JP7170204B2 - レンズ倍率認識方法及び測定装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る測定装置を示すブロック図である。
次に、干渉対物レンズ66のレンズ倍率を認識する手順について説明する。
まず、1次元強度分布に基づくレンズ倍率の認識について説明する。
上記の例では、1次元強度分布に基づいて干渉対物レンズ66のレンズ倍率を認識するようにしたが、2次元のイメージサークルCのエッジ部の位置に基づいて、干渉対物レンズ66のレンズ倍率を認識することも可能である。
また、図10及び図12に示すセンサー領域(VF2及びVF4)では、V方向の線分(VL2及びVL4)上にもエッジ部がある。このため、図15に示すフィルターRF14を用いて、V方向の差分をとることにより、エッジ部の検出を行うことが可能である。
次に、レンズ倍率認識方法について説明する。図17は、本発明の一実施形態に係るレンズ倍率認識方法を示すフローチャートである。
Claims (6)
- 認識対象のレンズを用いて得られた画像を撮像部により撮像するステップと、
前記撮像した画像のイメージサークルを検出するステップと、
前記イメージサークルにおける受光強度分布を取得し、前記イメージサークルにおける受光強度分布を、レンズ倍率が異なるレンズを用いて撮像された受光強度分布から取得された参照データと比較することにより、前記認識対象のレンズのレンズ倍率を認識するレンズ倍率認識ステップと、
を含むレンズ倍率認識方法。 - 前記参照データは、前記レンズ倍率が異なるレンズを用いて撮像された受光強度分布から取得された1次元強度分布に関する情報を含んでおり、
前記レンズ倍率認識ステップは、
前記イメージサークルから前記イメージサークルのエッジ部を含む方向に沿う1次元強度分布を取得するステップと、
前記1次元強度分布を、前記参照データと比較することにより、前記認識対象のレンズのレンズ倍率を認識するステップと、
を含む請求項1記載のレンズ倍率認識方法。 - 前記参照データは、前記レンズ倍率が異なるレンズを用いて撮像された受光強度分布において、前記イメージサークル内で1次元強度分布の変化の割合が変化する折れ曲がり点の位置に関する情報を含んでおり、
前記レンズ倍率認識ステップは、
前記イメージサークルから前記イメージサークルのエッジ部を含む方向に沿う1次元強度分布を取得するステップと、
前記イメージサークルから取得された前記1次元強度分布において、前記イメージサークル内で前記1次元強度分布の変化の割合が変化する折れ曲がり点の位置を算出する折れ曲がり点算出ステップと、
前記算出した折れ曲がり点の位置を、前記参照データに含まれる折れ曲がり点の位置と比較することにより、前記認識対象のレンズのレンズ倍率を認識するステップと、
を含む請求項1記載のレンズ倍率認識方法。 - 前記折れ曲がり点算出ステップは、
前記1次元強度分布において、前記イメージサークルの中心側領域及びエッジ部側領域の強度分布の近似直線をそれぞれ算出するステップと、
前記近似直線の交点の位置を前記折れ曲がり点の位置として算出するステップと、
を含む請求項3記載のレンズ倍率認識方法。 - 前記参照データは、前記レンズ倍率ごとの受光強度分布におけるエッジ部の位置に関する情報を含んでおり、
前記レンズ倍率認識ステップは、
前記イメージサークルのエッジ部を検出するステップと、
前記イメージサークルから検出したエッジ部の位置を、前記参照データに含まれるエッジ部の位置と比較することにより、前記認識対象のレンズのレンズ倍率を認識するステップと、
を含む請求項1記載のレンズ倍率認識方法。 - 認識対象のレンズを用いて得られた画像を撮像する撮像部と、
前記撮像した画像のイメージサークルを検出するイメージサークル検出部と、
前記イメージサークルにおける受光強度分布を取得し、前記イメージサークルにおける受光強度分布を、レンズ倍率が異なるレンズを用いて撮像された受光強度分布から作成された参照データと比較することにより、前記認識対象のレンズのレンズ倍率を認識するレンズ倍率認識部と、
を備える測定装置。
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JP2019046057A JP7170204B2 (ja) | 2019-03-13 | 2019-03-13 | レンズ倍率認識方法及び測定装置 |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2004157534A (ja) | 2002-10-31 | 2004-06-03 | Mitsutoyo Corp | レンズ識別方法及びこのレンズ識別方法を実行可能な画像処理装置 |
JP2012215631A (ja) | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Fujifilm Corp | 撮像装置及び撮像方法 |
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