一般式(5)で表される繰り返し単位を5~60モル%有することが好ましい。一般式(5)で表される繰り返し単位の含有量が5モル%以上有することにより、露光部の硬化度が向上するため、露光部と未露光部におけるアルカリ現像液への溶解性の差が大きくなり、パターン形成が容易となる。一般式(5)で表される繰り返し単位を、15モル%以上有することがより好ましい。一方、一般式(5)で表される繰り返し単位が60モル%以下有することにより、露光による感度を適度に抑え、微細パターンの形成が容易となる。アクリルポリマー(A)が一般式(5)で表される繰り返し単位を、40モル%以下有することがより好ましい。 By having the repeating unit represented by the general formula (5), the acrylic polymer (A) exhibits negative photosensitivity and enables the formation of a fine pattern. The acrylic polymer (A) preferably has 5 to 60 mol % of repeating units represented by general formula (5) in all repeating units. Since the content of the repeating unit represented by the general formula (5) is 5 mol% or more, the degree of curing of the exposed area is improved, so that the difference in solubility in an alkaline developer between the exposed area and the unexposed area is reduced. It becomes large, and pattern formation becomes easy. It is more preferable to have 15 mol % or more of repeating units represented by the general formula (5). On the other hand, when the repeating unit represented by the general formula (5) is present in an amount of 60 mol % or less, the sensitivity due to exposure is moderately suppressed, thereby facilitating the formation of a fine pattern. More preferably, the acrylic polymer (A) contains 40 mol % or less of repeating units represented by the general formula (5).

アクリルポリマー(A)中に、一般式(4)で表される繰り返し単位および(5)で表される繰り返し単位を両方有することにより、親水性を付与し、より微細なパターンの形成が可能となるので好ましい。上記一般式(4)で表される繰り返し単位および(5)で表される繰り返し単位を全繰り返し単位中、合計40~60モル%有することが好ましい。一般式(4)で表される繰り返し単位および(5)で表される繰り返し単位を合計40モル%以上有することにより、構造中の水酸基の寄与により現像特性が向上し、より微細なパターンを形成することができる。一方、一般式(4)で表される繰り返し単位および(5)で表される繰り返し単位を合計60モル%以下有することにより、より微細なパターンを形成可能であることに加え、高温高湿下のマイグレーション耐性がより向上する。 By having both the repeating unit represented by the general formula (4) and the repeating unit represented by the general formula (5) in the acrylic polymer (A), it is possible to impart hydrophilicity and form a finer pattern. It is preferable because It is preferable that the repeating unit represented by the general formula (4) and the repeating unit represented by (5) are contained in a total of 40 to 60 mol % of all repeating units. By having a total of 40 mol% or more of the repeating unit represented by the general formula (4) and the repeating unit represented by (5), the hydroxyl group in the structure contributes to improve the development properties and form a finer pattern. can do. On the other hand, by having a total of 60 mol% or less of the repeating unit represented by the general formula (4) and the repeating unit represented by (5), in addition to being able to form a finer pattern, migration resistance is further improved.

前記アクリルポリマー(A)は、前記一般式(2)~(5)のいずれかで表される繰り返し単位以外の繰り返し単位を有してもよい。そのような繰り返し単位としては、例えばスチレン、メチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクル酸グリシジル等が挙げられる。 The acrylic polymer (A) may have repeating units other than the repeating units represented by any of the general formulas (2) to (5). Examples of such repeating units include styrene, methyl (meth)acrylate, glycidyl (meth)acrylate, and the like.

前記アクリルポリマー(A)は、エチレン性不飽和二重結合を有する単量体をラジカル重合させることにより得られる。一般式(2)~(4)で表される繰り返し単位は、それぞれの構造を形成する単量体をラジカル重合することにより得られる。また、一般式(5)で表される繰り返し単位は、一般式(4)で表される繰り返し単位を含むアクリルポリマーに対し、(メタ)アクリル酸グリシジルを付加反応させることにより得られる。 The acrylic polymer (A) is obtained by radically polymerizing a monomer having an ethylenically unsaturated double bond. The repeating units represented by formulas (2) to (4) are obtained by radical polymerization of monomers forming each structure. Further, the repeating unit represented by the general formula (5) can be obtained by addition reaction of glycidyl (meth)acrylate to an acrylic polymer containing the repeating unit represented by the general formula (4).

ラジカル共重合の触媒に特に制限はなく、アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ化合物や過酸化ベンゾイル等の有機過酸化物等が一般的に用いられる。 The radical copolymerization catalyst is not particularly limited, and azo compounds such as azobisisobutyronitrile and organic peroxides such as benzoyl peroxide are generally used.

また、(メタ)アクリル酸グリシジルの付加反応に用いる触媒に特に制限はなく、公知の触媒を用いることができるが、例えば、ジメチルアニリン、2,4,6-トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、ジメチルベンジルアミン等のアミノ系触媒、2-エチルヘキサン酸錫(II)、ラウリン酸ジブチル錫等の錫系触媒、2-エチルヘキサン酸チタン(IV)等のチタン系触媒、トリフェニルホスフィン等のリン系触媒およびアセチルアセトネートクロム、塩化クロム等のクロム系触媒等が用いられる。 Further, the catalyst used for the addition reaction of glycidyl (meth)acrylate is not particularly limited, and known catalysts can be used. Amino catalysts such as benzylamine, tin catalysts such as tin (II) 2-ethylhexanoate and dibutyltin laurate, titanium catalysts such as titanium (IV) 2-ethylhexanoate, phosphorus catalysts such as triphenylphosphine Catalysts and chromium-based catalysts such as acetylacetonate chromium and chromium chloride are used.

アクリルポリマー(A)は、多官能(メタ)アクリレート化合物と多価メルカプト化合物とを、マイケル付加(カルボニル基に関しβ位)により重合したものを用いることもできる。 The acrylic polymer (A) can also be obtained by polymerizing a polyfunctional (meth)acrylate compound and a polyhydric mercapto compound by Michael addition (β-position with respect to the carbonyl group).

アクリルポリマー(A)の重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定されるポリスチレン換算で、5,000~15,000であることが好ましい。重量平均分子量(Mw)を5,000以上とすることにより、感度が向上し、また、ポリマー分子末端の酸化劣化を抑制でき、色特性が向上する。重量平均分子量(Mw)はより好ましくは、7,000以上である。一方、重量平均分子量(Mw)を15,000以下とすることにより、より微細なパターンを形成することができ、透明な絶縁層を形成することが可能となる。重量平均分子量(Mw)はより好ましくは12,000以下である。 The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic polymer (A) is preferably 5,000 to 15,000 in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC). By setting the weight average molecular weight (Mw) to 5,000 or more, the sensitivity is improved, and oxidative deterioration of polymer molecule ends can be suppressed, thereby improving color characteristics. More preferably, the weight average molecular weight (Mw) is 7,000 or more. On the other hand, by setting the weight-average molecular weight (Mw) to 15,000 or less, finer patterns can be formed, and a transparent insulating layer can be formed. The weight average molecular weight (Mw) is more preferably 12,000 or less.

絶縁層を形成するための感光性樹脂組成物において、アクリルポリマー(A)の含有量に特に制限はなく、目的とする絶縁層の膜厚や用途により任意に選ぶことができるが、感光性樹脂組成物の固形分全体を100質量%とした場合に、アクリルポリマー(A)の含有量を10質量%以上70質量%以下とすることが一般的である。 In the photosensitive resin composition for forming the insulating layer, the content of the acrylic polymer (A) is not particularly limited, and can be arbitrarily selected depending on the intended thickness of the insulating layer and the application. When the total solid content of the composition is 100% by mass, the content of the acrylic polymer (A) is generally 10% by mass or more and 70% by mass or less.

[光重合開始剤(B)]
絶縁層を形成する感光性樹脂組成物は、光重合開始剤(B)を含有する。光重合開始剤(B)は、光(紫外線、電子線を含む)により分解および/または反応し、ラジカルを発生させるものである。具体例としては、1,2-プロパンジオン-3-シクロペンタン-1-[4-(フェニルチオ)-2-(O-ベンゾイルオキシム)]、3-シクロペンチルエタノン-1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-1-(O-アセチルオキシム)、1,2-オクタンジオン-1-[4-(フェニルチオ)-2-(O-ベンゾイルオキシム)]、エタノン-1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-1-(O-アセチルオキシム)等が挙げられる。これらを1種類または複数種類組み合わせて用いることができる。
[Photoinitiator (B)]
The photosensitive resin composition forming the insulating layer contains a photopolymerization initiator (B). The photopolymerization initiator (B) decomposes and/or reacts with light (including ultraviolet rays and electron beams) to generate radicals. Specific examples include 1,2-propanedione-3-cyclopentane-1-[4-(phenylthio)-2-(O-benzoyloxime)], 3-cyclopentylethanone-1-[9-ethyl-6 -(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-1-(O-acetyloxime), 1,2-octanedione-1-[4-(phenylthio)-2-(O-benzoyloxime) ], ethanone-1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-1-(O-acetyloxime) and the like. These can be used singly or in combination.

光重合開始剤(B)の含有量は、特に制限はないが、感光性樹脂組成物の固形分全体を100質量%とした場合に、0.1~20質量%であることが好ましい。光重合開始剤(B)の含有量が0.1質量%以上であると感光特性を付与でき、より微細なパターンを形成することができる。光重合開始剤(B)の含有量は、より好ましくは0.5質量%以上である。一方、光重合開始剤(B)の含有量が20質量%以下であると、光重合開始剤の残基による黄変を抑制できるため、透明な絶縁層を形成することができる。光重合開始剤(B)の含有量は、より好ましくは15質量%以下である。 The content of the photopolymerization initiator (B) is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 20% by mass when the total solid content of the photosensitive resin composition is 100% by mass. When the content of the photopolymerization initiator (B) is 0.1% by mass or more, photosensitivity can be imparted and a finer pattern can be formed. The content of the photopolymerization initiator (B) is more preferably 0.5% by mass or more. On the other hand, when the content of the photopolymerization initiator (B) is 20% by mass or less, yellowing due to photopolymerization initiator residues can be suppressed, so that a transparent insulating layer can be formed. The content of the photopolymerization initiator (B) is more preferably 15% by mass or less.

[不飽和二重結合を有する化合物(C)]
絶縁層を形成する感光性樹脂組成物は、不飽和二重結合を有する化合物(C)を含有し、不飽和二重結合を有する化合物(C)としてペンタエリスリトール骨格を有する化合物を含む。不飽和二重結合およびペンタエリスリトール骨格を有する化合物とは、下記一般式(1)で表される構造を有する化合物(C-1)である。化合物(C-1)を含有することで、微細なパターンを形成することができる。
[Compound (C) having an unsaturated double bond]
The photosensitive resin composition forming the insulating layer contains a compound (C) having an unsaturated double bond, and includes a compound having a pentaerythritol skeleton as the compound (C) having an unsaturated double bond. A compound having an unsaturated double bond and a pentaerythritol skeleton is a compound (C-1) having a structure represented by the following general formula (1). A fine pattern can be formed by containing the compound (C-1).

Figure 0007173147000006
Figure 0007173147000006

一般式(1)中、R~Rは水素原子、メタクリロイル基、アクリロイル基または有機基を示す。R~Rのうち3つ以上は、メタクリロイル基またはアクリロイル基である。また、n=0~10である。R~Rの有機基は炭素数1~6のアルキル基が好ましい。アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、i-ブチル基、t-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基などが挙げられるが、これに限定されない。In general formula (1), R 1 to R 6 each represent a hydrogen atom, a methacryloyl group, an acryloyl group or an organic group. Three or more of R 1 to R 6 are methacryloyl groups or acryloyl groups. Also, n=0 to 10. The organic groups of R 1 to R 6 are preferably alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms. Examples of alkyl groups include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, n-butyl, i-butyl, t-butyl, n-pentyl and n-hexyl groups. is not limited to

化合物(C-1)は、一般式(1)中、nが1以上であることが好ましい。一般式(1)中、nが1以上であることで、主鎖骨格に柔軟性が付与され、分子同士の接触確率向上によりラジカル重合性が向上し、露光量が少ない場合にも微細パターン形成が可能となる。上記化合物(C-1)の具体例を以下に挙げるが、これに限定されない。 Compound (C-1) preferably has n of 1 or more in general formula (1). In the general formula (1), when n is 1 or more, flexibility is imparted to the main chain skeleton, radical polymerizability is improved by improving the contact probability between molecules, and fine pattern formation is possible even when the exposure dose is small. becomes possible. Specific examples of the compound (C-1) are shown below, but are not limited thereto.

上記一般式(1)中、nが0である化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、メトキシ化ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、メトキシ化ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、メトキシ化ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、メトキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ブトキシ化ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、ブトキシ化ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ブトキシ化ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ブトキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。 Examples of compounds in which n is 0 in the general formula (1) include pentaerythritol mono(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, and pentaerythritol tetra(meth)acrylate. , Methoxylated pentaerythritol mono(meth)acrylate, Methoxylated pentaerythritol di(meth)acrylate, Methoxylated pentaerythritol tri(meth)acrylate, Methoxylated pentaerythritol tetra(meth)acrylate, Ethoxylated pentaerythritol mono(meth)acrylate , ethoxylated pentaerythritol di(meth)acrylate, ethoxylated pentaerythritol tri(meth)acrylate, ethoxylated pentaerythritol tetra(meth)acrylate, propoxylated pentaerythritol mono(meth)acrylate, propoxylated pentaerythritol di(meth)acrylate , propoxylated pentaerythritol tri(meth)acrylate, propoxylated pentaerythritol tetra(meth)acrylate, butoxylated pentaerythritol mono(meth)acrylate, butoxylated pentaerythritol di(meth)acrylate, butoxylated pentaerythritol tri(meth)acrylate , butoxylated pentaerythritol tetra(meth)acrylate and the like.

上記一般式(1)中、nが1である化合物としては、例えば、ジペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。 Examples of compounds in which n is 1 in the general formula (1) include dipentaerythritol mono(meth)acrylate, dipentaerythritol di(meth)acrylate, dipentaerythritol tri(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra (Meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate and the like.

上記一般式(1)中、nが2以上である化合物としては、例えば、トリペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールノナ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールデカ(メタ)アクリレート、ポリペンタエリスリトール(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらを1種類または複数種類組み合わせて用いることができる。 Examples of compounds in which n is 2 or more in the general formula (1) include tripentaerythritol mono(meth)acrylate, tripentaerythritol di(meth)acrylate, tripentaerythritol tri(meth)acrylate, and tripentaerythritol. Tetra(meth)acrylate, tripentaerythritol penta(meth)acrylate, tripentaerythritol hexa(meth)acrylate, tripentaerythritol hepta(meth)acrylate, tripentaerythritol octa(meth)acrylate, tetrapentaerythritol mono(meth)acrylate , tetrapentaerythritol di(meth)acrylate, tetrapentaerythritol tri(meth)acrylate, tetrapentaerythritol tetra(meth)acrylate, tetrapentaerythritol penta(meth)acrylate, tetrapentaerythritol hexa(meth)acrylate, tetrapentaerythritol hepta (Meth)acrylate, tetrapentaerythritol octa(meth)acrylate, tetrapentaerythritol nona(meth)acrylate, tetrapentaerythritol deca(meth)acrylate, polypentaerythritol (meth)acrylate and the like. These can be used singly or in combination.

絶縁層を形成する感光性樹脂組成物において、化合物(C-1)の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分全体を100質量%とした場合に、0.01~5質量%以下であることが好ましい。化合物(C-1)の含有量が0.01質量%以上であると、感光特性の観点から、良好な微細パターンを得ることが容易となる。一方、化合物(C-1)の含有量が5質量%以下であると、絶縁層の親水性が低くなるため、高温高湿下でのマイグレーション耐性がより向上する。化合物(C-1)の含有量は、解像度の観点から、より好ましくは3質量%以下であり、さらに好ましくは2質量%以下である。 In the photosensitive resin composition forming the insulating layer, the content of the compound (C-1) is 0.01 to 5% by mass or less when the total solid content of the photosensitive resin composition is 100% by mass. Preferably. When the content of the compound (C-1) is 0.01% by mass or more, it becomes easy to obtain a favorable fine pattern from the viewpoint of photosensitivity. On the other hand, when the content of the compound (C-1) is 5% by mass or less, the hydrophilicity of the insulating layer becomes low, so that migration resistance under high temperature and high humidity conditions is further improved. From the viewpoint of resolution, the content of compound (C-1) is more preferably 3% by mass or less, still more preferably 2% by mass or less.

また、感光性樹脂組成物は、不飽和二重結合を有する化合物(C)として、化合物(C-1)以外の不飽和二重結合を有する化合物(以下、その他の化合物(C)と呼ぶ)を含有してもよく、樹脂組成物の感度を調整することができる。 In addition, the photosensitive resin composition includes, as the compound (C) having an unsaturated double bond, a compound having an unsaturated double bond other than the compound (C-1) (hereinafter referred to as other compound (C)). may be contained, and the sensitivity of the resin composition can be adjusted.

その他の化合物(C)の含有量は、特に制限はなく、所望の用途により任意に選ぶことができるが、感光性樹脂組成物の固形分全体を100質量%とした場合に、1~30質量%が好ましい。その他の化合物(C)の含有量を1質量%以上とすることにより、感度をより向上させることができる。その他の化合物(C)の含有量は5質量%以上がより好ましく、10質量%以上がさらに好ましい。一方、その他の化合物(C)の含有量を30質量%以下とすることにより、より微細なパターンを形成することが可能となる。その他の化合物(C)の含有量はより好ましくは20質量%以下である。 The content of the other compound (C) is not particularly limited and can be arbitrarily selected depending on the desired application. % is preferred. By setting the content of the other compound (C) to 1% by mass or more, the sensitivity can be further improved. The content of the other compound (C) is more preferably 5% by mass or more, still more preferably 10% by mass or more. On the other hand, by setting the content of the other compound (C) to 30% by mass or less, it becomes possible to form a finer pattern. The content of other compound (C) is more preferably 20% by mass or less.

不飽和二重結合を2つ有する化合物としては、例えば、9,9-ビス[4-(2-(メタ)アクリロイルオキシエトキシ)フェニル]フルオレン、トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらを1種類または複数種類組み合わせて用いることができる。 Compounds having two unsaturated double bonds include, for example, 9,9-bis[4-(2-(meth)acryloyloxyethoxy)phenyl]fluorene, tris(2-hydroxyethyl)isocyanurate tri(meth) acrylates and the like. These can be used singly or in combination.

さらに、不飽和二重結合を有する化合物(C)として、多官能アリル化合物を含有していてもよい。多官能アリル化合物を含有することにより、絶縁層の高温高湿下でのマイグレーション耐性をさらに向上させることができるほか、更なる微細パターンを有する絶縁層を得られ、積層加工時の見栄え向上に寄与する。多官能アリル化合物としては、イソシアヌレート骨格を有する下記一般式(6)で表される化合物が好ましい。 Furthermore, a polyfunctional allyl compound may be contained as the compound (C) having an unsaturated double bond. By containing a polyfunctional allyl compound, it is possible to further improve the migration resistance of the insulating layer under high temperature and high humidity conditions, and it is possible to obtain an insulating layer with a finer pattern, which contributes to improving the appearance during lamination processing. do. As the polyfunctional allyl compound, a compound represented by the following general formula (6) having an isocyanurate skeleton is preferred.

Figure 0007173147000007
Figure 0007173147000007

一般式(6)中、l、m、nはそれぞれ独立に0~8の整数を表す。XおよびXはアリル基を表し、Xは水素原子、アリル基、フルオロ基、クロロ基、ブロモ基、ヨード基、カルボキシル基、エポキシ基、アクリル基、メタクリル基またはアルコキシ基を表す。In general formula (6), l, m and n each independently represent an integer of 0 to 8. X1 and X2 represent an allyl group, and X3 represents a hydrogen atom , an allyl group, a fluoro group, a chloro group, a bromo group, an iodo group, a carboxyl group, an epoxy group, an acrylic group, a methacrylic group or an alkoxy group.

一般式(6)で表される多官能アリル化合物として例えば、以下の化合物が挙げられるが、これに限定されない。 Examples of polyfunctional allyl compounds represented by formula (6) include, but are not limited to, the following compounds.

Figure 0007173147000008
Figure 0007173147000008

絶縁層を形成する感光性樹脂組成物において、多官能アリル化合物の含有量は、特に制限はなく、所望の用途により任意に選ぶことができるが、感光性樹脂組成物の固形分全体を100質量%とした場合に、1~30質量%以下が好ましい。多官能アリル化合物の含有量が1質量%以上であると、露光によるパターン太りを抑制し、より微細なパターンを形成することができる。多官能アリル化合物の含有量はさらに好ましくは5質量%以上である。一方、多官能アリル化合物の含有量が30質量%以下であると、加熱による熱硬化を促進し、硬化度の高い膜を得ることができる。多官能アリル化合物の含有量はより好ましくは20質量%以下である。これらを1種類または複数種類組み合わせて用いることができる。 In the photosensitive resin composition that forms the insulating layer, the content of the polyfunctional allyl compound is not particularly limited and can be arbitrarily selected depending on the desired application. %, it is preferably 1 to 30% by mass or less. When the content of the polyfunctional allyl compound is 1% by mass or more, pattern thickening due to exposure can be suppressed, and a finer pattern can be formed. The content of the polyfunctional allyl compound is more preferably 5% by mass or more. On the other hand, when the content of the polyfunctional allyl compound is 30% by mass or less, thermosetting by heating can be accelerated and a film with a high degree of curing can be obtained. The content of the polyfunctional allyl compound is more preferably 20% by mass or less. These can be used singly or in combination.

[着色剤(D)]
絶縁層を形成する感光性樹脂組成物は、着色剤(D)を含有することが好ましく、絶縁層のb値を調整することができる。なお、b値とは国際照明委員会1976に規定されるL表色系による値である。着色剤(D)を含有することにより、絶縁層絶縁層の黄色味を低減し、色目を向上させることができる。L表色系におけるL値、a値、b値は、広く知られているように、L値が明度、a値とb値とが、色相と彩度を表している。具体的には、a値が正の値であれば赤色の色相、負の値であれば緑色の色相を示す。また、b値が正の値であれば黄色の色相、負の値であれば青色の色相を示す。また、a値とb値とも、絶対値が大きいほどその色の彩度が大きく鮮やかな色であることを示し、絶対値が小さいほど彩度が小さいことを示す。bの測定値は、0の近傍がニュートラルであるため、観察したときの色調は、視覚上、無色と視認しやすくなり好ましい。絶縁層のb*値は、JIS-Z8729:1994に規定される方法のうち、反射による測定方法によって測定することができる。より具体的には、後述のように、ガラス基板上に絶縁層を形成する感光性樹脂組成物を硬化させて硬化膜を形成し、該硬化膜を分光光度計(CM-2600d;コニカミノルタ(株)製)を用いて全反射光の反射率を測定し、反射色度b*を測定することにより算出することができる。
[Colorant (D)]
The photosensitive resin composition forming the insulating layer preferably contains a coloring agent (D), and the b * value of the insulating layer can be adjusted. The b * value is a value according to the L * a * b * color system defined by the International Commission on Illumination 1976. By containing the coloring agent (D), the yellowness of the insulating layer can be reduced and the color can be improved. As is widely known, the L * value, a * value, and b * value in the L * a * b * color system are lightness, and the a * value and b * value are hue and chroma . represents degrees. Specifically, a positive a * value indicates a red hue, and a negative a* value indicates a green hue. A positive b * value indicates a yellow hue, and a negative b* value indicates a blue hue. For both the a * value and the b * value, the larger the absolute value, the higher the saturation of the color and the brighter the color, and the smaller the absolute value, the lower the saturation. Since the measured value of b * is neutral in the vicinity of 0, the color tone when observed is visually colorless, which is preferable. The b* value of the insulating layer can be measured by a reflection measurement method among the methods specified in JIS-Z8729:1994. More specifically, as described later, a photosensitive resin composition that forms an insulating layer on a glass substrate is cured to form a cured film, and the cured film is measured with a spectrophotometer (CM-2600d; Konica Minolta ( (manufactured by Co., Ltd.) to measure the reflectance of total reflected light and measure the reflection chromaticity b*.

着色剤(D)としては、顔料、染料などが挙げられる。なかでも、耐熱性および耐光性の観点から、顔料が好ましい。絶縁層の黄色味を低減する観点から、青色着色剤が好ましい。 Examples of the coloring agent (D) include pigments and dyes. Among them, pigments are preferable from the viewpoint of heat resistance and light resistance. A blue colorant is preferable from the viewpoint of reducing the yellowness of the insulating layer.

前記着色剤(D)は、金属錯体を含有することが好ましい。金属錯体を用いることにより、微量添加で絶縁層の黄色味をより低減することができる。金属錯体としては、例えば、ポルフィリンまたはフタロシアニン、少なくとも一部に置換基を有するフタロシアニンに金属が配位した化合物などが挙げられる。前記置換基としては、例えば、塩素などのハロゲン、スルホン酸基、アミノ基などが挙げられる。配位する金属としては、例えば、銅、亜鉛、ニッケル、コバルト、アルミニウムなどが挙げられる。これらの金属錯体を二種以上含有していてもよい。金属錯体としては、着色剤と他の有機成分との反応を抑制し、かつ、工程での高温処理時に退色せずに、色目をより向上させることができることから、フタロシアニンの銅錯体が好ましい。より好ましくは銅フタロシアニンスルホン酸アンモニウム塩、銅フタロシアニン3級アミン化合物、銅フタロシアニンスルホン酸アミド化合物である。着色剤(D)は、MASSスペクトル分析等により検出できる。 The coloring agent (D) preferably contains a metal complex. By using a metal complex, the yellow tint of the insulating layer can be further reduced by adding a very small amount. Examples of metal complexes include porphyrins, phthalocyanines, and compounds in which metals are coordinated to phthalocyanines at least partially having substituents. Examples of the substituent include halogen such as chlorine, sulfonic acid group, and amino group. Coordinating metals include, for example, copper, zinc, nickel, cobalt, and aluminum. Two or more of these metal complexes may be contained. As the metal complex, a copper complex of phthalocyanine is preferable because it suppresses the reaction between the colorant and other organic components, does not fade during high-temperature treatment in the process, and can further improve the color. More preferred are copper phthalocyanine sulfonate ammonium salt, copper phthalocyanine tertiary amine compound and copper phthalocyanine sulfonate amide compound. Colorant (D) can be detected by MASS spectral analysis or the like.

フタロシアニンの銅錯体の例としては、Pigment Blue 15、Pigment Blue 15:1、Pigment Blue 15:2、Pigment Blue 15:3、Pigment Blue 15:4、Pigment Blue 15:6、Pigment Blue 16などが挙げられる。なかでも、耐光性を向上し、太陽光に当たっても変色が発生せず、良好な外観を維持できるという観点から、ε型、α型の構造を有する銅フタロシアニンブルー顔料であるPigment Blue 15:1、Pigment Blue 15:6などが好ましい。 Examples of copper complexes of phthalocyanines include Pigment Blue 15, Pigment Blue 15:1, Pigment Blue 15:2, Pigment Blue 15:3, Pigment Blue 15:4, Pigment Blue 15:6, Pigment Blue 16, etc. . Among them, Pigment Blue 15:1, which is a copper phthalocyanine blue pigment having an ε-type and α-type structure, is used from the viewpoint of improving light resistance, not discoloring even when exposed to sunlight, and maintaining a good appearance. Pigment Blue 15:6 and the like are preferred.

絶縁層を形成する感光性樹脂組成物において、着色剤(D)の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分全体を100質量%とした場合に、0.01~0.5質量%以下であることが好ましい。着色剤(D)の含有量を0.01質量%以上とすることにより着色剤(D)の効果を十分なものとし、絶縁層の色目をより向上させることができる。着色剤(D)の含有量はより好ましくは0.05質量%以上である。また、着色剤(D)の含有量を0.5質量%以下とすることにより、着色剤(D)の吸収を抑制して全光線透過率を向上できる。着色剤(D)の含有量はより好ましくは0.4質量%以下である。着色剤(D)の含有量は、TG-MASSにより定量できる。 In the photosensitive resin composition forming the insulating layer, the content of the coloring agent (D) is 0.01 to 0.5% by mass or less when the total solid content of the photosensitive resin composition is 100% by mass. is preferably By setting the content of the coloring agent (D) to 0.01% by mass or more, the effect of the coloring agent (D) can be made sufficient, and the color of the insulating layer can be further improved. The content of the coloring agent (D) is more preferably 0.05% by mass or more. Also, by setting the content of the coloring agent (D) to 0.5% by mass or less, the absorption of the coloring agent (D) can be suppressed and the total light transmittance can be improved. The content of the coloring agent (D) is more preferably 0.4% by mass or less. The content of the coloring agent (D) can be quantified by TG-MASS.

[多官能エポキシ化合物]
絶縁層を形成する感光性樹脂組成物は、多官能エポキシ化合物を含有してもよい。多官能エポキシ化合物を含有することで、絶縁層の高温高湿下でのマイグレーション耐性をさらに向上させることができるほか、硬化時の膜収縮を抑制することにより、より平滑な絶縁層を得られ、積層加工時の見栄え向上に寄与する。多官能エポキシ化合物としては、イソシアヌレート骨格を有する多官能エポキシ化合物および/または芳香環を3つ以上有する多官能エポキシ化合物が好ましい。
[Polyfunctional epoxy compound]
The photosensitive resin composition forming the insulating layer may contain a polyfunctional epoxy compound. By containing a polyfunctional epoxy compound, it is possible to further improve the migration resistance of the insulating layer under high temperature and high humidity. Contributes to improving appearance during lamination processing. As the polyfunctional epoxy compound, a polyfunctional epoxy compound having an isocyanurate skeleton and/or a polyfunctional epoxy compound having 3 or more aromatic rings are preferred.

イソシアヌレート骨格を有する多官能エポキシ化合物として例えば、下記一般式(7)~(12)のいずれかで表される構造を有する化合物が挙げられる。 Examples of polyfunctional epoxy compounds having an isocyanurate skeleton include compounds having structures represented by any one of the following general formulas (7) to (12).

Figure 0007173147000009
Figure 0007173147000009

17~R22は、それぞれ独立に、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシル基、フェニル基、フェノキシ基、炭素数2~6のアルキルカルボニルオキシ基またはそれらの置換体を表す。R 17 to R 22 each independently represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, a phenoxy group, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 6 carbon atoms, or a substituent thereof represents

芳香環を3つ以上有する多官能エポキシ化合物としては例えば、下記一般式(13)~(17)のいずれかで表される構造を有する化合物が挙げられる。 Examples of polyfunctional epoxy compounds having three or more aromatic rings include compounds having a structure represented by any one of the following general formulas (13) to (17).

Figure 0007173147000010
Figure 0007173147000010

23~R28、R29~R32、R33~R36、R37~R40、R41~R44は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基を表す。o、pは0~15の整数を表す。R 23 to R 28 , R 29 to R 32 , R 33 to R 36 , R 37 to R 40 and R 41 to R 44 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, a methyl group, an ethyl group or a cyclohexyl group; show. o and p represent integers from 0 to 15;

これらの中でも特に高温高湿下でのマイグレーション耐性の向上に効果があるのは前記構造式(7)、(10)、(11)、(13)および(14)で表される構造を有する化合物である。 Among these, compounds having structures represented by the structural formulas (7), (10), (11), (13) and (14) are particularly effective in improving migration resistance under high temperature and high humidity conditions. is.

絶縁層を形成する感光性樹脂組成物において、多官能エポキシ化合物の含有量は、特に制限はなく、所望の用途により任意に選ぶことができるが、感光性樹脂組成物の固形分全体を100質量%とした場合に、1質量%以上、30質量%以下が好ましく、さらに好ましくは5質量%以上、20質量%以下である。これらを1種類または複数種類組み合わせて用いることができる。 In the photosensitive resin composition that forms the insulating layer, the content of the polyfunctional epoxy compound is not particularly limited and can be arbitrarily selected depending on the desired application. %, preferably 1% by mass or more and 30% by mass or less, more preferably 5% by mass or more and 20% by mass or less. These can be used singly or in combination.

[ヒンダードアミン系光安定剤]
絶縁層を形成する感光性樹脂組成物は、ヒンダードアミン系光安定剤を含有してもよい。ヒンダードアミン系光安定剤を含有することで、絶縁層の着色を低減できるとともに、耐光性を向上させることができる。
[Hindered amine light stabilizer]
The photosensitive resin composition forming the insulating layer may contain a hindered amine light stabilizer. By containing the hindered amine light stabilizer, it is possible to reduce the coloring of the insulating layer and improve the light resistance.

ヒンダードアミン系光安定剤として例えば、下記一般式(18)~(22)のいずれかで表される構造を有する化合物が挙げられる。 Hindered amine light stabilizers include, for example, compounds having structures represented by any of the following general formulas (18) to (22).

Figure 0007173147000011
Figure 0007173147000011

q、r、sおよびtはそれぞれ0~15の整数を表す。 q, r, s and t each represents an integer of 0 to 15;

これらの中でも、反応性が高く硬化に作用することから、ヒンダードアミン系光安定剤が不飽和二重結合を有することが好ましい。例えば、不飽和二重結合を有する上記構造式(18)または(19)で表される構造を有する化合物が特に好ましい。 Among these, the hindered amine light stabilizer preferably has an unsaturated double bond because it is highly reactive and acts on curing. For example, compounds having a structure represented by the above structural formula (18) or (19) having an unsaturated double bond are particularly preferred.

絶縁層を形成する感光性樹脂組成物において、ヒンダードアミン系光安定剤の含有量は、特に制限はないが、感光性樹脂組成物の固形分全体を100質量%とした場合に、0.01質量%以上、10質量%以下が好ましく、より好ましくは0.05質量%以上、5質量%以下である。これらを1種類または複数種類組み合わせて用いることができる。 In the photosensitive resin composition forming the insulating layer, the content of the hindered amine light stabilizer is not particularly limited, but is 0.01 mass when the total solid content of the photosensitive resin composition is 100 mass%. % or more and 10 mass % or less, more preferably 0.05 mass % or more and 5 mass % or less. These can be used singly or in combination.

[シランカップリング剤]
絶縁層を形成する感光性組成物は、シランカップリング剤を含有してもよい。シランカップリング剤を含有することで、基板と絶縁層の密着性がより向上する。
[Silane coupling agent]
The photosensitive composition forming the insulating layer may contain a silane coupling agent. By containing the silane coupling agent, the adhesion between the substrate and the insulating layer is further improved.

シランカップリング剤の具体例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-トリエトキシシリル-N-(1,3-ジメチル-ブチリデン)プロピルアミン、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン、〔(3-エチル-3-オキセタニル)メトキシ〕プロピルトリメトキシシラン、〔(3-エチル-3-オキセタニル)メトキシ〕プロピルトリエトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、3-トリメトキシシリルプロピルコハク酸、N-t-ブチル-3-(3-トリメトキシシリルプロピル)コハク酸イミド等が挙げられる。 Specific examples of silane coupling agents include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, and 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane. roxypropylmethyldiethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N-(1,3-dimethyl-butylidene)propyl amine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 2-(3, 4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane, 2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltriethoxysilane, [(3-ethyl-3-oxetanyl)methoxy]propyltrimethoxysilane, [(3-ethyl-3- oxetanyl)methoxy]propyltriethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, 3-ureidopropyltriethoxysilane, 3-isocyanatopropyltriethoxysilane, 3-trimethoxysilylpropylsuccinic acid, and Nt-butyl-3-(3-trimethoxysilylpropyl)succinimide.

これらの中でも、基板との密着性向上の観点から、シランカップリング剤は窒素を含有することが好ましい。窒素がシランカップリング剤と基板表面との縮合反応の触媒として作用するため、密着性が大きく向上する。 Among these, the silane coupling agent preferably contains nitrogen from the viewpoint of improving adhesion to the substrate. Since nitrogen acts as a catalyst for the condensation reaction between the silane coupling agent and the substrate surface, the adhesion is greatly improved.

窒素を含有するシランカップリング剤の具体例としては、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-(ビニルベンジル)-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩、N-(ビニルベンジル)-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリエトキシシラン塩酸塩、トリス-(トリメトキシシリルプロピル)イソシアヌレート、トリス-(トリエトキシシリルプロピル)イソシアヌレート、3-トリエトキシシリル-N-(1,3-ジメチル-ブチリデン)プロピルアミン、3-トリメトキシシリル-N-(1,3-ジメチル-ブチリデン)プロピルアミン、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-フェニル-3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリメトキシシラン、3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、3-イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、N-t-ブチル-3-(3-トリメトキシシリルプロピル)コハク酸イミド、N-t-ブチル-3-(3-トリエトキシシリルプロピル)コハク酸イミド等が挙げられる。 Specific examples of nitrogen-containing silane coupling agents include 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, N-(2-aminoethyl)-3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-( 2-aminoethyl)-3-aminopropylmethyldiethoxysilane, N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltrimethoxysilane, N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltriethoxysilane, N -(vinylbenzyl)-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride, N-(vinylbenzyl)-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltriethoxysilane hydrochloride, tris-( trimethoxysilylpropyl)isocyanurate, tris-(triethoxysilylpropyl)isocyanurate, 3-triethoxysilyl-N-(1,3-dimethyl-butylidene)propylamine, 3-trimethoxysilyl-N-(1, 3-dimethyl-butylidene)propylamine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N-phenyl-3-aminopropyltriethoxysilane, 3-ureidopropyltriethoxysilane, 3-ureidopropyltrimethoxysilane, 3 -isocyanatopropyltriethoxysilane, 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane, Nt-butyl-3-(3-trimethoxysilylpropyl)succinimide, Nt-butyl-3-(3-triethoxysilylpropyl ) succinimide and the like.

この中でも保存安定性の観点から特に、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリメトキシシランなどが好ましい。 Among these, 3-ureidopropyltriethoxysilane and 3-ureidopropyltrimethoxysilane are particularly preferred from the viewpoint of storage stability.

シランカップリング剤の添加量は、特に制限は無いが、感光性樹脂組成物の固形分全体を100質量%とした場合に、0.1質量%以上、10質量%以下が好ましい。添加量が0.1質量%より少ないと密着性向上の効果が低い。添加量が10質量%より多いと保管中にシランカップリング剤同士が縮合反応し、現像時の溶け残りの原因となる。 The amount of the silane coupling agent added is not particularly limited, but is preferably 0.1% by mass or more and 10% by mass or less when the total solid content of the photosensitive resin composition is 100% by mass. If the amount added is less than 0.1% by mass, the effect of improving adhesion is low. If the amount added is more than 10% by mass, the silane coupling agent undergoes a condensation reaction during storage, causing undissolved residue during development.

[硬化剤]
絶縁層を形成する感光性樹脂組成物は、樹脂組成物の硬化を促進させる、あるいは硬化を容易ならしめる各種の硬化剤を含有してもよい。硬化剤としては特に限定はなく公知のものが使用できるが、具体例としては、窒素含有有機物、シリコーン樹脂硬化剤、各種金属アルコレート、各種金属キレート化合物、イソシアネート化合物およびその重合体、メチロール化メラミン誘導体、メチロール化尿素誘導体等が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。なかでも、硬化剤の安定性、得られた塗布膜の加工性等から金属キレート化合物、メチロール化メラミン誘導体、メチロール化尿素誘導体などが好ましく用いられる。
[Curing agent]
The photosensitive resin composition that forms the insulating layer may contain various curing agents that accelerate or facilitate curing of the resin composition. The curing agent is not particularly limited and known ones can be used. Specific examples include nitrogen-containing organic substances, silicone resin curing agents, various metal alcoholates, various metal chelate compounds, isocyanate compounds and their polymers, and methylolated melamine. derivatives, methylolated urea derivatives and the like. You may contain 2 or more types of these. Among them, metal chelate compounds, methylolated melamine derivatives, methylolated urea derivatives, and the like are preferably used in view of the stability of the curing agent, workability of the resulting coating film, and the like.

[紫外線吸収剤]
絶縁層を形成する感光性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤を含有することで、得られる絶縁層の耐光性が向上し、パターン加工を必要とする用途では現像後の解像度が向上する。紫外線吸収剤としては特に限定はなく公知のものが使用できるが、透明性、非着色性の面から、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、トリアジン系化合物が好ましく用いられる。
[Ultraviolet absorber]
The photosensitive resin composition forming the insulating layer may contain an ultraviolet absorber. By containing an ultraviolet absorber, the resulting insulating layer has improved light resistance, and in applications requiring pattern processing, resolution after development is improved. As the ultraviolet absorber, there is no particular limitation and known ones can be used, but benzotriazole-based compounds, benzophenone-based compounds, and triazine-based compounds are preferably used in terms of transparency and non-coloring properties.

[重合禁止剤]
絶縁層を形成する感光性樹脂組成物は、重合禁止剤を含有してもよい。重合禁止剤を適量含有することで、現像後の解像度が向上する。重合禁止剤としては特に限定はなく公知のものが使用でき、たとえば、ジ-t-ブチルヒドロキシトルエン、ハイドロキノン、4-メトキシフェノール、1,4-ベンゾキノン、t-ブチルカテコールが挙げられる。また、市販の重合禁止剤としては、「IRGANOX1010」、「IRGANOX245」、「IRGANOX3114」、「IRGANOX565」(以上、BASF製)等が挙げられる。
[Polymerization inhibitor]
The photosensitive resin composition forming the insulating layer may contain a polymerization inhibitor. By containing an appropriate amount of polymerization inhibitor, the resolution after development is improved. There are no particular limitations on the polymerization inhibitor, and known ones can be used. Examples thereof include di-t-butylhydroxytoluene, hydroquinone, 4-methoxyphenol, 1,4-benzoquinone and t-butylcatechol. Commercially available polymerization inhibitors include "IRGANOX1010", "IRGANOX245", "IRGANOX3114", and "IRGANOX565" (manufactured by BASF).

[界面活性剤]
絶縁層を形成する感光性樹脂組成物は、塗布時のフロー性向上のために、各種のフッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の各種界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤の種類に特に制限はなく、例えば、“メガファック”(登録商標)「F477(商品名)」(以上、大日本インキ化学工業(株)製)等のフッ素系界面活性剤、「BYK-333(商品名)」、(ビックケミー・ジャパン(株)製)等のシリコーン系界面活性剤、ポリアルキレンオキシド系界面活性剤、ポリ(メタ)アクリレート系界面活性剤等を用いることができる。これらを2種以上用いてもよい。
[Surfactant]
The photosensitive resin composition forming the insulating layer may contain various surfactants such as various fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants in order to improve flowability during application. The type of surfactant is not particularly limited. BYK-333 (trade name)” (manufactured by BYK-Chemie Japan Co., Ltd.) and other silicone-based surfactants, polyalkylene oxide-based surfactants, poly(meth)acrylate-based surfactants, and the like can be used. You may use 2 or more types of these.

[溶剤]
絶縁層を形成する感光性樹脂組成物は、溶剤を含有してもよい。溶剤は、好ましくは大気圧下の沸点が110~250℃であり、さらに好ましくは200℃以下である。なお、これらの溶剤を複数種類用いてもよい。沸点が200℃より高いと、塗布膜形成時に膜中の残存溶剤量が多くなりキュア時の膜収縮が大きくなり、良好な平坦性が得られなくなる。一方、沸点が110℃より低いと、塗布膜形成時の乾燥が速すぎて膜表面が荒れる等、塗膜性が悪くなる。そのため、大気圧下の沸点が200℃以下の溶剤が感光性樹脂組成物中における、溶剤全体の50質量%以上であることが好ましい。
[solvent]
The photosensitive resin composition forming the insulating layer may contain a solvent. The solvent preferably has a boiling point of 110 to 250°C under atmospheric pressure, more preferably 200°C or less. In addition, you may use multiple types of these solvents. If the boiling point is higher than 200° C., the amount of residual solvent in the film increases during the formation of the coating film, resulting in increased film shrinkage during curing, and good flatness cannot be obtained. On the other hand, if the boiling point is lower than 110° C., the coating film properties are deteriorated, such as the film surface becoming rough due to excessive drying during coating film formation. Therefore, it is preferable that the solvent having a boiling point of 200° C. or less under atmospheric pressure accounts for 50% by mass or more of the total solvent in the photosensitive resin composition.

溶剤の具体例としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、酢酸メトキシメチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、1-メトキシプロピル-2-アセテート、乳酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサン、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソブチル、酢酸ブチル、酢酸イソペンチル、酢酸ペンチル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、エチレングリコールモノ-tert-ブチルエーテル、プロピレングリコールモノn-ブチルエーテル、プロピレングリコールモノt-ブチルエーテル、酢酸2-エトキシエチル、3-メトキシ-1-ブタノール、3-メトキシ-3-メチルブタノール、3-メトキシ-3-メチルブチルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、3-エトキシプロピオン酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、ジプロピレングリコールメチルエーテル、ジアセトンアルコール、乳酸エチル、乳酸ブチル、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、γ-ブチロラクトン、N-メチルピロリドン、シクロヘキサノン、シクロヘプタノン、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテルが挙げられる。 Specific examples of solvents include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methoxymethyl acetate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monopropyl ether. , ethylene glycol monomethyl ether acetate, 1-methoxypropyl-2-acetate, methyl lactate, cyclopentanone, cyclohexane, methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, isobutyl acetate, butyl acetate, isopentyl acetate, pentyl acetate, ethylene glycol diethyl ether , ethylene glycol mono-n-butyl ether, ethylene glycol mono-tert-butyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, propylene glycol mono-t-butyl ether, 2-ethoxyethyl acetate, 3-methoxy-1-butanol, 3-methoxy-3 -methylbutanol, 3-methoxy-3-methylbutyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethyl 3-ethoxypropionate, propylene glycol monomethyl ether propionate, dipropylene glycol methyl ether, diacetone alcohol, ethyl lactate, butyl lactate , dimethylformamide, dimethylacetamide, γ-butyrolactone, N-methylpyrrolidone, cyclohexanone, cycloheptanone, diethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol dibutyl ether.

溶剤の含有量に特に制限はなく、塗布方法等に応じて任意の量用いることができる。例えば、スピンコーティングにより膜形成を行う場合には、感光性樹脂組成物全体の50質量%以上、95質量%以下とすることが一般的である。 The content of the solvent is not particularly limited, and any amount can be used according to the coating method and the like. For example, when forming a film by spin coating, it is generally 50% by mass or more and 95% by mass or less of the entire photosensitive resin composition.

絶縁層を形成する感光性樹脂組成物には、必要に応じて、溶解抑止剤、安定剤、消泡剤等の添加剤を含有することもできる。 Additives such as a dissolution inhibitor, a stabilizer, and an antifoaming agent may be added to the photosensitive resin composition forming the insulating layer, if necessary.

絶縁層を形成する感光性樹脂組成物の固形分濃度に特に制限はなく、塗布方法等に応じて任意の量の溶媒や溶質を用いることができる。例えば、後述のようにスピンコーティングにより膜形成を行う場合には、固形分濃度を5質量%以上、50質量%以下とすることが一般的である。ここで、固形分とは、感光性樹脂組成物から溶剤を除いたものである。 The solid content concentration of the photosensitive resin composition forming the insulating layer is not particularly limited, and any amount of solvent or solute can be used according to the coating method or the like. For example, when forming a film by spin coating as described later, the solid content concentration is generally 5% by mass or more and 50% by mass or less. Here, the solid content is the photosensitive resin composition excluding the solvent.

次に、絶縁層を形成する感光性樹脂組成物の代表的な製造方法について説明する。例えば、アクリルポリマー(A)、光重合開始剤(B)、不飽和二重結合を有する化合物(C)、着色剤(D)および必要によりその他の添加剤を任意の溶剤に加え、撹拌して溶解させた後、得られた溶液を濾過し、感光性樹脂組成物が得られる。 Next, a representative method for producing a photosensitive resin composition for forming an insulating layer will be described. For example, an acrylic polymer (A), a photopolymerization initiator (B), a compound having an unsaturated double bond (C), a colorant (D) and other additives if necessary are added to any solvent and stirred. After dissolving, the resulting solution is filtered to obtain a photosensitive resin composition.

本発明の導電層付基板に形成された絶縁層は、上記感光性樹脂組成物を硬化させてなるものである。上記感光性樹脂組成物は後述する方法により硬化させることができる。 The insulating layer formed on the substrate with a conductive layer of the present invention is obtained by curing the photosensitive resin composition. The above photosensitive resin composition can be cured by a method described later.

絶縁層の膜厚は、特に制限はないが、0.1~15μmが好ましい。絶縁層の膜厚を0.1μm以上とすることにより、高温高湿下のマイグレーション耐性がより向上する。絶縁層の膜厚はより好ましくは0.5μm以上、さらに好ましくは1.0μm以上である。一方、絶縁層の膜厚を15μm以下とすることにより、黄色味を帯びることなく、無色透明な膜を形成できる。絶縁層の膜厚はより好ましくは10μm以下、さらに好ましくは5.0μm以下である。また、絶縁層は、膜厚2.0μmあたりの透過率が85%以上であることが好ましく、より好ましくは90%以上、95%以上、97%以上である。ここで、透過率とは波長400nmの光の透過率を指す。透過率は、露光量および熱硬化温度の選択によって調整することができる。 Although the film thickness of the insulating layer is not particularly limited, it is preferably 0.1 to 15 μm. By setting the film thickness of the insulating layer to 0.1 μm or more, migration resistance under high temperature and high humidity is further improved. The film thickness of the insulating layer is more preferably 0.5 μm or more, more preferably 1.0 μm or more. On the other hand, by setting the film thickness of the insulating layer to 15 μm or less, a colorless and transparent film can be formed without yellowing. The film thickness of the insulating layer is more preferably 10 μm or less, more preferably 5.0 μm or less. The insulating layer preferably has a transmittance of 85% or more, more preferably 90% or more, 95% or more, or 97% or more per 2.0 μm film thickness. Here, the transmittance refers to the transmittance of light having a wavelength of 400 nm. Transmittance can be adjusted by selection of exposure dose and thermal cure temperature.

感光性樹脂組成物を用いた絶縁層の製造方法について、例を挙げて説明する。 A method for manufacturing an insulating layer using a photosensitive resin composition will be described with an example.

上記の感光性樹脂組成物を、マイクログラビアコーティング、スピンコーティング、ディップコーティング、カーテンフローコーティング、ロールコーティング、スプレーコーティング、スリットコーティング等の公知の方法によって基板上に塗布し塗布膜を形成する。 The above photosensitive resin composition is applied onto a substrate by a known method such as microgravure coating, spin coating, dip coating, curtain flow coating, roll coating, spray coating, slit coating, or the like to form a coating film.

上記塗布膜をホットプレート、オーブン等の加熱装置でプリベークする。プリベークは、50~150℃の範囲で30秒~30分間行い、プリベーク後の膜厚は、0.1~15μmとすることが好ましい。 The coating film is pre-baked with a heating device such as a hot plate and an oven. Pre-baking is performed at a temperature of 50 to 150° C. for 30 seconds to 30 minutes, and the film thickness after pre-baking is preferably 0.1 to 15 μm.

プリベーク後、ステッパー、ミラープロジェクションマスクアライナー(MPA)、パラレルライトマスクアライナー(PLA)等の露光機を用いて塗布膜を露光する。露光強度は10~4000J/m程度(波長365nm露光量換算)で、この光を所望のマスクを介してあるいは介さずに照射する。露光光源に制限はなく、g線、h線、i線等の紫外線や、KrF(波長248nm)レーザー、ArF(波長193nm)レーザー等を用いることができる。After pre-baking, the coating film is exposed using an exposure machine such as a stepper, mirror projection mask aligner (MPA), parallel light mask aligner (PLA). The exposure intensity is about 10 to 4000 J/m 2 (converted to exposure amount of 365 nm wavelength), and the light is irradiated through a desired mask or not. The exposure light source is not limited, and UV rays such as g-line, h-line, and i-line, KrF (wavelength: 248 nm) laser, ArF (wavelength: 193 nm) laser, and the like can be used.

次に、現像により塗布膜の未露光部を溶解させ、ネガ型のパターンを得ることができる。現像方法としては、シャワー、ディッピング、パドル等の方法で現像液に塗布膜を5秒~10分間浸漬することが好ましい。現像液としては、公知のアルカリ現像液を用いることができる。具体例としてはアルカリ金属の水酸化物、炭酸塩、リン酸塩、ケイ酸塩、ホウ酸塩等の無機アルカリ;2-ジエチルアミノエタノール、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン等のアミン類;テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、コリン等の4級アンモニウム塩を1種あるいは2種以上含む水溶液等が挙げられる。現像後、塗布膜を水でリンスすることが好ましい。つづいて50~130℃の範囲で塗布膜を乾燥ベークすることもできる。 Next, the unexposed portion of the coating film is dissolved by development to obtain a negative pattern. As a developing method, it is preferable to immerse the coating film in a developer for 5 seconds to 10 minutes by a method such as showering, dipping, or puddle. A known alkaline developer can be used as the developer. Specific examples include alkali metal hydroxides, carbonates, phosphates, silicates, inorganic alkalis such as borates; amines such as 2-diethylaminoethanol, monoethanolamine and diethanolamine; tetramethylammonium hydroxide. , an aqueous solution containing one or more of quaternary ammonium salts such as choline. After development, the coating film is preferably rinsed with water. Subsequently, the coating film can be dried and baked in the range of 50 to 130°C.

その後、この塗布膜をホットプレート、オーブン等の加熱装置で、好ましくは140~300℃の範囲で15分~90分程度加熱し、硬化膜を得る。加熱温度は、200~250℃がより好ましい。 Thereafter, this coating film is heated with a heating device such as a hot plate or an oven, preferably at 140 to 300° C. for about 15 to 90 minutes to obtain a cured film. The heating temperature is more preferably 200-250°C.

本発明の導電層付基板は導電層と絶縁層を有する。本発明の導電層付基板は、絶縁層を感光性樹脂組成物から前述の方法により形成した上に導電層を形成することにより製造してもよいし、基板上に導電層を形成した上に、絶縁層を感光性樹脂組成物から前述の方法により形成することにより製造してもよい。なお、導電層は、後述する導電材料を含む溶液を用いて、前述した絶縁層の製造方法と同様の方法により製造することができる。 The substrate with a conductive layer of the present invention has a conductive layer and an insulating layer. The substrate with a conductive layer of the present invention may be produced by forming an insulating layer from a photosensitive resin composition by the method described above and then forming a conductive layer, or may be produced by forming a conductive layer on a substrate and then Alternatively, the insulating layer may be formed from the photosensitive resin composition by the method described above. In addition, the conductive layer can be manufactured by the same method as the manufacturing method of the insulating layer described above, using a solution containing a conductive material, which will be described later.

本発明の導電層付基板は複数の導電層を有し、該複数の導電層間に絶縁層を有することが好ましい。前述の通り、本発明の導電層付基板に形成された絶縁層は、高温高湿下でのイオンマイグレーション耐性を有することから、複数の導電層間の層間絶縁膜として特に好適に用いることができる。 It is preferable that the substrate with a conductive layer of the present invention has a plurality of conductive layers and an insulating layer between the plurality of conductive layers. As described above, the insulating layer formed on the conductive layer-attached substrate of the present invention has ion migration resistance under high temperature and high humidity conditions, and thus can be particularly suitably used as an interlayer insulating film between a plurality of conductive layers.

金属配線の材料、すなわち導電層に含まれる導電材料に特に制限はないが、たとえば、銅、銀、金、アルミニウム、クロム、モリブデン、チタン、ITO、IZO(酸化インジウム亜鉛)、AZO(アルミニウム添加酸化亜鉛)、ZnO等が挙げられる。この中でも、比抵抗値が最も低い銀が好ましい。さらに、比抵抗値の低い導電層を形成するため、前記導電層は、銀を60~95質量%含有することが好ましい。比抵抗値が低いと、高感度なタッチパネルを作製することができる。一方、銀は高温高湿下でのイオンマイグレーションが特に進行しやすいが、本発明においては、上記の絶縁層を用いることにより、導電層間のイオンマイグレーションを防止できる。また、より精細な配線パターンを形成することができるため、銀の一次粒子径が10~200nmであることが好ましい。また、導電層中に、少なくともアルカリ可溶性基を有する有機成分を5~35質量%含有することが好ましい。アルカリ可溶性基を有する有機成分を含有することで、配線パターンにフレキシブル性を付与することが可能となり、フレキシブルタッチパネルを作製することができる。アルカリ可溶性基としては、特に制限はないが、カルボキシル基、アルコール性水酸基、フェノール性水酸基、スルホ基、リン酸基、酸無水物基等を挙げることができる。特に反応性と汎用性の観点から、カルボキシル基が好ましい。アルカリ可溶性基を有する有機成分としては、特に制限はないが、たとえば、上記のアルカリ可溶性基を有するアクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、カルド系樹脂、ポリシロキサン、ポリイミド、ポリアミド、ポリベンゾオキサゾール等を挙げることができる。The material of the metal wiring, that is, the conductive material contained in the conductive layer is not particularly limited. zinc), ZnO2 and the like. Among these, silver having the lowest specific resistance value is preferable. Furthermore, the conductive layer preferably contains 60 to 95% by mass of silver in order to form a conductive layer with a low specific resistance value. When the specific resistance value is low, a highly sensitive touch panel can be produced. On the other hand, silver is particularly susceptible to ion migration under high temperature and high humidity conditions, but in the present invention, ion migration between conductive layers can be prevented by using the above insulating layer. Further, it is preferable that the primary particle size of silver is 10 to 200 nm because it is possible to form a finer wiring pattern. Further, the conductive layer preferably contains 5 to 35% by mass of an organic component having at least an alkali-soluble group. By containing an organic component having an alkali-soluble group, flexibility can be imparted to the wiring pattern, and a flexible touch panel can be produced. Examples of the alkali-soluble group include, but are not limited to, a carboxyl group, an alcoholic hydroxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfo group, a phosphoric acid group, an acid anhydride group, and the like. A carboxyl group is particularly preferred from the viewpoint of reactivity and versatility. The organic component having an alkali-soluble group is not particularly limited. oxazole etc. can be mentioned.

本発明の導電層付基板の透明基板とは、表面にSiO層を設けたガラス基板、無アルカリガラス基板、ならびにポリイミドフィルムポリイミド、ポリイミドシロキサン、ポリエーテルスルホン、ポリベンゾオキサゾール、アラミド、ポリスルホンおよびエポキシ樹脂からなる群から選ばれる少なくとも一種の樹脂からなるフィルムからなる群から選ばれた基板である。The transparent substrate of the substrate with a conductive layer of the present invention includes a glass substrate provided with a SiO2 layer on the surface, an alkali-free glass substrate, and a polyimide film polyimide, polyimidesiloxane, polyethersulfone, polybenzoxazole, aramid, polysulfone and epoxy. A substrate selected from the group consisting of films made of at least one resin selected from the group consisting of resins.

透明基板として表面にSiO層が設けられたガラス基板を用いることにより、前記絶縁層との密着性が向上する。Adhesion with the insulating layer is improved by using a glass substrate provided with a SiO 2 layer on the surface as the transparent substrate.

透明基板として無アルカリガラス基板を用いることにより、前記絶縁層との密着性が向上する。 Adhesion to the insulating layer is improved by using a non-alkali glass substrate as the transparent substrate.

透明基板として上記フィルムを用いることにより、前記絶縁層との密着性が向上する。フィルムの表面にSiO層が設けられていてもよい。上記フィルムは前記絶縁層を形成するのに必要な耐熱性を有し、かつフレキシブル性を有するため、フレキシブルタッチパネルを作製することができる。なかでも耐熱性をより向上させる観点から、ポリイミド、ポリイミドシロキサン、ポリベンゾオキサゾールおよびポリスルホンからなる群から選ばれる少なくとも一種の樹脂からなるフィルムを用いることが好ましい。Adhesion with the insulating layer is improved by using the film as the transparent substrate. A SiO 2 layer may be provided on the surface of the film. Since the film has heat resistance necessary for forming the insulating layer and has flexibility, a flexible touch panel can be produced. Among them, from the viewpoint of further improving heat resistance, it is preferable to use a film made of at least one resin selected from the group consisting of polyimide, polyimidesiloxane, polybenzoxazole and polysulfone.

本発明の導電層付基板は、タッチパネル用部材として用いることができる。ここでタッチパネル用部材とは、少なくとも前記導電層付基板を有する。 The substrate with a conductive layer of the present invention can be used as a touch panel member. Here, the touch panel member has at least the conductive layer-attached substrate.

本発明のタッチパネルは、本発明の導電層付基板とディスプレイ装置とを含有するものである。タッチパネルは、必要に応じて、さらに偏光板、カバー基材、光学粘着シートなどを構成要素として有してもよい。 The touch panel of the present invention contains the substrate with a conductive layer of the present invention and a display device. The touch panel may further have a polarizing plate, a cover base material, an optical adhesive sheet, and the like as constituent elements, if necessary.

ディスプレイ装置としては、液晶や有機エレクトロルミネッセンス、マイクロLEDなどが挙げられる。カバー基材としては、ガラス、フィルムが挙げられる。 Display devices include liquid crystals, organic electroluminescence, micro LEDs, and the like. Examples of cover substrates include glass and films.

タッチパネルの構成順序としては、下部からディスプレイ表示装置、光学粘着シート、導電層付基板、光学粘着シート、偏光板、光学粘着シート、カバー基材で構成されるが、これに限定されない。 The order of configuration of the touch panel includes, from the bottom, a display device, an optical adhesive sheet, a substrate with a conductive layer, an optical adhesive sheet, a polarizing plate, an optical adhesive sheet, and a cover base material, but is not limited to this.

以下、実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、実施例16は、現在は比較例であり、実施例1-15、17-30が本発明の実施例である。合成例および実施例に用いた化合物のうち、略語を使用しているものについて、以下に示す。
AIBN:2,2’-アゾビス(イソブチロニトリル)
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
DAA:ジアセトンアルコール
TMAH;テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド
まず、実施例および比較例で用いた材料について説明する。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. Note that Example 16 is currently a comparative example, and Examples 1-15 and 17-30 are examples of the present invention. Among the compounds used in Synthesis Examples and Examples, those using abbreviations are shown below.
AIBN: 2,2'-azobis(isobutyronitrile)
PGMEA: propylene glycol monomethyl ether acetate DAA: diacetone alcohol TMAH; tetramethylammonium hydroxide First, materials used in Examples and Comparative Examples are described.

[アクリルポリマー(A)]
合成例1:アクリルポリマー(a1-1)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を34.4g、ベンジルメタクリレートを56.4g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを17.1g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-1)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは10,600であった。
[Acrylic polymer (A)]
Synthesis Example 1: Acrylic polymer (a1-1)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 34.4 g of methacrylic acid, 56.4 g of benzyl methacrylate, and 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 17.1 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-1). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 10,600.

合成例2:アクリルポリマー(a1-2)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を39.9g、ベンジルメタクリレートを56.4g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを3.5g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを37.5g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-2)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは10,000であった。
Synthesis Example 2: Acrylic polymer (a1-2)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 39.9 g of methacrylic acid, 56.4 g of benzyl methacrylate, and 3.5 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 37.5 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the resulting solution and heated with stirring at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-2). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 10,000.

合成例3:アクリルポリマー(a1-3)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を31.0g、ベンジルメタクリレートを63.4g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを20.5g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-3)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは9,700であった。
Synthesis Example 3: Acrylic polymer (a1-3)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 31.0 g of methacrylic acid, 63.4 g of benzyl methacrylate, and 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 20.5 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the resulting solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-3). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 9,700.

合成例4:アクリルポリマー(a1-4)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を41.3g、ベンジルメタクリレートを28.2g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g、メタクリル酸メチルを8.0g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを34.2g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-4)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは9,800であった。
Synthesis Example 4: Acrylic polymer (a1-4)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 41.3 g of methacrylic acid, 28.2 g of benzyl methacrylate, 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate, and 8.0 g of methyl methacrylate were charged. is. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 34.2 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the resulting solution and heated with stirring at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-4). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 9,800.

合成例5:アクリルポリマー(a1-5)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を51.6g、ベンジルメタクリレートを52.8g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを22.0g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを28.6g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-5)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは10,200であった。
Synthesis Example 5: Acrylic polymer (a1-5)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 51.6 g of methacrylic acid, 52.8 g of benzyl methacrylate, and 22.0 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 28.6 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the resulting solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-5). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by GPC method was 10,200.

合成例6:アクリルポリマー(a1-6)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を31.0g、ベンジルメタクリレートを63.4g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを15.4g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-6)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは10,200であった。
Synthesis Example 6: Acrylic polymer (a1-6)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 31.0 g of methacrylic acid, 63.4 g of benzyl methacrylate, and 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 15.4 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the resulting solution and heated with stirring at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-6). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by GPC method was 10,200.

合成例7:アクリルポリマー(a1-7)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を67.1g、ベンジルメタクリレートを35.2g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを4.4g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを42.2g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-7)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは9,400であった。
Synthesis Example 7: Acrylic polymer (a1-7)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 67.1 g of methacrylic acid, 35.2 g of benzyl methacrylate, and 4.4 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 42.2 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the resulting solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-7). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 9,400.

合成例8:アクリルポリマー(a1-8)
500mlのフラスコにAIBNを0.5g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を34.4g、ベンジルメタクリレートを56.4g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で2時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを17.1g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-8)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは3,000であった。
Synthesis Example 8: Acrylic polymer (a1-8)
A 500 ml flask was charged with 0.5 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 34.4 g of methacrylic acid, 56.4 g of benzyl methacrylate, and 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 2 hours. Next, 17.1 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-8). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by GPC method was 3,000.

合成例9:アクリルポリマー(a1-9)
500mlのフラスコにAIBNを0.5g、PGMEAを100g仕込んだ。その後、メタクリル酸を34.4g、ベンジルメタクリレートを56.4g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で4時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを17.1g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-9)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは5,100であった。
Synthesis Example 9: Acrylic polymer (a1-9)
A 500 ml flask was charged with 0.5 g of AIBN and 100 g of PGMEA. Then, 34.4 g of methacrylic acid, 56.4 g of benzyl methacrylate, and 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 4 hours. Next, 17.1 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-9). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 5,100.

合成例10:アクリルポリマー(a1-10)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを70g仕込んだ。その後、メタクリル酸を34.4g、ベンジルメタクリレートを56.4g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で4時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを17.1g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-10)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは8,000であった。
Synthesis Example 10: Acrylic polymer (a1-10)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 70 g of PGMEA. Then, 34.4 g of methacrylic acid, 56.4 g of benzyl methacrylate, and 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 4 hours. Next, 17.1 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-10). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 8,000.

合成例11:アクリルポリマー(a1-11)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を34.4g、ベンジルメタクリレートを56.4g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で6時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを17.1g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-11)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは11,800であった。
Synthesis Example 11: Acrylic polymer (a1-11)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 34.4 g of methacrylic acid, 56.4 g of benzyl methacrylate, and 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then the mixture was heated and stirred at 70° C. for 6 hours. Next, 17.1 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-11). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 11,800.

合成例12:アクリルポリマー(a1-12)
500mlのフラスコにAIBNを1.5g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を34.4g、ベンジルメタクリレートを56.4g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを17.1g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-12)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは14,500であった。
Synthesis Example 12: Acrylic polymer (a1-12)
A 500 ml flask was charged with 1.5 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 34.4 g of methacrylic acid, 56.4 g of benzyl methacrylate, and 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 17.1 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-12). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 14,500.

合成例13:アクリルポリマー(a1-13)
500mlのフラスコにAIBNを2.0g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を34.4g、ベンジルメタクリレートを56.4g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを17.1g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-13)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは20,000であった。
合成例14:アクリルポリマー(a1-14)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を34.4g、ベンジルメタクリレートを42.3g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを35.2g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを17.1g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-14)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは9,700であった。
Synthesis Example 13: Acrylic polymer (a1-13)
A 500 ml flask was charged with 2.0 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 34.4 g of methacrylic acid, 56.4 g of benzyl methacrylate, and 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 17.1 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-13). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 20,000.
Synthesis Example 14: Acrylic polymer (a1-14)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 34.4 g of methacrylic acid, 42.3 g of benzyl methacrylate, and 35.2 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 17.1 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-14). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 9,700.

合成例15:アクリルポリマー(a1-15)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を34.4g、スチレンを33.3g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを17.1g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-15)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは10,000であった。
Synthesis Example 15: Acrylic polymer (a1-15)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 34.4 g of methacrylic acid, 33.3 g of styrene, and 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 17.1 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-15). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 10,000.

合成例16:アクリルポリマー(a1-16)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を34.4g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g、メタクリル酸メチルを32.0g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを17.1g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-16)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは11,500であった。
Synthesis Example 16: Acrylic polymer (a1-16)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 34.4 g of methacrylic acid, 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate, and 32.0 g of methyl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 17.1 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-16). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 11,500.

合成例17:アクリルポリマー(a1-17)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を13.8g、ベンジルメタクリレートを98.7g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを17.6g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを11.4g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1-17)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは9,400であった。
Synthesis Example 17: Acrylic polymer (a1-17)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. Then, 13.8 g of methacrylic acid, 98.7 g of benzyl methacrylate and 17.6 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 11.4 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the resulting solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1-17). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 9,400.

合成例18:カルド系樹脂(a1-18)
エチレン性不飽和基およびカルボキシル基を含有するカルド系樹脂PGMEA溶液である新日鐵住金化学(株)製「V-259ME(商品名)」は固形分濃度45.6wt%、GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwが3,500の製品である。「V-259ME」を100g計量し、PGMEAを14.0g添加攪拌した。このようにして固形分濃度が40wt%のカルド系樹脂(a1-18)の溶液を得た。
Synthesis Example 18: Cardo-based resin (a1-18)
"V-259ME (trade name)" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., which is a cardo-based resin PGMEA solution containing an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group, has a solid content concentration of 45.6 wt%, measured by the GPC method. It is a product with a weight average molecular weight Mw of 3,500 in terms of polystyrene. 100 g of "V-259ME" was weighed, and 14.0 g of PGMEA was added and stirred. Thus, a solution of cardo-based resin (a1-18) having a solid concentration of 40 wt % was obtained.

合成例19:アクリルポリマー(a1’-1)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を34.4g、ベンジルメタクリレートを70.5g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを17.1g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1’-1)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは10,500であった。
Synthesis Example 19: Acrylic polymer (a1'-1)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. After that, 34.4 g of methacrylic acid and 70.5 g of benzyl methacrylate were charged. The mixture was stirred at room temperature for a while, the inside of the flask was sufficiently replaced with nitrogen by bubbling, and then heated and stirred at 70° C. for 5 hours. Next, 17.1 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol, and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90° C. for 4 hours. PGMEA was added to the polymer solution so that the solid content concentration was 40 wt % to obtain a solution of acrylic polymer (a1'-1). The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by GPC method was 10,500.

合成例20:アクリルポリマー(a1’-2)
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸メチルを50.1g、ベンジルメタクリレートを70.5g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを22.0g仕込んだ。室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー(a1’-2)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは10,000であった。
Synthesis Example 20: Acrylic polymer (a1'-2)
A 500 ml flask was charged with 1 g of AIBN and 50 g of PGMEA. After that, 50.1 g of methyl methacrylate, 70.5 g of benzyl methacrylate, and 22.0 g of tricyclo[5.2.1.0(2,6)]decane-8-yl methacrylate were charged. Stir at room temperature for a while, replace the inside of the flask with nitrogen sufficiently by bubbling, heat and stir at 70 ° C. for 5 hours, add PGMEA to the obtained acrylic polymer solution so that the solid content concentration is 40 wt%, and add the acrylic polymer. A solution of (a1'-2) was obtained. The weight average molecular weight Mw in terms of polystyrene measured by the GPC method was 10,000.

[光重合開始剤(B)]
1,2-プロパンジオン-3-シクロペンタン-1-[4-(フェニルチオ)-2-(O-ベンゾイルオキシム)](強力電子社製「PBG-305(商品名)」、以下「PBG-305」という。)
3-シクロペンチルエタノン-1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(0-アセチルオキシム)(強力電子社製「PBG-304(商品名)」、以下「PBG-304」という。)。
[Photoinitiator (B)]
1,2-propanedione-3-cyclopentane-1-[4-(phenylthio)-2-(O-benzoyloxime)] ("PBG-305 (trade name)" manufactured by Kyoryoku Denshi Co., Ltd., hereinafter "PBG-305 ”.)
3-cyclopentyl ethanone-1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-, 1-(0-acetyloxime) (PBG-304 ( product name)”, hereinafter referred to as “PBG-304”).

[不飽和二重結合を有する化合物(C)]
デンドリマー型多官能アクリレート(大阪有機化学工業(株)製「SIRIUS-501(商品名)」、以下「SIRIUS-501」という。)
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製「“カヤラッド”(登録商標)DPHA(商品名)」、以下「DPHA」という。)
トリペンタエリスリトールオクタアクリレート(大阪有機化学工業(株)製「ビスコート#802(商品名)」、以下「ビスコート#802」という。)
フルオレンジアクリレート(大阪ガスケミカル(株)製)「EA-0250P(商品名)」、以下「EA-0250P」という。)
トリアクリルイソシアヌレート(共栄社(株)製「M-315(商品名)」、以下「M-315」という。)
トリアリルイソシアヌレート(日本化成(株)製「TAIC(商品名)」、以下「TAIC」という。)。
[Compound (C) having an unsaturated double bond]
Dendrimer-type polyfunctional acrylate (“SIRIUS-501 (trade name)” manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd., hereinafter referred to as “SIRIUS-501”)
Dipentaerythritol hexaacrylate (“Kayarad” (registered trademark) DPHA (trade name), manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., hereinafter referred to as “DPHA”).
Tripentaerythritol octaacrylate ("Viscoat #802 (trade name)" manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd., hereinafter referred to as "Viscoat #802")
Fluorane acrylate (manufactured by Osaka Gas Chemicals Co., Ltd.) “EA-0250P (trade name)”, hereinafter referred to as “EA-0250P”. )
Triacryl isocyanurate ("M-315 (trade name)" manufactured by Kyoeisha Co., Ltd., hereinafter referred to as "M-315")
triallyl isocyanurate ("TAIC (trade name)" manufactured by Nippon Kasei Co., Ltd., hereinafter referred to as "TAIC");

[着色剤(D)]
フタロシアニン銅化合物“Pigment Blue 15:6”(大日精化工業株式会社製)
フタロシアニン銅化合物“Pigment Blue 15:1”(大日精化工業株式会社製)
スルホ珪酸アルミノナトリウム(Holiday社製)。
[Colorant (D)]
Phthalocyanine copper compound “Pigment Blue 15:6” (manufactured by Dainichiseika Kogyo Co., Ltd.)
Phthalocyanine copper compound “Pigment Blue 15:1” (manufactured by Dainichiseika Kogyo Co., Ltd.)
Sodium alumino sulfosilicate (manufactured by Holiday).

[多官能エポキシ化合物]
9,9-ビス(4-グリシジルオキシフェニル)フルオレン(大阪ガスケミカル(株)製「オグソールPG-100(商品名)」、以下「PG-100」という。)
1,3,5-トリス(4,5-エポキシペンチル)イソシアヌル酸(日産化学工業(株)製「“TEPIC”(登録商標)-VL(商品名)」、以下「TEPIC-VL」)
3官能エポキシ化合物((株)プリンテック製「TECHMORE VG3101L(商品名)」、以下「VG3101L」という。)。
[Polyfunctional epoxy compound]
9,9-bis(4-glycidyloxyphenyl)fluorene (“Ogsol PG-100 (trade name)” manufactured by Osaka Gas Chemicals Co., Ltd., hereinafter referred to as “PG-100”)
1,3,5-tris(4,5-epoxypentyl)isocyanuric acid (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., “TEPIC” (registered trademark)-VL (trade name), hereinafter “TEPIC-VL”)
Trifunctional epoxy compound (“TECHMORE VG3101L (trade name)” manufactured by Printec Co., Ltd., hereinafter referred to as “VG3101L”).

[ヒンダードアミン系光安定剤]
2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジンメタクリレート((株)ADEKA製「アデカスタブ LA-87(商品名)」、以下「LA-87」という。)。
[Hindered amine light stabilizer]
2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidine methacrylate (“ADEKA STAB LA-87 (trade name)” manufactured by ADEKA Corporation, hereinafter referred to as “LA-87”).

[シランカップリング剤]
3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製「KBM-403(商品名)」、以下「KBM-403」という。)
[重合禁止剤]
t-ブチルカテコール(東京化成工業(株)製、以下「TBC」という。)
[界面活性剤]
シリコーン系界面活性剤(ビックケミー・ジャパン(株)製「BYK-333(商品名)」、以下「BYK-333」という。)
[溶剤]
PGMEA(クラレトレーディング(株)製「PGM-AC(商品名)」)
DAA(三菱化学(株)製「DAA」)。
[Silane coupling agent]
3-glycidoxypropyltrimethoxysilane ("KBM-403 (trade name)" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., hereinafter referred to as "KBM-403")
[Polymerization inhibitor]
t-butyl catechol (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., hereinafter referred to as "TBC")
[Surfactant]
Silicone surfactant ("BYK-333 (trade name)" manufactured by BYK-Chemie Japan Co., Ltd., hereinafter referred to as "BYK-333")
[solvent]
PGMEA ("PGM-AC (trade name)" manufactured by Kuraray Trading Co., Ltd.)
DAA ("DAA" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation).

次に、実施例および比較例に用いた感光性銀インク材料について説明する。 Next, the photosensitive silver ink materials used in Examples and Comparative Examples will be described.

[感光性銀インク材料]
下記の感光性銀インク材料を用いて、導電層との積層加工性、および高温高湿時のマイグレーション耐性について評価を行った。感光性銀インク材料の製造方法について、下記に示す。
[Photosensitive silver ink material]
Using the following photosensitive silver ink materials, lamination workability with a conductive layer and migration resistance at high temperature and high humidity were evaluated. A method for producing a photosensitive silver ink material is shown below.

<感光性銀インク材料の作製>
まず、炭素単体物および/または炭素化合物で表面被覆された導電性微粒子(日清エンジニアリング(株)製)80.00g、DISPERBYK21116(ビックケミー・ジャパン(株)製)4.06g、PGMEA196.14gに対し、ホモジナイザーにて、1200rpm、30分の混合処理を施した。さらに、その混合液を、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、銀粒子分散体を得た。この銀微粒子分散体63.28gに対し、アクリルポリマー(a1-2)を4.40g、OXE-02を0.41g、DPHAを1.30g混合したものに、PGMEA7.31g、DAA23.25gを添加し、撹拌することにより、感光性銀インク(α)を作製した。
<Preparation of photosensitive silver ink material>
First, with respect to 80.00 g of conductive fine particles (manufactured by Nisshin Engineering Co., Ltd.), 4.06 g of DISPERBYK21116 (manufactured by BYK-Chemie Japan Co., Ltd.), and 196.14 g of PGMEA , with a homogenizer at 1200 rpm for 30 minutes. Further, the mixed solution was dispersed using a mill-type dispersing machine filled with zirconia beads to obtain a silver particle dispersion. 7.31 g of PGMEA and 23.25 g of DAA are added to 63.28 g of this fine silver particle dispersion mixed with 4.40 g of acrylic polymer (a1-2), 0.41 g of OXE-02 and 1.30 g of DPHA. and stirred to prepare a photosensitive silver ink (α).

次に、実施例および比較例で行った硬化膜/基板の作製および各評価方法について説明する。 Next, the production of cured films/substrates and evaluation methods performed in Examples and Comparative Examples will be described.

<感光性樹脂組成物のパターン加工および硬化膜作製>
感光性樹脂組成物を、基板上にスピンコーター(ミカサ(株)製「1H-360S(商品名)」)を用いて任意の回転数でスピンコートして塗布膜を形成した。塗布膜が形成された基板をホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW-636(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークし、プリベーク膜を作製した。パラレルライトマスクアライナー(キヤノン(株)製「PLA-501F(商品名)」)を用いて超高圧水銀灯を光源とし、所望のマスクを介してプリベーク膜を露光した。この後、自動現像装置(滝沢産業(株)製「AD-2000(商品名)」)を用いて、0.07wt%TMAH水溶液で60秒間シャワー現像してプリベーク膜の未露光部を除去し、次いで水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。
<Patterning of photosensitive resin composition and preparation of cured film>
The photosensitive resin composition was spin-coated on the substrate using a spin coater (“1H-360S (trade name)” manufactured by Mikasa Co., Ltd.) at an arbitrary number of rotations to form a coating film. The substrate on which the coating film was formed was prebaked at 100° C. for 2 minutes using a hot plate (“SCW-636 (trade name)” manufactured by Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.) to prepare a prebaked film. The pre-baked film was exposed through a desired mask using a parallel light mask aligner ("PLA-501F (trade name)" manufactured by Canon Inc.) with an ultra-high pressure mercury lamp as a light source. After that, using an automatic developing device ("AD-2000 (trade name)" manufactured by Takizawa Sangyo Co., Ltd.), shower development was performed with a 0.07 wt% TMAH aqueous solution for 60 seconds to remove the unexposed portion of the pre-baked film. Then, it was rinsed with water for 30 seconds and patterned.

必要に応じ、パターン加工された基板を、オーブン(エスペック(株)製「IHPS-222(商品名)」)を用いて、230℃で60分間(空気中)ポストベークし、硬化膜を作製した。 If necessary, the patterned substrate was post-baked at 230° C. for 60 minutes (in the air) using an oven ("IHPS-222 (trade name)" manufactured by Espec Co., Ltd.) to prepare a cured film. .

<銀インク材料(α)の導電パターン作製>
銀インク材料(α)を、基板上にスピンコーターを用いて所定の回転数でスピンコートした後、ホットプレートを用いて100℃で2分間プリベークし、プリベーク膜を作製した。パラレルライトマスクアライナーを用いて超高圧水銀灯を光源とし、所望のマスクを介してプリベーク膜を露光した。この後、自動現像装置を用いて、0.07wt%TMAH水溶液で60秒間シャワー現像してプリベーク膜の未露光部を除去し、次いで水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。
<Preparation of conductive pattern of silver ink material (α)>
After the silver ink material (α) was spin-coated on the substrate using a spin coater at a predetermined number of revolutions, it was pre-baked at 100° C. for 2 minutes using a hot plate to prepare a pre-baked film. Using a parallel light mask aligner and using an ultra-high pressure mercury lamp as a light source, the pre-baked film was exposed through a desired mask. Thereafter, using an automatic developing device, shower development was performed with a 0.07 wt % TMAH aqueous solution for 60 seconds to remove the unexposed portion of the pre-baked film, followed by rinsing with water for 30 seconds for patterning.

パターン加工した基板を、オーブンを用いて、230℃で60分間(空気中)ポストベークし、導電膜を作製した。 The patterned substrate was post-baked in an oven at 230° C. for 60 minutes (in the air) to form a conductive film.

<積層基板の作製>
感光性樹脂組成物および銀インク材料(α)を用いて、図1および図2に示す積層基板を作製した。基材1は、表面にSiOをスパッタリングしたガラス基板、無アルカリガラス基板、もしくはポリイミドフィルムである。導電パターン層2および4は銀インク材料(α)を用いて、上記の方法により形成された導電パターン層である。絶縁層3および5は感光性樹脂組成物を用いて、上記の方法により形成された絶縁層である。基材1上に、導電パターン2が形成され、該導電パターン2を保護するように、その上面に絶縁層3が形成されている。該絶縁層3の上に、前記導電パターン2と直行するように導電パターン層4が形成され、さらにその上に該導電パターン4を保護するように、絶縁層5が形成されている。導電パターン2および4はそれぞれ30μm×長さ4cmの導電パターン5本ずつであり、両末端には抵抗値測定用の端子が設けられている。該端子がむき出しになるように、絶縁層3および5の形成時に、導電パターン2および4の端子の上部の絶縁層3および5は除去されるようにパターニングされている。なお、導電パターン層2および4、絶縁層3および5の各層はそれぞれオーブンを用いてポストベークを施した。
<Production of laminated substrate>
A laminated substrate shown in FIGS. 1 and 2 was produced using the photosensitive resin composition and the silver ink material (α). The substrate 1 is a glass substrate with SiO2 sputtered on the surface, an alkali-free glass substrate, or a polyimide film. The conductive pattern layers 2 and 4 are conductive pattern layers formed by the method described above using the silver ink material (α). The insulating layers 3 and 5 are insulating layers formed by the above method using a photosensitive resin composition. A conductive pattern 2 is formed on a substrate 1, and an insulating layer 3 is formed on the upper surface of the conductive pattern 2 so as to protect the conductive pattern 2. FIG. A conductive pattern layer 4 is formed on the insulating layer 3 so as to be perpendicular to the conductive pattern 2 , and an insulating layer 5 is formed thereon to protect the conductive pattern 4 . The conductive patterns 2 and 4 each consist of five conductive patterns of 30 μm×4 cm in length, and terminals for resistance value measurement are provided at both ends. The patterning is such that the insulating layers 3 and 5 above the terminals of the conductive patterns 2 and 4 are removed when the insulating layers 3 and 5 are formed so that the terminals are exposed. The conductive pattern layers 2 and 4 and the insulating layers 3 and 5 were each post-baked using an oven.

(1)パターン加工性評価
基材として無アルカリガラス基板(OA-10;日本電気硝子株式会社製)を用い、その上に上記<感光性樹脂組成物のパターン加工および硬化膜作製>に従って感光性樹脂組成物のパターンを形成することにより、感光性樹脂組成物のパターン加工性評価を行った。なお、感光性樹脂組成物の塗布膜の膜厚がプリベーク後2.5μmとなるようにした。露光時のマスクとしては、感度測定用のグレースケールマスクを用いた。露光量を変えてテストを行い、現像後、30μmのラインアンドスペースパターンが1対1の幅に形成される露光量(以下、これを最適露光量という)を感度とした。また、最適露光量における現像後の最小パターン寸法を解像度とした。感度および解像度の値が小さいほど、パターン加工性が良好であることを示す。
(1) Pattern workability evaluation Using a non-alkali glass substrate (OA-10; manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) as a base material, photosensitivity is obtained according to the above <Pattern processing of photosensitive resin composition and preparation of cured film>. Pattern workability evaluation of the photosensitive resin composition was performed by forming a pattern of the resin composition. The film thickness of the coating film of the photosensitive resin composition was adjusted to 2.5 μm after prebaking. As a mask for exposure, a grayscale mask for sensitivity measurement was used. A test was performed by changing the exposure dose, and the exposure dose at which a 30 μm line-and-space pattern having a width of 1:1 was formed after development (hereinafter referred to as the optimum exposure dose) was defined as the sensitivity. Also, the minimum pattern size after development at the optimum exposure dose was taken as the resolution. The smaller the sensitivity and resolution values, the better the pattern processability.

(2)硬化膜特性評価
上記<積層基板の作製>において、基材として表面にSiOをスパッタリングしたガラス基板を用い、絶縁層3までを形成した積層基板を用い、積層基板の光透過率および無色透明性(b)を測定した。
(2) Evaluation of cured film properties In the above <Preparation of laminated substrate>, a glass substrate with SiO2 sputtered on the surface was used as a base material, and a laminated substrate with an insulating layer 3 was used. The colorless transparency (b * ) was measured.

紫外可視分光光度計(「MultiSpec-1500(商品名、(株)島津製作所製)」)を用いて、まず基材1のみを測定し、得られた紫外可視吸収スペクトルをリファレンスとした。次に積層基板の絶縁層3のベタ膜部分をシングルビームで測定し、波長400nmにおける絶縁層3の膜厚2.0μmあたりの光透過率を求め、リファレンスとの差異を絶縁層3の光透過率とした。 Using an ultraviolet-visible spectrophotometer (“MultiSpec-1500 (trade name, manufactured by Shimadzu Corporation)”), only the substrate 1 was first measured, and the obtained ultraviolet-visible absorption spectrum was used as a reference. Next, the solid film portion of the insulating layer 3 of the laminated substrate is measured with a single beam, and the light transmittance per 2.0 μm thickness of the insulating layer 3 at a wavelength of 400 nm is obtained. rate.

また、分光光度計(CM-2600d;コニカミノルタ(株)製)を用いて、ブランクとして基材1のみの測定を行ったうえで、JIS-Z8729:1994、JIS-Z8781-4:2013に基づき、積層基板のガラス基板側から各サンプルの全反射光の反射率を測定し、CIE(L,a,b)色空間における色特性bを中心および4隅の計5点ずつ測定し、その平均値を色目とし、以下の基準に従って評価した。2以上を合格とした。
5:-1.5≦b≦0.5
4:-2.0≦b<-1.5、あるいは、0.5<b≦1.0
3:-2.5≦b<-2.0、あるいは、1.0<b≦1.5
2:-3.0≦b<-2.5、あるいは、1.5<b≦2.0
1:b<-3.0あるいはb>2.0 。
In addition, using a spectrophotometer (CM-2600d; manufactured by Konica Minolta Co., Ltd.), after measuring only the substrate 1 as a blank, JIS-Z8729: 1994, JIS-Z8781-4: Based on 2013 Measure the reflectance of the total reflected light of each sample from the glass substrate side of the laminated substrate, and measure the color characteristic b * in the CIE (L * , a * , b * ) color space at 5 points in total at the center and 4 corners. The average value was taken as the color tone and evaluated according to the following criteria. 2 or more was set as the pass.
5: -1.5≤b * ≤0.5
4: −2.0≦b * <−1.5, or 0.5<b * ≦1.0
3: -2.5≤b * <-2.0, or 1.0<b * ≤1.5
2: −3.0≦b * <−2.5, or 1.5<b * ≦2.0
1: b * <−3.0 or b * >2.0.

(3)信頼性評価
上記<積層基板の作製>において、基材として表面にSiOをスパッタリングしたガラス基板を用い、高温高湿下でのマイグレーション耐性を評価した。測定には絶縁劣化特性評価システム“ETAC SIR13”(楠本化成(株)製)を用いた。導電パターン2および4の端子部分にそれぞれ電極を取り付け、85℃85%RH条件に設定された高温高湿槽内にサンプルを入れた。槽内環境が安定してから5分間経過後、導電パターン2および4の電極間に電圧を印加し、絶縁抵抗の経時変化を測定した。なお、導電パターン2を正極、導電パターン4を負極として、5Vの電圧を印加し、抵抗値を5分間隔で1000時間測定した。測定した抵抗値が10の5乗Ω以下に達したとき絶縁不良のため短絡と判断して印圧を停止し、それまでの試験時間を短絡時間とした。以下の評価基準に従ってマイグレーション耐性を評価した。2以上を合格とした。
5:短絡時間が1000時間以上
4:短絡時間が700時間以上1000時間未満
3:短絡時間が400時間以上700時間未満
2:短絡時間が200時間以上400時間未満
1:短絡時間が200時間未満
また、上記の積層基板を用い、以下の方法により耐光性を評価した。耐光性試験機(「Q-SUN Xenon Test Chamber Model Xe-1(商品名、Q-Lab Corporation製)」)を用い、45℃の環境下、340nmでの照射量が0.60W/mの光を48時間連続照射したときの、bの変化量(以下、Δbとする)を以下の基準に従い評価した。bの測定は、上記「(2)硬化膜特性評価」と同様に行った。2以上を合格とした。
5:Δb≦1.0
4:1.0<Δb≦2.0
3:2.0<Δb≦3.0
2:3.0<Δb≦5.0
1:5.0<Δb
(実施例1)
黄色灯下にて、光重合開始剤(B)としてPBG-305:0.50g、ヒンダードアミン系光安定剤としてLA-87:0.50g、重合禁止剤としてTBC:0.04gを、溶剤としてPGMEA:20.70g、DAA:37.50gに溶解させ、界面活性剤としてBYK-333:0.01gを加え、撹拌した。そこへ、化合物(C-1)として、SIRIUS-501:1.25g、その他の不飽和二重結合を有する化合物(C)として、EA-0250P:1.25g、M-315:2.90g、TAIC:4.40g、多官能エポキシ化合物としてPG-100:2.70gおよびシランカップリング剤としてKBM-403:0.25g、アクリルポリマー(A)として40wt%PGMEA溶液(a1-1):28.00gを加え、撹拌した。次いで0.20μmのフィルターでろ過を行い、感光性樹脂組成物を得た。得られた感光性樹脂組成物について、(1)パターン加工性、(2)硬化膜特性、(3)信頼性を評価した。組成を表1に評価結果を表4に記載した。
(3) Reliability Evaluation In the above <Preparation of laminated substrate>, a glass substrate having a surface sputtered with SiO 2 was used as a base material, and migration resistance under high temperature and high humidity conditions was evaluated. An insulation deterioration characteristic evaluation system "ETAC SIR13" (manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.) was used for the measurement. Electrodes were attached to the terminal portions of the conductive patterns 2 and 4, respectively, and the sample was placed in a high-temperature, high-humidity bath set at 85° C. and 85% RH. Five minutes after the environment in the tank was stabilized, a voltage was applied between the electrodes of the conductive patterns 2 and 4, and the change in insulation resistance over time was measured. A voltage of 5 V was applied using the conductive pattern 2 as a positive electrode and the conductive pattern 4 as a negative electrode, and the resistance value was measured at intervals of 5 minutes for 1000 hours. When the measured resistance value reached 10 5 Ω or less, it was determined that there was a short circuit due to poor insulation, and the printing pressure was stopped. Migration resistance was evaluated according to the following evaluation criteria. 2 or more was set as the pass.
5: Short circuit time 1000 hours or more 4: Short circuit time 700 hours or more and less than 1000 hours 3: Short circuit time 400 hours or more and less than 700 hours 2: Short circuit time 200 hours or more and less than 400 hours 1: Short circuit time less than 200 hours Using the above laminated substrate, the light resistance was evaluated by the following method. Using a light resistance tester (“Q-SUN Xenon Test Chamber Model Xe-1 (trade name, manufactured by Q-Lab Corporation)”), in an environment of 45 ° C., the irradiation amount at 340 nm is 0.60 W / m 2 The amount of change in b * (hereinafter referred to as Δb * ) when continuously irradiated with light for 48 hours was evaluated according to the following criteria. The measurement of b * was performed in the same manner as in the above "(2) Evaluation of properties of cured film". 2 or more was set as the pass.
5: Δb * ≤ 1.0
4: 1.0 < Δb * ≤ 2.0
3: 2.0 < Δb * ≤ 3.0
2: 3.0<Δb * ≦5.0
1:5.0<Δb *
(Example 1)
Under a yellow light, PBG-305: 0.50 g as a photopolymerization initiator (B), LA-87: 0.50 g as a hindered amine light stabilizer, TBC as a polymerization inhibitor: 0.04 g, and PGMEA as a solvent. : 20.70 g, DAA: 37.50 g, BYK-333: 0.01 g as a surfactant was added and stirred. There, as a compound (C-1), SIRIUS-501: 1.25 g, as other compounds (C) having an unsaturated double bond, EA-0250P: 1.25 g, M-315: 2.90 g, TAIC: 4.40 g, PG-100: 2.70 g as a polyfunctional epoxy compound, KBM-403: 0.25 g as a silane coupling agent, 40 wt% PGMEA solution (a1-1) as acrylic polymer (A): 28. 00 g and stirred. Next, filtration was performed with a 0.20 μm filter to obtain a photosensitive resin composition. The resulting photosensitive resin composition was evaluated for (1) pattern workability, (2) cured film properties, and (3) reliability. The composition is shown in Table 1 and the evaluation results are shown in Table 4.

(実施例2~18、24~30、比較例1、2、参考例1)
実施例1と同様の方法で、表1~3記載の組成の感光性樹脂組成物を得て、それぞれの感光性樹脂組成物について実施例1と同様の評価をした。評価結果を、表4~6に示す。なお、比較例2においては、「(1)パターン加工性評価」においてパターンを形成することができなかった。
(Examples 2 to 18, 24 to 30, Comparative Examples 1 and 2, Reference Example 1)
By the same method as in Example 1, photosensitive resin compositions having the compositions shown in Tables 1 to 3 were obtained, and the same evaluation as in Example 1 was performed for each photosensitive resin composition. Evaluation results are shown in Tables 4-6. In Comparative Example 2, a pattern could not be formed in "(1) Evaluation of pattern processability".

(実施例19)
黄色灯下にて、光重合開始剤(B)としてPBG-305:0.50g、ヒンダードアミン系光安定剤としてLA-87:0.50g、重合禁止剤としてTBC:0.04gを、溶剤としてPGMEA:20.70g、DAA:37.50gに溶解させ、界面活性剤としてBYK-333:0.01gを加え、撹拌した。そこへ、化合物(C-1)として、SIRIUS-501:1.25g、その他の不飽和二重結合を有する化合物(C)として、EA-0250P:1.25g、M-315:2.90g、TAIC:4.40g、多官能エポキシ化合物としてPG-100:2.70g、およびシランカップリング剤としてKBM-403:0.25g、アクリルポリマー(A)として40wt%PGMEA溶液(a1-1):28.00g、着色剤(D)としてPigment Blue 15:6:0.01gを加え、撹拌した。次いで0.20μmのフィルターでろ過を行い、感光性樹脂組成物を得た。得られた感光性樹脂組成物について、(1)パターン加工性、(2)硬化膜特性、(3)信頼性を評価した。組成を表2に評価結果を表5に記載した。
(Example 19)
Under a yellow light, PBG-305: 0.50 g as a photopolymerization initiator (B), LA-87: 0.50 g as a hindered amine light stabilizer, TBC as a polymerization inhibitor: 0.04 g, and PGMEA as a solvent. : 20.70 g, DAA: 37.50 g, BYK-333: 0.01 g as a surfactant was added and stirred. There, as a compound (C-1), SIRIUS-501: 1.25 g, as other compounds (C) having an unsaturated double bond, EA-0250P: 1.25 g, M-315: 2.90 g, TAIC: 4.40 g, PG-100: 2.70 g as a polyfunctional epoxy compound, and KBM-403: 0.25 g as a silane coupling agent, 40 wt% PGMEA solution (a1-1) as acrylic polymer (A): 28 .00 g and Pigment Blue 15:6: 0.01 g as a coloring agent (D) were added and stirred. Next, filtration was performed with a 0.20 μm filter to obtain a photosensitive resin composition. The resulting photosensitive resin composition was evaluated for (1) pattern workability, (2) cured film properties, and (3) reliability. The composition is shown in Table 2 and the evaluation results are shown in Table 5.

(実施例20~23)
実施例19と同様の方法で、表2、3記載の組成の感光性樹脂組成物を得て、それぞれの感光性樹脂組成物について実施例19と同様の評価をした。評価結果を、表5、6に示す。
(Examples 20-23)
By the same method as in Example 19, photosensitive resin compositions having the compositions shown in Tables 2 and 3 were obtained, and the same evaluation as in Example 19 was performed for each photosensitive resin composition. Evaluation results are shown in Tables 5 and 6.

Figure 0007173147000012
Figure 0007173147000012

Figure 0007173147000013
Figure 0007173147000013

Figure 0007173147000014
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Figure 0007173147000015
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Figure 0007173147000016
Figure 0007173147000016

Figure 0007173147000017
Figure 0007173147000017

本発明の導電層付基板の用途は特に限定されないが、例えば、タッチパネル用部材、ディスプレイ用部材、透明アンテナ用部材等として好適に用いられる。 Although the use of the substrate with a conductive layer of the present invention is not particularly limited, it is preferably used as, for example, members for touch panels, members for displays, members for transparent antennas, and the like.

1:基材
2:導電パターン
3:絶縁層
4:導電パターン
5:絶縁層
1: Base material 2: Conductive pattern 3: Insulating layer 4: Conductive pattern 5: Insulating layer

Claims (13)

透明基板上に導電層と絶縁層が形成された導電層付基板であって、前記絶縁層が(A)側鎖に脂環式骨格およびアルカリ可溶性基を有するアクリルポリマー、(B)光重合開始剤および(C)不飽和二重結合を有する化合物を含有する感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化膜であり、該(C)不飽和二重結合を有する化合物が下記一般式(1)で表される構造を有する化合物(C-1)を含み、前記感光性樹脂組成物の固形分全体を100質量%とした場合に、前記化合物(C-1)を全固形分中0.4~5質量%含有する導電層付基板:
Figure 0007173147000018
一般式(1)中、R~Rタクリロイル基またはアクリロイル基を示す;R~Rはそれぞれ同じであっても異なっていてもよい;た、nは1または2である。
A substrate with a conductive layer comprising a conductive layer and an insulating layer formed on a transparent substrate, wherein the insulating layer comprises (A) an acrylic polymer having an alicyclic skeleton and an alkali-soluble group in a side chain, and (B) photopolymerization initiation. A cured film obtained by curing a photosensitive resin composition containing an agent and (C) a compound having an unsaturated double bond, wherein the (C) compound having an unsaturated double bond is represented by the following general formula (1) When the total solid content of the photosensitive resin composition is 100% by mass, the compound (C-1) is 0.4 in the total solid content. Substrate with a conductive layer containing ~5% by mass:
Figure 0007173147000018
In general formula (1), R 1 to R 6 represent a methacryloyl group or an acryloyl group; R 1 to R 6 may be the same or different; and n is 1 or 2. .
前記感光性樹脂組成物の固形分全体を100質量%とした場合に、前記化合物(C-1)を全固形分中0.4~3質量%含有する請求項1記載の導電層付基板。 The substrate with a conductive layer according to claim 1, wherein the compound (C-1) is contained in an amount of 0.4 to 3% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition being 100% by mass. 前記導電層が銀を含有する請求項1または2記載の導電層付基板。 3. The substrate with a conductive layer according to claim 1, wherein said conductive layer contains silver. 前記導電層中に前記銀を60~95質量%含有する請求項3記載の導電層付基板。 4. The substrate with a conductive layer according to claim 3, wherein said conductive layer contains 60 to 95 mass % of said silver. 前記導電層中にアルカリ可溶性基を有する有機成分を含有する請求項1~4いずれか一項記載の導電層付基板。 The substrate with a conductive layer according to any one of claims 1 to 4, wherein the conductive layer contains an organic component having an alkali-soluble group. 前記アクリルポリマー(A)が、側鎖に脂環式骨格を有する繰り返し単位を全繰り返し単位中、2~10モル%有する請求項1~5いずれか一項記載の導電層付基板。 6. The substrate with a conductive layer according to any one of claims 1 to 5, wherein the acrylic polymer (A) contains 2 to 10 mol% of repeating units having an alicyclic skeleton in a side chain in all repeating units. 前記側鎖に脂環式骨格を有する繰り返し単位が下記一般式(2)で表される繰り返し単位である請求項1~6いずれか一項記載の導電層付基板:
Figure 0007173147000019
一般式(2)中、Rは水素原子またはメチル基を示す。
The substrate with a conductive layer according to any one of claims 1 to 6, wherein the repeating unit having an alicyclic skeleton in the side chain is a repeating unit represented by the following general formula (2):
Figure 0007173147000019
In general formula (2), R7 represents a hydrogen atom or a methyl group.
前記アクリルポリマー(A)が、下記一般式(3)で表される繰り返し単位を有する請求項1~7いずれか一項記載の導電層付基板:
Figure 0007173147000020
一般式(3)中、Rは水素原子またはメチル基を示す;R~R13は水素原子、炭素数1~6の有機基またはヒドロキシル基を示す;R~R13はそれぞれ同じであっても異なっていてもよい。
The substrate with a conductive layer according to any one of claims 1 to 7, wherein the acrylic polymer (A) has a repeating unit represented by the following general formula (3):
Figure 0007173147000020
In general formula (3), R 8 represents a hydrogen atom or a methyl group; R 9 to R 13 represent a hydrogen atom, an organic group having 1 to 6 carbon atoms or a hydroxyl group; There may be or may be different.
前記アクリルポリマー(A)の全繰り返し単位中、上記一般式(3)で表される繰り返し単位を20~50モル%有する請求項8記載の導電層付基板。 9. The substrate with a conductive layer according to claim 8, wherein the acrylic polymer (A) contains 20 to 50 mol % of repeating units represented by the general formula (3) in all repeating units. 前記アクリルポリマー(A)が、下記一般式(4)で表される繰り返し単位および(5)で表される繰り返し単位を、全繰り返し単位中、合計40~60モル%有する請求項1~9いずれか一項記載の導電層付基板:
Figure 0007173147000021
一般式(4)中、R14は水素原子またはメチル基を示す;
Figure 0007173147000022
一般式(5)中、R15~R16は水素原子またはメチル基を示す;R15~R16はそれぞれ同じであっても異なっていてもよい。
Any one of claims 1 to 9, wherein the acrylic polymer (A) has repeating units represented by the following general formula (4) and repeating units represented by (5) in a total of 40 to 60 mol% of all repeating units. or the substrate with a conductive layer according to:
Figure 0007173147000021
In general formula (4), R 14 represents a hydrogen atom or a methyl group;
Figure 0007173147000022
In general formula (5), R 15 to R 16 each represent a hydrogen atom or a methyl group; R 15 to R 16 may be the same or different.
前記絶縁層が、さらに着色剤(D)を含有する請求項1~10いずれか一項記載の導電層付基板。 The substrate with a conductive layer according to any one of claims 1 to 10, wherein the insulating layer further contains a coloring agent (D). 導電層付基板が複数の導電層を有し、該複数の導電層間に前記絶縁層を有する請求項1~11いずれか一項記載の導電層付基板。 The substrate with a conductive layer according to any one of claims 1 to 11, wherein the substrate with a conductive layer has a plurality of conductive layers, and the insulating layer is provided between the plurality of conductive layers. 請求項1~12いずれか一項記載の導電層付基板を有するタッチパネル用部材。 A touch panel member comprising the substrate with a conductive layer according to any one of claims 1 to 12.
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