JP7102218B2 - リソグラフィ装置及び方法 - Google Patents
リソグラフィ装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7102218B2 JP7102218B2 JP2018090435A JP2018090435A JP7102218B2 JP 7102218 B2 JP7102218 B2 JP 7102218B2 JP 2018090435 A JP2018090435 A JP 2018090435A JP 2018090435 A JP2018090435 A JP 2018090435A JP 7102218 B2 JP7102218 B2 JP 7102218B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- layers
- polarized
- reflected
- aoi
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
Claims (18)
- 波長λを有する放射ビームを調節するように構成された照明システムを備え、
前記照明システムは反射性の光学要素を備え、
前記光学要素は第1の層及び第2の層を有する二層を備え、
前記二層は、入射角(aoi)で前記二層に入射する放射が前記二層から反射されて、前記反射放射のs偏光成分が前記入射放射のs偏光成分に対して増大するように構成されており、
前記二層から反射された前記s偏光放射の反射率が前記aoiについて最大となるように、前記二層の厚さはλ/(2cos(aoi))に実質的に等しい、
リソグラフィ装置。 - 前記二層は、ブルースター角に相当する入射角(aoi)で前記二層に入射する放射が前記二層から反射されて前記反射放射が実質的に完全にs偏光されるように構成されている、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記二層の前記厚さは、前記二層から反射された前記s偏光放射の前記反射率がブルースター角において最大となるように構成されている、請求項1又は2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1及び第2の層の厚さの比は少なくとも1:1.5であり、最大で1.5:1である、請求項1から3のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記二層における前記第1の層の前記厚さと前記第2の層の前記厚さとの前記比は実質的に1:1.5である、請求項4に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光学要素は複数の二層を含む多層を備える、請求項1から5のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記光学要素は少なくとも10の二層を含む、請求項6に記載のリソグラフィ装置。
- 前記二層はMoSi又はRuSiを含む、請求項1から7のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記照明システムは、前記光学要素の入射面に対して垂直な面内に実質的に配置されたリフレクタを備え、前記光学要素を通って透過されたp偏光放射が前記リフレクタの面に対してs偏光されるようになっており、前記リフレクタは前記放射を反射するように構成されている、請求項1から8のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記光学要素は前記照明システムのフィールド面に位置決めされている、請求項1から9のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記照明システムは複数の光学要素を備える、請求項1から10のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記リソグラフィ装置はEUVリソグラフィ装置である、請求項1から11のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 反射性の光学要素を備えた照明システムを有するリソグラフィ装置のために放射を偏光する方法であって、
波長λを有する放射を、第1の層及び第2の層を有する二層を備えた前記光学要素に入射角(aoi)で入射するように誘導することと、
前記二層から放射を反射させて、前記反射放射のs偏光成分が前記入射放射のs偏光成分に対して増大するようにすることと、
を含み、
前記二層から反射された前記s偏光放射の反射率が前記aoiについて最大となるように、λ/(2cos(aoi))に実質的に等しい厚さを有する前記二層から放射を反射させる
方法。 - ブルースター角に相当する入射角(aoi)で前記二層から放射を反射させて前記反射放射が実質的に完全にs偏光されるようにすることを更に含む、請求項13に記載の方法。
- ブルースター角に相当する入射角(aoi)で前記二層から放射を反射させることを更に含み、前記二層の前記厚さは、前記二層から反射された前記s偏光放射の前記反射率がブルースター角において最大となるように構成されている、請求項13又は14に記載の方法。
- 複数の二層を含む多層から放射を反射させることを更に含む、請求項13から15のいずれかに記載の方法。
- 前記光学要素の入射面に対して垂直な面内に実質的に配置されたリフレクタから前記光学要素を通って透過された放射を反射させて、前記光学要素を通って透過されたp偏光放射が前記リフレクタの面に対してs偏光放射として反射されるようにすることを更に含む、請求項13から16のいずれかに記載の方法。
- 前記放射はEUV放射である、請求項13から17のいずれかに記載の方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018090435A JP7102218B2 (ja) | 2018-05-09 | 2018-05-09 | リソグラフィ装置及び方法 |
NL2021359A NL2021359A (en) | 2018-05-09 | 2018-07-20 | A lithographic apparatus and method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018090435A JP7102218B2 (ja) | 2018-05-09 | 2018-05-09 | リソグラフィ装置及び方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019197127A JP2019197127A (ja) | 2019-11-14 |
JP7102218B2 true JP7102218B2 (ja) | 2022-07-19 |
Family
ID=65228211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018090435A Active JP7102218B2 (ja) | 2018-05-09 | 2018-05-09 | リソグラフィ装置及び方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7102218B2 (ja) |
NL (1) | NL2021359A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008538452A (ja) | 2005-04-20 | 2008-10-23 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 投影露光系、このような投影露光系の補助により微細構造の構成部材を製造する方法、このような系において使用するために適応させた偏光光学素子 |
JP2013518418A (ja) | 2010-01-28 | 2013-05-20 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学系の偏光特性を特性決定する構成体及び方法 |
JP2016503186A (ja) | 2012-12-14 | 2016-02-01 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 |
-
2018
- 2018-05-09 JP JP2018090435A patent/JP7102218B2/ja active Active
- 2018-07-20 NL NL2021359A patent/NL2021359A/en unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008538452A (ja) | 2005-04-20 | 2008-10-23 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 投影露光系、このような投影露光系の補助により微細構造の構成部材を製造する方法、このような系において使用するために適応させた偏光光学素子 |
JP2012060178A (ja) | 2005-04-20 | 2012-03-22 | Carl Zeiss Smt Gmbh | 投影露光系、このような投影露光系の補助により微細構造の構成部材を製造する方法、このような系において使用するために適応させた偏光光学素子 |
JP2013518418A (ja) | 2010-01-28 | 2013-05-20 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学系の偏光特性を特性決定する構成体及び方法 |
JP2016503186A (ja) | 2012-12-14 | 2016-02-01 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019197127A (ja) | 2019-11-14 |
NL2021359A (en) | 2018-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4832477B2 (ja) | リソグラフィ投影装置及び偏光器デバイス | |
TW496948B (en) | Interferometers utilizing polarization preserving optical systems | |
TW505797B (en) | Polarization preserving optical systems | |
US20080094601A1 (en) | Providing a Pattern of Polarization | |
US8102511B2 (en) | Lithographic apparatus with enhanced spectral purity, device manufacturing method and device manufactured thereby | |
CN111051990A (zh) | 用于光刻装置的光学部件的加热系统 | |
US8582079B2 (en) | Using phase difference of interference lithography for resolution enhancement | |
JP2013506979A (ja) | マイクロリソグラフィのための照明光学ユニット | |
JP5485262B2 (ja) | アライメントフィーチャ、プリ・アライメント方法、及びリソグラフィ装置 | |
TWI767291B (zh) | 對準裝置及微影裝置 | |
KR100597039B1 (ko) | 높은 개구수 시스템을 위한 정적 및 동적 방사상 횡단 전자 편광기 디바이스, 리소그래피 투영장치 및 그 제조방법 | |
JP4431497B2 (ja) | 光学撮像系、とくにカタディオプトリック縮小対物レンズ | |
US20180314165A1 (en) | Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus | |
JP4912686B2 (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP7102218B2 (ja) | リソグラフィ装置及び方法 | |
US9025624B2 (en) | Beam generator | |
US20220214610A1 (en) | A patterning device | |
TWI798224B (zh) | 圖案化器件、其製造方法以及包含將經圖案化輻射光束投影至基板上之方法 | |
US6924081B1 (en) | Photosensitive material for immersion photolithography | |
US7355679B2 (en) | Lithography arrangement and procedure that produces a lithography | |
TWI836063B (zh) | 圖案化裝置 | |
US10962885B2 (en) | Extreme ultraviolet (EUV) polarization splitter | |
JP4951032B2 (ja) | 光学エレメント、このような光学エレメントを備えたリソグラフィ装置、デバイス製造方法およびそれによって製造されたデバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210430 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220329 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220704 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220706 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7102218 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |