JP7086154B2

JP7086154B2 - マイクロ波乾燥装置およびその処理ボックス

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Publication number: JP7086154B2
Application number: JP2020168665A
Authority: JP
Inventors: 亘皓 ▲トウ▼; 明雄曹; 漢穎陳
Original assignee: 宏碩系統股▲フン▼有限公司
Priority date: 2020-10-05
Filing date: 2020-10-05
Publication date: 2022-06-17
Anticipated expiration: 2040-10-05
Also published as: JP2022060904A

Description

本発明は、マイクロ波乾燥装置、特に、ロールツーロール加工に適した連続薄膜マイクロ波乾燥装置に関する。

リチウムイオン電池は、充電式電子機器の主流の選択肢である。分離膜は、リチウムイオン電池のアノードとカソードとの間に配置される。分離膜は、高分子材料、不織布またはセラミックで作られた多孔質薄膜である。分離膜の機能は、２つの電極を離して電気的短絡を防止すると同時に、電解液を吸収し、２つの電極間のイオン電荷の輸送を可能にすることである。リチウムイオン電池の性能は、分離膜に大きく依存する。

組み立て後のリチウムイオン電池の性能を確保するために、分離膜は電解液を加える前に乾燥工程を経る必要がある。しかしながら、分離膜の従来の乾燥工程は時間がかかる。従来の乾燥工程では、セラミックまたは非セラミックの分離膜を乾燥チャンバーに３日間置く必要がある。従来の乾燥チャンバーは、特許文献１に開示されている。そして、十分な乾燥を達成するために、分離膜を真空オーブンでさらに８時間焼成する必要がある。したがって、従来の乾燥工程は非常に時間がかかる。さらに、分離膜は高温に耐えられないため、真空オーブン内の温度を１００℃より高くすることはできず、乾燥時間の短縮は難しい。最後に、乾燥チャンバーと真空オーブンのサイズは非常に大きく、あまりにも多くのスペースを占める。

欠点を克服するために、本発明は、前述の問題を軽減または取り除くためのマイクロ波乾燥装置およびその処理ボックスを提供する。

台湾特許第Ｍ５６７４９１号

本発明の主な目的は、マイクロ波を使用して、分離膜の乾燥工程を大幅に短縮できるように、分離膜を均一かつ迅速に加熱および乾燥するマイクロ波乾燥装置およびその処理ボックスを提供することにある。

マイクロ波乾燥装置は、処理ボックス、２つの吸引モジュール、および少なくとも１つのマイクロ波放射モジュールを有する。処理ボックスは、中空であり、２つの外部搬送壁、外部取付壁、外部密封壁、２つの吸引仕切り部、および複数のチャネル仕切り部を有する。２つの外部搬送壁は、搬送方向に沿って互いに離れて配置されている。外部搬送壁のそれぞれは、ボックス搬送開口部を有する。外部取付壁は、２つの外部搬送壁の間に接続され、２つの取付開口部を有する。２つの取付開口部は、搬送方向に沿って互いに離れて配置されている。外部密封壁は、２つの外部搬送壁の間に接続されている。外部取付壁と外部密封壁とは、それぞれ処理ボックスにおいて対向している。２つの吸引仕切り部は、処理ボックス内に取り付けられ且つ互いに垂直方向に離れて配置され、処理ボックスの内部空間をマイクロ波乾燥空間と２つの吸引空間とに分割する。複数の吸引孔は、２つの吸引仕切り部のそれぞれを貫通して形成されている。チャネル仕切り部は、マイクロ波乾燥空間に取り付けられている。チャネル仕切り部は、搬送方向に沿って互いに離れて配置され、マイクロ波乾燥空間内で蛇行して繰り返し前後に延びる波進行チャネルを形成する。波進行チャネルの両端は、それぞれ２つの取付開口部に接続されている。マイクロ波乾燥空間は、２つの吸引仕切り部の間に形成され、２つの吸引空間の間に位置している。２つの吸引仕切り部のそれぞれの吸引孔は、２つの吸引空間のうちの１つおよび波進行チャネルに繋がっている。チャネル仕切り部のそれぞれは、仕切搬送開口部を有する。チャネル仕切り部の仕切搬送開口部と、２つの外部搬送壁の２つのボックス搬送開口部とは位置合わせされている。２つの吸引モジュールは、それぞれ２つの吸引空間に接続されている。少なくとも１つのマイクロ波放射モジュールは、処理ボックスの外部取付壁に取り付けられ、波進行チャネルに向かってマイクロ波を放射する。

本発明を使用する場合、被乾燥物質は、ボックス搬送開口部の１つを通して処理ボックスに供給される。そして、その物質は、仕切搬送開口部を介して加熱乾燥された波進行チャネルを通過し、最終的に他のボックス搬送開口部を通じて処理ボックスから出る。

本発明の利点は、以下の通りである。

第一に、被乾燥物質は、波進行チャネルを通過する際に加熱乾燥されるように、マイクロ波エネルギーを吸収する。マイクロ波は物質に容易に浸透することができ、物質の外層と内層を同時に加熱するので、本発明は、物質の乾燥にかかる時間を大幅に短縮することができる。本発明のサイズは、スペースを節約するために縮小することもできる。

第二に、波進行チャネルの各セグメントは、隣接するセグメントとその側壁を共有している。つまり、各チャネルの仕切りは、２つのセグメントの側壁を同時に形成している。したがって、波進行チャネルは、より少ない材料で形成され、重量とコストが削減される。さらに、構造がよりコンパクトになるため、本発明のサイズをさらに小さくすることができる。

第三に、２つの取付開口部が処理ボックスの同じ側に位置している。その結果、処理ボックスに２つのマイクロ波放射モジュールが搭載されていても、搬送方向に垂直な寸法であるマイクロ波乾燥装置の全幅は、マイクロ波放射モジュールが1つしか搭載されていないマイクロ波乾燥装置の全幅と同じになる。したがって、本発明の構造は、２つのマイクロ波放射モジュールが取り付けられる場合はよりコンパクトにすることができ、さらにスペースを節約することができる。

第四に、吸引仕切り部を介して吸引空間を形成することにより、乾燥工程で発生する液体蒸気を吸引仕切り部の吸引孔を介して処理ボックスから迅速かつ均一に取り除くことができ、乾燥効率が向上する。

本発明の他の目的、利点および新規の特徴は、添付の図面と併せて解釈すると、以下の詳細な説明からより明らかになるであろう。

図１は、本発明によるマイクロ波乾燥装置の斜視図である。図２は、図１のマイクロ波乾燥装置の別の斜視図である。図３は、図１のマイクロ波乾燥装置の分解図である。図４は、マイクロ波乾燥装置の処理ボックスの上半分の分解図である。図５は、図１のマイクロ波乾燥装置の上面図である。図６は、図１のマイクロ波乾燥装置の部分的な上面断面図である。図７は、図１のマイクロ波乾燥装置の側断面図である。図８は、図１のマイクロ波乾燥装置の一部を別の方向から視た側断面図である。

図１および図２を参照するに、本発明によるマイクロ波乾燥装置は、処理ボックス１０、２つのマイクロ波放射モジュール２０および２つの吸引モジュール３０を備える。好ましい実施形態では、本発明は、リチウムイオン電池を製造するためのロールツーロール加工で分離膜Ａを乾燥させるのに適している。別の好ましい実施形態では、本発明は、あらゆる種類の長い薄膜を処理するように適合させることができる。さらに別の好ましい実施形態では、本発明は、コンベヤベルトを一体化することにより、長くて薄いフィルムではない物質を乾燥させるのに適合させることができる。

図１、図３、図５および図７を参照するに、処理ボックス１０は、中空であり、２つの外部搬送壁１０１、外部取付壁１０２、外部密封壁１０３、上壁１０４、底壁１０５、２つの吸引仕切り部１１、および複数のチャネル仕切り部１２を有する。好ましい実施形態では、処理ボックス１０は、さらに２つのマイクロ波側板１３を有する。２つの外部搬送壁１０１は、搬送方向Ｄに沿って互いに離れて配置されている。外部搬送壁１０１のそれぞれは、好ましくは細長いボックス搬送開口部１０６を有する。

外部取付壁１０２は、２つの外部搬送壁１０１の間に接続され、好ましくは、２つの外部搬送壁１０１に対して垂直である。外部取付壁１０２は、２つの取付開口部１０７を有する。２つの取付開口部１０７は、搬送方向Ｄに沿って互いに離間して配置され、処理ボックス１０の同じ側に配置されている。

外部密封壁１０３は、２つの外部搬送壁１０１の間に接続されている。外部取付壁１０２および外部密封壁１０３は、それぞれ処理ボックス１０において対向する位置に配置されている。好ましい実施形態では、図３に示すように、実質的に対称な２つの機械加工された金属ブロックを一緒に組み立てて処理ボックス１０を形成し、したがって、前記２つの金属ブロックを組み立てることで処理ボックス１０のほとんどの構造が形成される。

図４、図７および図８を参照するに、２つの吸引仕切り部１１は、処理ボックス１０内に取り付けられており、互いに垂直方向に離れて配置され、処理ボックス１０の内部空間をマイクロ波乾燥空間１６と２つの吸引空間とに区画している。２つの吸引空間は、それぞれ上部吸引空間１４と下部吸引空間１５である。マイクロ波乾燥空間１６は、２つの吸引仕切り部１１の間に形成され、２つの吸引空間の間に位置する。

具体的には、一方の吸引仕切り部１１は、処理ボックス１０の上壁１０４から離れて配置されて上部吸引空間１４を形成し、他方の吸引仕切り部１１は、処理ボックス１０の底壁１０５から離れて配置されて下部吸引空間１５を形成している。複数の吸引孔１１１は、吸引仕切り部１１のそれぞれを貫通して形成されている。吸引孔１１１は、搬送方向Ｄに沿って延びる細い孔であることが好ましい。

マイクロ波乾燥空間１６内の液体蒸気を吸引仕切り部１１の吸引孔１１１を介して迅速かつ均一に除去できるように、２つの吸引モジュール３０の一方は上部吸引空間１４に接続され、２つの吸引モジュール３０の他方は下部吸引空間１５に接続されている。吸引モジュール３０は従来のものであり、そのため、図では吸引モジュール３０の吸引管のみを部分的に示している。

図３、図６および図８を参照するに、２つのマイクロ波側板１３は、処理ボックス１０に取り付けられている。２つのマイクロ波側板１３は、それぞれ２つの外部搬送壁１０１に対応する。２つのマイクロ波側板１３のそれぞれは、対応する外部搬送壁１０１から離れて配置され、マイクロ波抑制空間１７を形成している。マイクロ波抑制空間１７には、複数のマイクロ波抑制素子１７１が取り付けられている。マイクロ波抑制空間１７のそれぞれにおいて、マイクロ波抑制素子１７１は、これに限定されないが、整然と配置されている。

マイクロ波乾燥空間１６は、２つのマイクロ波側板１３の間に形成され、２つのマイクロ波抑制空間１７の間に位置する。マイクロ波側板１３のそれぞれは、対応する１つのマイクロ波抑制空間１７およびマイクロ波乾燥空間１６を接続する（図８に示されるような）マイクロ波搬送開口部１３１を有する。つまり、マイクロ波抑制空間１７は、マイクロ波乾燥空間１６と外部搬送壁１０１との間にマイクロ波側板１３が取り付けられて形成されている。したがって、マイクロ波乾燥空間１６内のマイクロ波は、必然的にマイクロ波搬送開口部１３１を介してマイクロ波抑制空間１７に漏洩するが、マイクロ波抑制空間１７とマイクロ波抑制素子１７１との組み合わせにより、マイクロ波がさらに外部搬送壁１０１のボックス搬送開口部１０６を介して外部環境に漏洩することを防止することができる。

図３、図６および図８を参照するに、チャネル仕切り部１２は、マイクロ波乾燥空間１６に取り付けられている。チャネル仕切り部１２は、搬送方向Ｄに沿って互いに離間して配置され、波進行チャネル４１を形成している。波進行チャネル４１は、マイクロ波乾燥空間１６内で蛇行し、繰り返し前後に延びる。波進行チャネル４１の２つの対向する端部は、２つの取付開口部１０７にそれぞれ接続されている。

具体的には、チャネル仕切り部１２は、搬送方向Ｄに垂直な細長い板である。チャネル仕切り部１２の半分は、外部取付壁１０２に接続され、外部密封壁１０３から離れて配置され、その結果、チャネル仕切り部１２の前記半分は、外部取付壁１０２から突出して、外部密封壁１０３に向かって延びている。チャネル仕切り部１２の他の半分は、外部密封壁１０３に接続され、外部取付壁１０２から離れて配置され、その結果、チャネル仕切り部１２の前記半分は、外部密封壁１０３から突出して、外部取付壁１０２に向かって延びている。

波進行チャネル４１は、チャネル仕切り部１２によって規定される複数の直線セグメント４１１および複数の接続セグメント４１２を有するが、これらに限定されない。直線セグメント４１１は、互いに平行であり、搬送方向Ｄに沿って配置される。接続セグメント４１２のそれぞれは、隣接する２つの直線セグメント４１１を接続し、正確には、接続セグメント４１２のそれぞれは、隣接する２つの直線セグメント４１１のうちの１つの端部と他の１つの端部とを接続する。好ましい実施形態では、２つの吸引仕切り部１１は、それぞれ波進行チャネル４１の上面および底面を形成している。

図３、図７および図８に示すように、チャネル仕切り部１２のそれぞれは、好ましくは細長い仕切搬送開口部１２１を有する。２つのボックス搬送開口部１０６の一方、２つのマイクロ波搬送開口部１３１の一方、仕切搬送開口部１２１、２つのマイクロ波搬送開口部１３１の他方、および２つのボックス搬送開口部１０６の他方は、分離膜Ａが通過するために位置合わせされて配置されている。さらに、前述の搬送開口部１０６、１３１、１２１は、細長いことが好ましい。また、各吸引仕切り部１１の吸引孔１１１は、対応する吸引空間と波進行チャネル４１とに連通している。

図１、図５および図６に示すように、２つのマイクロ波放射モジュール２０は、処理ボックス１０の外部取付壁１０２に取り付けられ、それぞれ２つの取付開口部１０７を介して波進行チャネル４１に向かってマイクロ波を放射する。マイクロ波放射モジュール２０から放射されたマイクロ波は、波進行チャネル４１において進行波を形成し、分離膜Ａの幅に沿って分離膜Ａを均一に乾燥させることができる。より少ない乾燥能力しか必要としない別の好ましい実施形態では、マイクロ波放射モジュール２０の数は１つでもよく、マイクロ波放射モジュール２０は、２つの取付開口部１０７のうちの１つに向かってマイクロ波を放射する。

さらに、実験的証拠に基づいて、２つのマイクロ波放射モジュール２０が波進行チャネル４１の両端にそれぞれ取り付けられた場合、２つのマイクロ波放射モジュール２０によって放射されるマイクロ波は互いに容易に干渉し、その結果、位相同期が生じる。位相同期により波進行チャネル４１には定常波が形成され、分離膜Ａの乾燥の均一性に影響を与える。

位相同期を緩和し、乾燥の均一性を確保するために、２つのマイクロ波放射モジュール２０は、互いに異なる周波数のマイクロ波を放射する。より良い性能を達成するための好ましい実施形態としては、２つのマイクロ波放射モジュール２０の一方は、周波数が２４５５～２４６５ＭＨｚ（メガヘルツ）のマイクロ波を放射し、２つのマイクロ波放射モジュール２０の他方は、周波数が２４３５～２４４５ＭＨｚのマイクロ波を放射する。マイクロ波放射モジュール２０が１つしかない別の好ましい実施形態では、マイクロ波の周波数は、好ましくは２４２０～２４８０ＭＨｚである。

好ましい実施形態では、２つのマイクロ波放射モジュール２０のそれぞれは、マイクロ波源２１および２つのサーキュレータ２２を有する。２つのサーキュレータ２２は、マイクロ波源２１と対応する取付開口部１０７との間に直列に接続される。マイクロ波放射モジュール２０の１つのサーキュレータ２２は、波進行チャネル４１の他端に取り付けられたマイクロ波源２１によって放射されたマイクロ波を吸収する。その結果、サーキュレータ２２は、２つのマイクロ波放射モジュール２０の２つのマイクロ波源２１を絶縁し、そのため、マイクロ波源２１が保護され、位相同期が軽減される。

実験的証拠に基づけば、マイクロ波放射モジュール２０の１つのサーキュレータ２２が対応する取付開口部１０７から対応するマイクロ波源２１へ負（マイナス）の４０ｄＢ以上の全体的な絶縁を付与するとき、２つのマイクロ波源２１の周波数は適切にずらされている。しかしながら、標準的な商業グレードのサーキュレータ２２によって付与される絶縁は、おおよそ２３ｄＢであり、したがって、好ましい実施形態における各マイクロ波放射モジュール２０は、全体的に負の４０ｄＢを超える絶縁を付与するために直列に接続された２つのサーキュレータ２２を有する。

単一のサーキュレータ２２が負の４０ｄＢを超える絶縁を付与する場合、マイクロ波放射モジュール２０には１つのサーキュレータ２２のみが必要である。マイクロ波放射モジュール２０が１つしかない好ましい実施形態では、位相同期は問題ではない。

図１、図５および図８に示すように、本発明を使用する場合、分離膜Ａを搬送方向に沿って処理ボックス１０に挿入し、分離膜Ａを適切に真っ直ぐにする。次に、吸引モジュール３０、マイクロ波放射モジュール２０を順に作動させ、最後に分離膜Ａの搬送を開始する。マイクロ波放射モジュール２０が放射したマイクロ波は、分離膜Ａ内の液体を蒸発させて、分離膜Ａを乾燥させる。乾燥工程中に発生した液体蒸気は、吸引孔１１１および吸引空間１４，１５を介して吸引モジュール３０によって除去される。

実験的証拠に基づけば、本発明の乾燥能力はおよそ毎分１０メートルであり、これは分離膜Ａの乾燥速度を大幅に改善する。波進行チャネル４１に直線セグメント４１１をさらに追加することにより、乾燥速度をさらに高めることができる。直線セグメント４１１が増加するにつれて、乾燥速度は比例して増加する。

本発明のもう１つの利点は、２つの吸引仕切り部１１をマイクロ波乾燥空間１６の上部および下部にそれぞれ取り付けることにより、分離膜Ａの両面の吸引力が２つの吸引モジュールの場合と実質的に同じであることである。これにより、吸引力の偏りによる分離膜Ａの変位や変形による分離膜Ａと処理ボックス１０との擦れが防止される。別の好ましい実施形態では、吸引仕切り部１１および吸引空間はそれぞれ１つであってもよい。マイクロ波乾燥空間１６は、吸引仕切り部１１が１つでも複数でも１つである。

要約すると、本発明は、マイクロ波を使用して分離膜Ａを乾燥させることにより、乾燥速度を大幅に増加させる。さらに、チャネル仕切り部１２を使用して蛇行する波進行チャネル４１を形成し、２つの取付開口部１０７を処理ボックス１０の同じ側に配置することにより、本発明の構造は、よりコンパクトになり、スペースを節約し、重量を軽減し、コストを削減する。

本発明の多くの特徴および利点が、本発明の構造および特徴の詳細と共に前述の説明に記載されていたとしても、開示は例示にすぎない。添付の特許請求の範囲に記載される用語の幅広い一般的な意味によって示される本発明の原理内の詳細、特に形状、サイズ、および部品の配置について、変更が行われ得る。

Claims

処理ボックス、２つの吸引モジュールおよび少なくとも１つのマイクロ波放射モジュールを備え、
前記処理ボックスは、
中空であり、
搬送方向に沿って互いに離れて配置され、それぞれがボックス搬送開口部を有する２つの外部搬送壁と、
前記２つの外部搬送壁の間に接続されており、前記搬送方向に沿って互いに離れて配置された２つの取付開口部を有する外部取付壁と、
前記２つの外部搬送壁の間に接続されており、前記処理ボックスにおいて前記外部取付壁と対向する外部密封壁と、
前記処理ボックス内に取り付けられ且つ互いに垂直方向に離れて配置され、前記処理ボックスの内部空間をマイクロ波乾燥空間と２つの吸引空間とに分割すると共に、複数の吸引孔が貫通して形成されている２つの吸引仕切り部と、
前記マイクロ波乾燥空間に取り付けられ、前記搬送方向に沿って互いに離れて配置され、前記マイクロ波乾燥空間内で蛇行して繰り返し前後に延びる波進行チャネルを形成する複数のチャネル仕切り部とを有し、
前記波進行チャネルの両端は、それぞれ前記２つの取付開口部に接続され、
前記マイクロ波乾燥空間は、前記２つの吸引仕切り部の間に形成され、前記２つの吸引空間の間に位置し、
前記２つの吸引仕切り部のそれぞれの前記吸引孔は、前記２つの吸引空間のうちの１つおよび前記波進行チャネルに繋がっており、
前記チャネル仕切り部のそれぞれは、前記２つの外部搬送壁の前記２つのボックス搬送開口部と位置合わせされた仕切搬送開口部を有し、
前記２つの吸引モジュールは、それぞれ前記２つの吸引空間に接続されており、
前記少なくとも１つのマイクロ波放射モジュールは、前記処理ボックスの前記外部取付壁に取り付けられ、前記波進行チャネルに向かってマイクロ波を放射する
ことを特徴とするマイクロ波乾燥装置。
請求項１に記載のマイクロ波乾燥装置において、
前記マイクロ波放射モジュールの数は２つであり、
前記２つのマイクロ波放射モジュールは、それぞれ前記２つの取付開口部に向かってマイクロ波を放射する
ことを特徴とするマイクロ波乾燥装置。
請求項２に記載のマイクロ波乾燥装置において、
前記２つのマイクロ波放射モジュールは、互いに異なる周波数のマイクロ波を放射する
ことを特徴とするマイクロ波乾燥装置。
請求項３に記載のマイクロ波乾燥装置において、
前記２つのマイクロ波放射モジュールの一方は、周波数が２４５５～２４６５ＭＨｚのマイクロ波を放射し、前記２つのマイクロ波放射モジュール２０の他方は、周波数が２４３５～２４４５ＭＨｚのマイクロ波を放射する
ことを特徴とするマイクロ波乾燥装置。
請求項２乃至４の何れか１項に記載のマイクロ波乾燥装置において、
前記２つのマイクロ波放射モジュールは、
マイクロ波源と、
前記マイクロ波源と対応する前記取付開口部との間に直列に接続され、前記取付開口部から前記マイクロ波源へ４０ｄＢを超える絶縁を付与する少なくとも１つのサーキュレータとを有している
ことを特徴とするマイクロ波乾燥装置。
請求項１乃至４の何れか１項に記載のマイクロ波乾燥装置において、
前記処理ボックスは、前記処理ボックスに取り付けられる２つのマイクロ波側板をさらに有しており、
前記２つのマイクロ波側板は、それぞれ前記２つの外部搬送壁に対応し、対応する前記外部搬送壁から離れて配置され、マイクロ波抑制空間を形成し、
前記マイクロ波乾燥空間は、前記２つのマイクロ波側板の間に形成され、前記２つのマイクロ波側板のそれぞれによって形成された前記２つのマイクロ波抑制空間の間に位置し、
前記マイクロ波側板のそれぞれは、対応する１つのマイクロ波抑制空間およびマイクロ波乾燥空間を接続するマイクロ波搬送開口部を有し、
前記２つのマイクロ波側板の前記２つのマイクロ波搬送開口部と、前記チャネル仕切り部の前記仕切搬送開口部と、前記２つの外部搬送壁の前記２つのボックス搬送開口部とは、位置合わせされており、
前記マイクロ波抑制空間には、複数のマイクロ波抑制素子が取り付けられている
ことを特徴とするマイクロ波乾燥装置。
請求項１乃至４の何れか１項に記載のマイクロ波乾燥装置において、
前記仕切搬送開口部は、細長い
ことを特徴とするマイクロ波乾燥装置。
請求項１乃至４の何れか１項に記載のマイクロ波乾燥装置において、
前記波進行チャネルは、
互いに平行であり、前記搬送方向に沿って配置された複数の直線セグメントと、
隣接する２つの前記直線セグメントを接続する複数の接続セグメントとを有している
ことを特徴とするマイクロ波乾燥装置。
２つの吸引モジュールに接続されるように構成されている、マイクロ波乾燥装置の処理ボックスであって、
中空であり、
搬送方向に沿って互いに離れて配置され、それぞれがボックス搬送開口部を有する２つの外部搬送壁と、
前記２つの外部搬送壁の間に接続されており、前記搬送方向に沿って互いに離れて配置された２つの取付開口部を有する外部取付壁と、
前記２つの外部搬送壁の間に接続されており、前記処理ボックスにおいて前記外部取付壁と対向する外部密封壁と、
前記処理ボックス内に取り付けられ且つ互いに垂直方向に離れて配置され、前記処理ボックスの内部空間をマイクロ波乾燥空間と２つの吸引空間とに分割すると共に、複数の吸引孔が貫通して形成されている２つの吸引仕切り部と、
前記マイクロ波乾燥空間に取り付けられ、前記搬送方向に沿って互いに離れて配置され、前記マイクロ波乾燥空間内で蛇行して繰り返し前後に延びる波進行チャネルを形成する複数のチャネル仕切り部とを備え、
前記波進行チャネルの両端は、それぞれ前記２つの取付開口部に接続され、
前記マイクロ波乾燥空間は、前記２つの吸引仕切り部の間に形成され、前記２つの吸引空間の間に位置し、
前記２つの吸引仕切り部のそれぞれの前記吸引孔は、前記２つの吸引空間のうちの１つおよび前記波進行チャネルに繋がっており、
前記チャネル仕切り部のそれぞれは、前記２つの外部搬送壁の前記２つのボックス搬送開口部と位置合わせされた仕切搬送開口部を有しており、
前記２つの吸引空間は、それぞれ前記２つの吸引モジュールに接続されるように構成されている
ことを特徴とするマイクロ波乾燥装置の処理ボックス。