JP7125338B2 - ozone generator - Google Patents

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本明細書が開示する技術は、オゾン発生装置に関する。 The technology disclosed in this specification relates to an ozone generator.

第１電極と、第１電極を内部に備えるとともに第１面を備えた第１誘電体と、を備える第１構造体と、第２電極と、第２電極を内部に備えるとともに第２面を備えた第２誘電体と、を備える第２構造体と、を備えるオゾン発生装置が知られている。このオゾン発生装置では、第１誘電体の第１面と第２誘電体の第２面とが対向するように第１構造体及び第２構造体が配置されている。第１電極及び第２電極の間に電圧を印加することで微小な柱状の放電が起こり、オゾンを発生させることができる。例えば、特許文献１に、オゾン発生装置が開示されている。 a first structure comprising a first electrode; a first dielectric having the first electrode therein and having a first surface; a second electrode; a second dielectric comprising; and a second structure comprising: an ozone generator is known. In this ozone generator, the first structure and the second structure are arranged such that the first surface of the first dielectric faces the second surface of the second dielectric. By applying a voltage between the first electrode and the second electrode, minute columnar discharge occurs and ozone can be generated. For example, Patent Literature 1 discloses an ozone generator.

特開２０１７－１６００９７号公報JP 2017-160097 A

上記のオゾン発生装置において、第１電極及び第２電極の間に電圧が印加されると、オゾンが発生するとともに発熱する。発熱量が多くなり、構造体間の温度が高くなりすぎると、熱分解等により、オゾン発生装置によるオゾンの生成効率が低下する。このため、オゾン発生装置が動作している時の発熱量が適切な範囲に収まるようにする必要がある。 In the ozone generator described above, when a voltage is applied between the first electrode and the second electrode, ozone is generated and heat is generated. If the amount of heat generated increases and the temperature between the structures becomes too high, the ozone generation efficiency of the ozone generator decreases due to thermal decomposition or the like. Therefore, it is necessary to keep the amount of heat generated during operation of the ozone generator within an appropriate range.

発熱量は、オゾン発生装置への投入電力に依存する。そして、投入電力は、放電が開始する電圧である放電開始電圧と、放電が発生したときに流れる電流である放電電流と、に依存する。このため、放電開始電圧及び放電電流を調整することができれば、投入電力を適切な値に調整することができる。放電開始電圧は、第１誘電体の第１面と第２誘電体の第２面との間の距離である構造体間距離に依存する。従って、構造体間距離を調整することによって、放電開始電圧を調整することができる。一方、放電電流は、単位面積当たりにおいて放電が発生する領域の数に対応する放電密度に依存する。上述のオゾン発生装置では、放電密度を調整することができない。このため、投入電力を適切に調整することができない。 The amount of heat generated depends on the power supplied to the ozone generator. The input power depends on the discharge start voltage, which is the voltage at which discharge starts, and the discharge current, which is the current that flows when the discharge occurs. Therefore, if the discharge start voltage and the discharge current can be adjusted, the applied power can be adjusted to an appropriate value. The firing voltage depends on the inter-structure distance, which is the distance between the first surface of the first dielectric and the second surface of the second dielectric. Therefore, the firing voltage can be adjusted by adjusting the inter-structure distance. On the other hand, the discharge current depends on the discharge density, which corresponds to the number of areas in which discharge occurs per unit area. The ozone generator described above cannot adjust the discharge density. For this reason, it is not possible to appropriately adjust the input power.

本明細書では、オゾンを効率的に供給可能な技術を提供する。 This specification provides a technique capable of supplying ozone efficiently.

本明細書が開示するオゾン発生装置の一実施形態は、第１電極と、前記第１電極を内部に備えるとともに第１面を備えた第１誘電体と、を備える第１構造体と、第２電極と、前記第２電極を内部に備えるとともに第２面を備えた第２誘電体と、を備える第２構造体と、を備える。前記第１誘電体の前記第１面と前記第２誘電体の前記第２面とが対向するように前記第１構造体と前記第２構造体とが配置されており、前記第１構造体は、前記第１電極の前記第２構造体と対向する第３の面よりも前記第２構造体側に、放電が誘起される複数の放電起点構造を備え、前記複数の放電起点構造の１平方センチメートル当たりの個数である密度Ｄと、前記第１面と前記第２面との間のセンチメートル単位の距離である構造体間距離Ｈと、が、２≦Ｄ＊Ｈ≦９を満足する。 An embodiment of an ozone generator disclosed herein comprises a first structure comprising a first electrode, a first dielectric having the first electrode therein and a first surface; A second structure comprising two electrodes and a second dielectric having the second electrode therein and having a second surface. The first structure and the second structure are arranged such that the first surface of the first dielectric and the second surface of the second dielectric face each other, and the first structure is provided with a plurality of discharge starting point structures in which discharge is induced on the second structure side of the third surface of the first electrode facing the second structure, and 1 square centimeter of the plurality of discharge starting point structures The density D, which is the number of hits, and the inter-structure distance H, which is the distance in centimeters between the first surface and the second surface, satisfy 2≦D*H≦9.

なお、密度Ｄは、放電電流に対応する指標であり、構造体間距離Ｈは、放電開始電圧に対応する指標である。従って、密度Ｄと構造体間距離Ｈとの積（Ｄ＊Ｈ）は、オゾン発生装置への投入電力に対応する指標となる。 The density D is an index corresponding to the discharge current, and the inter-structure distance H is an index corresponding to the firing voltage. Therefore, the product (D*H) of the density D and the inter-structure distance H is an index corresponding to the power supplied to the ozone generator.

上記の構成によれば、複数の放電起点構造が起点となって放電が起こり、放電起点構造が設けられていない領域では放電が発生しない。即ち、複数の放電起点構造の密度が、オゾン発生装置における放電密度に対応する。このため、複数の放電起点構造の密度を調整することで、放電電流を調整することができる。従って、放電開始電圧に対応する構造体間距離Ｈと、放電電流に対応する密度Ｄと、を調整することによってオゾン発生装置への投入電力を調整することができる。この結果、オゾン発生装置が動作している時の発熱量が大きくなりすぎることを抑制することができる。 According to the above configuration, discharge occurs starting from the plurality of discharge starting point structures, and discharge does not occur in areas where no discharge starting point structures are provided. That is, the density of the plurality of discharge starting point structures corresponds to the discharge density in the ozone generator. Therefore, the discharge current can be adjusted by adjusting the density of the plurality of discharge starting point structures. Therefore, by adjusting the inter-structure distance H corresponding to the discharge start voltage and the density D corresponding to the discharge current, the power supplied to the ozone generator can be adjusted. As a result, it is possible to prevent the amount of heat generated when the ozone generator is operating from becoming too large.

また、本発明者らは、密度Ｄと構造体間距離Ｈとの積が、２≦Ｄ＊Ｈ≦９を満足する場合に、オゾンが効率よく供給される、即ち、熱分解などによる影響が小さいことを見出した。従って、第１構造体に複数の放電起点構造を設けるとともに、密度Ｄと構造体間距離Ｈとの積が２≦Ｄ＊Ｈ≦９を満足するように、密度Ｄと構造体間距離Ｈを調整することで、オゾンをより効率よく供給することができる。 In addition, the present inventors found that when the product of the density D and the inter-structure distance H satisfies 2≦D*H≦9, ozone is efficiently supplied, that is, the influence of thermal decomposition and the like is minimized. I found something small. Therefore, a plurality of discharge starting point structures are provided in the first structure, and the density D and the inter-structure distance H are adjusted so that the product of the density D and the inter-structure distance H satisfies 2≦D*H≦9. By adjusting, ozone can be supplied more efficiently.

複数の放電起点構造は、第１誘電体よりも高い比誘電率を有する誘電体であり、複数の放電起点構造は、第１誘電体に設けられていてもよい。効果の詳細は実施例で説明する。 The plurality of discharge starting point structures may be a dielectric having a dielectric constant higher than that of the first dielectric, and the plurality of discharge starting point structures may be provided on the first dielectric. Details of the effect will be described in Examples.

複数の放電起点構造は、誘電体であり、複数の放電起点構造は、第１面上に配置されていてもよい。効果の詳細は実施例で説明する。 The plurality of discharge starting point structures may be dielectric, and the plurality of discharge starting point structures may be arranged on the first surface. Details of the effect will be described in Examples.

複数の放電起点構造は、導電体であり、複数の放電起点構造は、対向面上に設けられていてもよい。効果の詳細は実施例で説明する。 The plurality of discharge starting point structures may be conductors, and the plurality of discharge starting point structures may be provided on the facing surface. Details of the effect will be described in Examples.

第１実施例のオゾン発生装置１の模式断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of an ozone generator 1 of a first embodiment; FIG. 第１実施例のオゾン発生装置１の一部の斜視図である。1 is a perspective view of part of the ozone generator 1 of the first embodiment; FIG. 第１実施例に係る第１構造体１０の上面図である。1 is a top view of a first structure 10 according to a first example; FIG. 密度Ｄ及び構造体間距離Ｈと、オゾン生成能力と、の関係を示すグラフである。4 is a graph showing the relationship between density D, inter-structure distance H, and ozone generation capacity. 比較例のオゾン発生装置１０１の模式断面図である。It is a schematic cross section of the ozone generator 101 of a comparative example. 第２実施例のオゾン発生装置２０１の模式断面図である。It is a schematic cross section of the ozone generator 201 of 2nd Example. 第２実施例のオゾン発生装置２０１の一部の斜視図である。It is a perspective view of part of the ozone generator 201 of the second embodiment. 第３実施例のオゾン発生装置３０１の模式断面図である。It is a schematic cross section of the ozone generator 301 of 3rd Example. 第３実施例のオゾン発生装置３０１の一部の斜視図である。It is a perspective view of part of the ozone generator 301 of the third embodiment. 第４実施例のオゾン発生装置４０１の模式断面図である。It is a schematic cross section of the ozone generator 401 of 4th Example. 第５実施例のオゾン発生装置５０１の模式断面図である。It is a schematic cross section of the ozone generator 501 of 5th Example. 図１０のXI-XI線に沿った断面図である。11 is a cross-sectional view taken along line XI-XI of FIG. 10; FIG.

（オゾン発生装置１の構成）
図１に、本実施例のオゾン発生装置１の模式断面図を示す。なお、図１では、見易くするために、複数の放電起点構造１６、２６のハッチングを省略している。図２Ａに、図１のオゾン発生装置１の一部の斜視図を示す。なお、図２Ａでは、説明を分かり易くするために、第１電極１４の下面１４ｂ、及び、第２電極２４の上面２４ｂが、各誘電体１２、２２に覆われていない状態を示している。図１に示すように、オゾン発生装置１は、第１構造体１０と、第２構造体２０と、を備える。第１構造体１０は、第２構造体２０と対向するように配置されている。なお、図１では、ガス流路Ｐを点線の矢印で示している。 (Configuration of ozone generator 1)
In FIG. 1, the schematic cross section of the ozone generator 1 of a present Example is shown. In FIG. 1, hatching of the multiple discharge starting point structures 16 and 26 is omitted for easy viewing. FIG. 2A shows a perspective view of part of the ozone generator 1 of FIG. Note that FIG. 2A shows a state in which the lower surface 14b of the first electrode 14 and the upper surface 24b of the second electrode 24 are not covered with the dielectrics 12, 22 for the sake of easy understanding. As shown in FIG. 1, the ozone generator 1 includes a first structure 10 and a second structure 20. As shown in FIG. The first structure 10 is arranged to face the second structure 20 . In addition, in FIG. 1, the gas flow path P is indicated by a dotted arrow.

図１に示すように、第１構造体１０は、第１誘電体１２と、第１電極１４と、を備える。第１誘電体１２は、上面に第１面１２ａを備えた平板状の部材である。第１誘電体１２は、第１電極１４を内部に備えている。第１電極１４は、上面に第１対向面１４ａを備えた平板状の部材である。第１対向面１４ａは、第２構造体２０と対向する面である。第１構造体１０は、さらに、複数の放電起点構造１６を備えている。複数の放電起点構造１６は、第１誘電体１２に設けられている。複数の放電起点構造１６は、第１誘電体１２の比誘電率よりも高い比誘電率を有する誘電体である。複数の放電起点構造１６は、第１電極１４の第１対向面１４ａよりも第２構造体２０側（ｚ軸正方向側）に設けられている。本実施例において、複数の放電起点構造１６は、第１誘電体１２の第１面１２ａに露出している。図２Ａ、図２Ｂに示すように、放電起点構造１６は、第１構造体１０を上方（ｚ軸正方向）から見たときに、円形状を有する。また、図２Ｂに示すように、複数の放電起点構造１６は、距離Ｌを空けて等間隔に配置されている。 As shown in FIG. 1, the first structure 10 comprises a first dielectric 12 and a first electrode 14 . The first dielectric 12 is a plate-like member having a first surface 12a on its upper surface. The first dielectric 12 has a first electrode 14 therein. The first electrode 14 is a plate-like member having a first opposing surface 14a on its upper surface. The first facing surface 14 a is a surface facing the second structure 20 . The first structure 10 further includes a plurality of discharge starting point structures 16 . A plurality of discharge starting structures 16 are provided on the first dielectric 12 . The multiple discharge starting point structures 16 are dielectrics having a dielectric constant higher than that of the first dielectric 12 . The plurality of discharge starting point structures 16 are provided closer to the second structure 20 (positive z-axis direction) than the first facing surface 14 a of the first electrode 14 . In this embodiment, the multiple discharge starting structures 16 are exposed on the first surface 12 a of the first dielectric 12 . As shown in FIGS. 2A and 2B, the discharge starting structure 16 has a circular shape when the first structure 10 is viewed from above (in the positive z-axis direction). Further, as shown in FIG. 2B, the plurality of discharge starting point structures 16 are arranged at regular intervals with a distance L therebetween.

図１に示すように、第２構造体２０は、第２誘電体２２と、第２電極２４と、を備えている。第２誘電体２２は、下面に第２面２２ａを備えた平板状の部材である。第２構造体２０は、第２誘電体２２の第２面２２ａが第１誘電体１２の第１面１２ａと対向するように配置されている。第１構造体１０と第２構造体２０は、第１面１２ａと第２面２２ａとの間の上下方向（ｚ軸方向）の距離が、構造体間距離Ｈ［ｃｍ］となるように配置されている。複数の放電起点構造１６の数及び構造体間距離Ｈ［ｃｍ］は、１平方センチメートル当たりの放電起点構造１６の数である密度Ｄ［個／ｃｍ２］と、構造体間距離Ｈ［ｃｍ］と、の関係によって決定される。複数の放電起点構造１６の数及び構造体間距離Ｈ［ｃｍ］の決定方法については、後で詳しく説明する。第２誘電体２２は、第２電極２４を内部に備えている。第２電極２４は、下面に第２対向面２４ａを備えた板状の部材である。第２対向面２４ａは、第１誘電体１２の第１面１２ａ及び第１電極１４の第１対向面１４ａと対向する。第２構造体２０は、さらに、複数の放電起点構造２６を備えている。複数の放電起点構造２６は、第２誘電体２２に設けられている。複数の放電起点構造２６は、第２電極２４の第２対向面２４ａよりも第１構造体１０側（ｚ軸負方向側）に設けられている。複数の放電起点構造２６は、第２誘電体２２の比誘電率よりも高い比誘電率を有する誘電体である。複数の放電起点構造２６は、第２誘電体２２の第２面２２ａに露出している。放電起点構造２６は、第２構造体２０を下方（ｚ軸負方向）から見たときに、円形状を有する。第２構造体２０の複数の放電起点構造２６の数は、第１構造体１０の複数の放電起点構造１６の数と一致する。また、第２構造体２０の複数の放電起点構造２６の左右方向（ｘ軸方向）及び前後方向（ｙ軸方向）の位置は、第１構造体１０の複数の放電起点構造１６の左右方向及び前後方向の位置と一致するように配置されている。なお、複数の放電起点構造１６、２６の数及び構造体間距離Ｈ［ｃｍ］は、１平方センチメートル当たりの放電起点構造１６、２６の数である密度Ｄ［個／ｃｍ２］と、構造体間距離Ｈ［ｃｍ］と、の関係によって決定される。複数の放電起点構造１６、２６の数及び構造体間距離Ｈ［ｃｍ］の決定方法については、後で詳しく説明する。 As shown in FIG. 1, the second structure 20 comprises a second dielectric 22 and a second electrode 24 . The second dielectric 22 is a plate-like member having a second surface 22a on its lower surface. The second structure 20 is arranged such that the second surface 22 a of the second dielectric 22 faces the first surface 12 a of the first dielectric 12 . The first structure 10 and the second structure 20 are arranged such that the distance in the vertical direction (z-axis direction) between the first surface 12a and the second surface 22a is the distance H [cm] between the structures. It is The number of the plurality of discharge starting point structures 16 and the inter-structure distance H [cm] are the density D [pieces/cm 2 ], which is the number of the discharge starting point structures 16 per square centimeter, and the inter-structure distance H [cm]. , is determined by the relationship A method for determining the number of the plurality of discharge starting point structures 16 and the inter-structure distance H [cm] will be described later in detail. The second dielectric 22 has a second electrode 24 therein. The second electrode 24 is a plate-like member having a second facing surface 24a on its lower surface. The second opposing surface 24 a faces the first surface 12 a of the first dielectric 12 and the first opposing surface 14 a of the first electrode 14 . The second structure 20 further includes a plurality of discharge starting point structures 26 . A plurality of discharge starting structures 26 are provided on the second dielectric 22 . The plurality of discharge starting point structures 26 are provided on the first structure 10 side (z-axis negative direction side) with respect to the second facing surface 24 a of the second electrode 24 . The multiple discharge starting point structures 26 are dielectrics having a dielectric constant higher than that of the second dielectric 22 . A plurality of discharge starting structures 26 are exposed on the second surface 22 a of the second dielectric 22 . The discharge starting point structure 26 has a circular shape when the second structure 20 is viewed from below (z-axis negative direction). The number of the multiple discharge starting point structures 26 of the second structure 20 matches the number of the multiple discharge starting point structures 16 of the first structure 10 . Further, the positions of the plurality of discharge starting point structures 26 of the second structure 20 in the left-right direction (x-axis direction) and the front-rear direction (y-axis direction) correspond to the positions of the plurality of discharge starting point structures 16 of the first structure 10 in the left-right direction and It is arranged so as to match the position in the front-rear direction. In addition, the number of the plurality of discharge starting point structures 16 and 26 and the distance H [cm] between the structures are the density D [pieces/cm 2 ] which is the number of the discharge starting point structures 16 and 26 per square centimeter, and the distance between the structures It is determined by the relationship between the distance H [cm]. A method for determining the number of the plurality of discharge starting point structures 16 and 26 and the inter-structure distance H [cm] will be described later in detail.

また、オゾン発生装置１は、電圧印加部（図示省略）を備えている。電圧印加部は、第１電極１４と第２電極２４との間に電圧を印加する。本実施例では、第１電極１４が正極となり、第２電極２４が負極となる。第１電極１４には、第２電極２４よりも高電位の電圧が印加される。第１電極１４と第２電極２４との間に印加される電圧は、交流電圧あるいはパルス電圧である。第１電極１４と第２電極２４との間に印加される電圧は、例えば５［ｋＶ］である。また、印加する交流電圧の周波数（パルス電圧の場合は繰り返し周波数）は、１［ｋＨｚ］以上であることが望ましい。
本実施例では、交流電圧の周波数は４０［ｋＨｚ］である。なお、変形例では、第１電極１４が負極となり、第２電極２４が正極となってもよい。 The ozone generator 1 also includes a voltage applying section (not shown). The voltage applying section applies a voltage between the first electrode 14 and the second electrode 24 . In this embodiment, the first electrode 14 is the positive electrode and the second electrode 24 is the negative electrode. A voltage higher than that of the second electrode 24 is applied to the first electrode 14 . The voltage applied between the first electrode 14 and the second electrode 24 is alternating voltage or pulse voltage. A voltage applied between the first electrode 14 and the second electrode 24 is, for example, 5 [kV]. Also, the frequency of the AC voltage to be applied (repetition frequency in the case of pulse voltage) is preferably 1 [kHz] or more.
In this embodiment, the frequency of the AC voltage is 40 [kHz]. In addition, in a modification, the first electrode 14 may be the negative electrode and the second electrode 24 may be the positive electrode.

（オゾンの発生方法）
続いて、オゾン発生装置１によるオゾン発生方法について説明する。オゾン発生装置１には、オゾンの原料ガス（空気あるいは酸素ガス）を供給する原料ガス供給器（図示省略）が接続されている。原料ガス供給器から原料ガスがガス流路Ｐに供給されるとともに、５［ｋＶ］、４０［ｋＨｚ］の交流電圧がオゾン発生装置１に印加される。これにより、対向する第１電極１４と第２電極２４との間で、微小な柱状の放電が発生する。本実施例において、複数の放電起点構造１６、２６の比誘電率は、第１誘電体１２及び第２誘電体２２の比誘電率よりも高い。比誘電率が高い方が、放電が発生しやすい。即ち、放電起点構造１６、２６が配置されている領域は、放電起点構造１６、２６が配置されていない領域よりも、放電が発生しやすい領域である。従って、オゾン発生装置１において、第１電極１４と第２電極２４との間に電圧が印加されると、複数の放電起点構造１６、２６が起点となって放電が起こり、複数の放電起点構造１６、２６の間にストリーマ状放電柱が発生する。そして、ストリーマ状放電柱が発生した箇所でオゾンが発生する。発生したオゾンは原料ガスが継続的に供給されることで掃気され、外部に供給される。 (Method for generating ozone)
Next, a method for generating ozone by the ozone generator 1 will be described. The ozone generator 1 is connected to a source gas supply device (not shown) that supplies a source gas (air or oxygen gas) for ozone. A raw material gas is supplied to the gas flow path P from a raw material gas supplier, and an AC voltage of 5 [kV] and 40 [kHz] is applied to the ozone generator 1 . As a result, minute columnar discharge is generated between the first electrode 14 and the second electrode 24 facing each other. In this embodiment, the dielectric constants of the plurality of discharge starting point structures 16 and 26 are higher than the dielectric constants of the first dielectric 12 and the second dielectric 22 . Discharge is more likely to occur when the dielectric constant is higher. That is, the regions where the discharge starting point structures 16 and 26 are arranged are regions where discharge is more likely to occur than the regions where the discharge starting point structures 16 and 26 are not arranged. Therefore, in the ozone generator 1, when a voltage is applied between the first electrode 14 and the second electrode 24, discharge occurs starting from the plurality of discharge starting point structures 16, 26, and the plurality of discharge starting point structures A streamer-like discharge column is generated between 16 and 26 . Ozone is generated at the location where the streamer-like discharge column is generated. The generated ozone is scavenged by the continuous supply of the raw material gas and supplied to the outside.

（本実施例の効果）
本実施例に係るオゾン発生装置１の効果について説明する前に、比較例に係るオゾン発生装置１０１について説明する。図４に示すように、比較例のオゾン発生装置１０１は、複数の放電起点構造１６、２６を有さない点を除いて、オゾン発生装置１と同様の構造を有する。上述のように、比較例のオゾン発生装置１０１において、第１電極１４及び第２電極２４の間に電圧が印加されると、オゾンが発生するとともに発熱する。発熱量が多くなり、第１構造体１０と第２構造体２０と間の温度が高くなりすぎると、熱分解等により、オゾン発生装置１０１によるオゾンの生成効率が低下する。このため、オゾン発生装置１０１が動作している時の発熱量が適切な範囲に収まるようにする必要がある。オゾン発生装置１が動作している時の発熱量は、オゾン発生装置１０１への投入電力に依存する。そして、投入電力は、放電が開始する電圧である放電開始電圧と、放電が発生したときに流れる電流である放電電流と、に依存する。このため、放電開始電圧及び放電電流を調整することができれば、投入電力を適切な値に調整することができる。放電開始電圧は、第１誘電体１２の第１面１２ａと第２誘電体２２の第２面２２ａとの間の構造体間距離Ｈに依存する。従って、構造体間距離Ｈを調整することによって、放電開始電圧を調整することができる。一方、放電電流は、単位面積当たりにおいて放電が発生する領域の数に対応する放電密度に依存する。比較例のオゾン発生装置１０１では、放電起点構造１６、２６を有さないために、放電がランダムに発生する。即ち、放電が発生する領域の数を制御することができず、放電密度を調整することができない。従って、比較例のオゾン発生装置１０１では投入電力を適切に調整することができず、オゾンの生成効率が低下し得る。 (Effect of this embodiment)
Before explaining the effects of the ozone generator 1 according to the present embodiment, an ozone generator 101 according to a comparative example will be explained. As shown in FIG. 4 , the ozone generator 101 of the comparative example has the same structure as the ozone generator 1 except that it does not have the multiple discharge start point structures 16 and 26 . As described above, in the ozone generator 101 of the comparative example, when a voltage is applied between the first electrode 14 and the second electrode 24, ozone is generated and heat is generated. When the amount of heat generated increases and the temperature between the first structure 10 and the second structure 20 becomes too high, the ozone generation efficiency of the ozone generator 101 decreases due to thermal decomposition or the like. Therefore, it is necessary to keep the amount of heat generated during operation of the ozone generator 101 within an appropriate range. The amount of heat generated when the ozone generator 1 is operating depends on the power supplied to the ozone generator 101 . The input power depends on the discharge start voltage, which is the voltage at which discharge starts, and the discharge current, which is the current that flows when the discharge occurs. Therefore, if the discharge start voltage and the discharge current can be adjusted, the applied power can be adjusted to an appropriate value. The firing voltage depends on the inter-structure distance H between the first surface 12 a of the first dielectric 12 and the second surface 22 a of the second dielectric 22 . Therefore, by adjusting the inter-structure distance H, the firing voltage can be adjusted. On the other hand, the discharge current depends on the discharge density, which corresponds to the number of areas in which discharge occurs per unit area. Since the ozone generator 101 of the comparative example does not have the discharge starting point structures 16 and 26, discharge occurs randomly. That is, the number of areas where discharge occurs cannot be controlled, and the discharge density cannot be adjusted. Therefore, in the ozone generator 101 of the comparative example, the input power cannot be adjusted appropriately, and the efficiency of generating ozone may decrease.

そこで、図１に示すように、本実施例のオゾン発生装置１において、第１構造体１０は、第１誘電体１２の比誘電率よりも高い比誘電率を有する放電起点構造１６を備えている。このため、第１電極１４と第２電極２４との間に電圧が印加されると、複数の放電起点構造１６が起点となって放電が起こる。一方、放電起点構造１６が設けられていない領域では放電が発生しない。複数の放電起点構造１６が設けられている領域のみで放電が発生するため、放電起点構造１６の数が、放電が発生する領域の数と一致する。このため、放電起点構造１６の数（即ち密度Ｄ［個／ｃｍ２］）を調整することによって、放電密度を調整することができる。従って、放電開始電圧に対応する構造体間距離Ｈ［ｃｍ］と、放電電流に対応する密度Ｄ［個／ｃｍ２］と、を調整することによってオゾン発生装置１への投入電力を調整することができる。この結果、オゾン発生装置１が動作している時の発熱量が大きくなりすぎることを抑制することができる。 Therefore, as shown in FIG. 1, in the ozone generator 1 of this embodiment, the first structure 10 includes a discharge starting point structure 16 having a dielectric constant higher than that of the first dielectric 12. there is Therefore, when a voltage is applied between the first electrode 14 and the second electrode 24, discharge occurs with the plurality of discharge starting point structures 16 as starting points. On the other hand, no discharge occurs in the region where the discharge starting point structure 16 is not provided. Since discharge occurs only in the regions where the plurality of discharge starting point structures 16 are provided, the number of discharge starting point structures 16 matches the number of areas where discharge occurs. Therefore, the discharge density can be adjusted by adjusting the number of the discharge starting point structures 16 (that is, the density D [pieces/cm 2 ]). Therefore, the power supplied to the ozone generator 1 can be adjusted by adjusting the inter-structure distance H [cm] corresponding to the discharge starting voltage and the density D [pieces/cm 2 ] corresponding to the discharge current. can be done. As a result, it is possible to prevent the amount of heat generated when the ozone generator 1 is operating from becoming too large.

また、図３に示すように、本発明者らは、密度Ｄ［個／ｃｍ２］と構造体間距離Ｈ［ｃｍ］の積が、２≦Ｄ＊Ｈ≦９の領域Ｒ１にある場合に、オゾンが効率よく供給される、即ち、熱分解などによる影響が小さいことを見出した。図３の横軸は、密度Ｄ［個／ｃｍ２］と構造体間距離Ｈ［ｃｍ］の積を表わし、縦軸は、オゾンの生成能力を表わしている。オゾンの生成能力は、Ｄ＊Ｈが「２」であるときのオゾンの生成能力を基準（即ち「１」）とした値である。上述のように、密度Ｄ［個／ｃｍ２］は、放電電流に対応する指標であり、構造体間距離Ｈ［ｃｍ］は、放電開始電圧に対応する指標である。従って、Ｄ＊Ｈは、オゾン発生装置１への投入電力に対応する指標となる。 Further, as shown in FIG. 3, the present inventors found that when the product of the density D [pieces/cm 2 ] and the inter-structure distance H [cm] is in the region R1 where 2≦D*H≦9, , ozone is efficiently supplied, that is, the effect of thermal decomposition is small. The horizontal axis in FIG. 3 represents the product of the density D [pieces/cm 2 ] and the inter-structure distance H [cm], and the vertical axis represents the ozone generation capacity. The ozone generation capacity is a value based on the ozone generation capacity when D*H is "2" (that is, "1"). As described above, the density D [pieces/cm 2 ] is an index corresponding to the discharge current, and the inter-structure distance H [cm] is an index corresponding to the firing voltage. Therefore, D*H is an index corresponding to the power supplied to the ozone generator 1 .

図３に示すように、Ｄ＊Ｈが４以下の領域Ｒ３では、投入電力が大きくなるにつれて、オゾン生成能力が向上し、Ｄ＊Ｈが４よりも大きい領域Ｒ４では、投入電力が大きくなるにつれて、オゾン生成能力は低下する。これは、領域Ｒ３においては、投入電力が大きくなることによるオゾン生成能力の向上率が、投入電力が大きくなり、発熱量が大きくなることによるオゾン生成能力の低下率よりも大きく、領域Ｒ４においては、投入電力が大きくなることによるオゾン生成能力の向上率よりも、投入電力が大きくなり、発熱量が大きくなることによるオゾン生成能力の低下率が大きいためであると考えられる。なお、領域Ｒ４におけるオゾン生成能力の低下は、オゾン発生装置１の水冷性能、オゾン発生装置１の空冷性能、第１誘電体１２及び第２誘電体２２の熱伝導率、又は、オゾン発生装置１の熱容量等を高めても変化しない。即ち、図３に示されているＤ＊Ｈとオゾンの生成能力の関係は、本実施例のオゾン発生装置１とは異なる様々な種類のオゾン発生装置にも当てはまる。従って、第１構造体１０に複数の放電起点構造１６を設け、密度Ｄ［個／ｃｍ２］と構造体間距離Ｈ［ｃｍ］との積が、領域Ｒ１内に収まるようにすることで、オゾンをより効率よく供給することができる。例えば、構造体間距離Ｈ［ｃｍ］が０．０８［ｃｍ］である場合、１平方センチメートル当たりの放電起点構造１６の数を２５～１１２［個］にするとよい。なお、オゾンをより効率よく供給させるためには、密度Ｄ［個／ｃｍ２］と構造体間距離Ｈ［ｃｍ］との積が、領域Ｒ２（３≦Ｄ＊Ｈ≦６）内に収まるようにするとよい。 As shown in FIG. 3, in the region R3 where D*H is 4 or less, the ozone generation capacity improves as the input power increases, and in the region R4 where D*H is greater than 4, as the input power increases , the ozone generation capacity decreases. This is because, in the region R3, the rate of improvement of the ozone generation capacity due to an increase in the input power is greater than the rate of decrease in the ozone generation capacity due to an increase in the input power and the amount of heat generated, and in the region R4 This is probably because the rate of decrease in ozone generation capacity due to an increase in the amount of heat generated due to an increase in input power is greater than the rate of improvement in ozone generation capacity due to an increase in input power. It should be noted that the decrease in the ozone generation capacity in the region R4 is due to the water cooling performance of the ozone generator 1, the air cooling performance of the ozone generator 1, the thermal conductivity of the first dielectric 12 and the second dielectric 22, or the ozone generator 1. It does not change even if the heat capacity of is increased. That is, the relationship between D*H and ozone generation capacity shown in FIG. 3 also applies to various types of ozone generators different from the ozone generator 1 of this embodiment. Therefore, by providing a plurality of discharge starting point structures 16 in the first structure 10 so that the product of the density D [pieces/cm] and the distance H [cm] between the structures falls within the region R1, ozone can be supplied more efficiently. For example, when the inter-structure distance H [cm] is 0.08 [cm], the number of discharge starting point structures 16 per square centimeter should be 25 to 112 [pieces]. In order to supply ozone more efficiently, the product of the density D [pieces/cm] and the distance H [cm] between the structures should be within the region R2 (3≤D*H≤6). do it.

（第２実施例）
続いて、第２実施例のオゾン発生装置２０１について説明する。なお、以下では、実施例間で共通する構造については、同じ符号を付してその説明を省略する。本実施例では、複数の放電起点構造２１６、２２６が、第１実施例の放電起点構造１６、２６と異なる。 (Second embodiment)
Next, the ozone generator 201 of the second embodiment will be explained. In addition, below, the same code|symbol is attached|subjected about the structure which is common between Examples, and the description is abbreviate|omitted. In this embodiment, a plurality of discharge starting point structures 216, 226 are different from the discharge starting point structures 16, 26 of the first embodiment.

図５に示すように、複数の放電起点構造２１６は、第１誘電体１２の第１面１２ａ上に設けられている。複数の放電起点構造２１６は、第１誘電体１２と同じ材料からなる。即ち、複数の放電起点構造２１６の比誘電率は、第１誘電体１２の比誘電率と同じである。複数の放電起点構造２１６は、第１誘電体１２と一体に形成されてもよいし、別体に形成されてもよい。なお、変形例では、複数の放電起点構造２１６は、第１誘電体１２の比誘電率よりも高い比誘電率を有する誘電体であってもよい。放電起点構造２１６は、第１面１２ａから上方に突出している。図６に示すように、放電起点構造２１６は、円柱形状を有する。複数の放電起点構造２１６は、等間隔に離れて配置されている。 As shown in FIG. 5 , a plurality of discharge starting point structures 216 are provided on the first surface 12 a of the first dielectric 12 . The multiple discharge starting point structures 216 are made of the same material as the first dielectric 12 . That is, the relative permittivity of the plurality of discharge starting point structures 216 is the same as the relative permittivity of the first dielectric 12 . The plurality of discharge starting point structures 216 may be formed integrally with the first dielectric 12 or may be formed separately. Note that, in a modified example, the plurality of discharge starting point structures 216 may be a dielectric having a dielectric constant higher than that of the first dielectric 12 . The discharge starting structure 216 protrudes upward from the first surface 12a. As shown in FIG. 6, the discharge starting point structure 216 has a cylindrical shape. A plurality of discharge starting point structures 216 are arranged at regular intervals.

図５に示すように、複数の放電起点構造２２６は、第２誘電体２２の第２面２２ａ上に設けられている。複数の放電起点構造２２６は、第２誘電体２２と同じ材料からなる。従って、複数の放電起点構造２２６の比誘電率は、第２誘電体２２の比誘電率と同じである。放電起点構造２２６は、第２面２２ａから下方に突出している。複数の放電起点構造２２６の数は、複数の放電起点構造２１６の数と一致する。また、第２構造体２０の複数の放電起点構造２２６の左右方向（ｘ軸方向）及び前後方向（ｙ軸方向）の位置は、第１構造体１０の複数の放電起点構造２１６の左右方向及び前後方向の位置と一致するように配置されている。本実施例において、構造体間距離Ｈ［ｃｍ］は、第１構造体１０の複数の放電起点構造２１６と第２構造体２０の複数の放電起点構造２２６との間の距離である。 As shown in FIG. 5 , a plurality of discharge starting point structures 226 are provided on the second surface 22 a of the second dielectric 22 . The multiple discharge starting point structures 226 are made of the same material as the second dielectric 22 . Therefore, the relative permittivity of the plurality of discharge starting point structures 226 is the same as the relative permittivity of the second dielectric 22 . The discharge starting structure 226 protrudes downward from the second surface 22a. The number of multiple discharge starting point structures 226 matches the number of multiple discharge starting point structures 216 . Further, the positions of the plurality of discharge starting point structures 226 of the second structure 20 in the left-right direction (x-axis direction) and the front-rear direction (y-axis direction) correspond to the positions of the plurality of discharge starting point structures 216 of the first structure 10 in the left-right direction and the front-rear direction (y-axis direction). It is arranged so as to match the position in the front-rear direction. In this embodiment, the inter-structure distance H [cm] is the distance between the plurality of discharge starting point structures 216 of the first structure 10 and the plurality of discharge starting point structures 226 of the second structure 20 .

オゾン発生装置２０１において、第１電極１４と第２電極２４との間に電圧が印加されると、複数の放電起点構造２１６、２２６が起点となって放電が起こり、複数の放電起点構造２１６、２２６の間にストリーマ状放電柱が発生する。一方、放電起点構造２１６、２２６が設けられていない領域では放電が発生しない。このため、本実施例においても、複数の放電起点構造２１６の数を調整することによって、放電密度を調整することができる。従って、第１実施例と同様の効果を奏することができる。 In the ozone generator 201, when a voltage is applied between the first electrode 14 and the second electrode 24, discharge occurs starting from the plurality of discharge starting point structures 216 and 226, and the plurality of discharge starting point structures 216, 226 a streamer-like discharge column is generated. On the other hand, no discharge occurs in areas where the discharge starting point structures 216 and 226 are not provided. Therefore, also in this embodiment, the discharge density can be adjusted by adjusting the number of the plurality of discharge starting point structures 216 . Therefore, the same effects as in the first embodiment can be obtained.

（第３実施例）
続いて、第３実施例のオゾン発生装置３０１について説明する。本実施例では、複数の放電起点構造３１６、３２６が、第１実施例の放電起点構造１６、２６と異なる。 (Third embodiment)
Next, the ozone generator 301 of the third embodiment will be explained. In this embodiment, a plurality of discharge starting point structures 316, 326 are different from the discharge starting point structures 16, 26 of the first embodiment.

図７に示すように、複数の放電起点構造３１６は、第１電極１４の第１対向面１４ａ上に設けられている。複数の放電起点構造３１６は、導電体であり、第１電極１４と同じ材料からなる。複数の放電起点構造３１６は、第１電極１４と一体に形成されてもよいし、別体に形成されてもよい。放電起点構造３１６は、第１対向面１４ａから上方に突出している。図８に示すように、放電起点構造３１６は、円柱形状を有する。複数の放電起点構造３１６は、等間隔に離れて配置されている。 As shown in FIG. 7 , a plurality of discharge starting point structures 316 are provided on the first facing surface 14 a of the first electrode 14 . The multiple discharge starting point structures 316 are conductors and made of the same material as the first electrode 14 . The plurality of discharge starting point structures 316 may be formed integrally with the first electrode 14 or may be formed separately. The discharge starting structure 316 protrudes upward from the first opposing surface 14a. As shown in FIG. 8, the discharge starting point structure 316 has a cylindrical shape. A plurality of discharge starting point structures 316 are arranged at regular intervals.

図７に示すように、複数の放電起点構造３２６は、第２電極２４の第２対向面２４ａ上に設けられている。複数の放電起点構造３２６は、導電体であり、第２電極２４と同じ材料からなる。放電起点構造３２６は、第２対向面２４ａから下方に突出している。複数の放電起点構造３２６の数は、複数の放電起点構造３１６の数と一致する。また、第２構造体２０の複数の放電起点構造３２６の左右方向（ｘ軸方向）及び前後方向（ｙ軸方向）の位置は、第１構造体１０の複数の放電起点構造３１６の左右方向及び前後方向の位置と一致するように配置されている。 As shown in FIG. 7, the plurality of discharge starting point structures 326 are provided on the second facing surface 24a of the second electrode 24. As shown in FIG. The multiple discharge starting point structures 326 are conductors and made of the same material as the second electrode 24 . The discharge starting structure 326 protrudes downward from the second facing surface 24a. The number of multiple discharge starting point structures 326 matches the number of multiple discharge starting point structures 316 . Further, the positions of the plurality of discharge starting point structures 326 of the second structure 20 in the left-right direction (x-axis direction) and the front-rear direction (y-axis direction) correspond to the positions of the plurality of discharge starting point structures 316 of the first structure 10 in the left-right direction and the front-rear direction (y-axis direction). It is arranged so as to match the position in the front-rear direction.

上記の構成によると、オゾン発生装置３０１において、第１電極１４と第２電極２４との間に電圧が印加されると、オゾン発生装置３０１を平面視した時に、複数の放電起点構造３１６、３２６が形成されている領域の第１誘電体１２及び第２誘電体２２が起点となって放電が起こる。一方、オゾン発生装置３０１を平面視した時に、複数の放電起点構造３１６、３２６が設けられていない領域の第１誘電体１２及び第２誘電体２２との間には、放電が起こらない。このため、本実施例においても、複数の放電起点構造３１６の数を調整することによって、放電密度を調整することができる。従って、第１実施例と同様の効果を奏することができる。 According to the above configuration, in the ozone generator 301, when a voltage is applied between the first electrode 14 and the second electrode 24, when the ozone generator 301 is viewed from above, the plurality of discharge starting point structures 316, 326 Discharge occurs starting from the first dielectric 12 and the second dielectric 22 in the region where the is formed. On the other hand, when the ozone generator 301 is viewed from above, discharge does not occur between the first dielectric 12 and the second dielectric 22 in areas where the plurality of discharge starting point structures 316 and 326 are not provided. Therefore, also in this embodiment, the discharge density can be adjusted by adjusting the number of the plurality of discharge starting point structures 316 . Therefore, the same effects as in the first embodiment can be obtained.

（第４実施例）
続いて、第４実施例のオゾン発生装置４０１について説明する。第４実施例のオゾン発生装置４０１は、屈曲したガス流路Ｐ２を有する。 (Fourth embodiment)
Next, the ozone generator 401 of the fourth embodiment will be explained. The ozone generator 401 of the fourth embodiment has a curved gas flow path P2.

図９に示すように、第１構造体４１０は、上面に第１面４１２ａを備えた第１誘電体４１２と、第１電極１４と、を備えている。第１誘電体４１２は、第１貫通孔４１２ｂを備えている。第１貫通孔４１２ｂは、原料ガスの排出口である。第１構造体４１０は、さらに、複数の放電起点構造１６を備えている。また、第２構造体４２０は、下面に第２面４２２ａを備えた第２誘電体４２２と、第２電極２４と、を備えている。第２誘電体４２２は、第２貫通孔４２２ｂを備えている。第２貫通孔４２２ｂの左右方向及び前後方向の位置は、第１貫通孔４１２ｂの前後方向及び左右方向の位置とは異なる。第２貫通孔４２２ｂは、原料ガスの流入口である。第２構造体４２０は、さらに、複数の放電起点構造２６を備えている。 As shown in FIG. 9, the first structure 410 includes a first dielectric 412 having a first surface 412a on its upper surface, and a first electrode 14 . The first dielectric 412 has a first through hole 412b. The first through hole 412b is an outlet for the raw material gas. The first structure 410 further includes a plurality of discharge starting point structures 16 . Also, the second structure 420 includes a second dielectric 422 having a second surface 422 a on its lower surface, and a second electrode 24 . The second dielectric 422 has a second through hole 422b. The lateral and longitudinal positions of the second through hole 422b are different from the longitudinal and lateral positions of the first through hole 412b. The second through hole 422b is an inlet for the raw material gas. The second structure 420 further includes a plurality of discharge starting point structures 26 .

本実施例において、第２貫通孔４２２ｂからオゾン発生装置４０１に流入した原料ガスは、ガス流路Ｐ２に示すように、第１誘電体４１２の第１面４１２ａにぶつかり、屈曲し、その後、第１貫通孔４１２ｂから排出される。 In this embodiment, the raw material gas that has flowed into the ozone generator 401 from the second through-hole 422b collides with the first surface 412a of the first dielectric 412 as shown in the gas flow path P2, bends, and then 1 through hole 412b.

オゾン発生装置４０１において、第１電極１４と第２電極２４との間に電圧が印加されると、複数の放電起点構造１６、２６が起点となって放電が起こり、複数の放電起点構造１６、２６の間にストリーマ状放電柱が発生する。一方、放電起点構造１６、２６が設けられていない領域では放電が発生しない。このため、本実施例においても、複数の放電起点構造１６の数を調整することによって、放電密度を調整することができる。従って、第１実施例と同様の効果を奏することができる。 In the ozone generator 401, when a voltage is applied between the first electrode 14 and the second electrode 24, discharge occurs starting from the plurality of discharge starting point structures 16, 26, and the plurality of discharge starting point structures 16, 26 a stream-like discharge column is generated. On the other hand, discharge does not occur in areas where the discharge starting point structures 16 and 26 are not provided. Therefore, also in this embodiment, the discharge density can be adjusted by adjusting the number of the plurality of discharge starting point structures 16 . Therefore, the same effects as in the first embodiment can be obtained.

（第５実施例）
続いて、第５実施例のオゾン発生装置５０１について説明する。第５実施例のオゾン発生装置５０１は、円筒型のオゾン発生装置５０１である。 (Fifth embodiment)
Next, the ozone generator 501 of the fifth embodiment will be explained. The ozone generator 501 of the fifth embodiment is a cylindrical ozone generator 501 .

図１０、図１１に示すように、オゾン発生装置５０１は、第１構造体５１０と、第１構造体５１０の外側に配置される第２構造体５２０と、を備えている。第１構造体５１０は、第１誘電体５１２と、第１電極５１４と、を備える。第１誘電体５１２は、外周面である第１面５１２ａを備えた円筒状の部材である。第１誘電体５１２は、第１電極５１４を内部に備えている。第１電極５１４は、第２構造体５２０の内周面に対向する第１対向面５１４ａを備えた円筒状の部材である。第１構造体５１０は、さらに、複数の放電起点構造５１６を備えている。複数の放電起点構造５１６は、第１誘電体５１２に設けられている。複数の放電起点構造５１６は、第１誘電体５１２の比誘電率よりも高い比誘電率を有する誘電体である。複数の放電起点構造５１６は、第１電極５１４の第１対向面５１４ａよりも第２構造体５２０側（外側）に設けられている。本実施例において、複数の放電起点構造５１６は、第１誘電体５１２の第１面５１２ａに露出している。複数の放電起点構造５１６は、等間隔に離れて配置されている。 As shown in FIGS. 10 and 11 , the ozone generator 501 includes a first structure 510 and a second structure 520 arranged outside the first structure 510 . The first structure 510 comprises a first dielectric 512 and a first electrode 514 . The first dielectric 512 is a cylindrical member having a first surface 512a which is an outer peripheral surface. The first dielectric 512 has a first electrode 514 therein. The first electrode 514 is a cylindrical member having a first facing surface 514 a that faces the inner peripheral surface of the second structure 520 . The first structure 510 further comprises a plurality of discharge starting point structures 516 . A plurality of discharge starting structures 516 are provided on the first dielectric 512 . The multiple discharge starting point structures 516 are dielectrics having a dielectric constant higher than that of the first dielectric 512 . The plurality of discharge starting point structures 516 are provided on the second structure 520 side (outer side) than the first facing surface 514 a of the first electrode 514 . In this embodiment, the multiple discharge starting structures 516 are exposed on the first surface 512 a of the first dielectric 512 . A plurality of discharge starting point structures 516 are arranged at regular intervals.

第２構造体５２０は、第２誘電体５２２と、第２電極５２４と、を備えている。第２誘電体５２２は、内周面である第２面５２２ａを備えた円筒状の部材である。第１構造体５１０と第２構造体５２０は、第１面５１２ａと第２面５２２ａとの間の距離が、構造体間距離Ｈ［ｃｍ］となるように配置されている。第２誘電体５２２は、第２電極５２４を内部に備えている。第２電極５２４は、第１誘電体５１２の第１面５１２ａ及び第１電極５１４の第１対向面５１４ａと対向する第２対向面５２４ａを備えた円筒状の部材である。第２構造体５２０は、さらに、複数の放電起点構造５２６を備えている。複数の放電起点構造５２６は、第２誘電体５２２に設けられている。複数の放電起点構造５２６は、第２電極５２４の第２対向面５２４ａよりも第１構造体５１０側（内側）に設けられている。複数の放電起点構造５２６は、第２誘電体５２２の比誘電率よりも高い比誘電率を有する誘電体である。複数の放電起点構造５２６は、第２誘電体５２２の第２面５２２ａに露出している。第２構造体５２０の複数の放電起点構造５２６の数は、第１構造体５１０の複数の放電起点構造５１６の数と一致する。また、第２構造体５２０の複数の放電起点構造５２６は、第１構造体５１０の複数の放電起点構造５１６と対向するように配置されている。 The second structure 520 comprises a second dielectric 522 and a second electrode 524 . The second dielectric 522 is a cylindrical member having a second surface 522a that is an inner peripheral surface. The first structure 510 and the second structure 520 are arranged such that the distance between the first surface 512a and the second surface 522a is the inter-structure distance H [cm]. The second dielectric 522 has a second electrode 524 therein. The second electrode 524 is a cylindrical member having a second facing surface 524 a that faces the first surface 512 a of the first dielectric 512 and the first facing surface 514 a of the first electrode 514 . The second structure 520 further comprises a plurality of discharge starting point structures 526 . A plurality of discharge starting structures 526 are provided on the second dielectric 522 . The plurality of discharge starting point structures 526 are provided on the first structure 510 side (inner side) than the second facing surface 524 a of the second electrode 524 . The plurality of discharge starting point structures 526 are dielectrics having a dielectric constant higher than that of the second dielectric 522 . A plurality of discharge starting structures 526 are exposed on the second surface 522 a of the second dielectric 522 . The number of discharge starting structures 526 of the second structure 520 matches the number of discharge starting structures 516 of the first structure 510 . Moreover, the plurality of discharge starting point structures 526 of the second structure 520 are arranged so as to face the plurality of discharge starting point structures 516 of the first structure 510 .

オゾン発生装置５０１において、第１電極５１４と第２電極５２４との間に電圧が印加されると、複数の放電起点構造５１６、５２６が起点となって放電が起こり、複数の放電起点構造５１６、５２６の間にストリーマ状放電柱が発生する。一方、放電起点構造５１６、５２６が設けられていない領域では放電が発生しない。このため、本実施例においても、複数の放電起点構造５１６の数を調整することによって、放電密度を調整することができる。従って、第１実施例と同様の効果を奏することができる。 In the ozone generator 501, when a voltage is applied between the first electrode 514 and the second electrode 524, discharge occurs starting from the plurality of discharge starting point structures 516, 526, and the plurality of discharge starting point structures 516, During 526 a streamer discharge column is generated. On the other hand, no discharge occurs in regions where the discharge starting point structures 516 and 526 are not provided. Therefore, also in this embodiment, the discharge density can be adjusted by adjusting the number of the plurality of discharge starting point structures 516 . Therefore, the same effects as in the first embodiment can be obtained.

以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。 Although specific examples of the present invention have been described in detail above, these are merely examples and do not limit the scope of the claims. The technology described in the claims includes various modifications and changes of the specific examples illustrated above. The technical elements described in this specification or in the drawings exhibit technical usefulness alone or in various combinations, and are not limited to the combinations described in the claims as of the filing. In addition, the techniques exemplified in this specification or drawings can simultaneously achieve a plurality of purposes, and achieving one of them has technical utility in itself.

（第１変形例）各実施例において、複数の放電起点構造が第１構造体１０、４１０、５１０にのみ設けられていてもよい。 (First Modification) In each embodiment, a plurality of discharge starting point structures may be provided only in the first structures 10 , 410 , 510 .

（第２変形例）第１実施例において、複数の放電起点構造１６が、第１誘電体１２の内部に埋め込まれていてもよい。本変形例では、複数の放電起点構造１６は、第１誘電体１２の内部であって、第１誘電体１２の第１面１２ａと第１電極１４の第１対向面１４ａとの間に配置される。 (Second Modification) In the first embodiment, a plurality of discharge starting point structures 16 may be embedded inside the first dielectric 12 . In this modification, the plurality of discharge starting point structures 16 are arranged inside the first dielectric 12 and between the first surface 12a of the first dielectric 12 and the first opposing surface 14a of the first electrode 14. be done.

（第３変形例）各実施例において、オゾン発生装置を平面視した時の複数の放電起点構造の形状は、円形状に限定されない。オゾン発生装置を平面視した時の形状が、楕円、四角形等、任意の形状であってもよい。 (Third Modification) In each embodiment, the shape of the plurality of discharge starting point structures when the ozone generator is viewed from above is not limited to a circular shape. The shape of the ozone generator when viewed from above may be any shape such as an ellipse or a square.

（第４変形例）各実施例において、各放電起点構造が不等間隔に配置されていてもよい。 (Fourth Modification) In each embodiment, the discharge starting point structures may be arranged at irregular intervals.

１：オゾン発生装置、１０：第１構造体、１２：第１誘電体、１２ａ：第１面、１４：第１電極、１４ａ：第１対向面、１６：放電起点構造、２０：第２構造体、２２：第２誘電体、２２ａ：第２面、２４：第２電極、２４ａ：第２対向面、２６：放電起点構造 1: ozone generator, 10: first structure, 12: first dielectric, 12a: first surface, 14: first electrode, 14a: first opposing surface, 16: discharge starting point structure, 20: second structure body, 22: second dielectric, 22a: second surface, 24: second electrode, 24a: second opposing surface, 26: discharge starting point structure

Claims (2)

第１電極と、前記第１電極を内部に備えるとともに第１面を備えた第１誘電体と、を備える第１構造体と、
第２電極と、前記第２電極を内部に備えるとともに第２面を備えた第２誘電体と、を備える第２構造体と、
を備えるオゾン発生装置であって、
前記第１誘電体の前記第１面と前記第２誘電体の前記第２面とが対向するように前記第１構造体と前記第２構造体とが配置されており、
前記第１誘電体の前記第１面と前記第２誘電体の前記第２面は、平坦であり、
前記第１電極は、前記第２構造体と対向する対向面を備えており、
前記第１構造体は、前記対向面よりも前記第２構造体側に、放電が誘起される複数の放電起点構造を備え、
前記複数の放電起点構造は、前記第１誘電体よりも高い比誘電率を有する誘電体であり、
前記複数の放電起点構造は、前記第１誘電体に設けられており、
前記複数の放電起点構造の１平方センチメートル当たりの個数である密度Ｄと、前記第１面と前記第２面との間のセンチメートル単位の距離である構造体間距離Ｈと、が、
２≦Ｄ＊Ｈ≦９
を満足する、オゾン発生装置。 a first structure comprising a first electrode and a first dielectric including the first electrode therein and having a first surface;
a second structure comprising a second electrode and a second dielectric having the second electrode therein and a second surface;
An ozone generator comprising
the first structure and the second structure are arranged such that the first surface of the first dielectric and the second surface of the second dielectric face each other;
the first surface of the first dielectric and the second surface of the second dielectric are flat;
The first electrode has a facing surface facing the second structure,
The first structure includes a plurality of discharge starting point structures that induce discharge on the second structure side of the facing surface,
The plurality of discharge starting point structures are dielectrics having a dielectric constant higher than that of the first dielectric,
The plurality of discharge starting point structures are provided on the first dielectric,
The density D, which is the number of the plurality of discharge starting point structures per square centimeter, and the inter-structure distance H, which is the distance in centimeters between the first surface and the second surface,
2≤D*H≤9
An ozone generator that satisfies 第１電極と、前記第１電極を内部に備えるとともに第１面を備えた第１誘電体と、を備える第１構造体と、
第２電極と、前記第２電極を内部に備えるとともに第２面を備えた第２誘電体と、を備える第２構造体と、
を備えるオゾン発生装置であって、
前記第１誘電体の前記第１面と前記第２誘電体の前記第２面とが対向するように前記第１構造体と前記第２構造体とが配置されており、
前記第１誘電体の前記第１面と前記第２誘電体の前記第２面は、平坦であり、
前記第１電極は、前記第２構造体と対向する対向面を備えており、
前記第１構造体は、前記対向面よりも前記第２構造体側に、放電が誘起される複数の放電起点構造を備え、
前記複数の放電起点構造は、導電体であり、
前記複数の放電起点構造は、前記対向面上に設けられており、
前記複数の放電起点構造の１平方センチメートル当たりの個数である密度Ｄと、前記第１面と前記第２面との間のセンチメートル単位の距離である構造体間距離Ｈと、が、
２≦Ｄ＊Ｈ≦９
を満足する、オゾン発生装置。 a first structure comprising a first electrode and a first dielectric including the first electrode therein and having a first surface;
a second structure comprising a second electrode and a second dielectric having the second electrode therein and a second surface;
An ozone generator comprising
the first structure and the second structure are arranged such that the first surface of the first dielectric and the second surface of the second dielectric face each other;
the first surface of the first dielectric and the second surface of the second dielectric are flat;
The first electrode has a facing surface facing the second structure,
The first structure includes a plurality of discharge starting point structures that induce discharge on the second structure side of the facing surface,
The plurality of discharge starting point structures are conductors,
The plurality of discharge starting point structures are provided on the facing surface,
The density D, which is the number of the plurality of discharge starting point structures per square centimeter, and the inter-structure distance H, which is the distance in centimeters between the first surface and the second surface,
2≤D*H≤9
An ozone generator that satisfies
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