JP7084767B2 - 板状部材の吸着搬送方法及び吸着搬送システム - Google Patents
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Description
(a)最上部の板状部材を、吸着装置によって吸着して次工程へ搬送する工程、
(b)最上部の板状部材を搬送したことによって最上部に現れた複数枚のスペーサを、撮像手段によって撮像する工程、
(c)複数のスペーサの配置位置データを取得する工程、
(d)各スペーサの配置位置に対応した位置へ吸着装置を移動して、各スペーサを個別に又は同時に吸着して除去する工程、
(e)(a)工程から(d)工程を繰り返す工程、
の各工程を備えている。
複数枚のスペーサを介在して積層された板状部材を設置する板状部材設置部と、
板状部材設置部に設置された板状部材及びスペーサを上側から撮像する撮像手段と、
板状部材設置部の板状部材を吸着して次工程へ搬送すると共に、板状部材上のスペーサを吸着して除去する吸着搬送装置と、
前記撮像手段によって撮像された板状部材上の複数のスペーサの配置位置データと、吸着搬送装置における吸着装置に備えた複数の吸着具の配置位置データとに基づいて、吸着搬送装置の動作を制御する制御装置と、
を備えている。
1 吸着搬送システム
3 スペーサ
5 板状部材
7 板状部材設置部
9 積層部材
11 吸着搬送装置
35 ホルダベース
37 バキュームカップ(吸着具)
39 吸着装置
41 撮像手段
43 スペーサボックス
45 制御装置
55 画像処理部
57 板状部材データ格納部
59 スペーサデータ格納部
61 吸着具データ格納部
63 演算部
65 比較演算部
67 画像データ格納部
Claims (8)
- 複数枚のスペーサを介在して積層された板状部材を、複数の吸着具を備えた吸着装置によって吸着して1枚毎次工程へ搬送する板状部材の吸着搬送方法であって、
(a)最上部の板状部材を、吸着装置によって吸着して次工程へ搬送する工程、
(b)最上部の板状部材を搬送したことによって最上部に現れた複数枚のスペーサを、撮像手段によって撮像する工程、
(c)複数のスペーサの配置位置データを取得する工程、
(d)各スペーサの配置位置に対応した位置へ吸着装置を移動して、各スペーサを個別に又は同時に吸着して除去する工程、
(e)(a)工程から(d)工程を繰り返す工程、
の各工程を備えていることを特徴とする板状部材の吸着搬送方法。 - 請求項1に記載の板状部材の吸着搬送方法において、
(2-a)複数枚のスペーサの配置位置データと、吸着装置に備えた複数の吸着具の配置位置データとに基づいて、一度の吸着動作でもって複数枚のスペーサを同時に吸着可能か否かを判別する工程、
(2-b)(2-a)工程において、複数枚のスペーサを同時に吸着可能な場合には、吸着装置による一度の吸着動作でもって複数枚のスペーサを同時に吸着して同時に除去する工程、
(2-c)(2-a)工程において、一度の吸着動作によって複数枚のスペーサを吸着不可能な場合には、吸着装置によるスペーサの吸着除去を複数回行う工程、
を備えていることを特徴とする板状部材の吸着搬送方法。 - 請求項1に記載の板状部材の吸着搬送方法において、
(3-a)複数枚のスペーサの配置位置データと、吸着装置に備えた複数の吸着具の配置位置データとに基づいて、一度の吸着動作でもって複数枚のスペーサを同時に吸着可能か否かを判別する工程、
(3-b)(3-a)工程において、複数枚のスペーサを同時に吸着可能な場合には、吸着装置による一度の吸着動作でもって複数枚のスペーサを同時に吸着して同時に除去する工程、
(3-c)(3-a)工程において、一度の吸着動作によって複数枚のスペーサを吸着不可能な場合には、スペーサを既に吸着した吸着具とは別個の吸着具によって未吸着のスペーサを吸着可能か否かを判別する工程、
(3-d)(3-c)工程において、吸着可能な場合には、別個の吸着具によって未吸着のスペーサを吸着して、複数枚のスペーサを同時に搬送除去する工程、
(3-e)(3-c)工程において、複数枚のスペーサを吸着不可能な場合には、既に吸着したスペーサと未吸着のスペーサは個別に搬送除去する工程、
(3-f)(3-a)工程から(3-d)工程を繰り返す工程、
を備えていることを特徴とする板状部材の吸着搬送方法。 - 請求項3に記載の板状部材の吸着搬送方法において、別個の吸着具によって別個のスペーサを吸着する際、この別個のスペーサを吸着可能な吸着具は、別個のスペーサに最接近した吸着具であることを特徴とする板状部材の吸着搬送方法。
- スペーサを介在させ積層させた板状部材を1枚ずつ次工程へ搬送する吸着搬送システムであって、
複数枚のスペーサを介在して積層された板状部材を設置する板状部材設置部と、
板状部材設置部に設置された板状部材及びスペーサを上側から撮像する撮像手段と、
板状部材設置部の板状部材を吸着して次工程へ搬送すると共に、板状部材上のスペーサを吸着して除去する吸着搬送装置と、
前記撮像手段によって撮像された板状部材上の複数のスペーサの配置位置データと、吸着搬送装置における吸着装置に備えた複数の吸着具の配置位置データとに基づいて、吸着搬送装置の動作を制御する制御装置と、
を備えていることを特徴とする板状部材の吸着搬送システム。 - 請求項5に記載の板状部材の吸着搬送システムにおいて、複数のスペーサの配置位置データと吸着具の配置位置データに基づいて、一度の吸着動作でもって複数枚のスペーサを吸着可能か否かを判別する吸着枚数判別部を備えていることを特徴とする板状部材の吸着搬送システム。
- 請求項5又は6に記載の板状部材の吸着搬送システムにおいて、一度の吸着動作によって複数枚のスペーサを吸着した状態において、未吸着のスペーサが存在する場合に、スペーサを既に吸着した吸着具とは別個の吸着具によって未吸着のスペーサを吸着可能か否かを判別する吸着可判別部を備えていることを特徴とする板状部材の吸着搬送システム。
- 請求項7に記載の板状部材の吸着搬送システムにおいて、別個の吸着具によって未吸着のスペーサを吸着可と判別したときに、吸着装置の最小動作を判別する最小動作判別部を備えていることを特徴とする板状部材の吸着搬送システム。
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JP2018084745A JP7084767B2 (ja) | 2018-04-26 | 2018-04-26 | 板状部材の吸着搬送方法及び吸着搬送システム |
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JP2018084745A JP7084767B2 (ja) | 2018-04-26 | 2018-04-26 | 板状部材の吸着搬送方法及び吸着搬送システム |
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JP2019189408A JP2019189408A (ja) | 2019-10-31 |
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JP2009120311A (ja) | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Shiraitekku:Kk | ガラス基板の供給装置 |
JP2010005769A (ja) | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Ihi Corp | デパレタイズ装置および方法 |
JP2012248683A (ja) | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハマウント方法および半導体ウエハマウント装置 |
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2018
- 2018-04-26 JP JP2018084745A patent/JP7084767B2/ja active Active
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JP2010005769A (ja) | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Ihi Corp | デパレタイズ装置および方法 |
JP2012248683A (ja) | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハマウント方法および半導体ウエハマウント装置 |
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