JP7088555B2 - 放射線検出器および放射線検出方法 - Google Patents
放射線検出器および放射線検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7088555B2 JP7088555B2 JP2019038908A JP2019038908A JP7088555B2 JP 7088555 B2 JP7088555 B2 JP 7088555B2 JP 2019038908 A JP2019038908 A JP 2019038908A JP 2019038908 A JP2019038908 A JP 2019038908A JP 7088555 B2 JP7088555 B2 JP 7088555B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- memories
- read
- count value
- memory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 128
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 33
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims description 123
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 66
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 claims description 17
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 8
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 claims 1
- 238000005311 autocorrelation function Methods 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 206010073306 Exposure to radiation Diseases 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000005260 alpha ray Effects 0.000 description 1
- 230000005250 beta ray Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005251 gamma ray Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000004899 motility Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/30—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from X-rays
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
- H04N25/77—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components
- H04N25/772—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components comprising A/D, V/T, V/F, I/T or I/F converters
- H04N25/773—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components comprising A/D, V/T, V/F, I/T or I/F converters comprising photon counting circuits, e.g. single photon detection [SPD] or single photon avalanche diodes [SPAD]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
(放射線検出器の構成)
図1は、放射線検出器100の構成を示す概略図である。放射線検出器100は、フォトンカウンティング型の半導体検出器であり、2次元のデータバッファ機能を有する。放射線検出器100は、放射線を検出し、検出データをフレームごとに外部へ転送する。後述の応用例のように、検出対象となる放射線は、X線である場合に機能を発揮しやすいが、これに限定されずα線、β線、γ線、中性子線等であってもよい。なお、放射線検出器100は、1次元検出器であってもよい。
(1)従来の動作
図2(a)~(c)は、いずれも従来の放射線検出器800の動作を示す概略図である。図2(a)~(c)に示すように、従来の放射線検出器800は、センサ810、読み出し回路820、切り換え回路825、メモリ850および転送回路860を備えている。読み出し回路820は、さらに検出回路830a、830bおよびカウンタ840a、840bを備えている。
一方、放射線検出器100は、2つのメモリ150a、150bを有しており、読み出しと転送とを同時に行なえる。図3(a)~(c)、図4(a)~(c)は、いずれも放射線検出器の一連の動作を示す概略図である。
上記の放射線検出器100の動作をフローチャートで説明する。図5は、放射線検出器100の動作を示すフローチャートである。まず、シャッタを開けて、試料に対して放射線を照射する(ステップS1)。検出面に入った放射線の粒子がセンサ110により検出されるとパルスが発生する。そして、カウンタ140a、140bで放射線のパルスを計数し、計測を開始する(ステップS2)。メモリ150a、150bのいずれかで、計数を終了したカウンタ140a、140bから計数データの読み出しを開始する(ステップS3)。
このような動作を、タイミングチャートを用いて、従来の動作と比較して説明する。図6(a)は、従来の放射線検出器における各動作タイミングチャートである。図6(a)においては、縦軸が各種機能を表し、横軸が時間を表している(図14(a)、(b)についても同様)。
従来の回路は、1つの放射線検出器に対してメモリを一つのみ備えている。図6(a)において、まず制御回路からの制御信号があると、シャッタを開けて露光し、カウンタにより計数する。露光時間eが終わり次第、カウンタ840a、840bで得られた計数値をメモリ850で読み出す。この際の読み出し時間はRtで表される。
図6(b)は、放射線検出器100における各動作のタイミングチャートである。放射線検出器100は、2つのメモリ150a、150bを備えている。制御回路からの制御信号があると、シャッタを開けて露光し、カウンタ140a、140bにより計数する。
リングバッファ(Ring Buffer)とは、概念的に環状に配置された1つのメモリ領域を指す。リングバッファには、リングバッファ上を時計回りに進む書き込みポインタと読み込みポインタがある。書き込みポインタ経由でリングバッファにデータを書き込むと、書き込みポインタが進む。読み込みポインタ経由でリングバッファからデータを読み込むと、読み込みポインタが進む。リングバッファに保存された情報は複数のバンクに分けて管理される。
QDR(Quad Data Rate、登録商標)メモリは、通信ネットワーク向け高速SRAMとして開発された記憶保持動作が不要な随時書き込み読み出しメモリである。QDRメモリは、読み出しと書き込みが同時にできる。
上記の実施形態では、2つのメモリが設けられ、それらの間で計数の読み出しまたは転送をするメモリが切り換えられているが、3以上のメモリで切り換えてもよい。これにより、転送時間が長くかかる場合であっても次々に読み出しを進めることができ、フレームレートが向上する。その結果、転送時間に依存する可能性は低くなる。
(単結晶構造解析装置への応用)
上記のような放射線検出器をX線分析装置に組み込むことができる。図10は、X線分析装置300の構成を示す平面図である。X線分析装置300は、回折X線像を撮影するための単結晶構造解析装置であり、X線源310、試料台320、アーム330、制御部340および放射線検出器100を備えている。X線源310は、X線を試料S0に照射している。
(製造ラインへの応用)
図11は、放射線検出器を用いたX線分析装置の構成を示す側面図である。X線分析装置400は、X線による検査が可能な製造ラインであり、X線源410、ローラ420、ベルト425、制御部440および放射線検出器100を備えている。X線源410は、シャッタレスであり、連続してX線を製品S1に照射している。
(放射線検出器の構成)
上記の実施形態では、1つの検出回路に対して1つのカウンタが設けられているが、1つの検出回路に対して複数のカウンタが切り換え可能に設けられていてもよい。この場合には、カウンタを切り換えることで露光のデッドタイムをゼロにでき、連続露光が可能となる。図12は、2つのカウンタを備える放射線検出器の構成を示す概略図である。
図13(a)~(d)は、いずれも放射線検出器の動作を示す概略図である。なお、実際には図12に示す構成と同様であるが、簡単のため単一の検出回路で表している。図13(a)、(b)に示すように、切り換え回路544の接続によりカウンタ542はパルスを計数し、すでにカウンタ541で計数された計数値は、切り換え回路545の接続によりメモリ150aが読み出す。
図14は、2つのカウンタ541、542を備える放射線検出器の動作のタイミングチャートである。図14に示す共通制御信号は、放射線のシャッタの開閉の信号と外部機器からのトリガ信号を示している。図に示すように、シャッタは常に開いている状態を維持している。
本発明の放射線検出器は、X線光子相関分光法(X-ray photon correlation spectroscopy (XPCS))に用いるのに好適である。物質に位相の揃ったコヒーレントX線を入射すると、局所的な構造情報に対応した斑点状の散乱像(スペックルパターン)が現れる。測定中に平均的な構造は変わらなくとも、局所的な構造の変化や揺らぎが生じることでスペックルパターンは揺らぐ。このスペックルパターンを時分割測定することで、構造の時間変化に関する情報が得られる。X線光子相関分光法とは、このような原理で運動性を評価する手法である。
(大型放射光施設への応用)
本発明の放射線検出器は、電子を加速・貯蔵するための加速器群と発生した放射光を利用するための実験施設および各種付属施設を備えるSpring-8のような大型放射光施設で利用するのに適している。その場合には、大型放射光施設の放射光検出装置の一部として本発明の放射線検出器が組み込まれる。
本発明の放射線検出器を用いてSpring-8の放射光を検出した。放射光の1周時間は4.7908μsec、カウント率は約100Mcpsである。このようなバンチ運転モードに対し、1回の最少露光時間110nsecの放射線検出器、読み出し時間が95.816μsecの読み出し回路(ROIC)および1または2個のメモリを備える放射線検出器でバンチを検出した。
110 センサ
120 読み出し回路
125、154、155、544、545 切り換え回路
130a、130b、130 検出回路
140、140a、140b、541、542 カウンタ
150a、150b、250a~250d メモリ
160 転送回路
165 インタフェース
170、570 制御回路
Rt 読み出し時間
Tt 転送時間
300、400 X線分析装置
310、410 X線源
320 試料台
330 アーム
340、440 制御部
420 ローラ
425 ベルト
S0 試料
S1 製品
600 Tが小さい領域
700 外部機器
SB1 シングルバンチ
TB1 トレインバンチ
Claims (5)
- 放射線を検出し、検出データをフレームごとに外部へ転送する放射線検出器であって、
露光により放射線の粒子が検出されたときにパルスを発生させるセンサと、
前記発生したパルスを計数する複数のカウンタを備え、前記発生したパルスの読み出しの機能を有する読み出し回路と、
前記読み出し回路には含まれず、前記カウンタでなされた計数値を1フレーム毎にそれぞれ読み出し記憶する複数のメモリと、
前記記憶された1フレーム毎の計数値を外部へ転送させる制御回路と、を備え、
前記制御回路は、前記計数値の読み出しおよび転送のそれぞれを行うメモリの切り換えを制御し、前記複数のメモリのうち異なるメモリを用いて、前記計数値の読み出しおよび転送を重なる時間帯に行ない、
前記複数のメモリのそれぞれは、互いに独立し、かつ、同一アドレスの書込みおよび読出しを同時にできないことを特徴とする放射線検出器。 - 前記複数のメモリは、3つ以上のメモリであることを特徴とする請求項1記載の放射線検出器。
- 前記制御回路は、外部機器からトリガ信号を受けたタイミングで、前記複数のカウンタのうち前記パルスを計数するカウンタを切り換え、連続露光を行なうことを特徴とする請求項1または請求項2記載の放射線検出器。
- 放射線を検出し、検出データをフレームごとに外部へ転送する放射線検出方法であって、
露光により放射線の粒子が検出されたときにパルスを発生させるステップと、
前記発生したパルスの読み出しの機能を有する読み出し回路が備える複数のカウンタで前記発生したパルスを計数するステップと、
前記読み出し回路には含まれない複数のメモリで、前記カウンタで得られた計数値を1フレーム毎にそれぞれ読み出し記憶するステップと、
前記記憶された1フレーム毎の計数値を外部へ転送させるステップと、を含み、
前記転送のステップでは、前記計数値の読み出しおよび転送のそれぞれを行うメモリの切り換えを制御し、前記複数のメモリのうち異なるメモリを用いて、前記計数値の読み出しおよび転送を重なる時間帯に行ない、
前記複数のメモリのそれぞれは、互いに独立し、かつ、同一アドレスの書込みおよび読出しを同時にできないことを特徴とする放射線検出方法。 - 前記放射線は、加速された電子から発生する放射光であり、
前記検出は、放射光検出装置により行なうことを特徴とする請求項4記載の放射線検出方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019038908A JP7088555B2 (ja) | 2019-03-04 | 2019-03-04 | 放射線検出器および放射線検出方法 |
EP20160534.2A EP3706408B1 (en) | 2019-03-04 | 2020-03-03 | Radiation detector and radiation detection method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019038908A JP7088555B2 (ja) | 2019-03-04 | 2019-03-04 | 放射線検出器および放射線検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020143933A JP2020143933A (ja) | 2020-09-10 |
JP7088555B2 true JP7088555B2 (ja) | 2022-06-21 |
Family
ID=69770397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019038908A Active JP7088555B2 (ja) | 2019-03-04 | 2019-03-04 | 放射線検出器および放射線検出方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3706408B1 (ja) |
JP (1) | JP7088555B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4421537A1 (en) | 2023-02-22 | 2024-08-28 | Rigaku Corporation | Radiation detector, trigger signal generator, and radiation analyzing system |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003325498A (ja) | 2002-05-16 | 2003-11-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線撮像方法及び放射線撮像装置、並びに、放射線撮像プログラム |
US20130228693A1 (en) | 2012-03-02 | 2013-09-05 | Luxen Technologies, Inc. | Parallel readout integrated circuit architecture for x-ray image sensor |
JP2015013107A (ja) | 2013-06-06 | 2015-01-22 | 株式会社東芝 | フォトンカウンティング装置 |
JP2015096841A (ja) | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 株式会社リガク | 放射線検出器、これを用いたx線分析装置および放射線検出方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0664147B2 (ja) * | 1985-04-23 | 1994-08-22 | 株式会社東芝 | 線量計 |
JPS6457189A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-03 | Sumitomo Heavy Industries | Method for counting discrete pulse |
JPS6469985A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Radiation detector |
JP3421418B2 (ja) * | 1994-03-30 | 2003-06-30 | 株式会社東芝 | 臨界警報システム |
-
2019
- 2019-03-04 JP JP2019038908A patent/JP7088555B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-03 EP EP20160534.2A patent/EP3706408B1/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003325498A (ja) | 2002-05-16 | 2003-11-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線撮像方法及び放射線撮像装置、並びに、放射線撮像プログラム |
US20130228693A1 (en) | 2012-03-02 | 2013-09-05 | Luxen Technologies, Inc. | Parallel readout integrated circuit architecture for x-ray image sensor |
JP2015013107A (ja) | 2013-06-06 | 2015-01-22 | 株式会社東芝 | フォトンカウンティング装置 |
US20160081637A1 (en) | 2013-06-06 | 2016-03-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Photon-counting apparatus |
JP2015096841A (ja) | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 株式会社リガク | 放射線検出器、これを用いたx線分析装置および放射線検出方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
K. Hasegawa et al.,"Development of a shutterless continuous rotation method using an X-ray CMOS detector for protein crystallography",Journal of Applied Crystallography,米国,Wiley-Blackwell,2009年11月17日,Vol. 42,pp. 1165-1175 |
中谷洋一,"KOTO実験のためのDAQバックエンドシステムの開発とその評価",大阪大学KOTOグループ修士論文,日本,大阪大学 山中卓研修室,2011年02月10日 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4421537A1 (en) | 2023-02-22 | 2024-08-28 | Rigaku Corporation | Radiation detector, trigger signal generator, and radiation analyzing system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020143933A (ja) | 2020-09-10 |
EP3706408A1 (en) | 2020-09-09 |
EP3706408B1 (en) | 2024-05-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Alexandrov et al. | A new generation scanning system for the high-speed analysis of nuclear emulsions | |
US9945961B2 (en) | Radiation detector, and X-ray analysis apparatus and radiation detection method using the same | |
JP7088555B2 (ja) | 放射線検出器および放射線検出方法 | |
JP2017053778A (ja) | X線検査方法及びx線検査装置 | |
US20150046112A1 (en) | Method for correcting timing skew in x-ray data read out of an x-ray detector in a rolling shutter mode | |
CN103529062A (zh) | X射线图像生成装置及x射线图像生成方法 | |
TWI275899B (en) | Imaging system and method for capturing images of a moving object | |
CN110274923A (zh) | 高能x射线ct设备的同步数据采集和校准方法及控制系统 | |
JP2000292371A (ja) | X線検査装置 | |
Stevanovic et al. | A control system and streaming DAQ platform with image-based trigger for x-ray imaging | |
JPH03140851A (ja) | 元素のx線蛍光影像 | |
US20240280711A1 (en) | Radiation detector, trigger signal generator, and radiation analyzing system | |
JP2937324B2 (ja) | 欠陥異物検出装置 | |
GB831682A (en) | Improvements relating to sorting | |
US8964938B2 (en) | Method for acquiring X-ray images | |
EP0214436B1 (en) | Method and apparatus for detecting defect information in a holographic image pattern | |
RU2108631C1 (ru) | Устройство контроля сплошности топливного столба | |
US20240219323A1 (en) | X-ray detector having increased resolution, arrangement, and corresponding methods | |
JPH0551139B2 (ja) | ||
CN102055902A (zh) | 阴影校正方法、阴影校正值测定装置、图像捕获装置 | |
JPH01147446A (ja) | エネルギー差分像撮影装置。 | |
Lütjens | How can fast programmable devices enhance the quality of particle experiments? | |
GB2044580A (en) | Distributed store and processor with movement tag system | |
CN118534518A (zh) | 放射线检测器、放射线测定装置以及放射线检测器的设定方法 | |
US20160116887A1 (en) | Imaging device, control device, and information reproduction device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210319 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220602 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7088555 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |