JP7086304B2 - 光起電デバイス用の金属酸窒化物バック接点層 - Google Patents
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- H01L31/072—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PN heterojunction type
- H01L31/073—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PN heterojunction type comprising only AIIBVI compound semiconductors, e.g. CdS/CdTe solar cells
Description
[0002]本明細書は全般的に、1つ又は複数の金属バック接点層を有する光起電デバイス、より詳細には、1つ又は複数の金属酸窒化物バック接点層を有する光起電デバイスに関する。
[0053]図4~8を参照しながら、ここで図10に目を向けると、バック接点180を形成するための方法例900が示される。吸収体スタックが設けられる(901)。任意に、吸収体スタックは不動態化され得る(902)。バック接点180を形成する複数の層(202、204、206、208)が堆積される。バック接点を形成するための方法例において、第1の層220は、吸収体スタック109、209の上に堆積される(220)。第2の層230は、第1の層220の上に堆積される。任意に、1つ又は複数の選択された層240、260、270は、第2の層の上に堆積される(940、960、970)。選択された層は、高純度金属層、第2の金属酸窒化物層、又は第2の金属窒化物層のうちの1つ以上を含んでよい。材料を堆積し(910)、第1の金属酸窒化物を含む層210を形成する。金属窒化物を任意に含んでよい層250は、層210の上に堆積される。バック接点180の第2の表面184は、任意の層250が存在する場合、層250の第2の表面254、又は層250および工程950が省かれる場合、金属酸窒化物を含む層210の第2の表面214のいずれかに相当する。バック接点を含む複数の層を含めた層スタックを、任意に加熱処理してもよい。スクライブを施してもよい。導電性材料の1つ又は複数の層が、バック接点180の第2の表面184の上に堆積し(990)、導電層190を形成する。
[0065]ある例では、金属窒化物材料の金属は、チタン、タングステン、タンタル、又はジルコニウムのうちの少なくとも1つを含む。
[0067]ある例では、吸収体スタックは、カドミウム、テルル、およびセレンを含むp型吸収層を含む。
[0069]ある例では、導電層は、クロムを含む少なくとも1つの層に隣接するアルミニウムを含む少なくとも1つの層を含む。
[0071]ある例では、金属酸窒化物材料は、30%~50%の窒素、2%~8%の酸素、および42%~68%の、チタン(Ti)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)からなる群から選択される少なくとも1種の金属を含む。
[0073]ある例では、金属酸窒化物層は、チタン酸窒化物から本質的になる。一部の実施形態において、チタン酸窒化物材料を含む層は、25%未満の酸素を含む。一部の実施形態において、チタン酸窒化物材料を含む層は、2%~15%の酸素を含む。一部の実施形態において、チタン酸窒化物材料を含む層は、0.5nm~5.0nmの範囲の厚さを有する。
[0076]ある例では、金属酸窒化物層は、ジルコニウム酸窒化物から本質的になる。
[0077]ある例では、バック接点は、第2の金属酸窒化物層に隣接する第1の金属酸窒化物層を含み、第1の金属酸窒化物層はタングステンを含み、第2の金属酸窒化物層はチタンを含む。
[0079]ある例では、金属酸窒化物材料は、50%未満の窒素を含む。
[0080]ある例では、バック接点は、高純度金属層を含む。一部の実施形態において、高純度金属層は、1nm~5nmの厚さを有する。一部の実施形態において、高純度金属層は、85%~100%又は95%~100%の単一金属元素の組成物を含む。一部の実施形態において、高純度金属層は、85%~100%又は95%~100%の金属元素の合金の組成物を含む。一部の実施形態において、高純度金属層はチタンから本質的になる。
[0082]別の態様において、光起電デバイスは、吸収体スタック;アルミニウムを含む層によって形成される表面を有する導電層;並びに第1の表面、第2の表面、およびバック接点の第1の表面とバック接点の第2の表面との間で画定される厚さを有するバック接点を含み、バック接点の第1の表面は、吸収体スタックのp型吸収層に隣接し;バック接点の第2の表面は、導電層の表面に接し;バック接点は、金属酸窒化物材料を含む層と、金属酸窒化物材料を含む層とバック接点の第1の表面との間に位置する亜鉛、カドミウム、テルル、又はこれらのいずれかの組合せを含有する1つ又は複数の層と、を含む。
[0084]一部の実施形態において、金属窒化物材料および/又は金属酸窒化物材料は、モリブデンを除いたIV族遷移金属、V族遷移金属、又はVI族遷移金属を含む。
[0086]一部の実施形態において、金属酸窒化物材料は、チタン酸窒化物である。
[0088]一部の実施形態において、金属酸窒化物材料は、タンタル酸窒化物である。
[0089]一部の実施形態において、金属酸窒化物材料は、ジルコニウム酸窒化物である。
[0091]一部の実施形態において、金属酸窒化物材料は、50%未満の窒素を含む。
[0092]一部の実施形態において、金属酸窒化物材料を含む層は、1nm~20nmの厚さを有する。
[0094]一部の実施形態において、亜鉛、カドミウム、テルル、又はこれらのいずれかの組合せを含有する1つ又は複数の層は、カドミウム、亜鉛、およびテルルの3成分を含む第1の層、並びに亜鉛およびテルルの2成分を含む第2の層を含み;亜鉛、カドミウム、テルル、又はこれらのいずれかの組合せを含有する1つ又は複数の層の第1の層は、亜鉛、カドミウム、テルル、又はこれらのいずれかの組合せを含有する1つ又は複数の層の第2の層よりバック接点の第1の表面の近くに位置する。
[0096]一部の実施形態において、バック接点は、金属酸窒化物材料を含む層と亜鉛、カドミウム、テルル、又はこれらのいずれかの組合せを含有する1つ又は複数の層との間に配置された高純度金属層を含み;高純度金属層は、少なくとも80%の金属を含む。
[0098]一部の実施形態において、高純度金属層の厚さは、金属酸窒化物材料を含む層の厚さより薄い。
[00101]一部の実施形態において、金属窒化物材料を含む層の厚さと金属酸窒化物材料を含む層の厚さとの比は、少なくとも2:1である。
[00103]一部の実施形態において、バック接点は、金属窒化物材料を含む第2の層を含み;金属窒化物材料を含む第2の層は、金属酸窒化物材料を含む層に隣接する。
[00106]一部の実施形態において、導電層は、クロムを含む層によって形成される第2の表面を有する。
[00108]別の態様において、光起電デバイスは、カドミウムおよびテルルを含む吸収層;並びに第1の表面、第2の表面、およびバック接点の第1の表面とバック接点の第2の表面との間で画定される厚さを有するバック接点を含み、バック接点の第1の表面は、吸収層に接し、バック接点は、金属酸窒化物材料を含む層と、金属酸窒化物材料を含む層とバック接点の第1の表面との間に位置する、亜鉛、カドミウム、テルル、又はこれらのいずれかの組合せを含有する1つ又は複数の層と、を含む。
Claims (14)
- カドミウムとテルルとを含む吸収層(160)、
アルミニウムを含む層(276)によって形成される表面を有する導電層(190)、および
前記吸収層(160)と前記導電層(190)との間のバック接点(180)
を含む光起電デバイス(100、200)であって、
前記バック接点(180)は、第1の表面(182)および第2の表面(184)を有し、かつ前記バック接点の第1の表面(182)と前記バック接点の第2の表面(184)との間で画定される厚さを有し、
前記バック接点の第2の表面(184)が、前記導電層(190)の表面に接し、
前記バック接点(180)が、
金属酸窒化物材料を含む層(210)、および
前記金属酸窒化物材料を含む層(210)と前記バック接点(180)の第1の表面(182)との間に位置する、亜鉛、カドミウム、テルル、又はこれらのいずれかの組合せを含有する1つ又は複数の層(220、230)
を含み、
前記バック接点が、金属窒化物材料を含む層(250)を含み、
前記金属窒化物材料を含む層(250)が、前記金属酸窒化物材料を含む層(210)よりも前記バック接点(180)の第2の表面(184)の近くに位置し、そして
前記金属窒化物材料が、30%~70%の金属の濃度および70%~30%の窒素の濃度を有する、
上記光起電デバイス(100、200)。 - 前記金属酸窒化物材料が、IV族遷移金属、V族遷移金属、又はVI族遷移金属を含む、請求項1に記載の光起電デバイス(100、200)。
- 前記金属酸窒化物材料が、50%未満の酸素を含む、請求項1または2に記載の光起電デバイス(100、200)。
- 前記金属酸窒化物材料が、50%未満の窒素を含む、請求項1~3のいずれか一項に記載の光起電デバイス(100、200)。
- 前記バック接点(180)が、前記金属酸窒化物材料を含む層(210)と、前記亜鉛、カドミウム、テルル、又はこれらのいずれかの組合せを含有する1つ又は複数の層(220、230)との間に配置された高純度金属層(240)を含み、
前記高純度金属層(240)が、少なくとも80%の金属を含む、
請求項1~4のいずれか一項に記載の光起電デバイス(100、200)。 - 前記高純度金属層(240)の金属がチタンである、請求項5に記載の光起電デバイス(100、200)。
- 前記高純度金属層(240)の厚さが、前記金属酸窒化物材料を含む層(210)の厚さより薄い、請求項5又は6に記載の光起電デバイス(100、200)。
- 前記金属窒化物材料の金属が、モリブデン、チタン、タングステン、タンタル、又はジルコニウムである、請求項1~7のいずれか一項に記載の光起電デバイス(100、200)。
- 前記金属窒化物材料を含む層(250)の厚さの前記金属酸窒化物材料を含む層(210)の厚さに対する比が、少なくとも2:1である、請求項1~8のいずれか一項に記載の光起電デバイス(100、200)。
- 前記バック接点(180)の第2の表面(184)が、前記金属窒化物材料を含む層(250)によって形成される、請求項1~9のいずれか一項に記載の光起電デバイス(100、200)。
- 前記バック接点(180)が、金属窒化物材料を含む第2の層(270)を含み、
前記金属窒化物材料を含む第2の層(270)が、前記金属酸窒化物材料を含む層(210)に隣接する、
請求項10に記載の光起電デバイス(100、200)。 - 前記バック接点(180)が、金属酸窒化物材料を含む第2の層(260)を含み、
前記金属酸窒化物材料を含む第2の層(260)が、前記金属酸窒化物材料を含む層(210)と前記亜鉛、カドミウム、テルル、又はこれらのいずれかの組合せを含有する1つ又は複数の層(220、230)との間に位置する、請求項1~11のいずれか一項に記載の光起電デバイス(100、200)。 - 前記金属酸窒化物材料を含む層(210)および前記金属酸窒化物材料を含む第2の層(260)が、異なる金属から形成される、請求項12に記載の光起電デバイス(100、200)。
- 前記導電層(190)が、クロムを含む層(278)によって形成される第2の表面(194)を有する、請求項1~13のいずれか一項に記載の光起電デバイス(100、200)。
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