JP7080477B2 - カーボンナノチューブを成長させる方法 - Google Patents
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Description
前記シートは、5nm以上50nmm以下の範囲の厚さを有してもよい。
前記シリカ前駆体は、アルコキシシランであってもよい。
前記アルコキシシランは、テトラエトキシシラン(TEOS)、メトキシシラン、エトキシシラン、プロポキシシラン、イソプロポキシシラン、アリールオキシシラン、テトラメトキシシラン(TMOS)、テトラプロポキシシラン(TPOS)、またはアミノプロピルシラン、アミノエチルアミノプロピルシラン、ビニルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、グリシドキシプロポキシルトリメトキシシラン、グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、メルカプトプロピルトリエトキシシラン、メルカプトプロピルトリメトキシシラン、アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキ
シシラン、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3-[2-(2-アミノエチルアミノ)エチルアミノ]プロピルトリメトキシシラン、[2(シクロヘキセニル)エチル]トリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシランおよびビニルトリエトキシシランからなる群から少なくとも1種選択されてもよい。 前記熱処理するステップは、酸素を含有する雰囲気中、700℃以上1500℃以下の温度範囲で、前記シートが形成された基板を熱処理してもよい。
前記熱処理するステップは、酸素を含有する雰囲気中、800℃以上1200℃以下の温度範囲で、前記シートが形成された基板を熱処理してもよい。
前記熱処理するステップは、前記シートが形成された基板を、1分以上2時間以下の時間、熱処理してもよい。
前記酸素を含有する雰囲気は、酸素と不活性ガスとの混合ガスであってもよい。
前記酸素と前記不活性ガスとの混合比は、体積比で、酸素:不活性ガス=10~40:90~60を満たしてもよい。
前記熱処理するステップは、前記シートの端部にシリカからなる粒子を形成してもよい。
前記粒子は、0.7nm以上70nm以下の範囲の直径を有してもよい。
前記成長させるステップは、前記熱処理された基板上に、炭素原子(C)を含有するガスを供給し、不活性ガス雰囲気中で加熱してもよい。
前記Cを含有するガスは、メタン、エチレン、アセチレン、一酸化炭素およびアルコールガスからなる群から少なくとも1種選択されてもよい。 前記成長させるステップは、400℃以上1500℃以下の温度範囲で行ってもよい。
前記FIBのイオン源は、液体金属であってもよい。
前記液体金属は、ガリウムであってもよい。
前記基板は、シリコン基板、化合物半導体基板、金属基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板およびセラミック基板からなる群から選択されてもよい。
前記カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブ、二層カーボンナノチューブおよび多層カーボンナノチューブからなる群から選択されてもよい。
前記カーボンナノチューブは、0.7nm以上70nm以下の範囲の直径を有してもよい。
図2は、本発明の基板上の所望の位置にカーボンナノチューブを成長させるプロシージャを示す図である。
例1~13では、基板210としてSiO2自然酸化膜付シリコン基板(大きさ:5mm×5mm×0.5mm)を、シリカ前駆体220としてテトラエトキシシラン(TEOS:トリケミカル研究所株式会社)を用い、集束イオンビーム(FIB)システム(SIIナノテクノロジー株式会社製、SMI9800SE)により種々の大きさおよび厚さのシリカからなるシート240を基板上に製造した。その後、シート240を熱処理し、炭素原子を含有する原料としてメタン(CH4)を用い、化学的気相成長法(CVD)によりカーボンナノチューブを成長させた。なお、液体金属にはガリウムを用いた。
図4は、例2の試料のSEM像を示す図である。
図5は、例3~10の試料のSEM像を示す図である。
図6は、例10の試料のSEM像を示す図である。
図7は、例11の試料のSEM像を示す図である。
図8は、例12の試料のSEM像を示す図である。
図9は、例13の試料のSEM像を示す図である。
図12は、例2の試料のアルゴンガス処理前後のEDSプロファイル(a~b)を示す図である。
220 シリカ前駆体
230 集束イオンビーム(FIB)
240、250 シート
260 粒子
270 カーボンナノチューブ
Claims (19)
- 基板上にカーボンナノチューブを成長させる方法であって、
前記基板上にシリカ前駆体を供給するステップと、
集束イオンビーム(FIB)を前記シリカ前駆体が供給された基板に照射し、前記シリカ前駆体に基づくシリカからなるシートを形成するステップであって、前記シートは、3nmを超え500nm以下の厚さ、および、面内方向において、長手方向に2μm以上5μm以下、短手方向に2μm以上5μm以下の大きさを有し、前記FIBが照射された基板上に形成される、ステップと、
前記シートが形成された基板を少なくとも酸素を含有する雰囲気中で熱処理するステップと、
化学的気相成長法(CVD)により前記シートから1本のカーボンナノチューブを成長させるステップと
を包含する、方法。 - 前記シートは、5nm以上50nm以下の範囲の厚さを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記シリカ前駆体は、アルコキシシランである、請求項1または2に記載の方法。
- 前記アルコキシシランは、テトラエトキシシラン(TEOS)、メトキシシラン、エトキシシラン、プロポキシシラン、イソプロポキシシラン、アリールオキシシラン、テトラメトキシシラン(TMOS)、テトラプロポキシシラン(TPOS)、またはアミノプロピルシラン、アミノエチルアミノプロピルシラン、ビニルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、グリシドキシプロポキシルトリメトキシシラン、グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、メルカプトプロピルトリエトキシシラン、メルカプトプロピルトリメトキシシラン、アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3-[2-(2-アミノエチルアミノ)エチルアミノ]プロピルトリメトキシシラン、[2(シクロヘキセニル)エチル]トリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシランおよびビニルトリエトキシシランからなる群から少なくとも1種選択される、請求項3に記載の方法。
- 前記熱処理するステップは、酸素を含有する雰囲気中、700℃以上1500℃以下の温度範囲で、前記シートが形成された基板を熱処理する、請求項1~4のいずれかに記載の方法。
- 前記熱処理するステップは、酸素を含有する雰囲気中、800℃以上1200℃以下の温度範囲で、前記シートが形成された基板を熱処理する、請求項5に記載の方法。
- 前記熱処理するステップは、前記シートが形成された基板を、1分以上2時間以下の時間、熱処理する、請求項5または6に記載の方法。
- 前記酸素を含有する雰囲気は、酸素と不活性ガスとの混合ガスである、請求項5~7のいずれかに記載の方法。
- 前記酸素と前記不活性ガスとの混合比は、体積比で、酸素:不活性ガス=10~40:90~60を満たす、請求項8に記載の方法。
- 前記熱処理するステップは、前記シートの端部にシリカからなる粒子を形成する、請求項1~9のいずれかに記載の方法。
- 前記粒子は、0.7nm以上70nm以下の範囲の直径を有する、請求項10に記載の方法。
- 前記成長させるステップは、前記熱処理された基板上に、炭素原子(C)を含有するガスを供給し、不活性ガス雰囲気中で加熱する、請求項1~11のいずれかに記載の方法。
- 前記Cを含有するガスは、メタン、エチレン、アセチレン、一酸化炭素およびアルコールガスからなる群から少なくとも1種選択される、請求項12に記載の方法。
- 前記成長させるステップは、400℃以上1500℃以下の温度範囲で行う、請求項1~13のいずれかに記載の方法。
- 前記FIBのイオン源は、液体金属である、請求項1~14のいずれかに記載の方法。
- 前記液体金属は、ガリウムである、請求項15に記載の方法。
- 前記基板は、シリコン基板、化合物半導体基板、金属基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板およびセラミック基板からなる群から選択される、請求項1~16のいずれかに記載の方法。
- 前記カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブ、二層カーボンナノチューブおよび多層カーボンナノチューブからなる群から選択される、請求項1~17のいずれかに記載の方法。
- 前記カーボンナノチューブは、0.7nm以上70nm以下の範囲の直径を有する、請求項18に記載の方法。
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US20070104892A1 (en) | 2003-07-18 | 2007-05-10 | Nec Corporation | Method for fixing metal particles and method for manufacturing substrate containing metal particles, method for manufacturing substrate containing carbon nanotube, and method for manufacturing substrate containing semiconductor-crystalline rod, employing thereof |
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Non-Patent Citations (3)
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B. LIU et al.,Metal-Catalyst-Free Growth of Single-Walled Carbon Nanotubes,J. Am. Chem. Soc.,2009年01月26日,Vol.131, No.6,p.2082-2083 |
H. LIU et al.,The growth of single-walled carbon nanotubes on a silica substrate without using a metal catalyst,Carbon,2010年01月,Vol.48, No.1,p.114-122 |
S. HUANG et al.,Metal-Catalyst-Free Growth of Single-Walled Carbon Nanotubes on Substrates,J. Am. Chem. Soc.,2009年01月26日,Vol.131, No.6,p.2094-2095 |
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