JP7128430B2 - 光干渉断層撮影装置及び光干渉断層撮影法 - Google Patents

光干渉断層撮影装置及び光干渉断層撮影法 Download PDF

Info

Publication number
JP7128430B2
JP7128430B2 JP2021152901A JP2021152901A JP7128430B2 JP 7128430 B2 JP7128430 B2 JP 7128430B2 JP 2021152901 A JP2021152901 A JP 2021152901A JP 2021152901 A JP2021152901 A JP 2021152901A JP 7128430 B2 JP7128430 B2 JP 7128430B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
sample
objective lens
coherence tomography
optical coherence
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021152901A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2022052751A (ja
Inventor
政男 能美
淳史 坂倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daikin Industries Ltd filed Critical Daikin Industries Ltd
Publication of JP2022052751A publication Critical patent/JP2022052751A/ja
Priority to JP2022095693A priority Critical patent/JP2022130471A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7128430B2 publication Critical patent/JP7128430B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B3/00Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
    • A61B3/10Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
    • A61B3/102Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions for optical coherence tomography [OCT]
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02055Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G01B9/02062Active error reduction, i.e. varying with time
    • G01B9/02064Active error reduction, i.e. varying with time by particular adjustment of coherence gate, i.e. adjusting position of zero path difference in low coherence interferometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/0209Low-coherence interferometers
    • G01B9/02091Tomographic interferometers, e.g. based on optical coherence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N2021/178Methods for obtaining spatial resolution of the property being measured
    • G01N2021/1785Three dimensional
    • G01N2021/1787Tomographic, i.e. computerised reconstruction from projective measurements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/02Mechanical
    • G01N2201/022Casings
    • G01N2201/0221Portable; cableless; compact; hand-held
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/08Optical fibres; light guides

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

本開示は、光干渉断層撮影装置及び光干渉断層撮影法に関する。
光干渉断層撮影法(Optical Coherence Tomography:OCT)は、主に、医療分野において眼球等の生体器官の断層撮影に用いられている。
光干渉断層撮影装置としては、光源からの光をビームスプリッタ等により分割し、別々に試料及び参照ミラーに照射して反射光を得、別々の光路を通ったこれらの反射光の干渉を利用して断層撮影を行うものが一般的である(例えば、特許文献1参照)。
特開2011-104127号公報
本開示は、携帯型にした場合でも断層画像のずれが生じにくく、また、一度に広範囲を断層撮影することが可能な光干渉断層撮影装置、及び、それを用いた光干渉断層撮影法を提供することを目的とする。
本開示は、光源からの光を試料に集光する対物レンズを備え、
上記試料からの反射光である試料光と、上記対物レンズと上記試料との間に設けられる参照面からの反射光である参照光との干渉に基づいて上記試料の断層撮影を行う光干渉断層撮影装置であって、
上記試料光及び参照光の両方が上記対物レンズを通過し、
上記対物レンズは、Fθレンズである光干渉断層撮影装置に関する。
上記光干渉断層撮影装置は、上記参照面と上記試料との距離を0~3cmとして上記断層撮影を行うことが可能なように構成されていることが好ましい。
上記参照面は、MgF、CaF、石英及びサファイアからなる群より選択される少なくとも1種を含む参照部材が有する平面であることが好ましい。
上記試料光及び参照光の両方が、上記対物レンズを通過した上記光源からの光から生じることが好ましい。
上記干渉は、フィゾー型干渉であることが好ましい。
上記光干渉断層撮影装置は、更に、上記光源からの光を上記対物レンズの側に出力するとともに、上記対物レンズを通過した上記試料光及び参照光を、当該試料光及び参照光を検出する検出器の側に出力するサーキュレータを備えることが好ましい。
上記光干渉断層撮影装置は、更に、上記光源からの光を、上記試料光及び参照光の生成に用いる分割光1と、干渉信号の直流成分の除去に用いる分割光2とに分割するカプラを備え、分割光1と分割光2との強度比が90:10~99:1であることが好ましい。
上記光干渉断層撮影装置は、使用者が上記対物レンズを備える部分を携帯しながら上記断層撮影を行うことが可能なように構成されていることが好ましい。
携帯される上記対物レンズを備える部分と、携帯されない部分とが光ファイバーを介して接続されており、
上記光源からの光並びに上記試料光及び参照光が上記光ファイバーを通じて伝送されることが好ましい。
上記光ファイバーの長さが3m以上であり、携帯される上記対物レンズを備える部分の周囲の雰囲気と、上記携帯されない部分の周囲の雰囲気との温度差が1℃以上である場合に、得られる光干渉断層画像のずれが100μm以下であることが好ましい。
本開示は、上述したいずれかの光干渉断層撮影装置を用いる光干渉断層撮影法にも関する。
本開示によれば、携帯型にした場合でも断層画像のずれが生じにくく、また、一度に広範囲を断層撮影することが可能な光干渉断層撮影装置、及び、それを用いた光干渉断層撮影法を提供することができる。
従来の光干渉断層撮影(OCT)装置の一例を示す模式図である。 本開示のOCT装置の一例を示す模式図である。 本開示のOCT装置の他の一例を示す模式図である。 実施例1で得られたOCT画像を示す図である。 比較例1で得られたOCT画像を示す図である。 比較例2で得られたOCT画像を示す図である。 参考例1で得られたOCT画像を示す図である。
医療分野においては、図1に示すようなマイケルソン干渉計を用いる光干渉断層撮影(OCT)装置が一般に用いられている。図1のOCT装置10においては、光源11から出力された光がカプラ12によって分割され、サーキュレータ13及び参照ミラー14を含む光路を通る参照光と、サーキュレータ15及び試料16を含む光路を通る試料光とが生じる。上記参照光及び試料光はカプラ17により結合され、干渉信号が光検出器18により検出される。
医療分野では、通常、試料光路を備えるプローブと、参照光路を備えるOCT装置本体(筐体)とが近接して設置され、同じ室内で使用される。
これに対し、工業分野等においては、プローブを携帯しながら、屋外のようにOCT装置本体(筐体)から大きく離れた場所にある対象を撮影することが求められる場合がある。このような場合、試料光と参照光とが別々の光路を通る図1のマイケルソン型OCT装置では、試料光路(プローブ)と、参照光路(本体)とが置かれる環境(温度等)に相違が生じやすく、光路長の変化によって、得られる断層画像のずれ(ドリフト)が大きくなるという問題がある。
また、医療分野で使用されるOCT装置は、眼球等の極めて狭い範囲を高精度で断層撮影することに重点が置かれており、一度に広範囲を断層撮影することが求められる分野には適用が難しいという問題もある。
本発明者らは、鋭意検討した結果、試料光及び参照光の両方が対物レンズを通過するようにするとともに、当該対物レンズとしてFθ(Fシータ)レンズを採用することにより、上記の問題が解消することを見出し、本開示のOCT装置を完成するに至った。
以下、本開示を具体的に説明する。
本開示は、光源からの光を試料に集光する対物レンズを備え、上記試料からの反射光である試料光と、上記対物レンズと上記試料との間に設けられる参照面からの反射光である参照光との干渉に基づいて上記試料の断層撮影を行う光干渉断層撮影装置であって、上記試料光及び参照光の両方が上記対物レンズを通過し、上記対物レンズは、Fθレンズである光干渉断層撮影(OCT)装置に関する。
本開示のOCT装置では、撮影対象となる試料からの反射光である試料光、及び、参照面からの反射光である参照光の両方が対物レンズを通過する。この構成により、上記対物レンズを備える部分(例えばプローブ)を携帯型にした場合でも、試料光路と参照光路との環境の相違が生じないので、得られる断層画像のずれが小さい。
なお、上記試料光及び参照光は、上記対物レンズの上記試料側から入射し、上記光源側に出射する。
上記試料光及び参照光は、光源からの光から生じる。光源からの光は、本開示のOCT装置が備える対物レンズを通過し、試料に集光される。当該試料からの反射光が試料光となる。また、上記光源からの光の一部は、上記対物レンズと上記試料との間に設けられる参照面で反射し、参照光となる。
上記試料光及び参照光は、いずれも、上記対物レンズを通過した上記光源からの光から生じることが好ましい。従来のマイケルソン型OCT装置のように、対物レンズを通過する前に分割された光から試料光及び参照光が別々に生じる場合と比較して、試料光路及び参照光路の環境の相違を小さくすることができ、得られる断層画像のずれを一層低減することができる。
本開示のOCT装置が備える対物レンズは、Fθレンズである。この構成により、一度に広範囲を断層撮影することができる。
上記Fθレンズは、レンズの焦点距離をfとするとき、レンズの光軸に対して角度θで入射する光を、焦点において光軸に垂直な面の光軸からfθの位置に出射させるレンズである。
上記Fθレンズは、テレセントリックFθレンズであってもよく、非テレセントリックFθレンズであってもよい。
テレセントリックFθレンズは、主光線がレンズの光軸に平行になるように設計されたFθレンズであり、レンズと試料との距離が変動しても高精度の断層画像が得られる点で好ましい。
本開示のOCT装置において、上記対物レンズを通過した光線は試料に必ずしもテレセントリックに入射しなくてもよいが、より高精度の断層画像を得る点では、できるだけテレセントリックに近い状態で入射するように、上記対物レンズを配置することが好ましい。
上記参照面は、上記対物レンズと上記試料との間に、上記対物レンズの光軸に垂直に設けられることが好ましい。
上記参照面は、上記光源からの光の少なくとも一部を反射する面であればよいが、試料光及び参照光が共通の光路を通るように構成しやすい点で、上記光源からの光の一部を透過し、一部を反射する面であることが好ましい。この態様においては、上記参照面を透過した光が上記試料に集光され、試料光が生成される一方、上記参照面で反射した光が参照光となる。
上記参照面は、参照部材が有する平面であることが好ましく、当該参照部材の、上記試料側の表面であることがより好ましい。
上記参照部材は、上記光源からの光の一部を透過し、一部を反射するものであることが好ましい。
上記参照部材を構成する材料としては、結晶性材料、好ましくは光学窓に使用され得る結晶を挙げることができ、具体的には、MgF、石英(SiO)、サファイア(Al)、CaF、BaF、LiF、ZnSe等の結晶を挙げることができる。なかでも、耐薬品性に優れる点で、MgF、CaF、石英及びサファイアからなる群より選択される少なくとも1種が好ましい。
上記参照面が、MgF、CaF、石英及びサファイアからなる群より選択される少なくとも1種を含む参照部材が有する平面であることは、好適な態様の1つである。
上記参照部材は、コーティング(例えば反射を調整するためのコーティング)が施されていないことが好ましい。
上記参照部材の形状は、平面を有する形状であればよく、板状、円柱状、角柱状等であってよいが、円柱状であることが好ましい。円柱状である場合、必ずしも正円柱でなくてもよい。また、上記参照部材が参照面以外の平面を更に有する場合、参照面と他の平面とは、必ずしも平行でなくてもよい。
上記参照部材の厚み(光軸方向の厚み)は、例えば、1~50mmであることが好ましく、10~30mmであることがより好ましい。
なお、上記参照部材の厚みが一定でない場合は、最薄部及び最厚部の厚みがいずれも上記範囲内にあることが好ましい。
上記参照部材は、下記関係式(1)を満足することが好ましい。
nd≧Zmax (1)
(式中、ndは上記参照部材の光学的厚さを表し、Zmaxは計測可能距離を表す。)
光学的厚さは、上記参照部材の屈折率と実際の(幾何学的な)厚さとの積である。
計測可能距離は、下記関係式(2)で表される。
max=c/(4δf) (2)
(式中、cは光速、δfはOCT干渉信号サンプリングの周波数間隔を表す。)
関係式(1)を満足する参照部材を使用すると、上記参照部材の後方基底面(参照面の反対側の面)からの後方反射に基づく信号が断層画像内(深さ0超、Zmax未満に対応する範囲内)に現れないので、より高精度の断層画像を得ることができる。
上記参照部材は、下記関係式(3)を満足することがより好ましい。
n×WD>nd>n×Zmax (3)
(式中、nは上記参照部材の屈折率を表す。WDは、OCT装置の作動距離を表す。nd及びZmaxは、上記のとおり。)
作動距離(working distance)は、ピントを合わせたときの、対物レンズの試料側の最前面から試料までの距離である。
関係式(3)を満足する参照部材を使用すると、上記参照部材の後方基底面(参照面の反対側の面)からの後方反射に基づくゴースト像の強度を低減することができ、一層高精度の断層画像を得ることができる。
上記後方反射に基づくゴースト像の強度を一層低減することができる点で、上記参照部材の厚みは、関係式(3)を満たす範囲内で厚いほうが好ましい。また、上記参照部材の後方基底面を、参照面に対し傾斜させることも好ましい。
上述の効果は、後述するアンチエイリアスフィルタ(ローパスフィルタ)を設ける場合に、特に顕著になる。
上記参照部材は、下記関係式(4)を満足することが特に好ましい。
nd=m×Zmax (4)
(式中、nd及びZmaxは上記のとおり。mは1以上の整数を表す。)
mは、1以上、20以下の整数であることが好ましく、1以上、10以下の整数であることも好ましい。
関係式(4)を満足する参照部材を使用すると、上記参照部材の後方基底面(参照面の反対側の面)からの後方反射に基づく信号が断層画像の端部(深さ0又はZmaxに対応する位置)に重なるので断層画像への影響が少なく、一層高精度の断層画像を得ることができる。
本開示のOCT装置は、上記参照面(参照部材)を備えるものであってよい。
本開示のOCT装置は、上記参照面と上記試料との距離を0~3cmとして上記断層撮影を行うことが可能なように構成されていることが好ましい。このように参照面と試料とを近づけることができると、作動距離が短くなりノイズが小さくなって解像度が高くなり、また、試料の深部まで焦点が合い、より深部まで鮮明な断層画像が得られる点で好ましい。本開示のOCT装置は、対物レンズにFθレンズを使用するので、上記のように参照面と試料との距離が近い場合でも、精度よく断層撮影することが可能である。
もちろん、上記参照面と上記試料との距離を上記より大きくして断層撮影を行うことも可能であってよい。
上記光源は、低コヒーレンス光源であってよく、時間的に周波数(波長)を変化させて走査する周波数走査光源であることが好ましい。
上記周波数走査光源としては、波長掃引フィルタ(ポリゴンミラーによる駆動、ガルバノミラーによる駆動等)を用いた波長掃引レーザ、FDMLレーザ、MEMS波長掃引光源(MEMS VCSEL、外部共振器型MEMSファブリペローレーザ等)、SGDBRレーザ等を用いることができる。
上記光源から出力される光線としては、可視光線、赤外線が挙げられ、近赤外線(NIR)が好ましい。上記光線としては、波長800~2000nmの光線を使用することが好ましい。中でも、光源の安定性や、センサーの信頼性から、940±50nm、1100±50nm、1310±50nm、1550±100nm、又は、1750±100nmを中心波長とする光線がより好ましい。
本開示のOCT装置は、上記光源を備えるものであってよい。
本開示のOCT装置は、上記試料光と上記参照光との干渉に基づいて上記試料の断層撮影を行う。上記干渉は、原理的に上記試料光及び参照光の両方が上記対物レンズを通過することが可能なものであればよいが、フィゾー型干渉又はミロー型干渉であることが好ましく、フィゾー型干渉であることがより好ましい。
本開示のOCT装置において採用し得るOCTの種類としては、時間領域OCT(Time Domain OCT: TD-OCT)、フーリエ領域OCT(Fourier Domain OCT: FD-OCT)等を挙げることができる。FD-OCTとしては、スペクトル領域OCT(Spectral Domain OCT:SD-OCT)、周波数走査OCT(Swept Source OCT:SS-OCT)等が挙げられる。なかでも、感度が高く、計測可能深さが深い点で、SS-OCTが好ましい。
本開示のOCT装置は、更に、上記光源からの光を平行光に変換するコリメータを備えることが好ましい。上記コリメータは、上記光源と上記対物レンズとの間の光路上に設けられることが好ましい。
本開示のOCT装置は、更に、上記試料に集光される上記光源からの光を走査する走査ミラーを備えることが好ましい。上記走査ミラーは、上記光源と上記対物レンズとの間の光路上に設けられることが好ましく、上記コリメータと上記対物レンズとの間の光路上に設けられることがより好ましい。
上記走査ミラーとしては、ガルバノミラー、ポリゴンミラー、MEMSミラー等が挙げられる。なかでもガルバノミラーが好ましく、1軸又は2軸のガルバノミラーがより好ましく、2軸のガルバノミラーが更に好ましい。
本開示のOCT装置は、更に、上記走査ミラーを駆動するための駆動装置を備えることが好ましい。
本開示のOCT装置は、更に、上記光源からの光を上記対物レンズの側に出力するとともに、上記対物レンズを通過した上記試料光及び参照光を、当該試料光及び参照光を検出する検出器の側に出力するサーキュレータを備えることが好ましい。この態様においては、上記試料光及び参照光を1つのサーキュレータにより伝送することができる。このように構成することで、図1に示されるように試料光及び参照光が通過するサーキュレータを別々に設ける場合と比較して、装置を小型化することができ、また、コストを低減することもできる。
上記サーキュレータは、3つ以上のポートを有することが好ましく、3つのポートを有することがより好ましい。
上記サーキュレータは、上記光源と上記対物レンズとの間の光路上に設けられることが好ましく、上記光源と上記コリメータとの間の光路上に設けられることがより好ましい。
3ポートのサーキュレータの場合、上記光源からの光は、上記光源の側にある第1のポートから入力され、上記対物レンズの側にある第2のポートから出力される。上記対物レンズを通過した上記試料光及び参照光は、第2のポートから入力され、上記検出器の側にある第3のポートから出力される。
本開示のOCT装置は、更に、上記試料光及び参照光を検出する検出器(検出器(1)ともいう。)を備えることが好ましい。検出器(1)は、上記試料光及び参照光による干渉信号を検出することが好ましい。
検出器(1)は、差動光検出器であることが好ましい。検出器(1)は、信号を増幅する機能を有していてもよい。また、増幅器を別途設けてもよい。
本開示のOCT装置は、更に、上記光源からの光を、上記試料光及び参照光の生成に用いる分割光1と、干渉信号の直流成分の除去に用いる分割光2とに分割するカプラ(カプラ(1)ともいう。)を備えることが好ましい。カプラ(1)は、上記光源と上記対物レンズとの間の光路上に設けられることが好ましく、上記光源と上記サーキュレータとの間の光路上に設けられることがより好ましい。
カプラ(1)を設ける場合、上記分割光1と分割光2との強度比が90:10~99:1であることが好ましく、92:8~98:2であることがより好ましい。このような強度比に分割することで、干渉信号から直流成分を効果的に除去することができる。
本開示のOCT装置は、更に、分割光2を検出する検出器(検出器(2)ともいう。)を備えることが好ましい。検出器(2)は、上述した検出器(1)と同じ検出器であってもよく、異なる検出器であってもよい。
本開示のOCT装置は、更に、分割光2を減衰させる減衰器を備えることが好ましい。上記減衰器としては、可変光減衰器(VOA)が好ましい。上記減衰器は、上記カプラ(1)と分割光2を検出する検出器(2)との間の光路上に設けられることが好ましい。
本開示のOCT装置は、更に、上記試料光及び参照光による干渉信号を収集するデータ収集(DAQ)装置を備えることが好ましい。上記DAQ装置は、A/Dコンバータを含むことが好ましい。上記DAQ装置は、収集した干渉信号をデジタルデータに変換することが好ましい。
本開示のOCT装置は、更に、上記計測可能距離(Zmax)を超えた不要な周波数成分を減衰させるアンチエイリアスフィルタ(ローパスフィルタともいう。)を備えることが好ましい。上記アンチエイリアスフィルタは、上述した検出器(1)と上記DAQ装置との間の光路上に設けられることが好ましい。
本開示のOCT装置は、更に、上記試料光及び参照光の干渉信号に基づく光干渉断層画像を生成する演算装置を備えることが好ましい。上記演算装置は、干渉信号を強度等の特性に応じて画像化することにより、光干渉断層画像を生成する。
本開示のOCT装置は、更に、得られた光干渉断層画像を表示する表示装置を備えることが好ましい。上記表示装置は、据え置き型であっても携帯型であってもよいが、携帯型であれば、撮影現場で画像を確認することができるので好ましい。また、上記演算装置との接続は有線でも無線でもよい。上記表示装置は1つでも、複数でもよい。
本開示のOCT装置の一例を図2に示すが、本開示のOCT装置はこれに限定されるものではない。
図2のOCT装置100において、周波数走査光源101は、OCTに使用する光を出力する。周波数走査光源101は、周波数走査の開始ごとにトリガー信号を出力する。また、マッハツェンダー干渉計によって光を検出し、周波数等間隔のサンプリングのためのKクロック信号を出力する。
周波数走査光源101から出力された光は、カプラ102において、試料光及び参照光の生成に用いる分割光1と、干渉信号の直流成分の除去に用いる分割光2とに95:5の強度比にて分割される。分割光1はサーキュレータ103のポート1に入力され、ポート2から出力されて、数メートルの長さの光ファイバーを通じてプローブ104に伝送される。
プローブ104において、分割光1はコリメータ105により平行光に変換された後、ガルバノミラー106により反射されて、Fθレンズである対物レンズ107に入射する。ガルバノミラー106は、ガルバノミラードライバ111により駆動され、上記平行光を、光軸に垂直なXY方向に走査する。対物レンズ107に入射した平行光は、参照部材108を通過して撮影対象である試料110に集光され、試料面において反射して試料光として対物レンズ107に入射する。また、対物レンズ107に入射した平行光の一部は、参照部材108が備える参照面109において反射し、参照光として対物レンズ107に入射する。
対物レンズ107に入射した試料光及び参照光は、ガルバノミラー106、コリメータ105を通過した後、光ファイバーを通じてサーキュレータ103のポート2に入力され、ポート3から出力され、次いで、差動光検出増幅器113に入力される。差動光検出増幅器113は、試料光及び参照光の干渉に基づく干渉信号を検出し、増幅する。
カプラ102において分割された分割光2は、可変光減衰器112により減衰された後、差動光検出増幅器113に入力される。差動光検出増幅器113は、分割光2の信号を利用して、上記干渉信号に含まれる直流成分を除去する。
差動光検出増幅器113により直流成分が除去され、増幅された干渉信号は、PC114が備えるDAQ装置(A/Dコンバータ)により収集され、デジタルデータに変換される。干渉信号の収集は、周波数走査光源101が発するトリガー信号によって開始され、Kクロック信号に同期して行われる。
なお、差動光検出増幅器113とDAQ装置との間には、計測可能距離(Zmax)を超えた不要な周波数成分を減衰させるアンチエイリアスフィルタ(図示せず)が設けられている。
PC114が備える演算装置は、DAQ装置により変換された干渉信号に基づいて、試料110の光干渉断層画像を生成し、モバイルディスプレイ115に表示する。
本開示のOCT装置は、使用者が上記対物レンズを備える部分を携帯しながら上記断層撮影を行うことが可能なように構成されていることが好ましい。本開示のOCT装置は、このように上記対物レンズを備える部分を携帯型にした場合でも、試料光路と参照光路との環境の相違が生じないので、得られる断層画像のずれが小さい。
上記対物レンズを備える部分は、更に、上記参照面(又は参照部材)、上記コリメータ及び上記走査ミラーを備えることが好ましい。
上記対物レンズを備える部分は、OCT装置のプローブであることが好ましい。
本開示のOCT装置は、使用者が上記対物レンズを備える部分を手に持って上記断層撮影を行うことが可能なように構成されていることが好ましく、使用者が上記対物レンズを備える部分を片手に持って上記断層撮影を行うことが可能なように構成されていることがより好ましい。
本開示のOCT装置は、上記対物レンズを備える部分以外に、断層撮影時に使用者が携帯することが可能な部分を備えていてもよい。当該部分としては、例えば、上記走査ミラーを駆動するための駆動装置や、上記表示装置が挙げられる。
本開示のOCT装置においては、携帯される上記対物レンズを備える部分と、携帯されない部分とが光ファイバーを介して接続されており、上記光源からの光並びに上記試料光及び参照光が上記光ファイバーを通じて伝送されることが好ましい。この態様においては、撮影対象が上記携帯されない部分から大きく離れた場所にある場合でも、上記光ファイバーの長さを調整することで、上記対物レンズを備える部分を撮影対象の近傍に位置させて断層撮影することができる。上記光源からの光並びに上記試料光及び参照光はいずれも上記光ファイバーを通じて伝送されるので、上記光ファイバーを長くした場合でも、試料光路と参照光路との環境の相違が生じず、得られる断層画像のずれが小さい。また、上記光ファイバーを用いる有線型であるため、上記携帯されない部分から大きく離れた場所にある撮影対象に対しても、高分解能のOCT計測を実施することができる。
上記光ファイバーの長さは特に限定されず、撮影対象のある場所に応じて決定することができるが、例えば、1m以上であってよく、3m以上であることが好ましく、5m以上であることがより好ましく、10m以上であることが更に好ましい。また、100m以下であってよく、50m以下であってもよい。
上記携帯されない部分は、例えば、上記光源、上記サーキュレータ、上記検出器、上記DAQ装置、上記演算装置等を備えることが好ましい。
上記携帯されない部分は、OCT装置本体(筐体)であることが好ましい。
上記対物レンズを備える部分以外に携帯される部分がある場合、当該部分と上記対物レンズを備える部分又は上記携帯されない部分との接続は、必ずしも光ファイバーによる接続に限定されず、例えば電線による接続であってもよい。
本開示のOCT装置は、上記光ファイバーの長さが3m以上であり、携帯される上記対物レンズを備える部分の周囲の雰囲気と、上記携帯されない部分の周囲の雰囲気との温度差が1℃以上である場合に、得られる光干渉断層画像のずれが100μm以下であることが好ましい。
工業分野等においては、撮影対象がOCT装置本体(筐体)から大きく離れた場所や、屋外や、高温又は低温の施設内にある場合がある。このような場合、プローブとOCT装置本体との環境(温度)に大きな相違が生じるので、試料光路がプローブ側にあり、参照光路が本体側にあるOCT装置では、試料光路と参照光路との環境の相違に起因して、得られる断層画像に大きなずれが生じる。これに対し、本開示のOCT装置は、上記のような場合でも、試料光路と参照光路との環境の相違が生じないので、得られる断層画像のずれが小さい。
上記態様における光ファイバーの長さは、3m以上であることが好ましいが、5m以上であることがより好ましく、10m以上であることが更に好ましい。また、100m以下であってよく、50m以下であってもよい。
上記態様における上記雰囲気の温度差は、1℃以上であることが好ましいが、5℃以上であることがより好ましく、10℃以上であることが更に好ましい。また、上記温度差は、50℃以下であることが好ましい。
上記光干渉断層画像のずれは、100μm以下であることが好ましいが、50μm以下であることがより好ましく、30μm以下であることが特に好ましい。
上記ずれ(ΔZ)は、下記式(A):
ΔZ(μm)=dn/dT(1/℃)×L(m)×10×2×Δt(℃) (A)
(式中、dn/dTは光ファイバー材質の屈折率の温度係数(1/℃)、Lは光ファイバーの長さ(m)、Δtは試料光路と参照光路との温度差(℃)を表す。)で規定される。
上記ΔZは、光学的距離のずれである。
光ファイバー材質が石英ガラス、光の波長が1.3μm、温度が室温付近である場合、dn/dTは約1.9×10-5(1/℃)である。
試料光路がプローブ側にあり、参照光路が本体側にあるOCT装置では、携帯される上記対物レンズを備える部分の周囲の雰囲気と、上記携帯されない部分の周囲の雰囲気との温度差がほとんどそのまま光路の温度差Δtに反映されるので、得られる断層画像のずれΔZが大きい。これに対し、本開示のOCT装置では、携帯される上記対物レンズを備える部分の周囲の雰囲気と、上記携帯されない部分の周囲の雰囲気との温度差が大きい場合であっても、光路の温度差Δtは極めて小さいので、ΔZも極めて小さい。
本開示のOCT装置の他の一例(対物レンズを備える部分を携帯型にした例)を図3に示すが、本開示のOCT装置はこれに限定されるものではない。
図3において、使用者201は、OCT装置のプローブ202を片手に携帯し、プローブ202に内蔵されるガルバノミラーを駆動するためのガルバノミラードライバ205を腰に携帯している。プローブ202は、光ファイバー203を介してOCT装置の筐体206と接続されている。ガルバノミラードライバ205は、電線204を介してプローブ202及び筐体206と接続されている。
筐体206には、光源、検出器、DAQ装置、演算装置等が格納されている。
本開示のOCT装置は、下記光源を使用する断層撮影1回あたりに、10μm以上の分解能で撮影することが可能な面方向の領域が縦0.1~14mm、横0.1~14mmの範囲となるように構成されていることが好ましい。これにより、(他の光源を用いた場合であっても)一度に広範囲を精度よく断層撮影することができる。
(光源)
AXSUN社 高速波長掃引光源(中心波長:1310nm、掃引幅:100nm、A-scanレート:50kHz、出力:25mW、コヒーレンス長:12mm)
本開示のOCT装置を用いて、試料の光干渉断層撮影を行うことができる。本開示は、上述した本開示のOCT装置を用いる光干渉断層撮影法にも関する。
本開示の光干渉断層撮影法では、使用者が上記対物レンズを備える部分(例えばプローブ)を携帯しながら断層撮影を行う場合でも、試料光路と参照光路との環境の相違が生じないので、得られる断層画像のずれが小さい。また、一度に広範囲を断層撮影することができる。
本開示のOCT装置及び光干渉断層撮影法は、分野を問わず、光干渉断層撮影全般に好適に用いることができる。上述のように、OCT装置の一部を携帯型にした場合でも断層画像のずれが生じにくく、また、一度に広範囲を断層撮影することができることから、特に工業分野において好適に用いることができる。
次に実施例を挙げて本開示を更に詳しく説明するが、本開示はこれらの実施例のみに限定されるものではない。
実施例1
図2に示す構成を有するOCT装置を用いて、厚さ3.1mmのポリテトラフルオロエチレン(PTFE)層、厚さ0.4mmのテトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)層及び厚さ4.3mmのテトラフルオロエチレン/パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体(PFA)層がこの順に積層された厚さ7.8mm、縦25mm、横25mmのフッ素樹脂シートのPFA層側からOCT撮影を行った。得られた断層画像(縦8mm×横8mm)を図4に示す。
使用したOCT装置及び撮影条件の詳細を以下に示す。
OCT用掃引レーザー光源:中心波長:1310nm、掃引幅:100nm、A-scanレート:50kHz、出力:25mW、コヒーレンス長:12mm
対物レンズ:Fθレンズ(商品名:Thorlabs社製LSM04)、有効波長範囲(1250~1380nm)、有効焦点距離(54mm)
参照部材:石英ガラス製、円柱シリンダー形状、直径20mmφ、長さ20mm
光ファイバー:石英ガラス製、長さ10m
撮影温度:26℃
参照面と試料との距離:0cm
その他の撮影条件:輝度100、コントラスト30
比較例1
対物レンズをFθレンズではないアクロマチックレンズ(商品名:Thorlabs社製AC254-050-C、有効波長範囲:1050~1700nm、有効焦点距離:50mm)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、OCT撮影を行った。得られた断層画像(縦8mm×横8mm)を図5に示す。
図4では、断層画像全体が鮮明で均一であるのに対し、図5では、破線で囲った部分以外はノイズが非常に多く、有効視野が狭い(広範囲の断層撮影ができていない)ことがわかる。
比較例2
図1に示す構成を有するOCT装置を使用し、かつ、サンプルアームの光ファイバーのみをドライヤーにより40℃に加熱して、外径12mm、内径8mmのフッ素樹脂チューブの断面方向のOCT撮影を行った。得られた断層画像を図6に示す。
使用したOCT装置及び撮影条件の詳細を以下に示す。
OCT用掃引レーザー光源:中心波長:1310nm、掃引幅:100nm、A-scanレート:50kHz、出力:25mW、コヒーレンス長:12mm
対物レンズ:Fθレンズ(商品名:Thorlabs社製LSM03)、有効波長範囲(1250~1380nm)、有効焦点距離(36mm)
光ファイバー(サンプルアーム、参照アーム):石英ガラス製、長さ4m
撮影温度:26℃
その他の撮影条件:輝度100、コントラスト30
参考例1
サンプルアームの光ファイバーを加熱しなかったこと以外は比較例2と同様にして、OCT撮影を行った。得られた断層画像を図7に示す。
アーム間に温度差を生じさせた図6では、図7と比較してチューブの断層画像が深さ方向上向きに2mm以上ドリフトし、チューブ表層部に対応する部分が画面外にはみ出している。また、図6には、反射ノイズであるアーチファクト(画像上部の逆円弧の像)も見られる。
10:OCT装置
11:光源
12、17:カプラ
13、15:サーキュレータ
14:参照ミラー
16:試料
18:光検出器
100:OCT装置
101:周波数走査光源
102:カプラ
103:サーキュレータ
104:プローブ
105:コリメータ
106:ガルバノミラー
107:対物レンズ
108:参照部材
109:参照面
110:試料
111:ガルバノミラードライバ
112:可変光減衰器
113:差動光検出増幅器
114:PC
115:モバイルディスプレイ
201:使用者
202:プローブ
203:光ファイバー
204:電線
205:ガルバノミラードライバ
206:筐体

Claims (11)

  1. 光源からの光を試料に集光する対物レンズ、及び、前記試料に集光される前記光源からの光を走査する走査ミラーを備え、
    前記試料からの反射光である試料光と、前記対物レンズと前記試料との間に設けられる参照面からの反射光である参照光との干渉に基づいて前記試料の断層撮影を行う光干渉断層撮影(OCT)装置であって、
    前記試料光及び参照光の両方が前記対物レンズを通過し、
    前記対物レンズは、Fθレンズであり、
    前記光源からの光は、1100±50nm、1310±50nm、又は、1550±100nmを中心波長とする光線であり、
    前記参照面は、下記関係式(3):
    n×WD>nd>n×Z max (3)
    (式中、nは参照部材の屈折率を表す。WDは、OCT装置の作動距離を表す。ndは参照部材の光学的厚さを表す。Z max は、下記関係式(2):
    max =c/(4δf) (2)
    (式中、cは光速、δfはOCT干渉信号サンプリングの周波数間隔を表す。)
    で表される計測可能距離を表す。)
    を満足する参照部材が有する平面であり、
    前記OCTは、周波数走査OCTである、
    光干渉断層撮影装置。
  2. 前記参照面と前記試料との距離を0~3cmとして前記断層撮影を行うことが可能なように構成されている請求項1に記載の光干渉断層撮影装置。
  3. 前記参照面は、MgF、CaF、石英及びサファイアからなる群より選択される少なくとも1種を含む参照部材が有する平面である請求項1又は2に記載の光干渉断層撮影装置。
  4. 前記試料光及び参照光の両方が、前記対物レンズを通過した前記光源からの光から生じる請求項1~3のいずれかに記載の光干渉断層撮影装置。
  5. 前記干渉は、フィゾー型干渉である請求項1~4のいずれかに記載の光干渉断層撮影装置。
  6. 更に、前記光源からの光を前記対物レンズの側に出力するとともに、前記対物レンズを通過した前記試料光及び参照光を、当該試料光及び参照光を検出する検出器の側に出力するサーキュレータを備える請求項1~5のいずれかに記載の光干渉断層撮影装置。
  7. 更に、前記光源からの光を、前記試料光及び参照光の生成に用いる分割光1と、干渉信号の直流成分の除去に用いる分割光2とに分割するカプラを備え、分割光1と分割光2との強度比が90:10~99:1である請求項1~6のいずれかに記載の光干渉断層撮影装置。
  8. 使用者が前記対物レンズを備える部分を携帯しながら前記断層撮影を行うことが可能なように構成されている請求項1~7のいずれかに記載の光干渉断層撮影装置。
  9. 携帯される前記対物レンズを備える部分と、携帯されない部分とが光ファイバーを介して接続されており、
    前記光源からの光並びに前記試料光及び参照光が前記光ファイバーを通じて伝送される請求項8に記載の光干渉断層撮影装置。
  10. 前記光ファイバーの長さが3m以上であり、携帯される前記対物レンズを備える部分の周囲の雰囲気と、前記携帯されない部分の周囲の雰囲気との温度差が1℃以上である場合に、得られる光干渉断層画像のずれが100μm以下である請求項9に記載の光干渉断層撮影装置。
  11. 請求項1~10のいずれかに記載の光干渉断層撮影装置を用いる光干渉断層撮影法。
JP2021152901A 2020-09-23 2021-09-21 光干渉断層撮影装置及び光干渉断層撮影法 Active JP7128430B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022095693A JP2022130471A (ja) 2020-09-23 2022-06-14 光干渉断層撮影装置及び光干渉断層撮影法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020158782 2020-09-23
JP2020158782 2020-09-23

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022095693A Division JP2022130471A (ja) 2020-09-23 2022-06-14 光干渉断層撮影装置及び光干渉断層撮影法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022052751A JP2022052751A (ja) 2022-04-04
JP7128430B2 true JP7128430B2 (ja) 2022-08-31

Family

ID=80845476

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021152901A Active JP7128430B2 (ja) 2020-09-23 2021-09-21 光干渉断層撮影装置及び光干渉断層撮影法
JP2022095693A Pending JP2022130471A (ja) 2020-09-23 2022-06-14 光干渉断層撮影装置及び光干渉断層撮影法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022095693A Pending JP2022130471A (ja) 2020-09-23 2022-06-14 光干渉断層撮影装置及び光干渉断層撮影法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20230228556A1 (ja)
EP (1) EP4220127A1 (ja)
JP (2) JP7128430B2 (ja)
KR (1) KR20230056764A (ja)
CN (1) CN116324380A (ja)
TW (1) TWI833116B (ja)
WO (1) WO2022065305A1 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001046321A (ja) 1999-08-09 2001-02-20 Asahi Optical Co Ltd 内視鏡装置
JP2001051225A (ja) 1999-08-10 2001-02-23 Asahi Optical Co Ltd ポリゴンミラー,走査光学系,及び内視鏡装置
JP2005249704A (ja) 2004-03-08 2005-09-15 Fujinon Corp 断層映像装置
JP2012528342A (ja) 2009-05-28 2012-11-12 アビンガー・インコーポレイテッド バイオイメージングのための光コヒーレンストモグラフィ
JP2014098555A (ja) 2011-03-09 2014-05-29 Panasonic Corp リサイクル樹脂判定装置、及び、リサイクル樹脂材料の製造装置
JP2015017968A (ja) 2013-06-13 2015-01-29 国立大学法人 新潟大学 レーザ走査型干渉計及び表面形状の計測方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006132995A (ja) * 2004-11-02 2006-05-25 Shiyoufuu:Kk 光コヒーレンストモグラフィー装置および計測ヘッド
JP5213835B2 (ja) 2009-11-17 2013-06-19 キヤノン株式会社 光干渉断層像の撮像方法および光干渉断層像の撮像装置
TWI465686B (zh) * 2013-01-17 2014-12-21 Univ Nat Yang Ming 平衡偵測光譜域光學同調斷層掃描系統
WO2017048832A1 (en) * 2015-09-14 2017-03-23 Thorlabs, Inc. Apparatus and methods for one or more wavelength swept lasers and the detection of signals thereof

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001046321A (ja) 1999-08-09 2001-02-20 Asahi Optical Co Ltd 内視鏡装置
JP2001051225A (ja) 1999-08-10 2001-02-23 Asahi Optical Co Ltd ポリゴンミラー,走査光学系,及び内視鏡装置
JP2005249704A (ja) 2004-03-08 2005-09-15 Fujinon Corp 断層映像装置
JP2012528342A (ja) 2009-05-28 2012-11-12 アビンガー・インコーポレイテッド バイオイメージングのための光コヒーレンストモグラフィ
JP2014098555A (ja) 2011-03-09 2014-05-29 Panasonic Corp リサイクル樹脂判定装置、及び、リサイクル樹脂材料の製造装置
JP2015017968A (ja) 2013-06-13 2015-01-29 国立大学法人 新潟大学 レーザ走査型干渉計及び表面形状の計測方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP4220127A1 (en) 2023-08-02
WO2022065305A1 (ja) 2022-03-31
JP2022052751A (ja) 2022-04-04
US20230228556A1 (en) 2023-07-20
KR20230056764A (ko) 2023-04-27
JP2022130471A (ja) 2022-09-06
TW202219457A (zh) 2022-05-16
TWI833116B (zh) 2024-02-21
CN116324380A (zh) 2023-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4423450B2 (ja) 新規の干渉計を用いた光学コヒーレンス断層撮影
Huber et al. Three-dimensional and C-mode OCT imaging with a compact, frequency swept laser source at 1300 nm
JP4916573B2 (ja) 光干渉計測方法および光干渉計測装置
US8921767B2 (en) Automatic calibration of fourier-domain optical coherence tomography systems
EP3250956B1 (en) Microscopy system with auto-focus adjustment by low-coherence interferometry
US20100302550A1 (en) Device and method for the optical measurement of relative distances
US20120013849A1 (en) Apparatus and method of monitoring and measurement using spectral low coherence interferometry
US20090268213A1 (en) Apparatus for measurement of the axial length of an eye
JP2013181790A (ja) 周波数走査型oct用サンプリングクロック発生装置の使用方法、周波数走査型oct用サンプリングクロック発生装置
CA2895878A1 (en) System and method for imaging subsurface of specimen
CA2951623C (en) Instantaneous time domain optical coherence tomography
EP2428154A1 (en) Optical characteristic measuring probe
Lengenfelder et al. Contact‐free endoscopic photoacoustic sensing using speckle analysis
Morel et al. Interferometric system based on swept source-optical coherence tomography scheme applied to the measurement of distances of industrial interest
Leahy et al. Multiple reference optical coherence tomography (MR-OCT) system
JP7128430B2 (ja) 光干渉断層撮影装置及び光干渉断層撮影法
Kim et al. Axial-scanning low-coherence interferometer method for noncontact thickness measurement of biological samples
Grajciar et al. High sensitive measurement of the human axial eye length in vivo with Fourier domain low coherence interferometry
Dufour et al. Surface inspection of hard to reach industrial parts using low-coherence interferometry
WO2023190865A1 (ja) 光干渉断層撮影装置、光干渉断層撮影システム、光干渉断層撮影法及び検査方法
JP2012242213A (ja) 光断層画像取得装置
Krstajić et al. Evaluation of a cheap ultrasonic stage for light source coherence function measurement, optical coherence tomography, optical coherence microscopy and dynamic focusing
Steenbergen Nikola Krstajić, Stephen Matcher, David Childs, Wiendelt
Eom et al. Calibration protocol for Fourier-domain OCT using optical fiber gratings
Ye et al. Study on Fabrication and Experimental Imaging for Optical Coherence Tomography

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210921

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211109

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220315

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220614

C60 Trial request (containing other claim documents, opposition documents)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60

Effective date: 20220614

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20220622

C21 Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21

Effective date: 20220628

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220719

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220801

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7128430

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151