JP7090474B2 - 記録装置、及び記録ヘッド基板 - Google Patents

記録装置、及び記録ヘッド基板 Download PDF

Info

Publication number
JP7090474B2
JP7090474B2 JP2018099798A JP2018099798A JP7090474B2 JP 7090474 B2 JP7090474 B2 JP 7090474B2 JP 2018099798 A JP2018099798 A JP 2018099798A JP 2018099798 A JP2018099798 A JP 2018099798A JP 7090474 B2 JP7090474 B2 JP 7090474B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
recording
temperature sensors
recording head
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018099798A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2019006108A5 (ja
JP2019006108A (ja
Inventor
亮 葛西
謙吾 梅田
高光 徳田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to US16/009,433 priority Critical patent/US10406808B2/en
Publication of JP2019006108A publication Critical patent/JP2019006108A/ja
Priority to US16/528,769 priority patent/US10987922B2/en
Publication of JP2019006108A5 publication Critical patent/JP2019006108A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7090474B2 publication Critical patent/JP7090474B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、記録装置、及び記録ヘッド基板に関する。
所望される文字や画像等の情報を用紙やフィルム等シート状の記録媒体に記録を行う記録装置が一般的に広く用いられている。このような記録装置で使用される記録ヘッドの構成として、熱エネルギーを利用して記録を行うインクジェット方式の記録ヘッドがある。インクジェット方式の記録ヘッドは、記録素子としてインク液滴を吐出する吐出口に連通する部位にヒータを設け、ヒータに電流を印加して発熱させ、インクの膜沸騰によりインク液滴を吐出させることで記録を行う。このような記録ヘッドは多数の吐出口、ヒータを高密度に配置することが容易であり、これにより高精細な記録画像を得ることができる。
特開2012-000954号公報
記録ヘッド基板では、温度によって吐出されるインクの液滴量や吐出速度がばらつく。そのため、基板に温度分布が生じた場合、その温度分布がそのまま画像のむらになり、画像品質が低下する。
そこで、基板の温度むらを補正するために基板内における多点の温度を取得し、基板内の温度が一定化されるように温度制御を行う。多点の温度を取得するために、特許文献1では基板内に選択回路を設け、最小限の端子数で多点の温度が取得できるような回路構成を開示している。この構成により、低コストで多点の温度むらを補正し、高画質化を実現できる。しかし、近年の記録ヘッドの基板(記録ヘッド)を用いた記録動作の更なるスループット向上に伴って、インク吐出のための同時駆動ヒータ数が増え、このノイズにより、高精度に多点の温度を取得することが困難になってきている。1つのヒータが駆動する場合であっても同様の課題が生じる可能性がある。このノイズの影響の低減が求められている。
上記課題を解決するために本発明は以下の構成を有する。すなわち、記録装置であって、画像を記録するための記録素子を有する記録ヘッド基板と、前記記録素子を駆動するための駆動素子と、前記駆動素子に駆動信号を印加する印加回路と、前記印加回路が接続される接地配線と、前記記録ヘッド基板に関わる温度を検出するための複数の温度センサと、前記複数の温度センサのそれぞれと直列に接続するように、温度センサのカソード側と前記接地配線との間に設けられた複数の抵抗と、前記複数の温度センサのアノード側において、前記複数の温度センサのうちのいずれかを選択するための第1の選択回路と、前記複数の温度センサのカソード側と前記複数の抵抗との間でそれぞれ接続され、前記複数の温度センサのカソード側において、前記複数の温度センサのうちのいずれかを選択するための第2の選択回路と、前記第1の選択回路により選択された温度センサのアノード側の電圧と、前記第2の選択回路により選択された当該温度センサのカソード側の電圧との差分に応じて温度信号を出力する温度信号出力回路と、電力の供給元と前記複数の温度センサのアノード側との間に設けられ、前記電力の供給される温度センサと抵抗を、それぞれ前記複数の温度センサと前記複数の抵抗から選択するための第3の選択回路と、を備える。
本発明により、記録ヘッド内における多点の温度を検知する際のノイズの影響を抑制することが可能になる。
第一の実施形態に係る回路構成の例を示す図。 比較のための従来の温度検知回路の構成例を示す図。 第一の実施形態に係る回路構成における電圧/電流波形を説明するための図。 比較のための従来の回路構成における電圧/電流波形を説明するための図。 第一の実施形態に係るPNP温検ダイオードの平面/断面図。 比較のための従来のPNP温検ダイオードの平面/断面図。 第二の実施形態に係る回路構成の例を示す図。 第二の実施形態に係るNPN温検ダイオードの平面/断面図。
<第一の実施形態>
図1は、本発明の第一の実施形態に係る記録ヘッド基板の回路構成の例を示す図である。また、図2は、比較対象としての、従来の記録ヘッド基板の回路構成の例を示す図である。図3は、本発明の第一の実施形態に係る記録ヘッド基板の回路構成の例における電圧/電流波形を説明するための図である。また、図4は、比較対象として示した図2の回路構成の例における電圧/電流波形を説明するための図である。図5は、本発明の第一の実施形態に係る温度検知用のセンサ(温度センサ)として機能するダイオード(以下、温検DI)104-1、104-2、104-3(以下総称して104と表現する)の平面/断面図および接続図である。以下、これらの図を用いて本実施形態に係る構成について説明を行う。
記録ヘッド基板101と電気基板121とが、フレキ配線120を介して電気的に接続される。ここでは、電気基板121は、記録装置本体側に設けられたものとして説明する。また、記録装置本体側には、記録ヘッド基板101に設けられた各種回路を制御するための制御信号や、画像形成を行うための画像データに対応する信号を、記録ヘッド基板101へ出力するための部位が設けられているものとする。ここでは、制御部127が各種信号を記録ヘッド基板101に出力するものとして説明する。
まず、図2から図4を用いて、比較のための従来の構成例と課題について説明する。記録ヘッド基板101は、ヒータ102にヒータ電流202を流すことによってヒータ102を加熱し、インクを発泡吐出させる。なお、ここでは、説明を簡単にするために、1つのヒータ周りの構成に着目して説明を行うが、記録ヘッド基板101には、画像形成を行うための複数のヒータが設けられているものとする。この場合、複数のヒータは、所定のタイミングにて、時分割駆動を行うものとする。VH110は、ヒータ電流202を流すための電源を示し、10~30V程度の高電圧を供給する。これの対となるマイナス側は、接地配線としてのGNDH111が設けられる。VHT112は電源を示し、3~5V程度の低電圧を供給し、ロジック駆動やドライバトランジスタ103の駆動電圧として使用される。これの対となるマイナス側は、接地配線と接続され、この接地配線は、端子VSS205に接続される。
ヒータ駆動のために、駆動素子であるドライバトランジスタ103のゲート(G)に、電気基板121側に設けられた制御部127からの信号に基づいて、ロジック回路210にて駆動信号であるヒート信号201に変換され、ヒート信号201(図3)がバッファ109を介して印加される。バッファ109は、ドライバトランジスタ103に対するヒート信号201の印加回路として動作する。この際、図2に示すように、ON/OFF遷移時にゲート容量にはチャージ電流203およびシンク電流204が流れる。ON遷移時には、チャージ電流203はVHT112からバッファ109を介してゲートへ流れ、電荷をチャージする。その際、ゲート容量間の電荷移動により同じチャージ電流203と同じ電流が容量の逆端子側のGNDH111へ流れる。OFF遷移時のシンク電流204に関しても同様に、VH110から端子VSS205の経路で電流が流れる。記録ヘッド基板101には、ヒータ102に対応してドライバトランジスタ103とバッファ109が設けられている。記録ヘッド基板101には、複数のドライバトランジスタと複数のバッファ109が設けられている。
記録ヘッド基板101では高電圧電源系と低電圧ロジック電源系を別々に設けることで、ヒートノイズがロジック電源系に極力影響を与えないように設計されている。しかし、ドライバトランジスタ103のゲート駆動電流に関しては、上述したようにゲート容量を介して双方の電源対間で電流が行き来する。その結果、端子VSS205に接続された電気基板121側には、図4の電圧波形VSS305に示すようなコモンモードノイズによる影響を受けた状態の電圧が出力されることとなる。このノイズは、チャージ電流203およびシンク電流204のような高周波電流がフレキ配線120に流れることで発生する。ノイズレベルは主に同時駆動するドライバトランジスタ103の数(ゲートフォース・シンク電流値)や、フレキ配線120の寄生インダクタンスによって決まる。
記録ヘッド基板101に複数設けられた温検DI104は、選択回路として機能するMUX105、106によって選択され、DI電流113を流すことで温度に依存したアナログ電圧を発生させている。このアナログ電圧は、出力部(端子DIK206、端子DIA_MON207)から電気基板121へ出力される。この複数の温検DI104は、記録ヘッド基板101において異なる位置に配置されている。言い換えると、複数の温検DI104は、記録ヘッド基板101の異なる位置の温度を検知可能なように配置されている。上述したように、記録ヘッド基板101には、電気基板121から制御信号(外部信号)が入力されており、この制御信号に基づいて、MUX105、106による選択が行われる。記録ヘッド基板101から出力されるアナログ電圧は、電気基板121側に設けられた信号増幅回路124によって増幅し、任意のタイミングで温度信号出力回路として機能するADコンバータ(以下、ADC)122によってデジタル変換し、検知された温度信号に基づく温度データを、記録ヘッド基板101に対する制御手段として機能する本体ASIC(不図示)へ転送する。本体ASICは、例えば、温度データに基づいて、ヒート信号のパルス幅を制御する。なお、各種信号を出力する制御部127は、その一部として本体ASIC(不図示)を含んでよい。MUX106は、温検DI104の電流のアノード側の端子(入力部)に接続されている。
図2、図4に示すように、比較のための従来構成では、DI電流113は、記録ヘッド基板101の端子DIA208から入力され、端子DIK206へ流れている。端子DIK206と端子VSS205とは基板抵抗108を介して分離することで、上述したような端子VSS205側にて発生するノイズを、端子DIK206側で極力影響を受けないような構成とする設計思想である。しかし、多点温度検知のために温検DI104の数が増えると、端子DIK206と端子VSS205間の抵抗は基板抵抗108の並列化によって下がる。その結果、シンク電流204が端子DIK206側へ回り込んでしまい、温度検知においてそのノイズの影響を大きく受けることになる。ノイズが収束するまで待った後に、電気基板121側のADC122によって電圧を取得すれば高精度な温度が得られるが、その待った時間の分だけスループットを落とすことになる。一方、スループットを優先すれば、上述したノイズによる影響が残り、温度に対する検出精度が落ちる。
本実施形態に係る回路構成では、図5(b)に示すように、温検DI104は、PNPトランジスタのベース502とコレクタ503をショートしたダイオード接続構成を使用する。温度電圧はエミッタ(E)-ベース(B)間で作られ、エミッタ(E)-コレクタ(C)間にはベース電流が増幅された電流が流れる。このように、単純なPN構成よりもPNPトランジスタを用いたダイオード接続構成を用いた方が電流を多く流すことが可能であり、電流ノイズ耐性が格段に上がる。
図5は、本実施形態に係る温検DI104の平面/断面図を示す。図5(b)は、図5(a)に示すA-A‘の線での断面図である。PNPトランジスタの各電極はプラグ403とシリコンにドーピングされた比較的抵抗の低い高不純物濃度領域から構成されている。エミッタ501、コレクタ503、サブコンタクト504はpの高不純物濃度領域P+403、ベース405はnの高不純物濃度領域N+405が電極として機能している。エミッタ501のP+403とN-404でPN構成のダイオードを形成しており、そのN側の電極としてベース502が形成されている。それにP型シリコン基板401が接することでPNPトランジスタが形成され、P型の電極としてコレクタ503が形成されている。コレクタ503の外周にはサブコンタクト504が配置されている。サブコンタクト504は一般的に高不純物濃度領域P+403を介してP-402やP型シリコン基板401の電位を0Vに落とし、回路電源のグランドレベルを確保することで回路の安定動作を図るためにトランジスタ近傍に配置する。
比較のための従来構成では、図6に示すように、エミッタ501から流れ出す電流をコレクタ503(端子DIK206側)へ流していた。一方、本実施形態では、コレクタ503ではなく、更に基板抵抗108を介してサブコンタクト504へと流す。これにより、端子DIK206における電圧値をGND126に対して一定の電圧の分だけ高くしている。なお、基板抵抗108は、PNPトランジスタのコレクタ503とサブコンタクト504との間で構成されるP-402で形成される、pの不純物濃度が比較的低いSi基板抵抗となる。前述したように、一般的には、サブコンタクト504は基板電圧をGND電位に安定させるために使われる。このため、サブコンタクト504は、回路の電流経路としては使用しない。一方、本実施形態では、サブコンタクト504を基板抵抗108の電極として利用し、電流経路として使用する。更に、一般的にはサブコンタクト504によってP+403はGND電位となるように使用する。しかし、本実施形態では、P+403および付近のP-402の電位をGND電位よりも高い電圧に設定する。
次に、本発明の第一の実施形態について図1を用いて説明する。比較のための従来構成と同様の内容は、簡単に説明する。複数の温検DI104は、それぞれ一対のアノード505とカソード506を有している。基板抵抗108は、温検DI104と端子VSS205との間に接続されている。温検DI104のカソード506は、基板抵抗108と接続されている。MUX105は、端子DIA208の接続先を選択する。つまり、MUX105は、電力の供給元から印加される電力の供給先を複数の温検DI104の中から選択するように動作する。MUX106は、端子DIA_MON207の接続先を選択する。MUX107は、端子DIK206の接続先を選択する。つまり、MUX106、107は、複数の温検DI104の中から、温度を検知する際に用いる温検DIを選択するように動作する。温検DI104のアノード505は、MUX105、106と接続している。従って、定電流源123からのDI電流113が、MUX105によって選択的に温検DI104に通電される。温検DI104のアノード505の電位は、MUX106によって選択的に、端子DIA_MON207を介して、記録ヘッド基板101の外部に位置する電気基板121側へ出力される。この温検DI104のカソード506と基板抵抗108との接続部は、MUX107と接続されている。MUX107による選択によって、温検DI104のカソード506の電位が、端子DIK206を介して電気基板121側へ出力される。つまり、MUX105によって選択された1つの温検DI104にDI電流113が流れる。これにより、MUX106およびMUX107によって選択された温検DI104の両端のアノード505とカソード506の電位差(電圧の差分)が、端子DIA_MON207と端子DIK206における電位差として出力される。なお、本実施形態において、MUX105、106、107はそれぞれ、電気基板121側に設けられた制御部127からの制御信号に従って、接続先の選択を行う。なお、本実施形態では、1つの温検DI104を選択するためにMUX105、106、107が連動して動作するものとして説明するが、この構成に限定するものではない。例えば、MUX105は、MUX106、107とは異なる制御信号に基づいて動作してもよい。
図1の電気基板121上の信号増幅回路125は、端子DIA_MON207の電圧と端子DIK206の電圧との電位差を入力とする差動回路として動作する回路構成となっている。端子DIA_MON207と端子DIK206に接続される信号増幅回路125の両入力は、Hi-Z(ハイインピーダンス)状態である。さらに、MUX107は、図2に示す構成では共通であった温検DI104のカソード端子と端子DIK206との接続を分離し、電圧をモニタするための配線をカソード端子(出力部)に選択可能に接続している。つまり、MUX107は、温検DI104それぞれのコレクタのいずれかとの接続を選択可能なように設けられている。言い換えると、温検DI104のカソード端子と基板抵抗108との接続部の電圧値をモニタするようにMUX107が接続されている。このような構成にすることで、図3に示すように端子DIK206からの電圧値をGND126に対して一定の電圧の分だけ高くすることができる。
比較のための従来例として示す図4のように、端子DIK206の電圧がノイズによる影響によりマイナスの値を出力することが想定される場合、信号増幅回路はマイナス側にも電圧入力レンジを広げる必要があった。そのためには、別途マイナス電源を設ける、もしくはマイナス電圧の入力に対応したアンプを使用する必要があった。しかし、本実施形態に係る構成では、電圧はマイナスの値として出力されることがないため、単電源の汎用アンプで信号増幅回路125を構成することが可能となり、大幅なコストダウンが可能となる。
また、このように対象の電圧から、一定の電圧の分だけ高くするためには、DI電流113の経路のカソード506とグランドの間に抵抗素子を別途設ける方法もある。しかし、本実施形態では、前述したようにサブコンタクト504へ電流を流す構成のため特別な抵抗素子も抵抗のための基板スペースもなしで実現することが可能である。
図3を用いて前述したように、信号増幅回路125の両入力はHi-Z状態のため、電圧波形VSS305に影響を与えるノイズは、そのまま、端子DIK_MON207から出力される電圧波形DIA_MON307、および端子DIK206から出力される電圧波形DIK306の両方の電圧に重畳する。信号増幅回路125の出力は、
出力電圧=(DIA_MON-DIK)×増幅率
である。つまり、ノイズ成分がキャンセルされたアナログ温度電圧がADC122へ出力されることになる。これによって、温度検知の精度の向上とスループットの向上の両立を実現することが可能となる。
本実施形態では、信号増幅回路125、ADC122、定電流源123が電気基板121に搭載されている例を示した。しかしこの構成に限定するものではなく、これら回路が記録ヘッド基板101内に搭載されていてもよい。
なお、上述した実施形態の他に、信号増幅回路125の代わりに、デジタル信号増幅回路はデジタル電圧を入力して、ノイズ成分がキャンセルされたデジタル温度電圧を出力する形態でも構わない。例えば、記録ヘッド基板101上にADコンバータを設ける。このADコンバータは、温検DI104のアナログ電圧を入力し、デジタル電圧に変換する。ADコンバータは、端子DIA_MON207や端子DIK206へデジタル電圧を出力する構成とする。この構成により、信号増幅回路125は端子DIA_MON207や端子DIK206を介して、デジタル電圧を入力する。
図5の構成例では、サブコンタクト504が温検DI104の周囲を囲った配置としているが、もっと離れた位置に配置されていてもよい。例えば、温検DI104の周囲にサブコンタクト504を取らず、温検DI104よりも遠く離れたロジック回路等のサブコンタクトへ電流を流すことで基板抵抗の値は上がり、端子DIKにおけるノイズのマージンも上がる。抵抗値はP-402の不純物濃度によって大きく変わるが、例えば、サブコンタクト504が40um程度離れていると抵抗は200Ω程度となる。従って、例えば、コレクタとサブコンダクタとの距離は、40um以上離れた構成とすることが可能である。ダイオード電流が0.2mAの場合、端子DIK206における電圧は40mV程度高くなるため、振幅が-40mV程度ノイズであれば、信号増幅回路125は単電源で対応可能できる。
また、基板抵抗108に相当する抵抗はポリシリコンあるいは多結晶シリコン(Poly-Si)、記録素子と同材料の抵抗、Si基板抵抗などにより構成される。
<第二の実施形態>
次に、本発明の第二の実施形態について、図7、図8を用いて説明する。図7は、本実施形態に係る記録ヘッド基板の構成例を示す。図8は、本実施形態に係る温検DI604の平面レイアウトおよび断面図を示し、ここでは、図7(c)に対応している。図8(b)は、図8(a)に示すA-A‘の線での断面図である。
本実施形態に係る温検DI604は、NPNトランジスタのコレクタ-ベースショートの構成である。図8はエミッタ501、コレクタ503は高不純物濃度領域N+405が電極となっており、ベース502、サブコンタクト504は高不純物濃度領域P+403が電極となっている。第1の実施形態にて、図5の温検DI104はPNP構成でカソードが基板抵抗108を介して端子VSS205と接続されていた。一方、本実施形態に係るNPN構成では、コレクタ503と同電位となる(接続されている)N-404がアノード(ベース502と接続)P-402およびカソード(エミッタ501)N+405を囲い込むように深い位置にも形成されている。従って、アノードとカソード(エミッタ501)が端子VSS205(P型シリコン基板401およびP-402)から電気的に分離される。
図7(a)は、NPN構成の温検DI604-1、604-2、604-3(以下総称して604と表現する)における本実施形態に係る構成であり、第一の実施形態と同様、端子DIK206の電位をGND126に対して高くすることで、信号増幅回路125のコストダウンを実現している。第一の実施形態では基板抵抗108を利用しているため特別な抵抗素子は不要であった。一方、図7(a)に示す構成では、抵抗素子708が別途用いた構成である。図7(a)に示す構成から更に抵抗素子708を減らした構成が、図7(b)の構成である。図7(b)の構成において、抵抗素子709は、複数の温検DI604のカソードに対して共通に接続される。図7(b)の構成では、図7(a)の構成に対して抵抗素子の数を減らすことができ、コストダウンが可能である。第1の実施形態と同様、図7に示す構成においてもMUX705、706、707はそれぞれ、電気基板121側に設けられた制御部127からの制御信号に従って、接続先の選択を行う。
図7(c)は、電流経路選択のMUX710を温検DI604のカソード側に接続している。第1の実施形態と同様、MUX706、707、710はそれぞれ、電気基板121側に設けられた制御部127からの制御信号に従って、接続先の選択を行う。MUX710はスイッチのオン抵抗を持っているため、カソード側に設けることによって、図7の抵抗素子708、709と同じようにカソード電圧を高くする役割を兼ねることができるようになる。この構成によって抵抗素子が不要となり、NPNトランジスタを利用した温検DI604においても第一の実施形態と同様、信号増幅回路125のコストダウン、及び、温度検知の精度の向上とスループットの向上の両立を実現することが可能となる。
なお、第二の実施形態に示す構成において、信号増幅回路125、ADC122、定電流源123が電気基板121に登載されている例を示した。しかし、これに限定するものではなく、これら回路は記録ヘッド基板101内に搭載されていてもよい。
<その他の実施形態>
上記の実施形態にて示した記録ヘッド基板は、スキャン方式の記録ヘッドに設けられてもよいし、フルライン方式の記録ヘッドに用いられていてもよい。また、複数の記録ヘッドが用いられる記録装置にて備えられてもよいし、1つの記録ヘッドを備える記録装置にて用いられてもよい。また、記録ヘッド基板101の形態は、図1のような形態に限定するものではなく、ヒータ102以外は、記録ヘッド基板101の外部の基板や回路ユニットに設けられていても構わない。また、記録素子として、ヒータに限定するものではなく、ピエゾ素子、LEDなどの発光素子でも構わない。
101…記録ヘッド基板、102…ヒータ、103…ドライバトランジスタ、104…温検DI、105~107…MUX、108…基板抵抗、120…フレキ基板、121…電気基板、122…ADC、123…定電流源、125…信号増幅器

Claims (15)

  1. 記録装置であって、
    画像を記録するための記録素子を有する記録ヘッド基板と、
    前記記録素子を駆動するための駆動素子と、
    前記駆動素子に駆動信号を印加する印加回路と、
    前記印加回路が接続される接地配線と、
    前記記録ヘッド基板に関わる温度を検出するための複数の温度センサと、
    前記複数の温度センサのそれぞれと直列に接続するように、温度センサのカソード側と前記接地配線との間に設けられた複数の抵抗と、
    前記複数の温度センサのアノード側において、前記複数の温度センサのうちのいずれかを選択するための第1の選択回路と、
    前記複数の温度センサのカソード側と前記複数の抵抗との間でそれぞれ接続され、前記複数の温度センサのカソード側において、前記複数の温度センサのうちのいずれかを選択するための第2の選択回路と、
    前記第1の選択回路により選択された温度センサのアノード側の電圧と、前記第2の選択回路により選択された当該温度センサのカソード側の電圧との差分に応じて温度信号を出力する温度信号出力回路と、
    電力の供給元と前記複数の温度センサのアノード側との間に設けられ、前記電力の供給される温度センサと抵抗を、それぞれ前記複数の温度センサと前記複数の抵抗から選択するための第3の選択回路と、
    を備える
    ことを特徴とする記録装置。
  2. 前記記録装置は、制御手段を備え、
    前記第1の選択回路、前記第2の選択回路および前記第3の選択回路は、前記制御手段からの信号に応じて、前記複数の温度センサの中から温度センサの選択を行う
    ことを特徴とする請求項1に記載の記録装置。
  3. 前記温度信号出力回路に基づき、温度の値を取得する手段を更に有する
    ことを特徴とする請求項1に記載の記録装置。
  4. 前記記録素子は、前記記録ヘッド基板において複数設けられる
    ことを特徴とする請求項1に記載の記録装置。
  5. 前記温度信号出力回路は、差動回路を含む
    ことを特徴とする請求項1に記載の記録装置。
  6. 前記記録装置は電流源を更に備え、
    前記電流源からの電流は、前記第3の選択回路により選択的に温度センサに通電される
    ことを特徴とする請求項1に記載の記録装置。
  7. 前記温度センサは、PNPトランジスタのベースとコレクタをショートしたダイオード接続構成、NPNトランジスタのベースとコレクタをショートしたダイオード接続構成のいずれかを含む
    ことを特徴とする請求項1に記載の記録装置。
  8. 前記抵抗は、前記PNPトランジスタのコレクタとサブコンタクトとの間で構成されるSi基板抵抗であることを特徴とする請求項7に記載の記録装置。
  9. 前記抵抗は、多結晶シリコン、前記記録素子と同材料の抵抗、Si基板抵抗、のいずれかで構成される
    ことを特徴とする請求項1に記載の記録装置。
  10. 記録ヘッド基板であって、
    記録素子と、
    前記記録素子を駆動するための駆動素子と、
    前記駆動素子に駆動信号を印加する印加回路と、
    前記印加回路が接続される接地配線と、
    前記記録ヘッド基板に関わる温度を検出するための複数の温度センサと、
    前記複数の温度センサのそれぞれと直列に接続するように、温度センサのカソード側と前記接地配線との間に設けられた複数の抵抗と、
    電力が入力される入力部と、
    前記複数の温度センサのアノード側において、前記複数の温度センサのうちのいずれかを選択するための第1の選択回路と、
    前記複数の温度センサのカソード側と前記複数の抵抗との間でそれぞれ接続され、前記複数の温度センサのカソード側において、前記複数の温度センサのうちのいずれかを選択するための第2の選択回路と、
    前記第1の選択回路により選択された温度センサのアノード側の電圧と、前記第2の選択回路により選択された当該温度センサのカソード側の電圧を出力するための出力部と
    前記入力部と前記複数の温度センサのアノード側との間に設けられ、前記電力の供給される温度センサと抵抗を、それぞれ前記複数の温度センサと前記複数の抵抗から選択するための第3の選択回路と、
    を備える
    ことを特徴とする記録ヘッド基板。
  11. 前記第1の選択回路、前記第2の選択回路および前記第3の選択回路は、外部信号に応じて、前記複数の温度センサの中から温度検知を行わせる温度センサの選択を行う
    ことを特徴とする請求項10に記載の記録ヘッド基板。
  12. 前記温度センサは、PNPトランジスタのベースとコレクタをショートしたダイオード接続構成、NPNトランジスタのベースとコレクタをショートしたダイオード接続構成のいずれかを含むである
    ことを特徴とする請求項10に記載の記録ヘッド基板。
  13. 前記抵抗は、前記PNPトランジスタのコレクタとサブコンタクトとの間で構成されるSi基板抵抗である
    ことを特徴とする請求項12に記載の記録ヘッド基板。
  14. 前記抵抗は、多結晶シリコン、前記記録素子と同材料の抵抗、Si基板抵抗、のいずれかで構成される
    ことを特徴とする請求項10に記載の記録ヘッド基板。
  15. 前記記録素子は、前記記録ヘッド基板において複数設けられる
    ことを特徴とする請求項10に記載の記録ヘッド基板。
JP2018099798A 2017-06-28 2018-05-24 記録装置、及び記録ヘッド基板 Active JP7090474B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US16/009,433 US10406808B2 (en) 2017-06-28 2018-06-15 Printing apparatus and printhead substrate
US16/528,769 US10987922B2 (en) 2017-06-28 2019-08-01 Printing apparatus and printhead substrate

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017126518 2017-06-28
JP2017126518 2017-06-28

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2019006108A JP2019006108A (ja) 2019-01-17
JP2019006108A5 JP2019006108A5 (ja) 2021-06-17
JP7090474B2 true JP7090474B2 (ja) 2022-06-24

Family

ID=65027305

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018099798A Active JP7090474B2 (ja) 2017-06-28 2018-05-24 記録装置、及び記録ヘッド基板

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7090474B2 (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005147895A (ja) 2003-11-17 2005-06-09 Canon Inc 記録装置及び記録ヘッドの温度検出回路
US20090194025A1 (en) 2008-02-01 2009-08-06 Samsung Electronics Co., Ltd Apparatus to sense temperature of ink-jet head
JP2012000954A (ja) 2010-06-21 2012-01-05 Canon Inc デバイス
JP2012011759A (ja) 2010-07-05 2012-01-19 Canon Inc ヘッド基板、そのヘッド基板を用いた記録ヘッド、及びその記録ヘッドを用いた記録装置
JP2012236297A (ja) 2011-05-10 2012-12-06 Canon Inc 記録装置及びその処理方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2609746B2 (ja) * 1990-07-19 1997-05-14 株式会社東芝 半導体装置
TW441068B (en) * 1998-03-18 2001-06-16 Em Microelectronic Marin Sa Structure for protecting a circuit against electrostatic discharge

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005147895A (ja) 2003-11-17 2005-06-09 Canon Inc 記録装置及び記録ヘッドの温度検出回路
US20090194025A1 (en) 2008-02-01 2009-08-06 Samsung Electronics Co., Ltd Apparatus to sense temperature of ink-jet head
JP2012000954A (ja) 2010-06-21 2012-01-05 Canon Inc デバイス
JP2012011759A (ja) 2010-07-05 2012-01-19 Canon Inc ヘッド基板、そのヘッド基板を用いた記録ヘッド、及びその記録ヘッドを用いた記録装置
JP2012236297A (ja) 2011-05-10 2012-12-06 Canon Inc 記録装置及びその処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2019006108A (ja) 2019-01-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7950765B2 (en) Liquid discharge head and liquid discharge apparatus using liquid discharge head
CN109414931B (zh) 微滴沉积装置及其测试电路
US8794733B2 (en) Recording head and recording apparatus using the recording head
US10124582B2 (en) Method and apparatus to regulate temperature of printheads
US10894403B2 (en) Semiconductor apparatus, liquid discharge head substrate, liquid discharge head, and liquid discharge apparatus
JP5885412B2 (ja) 記録装置
JP2017523065A (ja) インクジェットプリントヘッド用の温度制御回路
US10987922B2 (en) Printing apparatus and printhead substrate
US8075101B2 (en) Recording head driving method and recording apparatus
US9555653B2 (en) Inspection apparatus and method for liquid discharge head and liquid discharge head
JP7090474B2 (ja) 記録装置、及び記録ヘッド基板
TW580570B (en) Sensor device
JP6827740B2 (ja) 半導体装置、液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置
US20210362492A1 (en) Temperature sensing
JP5498281B2 (ja) ヘッド基板、そのヘッド基板を用いた記録ヘッド、及びその記録ヘッドを用いた記録装置
KR101439849B1 (ko) 잉크젯 헤드의 온도 감지장치
US10532565B2 (en) Print element substrate, printhead, and printing apparatus
US10864725B2 (en) Element substrate, printhead and printing apparatus
JP7077461B1 (ja) 記録素子基板および温度検知装置
JP2003226012A (ja) インクジェットプリンタヘッド
JP2019006108A5 (ja)
JP3767205B2 (ja) インクジェットヘッドの駆動回路
JPH10138482A (ja) 記録ヘッド
JP2020023077A (ja) 素子基板、記録ヘッド、及び記録装置
JP2020138465A (ja) 素子基板、記録ヘッド、及び記録装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20210103

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210113

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210427

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210427

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220225

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220422

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220516

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220614

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7090474

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151