JP7074488B2 - Ultrasonic probe - Google Patents
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Description
本発明は、検査対象の欠陥を検査する超音波プローブに関するものである。 The present invention relates to an ultrasonic probe for inspecting a defect to be inspected.
従来、非破壊で鋼材等の検査対象に存在する欠陥を検査する手段の一つとして、いわゆる二振動子垂直プローブが知られている。例えば、特許文献1には、送信用振動子と、送信用音響的遅延材と、受信用振動子と、受信用音響的遅延材と、音響的隔離板と、を備える超音波探触子(二振動子垂直プローブ)が開示されている。
Conventionally, a so-called two-oscillator vertical probe has been known as one of means for inspecting defects existing in an inspection target such as steel materials in a non-destructive manner. For example,
特許文献1に記載されるような超音波探触子では、検査対象の内部に存在する欠陥を検知することは可能であるものの、検査対象の表面領域(表面ないしその近傍の領域)の欠陥を検査することはできない。
Although it is possible to detect defects existing inside the inspection target with an ultrasonic probe as described in
本発明の目的は、検査対象の内部領域に加え、表面領域に存在する欠陥をも検査することが可能な超音波プローブを提供することである。 An object of the present invention is to provide an ultrasonic probe capable of inspecting a defect existing in a surface region as well as an internal region to be inspected.
前記課題を解決するために、本発明者らは、いわゆる二振動子垂直プローブでの欠陥の検査時にクリーピング波が生じることに着目した。クリーピング波は、送信振動子から送信された超音波(縦波)が検査対象に横波として入射する際に生じる超音波であり、検査対象の表面領域を伝播する縦波である。このクリーピング波を用いることによって、検査対象の表面領域に存在する欠陥を検知可能となることに想到した。 In order to solve the above problems, the present inventors have focused on the generation of creeping waves when inspecting defects with a so-called two-oscillator vertical probe. The creeping wave is an ultrasonic wave generated when an ultrasonic wave (longitudinal wave) transmitted from a transmission oscillator is incident on an inspection target as a transverse wave, and is a longitudinal wave propagating in a surface region of the inspection target. By using this creeping wave, we came up with the idea that defects existing in the surface area to be inspected can be detected.
本発明は、このような観点に基づいてなされたものである。具体的に、本発明は、超音波として縦波を送信する送信振動子と、超音波を受信する第1受信振動子と、超音波を受信する第2受信振動子と、超音波を吸収する音響隔離部と、前記送信振動子、前記第1受信振動子、前記第2受信振動子及び前記音響隔離部を保持するくさびと、を備え、前記くさびは、前記送信振動子から送信された縦波が横波として検査対象に入射し、かつ、前記横波の前記検査対象への入射時に前記検査対象の表面領域を伝播するクリーピング波を生じさせる角度で前記送信振動子を保持する送信振動子保持部と、前記検査対象内を伝播する横波が前記検査対象の内部領域に存在する欠陥で反射することにより生成された反射超音波を前記第1受信振動子が受信可能な角度で当該第1受信振動子を保持する第1受信振動子保持部と、前記送信振動子保持部と前記第1受信振動子保持部との間で前記音響隔離部を保持する音響隔離部保持部と、前記クリーピング波が前記検査対象の表面領域に存在する欠陥で反射することにより生成される反射クリーピング波を前記第2受信振動子が受信可能な角度で当該第2受信振動子を保持する第2受信振動子保持部と、を有する、超音波プローブを提供する。 The present invention has been made based on such a viewpoint. Specifically, the present invention absorbs ultrasonic waves, a transmitting oscillator that transmits longitudinal waves as ultrasonic waves, a first receiving oscillator that receives ultrasonic waves, and a second receiving oscillator that receives ultrasonic waves. It includes an acoustic isolation unit, a transmission oscillator, a first reception oscillator, a second receiving oscillator, and a wedge holding the acoustic isolation portion, and the wedge is a vertical unit transmitted from the transmission oscillator. A transmitter holding that holds the transmitter at an angle that causes a creeping wave that propagates in the surface area of the inspection target when the wave is incident on the inspection target as a transverse wave and the transverse wave is incident on the inspection target. The first reception is performed at an angle at which the first receiving oscillator can receive the reflected ultrasonic waves generated by reflecting the transverse wave propagating in the inspection target and the unit by a defect existing in the internal region of the inspection target. The first receiving oscillator holding portion that holds the vibrator, the acoustic isolation portion holding portion that holds the acoustic isolation portion between the transmitting vibrator holding portion and the first receiving vibrator holding portion, and the creeping. The second received vibration holding the second receiving oscillator at an angle at which the second receiving oscillator can receive the reflected creeping wave generated by the wave reflected by the defect existing in the surface region of the inspection target. Provided is an ultrasonic probe having a child holding portion.
本超音波プローブでは、送信振動子から送信されて検査対象の内部に進入した横波が検査対象の内部領域に存在する欠陥で反射することにより生成された反射超音波を受信する第1受信振動子と、送信振動子から送信された縦波の検査対象への入射時に生じたクリーピング波が検査対象の表面領域に存在する欠陥で反射することにより生成される反射クリーピング波を受信する第2受信振動子と、を有しているので、検査対象の内部領域に存在する欠陥に加え、表面領域に存在する欠陥をも検知することができる。なお、表面領域とは、検査対象の表面からクリーピング波の数波長程度の深さに相当する領域を意味する。 In this ultrasonic probe, the first receiving ultrasonic wave that receives the reflected ultrasonic wave generated by the transverse wave transmitted from the transmitting vibrator and entering the inside of the inspection target is reflected by the defect existing in the internal region of the inspection target. The second is to receive the reflected creeping wave generated by the creeping wave generated when the longitudinal wave transmitted from the transmission oscillator is incident on the inspection target and reflected by the defect existing in the surface region of the inspection target. Since it has a receiving oscillator, it can detect defects existing in the surface region in addition to defects existing in the internal region to be inspected. The surface region means a region corresponding to a depth of several wavelengths of creeping waves from the surface to be inspected.
また、前記第2受信振動子保持部は、前記音響隔離部保持部と前記第1受信振動子保持部との間に設けられていることが好ましい。 Further, it is preferable that the second receiving oscillator holding portion is provided between the acoustic isolation portion holding portion and the first receiving oscillator holding portion.
このようにすれば、送信振動子から送信された縦波を第2受信振動子が受信することが回避されるので、第2受信振動子が超音波を受信した際に生成される信号のSN比が高まる。 By doing so, it is possible to prevent the second receiving oscillator from receiving the longitudinal wave transmitted from the transmitting oscillator, so that the SN of the signal generated when the second receiving oscillator receives the ultrasonic wave. The ratio increases.
さらに、前記第2受信振動子保持部は、前記第1受信振動子と前記第2受信振動子とのなす角が70度以上110度以下となるように前記第2受信振動子を保持していることが好ましい。 Further, the second receiving oscillator holding unit holds the second receiving oscillator so that the angle formed by the first receiving oscillator and the second receiving oscillator is 70 degrees or more and 110 degrees or less. It is preferable to have.
このようにすれば、検査対象の内部領域に存在する欠陥での反射時に生成された反射超音波を第2受信振動子が受信することが抑制される。具体的に、前記反射超音波(横波)は、再びくさび内に進入するときに縦波になるので、この縦波を受信する第1受信振動子と第2受信振動子とのなす角が70度以上110度以下に設定されることにより、その縦波を第2受信振動子が受信することが抑制される。 By doing so, it is suppressed that the second receiving oscillator receives the reflected ultrasonic wave generated at the time of reflection by the defect existing in the internal region of the inspection target. Specifically, since the reflected ultrasonic wave (transverse wave) becomes a longitudinal wave when it enters the wedge again, the angle formed by the first receiving oscillator and the second receiving oscillator that receives this longitudinal wave is 70. By setting the degree to 110 degrees or more, reception of the longitudinal wave by the second receiving oscillator is suppressed.
また、前記超音波プローブにおいて、超音波を受信する第3受信振動子をさらに備え、前記くさびは、前記反射クリーピング波を前記第3受信振動子が受信可能な角度で当該第3受信振動子を保持する第3受信振動子保持部と、を有し、前記第3受信振動子保持部は、前記送信振動子保持部と前記第1受信振動子保持部とを結ぶ方向について前記送信振動子保持部を基準として前記音響隔離部保持部とは反対側に設けられていることが好ましい。 Further, the ultrasonic probe further includes a third receiving oscillator for receiving ultrasonic waves, and the wedge has the third receiving oscillator at an angle at which the reflected creeping wave can be received by the third receiving oscillator. The third receiving vibrator holding unit has a third receiving vibrator holding unit, and the third receiving vibrator holding unit has the transmitting vibrator in a direction connecting the transmitting vibrator holding unit and the first receiving vibrator holding unit. It is preferable that the holding portion is provided on the side opposite to the acoustic isolation portion holding portion as a reference.
このようにすれば、くさびのうち音響隔離部よりも送信振動子が配置されている側の直下に存在する欠陥と、くさびのうち音響隔離部よりも第1受信振動子が配置されている側の直下に存在する欠陥と、の識別が可能となる。 By doing so, a defect existing directly under the side of the wedge where the transmitting oscillator is arranged rather than the acoustic isolation portion, and the side of the wedge where the first receiving oscillator is arranged rather than the acoustic isolation portion. It is possible to distinguish from the defect that exists directly under.
また、前記送信振動子は、広帯域振動子であることが好ましい。なお、広帯域振動子とは、1波又は2波程度の超音波パルスを発生する振動子を指す。 Further, the transmission oscillator is preferably a wideband oscillator. The broadband oscillator refers to an oscillator that generates an ultrasonic pulse of about one or two waves.
この態様では、送信振動子及び第1受信振動子によって検査対象の表面領域に存在する欠陥をも検知することが可能となる。具体的に、広帯域振動子から送信される超音波は、波の数が少ないので、検査対象の表面で反射することにより生成される反射超音波の第1受信振動子での受信信号と、前記表面領域に存在する欠陥で反射することにより生成される反射超音波の第1受信振動子での受信信号と、の識別が可能となる。 In this aspect, it is possible to detect defects existing in the surface region to be inspected by the transmitting oscillator and the first receiving oscillator. Specifically, since the ultrasonic waves transmitted from the wideband oscillator have a small number of waves, the received signal of the reflected ultrasonic waves generated by being reflected on the surface to be inspected and the signal received by the first receiving ultrasonic wave and the above-mentioned It is possible to distinguish the reflected ultrasonic wave generated by the reflection by the defect existing in the surface region from the received signal by the first receiving vibrator.
以上のように、本発明によれば、検査対象の内部領域に加え、表面領域に存在する欠陥をも検査することが可能な超音波プローブを提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide an ultrasonic probe capable of inspecting a defect existing in a surface region in addition to an internal region to be inspected.
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態の超音波プローブ1について、図1を参照しながら説明する。本超音波プローブ1は、検査対象T(本実施形態では鋼材)の内部領域に存在する欠陥f1に加え、検査対象Tの表面ないしその近傍の領域(以下、「表面領域」と称する。)に存在する欠陥f2をも検査可能である。具体的に、この超音波プローブ1は、送信振動子10と、第1受信振動子20と、第2受信振動子30と、音響隔離部40と、くさび50と、を備えている。
(First Embodiment)
The
送信振動子10は、超音波として縦波Lを送信する。具体的に、送信振動子10として、広帯域振動子(1波又は2波程度の超音波パルスを発生する振動子)が用いられることが好ましい。
The
第1受信振動子20及び第2受信振動子30は、それぞれ、超音波を受信するとともに、その超音波に対応した信号を生成する。この信号は、ケーブルを介して図示略の探傷装置に送られる。
The first receiving
音響隔離部40は、超音波を吸収する。本実施形態では、音響隔離部40は、コルクやゴム等からなる。
The
くさび50は、各振動子10,20及び音響隔離部40を保持する。具体的に、くさび50は、第1音響遅延材50Aと、第2音響遅延材50Bと、を有している。本実施形態では、第1音響遅延材50Aは、送信振動子10を保持する送信振動子保持部51と、音響隔離部40を保持する音響隔離部保持部54と、を有している。第2音響遅延材50Bは、第1受信振動子20を保持する第1受信振動子保持部52と、第2受信振動子30を保持する第2受信振動子保持部53と、を有している。
The
送信振動子保持部51は、送信振動子10から送信された縦波Lが横波Sとして検査対象Tに入射し、かつ、前記横波Sの検査対象Tへの入射時に検査対象Tの表面領域を伝播するクリーピング波Cを生じさせる角度で送信振動子10を保持する。具体的に、送信振動子保持部51は、検査対象Tの表面に垂直な直線と、送信振動子10から送信される縦波Lの送信方向(送信振動子10に垂直な方向)と、のなす角θ1が送信振動子10から送信される縦波Lの臨界角近傍の角度になるように送信振動子10を保持する。ここで、「臨界角近傍の角度」は、臨界角±5度であり、好ましくは、臨界角±3度である。なお、表面領域は、検査対象Tの表面からクリーピング波Cの数波長程度の深さに相当する領域を意味する。
The transmission
第1受信振動子保持部52は、検査対象T内を伝播する横波Sが検査対象Tの内部領域に存在する欠陥f1で反射することにより生成された反射超音波を第1受信振動子20が受信可能な角度で第1受信振動子20を保持する。なお、反射超音波は、検査対象Tからくさび50の第2音響遅延材50Bに進入する際に縦波Lになる。第1受信振動子20が反射超音波(縦波L)を受信した際に生成される信号は、第1受信振動子20から前記探傷装置に送られる。つまり、送信振動子10及び第1受信振動子20によって検査対象Tの内部領域に存在する欠陥f1が検知される。
In the first receiver
音響隔離部保持部54は、送信振動子保持部51と第1受信振動子保持部52との間で音響隔離部40を保持する。音響隔離部保持部54に音響隔離部40が保持されることにより、送信振動子10から第1音響遅延材50A内に送信された超音波が検査対象Tを経由することなく第1受信振動子20に至るのが抑制される。
The acoustic isolation
第2受信振動子保持部53は、クリーピング波Cが検査対象Tの表面領域に存在する欠陥f2で反射することにより生成される反射クリーピング波を第2受信振動子30が受信可能な角度で当該第2受信振動子30を保持する。第2受信振動子30が反射クリーピング波を受信した際に生成される信号は、第2受信振動子30から前記探傷装置に送られる。つまり、送信振動子10及び第2受信振動子30によって検査対象Tの表面領域に存在する欠陥f2が検知される。本実施形態では、第2受信振動子保持部53は、音響隔離部保持部54と第1受信振動子保持部52との間に設けられている。この第2受信振動子保持部53は、第1受信振動子20と第2受信振動子30とのなす角θ2が70度以上110度以下となるように第2受信振動子30を保持することが好ましい。本実施形態では、第2受信振動子保持部53は、前記角θ2が90度となるように第2受信振動子30を保持している。
The second receiver
以上に説明したように、本実施形態の超音波プローブ1では、送信振動子10から送信されて検査対象Tの内部に進入した横波Sが検査対象Tの内部領域に存在する欠陥f1で反射することにより生成された反射超音波を受信する第1受信振動子20と、送信振動子10から送信された縦波の検査対象Tへの入射時に生じたクリーピング波Cが検査対象Tの表面領域に存在する欠陥f2で反射することにより生成される反射クリーピング波を受信する第2受信振動子30と、を有しているので、検査対象Tの内部領域に存在する欠陥f1に加え、表面領域に存在する欠陥f2をも検知することができる。
As described above, in the
また、第2受信振動子保持部53は、音響隔離部保持部54と第1受信振動子保持部52との間に設けられているので、送信振動子10から送信された縦波Lを第2受信振動子30が受信することが回避される。よって、第2受信振動子30が超音波を受信した際に生成される信号のSN比が高まる。
Further, since the second receiving
さらに、第2受信振動子保持部53は、第1受信振動子20と第2受信振動子30とのなす角θ2が90度となるように第2受信振動子30を保持しているので、検査対象Tの内部領域に存在する欠陥f1での反射時に生成された反射超音波を第2受信振動子30が受信することが抑制される。具体的に、前記反射超音波(横波S)は、再びくさび50の第2音響遅延材50B内に進入するときに縦波Lになるので、この縦波Lを受信する第1受信振動子20と第2受信振動子30とのなす角が90度に設定されることにより、その縦波Lを第2受信振動子30が受信することが抑制される。
Further, since the second receiver
さらに、送信振動子10として前記広帯域振動子が用いられることにより、送信振動子10及び第1受信振動子20によって検査対象Tの表面領域のうちくさび50と重なっている部位(くさび直下)の一部(音響隔離部40の直下)に存在する欠陥f2′を検知することが可能となる。具体的に、広帯域振動子から送信される超音波は、波の数が少ないので、図2に示されるように、検査対象Tの表面で反射することにより生成される反射超音波の第1受信振動子20での受信信号A1と、欠陥f2′で反射することにより生成される反射超音波の第1受信振動子20での受信信号A2と、の識別が可能となる。一方、送信振動子10として狭帯域振動子が用いられた場合、図3に示されるように、検査対象Tの表面で反射することにより生成される反射超音波の第1受信振動子20での受信信号a1と、欠陥f2′で反射することにより生成される反射超音波の第1受信振動子20での受信信号a2と、の識別は困難である。なお、いずれの場合も、欠陥f1で反射することにより生成される反射超音波の第1受信振動子20での受信信号A3,a3は、他の受信信号から明確に識別可能である。
Further, by using the
(第2実施形態)
次に、図4及び図5を参照しながら、本発明の第2実施形態について説明する。なお、第2実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明を行い、第1実施形態と同じ構造、作用及び効果の説明は省略する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 5. In the second embodiment, only the parts different from the first embodiment will be described, and the description of the same structure, operation and effect as in the first embodiment will be omitted.
本実施形態の超音波プローブ1は、第3受信振動子35をさらに備え、くさび50は、第3受信振動子35を保持する第3受信振動子保持部55をさらに有している。
The
第3受信振動子35は、超音波を受信するとともに、その超音波に対応した信号を生成する。この信号は、ケーブルを介して前記探傷装置に送られる。
The
第3受信振動子保持部55は、前記反射クリーピング波を第3受信振動子35が受信可能な角度で第3受信振動子35を保持する。この第3受信振動子保持部55は、送信振動子保持部51と第1受信振動子保持部52とを結ぶ方向(図4の左右方向)について送信振動子保持部51を基準として音響隔離部保持部54とは反対側に設けられている。
The third receiver
本実施形態では、第1音響遅延材50Aの直下に存在する欠陥と第2音響遅延材50Bの直下に存在する欠陥との識別が可能となる。
In the present embodiment, it is possible to distinguish between a defect existing directly under the first
また、図5に示されるように、第1音響遅延材50Aの表面うち第1音響遅延材50Aの下面を除く部位(図5で斜線で示されている部位)には、コルク等からなる超音波を吸収する吸収部60が設けられている。このため、送信振動子10から送信された縦波Lが第3受信振動子35で受信されることが抑制される。なお、図5では、吸収部60の図示は省略されている。
Further, as shown in FIG. 5, the portion of the surface of the first
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。 It should be noted that the embodiments disclosed this time are exemplary in all respects and are not considered to be restrictive. The scope of the present invention is shown by the scope of claims rather than the description of the embodiment described above, and further includes all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.
例えば、第1実施形態では、第2受信振動子30を保持する第2受信振動子保持部53が第2音響遅延材50Bに設けられた例が示されたが、図6に示されるように、第2受信振動子保持部53は、第1音響遅延材50Aに設けられてもよい。この場合、第2実施形態と同様に、第1音響遅延材50Aに吸収部60が設けられることが好ましい。
For example, in the first embodiment, an example in which the second receiver
次に、上記実施形態についてシミュレーションによる検証を実施した。この実施例では、送信振動子10の周波数が5MHzに設定され、前記角θ1が27度に設定され、前記角θ2が90度に設定された超音波プローブ1が用いられた。また、検査対象Tとして、表面に1mm×1mmの大きさの欠陥f2を有する鋼材が用いられた。
Next, the above embodiment was verified by simulation. In this embodiment, the
この超音波プローブ1で検査対象Tを検査したときに第2受信振動子30から得られた信号が図7に示されている。図7に示されるように、第2受信振動子30が反射クリーピング波を受信した際に生成される信号Bが明確に確認された。また、図示は省略するが、第1受信振動子20が反射超音波を受信した際に生成される信号も明確に確認された。このように、この実施例では、検査対象Tの内部領域に存在する欠陥f1に加え、表面領域に存在する欠陥f2をも検知可能であることが確認された。
The signal obtained from the
1 超音波プローブ
10 送信振動子
20 第1受信振動子
30 第2受信振動子
35 第3受信振動子
40 音響隔離部
50 くさび
50A 第1音響遅延材
50B 第2音響遅延材
51 送信振動子保持部
52 第1受信振動子保持部
53 第2受信振動子保持部
54 吸収部保持部
55 第3受信振動子保持部
60 吸収部
C クリーピング波
L 縦波
S 横波
1
Claims (5)
超音波を受信する第1受信振動子と、
超音波を受信する第2受信振動子と、
超音波を吸収する音響隔離部と、
前記送信振動子、前記第1受信振動子、前記第2受信振動子及び前記音響隔離部を保持するくさびと、を備え、
前記くさびは、
前記送信振動子から送信された縦波が横波として検査対象に入射し、かつ、前記横波の前記検査対象への入射時に前記検査対象の表面領域を伝播するクリーピング波を生じさせる角度で前記送信振動子を保持する送信振動子保持部と、
前記検査対象内を伝播する横波が前記検査対象の内部領域に存在する欠陥で反射することにより生成された反射超音波を前記第1受信振動子が受信可能な角度で当該第1受信振動子を保持する第1受信振動子保持部と、
前記送信振動子保持部と前記第1受信振動子保持部との間で前記音響隔離部を保持する音響隔離部保持部と、
前記クリーピング波が前記検査対象の表面領域に存在する欠陥で反射することにより生成される反射クリーピング波を前記第2受信振動子が受信可能な角度で当該第2受信振動子を保持する第2受信振動子保持部と、を有する、超音波プローブ。 A transmitter that transmits longitudinal waves as ultrasonic waves,
The first receiver that receives ultrasonic waves and
The second receiver that receives ultrasonic waves and
An acoustic isolation unit that absorbs ultrasonic waves,
The transmitter, the first receiver, the second receiver, and the wedge that holds the acoustic isolation unit are provided.
The wedge
The longitudinal wave transmitted from the transmission oscillator is incident on the inspection target as a transverse wave, and when the transverse wave is incident on the inspection target, the transmission is performed at an angle that causes a creeping wave propagating in the surface region of the inspection target. A transmitter holding unit that holds the vibrator and a transmitter holder
The first receiving oscillator is used at an angle at which the first receiving oscillator can receive the reflected ultrasonic waves generated by the transverse waves propagating in the inspection target being reflected by the defects existing in the internal region of the inspection target. The first receiver oscillator holding unit to hold and
An acoustic isolation unit holding unit that holds the acoustic isolation unit between the transmission oscillator holding unit and the first receiving oscillator holding unit, and an acoustic isolation unit holding unit.
A second receiver holding the second receiver at an angle at which the second receiver can receive the reflected creeping wave generated by the creeping wave reflected by a defect existing in the surface region to be inspected. An ultrasonic probe having 2 receiver oscillator holders.
前記第2受信振動子保持部は、前記音響隔離部保持部と前記第1受信振動子保持部との間に設けられている、超音波プローブ。 In the ultrasonic probe according to claim 1,
The second receiving oscillator holding portion is an ultrasonic probe provided between the acoustic isolation portion holding portion and the first receiving oscillator holding portion.
前記第2受信振動子保持部は、前記第1受信振動子と前記第2受信振動子とのなす角が70度以上110度以下となるように前記第2受信振動子を保持している、超音波プローブ。 In the ultrasonic probe according to claim 2,
The second receiving oscillator holding unit holds the second receiving oscillator so that the angle formed by the first receiving oscillator and the second receiving oscillator is 70 degrees or more and 110 degrees or less. Ultrasonic probe.
超音波を受信する第3受信振動子をさらに備え、
前記くさびは、前記反射クリーピング波を前記第3受信振動子が受信可能な角度で当該第3受信振動子を保持する第3受信振動子保持部と、を有し、
前記第3受信振動子保持部は、前記送信振動子保持部と前記第1受信振動子保持部とを結ぶ方向について前記送信振動子保持部を基準として前記音響隔離部保持部とは反対側に設けられている、超音波プローブ。 In the ultrasonic probe according to claim 2 or 3.
Further equipped with a third receiver oscillator that receives ultrasonic waves,
The wedge has a third receiver oscillator holding portion that holds the third receiver oscillator at an angle at which the third receiver oscillator can receive the reflected creeping wave.
The third receiver oscillator holding portion is located on the side opposite to the acoustic isolation portion holding portion with respect to the transmitter oscillator holding portion in the direction connecting the transmitter oscillator holding portion and the first receiver oscillator holding portion. An ultrasonic probe provided.
前記送信振動子は、広帯域振動子である、超音波プローブ。 In the ultrasonic probe according to any one of claims 1 to 4.
The transmission oscillator is an ultrasonic probe which is a broadband oscillator.
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