JP7136345B2 - エッジ抽出方法およびエッジ抽出装置 - Google Patents
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Description
本発明は、エッジ抽出方法およびエッジ抽出装置に関し、特に電磁波を用いたエッジ抽出方法およびエッジ抽出装置に関する。
電磁波、特にテラヘルツ波(THz)と呼ばれる周波数0.1~10THz付近の電磁波を用いたイメージングは、高い空間分解能と透過性を併せ持つことから、異物検査やセキュリティシステムなどの非破壊検査への応用が期待されている。非破壊検査においては、対象物あるいは対象物の内部にある内容物(以下、単に「対象物」という。)の形を識別することが重要である。対象物の形を識別するには、その対象物の輪郭(エッジ)の情報が必要である。
従来、テラヘルツ波を用いたイメージングにおいて、対象物のエッジを抽出するために、テラヘルツ波の偏波の回転の情報を用いた方法が提案されている(非特許文献1)。非特許文献1によれば、XYZ直交座標系において、テラヘルツ波の伝搬方向をZ方向としたとき、電界がX方向に変化するX偏波のみを持ったテラヘルツ波を対象物に対して入射して、透過電磁波のY偏波の成分を観測し、X偏波からY偏波に回転したエネルギーの情報から対象物のエッジを抽出する。
Van der Valk, Nick CJ, Willemine AM van der Marel, and Paul CM Planken. "Terahertz polarization imaging. " Optics letters 30.20 (2005): 2802-2804.
しかしながら、対象物のエッジがX偏波面またはY偏波面に対して平行な場合は、そのエッジにおいてX偏波からY偏波への回転またはY偏波からX偏波への回転はほとんど起きない。そのため、X偏波とY偏波との間の回転の情報のみを用いた従来の方法によって、入射するテラヘルツ波のX偏波面やY偏波面に対して平行な板状の物体のエッジを抽出することは困難だった。
そこで、本発明は、入射電磁波の伝搬方向と直交するX偏波面やY偏波面に対して平行な板状の物体のエッジを抽出できるエッジ抽出方法およびエッジ抽出装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明に係るエッジ抽出方法は、伝播方向に垂直な一方向にのみ偏波する電磁波を対象物に向けて出射する工程と、前記対象物を透過した透過電磁波を受信アンテナで受信する工程と、前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の強度から前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する工程と、前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度の空間的な分布を求める工程とを有する。
本発明の一実施の形態に係るエッジ抽出方法として、前記透過電磁波を受信する工程は、前記受信アンテナの偏波面が、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記伝搬方向に対して鋭角をなす第1の状態にある前記受信アンテナで前記透過電磁波を受信する第1工程と、前記受信アンテナの偏波面が、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記第1の状態における受信アンテナの偏波面と直交する第2の状態にある前記受信アンテナで前記透過電磁波を受信する第2工程とを含み、前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する工程は、前記第1の状態にある前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第1の強度と前記第2の状態にある前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第2の強度との比に基づいて前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する強度算出工程を含むようにしてもよい。
本発明の他の実施の形態に係るエッジ抽出方法として、前記電磁波を出射する工程は、前記伝播方向に垂直な第1方向にのみ偏波する第1の電磁波を前記対象物に出射する工程と、前記伝播方向と前記第1方向とに直交する第2方向にのみ偏波する第2の電磁波を前記対象物に出射する工程とを含み、前記透過電磁波を受信する工程は、前記第1の電磁波が前記対象物を透過した第1の透過電磁波を、前記第1の状態にある前記受信アンテナおよび前記第2の状態にある前記受信アンテナで、それぞれ受信する工程と、前記第2の電磁波が前記対象物を透過した第2の透過電磁波を、前記第1の状態にある前記受信アンテナおよび前記第2の状態にある前記受信アンテナで、それぞれ受信する工程とを含み、前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する工程は、前記第1の状態にある前記受信アンテナで受信した前記第1の透過電磁波の第1の強度と前記第2の状態にある前記受信アンテナで受信した前記第1の透過電磁波の第2の強度との比に基づいて前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する第1の強度算出工程と、前記第1の状態にある前記受信アンテナで受信した前記第2の透過電磁波の第1の強度と前記第2の状態にある前記受信アンテナで受信した前記第2の透過電磁波の第2の強度との比に基づいて前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する第2の強度算出工程とを含むようにしてもよい。
本発明の他の実施の形態に係るエッジ抽出方法として、伝播方向に垂直な一方向にのみ偏波する電磁波を出射する送信アンテナと前記透過電磁波を受信する受信アンテナとを前記対象物を中心に相対的に回転させて、前記対象物の周囲の複数の位置で前記電磁波を前記対象物に向けて出射する工程と前記透過電磁波を受信する工程を繰り返す工程と、前記複数の位置で受信された前記透過電磁波の強度からそれぞれ求めた前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度分布から、前記対象物の輪郭を構成する工程とをさらに備えるようにしてもよい。
また、本発明に係るエッジ抽出装置(1)は、伝播方向に垂直な一方向にのみ偏波する電磁波を対象物に向けて出射する送信アンテナ(11a)と、前記対象物を透過した透過電磁波を受信する受信アンテナ(12a)と、前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の強度から前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する算出装置(13a)と、前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度の空間的な分布を求める処理装置(13b)とを備える。
本発明の一実施の形態に係るエッジ抽出装置として、前記受信アンテナは、前記受信アンテナの偏波面が、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記伝播方向に対して鋭角をなす第1の状態と、前記受信アンテナの偏波面が、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記第1の状態における受信アンテナの偏波面と直交する第2の状態とを選択的にとるように構成され、前記算出装置は、前記第1の状態にある前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第1の強度と前記第2の状態にある前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第2の強度との比に基づいて前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する強度算出部を含むようにしてもよい。
本発明の他の実施の形態に係るエッジ抽出装置として、前記受信アンテナは、第1の受信アンテナ(12a1)と、第2の受信アンテナ(12a2)とを含み、前記第1の受信アンテナ(12a1)は、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記伝播方向に対して鋭角をなす偏波面(12a-1)を有し、前記第2の受信アンテナは、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記第1の受信アンテナの偏波面と直交する偏波面(12a-2)を有し、前記算出装置は、前記第1の受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第1の強度と前記第2の受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第2の強度との比に基づいて前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する強度算出部を含むようにしてもよい。
本発明の他の実施の形態に係るエッジ抽出装置として、前記送信アンテナと前記受信アンテナとを前記対象物を中心に相対的に回転させる回転機構(16)と、前記対象物の周囲の複数の位置でそれぞれ受信された前記透過電磁波の強度からそれぞれ求めた前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度の空間的な分布から、前記対象物の三次元形状を構成する三次元形状構成装置(13c)とをさらに含むようにしてもよい。
本発明によれば、透過電磁波の伝搬方向の強度の空間的な分布から、入射電磁波の伝搬方向と直交する偏波面に対して平行な物体のエッジを抽出することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
本発明に係るエッジ抽出方法は、伝播方向に垂直な一方向にのみ偏波する電磁波を対象物に入射させ、この対象物を透過した透過電磁波の伝搬方向の成分の電界強度に基づいてその対象物のエッジ、特に入射電磁波の偏波面に平行なエッジを抽出する。
まず、本発明の実施の形態に係るエッジ抽出方法とそのシミュレーションについて、図1から図3Dを参照して説明する。
本発明に係るエッジ抽出方法は、伝播方向に垂直な一方向にのみ偏波する電磁波を対象物に入射させ、この対象物を透過した透過電磁波の伝搬方向の成分の電界強度に基づいてその対象物のエッジ、特に入射電磁波の偏波面に平行なエッジを抽出する。
まず、本発明の実施の形態に係るエッジ抽出方法とそのシミュレーションについて、図1から図3Dを参照して説明する。
図1は、本実施の形態に係るエッジ抽出方法のシミュレーションモデルを説明する図である。
このシミュレーションにおいてエッジ抽出の対象となる対象物20は、図1に示すように、X、Y、Z方向の長さがそれぞれ4mm、4mm、0.5mで、比誘電率εrが2の材料からなる一様な板状の部材とする。この対象物20は、X方向およびY方向にそれぞれ平行なエッジを有している。
このシミュレーションにおいてエッジ抽出の対象となる対象物20は、図1に示すように、X、Y、Z方向の長さがそれぞれ4mm、4mm、0.5mで、比誘電率εrが2の材料からなる一様な板状の部材とする。この対象物20は、X方向およびY方向にそれぞれ平行なエッジを有している。
このシミュレーションでは、まず、図2Aに示すように、XY平面に平行な板状の対象物20に対してX偏波のみを持った平面波を入射し、対象物20を透過する透過電磁波の電界のX、Y、Z方向の成分をそれぞれ計算した。なお、このとき電磁波の周波数は300GHzであり、入射電磁波は平面波である。
図2B、図2C、図2Dは、X偏波のみを持った電磁波を入射電磁波として対象物20に入射させたときの、対象物20の底面から0.05mm先のXY平面における透過電磁波のX、Y、Z方向の電界強度の分布をそれぞれ示している。
図2Bおよび図2Cに示すように、X偏波のみを持った電磁波が対象物20を透過しても、透過電磁波の電界にY方向の成分がほとんど生じておらず、X方向からY方向への偏波回転がほとんど起きていないことがわかる。これは、対象物20のエッジが入射電磁波のX偏波面に対して平行な場合、エッジにおいてX方向からY方向への偏波回転がほとんど起きていないことを示している。そのため、X偏波のみを持った入射電磁波に対する透過電磁波のそれぞれX方向およびY方向の電界強度の分布からは、対象物20のエッジを抽出することはできない。
一方、入射電磁波は対象物20のエッジ部分において回折して、その透過電磁波はZ方向の成分を持つようになる。例えば、図2Dに示すように、X偏波のみを持った入射電磁波に対する透過電磁波の電界のZ方向の成分は、対象物20のY軸と平行なエッジにおいて強く生じていることがわかる。
次に、図1に示すシミュレーションモデルにおいて、図3Aに示すように、XY平面に平行な板状の対象物20に対してY偏波のみを持った平面波を入射し、対象物20を透過する透過電磁波の電界のX、Y、Z方向の成分をそれぞれ計算した。なお、このとき電磁波の周波数も300GHzであり、入射電磁波は平面波である。
図3B、図3C、図3Dは、Y偏波のみを持った電磁波を入射電磁波として対象物20に入射させたときの、透過電磁波のX、Y、Z方向の電界強度の分布を示しており、図2B、図2C、図2Dと同様に、対象物20の底面から0.05mm先のXY平面における透過電磁波のX、Y、Z方向の電界強度の分布をそれぞれ示している。
図3B、図3C、図3Dは、Y偏波のみを持った電磁波を入射電磁波として対象物20に入射させたときの、透過電磁波のX、Y、Z方向の電界強度の分布を示しており、図2B、図2C、図2Dと同様に、対象物20の底面から0.05mm先のXY平面における透過電磁波のX、Y、Z方向の電界強度の分布をそれぞれ示している。
図3Bおよび図3Cに示すように、Y偏波のみを持った電磁波が対象物20を透過しても、透過電磁波の電界にX方向の成分がほとんど生じておらずY方向からX方向への偏波回転がほとんど起きていないことがわかる。これは、対象物20のエッジが入射電磁波のY偏波面に対して平行な場合、エッジにおいてY方向からX方向への偏波回転がほとんど起きていないことを示している。そのため、Y偏波のみを持った入射電磁波に対する透過電磁波のそれぞれX方向およびY方向の電界強度の分布からは、対象物20のエッジを抽出することはできない。
これに対し、図3Dに示すように、Y偏波のみを持った入射電磁波に対する透過電磁波の電界のZ方向の成分は、対象物20のX軸と平行なエッジにおいて強く生じていることがわかる。
以上のシミュレーション結果より、XY平面に平行な板状の対象物に対して、X偏波の電磁波とY偏波の電磁波とをそれぞれ照射したときに得られる透過電磁波の電界のZ方向の成分の電界強度の空間的な分布を測定することによって、対象物のX偏波面やY偏波面に対して平行なエッジを抽出することが可能になる。
[第1の実施の形態]
次に、図4~図8を参照して、本発明の実施の形態に係るエッジ抽出装置およびエッジ抽出方法について説明する。
次に、図4~図8を参照して、本発明の実施の形態に係るエッジ抽出装置およびエッジ抽出方法について説明する。
本実施の形態に係るエッジ抽出装置1は、図1に示すように、発生装置11に接続されて、伝播方向(Z方向)に垂直な一方向にのみ偏波する電磁波を対象物20に向けて出射する送信アンテナ11aと、対象物20を透過した透過電磁波を受信する受信アンテナ12aを備えた受信装置12と、受信アンテナ12aで受信した透過電磁波の電界強度から透過電磁波の伝搬方向(Z方向)の電界強度を算出する算出部13a、および、透過電磁波の伝搬方向(Z方向)の電界強度の空間的な分布を求める処理部13bを備える演算処理装置13と、透過電磁波の伝搬方向(Z方向)の電界強度の空間的な分布を可視化して表示する表示装置14とを備える。
ここで、発生装置11は、テラヘルツ波を発生させる装置である。発生装置11として、例えば、非線形結晶にレーザを照射し非線形結晶中での光整流作用を利用してテラヘルツ波を発生させる装置や、超短パルスレーザーを用いて半導体中に光キャリアを発生させ、光伝導電流をサブピコ秒で変調することによりテラヘルツ波を発生させる装置などを使用することができる。
送信アンテナ11aは、例えば、発生装置11において発生したテラヘルツ波を、伝播方向(Z方向)に垂直な一方向、例えば、X方向またはY方向にのみ偏波する電磁波として対象物20に対して出射するアンテナである。このような送信アンテナ11aは、例えば、誘電体基板上に形成されたダイポールアンテナ等を用いることができる。対象物20に入射する電磁波を伝搬方向と垂直な波面を有する平面波とするレンズを備えていてもよい。
送信アンテナ11aは、偏波の方向をX方向とY方向とで切り替えられるように、Z軸の周りに回動可能に支持されていてもよい。
送信アンテナ11aは、偏波の方向をX方向とY方向とで切り替えられるように、Z軸の周りに回動可能に支持されていてもよい。
対象物20を透過した透過電磁波を受信する受信アンテナ12aには、例えば、ホーンアンテナを採用することができる。
X偏波のみを持った第1の入射電磁波やY偏波のみを持った第2の入射電磁波が対象物20のエッジで回折して生じたZ方向の成分を測定するために、本実施の形態に係るエッジ抽出装置1においては、図6に示すように、受信アンテナ12aは、その偏波面12a-1が透過電磁波の伝搬方向(Z方向)に対して鋭角、例えば+45°をなす第1の状態と、その偏波面12a-2が第1の状態における受信アンテナの偏波面12a-1と直交するような第2の状態とを選択的にとることができるように支持される。これは、電磁波は横波(X方向またはY方向の振動)なのに対して、Z方向は電磁波の進行方向であるためである。
X偏波のみを持った第1の入射電磁波やY偏波のみを持った第2の入射電磁波が対象物20のエッジで回折して生じたZ方向の成分を測定するために、本実施の形態に係るエッジ抽出装置1においては、図6に示すように、受信アンテナ12aは、その偏波面12a-1が透過電磁波の伝搬方向(Z方向)に対して鋭角、例えば+45°をなす第1の状態と、その偏波面12a-2が第1の状態における受信アンテナの偏波面12a-1と直交するような第2の状態とを選択的にとることができるように支持される。これは、電磁波は横波(X方向またはY方向の振動)なのに対して、Z方向は電磁波の進行方向であるためである。
例えば、受信アンテナ12aを、屈曲した支持部材15-1とZ軸まわりに回動する回動機構15-2とからなる支持構造体15を介して、受信装置12の筐体等に取り付ければ、XZ平面内およびYZ平面内において、それぞれ受信アンテナ12aの偏波面をZ方向に対して±45°の角度をなすように配置することができる。
受信装置12は、受信アンテナ12aで受信した透過電磁波の電界強度を出力する。
演算処理装置13は、図5に示すように、バス136を介して互いに接続された演算装置131、内部メモリ132、外部記憶装置133、I/F回路134、I/O装置135等を備えたコンピュータにより構成することができる。この場合、コンピュータを構成するハードウェア資源が内部メモリ132その他の記憶装置にインストールされたプログラムと協働することによって、後述する算出部13aおよび処理部13bが実現される。
本実施の形態に係るエッジ抽出装置1において、演算処理装置13によって実現される算出部13aは、受信アンテナ12aで受信した透過電磁波の電界強度からその透過電磁波の伝搬方向すなわちZ方向の成分の電界強度を算出する算出装置として機能する。
受信アンテナ12aで受信した透過電磁波の電界強度からその透過電磁波の伝搬方向すなわちZ方向の成分、すなわちX偏波のみまたはY偏波のみを持った入射電磁波からZ方向へ回折した成分を測定するには、算出部13aは次のような演算処理を行う。
まず、X偏波のみを持った入射電磁波が対象物20を透過した際にZ方向へ回折した成分を測定する場合を考える。
図6および図7Aに示すように、受信アンテナ12aの偏波面(12a-1)が、対象物20に入射する入射電磁波の伝播方向、すなわちZ方向、および入射電磁波の偏波の方向、すなわちX方向、の双方に対して直交する軸、すなわちY方向、と平行で、かつ、伝搬方向(Z方向)に対して鋭角、例えば、Z方向と45°をなす第1の状態で測定される電界強度をAとする。また、図6および図7Bに示すように、受信アンテナ12aの偏波面(12a-2)が、Y方向と平行で、かつ、第1の状態にある受信アンテナ12aの偏波面12a-1と直交する第2の状態(この状態では、偏波面12a-2はZ方向に対して-45°回転した状態)で測定される電界強度をBとする。
このとき、対象物20のエッジ部分において入射電磁波に対して透過電磁波が回折した角度(回折角度)をθとすると、第1の状態と第2の状態とにそれぞれある受信アンテナ12aで測定された電界強度Aと電界強度Bとを用いて、回折角度θは式(1)を用いて計算することができる。
図6および図7Aに示すように、受信アンテナ12aの偏波面(12a-1)が、対象物20に入射する入射電磁波の伝播方向、すなわちZ方向、および入射電磁波の偏波の方向、すなわちX方向、の双方に対して直交する軸、すなわちY方向、と平行で、かつ、伝搬方向(Z方向)に対して鋭角、例えば、Z方向と45°をなす第1の状態で測定される電界強度をAとする。また、図6および図7Bに示すように、受信アンテナ12aの偏波面(12a-2)が、Y方向と平行で、かつ、第1の状態にある受信アンテナ12aの偏波面12a-1と直交する第2の状態(この状態では、偏波面12a-2はZ方向に対して-45°回転した状態)で測定される電界強度をBとする。
このとき、対象物20のエッジ部分において入射電磁波に対して透過電磁波が回折した角度(回折角度)をθとすると、第1の状態と第2の状態とにそれぞれある受信アンテナ12aで測定された電界強度Aと電界強度Bとを用いて、回折角度θは式(1)を用いて計算することができる。
また、透過電磁波のうち、Z方向へ回折した成分、すなわち、Z方向の強度Ezは、次の式(2)に基づいて算出することができる。
このように、第1の状態にある受信アンテナ12aで受信した透過電磁波の電界強度A(第1の強度)と第2の状態にある受信アンテナ12aで受信した透過電磁波の電界強度B(第2の強度)との比に基づいて、透過電磁波の伝搬方向(Z方向)の強度を算出することができる。
上述した演算を行うために、演算処理装置13の算出部13aは、図8に示すように、受信アンテナ12aが第1の状態および第2の状態にあるときにそれぞれ測定された電界強度AおよびBから回折角度θを算出する回折角算出部13a1と、電界強度AおよびBと回折角度θとから透過電磁波の電界のZ成分の大きさ(Z方向の電界強度Ez)を算出するZ成分算出部とから構成することができる。
以上の例は、X偏波のみを持つ電磁波を入射電磁波とした場合であるが、Y偏波のみを持つ電磁波を入射電磁波とした場合も同様にZ方向の回折成分を測定することができる。
対象物20を含む空間の複数の箇所について上述した透過電磁波におけるZ方向の電界強度Ezを求めた後、処理部13bは、Z方向の強度Ezの空間的な分布を求める。その結果は、表示装置14に表示することができる。
次に、本実施の形態に係るエッジ抽出装置1によって実行されるエッジ抽出の手順を図9を参照して説明する。
まず、送信アンテナ11aのXY方向の向きを調整し、対象物20に照射する電磁波をX偏波のみを持つ電磁波とする(S01)。
次に受信アンテナ12aの状態を上述した第1の状態に設定して(S02)、透過電磁波の電界強度Aを測定したら(S03)、受信アンテナ12aの状態を第2の状態に設定して(S04)、透過電磁波の電界強度Bを測定する(S05)。
透過電磁波の電界強度を測定したら、透過電磁波の電界強度A、BからZ方向の電界強度Ezを算出する(S06)。算出した電界強度Ezは、測定した対象物20を含むXY平面上の位置情報と紐付けて記憶装置に記憶する。
透過電磁波の電界強度を測定したら、透過電磁波の電界強度A、BからZ方向の電界強度Ezを算出する(S06)。算出した電界強度Ezは、測定した対象物20を含むXY平面上の位置情報と紐付けて記憶装置に記憶する。
次に、Y偏波のみを持つ電磁波による測定をするために(S07:YES)、偏波の方向をY偏波に設定して(S01)、上述したS02からS06の処理を繰り返す。
ひとつの測定位置について以上の処理を行い、他の測定位置についても測定を行う場合は(S08:YES)、位置を変えて上述したS01からS07の処理を繰り返す。
対象物20を含む測定対象エリア内の複数の測定位置についてX偏波のみを持つ電磁波とY偏波のみを持つ電磁波による測定が終わったら(S08:NO)、記憶装置に記憶した電界強度Ezに基づいて、XY平面内におけるZ方向の電界強度Ezの空間的な分布を作成して(S09)、一連の処理を終了する。
なお、Z方向の電界強度Ezの空間的な分布は、表示装置14に表示させるようにしてもよい。
なお、Z方向の電界強度Ezの空間的な分布は、表示装置14に表示させるようにしてもよい。
以上のようにしてZ方向の電界強度Ezの空間的な分布を作成することによって、従来困難だった入射電磁波のX偏波面またはY偏波面に対して平行な対象物のエッジの抽出が可能になる。
[第2の実施の形態]
次に本発明の第2の実施の形態に係るエッジ抽出装置について説明する。
上述した第1の実施の形態に係るエッジ抽出装置1においては、1つの受信アンテナ12aの偏波面の向きを第1の状態と第2の状態との間で変更しながら測定を行っていたが、第2の実施の形態に係るエッジ抽出装置では、図10に示すように、1対の受信アンテナ12a1、12a2をそれぞれ第1の状態、第2の状態となるように配置して、それぞれの状態における透過電磁波の電界強度A、Bを一度に測定できるように構成した点で、第1の実施の形態と相違する。
次に本発明の第2の実施の形態に係るエッジ抽出装置について説明する。
上述した第1の実施の形態に係るエッジ抽出装置1においては、1つの受信アンテナ12aの偏波面の向きを第1の状態と第2の状態との間で変更しながら測定を行っていたが、第2の実施の形態に係るエッジ抽出装置では、図10に示すように、1対の受信アンテナ12a1、12a2をそれぞれ第1の状態、第2の状態となるように配置して、それぞれの状態における透過電磁波の電界強度A、Bを一度に測定できるように構成した点で、第1の実施の形態と相違する。
このような構成を有することによって、第1の実施の形態においては、1つの受信アンテナ12aを用いてX偏波のみを持つ電磁波とY偏波のみを持つ電磁波のそれぞれについて、2回の測定を行っていたのを、2つの受信アンテナ12a1、12a2を用いて1回で測定することができ、より効率的な測定が可能となる。
[第3の実施の形態]
本発明の第3の実施の形態に係るエッジ抽出装置1’は、図11に示すように、送信アンテナ11aと受信アンテナ12aとを前記対象物を中心に相対的に回転させる回転機構16をさらに備えたものである。
本実施の形態に係るエッジ抽出装置1’の処理装置13’は、対象物20の周囲の複数の位置でそれぞれ受信された透過電磁波の電界強度からそれぞれ求めた透過電磁波の伝搬方向(Z方向)の電界強度の空間的な分布から、対象物20の三次元形状を構成する三次元形状構成部13cを備えている。
本発明の第3の実施の形態に係るエッジ抽出装置1’は、図11に示すように、送信アンテナ11aと受信アンテナ12aとを前記対象物を中心に相対的に回転させる回転機構16をさらに備えたものである。
本実施の形態に係るエッジ抽出装置1’の処理装置13’は、対象物20の周囲の複数の位置でそれぞれ受信された透過電磁波の電界強度からそれぞれ求めた透過電磁波の伝搬方向(Z方向)の電界強度の空間的な分布から、対象物20の三次元形状を構成する三次元形状構成部13cを備えている。
本実施の形態に係るエッジ抽出装置1’においては、伝播方向に垂直な一方向にのみ偏波する電磁波を出射する送信アンテナ11aと透過電磁波を受信する受信アンテナ12aとを対象物20を中心に相対的に回転させて、対象物20の周囲の複数の位置で測定された透過電磁波の伝搬方向(Z方向)の電界強度の空間的な分布から、対象物20の輪郭を構成する。
本実施の形態に係るエッジ抽出装置1’によれば、入射電磁波のX偏波面またはY偏波面に対して平行な対象物のエッジを抽出して、対象物20の三次元形状を構成することができる。
1、1’…エッジ抽出装置、11…発生装置、11a…送信アンテナ、12…受信装置、12a、12a1、12a2…受信アンテナ、13…演算処理装置、13a…算出部、13b…処理部、13c…三次元形状構成部、14…表示装置、15…支持構造体、16…回転機構。
Claims (8)
- 伝播方向に垂直な一方向にのみ偏波する電磁波を対象物に向けて出射する工程と、
前記対象物を透過した透過電磁波を受信アンテナで受信する工程と、
前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の強度から前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する工程と、
前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度の空間的な分布を求める工程と
を有するエッジ抽出方法。 - 前記透過電磁波を受信する工程は、
前記受信アンテナの偏波面が、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記伝搬方向に対して鋭角をなす第1の状態にある前記受信アンテナで前記透過電磁波を受信する第1工程と、
前記受信アンテナの偏波面が、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記第1の状態における受信アンテナの偏波面と直交する第2の状態にある前記受信アンテナで前記透過電磁波を受信する第2工程と
を含み、
前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する工程は、
前記第1の状態にある前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第1の強度と前記第2の状態にある前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第2の強度との比に基づいて前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する強度算出工程を含む
ことを特徴とする請求項1に記載されたエッジ抽出方法。 - 前記電磁波を出射する工程は、
前記伝播方向に垂直な第1方向にのみ偏波する第1の電磁波を前記対象物に出射する工程と、
前記伝播方向と前記第1方向とに直交する第2方向にのみ偏波する第2の電磁波を前記対象物に出射する工程と
を含み、
前記透過電磁波を受信する工程は、
前記第1の電磁波が前記対象物を透過した第1の透過電磁波を、前記第1の状態にある前記受信アンテナおよび前記第2の状態にある前記受信アンテナで、それぞれ受信する工程と、
前記第2の電磁波が前記対象物を透過した第2の透過電磁波を、前記第1の状態にある前記受信アンテナおよび前記第2の状態にある前記受信アンテナで、それぞれ受信する工程と
を含み、
前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する工程は、
前記第1の状態にある前記受信アンテナで受信した前記第1の透過電磁波の第1の強度と前記第2の状態にある前記受信アンテナで受信した前記第1の透過電磁波の第2の強度との比に基づいて前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する第1の強度算出工程と、
前記第1の状態にある前記受信アンテナで受信した前記第2の透過電磁波の第1の強度と前記第2の状態にある前記受信アンテナで受信した前記第2の透過電磁波の第2の強度との比に基づいて前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する第2の強度算出工程とを含む
ことを特徴とする請求項2に記載されたエッジ抽出方法。 - 伝播方向に垂直な一方向にのみ偏波する電磁波を対象物に向けて出射する送信アンテナと前記透過電磁波を受信する受信アンテナとを前記対象物を中心に相対的に回転させて、前記対象物の周囲の複数の位置で前記電磁波を対象物に向けて出射する工程と前記透過電磁波を受信する工程を繰り返す工程と、
前記複数の位置で受信された前記透過電磁波の強度からそれぞれ求めた前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度分布から、前記対象物の輪郭を構成する工程と
をさらに備えることを特徴とする請求項1-3のいずれか1つに記載されたエッジ抽出方法。 - 伝播方向に垂直な一方向にのみ偏波する電磁波を対象物に向けて出射する送信アンテナと、
前記対象物を透過した透過電磁波を受信する受信アンテナと、
前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の強度から前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する算出装置と、
前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度の空間的な分布を求める処理装置と
を備えるエッジ抽出装置。 - 前記受信アンテナは、
前記受信アンテナの偏波面が、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記伝播方向に対して鋭角をなす第1の状態と、前記受信アンテナの偏波面が、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記第1の状態における受信アンテナの偏波面と直交する第2の状態とを選択的にとるように構成され、
前記算出装置は、
前記第1の状態にある前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第1の強度と前記第2の状態にある前記受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第2の強度との比に基づいて前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する強度算出部を含む
ことを特徴とする請求項5に記載されたエッジ抽出装置。 - 前記受信アンテナは、
第1の受信アンテナと、第2の受信アンテナとを含み、
前記第1の受信アンテナは、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記伝播方向に対して鋭角をなす偏波面を有し、
前記第2の受信アンテナは、前記伝播方向および前記対象物に入射する電磁波の偏波の方向に対して直交する軸と平行で、かつ、前記第1の受信アンテナの偏波面と直交する偏波面を有し、
前記算出装置は、
前記第1の受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第1の強度と前記第2の受信アンテナで受信した前記透過電磁波の第2の強度との比に基づいて前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度を算出する強度算出部を含む
ことを特徴とする請求項5に記載されたエッジ抽出装置。 - 前記送信アンテナと前記受信アンテナとを前記対象物を中心に相対的に回転させる回転機構と、
前記対象物の周囲の複数の位置でそれぞれ受信された前記透過電磁波の強度からそれぞれ求めた前記透過電磁波の前記伝搬方向の強度の空間的な分布から、前記対象物の三次元形状を構成する三次元形状構成装置と
をさらに備えることを特徴とする請求項5-7のいずれか1つに記載されたエッジ抽出装置。
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