JP7140430B2 - 光照射装置、およびこれを備える露光装置 - Google Patents
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複数のLEDを有する光源と、
前記光源からの光を受け、透過させた前記光をワークに照射する偏光素子と、
前記光源から放射された光のうち所定の波長以上の光を選択的に透過する光学フィルターとを備えており、
前記各LEDの光軸は、前記ワークに対して傾いた第1の角度を有しており、
前記各LEDから放射される前記光の配光角の半分である第2の角度は、前記第1の角度よりも小さくなっており、
前記光学フィルターは、前記ワークに対して平行となるように配置されており、
前記光学フィルターは、前記光学フィルターに対する所定の波長以上の前記光の入射角が大きくなるに連れて、所定の波長以上の前記光の透過率を高めるようになっていることを特徴とする
光照射装置が提供される。
前記光照射装置は、前記光源と前記偏光素子との間において前記ワークと平行に配設されている透光板をさらに備えている。
上述した光照射装置を備える露光装置が提供される。
本発明が適用された第1実施形態に係る光照射装置10について以下に説明する。光照射装置10は、主に液晶パネルを製造する際の露光の為に露光装置に組み込まれて用いられる。この光照射装置10は、図1に示すように、大略、光源12と、偏光素子14とを備えている。
第1実施形態に係る光照射装置10によれば、複数のLED16の光軸CLをワークXに対して第1の角度θ1だけ傾け、各LED16から放射される光Lの配向角の半分に相当する第2の角度θ2をこの第1の角度θ1よりも小さく設定することにより、各LED16から放射された光LのすべてがLED16からワークXに向かう垂線よりもLED16の光軸CL側に向かうようになる。
第2実施形態に係る光照射装置10は、図2に示すように、上述した第1実施形態に係る光照射装置10に透光板20が加えられたものである。
第2実施形態に係る光照射装置10によれば、光源12から放射された光Lのうち透光板20に対する入射角θ3が大きい光Lは当該透光板20の表面で反射するので偏光素子14やワークXには届かなくなる。
第3実施形態に係る光照射装置10は、図3に示すように、大略、光源12と、偏光素子14と、光学フィルター30とを備えている。
第3実施形態に係る光照射装置10によれば、光源12から放射される光Lのうち光学フィルター30への入射角θ1が小さい光L(光学フィルター30に対して略垂直に入射する光)は当該光学フィルター30を透過し難くなり、ワークXに対する所望の入射角θ1に近い光Lを中心として露光を行うことができるので、より安定したプレチルト角を得ることができる。
第4実施形態に係る光照射装置10は、図5に示すように、大略、光源12と、偏光素子14と、カバー部材40とを備えている。
第4実施形態に係る光照射装置10によれば、偏光素子14におけるワイヤーグリッドの形成面18に対向する位置にカバー部材40が配設されているので、例えば光照射装置10のメンテナンス等の際に誤ってワイヤーグリッドの形成面18を損傷させるのを回避できるとともに、ワイヤーグリッドの形成面18にシロキサン化合物等の微小固形物による汚れが付着するのを回避できる。
上述した第1から第4実施例に係る光照射装置10の構成は、互いに組み合わせることができる。例えば、第3実施例の光学フィルター30と第4実施例のカバー部材40とを組み合わせることにより、図6に示すように、光源12に近い側から順に、光学フィルター30、偏光素子14、カバー部材40が配置された光照射装置10を形成できる。
また、上述した第1から第4実施例に係る光照射装置10で使用されている光源12に対し、図8に示すように、LED16からの光Lの配光角を制御するためのレンズ50をさらに設けてもよい。このレンズ50の数は、図示するように1つであってもよいし、2つ以上であってもよい。
20…透光板
30…光学フィルター
40…カバー部材、42…保持枠
50…レンズ、52…リフレクター
X…ワーク(露光対象物)、A…露光面、L…露光用光、CL…(LED16の)光軸、θ1…第1の角度、θ2…第2の角度、θ3…(透光板20への)入射角、S…(カバー部材40とワイヤーグリッドの形成面18との間の)空間
Claims (3)
- 複数のLEDを有する光源と、
前記光源からの光を受け、透過させた前記光をワークに照射する偏光素子と、
前記光源から放射された光のうち所定の波長以上の光を選択的に透過する光学フィルターとを備えており、
前記各LEDの光軸は、前記ワークに対して傾いた第1の角度を有しており、
前記各LEDから放射される前記光の配光角の半分である第2の角度は、前記第1の角度よりも小さくなっており、
前記光学フィルターは、前記ワークに対して平行となるように配置されており、
前記光学フィルターは、前記光学フィルターに対する所定の波長以上の前記光の入射角が大きくなるに連れて、所定の波長以上の前記光の透過率を高めるようになっていることを特徴とする
光照射装置。 - 前記光源と前記偏光素子との間において前記ワークと平行に配設されている透光板をさらに備えている
請求項1に記載の光照射装置。 - 請求項1または2に記載の光照射装置を備える露光装置。
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Citations (5)
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JP2001512850A (ja) | 1997-08-05 | 2001-08-28 | エルシコン・インコーポレーテッド | 液晶を整合するための露光システム及び方法 |
JP2005010408A (ja) | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Sony Corp | 光配向処理方法および液晶表示装置の製造方法 |
JP2006323060A (ja) | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Ushio Inc | 偏光光照射装置 |
JP2016153920A (ja) | 2016-05-19 | 2016-08-25 | ウシオ電機株式会社 | 偏光光照射装置 |
CN209014871U (zh) | 2018-07-16 | 2019-06-21 | 香港科技大学 | 用于光取向的曝光头和曝光系统 |
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- 2021-11-26 JP JP2021191850A patent/JP7140430B2/ja active Active
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