JP7112470B2 - 時計構成要素を製作するための方法および前記方法に従って製造された構成要素 - Google Patents
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Description
-基板上に犠牲金属層、およびその後のガルバーニ電気成長ステップ用の下塗り層を作成するステップと、
-感光性ポリイミドの層を広げるステップと、
-得るべき構造物の水平面の輪郭に対応するマスクを通してポリイミドの層にUV放射を照射するステップと、
-ポリイミド鋳型を得るように、非照射部分を溶解することによりポリイミド層を現像するステップと、
-ガルバーニ電気成長により鋳型の高さまで鋳型にニッケルを満たし、実質的に平坦な上部表面を得るステップと、
-真空下での蒸着により上部表面全体の全面にわたってクロムの微細層を堆積させるステップと、
-クロムの層の上に新しい感光性樹脂層を堆積させるステップと、
-得るべき構造物による水平面の輪郭に対応する新しいマスクを通して樹脂層を照射するステップと、
-新しい鋳型を得るように、ポリイミド層を現像するステップと、
-ガルバーニ電気成長により新しい鋳型の高さまで新しい鋳型にニッケルを満たすステップと、
-犠牲層および基板から多層構造物およびポリイミド鋳型を分離するステップと、
-ポリイミド鋳型から多層構造物を分離するステップと
を備える。
a)基板を提供し、第1の感光性樹脂層を適用するステップと、
b)第1の樹脂層を形づくって、時計構成要素の第1の水平面を画定するために、樹脂層を維持するように基板から所定の距離までスタンプを押しつけることにより、スタンプを使用して第1の樹脂層のホットスタンピングを遂行するステップと、
c)構成要素の少なくとも第1の水平面を画定するために、形づくられた第1の樹脂層を照射するステップと、
d)ステップc)から結果として得られる構造物を覆う第2の感光性樹脂層を適用し、次いで、構成要素の第2の水平面を画定するマスクを通して第2の樹脂層を照射し、第1の水平面および第2の水平面を備える鋳型を形成するために、第2の感光性樹脂層の非照射領域を溶解するステップと、
e)第1の樹脂層および第2の樹脂層の表面上に導電層を堆積させるステップと、
f)構成要素を形成するために、導電層から始めて、鋳型内で電鋳することにより金属層を堆積させるステップと、
g)構成要素を外すために、基板、樹脂層、および導電層を連続的に取り除くステップと
を備える、少なくとも1つの時計構成要素を製作するための方法に関する。
-ステップb)を真空下で行う。
-ステップb)の間、第1の樹脂層を70℃~150℃の間まで加熱する。
-スタンプは、構成要素の前記少なくとも第1の水平面を画定する浮き彫りの形の刻印を有する。
-露光表面すべての上で全体的に堆積させることにより導電層を実装する。
-物理蒸着、またはインクもしくは導電性樹脂を用いる印刷により導電層を堆積させる。
-前記導電層は、Au、Ti、Pt、Ag、Cr、もしくはPd、またはこれらの材料の少なくとも2つの積層である。
-基板はケイ素である。
-スタンプは、基板に押しつけられたとき、スタンプを通して第1の樹脂層を照射するように、透明な材料から作られる。
-導電層は、50nm~500nmの間の厚さを有する。
2 スタンプ
3 第1の感光性樹脂層
3a 光重合感光性領域
4 導電層
6 第2の感光性樹脂層
6a 光重合感光性領域
7 金属層
Claims (11)
- 少なくとも1つの時計構成要素を製作するための方法であって、
a)基板(1)を提供し、第1の感光性樹脂層(3)を適用するステップと、
b)スタンプ(2)を使用して、前記第1の感光性樹脂層(3)を形づくるために、前記感光性樹脂層を維持するように前記基板(1)から所定の距離まで前記スタンプ(2)を押しつけることにより、前記第1の感光性樹脂層(3)のホットスタンピングを遂行するステップと、
c)前記構成要素の少なくとも1つの水平面を画定するために、前記形づくられた第1の感光性樹脂層(3)をUV照射するステップと、
d)前記ステップc)から結果として得られた構造物を覆う第2の感光性樹脂層(6)を適用し、次いで、前記構成要素の第2の水平面を画定するマスクを通して前記第2の感光性樹脂層(6)をUV照射し、前記第1の水平面および前記第2の水平面を備える鋳型を形成するために、前記第2の感光性樹脂層(6)の前記UV照射をしていない非照射領域を溶解するステップと、
e)前記第1の感光性樹脂層および前記第2の感光性樹脂層の表面上に導電層(4)を堆積させるステップと、
f)前記構成要素を形成するために、前記導電層(4)から始めて、前記鋳型内で電鋳することにより金属層(7)を堆積させるステップと、
g)前記構成要素の高さを調節するように、機械的方法により前記金属層(7)を機械加工し、前記構成要素を外すステップと
を備える方法。 - 前記ステップb)は真空下で行われることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記ステップb)の間、前記第1の感光性樹脂層を70℃~150℃の間まで加熱することを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- 前記スタンプは、前記構成要素の少なくとも前記第1の層を画定するために、浮き彫りの形の刻印を有することを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ステップe)の間、すべての露光された前記表面の上で全体的に堆積させることにより前記導電層(4)を実装することを特徴とする、請求項1~4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ステップd)の間、物理蒸着、またはインクもしくは導電性樹脂を用いた印刷により前記導電層(4)を堆積させることを特徴とする、請求項1~5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記導電層(4)は、Au、Ti、Pt、Ag、Cr、またはPdであることを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板(1)はケイ素から作られることを特徴とする、請求項1~7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記スタンプ(2)は、前記基板(1)に押しつけられたとき、前記スタンプ(2)を通して前記第1の感光性樹脂層(3)をUV照射するように、透明な材料から作られることを特徴とする、請求項1~7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記導電層(4)は、50nm~500nmの間の厚さを有することを特徴とする、請求項1~9のいずれか一項に記載の方法。
- 時計構成要素であって、請求項1~10のいずれか一項に記載の方法により得られる時計構成要素。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006161138A (ja) | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Seiko Instruments Inc | 電鋳型とその製造方法 |
JP2006297717A (ja) | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 樹脂製薄膜の検査方法および検査装置 |
WO2013182615A1 (fr) | 2012-06-05 | 2013-12-12 | Mimotec Sa | Procede de fabrication de pieces micromecaniques difficilement reproductibles, et pieces micromecaniques fabriquees selon ce procede |
DE102014010116A1 (de) | 2013-04-29 | 2015-08-20 | Elmos Semiconductor Aktiengesellschaft | MEMS Sensor für schwierige Umgebungen und Medien |
JP2016176090A (ja) | 2015-03-18 | 2016-10-06 | セイコーインスツル株式会社 | 電鋳型、電鋳母型及び電鋳母型の製造方法 |
EP3266905A1 (en) | 2016-07-04 | 2018-01-10 | Richemont International S.A. | Method for manufacturing a timepiece component |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3990307B2 (ja) * | 2003-03-24 | 2007-10-10 | 株式会社クラレ | 樹脂成形品の製造方法、金属構造体の製造方法、チップ |
JP2005339669A (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Tdk Corp | インプリント方法、情報記録媒体製造方法およびインプリント装置 |
EP1826634A1 (fr) * | 2006-02-28 | 2007-08-29 | Nivarox-FAR S.A. | Pièce de micro-mécanique avec ouverture de forme pour assemblage sur un axe |
JP2009080914A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Victor Co Of Japan Ltd | 光ディスク原盤の製造方法、光ディスク原盤、スタンパ、光ディスク基板、及び光ディスク |
EP2060534A1 (fr) * | 2007-11-16 | 2009-05-20 | Nivarox-FAR S.A. | Pièce de micromécanique composite silicium - métal et son procédé de fabrication |
CH704572B1 (fr) * | 2007-12-31 | 2012-09-14 | Nivarox Sa | Procédé de fabrication d'une microstructure métallique et microstructure obtenue selon ce procédé. |
EP2157476A1 (fr) | 2008-08-20 | 2010-02-24 | Nivarox-FAR S.A. | Procédé de fabrication de pièces métalliques multi-niveaux par la technique LIGA-UV |
JP5692992B2 (ja) * | 2008-12-19 | 2015-04-01 | キヤノン株式会社 | 構造体の製造方法及びインクジェットヘッドの製造方法 |
EP2263972A1 (fr) * | 2009-06-12 | 2010-12-22 | Nivarox-FAR S.A. | Procédé de fabrication d'une microstructure métallique et microstructure obtenue selon ce procédé |
JP5707577B2 (ja) * | 2009-08-03 | 2015-04-30 | ボンドテック株式会社 | 加圧装置および加圧方法 |
KR100974288B1 (ko) * | 2010-01-13 | 2010-08-05 | 한국기계연구원 | 나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법 및 이를 이용한 led 소자의 제조방법 |
EP2405300A1 (fr) | 2010-07-09 | 2012-01-11 | Mimotec S.A. | Méthode de fabrication de pièces métalliques multi niveaux par un procédé du type LIGA et pièces obtenues par la méthode |
WO2015095291A1 (en) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | Illumina, Inc. | Substrates comprising nano-patterning surfaces and methods of preparing thereof |
AT516558B1 (de) * | 2014-12-10 | 2018-02-15 | Joanneum Res Forschungsgmbh | Prägelack, Verfahren zum Prägen sowie mit dem Prägelack beschichtete Substratoberfläche |
CN105665925B (zh) * | 2016-03-25 | 2017-08-25 | 南京京晶光电科技有限公司 | 在基材表面刻蚀加工cd纹并激光切割形成logo的方法 |
CH713970A1 (fr) * | 2017-07-12 | 2019-01-15 | Sa De La Manufacture Dhorlogerie Audemars Piguet & Cie | Composant horloger en alliage binaire CuNi amagnétique. |
EP3839624B1 (fr) * | 2019-12-18 | 2023-09-13 | Nivarox-FAR S.A. | Procede de fabrication d'un composant horloger |
EP3839626B1 (fr) * | 2019-12-18 | 2023-10-11 | Nivarox-FAR S.A. | Procede de fabrication d'un composant horloger |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006161138A (ja) | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Seiko Instruments Inc | 電鋳型とその製造方法 |
JP2006297717A (ja) | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 樹脂製薄膜の検査方法および検査装置 |
WO2013182615A1 (fr) | 2012-06-05 | 2013-12-12 | Mimotec Sa | Procede de fabrication de pieces micromecaniques difficilement reproductibles, et pieces micromecaniques fabriquees selon ce procede |
DE102014010116A1 (de) | 2013-04-29 | 2015-08-20 | Elmos Semiconductor Aktiengesellschaft | MEMS Sensor für schwierige Umgebungen und Medien |
JP2016176090A (ja) | 2015-03-18 | 2016-10-06 | セイコーインスツル株式会社 | 電鋳型、電鋳母型及び電鋳母型の製造方法 |
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