JP7124507B2 - レーザ加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、レーザ加工装置に関する。

従来、特許文献１に記載されているように、燃料噴射弁のような底部を有する被加工部材に孔を加工するレーザ加工装置が知られている。

特開２０１６－１７２２７２号公報

特許文献１の構成では、被加工部材の内面を保護するため、被加工部材の内側に設けられレーザ受光部が備えられている。レーザ受光部は、孔を通過するレーザを受光する。一方で、レーザによって被加工部材を加工するとき、レーザによって溶融および飛散した被加工部材の屑であるデブリが発生する。レーザ受光部に付着したデブリにレーザが照射されると、デブリが蒸発する。

特許文献１の構成では、レーザ受光部の表面が凹凸形状に形成されており、レーザ受光部の表面にデブリが付着しやすくなる。このため、デブリが蒸発する熱量が大きくなり、レーザ受光部の温度が上昇しやすくなる。このデブリの蒸発熱によって、レーザ受光部が損傷しやすくなり、レーザ受光部の交換の頻度が増加する虞がある。

本発明は、このような点に鑑みて創作されたものであり、その目的は、被加工部材を保護する部材の損傷を防止するレーザ加工装置を提供することにある。

本発明のレーザ加工装置（１１）は、底部（９４）を有する有底筒状の被加工部材（９１）に孔（９７）を加工する。レーザ加工装置は、プロテクタ（４０）、液体制御部（６０）およびレーザ照射部（７０）を備える。
プロテクタは、被加工部材の内側に設けられ、筒状に形成されており、底部側に第１開口部（４１）および底部とは反対側に第２開口部（４２）を有する。
液体制御部は、第２開口部を経由してプロテクタの内側に液体を供給可能であり、第２開口部を経由してプロテクタの内側に充填されている液体を排出可能である。
レーザ照射部は、底部およびプロテクタの内面（４０１）がレーザ照射線（Ｅ）上に位置するように、被加工部材の外側から底部に向かって、レーザを照射する。

本発明の第１の態様では、レーザ照射部は、レーザ照射線上に液体の液面（Ｌｓ）が位置しないように、被加工部材の外側から底部に向かって、レーザを照射する。
本発明の第２の態様では、液体制御部は、孔が加工されたとき、第１開口部から液体が流出するように、プロテクタの内側に液体を供給する量である液体供給量（Ｑｓ）を制御する。

レーザ照射部は、被加工部材の底部およびプロテクタの内面がレーザ照射線上に位置するように、レーザを照射する。これにより、被加工部材の内面が保護される。しかし、被加工部材がレーザにより加工されたとき、デブリが発生し、飛散する。そこで、液体制御部は、第２開口部を経由して、プロテクタの内側に液体Ｌを供給する。被加工部材がレーザにより加工されたとき、飛散したデブリは、プロテクタの内側に供給された液体に堆積または浮遊する。これにより、飛散したデブリがプロテクタの内面に付着することが抑制される。デブリの蒸発する熱量が小さくなり、デブリの蒸発熱によるプロテクタの損傷が防止される。

一実施形態によるレーザ加工装置によって加工されるノズルボディを備える燃料噴射弁の断面図。 図１のＩＩ部拡大図。 一実施形態によるレーザ加工装置の断面図。 図３のＩＶ部拡大図。 一実施形態によるレーザ加工装置の処理を説明するためのフローチャート。 一実施形態によるレーザ加工装置によってノズルボディに噴孔が加工されるときを説明するための拡大断面図。 一実施形態によるレーザ加工装置によってノズルボディに噴孔が加工されたときの拡大断面図。 一実施形態によるレーザ加工装置の液体制御部の処理を説明するための拡大断面図。 一実施形態によるレーザ加工装置の液体制御部の処理を説明するための拡大断面図。 他の実施形態によるレーザ加工装置におけるプロテクタの径方向におけるプロテクタの断面図。

以下、実施形態によるレーザ加工装置を図面に基づいて説明する。複数の実施形態の説明において、実質的に同一の構成には、同一の符号を付して説明する。本実施形態という場合、複数の実施形態を包括する。本実施形態のレーザ加工装置は、例えば、燃料噴射弁の加工に用いられる。まず、被加工部材としての燃料噴射弁について、説明する。

図１および図２に示すように、燃料噴射弁９０は、ノズルボディ９１、ニードル９２およびニードル駆動部９３を備える。ノズルボディ９１は、有底筒状に形成されており、底部９４、弁座９５、サック室９６および噴孔９７を有する。弁座９５は、底部９４の内面である。サック室９６は、ニードル９２と底部９４との間に区画形成されている。噴孔９７は、底部９４に形成されており、ノズルボディ９１の外部およびサック室９６に連通している。ニードル９２は、ノズルボディ９１に収容されており、ノズルボディ９１の軸方向に移動可能である。ニードル９２は、弁座９５に接触および離間可能に形成されている。ニードル駆動部９３は、外部から供給される電力によって、ニードル９２を駆動可能である。

ニードル駆動部９３によって、ニードル９２が弁座９５から離間したとき、ノズルボディ９１の内部に導入される燃料は、サック室９６を経由して、噴孔９７からノズルボディ９１の外部に噴射される。噴孔９７は、本実施形態のレーザ加工装置１１によって、加工される。

以下、図において、説明をわかりやすくするため、燃料噴射弁９０におけるノズルボディ９１の底部９４をレーザ加工装置１１によって加工する。また、ノズルボディ９１の底部９４を、便宜上、ワーク９９と適宜記載する。加工された底部９４は、ノズルボディ９１の本体と接合される。なお、レーザ加工装置１１によって、ノズルボディ９１の本体を直接加工してもよい。

（一実施形態）
図３に示すように、レーザ加工装置１１は、ワーク治具２０、プロテクタ治具３０、プロテクタ４０、レーザ照射部７０、液体回収部６０および液体制御部６５を備える。

ワーク治具２０は、筒状であって、金属で形成されており、ワーク９９を支持可能である。なお、ワーク治具２０は、金属で形成されることに限定されず、セラミックス等で形成されてもよい。また、ワーク治具２０は、プロテクタ治具３０が挿入可能となるように、形成されており、基台２１、ワーク台座２２およびワーク支持部２３を有する。

基台２１は、板状に形成されており、ワーク治具小内径部２１１、ワーク治具大内径部２１２、供給流路２１３、供給流路シール部材２１４および回収流路２１５を含む。

ワーク治具小内径部２１１は、ワーク治具２０がワーク９９を支持したときのワーク９９側に位置する基台２１の部位である。ワーク治具小内径部２１１は、ワーク治具小内径部穴２１６を含む。ワーク治具小内径部穴２１６は、ワーク台座穴２２１、ワーク治具大内径部穴２１７および回収流路２１５に連通するように、形成されている。また、ワーク治具小内径部穴２１６は、プロテクタ治具小外径部３１が挿入可能となるように、形成されている。

ワーク治具大内径部２１２は、ワーク治具２０がワーク９９を支持したときのワーク９９とは反対側に位置する基台２１の部位である。ワーク治具大内径部２１２は、ワーク治具大内径部穴２１７を含む。ワーク治具大内径部穴２１７は、ワーク治具２０の外部、ワーク治具小内径部穴２１６および供給流路２１３に連通している。また、ワーク治具大内径部穴２１７は、プロテクタ治具小外径部３１およびプロテクタ治具中外径部３２が挿入可能となるように、形成されている。

供給流路２１３は、ワーク治具大内径部２１２に形成されており、液体制御部６５に接続されている。供給流路２１３は、プロテクタ治具中外径部３２がワーク治具大内径部穴２１７に挿入されていないとき、ワーク治具大内径部穴２１７に連通する。供給流路２１３は、プロテクタ治具中外径部３２がワーク治具大内径部穴２１７に挿入されたとき、プロテクタ治具流路３２１に連通する。

供給流路シール部材２１４は、環状であって、ゴム等で形成されている。供給流路シール部材２１４は、ワーク治具２０にプロテクタ治具３０が挿入されたとき、プロテクタ治具中外径部３２に接触する。供給流路シール部材２１４がプロテクタ治具中外径部３２に接触したとき、供給流路シール部材２１４は、弾性変形する。供給流路シール部材２１４は、供給流路２１３とプロテクタ治具流路３２１との間の隙間を塞ぎ、供給流路２１３からプロテクタ治具流路３２１に流れる液体Ｌが外部に流出することを防止する。

回収流路２１５は、ワーク治具小内径部２１１に形成されており、液体回収部６０に接続されている。回収流路２１５は、ワーク治具小内径部穴２１６に連通している。図において、回収流路２１５を破線で模式的に記載している。

ワーク台座２２は、ワーク治具小内径部２１１に接続されており、ワーク９９を設置可能である。また、ワーク台座２２は、ワーク台座穴２２１を含む。ワーク台座穴２２１は、プロテクタ治具小外径部３１およびプロテクタ４０が挿入可能となるように、形成されている。

ワーク支持部２３は、ワーク治具小内径部２１１に接続されており、ねじ２３１等によよってワーク台座２２と嵌合されている。また、ワーク支持部２３は、ワーク台座２２に設置されたワーク９９を支持可能である。

プロテクタ治具３０は、棒状であって、金属で形成されている。なお、プロテクタ治具３０は、金属で形成されることに限定されず、セラミックス等で形成されてもよい。また、プロテクタ治具３０は、プロテクタ４０を挿入および支持可能であり、プロテクタ治具小外径部３１、プロテクタ治具中外径部３２、プロテクタ治具大外径部３３および取手部３４を有する。

プロテクタ治具小外径部３１は、径が比較的小さく形成されるプロテクタ治具３０の部位である。プロテクタ治具小外径部３１は、プロテクタ用穴３１１、ビス穴３１２およびビス３１３を含む。プロテクタ用穴３１１は、プロテクタ４０が挿入可能となるように、形成されている。プロテクタ用穴３１１にプロテクタ４０が挿入されたとき、プロテクタ治具３０は、プロテクタ４０を支持する。プロテクタ用穴３１１にプロテクタ４０が挿入されていないとき、プロテクタ用穴３１１は、ビス穴３１２に連通する。

ビス穴３１２は、プロテクタ治具小外径部３１の側部に形成されている。ビス穴３１２は、ビス３１３を挿入可能となるように、形成されている。プロテクタ用穴３１１にプロテクタ４０が挿入され、ビス穴３１２にビス３１３が挿入される。このとき、ビス３１３は、プロテクタ治具小外径部３１およびプロテクタ４０を固定する。

プロテクタ治具中外径部３２は、プロテクタ治具小外径部３１およびプロテクタ治具大外径部３３の間に部位である。プロテクタ治具中外径部３２は、プロテクタ治具小外径部３１の径よりもプロテクタ治具中外径部３２の径が大きく、プロテクタ治具大外径部３３の径よりもプロテクタ治具中外径部３２の径が小さくなるように、形成されている。また、プロテクタ治具中外径部３２は、プロテクタ治具流路３２１およびプロテクタ治具流路シール部材３２２を含む。

プロテクタ治具流路３２１は、Ｌ字形状の断面を有する。プロテクタ治具流路３２１は、プロテクタ用穴３１１にプロテクタ４０が挿入されていないとき、プロテクタ用穴３１１に連通する。また、プロテクタ治具流路３２１は、プロテクタ用穴３１１にプロテクタ４０が挿入されているとき、プロテクタ流路４３に連通する。

プロテクタ治具流路シール部材３２２は、供給流路シール部材２１４と同様に、環状であって、ゴム等で形成されている。プロテクタ治具流路シール部材３２２は、プロテクタ用穴３１１にプロテクタ４０が挿入されたとき、プロテクタ４０に接触する。プロテクタ治具流路シール部材３２２がプロテクタ４０に接触したとき、プロテクタ治具流路シール部材３２２は、弾性変形する。プロテクタ治具流路シール部材３２２は、プロテクタ治具流路３２１とプロテクタ流路４３との間の隙間を塞ぎ、プロテクタ治具流路３２１からプロテクタ流路４３に流れる液体Ｌが外部に流出することを防止する。

プロテクタ治具大外径部３３は、プロテクタ治具小外径部３１とは反対側に位置し、径が比較的大きく形成されるプロテクタ治具３０の部位である。
取手部３４は、プロテクタ治具大外径部３３に接続されており、人の手またはロボットハンド等が掴むことが可能となるように、形成されている。人またはロボットが取手部３４を掴み、ワーク治具２０にプロテクタ治具３０が挿入される。

プロテクタ４０は、筒状に形成されており、第１開口部４１、第２開口部４２およびプロテクタ流路４３を有する。プロテクタ４０は、例えば、耐熱性が比較的高いセラミックスで形成されている。また、プロテクタ４０は、プロテクタ治具３０に挿入されたとき、プロテクタ治具小外径部３１から突出している。

第１開口部４１は、プロテクタ４０の一端で開口する部位である。第１開口部４１は、ワーク９９が取り付けられたワーク治具２０に、プロテクタ４０が取り付けられたプロテクタ治具３０が挿入されたとき、第１開口部４１は、ワーク９９、すなわち、ノズルボディ９１の底部９４に対向する。ノズルボディ９１の底部９４に対向する第１開口部４１の端面をプロテクタ対向面４１１とする。また、プロテクタ４０の外径をプロテクタ外径Ｄｐとする。

図４に示すように、プロテクタ対向面４１１は、第２開口部４２から第１開口部４１に向かってプロテクタ外径Ｄｐが小さくなるように、プロテクタ４０の軸方向に対して対称に傾斜している。

図３に戻って、第２開口部４２は、プロテクタ４０の他端で開口する部位である。また、第２開口部４２は、プロテクタ４０がプロテクタ治具３０に挿入されたとき、プロテクタ治具小外径部３１およびプロテクタ治具中外径部３２に接触しつつ、プロテクタ治具流路３２１に連通する。

プロテクタ流路４３は、第１開口部４１および第２開口部４２の間に形成される流路である。プロテクタ４０がプロテクタ治具３０に挿入されたとき、プロテクタ流路４３は、第２開口部４２を介して、プロテクタ治具流路３２１に連通する。

プロテクタ治具３０がワーク治具２０に挿入されるとき、プロテクタ４０およびプロテクタ治具小外径部３１は、ワーク台座穴２２１、ワーク治具小内径部穴２１６およびワーク治具大内径部穴２１７を通過する。また、プロテクタ治具３０がワーク治具２０に挿入されるとき、プロテクタ治具中外径部３２は、ワーク治具大内径部穴２１７を通過する。このとき、ワーク治具小内径部２１１の段差面２１８およびワーク治具大内径部２１２の内側面２１９とプロテクタ治具中外径部３２の外面３２３とが係合する。さらに、このとき、ワーク治具大内径部２１２の端面２２０とプロテクタ治具大外径部３３の端面３３１とが係合する。ワーク治具小内径部２１１およびワーク治具大内径部２１２とプロテクタ治具中外径部３２との係合、ならびに、ワーク治具大内径部２１２とプロテクタ治具大外径部３３との係合により、ワーク治具２０およびプロテクタ治具３０が固定される。

レーザ照射部７０は、ノズルボディ９１の外側からノズルボディ９１の底部９４に向かって、レーザを照射可能である。また、レーザ照射部７０は、ノズルボディ９１の底部９４およびプロテクタ４０の内面であるプロテクタ内面４０１がレーザ照射線Ｅ上に位置するように、レーザを照射する。照射されたレーザは、集光レンズ７１によって集光され、ノズルボディ９１の底部９４に照射される。図において、レーザ照射線Ｅを二点鎖線で記載している。また、図３において、噴孔９７が形成される位置を破線で示している。

液体回収部６０は、ポンプ等を有し、回収流路２１５に接続されている。液体回収部６０は、第１開口部４１およびワーク治具小内径部穴２１６を経由して、流出した液体Ｌを回収可能である。

液体制御部６５は、マイコンを主体として構成されており、ＣＰＵ、読み出し可能な非一時的有形記録媒体、ＲＯＭ、Ｉ／Ｏ、および、これらの構成を接続するバスライン等を備えている。液体制御部６５の各処理は、ＲＯＭ等の実体的なメモリ装置に予め記憶されたプログラムをＣＰＵで実行することによるソフトウェア処理であってもよいし、専用の電子回路によるハードウェア処理であってもよい。

また、液体制御部６５は、図示はしないが、ポンプ、流量センサおよび液面位置センサを有する。ポンプは、供給流路２１３に接続されている。流量センサは、ポンプが液体Ｌを供給する量を検出可能である。液面位置センサは、液体Ｌの液面Ｌｓの位置を検出可能である。液体Ｌは、例えば、水または油である。また、液体Ｌは、沸点が比較的高く、粘性が比較的小さいものが好ましい。

液体制御部６５は、供給流路２１３、プロテクタ治具流路３２１、第２開口部４２およびプロテクタ流路４３を経由して、プロテクタ４０の内側に液体Ｌを供給可能である。液体制御部６５は、例えば、ポンプによって、液体Ｌを供給する。プロテクタ４０の内側に液体Ｌを供給する量を液体供給量Ｑｓとする。

さらに、液体制御部６５は、プロテクタ流路４３、第２開口部４２、プロテクタ治具流路３２１および供給流路２１３を経由して、プロテクタ４０の内側に充填されている液体Ｌを排出可能である。液体制御部６５は、例えば、ポンプによって、液体Ｌを排出する。なお、排出孔および排出弁がワーク治具２０に設けられており、排出弁を開閉することによって、液体Ｌが排出孔から直接排出されてもよい。プロテクタ４０の内側に充填されている液体Ｌを排出する量を液体排出量Ｑｅとする。

初期状態では、液体制御部６５は、液体Ｌの液面Ｌｓがレーザ照射線Ｅの外側に位置するように、液体供給量Ｑｓまたは液体排出量Ｑｅを制御する。レーザ照射部７０によりレーザの照射が完了し、ノズルボディ９１の底部９４に噴孔９７が加工されたとき、液体制御部６５は、第１開口部４１から液体Ｌが流出するように、液体供給量Ｑｓを制御する。第１開口部４１から流出した液体Ｌは、レーザによって溶融および飛散した被加工部材の屑であるデブリとともにワーク治具小内径部穴２１６および回収流路２１５を経由して、液体回収部６０に回収される。液体回収部６０によって液体Ｌが回収されたとき、液体制御部６５は、液体Ｌの液面Ｌｓがレーザ照射線Ｅの外側に位置するように、液体供給量Ｑｓまたは液体排出量Ｑｅを制御する。その後、初期状態に戻る。

特許文献１の構成では、被加工部材の内面を保護するため、被加工部材の内側に設けられレーザ受光部が備えられている。レーザ受光部は、孔を通過するレーザを受光する。一方で、レーザによって被加工部材を加工するとき、レーザによって溶融および飛散した被加工部材の屑であるデブリが発生する。レーザ受光部に付着したデブリにレーザが照射されると、デブリが蒸発する。

特許文献１の構成では、レーザ受光部の表面が凹凸形状に形成されており、レーザ受光部の表面にデブリが付着しやすくなる。このため、デブリが蒸発する熱量が大きくなり、レーザ受光部の温度が上昇しやすくなる。このデブリの蒸発熱によって、レーザ受光部が損傷しやすくなり、レーザ受光部の交換の頻度が増加する虞がある。そこで、本実施形態のレーザ加工装置１１では、プロテクタ４０の損傷を防止する。

図５のフローチャートを参照して、レーザ加工装置１１の処理について説明する。フローチャートにおいて、「Ｓ」は、ステップを意味する。初期状態では、液体Ｌの液面Ｌｓがレーザ照射線Ｅ上に位置しないように、液体Ｌは、供給流路２１３、プロテクタ治具流路３２１、第２開口部４２およびプロテクタ流路４３を経由して供給されており、プロテクタ４０の内側に充填されている。

ステップ１０１において、図６に示すように、レーザ照射部７０は、ノズルボディ９１の底部９４およびプロテクタ内面４０１がレーザ照射線Ｅ上に位置するように、ノズルボディ９１の底部９４の外側からレーザを照射する。照射されたレーザによって、噴孔９７が加工される。

ステップ１０２において、図７に示すように、照射されたレーザによって、プロテクタ４０の内側の液体Ｌが蒸発し、プロテクタ４０の内側に充填された液体Ｌの量が減少する。図７において、初期状態における液体Ｌの液面Ｌｓの位置を破線で記載する。

ステップ１０３において、図８に示すように、液体制御部６５は、第１開口部４１から液体Ｌが流出するように、液体供給量Ｑｓを制御する。このとき、プロテクタ４０の内側の液体Ｌの液面Ｌｓは、第１開口部４１の端面に位置する。第１開口部４１から流出した液体Ｌは、液体回収部６０に回収される。

ステップ１０４において、図９に示すように、ステップ１０１での加工とは異なる噴孔９７が加工可能となるように、ワーク治具２０およびプロテクタ治具３０またはレーザ照射部７０が移動する。このとき、液体制御部６５は、レーザ照射線Ｅ上に液体Ｌの液面Ｌｓが位置しないように、液体排出量Ｑｅを制御する。その後、ステップ１０１に戻り、処理が繰り返される。

［１］レーザ照射部７０は、ノズルボディ９１の底部９４およびプロテクタ内面４０１がレーザ照射線Ｅ上に位置するように、レーザを照射する。これにより、ノズルボディ９１の底部９４の内面が保護される。しかし、ノズルボディ９１の底部９４がレーザにより加工されたとき、デブリが発生し、飛散する。

そこで、液体制御部６５は、第２開口部４２を経由して、プロテクタ４０の内側に液体Ｌを供給する。ノズルボディ９１の底部９４がレーザにより加工されたとき、飛散したデブリは、プロテクタ４０の内側に供給された液体Ｌに堆積または浮遊する。これにより、飛散したデブリがプロテクタ内面４０１に付着することが抑制される。デブリの蒸発する熱量が小さくなり、デブリの蒸発熱によるプロテクタ４０の損傷が防止され、プロテクタ４０の交換の頻度が減少する。

［２］液体制御部６５は、レーザ照射部７０によるレーザの照射完了後、すなわち、噴孔９７が加工されたとき、第１開口部４１から液体Ｌが流出するように、液体供給量Ｑｓを制御する。第１開口部４１から液体Ｌが流出することによって、プロテクタ内面４０１の全面を液体Ｌが通過するため、飛散したデブリは、液体Ｌ中に浮遊しやすくなる。これにより、飛散したデブリがプロテクタ内面４０１に付着することがさらに抑制される。

［３］第１開口部４１から流出する液体Ｌは、プロテクタ対向面４１１に沿って流れる。そこで、プロテクタ対向面４１１は、第２開口部４２から第１開口部４１に向かってプロテクタ４０の径が小さくなるように、プロテクタ４０の軸方向に対して対称に傾斜している。これにより、第１開口部４１から液体Ｌが流れやすくなる。このため、液体Ｌ中に浮遊するデブリが流出されやすくなり、液体回収部６０は、第１開口部４１から流出する液体Ｌおよびデブリを回収しやすくなる。したがって、レーザ加工装置１１の洗浄がしやすくなる。

［４］ノズルボディ９１の外側から照射されたレーザのレーザ照射線Ｅが液体Ｌを通過すると、液体Ｌの液面Ｌｓで、レーザが反射することがある。液体Ｌの液面Ｌｓでレーザが反射したとき、反射したレーザによってノズルボディ９１の底部９４の内面が損傷する虞がある。

そこで、レーザ照射部７０は、レーザ照射線Ｅ上に液体Ｌの液面Ｌｓが位置しないように、レーザを照射する。また、液体制御部６５は、液体回収部６０が液体Ｌを回収したとき、レーザ照射線Ｅ上に液体Ｌの液面Ｌｓが位置しないように、液体排出量Ｑｅを制御する。これにより、ノズルボディ９１の底部９４の損傷がより防止される。

（他の実施形態）
［ｉ］図１０に示すように、プロテクタ対向面４１１に、プロテクタ４０の径方向内側から外側に連通する溝４１２が形成されてもよい。溝４１２は、プロテクタ４０の周方向に所定の間隔で複数形成されている。これにより、第１開口部４１から液体Ｌが流出しやすくなり、上記［３］と同様の効果を奏する。

以上、本発明はこのような実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の形態で実施することができる。

１１ ・・・レーザ加工装置、
４０ ・・・プロテクタ、 ４０１ ・・・プロテクタ内面、
４１ ・・・第１開口部、
４２ ・・・第２開口部、
６０ ・・・液体制御部、
７０ ・・・レーザ照射部、
９１ ・・・ノズルボディ（被加工部材）、 ９４ ・・・底部、
９７ ・・・噴孔（孔）。

Claims (6)

1. 底部（９４）を有する有底筒状の被加工部材（９１）に孔（９７）を加工するレーザ加工装置（１１）であって、
   前記被加工部材の内側に設けられ、筒状に形成されており、前記底部側に第１開口部（４１）および前記底部とは反対側に第２開口部（４２）を有するプロテクタ（４０）と、
   前記第２開口部を経由して前記プロテクタの内側に液体を供給可能であり、前記第２開口部を経由して前記プロテクタの内側に充填されている液体を排出可能な液体制御部（６０）と、
   前記底部および前記プロテクタの内面（４０１）がレーザ照射線（Ｅ）上に位置するように、前記被加工部材の外側から前記底部に向かって、レーザを照射するレーザ照射部（５０）と、
   を備え、
   前記レーザ照射部は、前記レーザ照射線上に液体の液面（Ｌｓ）が位置しないように、前記被加工部材の外側から前記底部に向かって、レーザを照射するレーザ加工装置。
2. 前記液体制御部は、前記孔が加工されたとき、前記第１開口部から液体が流出するように、前記プロテクタの内側に液体を供給する量である液体供給量（Ｑｓ）を制御する請求項１に記載のレーザ加工装置。
3. 底部（９４）を有する有底筒状の被加工部材（９１）に孔（９７）を加工するレーザ加工装置（１１）であって、
   前記被加工部材の内側に設けられ、筒状に形成されており、前記底部側に第１開口部（４１）および前記底部とは反対側に第２開口部（４２）を有するプロテクタ（４０）と、
   前記第２開口部を経由して前記プロテクタの内側に液体を供給可能であり、前記第２開口部を経由して前記プロテクタの内側に充填されている液体を排出可能な液体制御部（６０）と、
   前記底部および前記プロテクタの内面（４０１）がレーザ照射線（Ｅ）上に位置するように、前記被加工部材の外側から前記底部に向かって、レーザを照射するレーザ照射部（５０）と、
   を備え、
   前記液体制御部は、前記孔が加工されたとき、前記第１開口部から液体が流出するように、前記プロテクタの内側に液体を供給する量である液体供給量（Ｑｓ）を制御するレーザ加工装置。
4. 前記第１開口部は、前記底部に対向し、前記第２開口部から前記第１開口部に向かって前記プロテクタの径（Ｄｐ）が小さくなるように、前記プロテクタの軸方向に対して対称に傾斜している対向面（４１１）を含む請求項２又は３に記載のレーザ加工装置。
5. 前記第１開口部から流出した液体を回収可能な液体回収部（６５）をさらに備える請求項２～４のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
6. 前記液体制御部は、前記液体回収部が液体を回収したとき、前記レーザ照射線上に、液体の液面（Ｌｓ）が位置しないように、前記プロテクタの内側に充填されている液体を排出する量である液体排出量（Ｑｅ）を制御する請求項５に記載のレーザ加工装置。

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