JP7167265B2

JP7167265B2 - inspection equipment

Info

Publication number: JP7167265B2
Application number: JP2021113463A
Authority: JP
Inventors: 利幸澤田; 賢史岩島
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2020-03-30
Filing date: 2021-07-08
Publication date: 2022-11-08
Anticipated expiration: 2035-07-15
Also published as: JP2021170661A; JP7370442B2; JP6912620B2; JP2023001190A; JP2020096205A

Description

本発明は、回路基板に装着される部品の検査を行う検査装置に関するものである。 The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting components mounted on a circuit board.

特許文献２，３には、プローブを備え、そのプローブの接触により部品の電気的特性を測定する検査装置が記載されている。特許文献１には、保持台に載置させられた部品を両端から挟んで電気的特性を測定する検査装置が記載されている。この検査装置において、送風口部２８から保持台のＶ溝に沿ってエアが供給され、そのＶ溝上にある測定後の部品が導入口部７´へ送られる。そして、不良品は廃棄され、良品は回路基板への装着に用いられる。 Patent Literatures 2 and 3 describe an inspection device that includes a probe and measures the electrical characteristics of a component by contact with the probe. Patent Literature 1 describes an inspection apparatus that sandwiches a component placed on a holding table from both ends and measures the electrical characteristics of the component. In this inspection apparatus, air is supplied along the V-groove of the holding table from the blower port 28, and the part after measurement on the V-groove is sent to the introduction port 7'. Defective products are discarded, and non-defective products are used for mounting on circuit boards.

特公昭５２－３０７０３号公報Japanese Patent Publication No. 52-30703 実開平１－７６１００号公報Japanese Utility Model Laid-Open No. 1-76100 国際公開第２０１４／１５５６５７パンフレットInternational Publication No. 2014/155657 Pamphlet

本発明の課題は、部品の電気的特性を自動で測定可能な検査装置において、電気的特性の測定後、部品の飛散を防止することである。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to prevent scattering of parts after measuring the electrical properties in an inspection apparatus capable of automatically measuring the electrical properties of the parts.

Means, actions and effects for solving problems

本発明に係る検査装置においては、電気的特性が測定された部品にエア供給装置によりエアが供給される。そのエアの供給による部品の飛散がカバー部によって防止される。 In the inspection apparatus according to the present invention, air is supplied from the air supply device to the component whose electrical characteristics have been measured. The cover prevents the parts from scattering due to the supply of air.

本発明の一実施形態である検査装置を含む装着機の斜視図である。1 is a perspective view of a mounting machine including an inspection device that is an embodiment of the present invention; FIG. 上記検査装置の要部の斜視図である。It is a perspective view of the principal part of the said inspection apparatus. 上記検査装置の要部の断面図である。It is a cross-sectional view of the main part of the inspection device. 上記検査装置の一部平面図である。It is a partial top view of the said inspection apparatus. 上記検査装置に含まれるエア回路図である。It is an air circuit diagram included in the inspection device. 上記装着機の制御装置を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the control apparatus of the said mounting machine. (a)上記制御装置の記憶部に記憶されたLCR測定プログラムを表すフローチャートである。(b)上記検査装置においてLCRが測定される場合のタイムチャートである。(a) is a flow chart showing an LCR measurement program stored in a storage unit of the control device; (b) is a time chart when LCR is measured by the inspection device; 上記制御装置の記憶部に記憶された部品適正判定プログラムを表すフローチャートである。4 is a flow chart showing a component adequacy determination program stored in a storage unit of the control device; 上記検査装置の作動を示す図である。(a)初期状態を示す図であり、(b)クランプ状態を示す図であり、(c)測定状態を示す図であり、(d)廃棄状態を示す図である。It is a figure which shows the operation|movement of the said inspection apparatus. (a) shows an initial state, (b) shows a clamped state, (c) shows a measurement state, and (d) shows a discarded state. 上記検査装置の図２とは異なる角度から見た斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the inspection device seen from an angle different from that of FIG. 2 ;

Embodiment of the Invention

以下、本発明の一実施形態である検査装置を含む装着機について図面に基づいて詳細に説明する。
図１に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、装置本体２，回路基板搬送保持装置４，部品供給装置６，ヘッド移動装置８等を含む。
回路基板搬送保持装置４は、回路基板Ｐ（以下、基板Ｐと略称する）を水平な姿勢で搬送して保持するものであり、図１において、基板Ｐの搬送方向をｘ方向、基板Ｐの幅方向をｙ方向、基板Ｐの厚み方向をｚ方向とする。ｙ方向、ｚ方向は、それぞれ、装着機の前後方向、上下方向である。これら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。部品供給装置６は、基板Ｐに装着される電子部品（以下、部品と略称する）ｓを供給するものであり、複数のテープフィーダ１４等を含む。ヘッド移動装置８は、装着ヘッド１６を保持してｘ、ｙ、ｚ方向へ移動させるものであり、装着ヘッド１６は、部品ｓを吸着して保持する吸着ノズル１８を有する。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A mounting machine including an inspection device, which is an embodiment of the present invention, will be described in detail below with reference to the drawings.
The mounting machine shown in FIG. 1 mounts components on a circuit board, and includes an apparatus main body 2, a circuit board transfer/holding device 4, a component supply device 6, a head moving device 8, and the like.
The circuit board transporting/holding device 4 transports and holds a circuit board P (hereinafter abbreviated as the board P) in a horizontal posture. The width direction is the y direction, and the thickness direction of the substrate P is the z direction. The y-direction and z-direction are the front-back direction and the up-down direction of the mounting machine, respectively. These x-direction, y-direction and z-direction are orthogonal to each other. The component supply device 6 supplies electronic components (hereinafter abbreviated as components) s to be mounted on the substrate P, and includes a plurality of tape feeders 14 and the like. The head moving device 8 holds and moves the mounting head 16 in the x, y, and z directions, and the mounting head 16 has a suction nozzle 18 that suctions and holds the component s.

また、符号２０はカメラを示す。カメラ２０は、吸着ノズル１８によって保持された部品ｓを撮像するものであり、カメラ２０によって撮像された画像に基づいて、部品ｓが回路基板Ｐに装着される予定のものであるか否かが判定される。符号２２は検査装置を示す。検査装置２２は、部品ｓの電気的特性を測定して、検査するものである。部品ｓの電気的特性が測定され、測定された電気的特性が、JOB情報に含まれる部品ｓに関する情報（電気的特性）と一致するか否か、すなわち、次の作業に用いられる予定の部品ｓが備えた電気的特性と一致するか否かが判定されるのである。
部品ｓの電気的特性としては、Ｌ（インダクタンス）、Ｃ（キャパシタンス）、Ｒ（レジスタンス）、Ｚ′（インピーダンス）等が該当し、検査装置２２によってこれらのうちの１つ以上が測定される。 Moreover, the code|symbol 20 shows a camera. The camera 20 captures an image of the component s held by the suction nozzle 18, and based on the image captured by the camera 20, determines whether the component s is to be mounted on the circuit board P. be judged. Reference numeral 22 indicates an inspection device. The inspection device 22 measures and inspects the electrical characteristics of the component s. The electrical characteristics of the part s are measured, and whether or not the measured electrical characteristics match the information (electrical characteristics) on the part s included in the JOB information, that is, the part scheduled to be used in the next job It is determined whether or not s matches the electrical characteristics provided.
The electrical characteristics of the component s include L (inductance), C (capacitance), R (resistance), Z' (impedance), etc. One or more of these are measured by the inspection device 22 .

検査装置２２は、ごみ箱２６を介して回路基板搬送保持装置４の本体に設けられる。ごみ箱２６と検査装置２２とは廃棄通路２８によって接続されるが、電気的特性が測定された部品ｓが、廃棄通路２８を経てごみ箱２６に収容される。検査装置２２は、ごみ箱２６に高さ調整可能に設けられる。図２，１０に示すように、ごみ箱２６には、昇降可能にベース部３０が係合させられ、ベース部３０に本体２９がボルトおよびナットを含む締結部３１（図３，４，１０参照）によって固定され、これらベース部３０および本体２９が一体的に昇降可能に保持される。また、本体２９、ベース部３０には、それぞれ、廃棄通路２８と連通可能な開口２９ａ、３０ａが設けられる（図３，４参照）。
検査装置２２は、図２～４，１０に示すように、(i)上記本体２９およびベース部３０、(ii)部品ｓを保持可能な保持台３２、(iii)固定子３４および可動子３６から成る一対の測定子３７、(iv)保持台３２を移動させる保持台移動装置４０、(v)可動子３６を固定子３４に対して接近・離間させる可動子移動装置４１、(vi)電気的特性検出部としてのLCR検出部４２等を含む。本実施例において、部品ｓは、両端部に電極を有し、一対の測定子３７によって把持可能なものとすることができる。部品ｓとしては、例えば、角チップと称するものが該当する。 The inspection device 22 is provided on the main body of the circuit board transfer/holding device 4 via a trash can 26 . The waste bin 26 and the inspection device 22 are connected by a waste passage 28 , and the parts s whose electrical characteristics have been measured are stored in the waste bin 26 through the waste passage 28 . The inspection device 22 is provided in a trash can 26 so as to be adjustable in height. As shown in FIGS. 2 and 10, a base portion 30 is engaged with the trash can 26 so as to be able to move up and down. , and the base portion 30 and the main body 29 are integrally held so that they can be raised and lowered. The main body 29 and the base portion 30 are provided with openings 29a and 30a, respectively, which can communicate with the disposal passage 28 (see FIGS. 3 and 4).
2 to 4 and 10, the inspection device 22 includes (i) the main body 29 and the base portion 30, (ii) a holding base 32 capable of holding the part s, (iii) a stator 34 and a mover 36. (iv) a holder moving device 40 for moving the holder 32; (v) a movable member moving device 41 for moving the movable member 36 toward and away from the stator 34; It includes an LCR detector 42 and the like as a characteristic detector. In this embodiment, the part s has electrodes at both ends and can be gripped by a pair of probes 37 . The part s is, for example, a square chip.

保持台３２は、部品載置部４４と、部品載置部４４を保持する載置部保持体４６とを含む。部品載置部４４の上面にはV溝４４ｃが形成され、部品ｓが載せられる。Ｖ形状とされているため、部品ｓの位置が精度よく決まる。
部品載置部４４は、導電性、耐摩耗性を有し、かつ、酸化が進み難い材料で製造されたものとすることができる。部品載置部４４は、複数の導電性を有する部材を介してベース部３０に電気的に接続されるが、ベース部３０が接地されることにより、部品載置部４４も接地される。本実施例においては、部品載置部４４が載置部保持体４６に当接し、かつ、締結部４７によって固定されるとともに、載置部保持体４６が本体２９にストッパ８０（図３参照）を介して当接し、本体２９がベース部３０に締結部３１によって固定される。そして、載置部保持体４６、ストッパ８０、本体２９、ベース部３０、締結部３１、４７等は導電性を有するものである。したがって、部品載置部４４は接地されるのである。
このように、部品載置部４４が導電性を有する材料で製造され、かつ、接地されることにより、部品載置部４４に載置させられた部品ｓの除電を行うことができる。また、部品載置部４４が、耐摩耗性を有する材料で製造されることにより、部品載置部４４の摩耗を抑制し、耐久性を向上させることができる。さらに、酸化が進み難い材料、すなわち、金属の酸化被膜である不動態皮膜が形成され得る材料で製造されることにより、部品載置部４４が錆び難くすることができる。錆が部品ｓに付き難くすること等ができ、部品ｓの電気的特性の測定精度の低下を抑制することができる。例えば、部品載置部４４は、アルミニウム合金またはステンレス材料等によって製造されたものとすることができる。 The holding base 32 includes a component placement section 44 and a placement section holder 46 that holds the component placement section 44 . A V-groove 44c is formed on the upper surface of the component mounting portion 44, and the component s is mounted thereon. Since it is V-shaped, the position of the component s is determined with high accuracy.
The component mounting portion 44 can be made of a material that has electrical conductivity, wear resistance, and resistance to oxidation. The component mounting portion 44 is electrically connected to the base portion 30 via a plurality of conductive members, and when the base portion 30 is grounded, the component mounting portion 44 is also grounded. In this embodiment, the component placement section 44 abuts on the placement section holder 46 and is fixed by the fastening section 47, and the placement section holder 46 is attached to the main body 29 by a stopper 80 (see FIG. 3). , and the main body 29 is fixed to the base portion 30 by the fastening portion 31 . The mounting portion holder 46, the stopper 80, the main body 29, the base portion 30, the fastening portions 31, 47, etc. are conductive. Therefore, the component mounting portion 44 is grounded.
In this manner, the component placement section 44 is made of a conductive material and is grounded, so that the component s placed on the component placement section 44 can be neutralized. In addition, since the component mounting portion 44 is made of a wear-resistant material, wear of the component mounting portion 44 can be suppressed and durability can be improved. Furthermore, the component placement section 44 can be made less likely to rust by being manufactured from a material that is difficult to oxidize, that is, a material that can form a passive film, which is a metal oxide film. It is possible to make it difficult for rust to adhere to the part s, and to suppress deterioration in measurement accuracy of the electrical characteristics of the part s. For example, the component mounting portion 44 may be made of aluminum alloy, stainless steel, or the like.

固定子３４、可動子３６は、それぞれ、互いに対向する対向面３４ｆ、３６ｆを有し、これら一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持される。固定子３４は固定子保持体５５を介して本体２９に固定される。可動子３６は、可動子保持体５６に一体的に移動可能に保持されたものであり、固定子３４に対して接近・離間可能とされる。本実施例において、対向面３６ｆは、断面が三角形状を成し、Ｖ溝４４ｃに沿って移動可能とされる。換言すれば、可動子３６の対向面３６ｆの形状は、ほぼＶ溝４４ｃに対応する形状とされ、可動子３６の対向面３６ｆ、固定子３４の対向面３４ｆおよび保持台３２のＶ溝４４ｃは、ほぼ同一高さに位置する。そのため、部品ｓがＶ溝４４ｃ内のいずれにあっても、一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持可能とされる。
また、可動子３６は、本実施例において、ｙ方向（移動方向）に伸びた長手部材であり、後退端において可動子保持体５６に保持される。さらに、対向面３６ｆを含む先端部より後部は、先端部よりｘ方向にはみ出す部分を有さない形状を成す。その結果、保持台３２と可動子３６とは互いに相対移動可能とされ、保持台３２は、Ｖ溝４４の底部が可動子３６を下方に位置する状態で、対向面３６ｆの前方へ移動したり後方へ移動したりすることが可能である。
さらに、可動子３６と固定子３４とから成る一対の測定子３７、LCR検出部４２、図示を省略する電源装置等を含む電気回路５８が形成される。これら固定子３４と可動子３６との間に電流が供給されるとともに流れた電流が検出され、これらの関係に基づいて部品ｓの電気的特性がＬＣＲ検出部４２によって測定される。LCR検出部４２は、Ｌ，Ｃ，Ｒを検出する検出部に限らず、Ｌ，Ｃ，Ｒ，Ｚ´等の電気的特性を表す物理量の１つ以上を検出するものとすることができる。なお、図２～４の符号５８ａ、ｂは、一対の測定子３７の電気回路５８への接続部である。 The stator 34 and the mover 36 respectively have facing surfaces 34f and 36f facing each other, and the component s is gripped by the pair of facing surfaces 34f and 36f. The stator 34 is fixed to the main body 29 via a stator holder 55. As shown in FIG. The mover 36 is integrally and movably held by the mover holder 56 and can approach and separate from the stator 34 . In this embodiment, the facing surface 36f has a triangular cross section and is movable along the V-groove 44c. In other words, the facing surface 36f of the mover 36 has a shape substantially corresponding to the V-groove 44c. , located at approximately the same height. Therefore, the part s can be gripped by the pair of facing surfaces 34f and 36f regardless of where the part s is in the V-groove 44c.
In this embodiment, the mover 36 is a longitudinal member that extends in the y direction (moving direction), and is held by a mover holder 56 at its retracted end. Furthermore, the rear portion of the tip portion including the facing surface 36f has a shape that does not have a portion protruding from the tip portion in the x direction. As a result, the holding table 32 and the mover 36 are movable relative to each other, and the holding table 32 moves forward of the facing surface 36f with the bottom of the V-groove 44 positioned below the mover 36. It is possible to move backwards.
Furthermore, an electric circuit 58 including a pair of probes 37 consisting of a mover 36 and a stator 34, an LCR detector 42, a power supply unit (not shown), etc. is formed. A current is supplied and detected between the stator 34 and the mover 36, and the electrical characteristics of the part s are measured by the LCR detector 42 based on these relationships. The LCR detection unit 42 is not limited to a detection unit that detects L, C, and R, and may detect one or more physical quantities representing electrical characteristics such as L, C, R, and Z'. Reference numerals 58a and 58b in FIGS. 2 to 4 denote connecting portions of the pair of probes 37 to the electric circuit 58. As shown in FIG.

保持台３２にはカバー部５０が取り付けられる。カバー部５０は、互いにｘ方向に隔たって、Ｖ溝４４ｃの両側にそれぞれ設けられた一対のカバー用板部５２，５４を含む。カバー用板部５２，５４は、それぞれ、保持台３２の固定子３４側に設けられ、ｙ方向およびｚ方向、すなわち、保持台３２、可動子３６の移動方向および上下方向に伸びたものであり、板状部材が曲げられた形状を成す。カバー用板部５２は、平面視において溝形を成し、底板部５２ａと、それの両側に、ｘ方向に隔たって設けられた側板部５２ｂ、５２ｃとを含む。底板部５２ａは、下部が曲げられた形状を成し、側面視においてＬ字形を成し、上部において部品載置部４４の固定子３４側の側面に取り付けられる。また、保持台３２の前進端位置において、底板部５２の下部が固定子保持体５５の上方に位置し、側板部５２ｂが固定子３４の外側、かつ、固定子保持体５５の上方に位置し、側板部５２ｃが側板部５２ｂより外側であって、固定子保持体５５の外側に位置する。側板部５２ｃは、側板部５２ｂより上下方向の寸法が大きいものであり、下端部が本体２９の開口２９ａ付近まで伸びる。カバー用板部５４は、Ｖ溝４４ｃに対してカバー用板部５２の反対側の載置部保持体４６に取り付けられる。カバー用板部５４は、保持台３２の前進端位置において、固定子保持体５５の外側に位置する。カバー用板部５４は、上下方向に曲げられた形状を成し、下端部が本体２９の開口２９ａ付近まで伸びたものである。
また、側板部５２ｃ、カバー用板部５４のｙ方向の寸法は、固定子３４と可動子３６とが互いに離間させられる場合の少なくとも一時期に一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間のほぼ全体をｘ方向から覆い得る大きさとされる。
なお、カバー部５０は、後述するように、エアの拡散を防止するとともに、エアの噴出によって落下させられた部品ｓの飛散を防止する機能を果たす。 A cover portion 50 is attached to the holding base 32 . The cover portion 50 includes a pair of cover plate portions 52 and 54 provided on both sides of the V-groove 44c so as to be spaced apart from each other in the x direction. The cover plates 52 and 54 are provided on the holding base 32 on the stator 34 side, respectively, and extend in the y-direction and z-direction, that is, the moving direction and the vertical direction of the holding base 32 and the mover 36 . , the plate member is bent. The cover plate portion 52 has a groove shape in plan view, and includes a bottom plate portion 52a and side plate portions 52b and 52c provided on both sides of the bottom plate portion 52a and spaced apart in the x direction. The bottom plate portion 52a has a bent lower portion, is L-shaped when viewed from the side, and is attached to the side surface of the component mounting portion 44 on the side of the stator 34 at the upper portion. Further, at the forward end position of the holding table 32, the lower portion of the bottom plate portion 52 is positioned above the stator holder 55, and the side plate portion 52b is positioned outside the stator 34 and above the stator holder 55. , the side plate portion 52 c is positioned outside the side plate portion 52 b and outside the stator holder 55 . The side plate portion 52c has a vertical dimension larger than that of the side plate portion 52b, and the lower end extends to the vicinity of the opening 29a of the main body 29. As shown in FIG. The cover plate portion 54 is attached to the mounting portion holder 46 on the opposite side of the cover plate portion 52 with respect to the V-groove 44c. The cover plate portion 54 is positioned outside the stator holder 55 at the forward end position of the holder 32 . The cover plate portion 54 has a shape bent in the vertical direction, and the lower end extends to the vicinity of the opening 29 a of the main body 29 .
Moreover, the dimension of the side plate portion 52c and the cover plate portion 54 in the y direction is substantially the entire space between the pair of facing surfaces 34f and 36f at least for a period of time when the stator 34 and the mover 36 are separated from each other. is large enough to cover from the x direction.
As will be described later, the cover portion 50 functions to prevent the diffusion of air and also to prevent the parts s dropped by the jet of air from scattering.

固定子側の部材｛例えば、固定子３４の上部または固定子保持体５５の固定子３４の上方の部分または本体２９｝には、可動子３６の対向面３６ｆに対向するエア通路６０の開口６０ａが形成される。エア通路６０は、図３に示すように概してｙ方向に伸びたエア噴出通路６０ｓ、本体２９に形成された内部通路６０ｈ等を含む。エア噴出通路６０ｓは、可動子３６に近づくにつれて下方へいく向きに傾斜して伸び、可動子３６が固定子３４から離間した位置にある場合に、延長線ｋが可動子３６の対向面３６ｆの部分Ｒの上方または部分Ｒ内に達する状態で伸びたものである。部分Ｒは、可動子３６の対向面３６ｆの部品ｓを把持する頻度が高い部分であり、把持部と称することができる。エアは、対向面３６ｆの延長線ｋが交差する部分に、斜め上方から当たる。
エア通路６０には、エアシリンダ６４，７０が接続される。また、エア通路６０のエアシリンダ６４，７０の下流側の部分にはイオナイザ６２が設けられる。イオナイザ６２は、コロナ放電を生起させて空気をイオン化するものであり、対向面３６ｆにイオン化された空気が供給され得る。 An opening 60a of an air passage 60 facing the facing surface 36f of the mover 36 is provided in a member on the stator side (for example, the upper portion of the stator 34 or the portion of the stator holder 55 above the stator 34 or the main body 29). is formed. The air passage 60 includes an air ejection passage 60s generally extending in the y-direction as shown in FIG. 3, an internal passage 60h formed in the main body 29, and the like. The air ejection passage 60s extends obliquely downward as it approaches the mover 36, and when the mover 36 is at a position separated from the stator 34, the extension line k extends from the facing surface 36f of the mover 36. It extends above the portion R or reaches into the portion R. The portion R is a portion that frequently grips the component s on the facing surface 36f of the mover 36, and can be called a gripping portion. The air hits the portion where the extension line k of the facing surface 36f intersects from obliquely above.
Air cylinders 64 and 70 are connected to the air passage 60 . An ionizer 62 is provided in the portion of the air passage 60 on the downstream side of the air cylinders 64 and 70 . The ionizer 62 generates corona discharge to ionize the air, and the ionized air can be supplied to the facing surface 36f.

保持台移動装置４０は、本体２９またはベース部３０に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ６４を含む。エアシリンダ６４のピストンロッド６６（図５参照）には載置部保持体４６が連結される。エアシリンダ６４は、シリンダハウジングの内部にピストンによって仕切られた２つのエア室６４ａ、６４ｂを含み、２つのエア室６４ａ、６４ｂとエア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）との間に電磁弁装置６９が設けられる。電磁弁装置６９は、１つ以上の電磁弁、例えば、図５に示すように、方向切換弁、可変絞りを含むものとすることができる。方向切換弁により、載置部保持体４６の移動方向が制御され、可変絞りにより載置部保持体４６の移動・停止が制御される。電磁弁装置６９によって、エア室６４ｂがエア源６８に連通させられエア室６４ａがエア通路６０に連通させられることにより、保持台３２が前進（図３の矢印Ｆ方向の移動）させられ、エア室６４ｂが大気に開放されエア室６４ａがエア源６８に連通させられることにより、保持台３２が後退（図３の矢印Ｂ方向の移動）させられる。 The holding table moving device 40 includes an air cylinder 64 as a drive source fixedly provided on the main body 29 or the base portion 30 . A mounting section holder 46 is connected to the piston rod 66 (see FIG. 5) of the air cylinder 64 . The air cylinder 64 includes two air chambers 64a, 64b partitioned by a piston inside a cylinder housing. A valve device 69 is provided. The solenoid valve device 69 may include one or more solenoid valves, eg, directional valves, variable throttles, as shown in FIG. The direction switching valve controls the moving direction of the mounting section holder 46, and the variable throttle controls the movement and stopping of the mounting section holder 46. FIG. The air chamber 64b is communicated with the air source 68 and the air chamber 64a is communicated with the air passage 60 by the electromagnetic valve device 69, whereby the holding base 32 is advanced (moved in the direction of arrow F in FIG. 3), By opening the chamber 64b to the atmosphere and connecting the air chamber 64a to the air source 68, the holding table 32 is retracted (moved in the direction of arrow B in FIG. 3).

可動子移動装置４１は、本体２９に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ７０を含む。エアシリンダ７０のピストンロッド７１には可動子と一体的に移動可能な可動子保持体５６が連結される。エアシリンダ７０のハウジングの内部にピストンによって仕切られた２つのエア室７０ａ、７０ｂには、電磁弁装置７２を介して、エア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）に接続される。電磁弁装置７２は、１つ以上の電磁弁を含むものであり、例えば、方向切換弁、可変絞り等を含むものとすることができる。電磁弁装置７２により、エア室７０ｂがエア通路６０に連通させられエア室７０ａがエア源６８に連通させられることにより、可動子３６が後退させられ、エア室７０ａが大気に開放されエア室７０ｂがエア源６８に連通させられることにより、可動子３６が前進させられる。
本実施例においては、エアシリンダ６４，７０、エア通路６０（エア噴出通路６０ｓを含む）、開口６０ａ、カバー部５０、イオナイザ６２等によりエア供給装置７３が構成される。エア供給装置７３は、可動子供給部、駆動源連動型供給部でもある。また、対向面３６ｆが供給対象面に対応する。
なお、電磁弁装置６９，７２の構造は、本実施例のそれに限らない。例えば、１つの３位置弁を含むものとしたり、複数の開閉弁を含むものとしたりすること等ができる。また、イオナイザ６２を設けることは不可欠ではない。 The mover moving device 41 includes an air cylinder 70 as a drive source fixedly provided on the main body 29 . The piston rod 71 of the air cylinder 70 is connected to a mover holder 56 that can move integrally with the mover. An air source 68, an air passage 60, and a filter (atmosphere) are connected via an electromagnetic valve device 72 to two air chambers 70a and 70b partitioned by a piston inside the housing of the air cylinder 70. As shown in FIG. The solenoid valve device 72 includes one or more solenoid valves, and may include, for example, directional switching valves, variable throttles, and the like. The air chamber 70b is communicated with the air passage 60 and the air chamber 70a is communicated with the air source 68 by the solenoid valve device 72, whereby the mover 36 is retracted, the air chamber 70a is opened to the atmosphere, and the air chamber 70b is opened. is communicated with the air source 68, the mover 36 is advanced.
In this embodiment, an air supply device 73 is composed of the air cylinders 64, 70, the air passage 60 (including the air ejection passage 60s), the opening 60a, the cover portion 50, the ionizer 62, and the like. The air supply device 73 is also a mover supply unit and a drive source interlocking supply unit. Also, the facing surface 36f corresponds to the supply target surface.
The structures of the solenoid valve devices 69 and 72 are not limited to those of this embodiment. For example, it may include one three-position valve, or may include a plurality of on-off valves. Also, providing the ionizer 62 is not essential.

可動子保持体５６と本体２９との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７４，７５が設けられ、保持台３２と可動子保持体５６との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７６，７７が設けられる。ガイドロッド７４，７５の一端部は、可動子保持体５６に連結され、他端部は、本体２９に摺動可能に係合させられる。ガイドロッド７６，７７は、一端部において載置部保持体４６に連結されるとともに、可動子保持体５６に摺動可能に係合させられる。これらガイドロッド７４，７５、７６，７７により保持台３２と可動子３６とは本体２９に対して、ｙ方向に互いに相対移動可能とされるとともに、保持台３２と可動子３６とは互いにｙ方向に相対移動可能とされる。
また、図３に示すように、可動子保持体５６の固定子側にはストッパ８２が設けられ、本体２９の固定子保持体５５を保持する部分にはストッパ８０が設けられる。ストッパ８２は、可動子保持体５６と保持台３２（載置部保持体４６）との接近限度を規定するものであり、ストッパ８０は、固定子３４（本体２９）と保持台３２（載置部保持体４６）との接近限度を規定するものである。
本実施例において、ガイドロッド７４～７７は、保持台移動装置４０、可動子移動装置４１に共有され、ストッパ８０，８２は保持台移動装置４０の構成要素であると考えることができる。
なお、図３に示すように、可動子３６が後退端位置にある場合のストッパ８２の前端部と、保持台３２が前進端位置にある場合の載置部保持体４６との間の隙間Ｌｄが、可動子３６と保持台３２との相対移動が許容される距離である。 A pair of guide rods 74 and 75 extending in the y direction are provided between the mover holder 56 and the main body 29, and a guide rod extending in the y direction is provided between the holder 32 and the mover holder 56. A pair of guide rods 76,77 are provided. One end of the guide rods 74 and 75 is connected to the mover holder 56 and the other end is slidably engaged with the main body 29 . The guide rods 76 and 77 are connected at one end to the mounting section holder 46 and slidably engaged with the mover holder 56 . These guide rods 74, 75, 76, and 77 allow the holding table 32 and the movable element 36 to move relative to each other in the y direction with respect to the main body 29. relative movement is possible.
3, a stopper 82 is provided on the stator side of the mover holder 56, and a stopper 80 is provided on the portion of the main body 29 that holds the stator holder 55. As shown in FIG. The stopper 82 defines the approach limit between the mover holder 56 and the holder 32 (mounting section holder 46). It stipulates the approach limit to the part holder 46).
In this embodiment, the guide rods 74 to 77 are shared by the pedestal moving device 40 and the mover moving device 41, and the stoppers 80 and 82 can be considered as components of the pedestal moving device 40. FIG.
As shown in FIG. 3, the gap Ld between the front end portion of the stopper 82 when the mover 36 is at the retracted end position and the mounting portion holder 46 when the holder 32 is at the forward end position. is the allowable distance for relative movement between the mover 36 and the holding base 32 .

当該装着機は制御装置１００を含む。制御装置１００は、図６に示すように、コンピュータを主体とするコントローラ１０２と、複数の駆動回路１０４とを含む。コントローラ１０２は、実行部１１０、記憶部１１２、入出力部１１４等を含み、入出力部１１４には、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８が、それぞれ、駆動回路１０４を介して接続されるとともに、可動子移動装置４１、保持台移動装置４０の電磁弁装置６９，７２等が接続される。また、ＬＣＲ検出部４２、ディスプレイ１１６、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０、ノズル１８の高さを検出するノズル高さセンサ１２２等が接続される。記憶部１１２には、図７(a)のフローチャートで表されるLCR検出プログラム等の複数のプログラム、テーブルが記憶されている。また、コントローラ１０２に設けられたタイマ１２４によって時間の計測が行われる。
なお、本実施例においては、制御装置１００によって装着機全体が制御される場合について説明したが、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８等がそれぞれ
互いに個別の制御装置によって制御されるようにすることもできる。 The mounting machine includes a control device 100 . As shown in FIG. 6, the control device 100 includes a computer-based controller 102 and a plurality of drive circuits 104 . The controller 102 includes an execution unit 110, a storage unit 112, an input/output unit 114, and the like. , and the electromagnetic valve devices 69 and 72 of the mover moving device 41 and the holding table moving device 40 are connected. Also connected are the LCR detector 42, the display 116, the mover position sensor 118, the pedestal position sensor 120, the nozzle height sensor 122 for detecting the height of the nozzle 18, and the like. The storage unit 112 stores a plurality of programs and tables such as the LCR detection program shown in the flowchart of FIG. 7(a). Also, a timer 124 provided in the controller 102 measures time.
In this embodiment, the case where the entire mounting machine is controlled by the control device 100 has been described, but the substrate conveying/holding device 4, the component supply device 6, the head moving device 8, etc. are controlled by individual control devices. You can also make it so that

以下、装着機の作動について説明する。
段取り替えが行われる場合等、新たなテープフィーダ１４のセット、テープフィーダ１４の交換等が行われた場合等に、そのテープフィーダ１４に保持された部品ｓの電気的特性が測定され、そのテープフィーダ１４（または部品ｓ）が適切なものであるか否かが検査される。また、その検査結果がディスプレイ１１６に表示される。不適切である場合には、テープフィーダ１４が取り替えられる。 The operation of the mounting machine will be described below.
When a new tape feeder 14 is set, the tape feeder 14 is replaced, or the like, the electrical characteristics of the component s held by the tape feeder 14 are measured, and the tape is measured. The feeder 14 (or part s) is checked for suitability. Also, the inspection result is displayed on the display 116 . If unsuitable, tape feeder 14 is replaced.

部品ｓの電気的特性は、図７(a)のフローチャートで表されるLCR測定プログラムの実行により測定される。また、保持台３２、可動子３６の動き、保持台位置センサ１２０、可動子位置センサ１１８の状態を図７(b)に示す。
検査装置２２は、常には、図９(a)に示す初期状態にある。可動子３６は後退端位置にあり、保持台３２は前進端位置、すなわち、ストッパ８０に当接した位置にある。この状態において、保持台３２は、内部導通等によりアースされた状態にある。保持台３２のＶ溝４４ｃの上方に可動子３６が存在せず、部品ｓを載置可能な状態にある。また、カバー部５０は固定子３４の両側（ｘ方向に隔たって）に位置する。可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０は、いずれもＯＮ状態にある。
ステップ１（以下、Ｓ１と略称する。他のステップについても同様とする）において、部品ｓの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。段取り替えが行われる場合等には電気的特性の測定指令が出される。測定指令が出されると、Ｓ２において、装着ヘッド１６が移動させられ、例えば、新たに取り付けられたテープフィーダ１４に保持された部品ｓが吸着ノズル１８によってピックアップされて、保持台３２のＶ溝４４ｃ上に載せられる。吸着ノズル１８が下降させられ、部品ｓが開放されることにより、部品ｓがＶ溝４４ｃ上に載置させられたことがわかる。 The electrical characteristics of the part s are measured by executing the LCR measurement program represented by the flow chart of FIG. 7(a). 7(b) shows the movements of the holding table 32 and the mover 36, and the states of the holding table position sensor 120 and the mover position sensor 118. As shown in FIG.
The inspection device 22 is always in the initial state shown in FIG. 9(a). The mover 36 is at the retracted end position, and the holding base 32 is at the forward end position, that is, in contact with the stopper 80 . In this state, the holding table 32 is grounded by internal conduction or the like. There is no mover 36 above the V-groove 44c of the holding table 32, and the part s can be placed thereon. Also, the cover portions 50 are positioned on both sides of the stator 34 (separated in the x direction). Both the mover position sensor 118 and the cradle position sensor 120 are in the ON state.
In step 1 (hereinafter abbreviated as S1; the same applies to other steps), it is determined whether or not an instruction to measure the electrical characteristics of component s has been issued. When a setup change is performed, an electrical characteristic measurement command is issued. When a measurement command is issued, in S2, the mounting head 16 is moved, for example, the newly mounted component s held by the tape feeder 14 is picked up by the suction nozzle 18, and the V-groove 44c of the holding table 32 is picked up. placed on top. By lowering the suction nozzle 18 and releasing the component s, it can be seen that the component s is placed on the V groove 44c.

そして、吸着ノズル１８が部品ｓをＶ溝４４ｃ上に載置させて上昇端に達したことがノズル高さセンサ１２２によって検出されると、Ｓ３において、電磁弁装置７２の制御により可動子３６が前進させられ、可動子位置センサ１１８がＯＮからＯＦＦに切り換えられる。可動子３６の先端の対向面３６ｆは、部品載置部４４のＶ溝４４ｃに沿って前進させられ、対向面３６ｆと固定子３４の対向面３４ｆとによって部品ｓがクランプされる｛図９(b)｝。本実施例においては、後退端位置から部品ｓをクランプするまでの可動子３６のストロークＬ₁（図３参照）は、クランプされる部品ｓの大きさ等で決まり、予め決められている。可動子３６の前進開始時から、可動子３６がストロークＬ₁前進するまでに要する時間である前進時間が経過した後に、可変絞りの制御等により、可動子３６の前進が停止させられる。前進時間は、タイマ１２４によって計測される。この保持台３２が前進端位置にあり、可動子３６が前進させられ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆにより部品ｓがクランプされた状態がクランプ状態である。 Then, when the nozzle height sensor 122 detects that the suction nozzle 18 has placed the part s on the V groove 44c and has reached the rising end, the electromagnetic valve device 72 controls the mover 36 in S3. It is advanced and the mover position sensor 118 is switched from ON to OFF. The facing surface 36f at the tip of the mover 36 is moved forward along the V-groove 44c of the component mounting portion 44, and the component s is clamped by the facing surface 36f and the facing surface 34f of the stator 34 {FIG. b)}. In this embodiment, the stroke L ₁ (see FIG. 3) of the mover 36 from the retracted end position until the part s is clamped is determined in advance by the size of the part s to be clamped. After the advance time, which is the time required for the mover 36 to move forward by the stroke _L1 from the time when the mover 36 starts moving forward, the mover 36 stops moving forward by controlling the variable throttle or the like. Advance time is measured by timer 124 . A clamped state is a state in which the holding base 32 is at the forward end position, the mover 36 is advanced, and the part s is clamped by the pair of opposing surfaces 34f and 36f.

Ｓ４において、電磁弁装置６９の制御により保持台３２が後退させられ、保持台位置センサ１２０がＯＮからＯＦＦに切り換えられる。保持台３２は、ストッパ８２に当接するまで後退させられ｛図９(c)｝、その位置で保持される。その間の保持台３２のストロークはＬ₂（図３参照）である。
Ｌ₂＝Ｌｄ－Ｌ₁
本実施例においては、ストロークＬ₂は設定値Ｌｘ以上の大きさとされていて（Ｌ₂≧Ｌｘ）、部品載置部４４が部品ｓから設定値Ｌｘ以上離間させられる。導電性を有する部材（部品載置部４４）が電気的特性の測定時に部品ｓの近傍に位置すると静電誘導が起きたり、渦電流が生じたりする等、電気的特性を正確に検出することができない。それに対して、部品載置部４４を部品ｓから設定値Ｌｘ以上離間させれば（部品載置部４４と部品ｓとの最短距離が設定値Ｌｘ以上とすれば）、部品載置部４４が部品ｓの近傍に位置することに起因して生じる電気的特性の測定誤差を小さくすることができる。このように、設定値Ｌｘは、部品載置部４４が部品ｓの電気的特性の測定に影響を及ぼし難い距離であり、予め実験等により取得された値である。この状態が測定状態である。
なお、保持台３２の後退開始時から、保持台３２がストロークＬ₂後退するのに要する時間である後退時間Taが経過した後に、電磁弁装置６９の制御により保持台３２の位置が保持される。後退時間Taは、タイマ１２４によって計測される。 In S4, the holding table 32 is moved backward under the control of the electromagnetic valve device 69, and the holding table position sensor 120 is switched from ON to OFF. The holding base 32 is retracted until it abuts against the stopper 82 (FIG. 9(c)) and is held at that position. The stroke of the holding table 32 during that time is L ₂ (see FIG. 3).
L2 ₌ Ld _- L1
In this embodiment, the stroke L ₂ is set to a value equal to or greater than the set value Lx (L ₂ ≧Lx), and the component placement section 44 is separated from the component s by the set value Lx or greater. Electrostatic induction or eddy current occurs when a conductive member (component mounting portion 44) is positioned near the component s when the electrical characteristics are measured, so that the electrical characteristics can be accurately detected. can't On the other hand, if the component placement section 44 is separated from the component s by the set value Lx or more (if the shortest distance between the component placement section 44 and the component s is set to the set value Lx or more), the component placement section 44 is It is possible to reduce the measurement error of the electrical characteristics caused by being positioned in the vicinity of the part s. As described above, the set value Lx is a distance at which the component placement section 44 hardly affects the measurement of the electrical characteristics of the component s, and is a value obtained in advance through experiments or the like. This state is the measurement state.
The position of the holding table 32 is held by the control of the electromagnetic valve device 69 after the retreat time Ta, which is the _time required for the holding table 32 to retreat by stroke L2, has elapsed since the start of the retreat of the holding table 32. . The backward time Ta is measured by the timer 124 .

Ｓ５において、吸着ノズル１８により部品ｓが開放され、Ｖ溝４４ｃ上に載せられた時から、設定時間である除電時間が経過するのが待たれる。テープフィーダ１４に保持された部品ｓの各々は、テープフィーダ１４の運搬に伴う振動、物との接触等に起因して生じた静電気により帯電した状態にある。この帯電された部品ｓが、導電性を有する材料で製造され、かつ、アースされた部品載置部４４に載置されることにより除電されたり、空気
中への放電により除電されたりする。除電時間は、部品ｓが有していると推定される容量の静電気を除去するのに要する時間であり、予め実験等により求めたり、部品ｓの大きさ、特性等に基づいて理論的に求めたりすること等ができる。部品ｓが部品保持台４４に載せられてからの経過時間が除電時間に達すると、Ｓ５の判定がＹＥＳとなり、Ｓ６において部品ｓの電気的特性が測定される。
そして、電気的特性の測定に要する時間である測定時間が経過すると、Ｓ７が実行されるのであるが、測定時間は部品ｓの種類等によって決まる時間としても、一定の時間としてもよい。いずれにしても予め取得されて記憶されている。 In S5, the component s is released by the suction nozzle 18 and placed on the V-groove 44c. Each of the components s held by the tape feeder 14 is in a charged state due to static electricity generated due to vibrations accompanying transportation of the tape feeder 14, contact with objects, and the like. The electrified component s is neutralized by being placed on a grounded component placement section 44 made of a conductive material, or by being discharged into the air. The static elimination time is the time required to remove the static electricity of the capacity estimated to be possessed by the component s. You can do things such as When the elapsed time after the component s is placed on the component holding base 44 reaches the static elimination time, the determination in S5 becomes YES, and the electrical characteristics of the component s are measured in S6.
Then, when the measurement time, which is the time required for measuring the electrical characteristics, elapses, S7 is executed. In any case, it is acquired and stored in advance.

測定時間が経過し、部品ｓの電気的特性の測定が終了すると、Ｓ７において、電磁弁装置７２の制御により可動子３６が後退させられる。後退端に達すると、可動子位置センサ１１８がＯＮとなる。Ｓ８において、電磁弁装置６９の制御により、保持台３２が後退させられる｛図９(d)｝。保持台３２が測定状態から後退端位置にある可動子３６のストッパ８２に当接するまでのストロークはＬ₁である。そのため、保持台３２がストロークＬ₁後退するのに要する時間である後退時間Tbが経過した後に、ストッパ８２に当接したとわかる。図９(d)に示すように、保持台３２は、可動子３６の対向面３６ｆより後方に位置し、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に存在しない。この状態が廃棄状態である。
保持台３２がストッパ８２に当接するまで後退させられると、Ｓ９において、電磁弁装置６９の制御により、エアシリンダ６４においてエア室６４ｂがエア源６８に連通させられ、エア室６４ａがエア通路６０に連通させられる。保持台３２が前進させられ、ストッパ８０に当たると保持台位置センサ１２０がＯＮとなる。保持台３２は、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間に位置し（Ｖ溝４４が対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に位置し）、Ｖ溝４４ｃの上方が空間とされている。そのため、部品ｓが載置可能とされる。この状態が初期状態である。 When the measurement time has elapsed and the measurement of the electrical characteristics of the part s is completed, the electromagnetic valve device 72 is controlled to retract the mover 36 in S7. When the retraction end is reached, the mover position sensor 118 is turned ON. In S8, the holding base 32 is retreated by controlling the electromagnetic valve device 69 {Fig. 9(d)}. _The stroke of the holding table 32 from the measurement state to the contact with the stopper 82 of the mover 36 at the retracted end position is L1. Therefore, it can be seen that the holding base 32 abuts _on the stopper 82 after the retreat time Tb, which is the time required for the holder 32 to retreat by stroke L1, has elapsed. As shown in FIG. 9(d), the holding table 32 is located behind the facing surface 36f of the mover 36 and does not exist below between the pair of facing surfaces 34f and 36f. This state is the discard state.
When the holding base 32 is retracted until it abuts against the stopper 82, the air chamber 64b of the air cylinder 64 is communicated with the air source 68 by the control of the solenoid valve device 69 in S9, and the air chamber 64a is connected to the air passage 60. be communicated. When the holding table 32 is moved forward and hits the stopper 80, the holding table position sensor 120 is turned ON. The holding base 32 is positioned between the pair of facing surfaces 34f and 36f (the V-groove 44 is positioned below between the facing surfaces 34f and 36f), and a space is provided above the V-groove 44c. Therefore, the component s can be placed. This state is the initial state.

可動子３６の対向面３６ｆが固定子３４の対向面３４ｆから離間することにより、これらの間に把持されていた部品ｓが開放される。また、可動子３６の後退時には、エアシリンダ７０のエア室７０ａがエア通路６０に連通させられ、カバー用板部５２，５４は、それぞれ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間のｘ方向の両側に位置する。さらに、保持台３２が可動子３６の対向面３６ｆの後方に移動させられることにより、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に存在しなくなり、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間は、開口２９ａ、３０ａ、廃棄通路２８に連通させられる。
可動子３６の後退に伴って、エア室７０ａから流出させられたエアが開口６０ａから可動子３６の対向面３６ｆに斜め上方から供給されるが、エアが供給される空間、換言すれば、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間が、カバー部５０によってｘ方向から覆われる。エアは、主として対向面３６ｆに当たった後、対向面３６ｆに沿って下方へ流れる。そのため、仮に、対向面３６ｆから部品ｓが落下せず、部分Ｒに付着していても、それを良好に落下させることができる。また、エアは、カバー部５０の内部を渦状に流れるため、仮に、固定子３４の対向面３４ｆに部品ｓが付着していたとしても落下させることができる。さらに、対向面３４ｆ、３６ｆから落下して保持台３２の上に載った部品ｓもエアにより落下させ得るが、仮に、Ｖ溝４４上に部品ｓが載って、エアにより落下しなかった場合であっても、保持台３２の後退に伴う可動子３６の対向面３６ｆの前進により確実に落下させることができる。このように、本実施例において、廃棄状態は、部品ｓが良好に落下させられた状態と考えることができる。
なお、一対の対向面３４ｆ、３６ｆから落下した部品ｓは、開口２９ａ、３０ａ、廃棄通路２８を経て良好にごみ箱２６へ収容される。 By separating the facing surface 36f of the mover 36 from the facing surface 34f of the stator 34, the part s gripped therebetween is released. Further, when the movable element 36 is retracted, the air chamber 70a of the air cylinder 70 is communicated with the air passage 60, and the cover plate portions 52 and 54 respectively move the space between the pair of facing surfaces 34f and 36f in the x direction. located on both sides of the Further, when the holding table 32 is moved to the rear of the facing surface 36f of the mover 36, it no longer exists below between the pair of facing surfaces 34f and 36f, and an opening is formed between the pair of facing surfaces 34f and 36f. 29a, 30a are communicated with the waste passage 28;
As the mover 36 retreats, the air flowed out from the air chamber 70a is supplied from the opening 60a to the opposing surface 36f of the mover 36 from obliquely above. The space between the opposing surfaces 34f and 36f of is covered with the cover portion 50 from the x direction. Air mainly hits the facing surface 36f and then flows downward along the facing surface 36f. Therefore, even if the component s does not drop from the facing surface 36f and adheres to the portion R, it can be dropped satisfactorily. Further, since the air flows in a vortex inside the cover portion 50, even if the part s adheres to the facing surface 34f of the stator 34, it can be dropped. Furthermore, the part s dropped from the opposing surfaces 34f and 36f and placed on the holding table 32 can also be dropped by the air. Even if there is, it can be reliably dropped by advancing the facing surface 36f of the mover 36 as the holding table 32 retreats. Thus, in this embodiment, the discarded state can be considered as a state in which the part s has been successfully dropped.
The parts s dropped from the pair of facing surfaces 34f and 36f pass through the openings 29a and 30a and the disposal passage 28 and are properly stored in the trash can 26. As shown in FIG.

また、カバー部５０を設けることにより、落下した部品ｓが飛び散らないようにすることもできる。カバー用板部５２の側板部５２ｃ、カバー用板部５４の下端部は本体２９の開口２９ａの近傍まで伸びているため、部品ｓを良好に開口２９ａから廃棄通路２８を経てごみ箱２６へ収容させることができる。一方、イオン化されたエアが供給される場合には可動子３６、固定子３４の対向面３６ｆ、３４ｆを電気的に中和させることが可能となり、次の部品ｓの電気的特性の測定精度を向上させることができる。
さらに、エアシリンダ６４において、保持台３２の前進時（Ｓ９）にエア室６４ａがエア噴出通路６０ｓに連通させられる。廃棄状態から初期状態へ移行する場合にも、可動子３６の対向面３６ｆにエアを供給することができるのであり、可動子３６の対向面３６ｆの除電を良好に行うことが可能となる。 Also, by providing the cover portion 50, it is possible to prevent the dropped parts s from scattering. Since the side plate portion 52c of the cover plate portion 52 and the lower end portion of the cover plate portion 54 extend to the vicinity of the opening 29a of the main body 29, the parts s are favorably stored in the trash can 26 from the opening 29a through the disposal passage 28. be able to. On the other hand, when ionized air is supplied, it becomes possible to electrically neutralize the opposed surfaces 36f and 34f of the mover 36 and the stator 34, thereby improving the measurement accuracy of the electrical characteristics of the next component s. can be improved.
Further, in the air cylinder 64, the air chamber 64a is communicated with the air ejection passage 60s when the holding base 32 is advanced (S9). Air can be supplied to the opposing surface 36f of the mover 36 even when the discarded state is shifted to the initial state, so that the opposing surface 36f of the mover 36 can be destaticized satisfactorily.

一方、測定された電気的特性とJOB情報に含まれる電気的特性とが比較され、当該部品ｓが、これから行われる作業（JOB）に用いられるべきものであるかどうかが判定され、その判定結果がディスプレイ１１６に表示される。
Ｓ２１において、当該部品ｓの電気的特性の測定値が取得され、Ｓ２２において、次のJOBのJOB情報から対応する情報が読み込まれる。Ｓ２３において、これらが比較され、一致するかどうかが判定される。一致する場合であっても不一致の場合であっても、判定結果はディスプレイ１１６に表示される。仮に、不一致の場合には、適切なテープフィーダと交換される等の作業が行われる。 On the other hand, the measured electrical characteristics are compared with the electrical characteristics included in the JOB information, and it is determined whether or not the part s is to be used in the work (JOB) to be performed from now on. is displayed on display 116 .
At S21, the measured value of the electrical characteristics of the part s is obtained, and at S22, the corresponding information is read from the JOB information of the next JOB. At S23, they are compared to determine if they match. The determination result is displayed on the display 116 regardless of whether they match or disagree. If there is a discrepancy, work such as replacement with a suitable tape feeder is performed.

以上のように、本実施例においては、部品載置部４４が導電性を有する材料で製造されるとともに接地される。その結果、電気的特性の測定前に部品載置部４４に載せられた部品ｓの除電を良好に行うことができる。一方、部品ｓが帯電していると、部品ｓのインピーダンスを測定することが困難であった。それに対して、本実施例においては、部品ｓの除電が良好に行われるため、部品ｓのインピーダンスを良好に測定することができる。
さらに、可動子３６の後退と並行して部品ｓを廃棄通路２８に落下させることができるのであり、可動子の後退と、部品ｓの送出とを別の工程で行われる場合に比較して、電気的特性の測定に要する時間を短くすることができる。 As described above, in this embodiment, the component mounting portion 44 is made of a conductive material and grounded. As a result, it is possible to satisfactorily remove the static electricity from the component s placed on the component mounting portion 44 before the electrical characteristics are measured. On the other hand, if the component s is charged, it is difficult to measure the impedance of the component s. On the other hand, in the present embodiment, since the component s is satisfactorily discharged, the impedance of the part s can be satisfactorily measured.
Furthermore, the part s can be dropped into the waste passage 28 in parallel with the retraction of the mover 36. Compared to the case where the retraction of the mover and the delivery of the part s are performed in separate processes, The time required for measuring electrical characteristics can be shortened.

以上のように、本実施例においては、コントローラ１０２のLCR測定プログラムのＳ４，７，８を記憶する部分、実行する部分、タイマ１２４、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０等により移動制御装置、相対移動制御装置が構成される。また、そのうちの、Ｓ４を記憶する部分、実行する部分等により測定時制御部が構成され、Ｓ８を記憶する部分、実行する部分等により廃棄時制御部が構成され、Ｓ９を記憶する部分、実行する部分等により準備時制御部が構成される。移動制御装置は、保持台移動制御装置、相対移動制御部でもある。
また、エアシリンダ７０が可動子用シリンダに対応し、エアシリンダ６４が保持台用シリンダに対応する。エア供給装置７３は、可動子供給部、駆動源連動型供給部でもある。さらに、一対の測定子３７、LCR検出部４２を含む電気回路５８、コントローラ１０２のＳ６を記憶する部分、実行する部分等により電気的特性取得装置が構成される。
さらに、Ｓ３がクランプ工程に対応し、Ｓ４、６が測定工程に対応し、Ｓ７，８が廃棄工程に対応し、Ｓ９が準備工程に対応する。 As described above, in the present embodiment, movement control is performed by the portion for storing and executing S4, 7, and 8 of the LCR measurement program of the controller 102, the timer 124, the mover position sensor 118, the cradle position sensor 120, and the like. A device, a relative movement controller, is constructed. Of these, the part for storing S4 and the part for executing S4 constitute a control section for measurement, the part for storing S8 and the part for executing S8 constitute a control section for disposal, and the part for storing and executing S9 constitutes a control section for disposal. A preparation time control unit is configured by the part that performs the processing. The movement control device is also a holding table movement control device and a relative movement control section.
Further, the air cylinder 70 corresponds to the mover cylinder, and the air cylinder 64 corresponds to the support cylinder. The air supply device 73 is also a mover supply unit and a drive source interlocking supply unit. Furthermore, an electrical characteristic acquisition device is configured by a pair of probes 37, an electric circuit 58 including the LCR detection unit 42, a portion for storing S6 of the controller 102, a portion for executing S6, and the like.
Further, S3 corresponds to the clamping step, S4 and 6 correspond to the measuring steps, S7 and 8 correspond to the disposal step, and S9 corresponds to the preparation step.

なお、一対の測定子の両方を移動可能とし、保持台を本体に固定とすることもできる。その場合であっても、保持台上に載せられた部品ｓを一対の測定子が把持し、一対の測定子が移動させられることにより、部品ｓから保持台を設定値以上離間させることができる。
また、保持台は、上下方向へ移動可能とすることもできる。その場合であっても、部品ｓが一対の測定子によってクランプされた状態で、保持台を部品ｓから設定値以上離間させることができる。
さらに、エア噴出通路を検査装置２２の本体２９の側部に、概してｘ方向に開く開口を有する状態で設けることもできる。換言すれば、カバー用板部５２，５４のいずれか一方をなくし（例えば、カバー用板部５４をなくし）、そのなくした側に、ｘ方向に開口を有するエア噴出通路を設けることができる。その結果、エアは、対向面３４ｆ、３６ｆ（ｘｚ方向に伸びた面）に沿って、カバー用板部５２に向かって供給されることになり、それにより、一対の対向面３４ｆ、３６ｆに付着した部品ｓを落とすことが可能となる。
また、部品ｓの電気的特性の測定後に、保持台３２を可動子３６の後退に伴って後退させる（例えば、同時に後退させる）ことも可能である。この保持台３２および可動子３６が後退させられる状態を廃棄状態とすることもできる。
さらに、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０は不可欠ではない。例えば、タイマ１２４による計測により電磁弁装置６９，７２を制御することもできる。また、エア供給装置も不可欠ではない等、本発明は、前記実施形態に記載の態様の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。 It is also possible to make both the pair of probes movable and to fix the holding base to the main body. Even in such a case, the pair of probes grip the part s placed on the holding table, and the pair of probes are moved, so that the holding table can be separated from the part s by the set value or more. .
Also, the holding base can be vertically movable. Even in that case, the holding table can be separated from the part s by the set value or more while the part s is clamped by the pair of probes.
Additionally, an air jet passageway may be provided in the side of the body 29 of the inspection device 22 with an opening that opens generally in the x-direction. In other words, one of the cover plate portions 52 and 54 can be eliminated (for example, the cover plate portion 54 is eliminated), and an air ejection passage having an opening in the x direction can be provided on the missing side. As a result, the air is supplied toward the cover plate portion 52 along the facing surfaces 34f and 36f (surfaces extending in the xz direction), thereby adhering to the pair of facing surfaces 34f and 36f. It is possible to drop the part s that has been dropped.
In addition, after measuring the electrical characteristics of the component s, it is also possible to retract the holding base 32 along with the retraction of the mover 36 (for example, simultaneously retract it). The state in which the holding base 32 and the mover 36 are retracted can also be regarded as a discarded state.
Furthermore, the mover position sensor 118 and the cradle position sensor 120 are not indispensable. For example, the solenoid valve devices 69 and 72 can also be controlled by measurement by the timer 124 . In addition, the present invention can be practiced in various modified and improved forms based on the knowledge of those skilled in the art, in addition to the aspects described in the above embodiments, such as the air supply device being not indispensable.

２２：検査装置２６：ごみ箱２８：廃棄通路２９：本体２９ａ：開口３０：
ベース部３０ａ：開口３１：締結部３２：保持台３４：固定子３６：可動子
３４ｆ，３６ｆ：対向面４０：保持台移動装置４１：可動子移動装置４２：ＬＣＲ検出部４４：部品載置部４４ｃ：Ｖ溝５０：カバー部７２：エア供給装置１００：制御装置１１８：可動子位置センサ１１８：保持台位置センサ１２４：タイマ 22: Inspection device 26: Recycle bin 28: Waste passage 29: Main body 29a: Opening 30:
Base portion 30a: Opening 31: Fastening portion 32: Holding base 34: Stator 36: Mover
34f, 36f: facing surface 40: holding table moving device 41: mover moving device 42: LCR detection unit 44: component placement unit 44c: V groove 50: cover unit 72: air supply device 100: control device 118: mover Position sensor 118: platform position sensor 124: timer

Patentable Inventions

（１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされるとともに、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子と、
前記保持台を移動させる保持台移動装置と、
その保持台移動装置を制御する保持台移動制御装置とを含み、かつ、前記保持台移動制御装置が、前記一対の測定子が前記保持台に保持された前記部品を把持するクランプ状態から、前記保持台を前記部品から設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定可能な測定状態とする測定時制御部を含むことを特徴とする検査装置。
保持台は、一対の測定子の接近・離間方向と平行な方向に移動可能としても、交差する方向に移動可能としてもよい。設定値は、例えば、保持台が導電性を有するものである場合において、保持台の影響が部品の電気的特性の測定に及び難い距離とすることができる。
（２）前記保持台を、導電性を有するものとした(1)項に記載の検査装置。
（３）前記一対の測定子が、互いに対向し、前記部品に接触可能な一対の対向面を含み、それら一対の対向面が互いに接近させられることにより前記部品を保持し、互いに離間させられることにより前記部品を放すものであり、
前記保持台移動装置が、前記測定状態から、前記保持台を移動させることにより、前記
互いに離間させられた一対の対向面の間の下方に前記保持台が存在しない廃棄状態とする廃棄時制御部を含む(1)項または(2)項に記載の検査装置。
（４）前記保持台移動制御装置が、前記廃棄状態から、前記互いに離間させられた一対の対向面の間の下方へ前記保持台を移動させて、前記保持台が前記部品を保持可能な初期状態とする準備時制御部を含む(3)項に記載の検査装置。
（５）前記装着機が、前記検査装置に接続された廃棄通路を含み、当該検査装置の本体が、前記廃棄通路に連通可能な開口を有する(1)項ないし(4)項のいずれか１つに記載の検査装置。
開口の位置、大きさは、少なくとも、廃棄状態において一対の対向面の間の下方に開口状態にあるように決めることができる。
（６）当該検査装置が、前記一対の測定子の間に電流を供給するとともに前記一対の測定子の間に流れる電流を検出して、前記部品の前記電気的特性を取得する電気的特性取得装置を含み、その電気的特性取得装置が、前記保持台に前記部品が載置させられた時点から設定時間以上が経過した場合に、前記部品の前記電気的特性の測定を開始する遅延型測定部を含む(1)項ないし(5)項のいずれか１つに記載の検査装置。
設定時間は、例えば、部品の除電に要する時間である除電時間とすることができる。除電時間は、部品によって決まる時間であっても、部品に関係なく予め定められた時間であってもよい。
なお、保持台に部品が載置させられている時間を除電時間とすることもできる。
（７）前記一対の測定子が、本体に固定の固定子と、前記固定子に対して相対移動可能な可動子とを含み、
当該検査装置が、前記可動子を前記固定子に対して移動させる可動子移動装置と、その可動子移動装置を制御することにより前記一対の測定子を互いに接近・離間させる可動子移動制御部とを含む(1)項ないし(6)項のいずれか１つに記載の検査装置。
（８）当該検査装置が、前記可動子と前記保持台とを互いに相対移動可能に連結する連結機構を含む(7)項に記載の検査装置。
例えば、可動子は、その可動子の移動方向と平行に伸びた長手形状を成すものとすることができる。また、保持台は、可動子の先端の前方に位置する場合、後方に位置する場合がある。
（９）前記保持台が、横断面がＶ字状を成す溝であるＶ溝を有し、前記一対の測定子の少なくとも一方の先端部の横断面が前記Ｖ溝に対応する三角形状を成す(1)項ないし(8)項のいずれか１つに記載の検査装置。 (1) An inspection device included in a mounting machine that picks up a component supplied by a component supply device and mounts it on a circuit board,
a holding base capable of holding a component;
a pair of probes that can approach and separate from each other and can measure the electrical characteristics of the component with the component sandwiched therebetween;
a holding table moving device for moving the holding table;
and a holding table movement control device for controlling the holding table moving device, wherein the holding table movement control device moves from a clamping state in which the pair of probes grip the component held by the holding table to the 1. An inspection apparatus, comprising: a measurement control unit that separates a holding table from said part by a set value or more to bring said part into a measurement state in which electrical characteristics of said part can be measured.
The holding base may be movable in a direction parallel to the approach/separation direction of the pair of probes, or may be movable in a direction intersecting the direction. For example, when the holding table is conductive, the set value can be set to a distance at which the measurement of the electrical characteristics of the component is difficult to be affected by the holding table.
(2) The inspection apparatus according to item (1), wherein the holding table is conductive.
(3) The pair of probes includes a pair of opposing surfaces that face each other and can come into contact with the component, and the pair of opposing surfaces are brought closer to each other to hold the component and separate them from each other. releasing said part by
The holding table moving device moves the holding table from the measurement state to bring the holding table into a discarded state in which the holding table does not exist below between the pair of opposed surfaces separated from each other. The inspection device according to (1) or (2), including
(4) The holding table movement control device moves the holding table downward between the pair of opposing surfaces that are separated from each other from the discarding state so that the holding table can hold the part. The inspection device according to item (3), including a preparatory control unit for setting the state.
(5) Any one of items (1) to (4), wherein the placement machine includes a disposal passage connected to the inspection device, and the main body of the inspection device has an opening that communicates with the disposal passage. The inspection device according to 1.
The position and size of the opening can be determined so as to open downward between the pair of opposing surfaces at least in the discarded state.
(6) The inspection device supplies a current between the pair of probes and detects the current flowing between the pair of probes to acquire the electrical properties of the component. delay-type measurement including a device, wherein the electrical characteristic acquisition device starts measuring the electrical characteristics of the component when a set time or more has elapsed since the component was placed on the holding table. The inspection device according to any one of items (1) to (5) including the part.
The set time can be, for example, the static elimination time that is the time required for static elimination of the component. The static elimination time may be a time determined depending on the component, or a predetermined time regardless of the component.
It should be noted that the time during which the component is placed on the holding table can also be used as the static elimination time.
(7) the pair of probes includes a stator fixed to the main body and a mover movable relative to the stator;
The inspection apparatus includes a mover moving device that moves the mover with respect to the stator, and a mover movement control unit that controls the mover moving device to move the pair of probes closer to each other and away from each other. The inspection device according to any one of items (1) to (6) including.
(8) The inspection apparatus according to item (7), which includes a coupling mechanism that couples the mover and the holding base so as to be relatively movable.
For example, the mover can have a longitudinal shape extending parallel to the moving direction of the mover. Moreover, the holding base may be positioned in front of or behind the tip of the mover.
(9) The holding table has a V-groove, which is a groove having a V-shaped cross section, and the cross section of at least one tip of the pair of probes has a triangular shape corresponding to the V-groove. The inspection device according to any one of items (1) to (8).

（１０）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一
対の測定子と、
前記一対の測定子と前記保持台とを互いに相対移動させる相対移動装置と、
その相対移動装置を制御する相対移動制御装置とを含み、かつ、前記相対移動制御装置が、前記一対の測定子が前記保持台に保持された前記部品を把持するクランプ状態から、前記部品と前記保持台とを設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定可能な測定状態とする測定時制御部を含むことを特徴とする検査装置。
本項に記載の検査装置には、(1)項ないし(9)項のいずれかに記載の技術的特徴を採用することができる。
相対移動装置は、(a)保持台を固定、一対の測定子を移動させる装置としたり、(b)一対の測定子のうちの一方を固定、一対の測定子の他方と保持台とを移動させる装置としたりすること等ができる。(a)の場合として、例えば、保持台に保持された部品が一対の測定子によってクランプされた状態で、一対の測定子が保持台に対して相対移動させられ、部品と保持台とが設定値以上離間させられる場合が該当する。 (10) An inspection device included in a mounting machine that picks up a component supplied by a component supply device and mounts it on a circuit board,
a holding base capable of holding a component;
a pair of probes that can approach and separate from each other and can measure the electrical characteristics of the component with the component sandwiched therebetween;
a relative movement device for relatively moving the pair of probes and the holding base;
a relative movement control device for controlling the relative movement device, wherein the relative movement control device moves the part and the An inspection apparatus, comprising: a control section during measurement for setting the electrical characteristics of the component to a measurement state in which the electrical characteristics of the component can be measured by separating the component from the holding table by a set value or more.
The inspection device described in this section can adopt the technical features described in any one of items (1) to (9).
The relative movement device is a device that (a) fixes the pedestal and moves a pair of probes, or (b) fixes one of the pair of probes and moves the other of the pair of probes and the pedestal. It can be used as a device that allows In the case of (a), for example, the part held by the holding table is clamped by the pair of probes, and the pair of probes are moved relative to the holding table to set the part and the holding table. This applies to the case where they are spaced apart by more than the value.

（１１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に設けられ、(i)部品を保持可能な保持台と、(ii)互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子とを含む検査装置において前記部品の電気的特性に関する検査を行う検査方法であって、
前記保持台に保持された部品を、一対の測定子が把持するクランプ工程と、
前記一対の測定子によって把持された前記部品から前記保持台を設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定する測定工程とを含むことを特徴とする検査方法。
本項に記載の検査方法は、(1)項ないし(10)項のいずれかに記載の検査装置において実行され得る。
（１２）前記測定工程の実行後に、前記一対の測定子を互いに離間させ、前記保持台を前記一対の測定子の互いに対向する対向面の間の下方領域から退避させる廃棄工程と、
前記保持台を、前記一対の測定子の互いに対向する対向面の間の下方へ侵入させて、前記部品を保持可能な初期状態とする準備工程とを含む(11)項に記載の検査方法。
廃棄工程において、一対の測定子の離間と保持台の退避とを順番に行っても、並行しておこなってもよい。 (11) a mounting machine that picks up components supplied by a component supply device and mounts them on a circuit board, and is provided with (i) a holding table capable of holding the component, and (ii) capable of approaching and separating from each other, An inspection method for inspecting the electrical characteristics of the component in an inspection device including a pair of probes that sandwich the component and are capable of measuring the electrical characteristics of the component,
a clamping step in which a pair of probes grips the component held on the holding table;
and a measuring step of measuring the electrical characteristics of the component by separating the holding table from the component gripped by the pair of probes by a set value or more.
The inspection method described in this section can be executed in the inspection apparatus described in any one of items (1) to (10).
(12) after the measurement step is performed, the pair of probes are separated from each other, and the holding table is retracted from the lower region between the facing surfaces of the pair of probes;
The inspection method according to item (11), further comprising a preparation step of inserting the holding table downward between the opposing surfaces of the pair of probes to bring the component into an initial state in which it can be held.
In the disposal process, the separation of the pair of probes and the retraction of the holding base may be performed in order or in parallel.

（１３）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
導電性を有し、部品を保持する保持台と、
前記保持台に保持された前記部品を把持するとともに、前記部品が前記保持台から離間した状態で前記部品の電気的特性を取得する電気的特性取得装置とを含むことを特徴とする検査装置。
本項に記載の検査装置は、(1)項ないし(12)項のいずれか１つに記載の技術的特徴を採用することができる。 (13) An inspection device included in a mounting machine that picks up a component supplied by a component supply device and mounts it on a circuit board,
a conductive holding base that holds the component;
an electrical characteristic acquiring device that grips the component held by the holding base and acquires electrical characteristics of the component while the component is separated from the holding base.
The inspection apparatus described in this section can employ the technical features described in any one of items (1) to (12).

（１４）前記一対の測定子が、互いに接近させられることにより、一対の対向面が前記部品を挟んで、その部品の電気的特性を測定し、互いに離間させられることにより、前記一
対の対向面から前記部品を放すものであり、
当該検査装置が、それら一対の測定子が離間させられる場合に、前記一対の対向面のうちの少なくとも一方である供給対象面に、エアを供給するエア供給装置を含む(1)項ないし(13)項のいずれか１つに記載の検査装置。
一対の測定子が離間させられる場合とは、互いに離間している間、離間している間の一
部または全行程、離間開始時、離間終了時等が該当する。
（１５）前記エア供給装置が、前記エアをイオン化するイオナイザを含み、前記イオン化されたエアを前記供給対象面に供給する(14)項に記載の検査装置。
（１６）前記エア供給装置が、前記供給対象面に対向する開口を有するエア通路を含む(14)項または(15)項に記載の検査装置。
供給対象面が一対の対向面の一方である場合には、その一方の供給対象面に対向する開口が１つ設けられ、供給対象面が一対の対向面の両方である場合には、それぞれに対向して開口が２つ設けられる。
（１７）前記エア通路が、前記供給対象面に近づくにつれて下方へ行く向きに傾斜したエア噴出通路を含む(16)項に記載の検査装置。
（１８）前記エア噴出通路の傾斜角度が、前記エアが前記供給対象面の前記部品を把持する部分の上方に当たる角度とされた(17)項に記載の検査装置。
（１９）前記一対の測定子が、本体に固定の固定子と、その固定子に接近・離間可能な可動子とを含み、
前記エア供給装置が、前記可動子が前記固定子から離間させられる場合に、前記供給対象面である前記可動子の対向面に前記エアを供給する可動子供給部を含む(14)項ないし(1
8)項のいずれか１つに記載の検査装置。（２０）当該検査装置が、可動子用シリンダを備え、その可動子用シリンダの作動により前記可動子を前記固定子に対して接近・離間させる可動子移動装置を含み、
前記エア供給装置が、前記可動子の前記固定子からの離間に伴って前記可動子用シリンダから流出させられるエアを前記可動子の対向面に供給する駆動源連動型供給部を含む(1
9)項に記載の検査装置。（２１）当該検査装置が、前記一対の対向面が離間した状態で、これらの間を覆うカバー部を含む(1)項ないし(20)項のいずれか１つに記載の検査装置。
カバー部は、一対の対向面の間の大部分を覆うものであり、一対の対向面の間の全体を覆うものとする必要は必ずしもなく、多少の隙間がある状態で覆うものであってもよい。
一対の対向面が互いに離間させられる場合の少なくとも一時期に一対の対向面の間の全体を両側から覆うものとすることが望ましい。（２２）前記カバー部が、前記保持台に取り付けられ、前記保持台が後退端位置にある状態で、前記一対の対向面の間の大部分を側から覆うものである(21)項に記載の検査装置。 (14) By bringing the pair of probes close to each other, the pair of opposing surfaces sandwiches the component to measure the electrical characteristics of the component, and by separating them from each other, the pair of opposing surfaces releasing said part from
Items (1) to (13), wherein the inspection device includes an air supply device that supplies air to at least one of the pair of opposing surfaces to be supplied, when the pair of probes are separated from each other ) inspection equipment according to any one of paragraphs
The case where the pair of probes are separated corresponds to the time when they are separated from each other, the part or the entire stroke of the separation, the start of separation, the end of separation, and the like.
(15) The inspection apparatus according to item (14), wherein the air supply device includes an ionizer that ionizes the air, and supplies the ionized air to the supply target surface.
(16) The inspection apparatus according to item (14) or item (15), wherein the air supply device includes an air passage having an opening facing the surface to be supplied.
When the supply target surface is one of a pair of opposing surfaces, one opening is provided facing the one of the supply target surfaces, and when the supply target surface is both of the pair of opposing surfaces, each Two openings are provided facing each other.
(17) The inspection apparatus according to item (16), wherein the air passage includes an air ejection passage inclined downward as it approaches the supply target surface.
(18) The inspection apparatus according to item (17), wherein the inclination angle of the air ejection passage is such that the air hits above the portion of the supply target surface where the component is gripped.
(19) the pair of probes includes a stator fixed to the main body and a mover capable of approaching and separating from the stator;
Item (14) to ( 1
8) Inspection equipment according to any one of paragraphs. (20) The inspection device includes a mover moving device that includes a mover cylinder and moves the mover toward or away from the stator by operating the mover cylinder,
The air supply device includes a drive source interlocking supply unit that supplies air, which flows out from the cylinder for the mover as the mover separates from the stator, to the opposing surface of the mover (1
9) Inspection equipment described in item. (21) The inspection apparatus according to any one of items (1) to (20), including a cover portion that covers between the pair of opposing surfaces in a state that they are separated from each other.
The cover part covers most of the space between the pair of opposing surfaces, and does not necessarily cover the entire space between the pair of opposing surfaces. good.
It is desirable to cover the entire area between the pair of opposing surfaces from both sides at least for a period of time when the pair of opposing surfaces are separated from each other. (22) As described in item (21), the cover part is attached to the holding base and covers most of the space between the pair of facing surfaces from the sides when the holding base is in the retracted end position. inspection equipment.

Claims

An inspection device that is provided in a mounting machine that picks up a component supplied by a component supply device and mounts it on a circuit board, and measures the electrical characteristics of the component,
a pair of opposing surfaces brought together to sandwich the component and spaced apart to release the component;
an air supply device that supplies air to the component after the electrical characteristics have been measured;
a cover portion that prevents the parts from scattering due to the supply of air from the air supply device;
The inspection apparatus, wherein the air supply device supplies air along the pair of opposing surfaces toward the cover portion so as to act on at least one of the pair of opposing surfaces.

An inspection device that is provided in a mounting machine that picks up a component supplied by a component supply device and mounts it on a circuit board, and measures the electrical characteristics of the component,
a groove on which a component whose electrical properties are to be measured is placed;
a pair of opposing surfaces, at least one of which is movable in the direction in which the groove extends, and which are brought closer together to sandwich the component and separated from each other to release the component;
an air supply device that supplies air to the component after the electrical characteristics have been measured with the pair of opposing surfaces separated from the groove;
and a cover part for preventing the parts from scattering due to the supply of air from the air supply device.

The air supply device supplies air in one direction,
3. The inspection apparatus according to claim 2, wherein the cover portion extends in a vertical plane parallel to the one direction.

4. The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the cover portion covers the space between the pair of opposing surfaces while the surfaces are separated from each other.