JP7117584B2 - 三次元形状造形物の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、三次元形状造形物の製造方法に関する。

光ビームを粉末材料に照射することを通じて三次元形状造形物を製造する方法（一般的には「粉末床溶融結合法」と称される）は、従来より知られている。かかる方法は、以下の工程（ｉ）および（ｉｉ）に基づいて粉末層形成と固化層形成とを交互に繰り返し実施して三次元形状造形物を製造する。
（ｉ）粉末層の所定箇所に光ビームを照射し、かかる所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程。
（ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、同様に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程。

このような製造技術に従えば、複雑な三次元形状造形物を短時間で製造することが可能となる。粉末材料として無機質の金属粉末を用いる場合、得られる三次元形状造形物を金型として使用することができる。一方、粉末材料として有機質の樹脂粉末を用いる場合、得られる三次元形状造形物を各種モデルとして使用することができる。

粉末材料として金属粉末を用い、それによって得られる三次元形状造形物を金型として使用する場合を例にとる。図１１に示すように、まず、スキージング・ブレード２３を動かして造形プレート２１上に所定厚みの粉末層２２を形成する（図１１（ａ）参照）。次いで、粉末層２２の所定箇所に光ビームＬを照射して粉末層２２から固化層２４を形成する（図１１（ｂ）参照）。引き続いて、得られた固化層の上に新たな粉末層を形成して再度光ビームを照射して新たな固化層を形成する。このようにして粉末層形成と固化層形成とを交互に繰り返し実施すると固化層２４が積層することになり（図１１（ｃ）参照）、最終的には積層化した固化層２４から成る三次元形状造形物を得ることができる。最下層として形成される固化層２４は造形プレート２１と結合した状態になるので、三次元形状造形物と造形プレート２１とは一体化物を成すことになり、その一体化物を金型として使用できる。

特開平８－２８１８０７号公報

ここで、上記の粉末床溶融結合法では、光ビームＬ’が照射される粉末層２２’の照射箇所が焼結現象または溶融固化現象などを経ることによって固化層２４’となる（図１４（ａ）参照）。かかる固化層２４’の形成に際しては粉末１９’間の空隙が減じられること等に起因して収縮応力が生じ得る。その結果、三次元形状造形物とその土台となる造形プレート２１’との一体化物には反り変形が生じ易くなる（図１４（ｂ）参照）。反り変形が生じると、所望形状を有する三次元形状造形物を得るための後加工が必要となる。その結果、所望形状を有する三次元形状造形物の製造時間を要する（図１４（ｃ）参照）。

本発明は、かかる事情に鑑みて為されたものである。すなわち、本発明の目的は、所望形状を有する三次元形状造形物の製造時間を短縮可能な三次元形状造形物の製造方法を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明の一実施形態では、
（ｉ）造形プレート上に形成する粉末層の所定箇所に光ビームを照射して該所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、および
（ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、該新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程
により粉末層および固化層を交互に繰り返して積層させることで、三次元形状造形物を製造する方法であって、
少なくとも前記造形プレートが冷却媒体を流すための冷却媒体路を内部に有して成る、三次元形状造形物の製造方法が提供される。

本発明の一実施形態によれば、所望形状を有する三次元形状造形物の製造時間を短縮可能である。

本発明の技術的思想を模式的に示した断面図 冷却媒体路として、造形プレート側冷却媒体路および造形テーブル側冷却媒体路を有して成るものを用いる態様の模式図 造形テーブルとして、少なくとも造形テーブルの上面に相互に離隔配置される複数の開口部を有して成るものを用いる態様の模式図 開口部に栓部材を挿入する態様の模式図 造形テーブルの複数の開口部の各々にＯリングを供する態様の模式図 造形テーブルとして、径寸法の異なる少なくとも２種類の造形テーブル側冷却媒体路を内部に有して成るものを用いる態様の模式図 造形テーブルとして、径寸法の異なる少なくとも２種類の造形テーブル側冷却媒体路を内部に有して成るものを用いる態様の模式図 断面視で傾斜形態を成す造形テーブル側サブ冷却媒体路を用いる態様の模式図 造形テーブル上に少なくとも２つの造形プレートを固定する態様の模式図 平面視で円弧状形態の造形テーブル側冷却媒体路を有して成る造形テーブルの模式図 粉末床溶融結合法が実施される光造形複合加工のプロセス態様を模式的に示した断面図（図１１（ａ）：粉末層形成時、図１１（ｂ）：固化層形成時、図１１（ｃ）：積層途中） 光造形複合加工機の構成を模式的に示した斜視図 光造形複合加工機の一般的な動作を示すフローチャート 本願の技術的課題を示した模式図

以下では、図面を参照して本発明の一実施形態をより詳細に説明する。図面における各種要素の形態および寸法は、あくまでも例示にすぎず、実際の形態および寸法を反映するものではない。

本明細書において「粉末層」とは、例えば「金属粉末から成る金属粉末層」または「樹脂粉末から成る樹脂粉末層」を意味している。また「粉末層の所定箇所」とは、製造される三次元形状造形物の領域を実質的に指している。従って、かかる所定箇所に存在する粉末に対して光ビームを照射することによって、その粉末が焼結又は溶融固化して三次元形状造形物を構成することになる。更に「固化層」とは、粉末層が金属粉末層である場合には「焼結層」を意味し、粉末層が樹脂粉末層である場合には「硬化層」を意味している。

また、本明細書で直接的または間接的に説明される“上下”の方向は、例えば造形プレートと三次元形状造形物との位置関係に基づく方向であって、造形プレートを基準にして三次元形状造形物が製造される側を「上方向」とし、その反対側を「下方向」とする。

［粉末床溶融結合法］
まず、本発明の製造方法の前提となる粉末床溶融結合法について説明する。特に粉末床溶融結合法において三次元形状造形物の切削処理を付加的に行う光造形複合加工を例として挙げる。図１１は、光造形複合加工のプロセス態様を模式的に示しており、図１２および図１３は、粉末床溶融結合法と切削処理とを実施できる光造形複合加工機の主たる構成および動作のフローチャートをそれぞれ示している。

光造形複合加工機１は、図１２に示すように、粉末層形成手段２、光ビーム照射手段３および切削手段４を備えている。

粉末層形成手段２は、金属粉末または樹脂粉末などの粉末を所定厚みで敷くことによって粉末層を形成するための手段である。光ビーム照射手段３は、粉末層の所定箇所に光ビームＬを照射するための手段である。切削手段４は、積層化した固化層の表面、すなわち、三次元形状造形物の表面を削るための手段である。

粉末層形成手段２は、図１１に示すように、粉末テーブル２５、スキージング・ブレード２３、造形テーブル２０および造形プレート２１を主に有して成る。粉末テーブル２５は、外周が壁２６で囲まれた粉末材料タンク２８内にて上下に昇降できるテーブルである。スキージング・ブレード２３は、粉末テーブル２５上の粉末１９を造形テーブル２０上へと供して粉末層２２を得るべく水平方向に移動できるブレードである。造形テーブル２０は、外周が壁２７で囲まれた造形タンク２９内にて上下に昇降できるテーブルである。そして、造形プレート２１は、造形テーブル２０上に配され、三次元形状造形物の土台となるプレートである。

光ビーム照射手段３は、図１２に示すように、光ビーム発振器３０およびガルバノミラー３１を主に有して成る。光ビーム発振器３０は、光ビームＬを発する機器である。ガルバノミラー３１は、発せられた光ビームＬを粉末層２２にスキャニングする手段、すなわち、光ビームＬの走査手段である。

切削手段４は、図１２に示すように、エンドミル４０および駆動機構４１を主に有して成る。エンドミル４０は、積層化した固化層の表面、すなわち、三次元形状造形物の表面を削るための切削工具である。駆動機構４１は、エンドミル４０を所望の切削すべき箇所へと移動させる手段である。

光造形複合加工機１の動作について詳述する。光造形複合加工機１の動作は、図１３のフローチャートに示すように、粉末層形成ステップ（Ｓ１）、固化層形成ステップ（Ｓ２）および切削ステップ（Ｓ３）から構成されている。粉末層形成ステップ（Ｓ１）は、粉末層２２を形成するためのステップである。かかる粉末層形成ステップ（Ｓ１）では、まず造形テーブル２０をΔｔ下げ（Ｓ１１）、造形プレート２１の上面と造形タンク２９の上端面とのレベル差がΔｔとなるようにする。次いで、粉末テーブル２５をΔｔ上げた後、図１１（ａ）に示すようにスキージング・ブレード２３を粉末材料タンク２８から造形タンク２９に向かって水平方向に移動させる。これによって、粉末テーブル２５に配されていた粉末１９を造形プレート２１上へと移送させることができ（Ｓ１２）、粉末層２２の形成が行われる（Ｓ１３）。粉末層２２を形成するための粉末材料としては、例えば「平均粒径５μｍ～１００μｍ程度の金属粉末」および「平均粒径３０μｍ～１００μｍ程度のナイロン、ポリプロピレンまたはＡＢＳ等の樹脂粉末」を挙げることができる。粉末層２２が形成されたら、固化層形成ステップ（Ｓ２）へと移行する。固化層形成ステップ（Ｓ２）は、光ビーム照射によって固化層２４を形成するステップである。かかる固化層形成ステップ（Ｓ２）においては、光ビーム発振器３０から光ビームＬを発し（Ｓ２１）、ガルバノミラー３１によって粉末層２２上の所定箇所へと光ビームＬをスキャニングする（Ｓ２２）。これによって、粉末層２２の所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させ、図１１（ｂ）に示すように固化層２４を形成する（Ｓ２３）。光ビームＬとしては、炭酸ガスレーザ、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ、ファイバレーザまたは紫外線などを用いてよい。

粉末層形成ステップ（Ｓ１）および固化層形成ステップ（Ｓ２）は、交互に繰り返して実施する。これにより、図１１（ｃ）に示すように複数の固化層２４が積層化する。

積層化した固化層２４が所定厚みに達すると（Ｓ２４）、切削ステップ（Ｓ３）へと移行する。切削ステップ（Ｓ３）は、積層化した固化層２４の表面、すなわち、三次元形状造形物の表面を削るためのステップである。エンドミル４０（図１１（ｃ）および図１２参照）を駆動させることによって切削ステップが開始される（Ｓ３１）。例えば、エンドミル４０が３ｍｍの有効刃長さを有する場合、三次元形状造形物の高さ方向に沿って３ｍｍの切削処理を行うことができるので、Δｔが０．０５ｍｍであれば６０層分の固化層２４が積層した時点でエンドミル４０を駆動させる。具体的には駆動機構４１によってエンドミル４０を移動させながら、積層化した固化層２４の表面を切削処理に付すことになる（Ｓ３２）。このような切削ステップ（Ｓ３）の最終では、所望の三次元形状造形物が得られているか否かを判断する（Ｓ３３）。所望の三次元形状造形物が依然得られていない場合では、粉末層形成ステップ（Ｓ１）へと戻る。以降、粉末層形成ステップ（Ｓ１）～切削ステップ（Ｓ３）を繰り返し実施して更なる固化層の積層化および切削処理を実施することによって、最終的に所望の三次元形状造形物が得られる。

［本発明の製造方法］
本発明の一実施形態に係る製造方法は、上述の粉末床溶融結合法に従い三次元形状造形物を製造するに際して、製造する三次元形状造形物の土台となり得る造形プレートとして所定の特異な構造を有するものを用いることを特徴とする。

本願発明者らは、光ビームＬ’を用いた固化層２４’の形成時に生じ得る収縮応力に起因する三次元形状造形物とその土台となる造形プレート２１’との一体化物の反り変形を好適に抑制するための解決策について鋭意検討した。その結果、下記の技術的思想を有する本発明を案出するに至った。

（本発明の技術的思想）
具体的には、本願発明者らは、「造形プレート２１として、冷却媒体５１を流すための冷却媒体路５０を内部に有して成るものを用いる」、即ち「三次元形状造形物の製造途中で造形物の前駆体と直接接する造形プレート２１の内部に冷却媒体５１を流す」という技術的思想を有する本発明を案出するに至った（図１参照）。なお、本明細書でいう「冷却媒体路」とは冷却媒体を流すための流路を指す。本明細書でいう「冷却媒体」とは冷却ガス、冷却溶液（水等）等を含むものを指す。

本発明の技術的思想に従えば、造形プレート２１の内部に供する冷却媒体路５０に冷却媒体５１を流す。そのため、冷却媒体５１の冷却熱エネルギーを冷却媒体路５０の配置箇所から造形プレート２１の表面領域側へと伝達させることが可能となる。造形プレート２１は製造途中の三次元形状造形物の前駆体１０１と相互に直接接している。そのため、これに起因して、三次元形状造形物の前駆体１０１と造形プレート２１を挟んで離隔配置される造形テーブル２０に冷却媒体路を供する態様または冷却熱エネルギーの非伝達態様と比べて、造形プレート２１の内部に供する冷却媒体路５０に流す冷却媒体５１の冷却熱エネルギーを、造形プレート２１側から三次元形状造形物の前駆体側（固化層形成側）へと伝達させ易い。

特に、造形物の製造途中では、光ビームＬを用いて粉末層の所定箇所の粉末を溶融させてメルト部分を形成し当該メルト部分を固化させることで所定の固化層２４を形成する。上記の冷却熱エネルギーは造形プレート２１と直接接する三次元形状造形物の前駆体側（固化層形成側）へと伝達させ易いため、これに起因して、当該冷却熱エネルギーをメルト部分に伝達し得る。造形プレート２１内の冷却媒体路５０に流す冷却媒体５１の冷却熱エネルギーがメルト部分に伝達し得ると、メルト部分の溶融熱エネルギーを相対的に低減することが可能となる。そのため、溶融熱エネルギーの低減により、メルト部分が後刻に冷却して固化するまでの時間を相対的に短縮させることが可能となる。これにより、所定の固化層を形成するために要する時間を相対的に短縮させることが可能となる。それ故、全体として三次元形状造形物の製造時間の短縮化を図ることが可能となる。

メルト部分の溶融熱エネルギーを相対的に低減することが可能となると、これに起因して、溶融熱エネルギーの低減により、後刻の固化時に内側方向に生じ得る収縮応力を相対的に低減することが可能となり得る。その結果、収縮応力の低減により、収縮応力に起因する三次元形状造形物とその土台となる造形プレート２１との一体化物の反り変形を好適に抑制することが可能となる。これにより、かかる反り変形の抑制により、所望形状の三次元形状造形物を好適に得ることが可能となる。つまり、かかる反り変形の抑制により、高精度な三次元形状造形物を好適に得ることが可能となる。

又、造形プレート２１上にて光ビームＬを用いて固化層２４を形成する際、光ビームＬの照射熱エネルギーが三次元形状造形物の土台となる造形プレート２１側に伝達し得る。照射熱エネルギーが伝達すると、これに起因して造形プレート２１の内部に熱が溜まり得る。これにつき、本発明では、冷却熱エネルギーが造形プレート２１の表面領域側へと伝達するため、これに起因して造形プレート２１の内部に溜まった熱（光ビームの照射エネルギーに起因するもの）を分散させることが可能である。

以下、上記の技術的思想に基づく本発明の一実施形態に係る具体的態様について説明する。

上述のように、「造形プレート２１として、冷却媒体５１を流すための冷却媒体路５０を内部に有して成るものを用いる」という本発明の技術的思想が実現されるならば任意の具体的態様を適用することが可能である。

一態様では、冷却媒体路５０として、造形プレート２１の内部を通る造形プレート側冷却媒体路５０Ａに加えて、造形テーブル２０の内部を通る造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂを有して成るものを用い、当該造形プレート側冷却媒体路５０Ａと当該造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂとが流体連通可能に構成されていることが好ましい（図２参照）。なお、本明細書でいう「造形プレート側冷却媒体路」とは造形プレート内部を延在する冷却媒体路を指す。本明細書でいう「造形テーブル側冷却媒体路」とは造形テーブル内部を延在する冷却媒体路を指す。かかる構成によれば、例えば造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ内に冷却媒体を供給する場合にて、両冷却媒体路５０Ａ，５０Ｂが相互に流体連通可能であるため、これに起因して造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂから造形プレート側冷却媒体路５０Ａへと冷却媒体を好適に供すること、および造形プレート側冷却媒体路５０Ａから造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂへと冷却媒体を好適に供することが可能となり得る。

これにより、造形プレート側冷却媒体路５０Ａおよび造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂを通じる冷却媒体は以下の流体挙動を採り得る。
具体的には、（１）所定の（一方の又は第１の）造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの開口部から冷却媒体を供給することで、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ内を通じた冷却媒体を当該所定の（一方の又は第１の）造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの他方の開口部から流出させ得る。
次に、（２）両冷却媒体路５０Ａ，５０Ｂが相互に流体連通可能であることに起因して、所定の（一方の又は第１の）造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの他方の開口部から流出した冷却媒体を、造形プレート側冷却媒体路５０Ａの一方の開口部へと流入させ得る。 次に、（３）造形プレート側冷却媒体路５０Ａ内を通じて冷却媒体を造形プレート側冷却媒体路５０Ａの他方の開口部から流出させ得る。
次に、（４）両冷却媒体路５０Ａ，５０Ｂが相互に流体連通可能であることに起因して、造形プレート側冷却媒体路５０Ａの他方の開口部から流出させた冷却媒体を、所定の（他方の又は第２の）造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの一方の開口部へと流入させ得る。
最後に、（５）所定の（他方の又は第２の）造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ内を通じて冷却媒体を所定の（他方の又は第２の）造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの他方の開口部から流出させ得る。

以上により、本態様に従えば、造形プレート側冷却媒体路５０Ａの内部に冷却媒体を好適に供することが可能である。上述のように、造形プレート２１は製造途中の三次元形状造形物の前駆体１０１と相互に直接接している。そのため、造形物の前駆体１０１と造形プレート２１を挟んで離隔配置される造形テーブル２０に冷却媒体を流す場合等と比べて、造形プレート側冷却媒体路５０Ａに流す冷却媒体の冷却熱エネルギーを、三次元形状造形物の前駆体側（固化層形成側）へと好適に伝達させ易い。これにより、上述のように、メルト部分の溶融熱エネルギーを相対的に低減することが可能となる。従って、例えば、メルト部分が後刻に冷却して固化するまでの時間を相対的に短縮させること、および後刻の固化時に内側方向に生じ得る収縮応力を相対的に低減することといった技術的効果が奏され得る。

なお、造形プレート側冷却媒体路５０Ａと造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂとは流体連通可能であるならば、その具体的構成は特に限定されない。例えば、造形プレート側冷却媒体路５０Ａと造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂとは相互に連続形態を採ってよい（図２（ａ）参照）。即ち、冷却媒体路５０は造形プレート２１の内部と造形テーブル２０の内部とをそれぞれ延在する形態を採る。そのため、造形物の製造完了後の冷却媒体路５０内に残存し得る冷却媒体の後刻の取出し時に、造形プレート２１の側部に位置する粉末１９が冷却媒体により濡れることを好適に回避することができる。なお、かかる連続形態を採る場合、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの一方の開口部から冷却媒体を供給し、次いで造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂに連続する造形プレート側冷却媒体路５０Ａ側に冷却媒体を通過させる。そして、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの他方の開口部から冷却媒体を排出する。これにより、冷却媒体の冷却熱エネルギーを造形プレート２１に供することが可能となる。

又、当該連続形態に限定されることなく、造形プレート２１の側部に位置する粉末１９が冷却媒体により濡れることが回避されるならば、造形プレート側冷却媒体路５０Ａと造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂとは非連続形態を採ってもよい。例えば、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂと造形プレート側冷却媒体路５０Ａとを冷却チューブ５０Ｃを介して接続してよい（図２（ｂ）および図２（ｃ）参照）。この場合、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂから冷却媒体を供給し、造形プレート２１および造形テーブル２０の外部に配置された冷却チューブ５０Ｃ等を介して、造形プレート側冷却媒体路５０Ａの内部に冷却媒体を流す。なお、造形プレート２１の側部に位置する粉末１９の冷却媒体による濡れ回避は、以下態様により実現可能である。具体的には、冷却チューブ５０Ｃ等を造形プレート側冷却媒体路５０Ａと造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂとの間に接続固定した状態で、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの一方の開口部から他方の開口部まで乾燥エア等を供給し、冷却媒体路５０内に冷却媒体を好適に除去することで実現可能である。

上記の造形プレート２１を接続固定するための造形テーブル２０は、下記態様を採ることが好ましい。

一態様では、造形テーブル２０として、少なくとも造形テーブル２０の上面２０Ａに相互に離隔配置され、かつ冷却媒体が通過可能な複数の開口部２０Ｂを有して成るものを用いることが好ましい。かかる条件下で、本態様では、造形テーブル２０の上面２０Ａにおける複数の開口部２０Ｂのうちから任意に選択する少なくとも２つの開口部２０Ｂの一方を、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ側から造形プレート側冷却媒体路５０Ａ側への冷却媒体の流入部２０Ｂ_１として用いる。又、本態様では、造形テーブル２０の上面２０Ａにおける複数の開口部２０Ｂのうちから任意に選択する少なくとも２つの開口部２０Ｂの他方を、造形プレート側冷却媒体路５０Ａ側から造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ側への冷却媒体の流出部２０Ｂ_２として用いる（図３参照）。つまり、本態様では、流入部２０Ｂ_１および流出部２０Ｂ_２として用いる少なくとも２つの開口部２０Ｂが、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの端部側（一端）に相当し得る。なお、本態様では、冷却媒体を流すための造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの他端については、造形テーブル２０の側面／底面に位置付けてよい。これにより、外部から造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ内へ冷却媒体を供給し又は造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂから外部へと冷却媒体を排出することが可能となる。

本態様では、上述のように、造形テーブル２０の上面２０Ａにおける複数の開口部２０Ｂのうちから任意に選択する少なくとも２つの開口部２０Ｂの一方を冷却媒体の流入部２０Ｂ_１として用い、その他方を冷却媒体の流出部２０Ｂ_２として用いることができる（図３参照）。即ち、本態様は、造形プレート側冷却媒体路５０Ａ側から造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ側への冷却媒体の流入部２０Ｂ_１として用いる開口部と、造形プレート側冷却媒体路５０Ａ側から造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ側への冷却媒体の流出部２０Ｂ_２として用いる開口部を、任意に選択できる点に利点を有する。これにより、造形プレート２１の寸法および／または設置箇所に違いがある場合においても、任意の造形プレート２１内に冷却媒体を好適に流入させること、および任意の造形プレート２１内から冷却媒体を流出させることができる。この点で、本態様は有利である。

一態様では、造形テーブル２０の上面２０Ａに少なくとも３つの開口部２０Ｂが供され、当該少なくとも３つの開口部２０Ｂが平面視で行列形態を成すように相互に離隔配置されることが好ましい（図３参照）。

本態様は、少なくとも３つの開口部２０Ｂが平面視で造形テーブル２０の上面２０Ａに行列形態を成すように相互に離隔配置されることを特徴とする。かかる行列形態を採ることで、行形態のみ又は列形態のみを採る場合と比べて、複数の開口部２０Ｂが全体として一方向にのみ方向付けられるのではなく、当該一方向とは異なる方向にも供され得る。これにより、造形テーブル２０の上面２０Ａの中央領域から輪郭周辺領域に至る広範な領域に複数の開口部２０Ｂを供することが可能となる。従って、造形テーブル２０の上面２０Ａの広範な領域に開口部が供されることに起因して、行形態のみ又は列形態のみを採る場合と比べて、開口部２０Ｂの選択肢を増やすことができる。従って、造形プレート２１の寸法および／または設置箇所に違いがある場合においても、任意の造形プレート２１内部に冷却媒体をより好適に供することができる。

以下、造形テーブル２０が少なくとも上面２０Ａに、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの端部に相当する複数の開口部２０Ｂが供されていることを前提として、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの採りうる全体的形態について説明する。

一態様では、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂとして、以下の構成要素を有して成るものを用いることが好ましい（図３参照）。
・相互に流体連通可能に交差する少なくとも２つの、第１の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１および第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_２
・少なくとも２つの造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１、５０Ｂ_２の所定箇所から開口部２０Ｂへとそれぞれ延在する第３の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_３

なお、本明細書でいう「造形テーブル側サブ冷却媒体路」とは、造形テーブル側冷却媒体路の構成要素を成すものを指す。本明細書でいう「第１の造形テーブル側サブ冷却媒体路」とは、造形テーブルの内部にて略横断方向（傾斜パターン含）に延在し、第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路と流体連通可能に交差し、かつその端部が冷却媒体を供給／排出可能に造形テーブルの側面（又は底面）に通じているものを指す。本明細書でいう「第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路」とは、造形テーブルの内部にて略横断方向（傾斜パターン含）に延在し、第１の造形テーブル側サブ冷却媒体路と流体連通可能に交差し、かつその端部が冷却媒体を供給／排出可能に造形テーブルの側面（又は底面）に通じているものを指す。本明細書でいう「第３の造形テーブル側サブ冷却媒体路」とは、造形テーブルの内部にて略垂直方向（傾斜パターン含）に延在し、第１および／又は第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路と造形テーブルの上面に供された開口部との間にて流体連通可能であるものを指す。

本態様は、少なくとも２つの第１の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１と第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_２とが略水平方向に相互に流体連通可能に交差している特徴を含む。交差角度としては約６０度～約１２０度であってよく、好ましくは約９０度である。つまり、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂが平面視で格子状形態を採ることが可能となる。交差形態を採ると、交差ポイントを基点として造形テーブル側サブ冷却媒体路が略縦横方向に向かって延在することが可能となる。これにより、交差しない場合と比べて造形テーブル側冷却媒体路内に冷却媒体を流すための経路の選択肢を増やすことができる。

なお、造形テーブル２０の上面２０Ａに造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂの端部に相当する開口部２０Ｂを複数供する場合、以下の点に留意する必要がある。具体的には、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂから造形プレート側冷却媒体路５０Ａへの冷却媒体の流入部／造形プレート側冷却媒体路５０Ａから造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂへの冷却媒体の流出部として任意に選択する開口部２０Ｂ以外の他の開口部２０Ｂについては、以下の点に留意する必要がある。即ち、任意に選択する開口部２０Ｂ以外の他の開口部２０Ｂからの冷却媒体の漏出を回避する必要がある。かかる冷却媒体の漏出回避により、粉末層の形成に用いられる粉末が濡れることを好適に回避することが可能となる。

そこで、一態様では、任意に選択する少なくとも２つの開口部２０Ｂ以外の他の開口部２０Ｂを通じて栓部材６０を第１の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１および前記第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_２の少なくとも一方の断面輪郭部分の底部７０まで挿入可能となっていることが好ましい（図４参照）。本明細書でいう「栓部材」とは、造形テーブルの開口部を通じて挿入する際に冷却媒体が漏出できない程度の径、強度を有するものを指す。本明細書でいう「造形テーブル側サブ冷却媒体路の断面輪郭部分の底部」とは、断面視における造形テーブル側サブ冷却媒体路の輪郭領域の最下方部分を指す。

任意に選択する少なくとも２つの開口部２０Ｂ以外の他の開口部２０Ｂを通じて、造形テーブル側サブ冷却媒体路の断面輪郭部分の底部７０まで栓部材６０を挿入すると、断面視にて、栓部材６０により造形テーブル側サブ冷却媒体路が局所的に塞がれる。これにより、第１および第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１、５０Ｂ_２の所定箇所を局所的に流体非連通とすることができる。その結果として、他の開口部２０Ｂからの冷却媒体の流出を回避することができる。なお、平面視で第１および第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１、５０Ｂ_２が交差する部分等における開口部は、冷却媒体の漏出を好適に回避する観点から、両者の径寸法よりも若干程度大きな径寸法を有することが好ましい。これに伴い、栓部材６０の径寸法も第１および第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１、５０Ｂ_２の各々の径寸法よりも若干程度大きな径寸法を有することが好ましい。

造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂから造形プレート側冷却媒体路５０Ａへの冷却媒体の流入部２０Ｂ_１／造形プレート側冷却媒体路５０Ａから造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂへの冷却媒体の流出部２０Ｂ_２として任意に２つの開口部２０Ｂを選択する場合を例に採る。

まず、造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂから造形プレート側冷却媒体路５０Ａへの冷却媒体の流入部２０Ｂ_１として開口部２０Ｂを選択する場合を例に採る。この場合、図３に示すように、任意に選択する造形テーブル２０の側部（又は底部）に供された開口部から、第１および第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１、５０Ｂ_２の少なくとも一方を通じて、任意に選択する流入部２０Ｂ_１（第３の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_３の端部に相当）までのみにおいて流体が通じるように、流入部２０Ｂ_１の周縁の開口部２０Ｂに栓部材を底部７０まで挿入する。これにより、流入部２０Ｂ_１以外の他の開口部２０Ｂからの冷却媒体の流出を回避することができる。なお、造形プレート側冷却媒体路５０Ａ側からの流入部２０Ｂ_１／流出部２０Ｂ_２として任意に選択する２つの開口部２０Ｂ以外の他の開口部については、造形テーブル側サブ冷却媒体路の底部７０まで挿入する必要はないものの、造形テーブル２０上に位置する粉末１９が入り込むことを回避する観点から、その全てに栓部材６０が挿入されていることが好ましい。又、第１の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１および前記第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_２の露出端部（造形テーブル２０の側面の開口部に相当）についても、同様に造形テーブル２０の側面に隣接して位置する粉末１９が入り込むことを回避する観点からその全てに栓部材が挿入されていることが好ましい。

次に、造形プレート側冷却媒体路５０Ａから造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂへの冷却媒体の流出部２０Ｂ_２として開口部２０Ｂを選択する場合を例に採る。この場合、図３に示すように、任意に選択する流出部２０Ｂ_１（第３の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_３の端部に相当）から第１および第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１、５０Ｂ_２の少なくとも一方を通じて、任意に選択する造形テーブル２０の側部（又は底部）に供された開口部までのみにおいて流体が通じるように、流出部２０Ｂ_２の周縁の開口部２０Ｂに栓部材を底部７０まで挿入する。これにより、流出部２０Ｂ_２以外の他の開口部２０Ｂからの冷却媒体の流出を回避することができる。

又、任意の他の開口部２０Ｂへの栓部材６０の挿入を、造形プレート２１の設置箇所／寸法、および造形プレート側冷却媒体路５０Ａの開口部の位置を予め把握した上で行うと、以下の技術的効果も奏され得る。すなわち、造形プレート側冷却媒体路５０Ａの開口部へアクセスするための最適な経路を決定することができる。この点で、栓部材６０を用いる本態様は有利である。

なお、栓部材６０としては、特に限定されるものではないが、造形テーブル２０の上面２０Ａおよび側面（又は底面）に供された複数の開口部２０Ｂの各々に締付可能なネジ部材６１等を選択することができる。又、造形プレート２１は任意の寸法および形態を採り得る点を鑑み、造形プレート２１と造形テーブル２０の開口部２０Ｂとの間における摩擦等を好適に回避する観点から造形テーブル２０の複数の開口部２０Ｂの各々にＯリング９０が設けられることが好ましい（図５参照）。

一態様では、造形テーブル２０として、径寸法の異なる少なくとも２種類の造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ_Ｌ、５０Ｂ_Ｓ（５０Ｂ_Ｌ＞５０Ｂ_Ｓ）を内部に有して成るものを用い、造形プレート２１の大きさの違いに応じて任意の造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ_Ｌ、５０Ｂ_Ｓ（５０Ｂ_Ｌ＞５０Ｂ_Ｓ）を選択することが好ましい（図６および図７参照）。

造形テーブル２０上に固定する造形プレート２１は、当該造形プレート２１上に形成する三次元形状造形物の寸法に比例し得る。すなわち、造形物の寸法が相対的に大きい場合には、これに伴って造形プレート２１の寸法も大きくなり得る。一方、造形物の寸法が相対的に小さい場合には、これに伴って造形プレート２１の寸法も小さくなり得る。これにつき、造形プレート２１の寸法が大きい場合には、これに起因して相対的に大きな冷却熱エネルギーを要し得る。一方、造形プレート２１の寸法が小さい場合には、これに起因して相対的に小さな冷却熱エネルギーを要し得る。

かかる点を鑑み、本態様では、造形テーブル２０として、径寸法の異なる少なくとも２種類の造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ_Ｌ、５０Ｂ_Ｓ（５０Ｂ_Ｌ＞５０Ｂ_Ｓ）を内部に有して成るものを用いる。かかる条件下で、造形プレート２１の大きさの違いに応じて（比例して）任意の造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ_Ｌ、５０Ｂ_Ｓ（５０Ｂ_Ｌ＞５０Ｂ_Ｓ）を選択する。すなわち、造形テーブル２０として、上面および側面に径寸法の異なる少なくとも２種類の開口部２０Ｂ_Ｌ、２０Ｂ_Ｓ（２０Ｂ_Ｌ＞２０Ｂ_Ｓ）を有して成るものを用いる（図７参照）。

本態様に従えば、造形プレート２１_Ｌ、２１_Ｓ（２１Ｂ_Ｌ＞２１Ｂ_Ｓ）の寸法に応じて（比例させて）、径寸法の異なる造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ_Ｌ、５０Ｂ_Ｓ（５０Ｂ_Ｌ＞５０Ｂ_Ｓ）を選択するため、造形テーブル側冷却媒体路内に冷却媒体を流すと、以下の技術的効果を奏することができる。すなわち、造形テーブル側冷却媒体路の径寸法に応じて（比例して）、造形テーブル側冷却媒体路に流れる冷却媒体の流量を変化させることができる。即ち、造形テーブル側冷却媒体路の径寸法が大きいと、これに比例して造形テーブル側冷却媒体路に流れる冷却媒体の流量を相対的に大きくすることができる。一方、造形テーブル側冷却媒体路の径寸法が小さいと、これに比例して造形テーブル側冷却媒体路に流れる冷却媒体の流量を相対的に小さくすることができる。

以上により、造形プレート２１_Ｌ、２１_Ｓの寸法に比例させて、冷却媒体の冷却熱エネルギーを冷却媒体路５０（造形プレート側冷却媒体路）の配置箇所から造形プレート２１_Ｌ、２１_Ｓの表面領域側へと好適に伝達させることが可能となる。造形プレート２１_Ｌ、２１_Ｓは製造途中の三次元形状造形物の前駆体と相互に直接接しているため、これに起因して、造形プレート２１_Ｌ、２１_Ｓの内部に供する冷却媒体路５０Ｂ_Ｌ、５０Ｂ_Ｓに流す冷却媒体の冷却熱エネルギーを、造形プレート側から三次元形状造形物の前駆体側（固化層形成側）へと伝達させ易い。

そのため、造形プレート２１_Ｌ、２１_Ｓの寸法に比例した冷却熱エネルギーをメルト部分に伝達させ得る。冷却熱エネルギーがメルト部分へ伝達すると、これに起因して冷却熱エネルギーの非伝達時と比べてメルト部分の溶融熱エネルギーを相対的に低減することが可能となる。そのため、溶融熱エネルギーの低減により、後刻の固化時に内側方向に生じ得る収縮応力を相対的に低減することが可能となり得る。

なお、上記態様に加えて、造形プレートの大きさの違いに応じて（比例させて）、冷却媒体路に温度の異なる冷却媒体を流してもよい。具体的には、製造する造形物の寸法が相対的に大きい場合には、これに伴い造形プレート２１の寸法も大きくなり得る。一方、製造する造形物の寸法が相対的に小さい場合には、これに伴い造形プレート２１の寸法も小さくなり得る。特に後者の場合、前者と比べて造形プレート２１上に形成する造形物にはより高精度（緻密）な要件が要求され得る。そのため、造形プレート２１の寸法が小さい場合には、造形プレート２１の寸法が大きい場合と比べて、相対的により温度の低い冷却媒体を流すことが好ましい。

なお、これに限定されることなく、造形プレート２１の寸法が相対的に小さい場合、即ち造形プレート側冷却媒体路の径寸法が相対的に小さい場合においても、以下の対応を採ってもよい。具体的には、相対的に径寸法の小さい造形プレート側冷却媒体路と相対的に径寸法の大きい造形テーブル側冷却媒体路とが流体連通可能に接続させてもよい。これにより、相対的な小さい寸法を有する造形プレート側冷却媒体路に、相対的に大きな冷却熱エネルギーを有する冷却媒体を供することが可能となる。これにより、相対的な小さい寸法を有する造形プレート側冷却媒体路の配置箇所から造形プレートの表面領域側へと相対的に大きな冷却熱エネルギーを好適に伝達させることが可能となる。造形プレートは製造途中の三次元形状造形物の前駆体と相互に直接接しているため、これに起因して、相対的に大きな冷却熱エネルギーを造形プレート側から三次元形状造形物の前駆体側（固化層形成側）へと伝達させ易い。従って、例えば、メルト部分が後刻に冷却して固化するまでの時間を相対的に“より”短縮させること、および後刻の固化時に内側方向に生じ得る収縮応力を相対的に“より”低減することといった技術的効果が奏され得る。

一態様では、断面視で傾斜形態を成す第１および第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１、５０Ｂ_２の少なくとも一方を用いることが好ましい（図８参照）。

冷却媒体路５０の一端を通じた冷却媒体の供給が完了すると、冷却媒体路５０の他端から冷却媒体の排出が必要である。冷却媒体の排出を好適に行う観点から、断面視で第１および第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１、５０Ｂ_２の少なくとも一方が傾斜形態を有することが好ましい。傾斜形態を有すると、断面視で造形テーブル側サブ冷却媒体路の高さレベルに違いを供することができる。かかる高さレベルに違いがあると、これに起因して造形テーブル側サブ冷却媒体路の最下方に位置付けられた開口部（造形テーブル２０の側面に設けられた開口部に相当）から冷却媒体を円滑に排出することが可能と成る。特に限定されるものではないが、一例としては、図８（ａ）に示すように断面視で造形テーブル側サブ冷却媒体路の中間部に最下方の開口部を位置付ける態様を採ることができる。別例としては、図８（ｂ）に示すように断面視で造形テーブル側サブ冷却媒体路の端部に最下方の開口部を位置付ける態様を採ることができる。

一態様では、造形テーブル２０上に少なくとも２つの造形プレート２１Ａ、２１Ｂを固定し、流入部２０Ｂ_１および流出部２０Ｂ_２として用いる開口部２０Ｂを少なくとも４つ選択することで、少なくとも２つの造形プレート２１Ａ、２１Ｂのための冷却媒体路の経路をそれぞれ設定可能とすることが好ましい（図９参照）。

本発明の一実施形態における造形テーブル２０は、上述のように、少なくとも２つの第１の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１と第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_２とが略水平方向に相互に流体連通可能に交差している特徴を含む。交差形態を採ると、交差ポイントを基点として造形テーブル側サブ冷却媒体路が略縦横方向に向かって延在することが可能となる。これにより、交差しない場合と比べて造形テーブル側冷却媒体路内に冷却媒体を流すための経路の選択肢を増やすことができる。従って、例えば図９（ｂ）および図９（ｃ）に示す態様（単一の造形プレート２１を用いる態様）を採ることができる。

これにつき、造形テーブル２０は平面視で造形プレート２１よりも大きな主面を一般的に有し得る。そのため、造形テーブル２０上に少なくとも２つの造形プレート２１Ａ、２１Ｂを固定するスペースを確保し得る。そこで、図９（ｂ）および図９（ｃ）に示す態様（単一の造形プレート２１を用いる態様）に限定されることなく、図９（ａ）に示す態様も採ることができる。すなわち、流入部２０Ｂ_１および流出部２０Ｂ_２として用いる開口部２０Ｂを少なくとも４つ選択することで、少なくとも２つの造形プレート２１Ａ、２１Ｂのための冷却媒体路の経路をそれぞれ設定可能となる。これにより、単一の造形テーブル２０にて、光ビームを用いて造形プレート２１Ａ、２１Ｂの各々にて三次元形状造形物を製造することができる。そのため、単一の造形テーブル２０にて単一の造形プレート２１を固定した上で光ビームを用いて単一の三次元形状造形物を製造する場合と比べて、造形物の製造効率を向上させることができる。かかる技術的効果は、上述の造形テーブル２０が少なくとも２つの第１の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_１と第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路５０Ｂ_２とが略水平方向に相互に流体連通可能に交差している特徴を含むが故に為し得るものである。従って、本態様は、従来の一方向にのみ延在する冷却媒体路を内部に有して成る造形テーブルを用いる従来の態様と比べて有利である。

以上、本発明の一実施形態について説明してきたが、本発明の適用範囲のうちの典型例を例示したに過ぎない。従って、本発明はこれに限定されず、種々の改変がなされ得ることを当業者は容易に理解されよう。

例えば、上記では、造形テーブル内の造形テーブル側冷却媒体路５０が平面視で格子状形態を成すものを前提として、造形プレートの寸法の違いに応じて少なくとも２種類の径寸法の異なる造形テーブル側冷却媒体路のいずれかを用いる態様について説明した。しかしながら、造形プレート２１_Ｌ、２１_Ｓ（２１Ｂ_Ｌ＞２１Ｂ_Ｓ）の寸法の違いに応じて、造形テーブル２０内に略直線状（図６および図７に示す態様）のみならず、平面視で少なくとも２つの径寸法の異なる造形テーブル側冷却媒体路５０Ｂ_Ｌ、５０Ｂ_Ｓ（５０Ｂ_Ｌ＞５０Ｂ_Ｓ）を円弧状に配設する態様を用いてもよい（図１０参照）。

かかる態様においても、造形プレート２１_Ｌ、２１_Ｓの寸法に比例させて、冷却媒体の冷却熱エネルギーを冷却媒体路（造形プレート側冷却媒体路）の配置箇所から造形プレート２１_Ｌ、２１_Ｓの表面領域側へと好適に伝達させることが可能となる。造形プレート２１_Ｌ、２１_Ｓは製造途中の三次元形状造形物の前駆体と相互に直接接するため、これに起因して、造形プレート２１_Ｌ、２１_Ｓの内部に供する冷却媒体路５０Ｂ_Ｌ、５０Ｂ_Ｓに流す冷却媒体の冷却熱エネルギーを、造形プレート側から三次元形状造形物の前駆体側（固化層形成側）へと伝達させ易くし得る。

１９、１９’ 粉末
２０、２０’ 造形テーブル
２０Ａ 造形テーブルの上面
２０Ｂ 造形テーブルの上面等に形成された開口部
２０Ｂ_１ 造形プレート側冷却媒体路側への冷却媒体の流入部として用いる開口部
２０Ｂ_２ 造形プレート側冷却媒体路側からの冷却媒体の流出部として用いる開口部
２１、２１’ 造形プレート
２３ スキージング・ブレード
２４、２４’ 固化層
５０ 冷却媒体路
５０Ａ 造形プレート側冷却媒体路
５０Ｂ 造形テーブル側冷却媒体路
５０Ｂ_１ 第１の造形テーブル側冷却媒体路
５０Ｂ_２ 第２の造形テーブル側冷却媒体路
５０Ｂ_３ 第３の造形テーブル側冷却媒体路
５０Ｂ_Ｌ 径寸法の大きい造形テーブル側冷却媒体路
５０Ｂ_Ｓ 径寸法の小さい造形テーブル側冷却媒体路
５０_Ｌ 径寸法の大きい冷却媒体路
５０_Ｓ 径寸法の小さい冷却媒体路
５１ 冷却媒体
６０ 栓部材
６１ ネジ部材
７０ 第１の又は第２の造形テーブル側冷却媒体路の底部
１０１ 三次元形状造形物の前駆体
Ｌ、Ｌ’ 光ビーム

Claims (13)

1. （ｉ）造形プレート上に形成する粉末層の所定箇所に光ビームを照射して該所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、および
   （ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、該新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程
   により粉末層および固化層を交互に繰り返して積層させることで、三次元形状造形物を製造する方法であって、
   少なくとも前記造形プレートが冷却媒体を流すための冷却媒体路を内部に有して成り、前記造形プレートが三次元形状造形物の土台であり、前記造形プレートを造形テーブル上に固定し、前記冷却媒体路として、前記造形プレートの内部を通る造形プレート側冷却媒体路に加えて、前記造形テーブルの内部を通る造形テーブル側冷却媒体路を有して成るものを用い、該造形プレート側冷却媒体路と該造形テーブル側冷却媒体路とが流体連通可能に構成されている、三次元形状造形物の製造方法。
2. 内部に冷却媒体路を有して成る前記造形プレートと、前記光ビームを用いて製造途中の前記三次元形状造形物の前駆体とが相互に直接接する、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。
3. 前記造形テーブルとして、少なくとも該造形テーブルの上面に相互に離隔配置され、かつ前記冷却媒体が通過可能な複数の開口部を有して成るものを用い、
   前記造形テーブルの前記上面における前記複数の前記開口部のうちから任意に選択する少なくとも２つの開口部を、それぞれ、前記造形テーブル側冷却媒体路側から前記造形プレート側冷却媒体路側への前記冷却媒体の流入部および前記造形プレート側冷却媒体路側から前記造形テーブル側冷却媒体路側への前記冷却媒体の流出部として用い、
   前記流入部および前記流出部として用いる前記少なくとも２つの前記開口部が、前記造形テーブル側冷却媒体路の端部側に相当する、請求項１又は２に記載の三次元形状造形物の製造方法。
4. 前記造形テーブルの前記上面に少なくとも３つの前記開口部が供され、該少なくとも３つの該開口部が平面視で行列形態を成すように相互に離隔配置される、請求項３に記載の三次元形状造形物の製造方法。
5. 前記造形テーブル側冷却媒体路として、相互に流体連通可能に交差する少なくとも２つの、第１の造形テーブル側サブ冷却媒体路および第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路と、該少なくとも２つの該造形テーブル側サブ冷却媒体路の所定箇所から前記開口部へとそれぞれ延在する第３の造形テーブル側サブ冷却媒体路とを有して成るものを用いる、請求項３又は４に記載の三次元形状造形物の製造方法。
6. 前記造形テーブル側冷却媒体路が、平面視で格子状形態をなす、請求項１～５のいずれかに記載の三次元形状造形物の製造方法。
7. 前記少なくとも２つの前記開口部以外の他の開口部を通じて、栓部材が前記第１および前記第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路の少なくとも一方の断面輪郭部分の底部まで挿入可能となっている、請求項５に記載の三次元形状造形物の製造方法。
8. 前記他の開口部への前記栓部材の挿入により、前記第１および前記第２の前記造形テーブル側サブ冷却媒体路の所定箇所を局所的に流体非連通とし、それによって前記他の開口部からの前記冷却媒体の流出を回避させる、請求項７に記載の三次元形状造形物の製造方法。
9. 任意の前記他の開口部への前記栓部材の挿入により、前記造形テーブル側冷却媒体路の経路を変更可能とする、請求項７又は８に記載の三次元形状造形物の製造方法。
10. 断面視で傾斜形態を成す前記第１および前記第２の造形テーブル側サブ冷却媒体路の少なくとも一方を用いる、請求項７～９のいずれかに記載の三次元形状造形物の製造方法。
11. 前記造形テーブルとして、径寸法の異なる少なくとも２種類の前記造形テーブル側冷却媒体路を内部に有して成るものを用い、前記造形プレートの大きさの違いに応じて任意の該造形テーブル側冷却媒体路を選択する、請求項１～１０のいずれかに記載の三次元形状造形物の製造方法。
12. 前記造形テーブル上に少なくとも２つの前記造形プレートを固定し、
    前記流入部および前記流出部として用いる前記開口部を少なくとも４つ選択することで、前記少なくとも２つの前記造形プレートのための前記冷却媒体路の経路をそれぞれ設定可能とする、請求項３に従属する請求項４～１１のいずれかに記載の三次元形状造形物の製造方法。
13. 前記造形テーブルとして、少なくとも該造形テーブルの側面に相互に離隔配置され、かつ前記冷却媒体が通過可能な複数の開口部を更に有して成るものを用い、
    前記複数の前記開口部から任意に選択する少なくとも２つの開口部を、外部からの前記冷却媒体の供給部および該冷却媒体の外部への排出部として用いる、請求項３に従属する請求項４～１２のいずれかに記載の三次元形状造形物の製造方法。

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