JP7073964B2 - 光モジュールおよび光モジュールの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、光モジュールおよび光モジュールの製造方法に関するものである。

パッケージ内に半導体発光素子を配置した光モジュールが知られている（たとえば、特許文献１～４参照）。このような光モジュールは、表示装置、光ピックアップ装置、光通信装置など、種々の装置の光源として用いられる。

特開２００９－９３１０１号公報 特開２００７－３２８８９５号公報 特開２００７－１７９２５号公報 特開２００７－６５６００号公報

光モジュールの半導体発光素子から出射された光に、偏光角の異なる成分が含まれると光モジュールを含む装置の機能において不都合が生じる場合がある。例えば、光モジュールから出射された光がミラーにおいて反射する場合、反射率が偏光角によって異なることに起因して所望の反射光の光量が得られない場合がある。このように、光モジュールから出射される光においては、偏光角が制御されることが好ましい。

そこで、偏光角が制御された光を取り出すことができる光モジュールを提供することを目的の１つとする。

本願の光モジュールは、レーザダイオードと、レーザダイオードを取り囲み、レーザダイオードを封止する保護部材と、を備える。保護部材は、レーザダイオードから出射される光の外部への出射口である窓部を有する本体部と、窓部を閉塞するように設置され、レーザダイオードから出射された光が入射する領域を含む入射面と、レーザダイオードから出射された光を出射する領域を含む出射面と、入射面および出射面を繋ぐ外周面とを含む透過部材と、入射面または出射面上に配置され、レーザダイオードから出射された光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光子と、を含む。本体部は、窓部の周囲に配置され、外周面の一部に接触して、透過部材を支持する支持部を含む。

上記光モジュールによれば、偏光角が制御された光を取り出すことができる光モジュールを提供することができる。

実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。 実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。 実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略側面図である。 透過部材が本体部に配置されている状態を示す概略断面図である。 透過部材が本体部に配置されている状態を示す概略断面図である。 実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略平面図である。 実施の形態１における光モジュールの製造方法の概略を示すフローチャートである。 実施の形態１における光モジュールの製造方法を説明するための概略側面図である。 実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。 実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略側面図である。

［本願発明の実施形態の説明］
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。本願の光モジュールは、レーザダイオードと、レーザダイオードを取り囲み、レーザダイオードを封止する保護部材と、を備える。保護部材は、レーザダイオードから出射される光の外部への出射口である窓部を有する本体部と、窓部を閉塞するように設置され、レーザダイオードから出射された光が入射する領域を含む入射面と、レーザダイオードから出射された光を出射する領域を含む出射面と、入射面および出射面を繋ぐ外周面とを含む透過部材と、入射面または出射面上に配置され、レーザダイオードから出射された光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光子と、を含む。本体部は、窓部の周囲に配置され、外周面の一部に接触して、透過部材を支持する支持部を含む。

本願の光モジュールでは、本体部は、透過部材の外周面の一部に接触して、透過部材を支持する支持部を含む。このような構成とすることで、支持部を支点として透過部材を回動させて、偏光子が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分の方向を容易に変えることができる。このため、レーザダイオードから出射された光に、特定方向以外の直線偏光成分の光が含まれていたとしても、偏光子が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分の方向を調整することにより、特定方向の直線偏光成分の光の強度の低下を抑制しつつ、特定方向の直線偏光成分の光を取り出すことができる。従って、本願の光モジュールによれば、偏光角が制御された光を取り出すことができる。

上記光モジュールにおいては、入射面および出射面のうち、偏光子が配置される側とは異なる面と、本体部において窓部を取り囲む領域とが、接合されているようにしてもよい。このような構成とすることで、透過部材が支持部により支持された状態を維持することができる。このため、偏光子が選択的に透過する光の特定方向の直線偏光成分の方向を維持することができる。

上記光モジュールにおいて、支持部は、外周面に線接触しているようにしてもよい。このような構成とすることで、本体部に対して透過部材をより確実に支持することができる。

上記光モジュールにおいて、外周面には切り欠きが形成されているようにしてもよい。このような構成とすることで、調整用のピンを切り欠きに差し込み、支持部を支点とし透過部材を容易に回動させることができる。このため、偏光子が選択的に透過する光の特定方向の直線偏光成分の方向をより容易に調整することができる。

上記光モジュールにおいて、透過部材は、偏光子が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分の方向を示す目印を有するようにしてもよい。このような構成とすることで、偏光子が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分の方向を視認することができる。

上記光モジュールにおいて、偏光子は、フィルム偏光子であるようにしてもよい。このようにフィルム偏光子を用いることで、入射面または出射面に偏光子を配置することが容易となる。

上記光モジュールにおいて、偏光子は、ワイヤーグリッド偏光子であるようにしてもよい。このようにすることで、光の波長に依らずに特定方向の直線偏光成分の光を選択することができる。

上記光モジュールにおいて、レーザダイオードから出射される光のスポットサイズを変換するレンズをさらに備えるようにしてもよい。このような構成とすることで、所望のスポットサイズの光を得ることができる。

上記光モジュールにおいて、複数のレーザダイオードを備え、複数のレーザダイオードから出射される光を合波するフィルタをさらに備えるようにしてもよい。このような構成とすることで、合波された光において偏光角が制御された光を取り出すことができる。

上記光モジュールにおいて、複数のレーザダイオードは、赤色の光を出射する第一のレーザダイオードと、緑色の光を出射する第二のレーザダイオードと、青色の光を出射する第三のレーザダイオードと、を含むようにしてもよい。このような構成とすることで、これらの光を合波し、所望の色の光を形成することができる。

本願の光モジュールの製造方法は、ベース体と、ベース体上に配置されたレーザダイオードとを含む第一構造体を準備する工程と、レーザダイオードから出射される光の出射口である窓部を有し、窓部の周囲に形成された支持部を含む本体部を、レーザダイオードがベース体および本体部により取り囲まれるように配置する工程と、レーザダイオードから出射された光が入射する領域を含む入射面と、レーザダイオードから出射された光を出射する領域を含む出射面と、入射面および出射面を繋ぐ外周面と、を含む透過部材と、入射面または出射面上に配置され、レーザダイオードから出射された光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光子と、を含む第二構造体を、窓部を閉塞し、外周面の一部が支持部に接触しつつ、レーザダイオードから出射される光の光軸に垂直な面に沿って回動可能に配置する工程と、第二構造体を回動して、偏光子が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分の方向を調整する工程と、偏光子が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分の方向が調整された第二構造体を本体部に接合する工程と、第二構造体が接合された本体部と、ベース体と、を接合して、レーザダイオードを本体部と、ベース体とを含む保護部材により封止する工程と、を備える。

本願の光モジュールの製造方法では、第二構造体は、透過部材の外周面の一部が支持部に接触しつつ、レーザダイオードから出射される光の光軸に垂直な面に沿って回動可能なように配置される。このような構成とすることで、支持部を支点として第二構造体を回動させて、偏光子が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分の方向を容易に変えることができる。このため、レーザダイオードから出射された光に、特定方向以外の直線偏光成分の光が含まれていたとしても、偏光子が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分の方向を調整することにより、特定方向の直線偏光成分の光の強度の低下を抑制しつつ、特定方向の直線偏光成分の光を取り出すことができる。従って、本願の光モジュールの製造方法によれば、偏光角が制御された光を取り出すことができる光モジュールを容易に提供することができる。

［本願発明の実施形態の詳細］
次に、本願の光モジュールの一実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。

（実施の形態１）
本願発明に係る光モジュールの一実施の形態である実施の形態１を、図１～図６を参照しつつ説明する。図２は、図１の本体部を取り外した状態に対応する図である。

図１および図２を参照して、本実施の形態における光モジュール１は、光を形成する光形成部２０と、光形成部２０を取り囲み、光形成部２０を封止する保護部材２とを備える。保護部材２は、ベース体４と、本体部４０と、透過部材４２と、偏光子４３と、を含む。

ベース体４は、基部１０と、複数のリードピン５１と、後述する電子温度調整モジュール３０と、後述するベース部材６０と、を含む。基部１０は、平板状の形状を有する。基部１０は、Ｚ軸方向から平面的に見て、四隅の角が丸められた長方形形状である（特に図２参照）。光形成部２０は、基部１０の一方の主面１０Ａ上に配置される。本体部４０は、光形成部２０を覆うように基部１０の一方の主面１０Ａに接触して配置される。ベース体４と、本体部４０とは接合されている。より具体的には、基部１０は、本体部４０に対して溶接されている。すなわち、光形成部２０は、保護部材２によりハーメチックシールされている。基部１０と本体部４０とにより取り囲まれる空間には、たとえば乾燥空気などの水分が低減（除去）された気体が封入されている。基部１０の他方の主面１０Ｂ側から一方の主面１０Ａ側まで貫通し、一方の主面１０Ａ側および他方の主面１０Ｂ側の両側に突出するように、複数のリードピン５１が基部１０に設置されている。

保護部材２の外形形状は、略直方体状である。本体部４０は、第一の面４０１と、第二の面４０２と、第三の面４０３と、第四の面４０４と、第五の面４０５と、を含む。第一の面４０１と、主面１０Ａとは、Ｚ軸方向に間隔をあけて平行に配置される。第二の面４０２と、第四の面４０４とは、Ｘ軸方向に間隔をあけて平行に配置される。第三の面４０３と、第五の面４０５とは、Ｙ軸方向に間隔をあけて平行に配置される。

特に、図１および図３を参照して、第二の面４０２は、第一の面４０１側であって、第五の面４０５に近い側に凹部４４が形成されている。凹部４４は、第一の面４０１から連なる底壁部４４５と、第二の面４０２から連なる第一側壁部４４１、第二側壁部４４２、第三側壁部４４３および第四側壁部４４４とから規定される。第一側壁部４４１と、第四側壁部４４４とは、Ｙ軸方向に間隔をあけて平行に配置される。第二側壁部４４２と、第三側壁部４４３とは対をなし、Ｚ軸を基準として線対称に配置されている。なお、第二側壁部４４２と、第三側壁部４４３とは連なって配置されている。第二側壁部４４２および第三側壁部４４３は、Ｙ軸方向に対して傾斜するテーパ面である。第二側壁部４４２と、第三側壁部４４３とが交わる領域４４Ａの形状は曲面状となる。

底壁部４４５には、第一の面４０１側から長さＭ_１の位置にＸ軸方向に貫通する窓部４１が形成されている。窓部４１は、第五の面４０５側から長さＭ_２の位置に形成されている。窓部４１は、Ｘ軸方向から平面的に見て円形状である。窓部４１の径Ｍ_３は、凹部４４のＹ軸方向の長さＭ_４よりも小さい。

図４は、図３中のＩ－Ｉで切断した場合の断面図である。図５は、図３中のＩＩ－ＩＩで切断した場合の断面図である。特に、図３、図４および図５を参照して、透過部材４２は、窓部４１を閉塞するように、底壁部４４５の一方の面４４５Ａ上に配置されている。透過部材４２は、本実施の形態においては、円盤状のガラス部材である。ガラス部材としては、例えば低融点ガラスである。透過部材４２は、窓部４１側からＸ軸方向に光が入射する領域を含む入射面としての第一主面４２１と、Ｘ軸方向に光が出射する領域を含む出射面としての第二主面４２２と、第一主面４２１と、第二主面４２２とを繋ぐ外周面４２３と、を含む。透過部材４２と、底壁部４４５との間には、ガラス部材が溶融し変質した変質層４２Ｂが形成されている。透過部材４２の第一主面４２１と、底壁部４４５の窓部４１を取り囲む領域４４５Ｂとは、変質層４２Ｂにより接合されている。透過部材４２は、Ｘ軸方向から平面的に見て、外周面４２３の一部に透過部材４２の中心Ｇ側に凹む切り欠き４２４が形成されている。切り欠き４２４は、調整用のピン等が差し込み可能な形状を有する。

偏光子４３は、透過部材４２の第二主面４２２に接触して配置されている。偏光子４３は、Ｘ軸方向から平面的に見て、円形状である。本実施の形態において、偏光子４３は、フィルム偏光子である。偏光子４３としては、例えば、ワイヤーグリッド偏光子を採用することができる。偏光子４３としては、例えばトリアセチルセルロース等の樹脂フィルムの主面上に金属ナノワイヤグリッドが形成されたワイヤーグリッド偏光子である。ワイヤが延びる方向に沿った直線偏光成分の光を反射し、ワイヤが延びる方向に直交した方向に沿った偏光成分の光を透過する。このため、ワイヤが延びる方向を調整することで、入射した光のうち特定方向の直線偏光成分の光を選択することができる。本実施の形態では、偏光子４３により、入射した光のうちＰ偏光の直線偏光成分の光が選択される。なお、切り欠き４２４は、偏光子４３が透過する直線偏光成分の方向を示す目印となっている。より具体的には、透過部材４２をＸ軸方向から平面的に見て、切り欠き４２４と透過部材４２の中心Ｇとを結んだ線分４２１Ａは、ワイヤが延びる方向に沿って配置されている。なお、線分４２１Ａは、ワイヤが延びる方向に直交するように配置してもよい。図３では、理解の容易の観点から線分４２１Ａを破線で示す。

透過部材４２の外周面４２３は、第一の領域４４２Ａで第二側壁部４４２と接触している。透過部材４２の外周面４２３は、第二の領域４４３Ａで第三側壁部４４３と接触している。特に図５を参照して、第一の領域４４２Ａでは、透過部材４２の外周面４２３は、第二側壁部４４２に線接触している。同様に、第二の領域４４３Ａでは、透過部材４２の外周面４２３は、第三側壁部４４３に線接触している。特に図４を参照して、第二側壁部４４２と、第三側壁部４４３とが交わる領域４４Ａに対応する領域では、透過部材４２の外周面４２３は、第二側壁部４４２および第三側壁部４４３に接触していない。このようにして、透過部材４２は、第二側壁部４４２および第三側壁部４４３が支持部４５となり、支持されている。なお、支持部４５は、窓部４１の周囲に配置されている。

特に図２を参照して、電子温度調整モジュール３０は、平板状の形状を有する吸熱板３１および放熱板３２と、電極を挟んで吸熱板３１と放熱板３２との間に並べて配置される半導体柱３３とを含む。吸熱板３１および放熱板３２は、たとえばアルミナからなっている。放熱板３２が基部１０の一方の主面１０Ａに接触するように、電子温度調整モジュール３０は基部１０の一方の主面１０Ａに配置される。

吸熱板３１に接触するように、ベース板６６を含むベース部材６０が配置されている。ベース板６６は、平面的に見て長方形形状を有する。ベース板６６は、平面的に見て長方形形状を有する。ベース板６６は、ベース領域６１と、チップ搭載領域６２と、フォトダイオード搭載領域６４とを含む。また、Ｙ軸方向において、Ｘ軸方向に並んで配置されるチップ搭載領域６２とベース領域６１との間に、フォトダイオード搭載領域６４が配置される。なお、ベース領域６１、チップ搭載領域６２およびフォトダイオード搭載領域６４は、それぞれ平らである。また、ベース領域６１、チップ搭載領域６２およびフォトダイオード搭載領域６４のそれぞれを構成する平面は、Ｚ軸方向においてそれぞれ平行となるように設けられる。なお、ベース板６６上にそれぞれ後述する第１サブマウント７１、第２サブマウント７２、第３サブマウント７３、第４サブマウント７４、第５サブマウント７５および第６サブマウント７６を設けたものがベース部材６０を構成する。

チップ搭載領域６２の厚みは、それぞれベース領域６１の厚みに比べて大きい。その結果、ベース領域６１に比べて、チップ搭載領域６２の高さが高い。フォトダイオード搭載領域６４の厚みは、ベース領域６１およびチップ搭載領域６２の厚みに比べて小さい。その結果、ベース領域６１に比べて、フォトダイオード搭載領域６４の高さが低い。

チップ搭載領域６２上には、平板状の第１サブマウント７１が配置される。そして、第１サブマウント７１上に、半導体発光素子としての半導体レーザである赤色の光を出射する赤色レーザダイオード８１が配置される。チップ搭載領域６２上には、それぞれ平板状の第２サブマウント７２および第３サブマウント７３が配置される。第２サブマウント７２と第３サブマウント７３は、Ｘ軸方向に間隔をあけて設けられる。第１サブマウント７１に近い側に第２サブマウント７２が配置される構成である。そして、第２サブマウント７２上には、半導体発光素子としての半導体レーザである緑色の光を照射する緑色レーザダイオード８２が配置される。また、第３サブマウント７３上には、半導体発光素子としての半導体レーザである青色の光を出射する青色レーザダイオード８３が配置される。

赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３の光軸の高さ（ベース板６６の一方の面を基準面とした場合の基準面と光軸との距離；Ｚ軸方向における基準面との距離）は、第１サブマウント７１、第２サブマウント７２および第３サブマウント７３により調整されて一致している。赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３の光軸の高さは、チップ搭載領域６２の表面に段差を設けることで調整され、一致するようにしてもよい。なお、赤色の光としては、波長が６２０ｎｍ（ナノメートル）～７５０ｎｍ程度の光であり、緑色の光としては、波長が４９５ｎｍ～５７０ｎｍ程度の光であり、青色の光としては、波長が４２０ｎｍ～４９５ｎｍ程度の光である。

ベース板６６のベース領域６１上には、それぞれ矢印Ｚで示す向きに突出する第１レンズ保持部７７、第２レンズ保持部７８および第３レンズ保持部７９が設けられる。そして、第１レンズ保持部７７、第２レンズ保持部７８および第３レンズ保持部７９上には、それぞれ第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３が配置される。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３はそれぞれ、一方の面９１Ａ、９２Ａ、９３Ａが平らで、他方の面がレンズ面となっているレンズ部を有している。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３は、それぞれのレンズ部の平らな面９１Ａ、９２Ａ、９３Ａが赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３にそれぞれ向くよう設けられる。第１レンズ保持部７７、第２レンズ保持部７８および第３レンズ保持部７９により、第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３のレンズ部の中心軸、すなわちレンズ部の光軸は、それぞれ赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３の光軸に一致するように調整されている。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３は、それぞれ赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３から出射される光のスポットサイズを変換する。第１レンズ９１、第２レンズ９２および第３レンズ９３により、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３から出射される光のスポットサイズが一致するようにスポットサイズが変換される。

ベース板６６のベース領域６１上には、第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９が配置される。第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９はそれぞれ、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３の出射方向に位置し、ベース領域６１上にＺ軸方向に突出するようにして形成された第１突出領域８７、第２突出領域８８および第３突出領域８９上に配置される。第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、それぞれ互いに平行な主面を有する平板状の形状を有している。第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、例えば波長選択性フィルタである。また、第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、誘電体多層膜フィルタである。より具体的には、第１フィルタ９７は、赤色の光を反射する。第２フィルタ９８は、赤色の光を透過し、緑色の光を反射する。第３フィルタ９９は、赤色および緑色の光を透過し、青色の光を反射する。このように、第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、特定の波長の光を選択的に透過および反射する。その結果、第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９は、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３から出射された光を合波する。

ベース板６６のフォトダイオード搭載領域６４上には、第４サブマウント７４、第５サブマウント７５および第６サブマウント７６が配置される。そして、第４サブマウント７４、第５サブマウント７５および第６サブマウント７６上には、それぞれ第１受光素子としての第１フォトダイオード９４、第２受光素子としての第２フォトダイオード９５および第３受光素子としての第３フォトダイオード９６が配置される。本実施の形態においては、全ての半導体発光素子のそれぞれに対応して受光素子が配置される。第１フォトダイオード９４、第２フォトダイオード９５および第３フォトダイオード９６は、それぞれ赤色、緑色および青色の光を受光可能なフォトダイオードである。第１フォトダイオード９４は、赤色レーザダイオード８１の光の出射方向において、赤色レーザダイオード８１と第１レンズ９１との間に配置される。第２フォトダイオード９５は、緑色レーザダイオード８２の光の出射方向において、緑色レーザダイオード８２と第２レンズ９２との間に配置される。第３フォトダイオード９６は、青色レーザダイオード８３の光の出射方向において、青色レーザダイオード８３と第３レンズ９３との間に配置される。なお、第４サブマウント７４、第５サブマウント７５および第６サブマウント７６により、それぞれ第１フォトダイオード９４、第２フォトダイオード９５および第３フォトダイオード９６の高さ（Ｚ軸方向における距離）が調整される。

赤色レーザダイオード８１、第１フォトダイオード９４、第１レンズ９１および第１フィルタ９７は、赤色レーザダイオード８１の出射方向に沿う一直線上に並んで（Ｙ軸方向に並んで）配置されている。緑色レーザダイオード８２、第２フォトダイオード９５、第２レンズ９２および第２フィルタ９８は、緑色レーザダイオード８２の出射方向に沿う一直線上に並んで（Ｙ軸方向に並んで）配置されている。青色レーザダイオード８３、第３フォトダイオード９６、第３レンズ９３および第３フィルタ９９は、青色レーザダイオード８３の出射方向に沿う一直線上に並んで（Ｙ軸方向に並んで）配置されている。赤色レーザダイオード８１の出射方向は、緑色レーザダイオード８２の出射方向および青色レーザダイオード８３の出射方向に沿った方向である。より具体的には、赤色レーザダイオード８１の出射方向と緑色レーザダイオード８２の出射方向と青色レーザダイオード８３の出射方向とはそれぞれ平行である。第１フィルタ９７の主面は、赤色レーザダイオード８１の出射方向に対して傾斜している。より具体的には、第１フィルタ９７の主面は、赤色レーザダイオード８１の出射方向（Ｙ軸方向）に対して４５°傾斜している。第２フィルタ９８の主面は、緑色レーザダイオード８２の出射方向に対して傾斜している。より具体的には、第２フィルタ９８の主面は、緑色レーザダイオード８２の出射方向（Ｙ軸方向）に対して４５°傾斜している。第３フィルタ９９の主面は、青色レーザダイオード８３の出射方向に対して傾斜している。より具体的には、第３フィルタ９９の主面は、青色レーザダイオード８３の出射方向（Ｙ軸方向）に対して４５°傾斜している。

次に、本実施の形態における光モジュール１の動作について説明する。特に図６を参照して、赤色レーザダイオード８１から出射された赤色の光は、光路Ｌ_１に沿って進行する。第１フォトダイオード９４上を通過した赤色の光は、第１レンズ９１のレンズ部の面９１Ａに入射し、光のスポットサイズが変換される。具体的には、たとえば赤色レーザダイオード８１から出射された赤色の光がコリメート光に変換される。ここで、第１レンズ９１のレンズ部の面９１Ａにおいて、赤色レーザダイオード８１から出射された光の一部が反射する。第１フォトダイオード９４の受光面９４Ａは、この反射光を受光し、受光された赤色の光により、赤色レーザダイオード８１から出射された赤色の光の強度が把握される。そして、把握された光の強度と出射されるべき目標の光の強度との差に基づいて赤色の光の強度が調整される。第１レンズ９１においてスポットサイズが変換された赤色の光は、光路Ｌ_１に沿って進行し、第１フィルタ９７に入射する。第１フィルタ９７は赤色の光を反射するため、赤色レーザダイオード８１から出射された光は光路Ｌ_２に沿って進行し、第２フィルタ９８に入射する。そして、第２フィルタ９８は赤色の光を透過するため、赤色レーザダイオード８１から出射された光は光路Ｌ_３に沿ってさらに進行し、第３フィルタ９９に入射する。第３フィルタ９９も赤色の光を透過するため、赤色レーザダイオード８１から出射された光は光路Ｌ_４に沿ってさらに進行し、本体部４０の窓部４１を通って光モジュール１の外部へと出射する。

緑色レーザダイオード８２から出射された緑色の光は、光路Ｌ_５に沿って進行する。第２フォトダイオード９５上を通過した緑色の光は、第２レンズ９２のレンズ部の面９２Ａに入射し、光のスポットサイズが変換される。具体的には、たとえば緑色レーザダイオード８２から出射された緑色の光がコリメート光に変換される。ここで、第２レンズ９２のレンズ部の面９２Ａにおいて、緑色レーザダイオード８２から出射された光の一部が反射する。第２フォトダイオード９５の受光面９５Ａは、この反射光を受光し、受光された緑色の光により、緑色レーザダイオード８２から出射された赤色の光の強度が把握される。そして、把握された光の強度と出射されるべき目標の光の強度との差に基づいて緑色の光の強度が調整される。第２レンズ９２においてスポットサイズが変換された緑色の光は、光路Ｌ_５に沿って進行し、第２フィルタ９８に入射する。第２フィルタ９８は緑色の光を反射するため、緑色レーザダイオード８２から出射された光は光路Ｌ_３に合流する。その結果、緑色の光は赤色の光と合波され、光路Ｌ_３に沿って進行し、第３フィルタ９９に入射する。そして、第３フィルタ９９は緑色の光を透過するため、緑色レーザダイオード８２から出射された光は光路Ｌ_４に沿ってさらに進行し、本体部４０の窓部４１を通って光モジュール１の外部へと出射する。

青色レーザダイオード８３から出射された青色の光は、光路Ｌ_６に沿って進行する。第３フォトダイオード９６上を通過した青色の光は、第３レンズ９３のレンズ部の面９３Ａに入射し、光のスポットサイズが変換される。具体的には、たとえば青色レーザダイオード８３から出射された青色の光がコリメート光に変換される。ここで、第３レンズ９３のレンズ部の面９３Ａにおいて、青色レーザダイオード８３から出射された光の一部が反射する。第３フォトダイオード９６の受光面９６Ａは、この反射光を受光し、受光された青色の光により、青色レーザダイオード８３から出射された青色の光の強度が把握される。そして、把握された光の強度と出射されるべき目標の光の強度との差に基づいて青色の光の強度が調整される。第３レンズ９３においてスポットサイズが変換された青色の光は、光路Ｌ_６に沿って進行し、第３フィルタ９９に入射する。第３フィルタ９９は青色の光を反射するため、青色レーザダイオード８３から出射された光は光路Ｌ_４に合流する。その結果、青色の光は赤色の光および緑色の光と合波され、光路Ｌ_４に沿って進行し、本体部４０の窓部４１を通って光モジュール１の外部へと出射する。

このようにして、赤色、緑色および青色の光が合波されて形成された光（合波光）が光路Ｌ_４に沿って透過部材４２へ到達する。透過部材４２へ到達した光は、偏光子４３によりＰ偏光の直線偏光成分の光が選択される。そして、光は偏光子４３を透過して、本体部４０の外部へと出射する。

ここで、本実施の形態における光モジュール１では、本体部４０は、透過部材４２の外周面４２３の一部に接触して、透過部材４２を支持する支持部４５を含む。このような構成とすることで、光モジュール１の製造時に、支持部４５における第一の領域４４２Ａおよび第二の領域４４３Ａを支点として、透過部材４２を回動させて、偏光子４３が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向を容易に変えることができる。このため、レーザダイオード８１，８２，８３から出射された光に、特定方向以外の直線偏光成分（Ｓ偏光）の光が含まれていたとしても、偏光子４３が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向を調整することにより、特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の光の強度の低下を抑制しつつ、特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の光を取り出すことができる。従って、本実施の形態における光モジュール１によれば、偏光角が制御された光を取り出すことができる。

また、レーザダイオード８１，８２，８３から出射される光は、それぞれ所望の偏光角から変化してしまう場合がある。このように偏光角が変化してしまうと、特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の光と、特定方向以外の直線偏光成分（Ｓ偏光）の光との比率が変化してしまい、特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の光の強度が低下してしまうおそれがある。特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の光を用いる装置では、レーザダイオード８１，８２，８３から出射された光を効率良く用いることができない。本実施の形態における光モジュール１では、レーザダイオード８１，８２，８３から出射された光の偏光角が変化したとしても、偏光子４３が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向を調整することにより、特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の光を効率良く取り出すことができる。その結果、所望の明るさや色調を有する光を得られ易くすることができる。

また、本実施の形態における光モジュール１では、偏光子４３を透過部材４２の第二主面４２２に接触して配置されている。このため、偏光子４３を別部品として設ける必要がなく、部品点数の増加を抑制し、光モジュール１の大型化を抑制することができる。

なお、上記実施の形態においては、第一主面４２１と、本体部４０において窓部４１を取り囲む領域４４５Ｂとが、接合されている。このような構成とすることで、透過部材４２が支持部４５により支持された状態を維持することができる。このため、偏光子４３が選択的に透過する光の特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向を維持することができる。

上記実施の形態において、支持部４５は、透過部材４２の外周面４２３に線接触している。このような構成とすることで、本体部４０に対して透過部材４２をより確実に支持することができる。

上記実施の形態において、透過部材４２の外周面４２３には切り欠き４２４が形成されている。このような構成とすることで、光モジュール１の製造時に、切り欠き４２４に調整用のピンを差し込み、第一の領域４４２Ａおよび第二の領域４４３Ａを支点とし透過部材４２を容易に回動させることができる。このため、偏光子４３が選択的に透過する光の特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向をより容易に調整することができる。

上記実施の形態において、透過部材４２は、偏光子４３が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向を示す目印としての切り欠き４２４を有する。このような構成とすることで、偏光子４３が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向を視認することができる。

上記実施の形態において、偏光子４３は、フィルム偏光子である。このようにフィルム偏光子を用いることで、透過部材４２の第二主面４２２に偏光子４３を配置することが容易となる。

上記実施の形態において、偏光子４３は、ワイヤーグリッド偏光子である。このようにすることで、光の波長に依らずに特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の光を選択することができる。

次に、本実施の形態１における光モジュール１の製造方法について説明する。図７は、実施の形態１における光モジュール１の製造方法の概略を示すフローチャートである。図７を参照して、実施の形態１における光モジュール１の製造方法においては、まず、工程（Ｓ１０）として、ベース体４と、ベース体４上に配置されたレーザダイオード８１，８２，８３とを含む第一構造体を準備する工程が実施される。この工程（Ｓ１０）では、レーザダイオード８１，８２，８３は、図２の状態で準備される。この時に、レーザダイオード８１，８２，８３が出射するそれぞれの光の偏光角を測定する。

次に工程（Ｓ２０）として、本体部４０を配置する工程が実施される。特に図８を参照して、レーザダイオード８１，８２，８３が基部１０および本体部４０により取り囲まれるように、本体部４０を基部１０の主面１０Ａ上に配置する。この際に、レーザダイオード８１，８２，８３が合波されて形成された合波光が、窓部４１から出射可能なように配置される。なお、本体部４０は、基部１０に対して動かないようにするために固定されている。

次に工程（Ｓ３０）として、透過部材４２と、偏光子４３と、を含む第二構造体を配置する工程が実施される。より具体的には、第二構造体における透過部材４２が本体部４０における底壁部４４５の一方の面４４５Ａ上に配置される。透過部材４２の外周面４２３は、本体部４０における第二側壁部４４２の第一の領域４４２Ａと、第三側壁部４４３の第二の領域４４３Ａと接触するように配置される。このようにすることで、透過部材４２は、支持部４５としての第二側壁部４４２および第三側壁部４４３によって支持されている。透過部材４２は、レーザダイオード８１，８２，８３から出射された光の光軸に垂直な面（Ｙ－Ｚ平面）に沿って回動可能である。すなわち、透過部材４２は、レーザダイオード８１，８２，８３から出射された光の光軸周りに回転可能である。

次に工程（Ｓ４０）として、偏光子４３が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向を調整する工程が実施される。より具体的には、まず、レーザダイオード８１，８２，８３が出射するそれぞれの光の偏光角から、最適な偏光角Ｘ°を決定する。透過部材４２に形成されている切り欠き４２４に調整用ピンを差し込み、透過部材４２をレーザダイオード８１，８２，８３から出射された光の光軸周りに回転させる。そして、偏光子４３のワイヤが延びる方向を偏光角Ｘ°に対応するように調整し、偏光子４３が透過する特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向が調整される。その後、透過部材４２は、底壁部４４５に対して、接着剤等により固定される。なお、工程（Ｓ４０）では、レーザダイオード８１，８２，８３から光を出射して、光の強度を確認しながら、透過部材４２を調整するようにしてもよい。

次に工程（Ｓ５０）として、第二構造体を本体部４０に接合する工程が実施される。より具体的には、ガラス部材である透過部材４２を加熱し溶融させる。そして、透過部材４２を本体部４０の底壁部４４５に対して溶着させる。本実施の形態における透過部材４２を溶着させる際の温度としては、例えば、４５０℃である。そして、工程（Ｓ６０）として、レーザダイオード８１，８２，８３を封止する工程が実施される。より具体的には、本体部４０が基部１０に対して溶接される。たとえばＹＡＧ（Ｙｉｔｔｒｉｕｍ Ａｌｕｍｉｎｉｕｍ Ｇａｒｎｅｔ）レーザ溶接、抵抗溶接などの手法により溶接される。このように溶接されることで、気密状態となっている。すなわち、レーザダイオード８１，８２，８３は、基部１０と本体部４０とによりハーメチックシールされている。基部１０と本体部４０とにより取り囲まれる空間には、たとえば乾燥空気などの水分が低減（除去）された気体が封入されている。

ここで、本実施の形態における光モジュール１の製造方法によれば、第二構造体は、透過部材４２の外周面４２３の一部が支持部４５に接触しつつ、レーザダイオード８１，８２，８３から出射される光の光軸に垂直な面（Ｙ－Ｚ平面）に沿って回動可能なように配置される。このような構成とすることで、支持部４５の第一の領域４４２Ａおよび第二の領域４４３Ａを支点として第二構造体を回動させて、偏光子４３が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向を容易に変えることができる。このため、レーザダイオード８１，８２，８３から出射された光に、特定方向以外の直線偏光成分（Ｓ偏光）の光が含まれていたとしても、偏光子４３が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向を調整することにより、特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の光の強度の低下を抑制しつつ、特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の光を取り出すことができる。
従って、本実施の形態における光モジュール１の製造方法によれば、偏光角が制御された光を取り出すことができる光モジュール１を提供することができる。

（実施の形態２）
次に、本願の光モジュールの実施の形態２について説明する。実施の形態２では、透過部材および偏光子を除いて、実施の形態１と同様の構成を有する。すなわち、実施の形態２においては、透過部材および偏光子の構造が、実施の形態１の場合と異なっている。以下、実施の形態１の場合とは異なる点について主に説明する。

特に、図９および図１０を参照して、第二の面４０２は、第一の面４０１側であって、第五の面４０５に近い側に凹部４８が形成されている。凹部４８は、Ｘ軸方向から平面的に見て、四隅の角が丸められた長方形形状である。凹部４８は、第一側壁部４８１と、第二側壁部４８２と、第三側壁部４８３と、第四側壁部４８４と、第一側壁部４８１～第四側壁部４８４から連なるように配置される底壁部４８５とによって規定される。第一側壁部４８１と、第三側壁部４８３とは、Ｙ軸方向に間隔をあけて対向するように配置される。第二側壁部４８２と、第四側壁部４８４とは、Ｚ軸方向に間隔をあけて対向するように配置される。第二側壁部４８２の中央領域には、Ｚ軸方向に凹んだ凹部４８６が形成されている。凹部４８６は、開口部に向って開口幅が大きくなるテーパ状に凹んだ形状である。

透過部材４６は、窓部４１を閉塞するように、底壁部４８５の底面４８５Ａ上に配置されている。透過部材４６は、Ｘ軸方向から平面的に見て、八角形の形状を有する本体部４６１と、本体部４６１の一の辺からＺ軸方向に突出する突出部４６２を含む。本体部４６１は、平板状である。突出部４６２は、Ｚ軸方向に向かって外径が狭くなる形状を有する。突出部４６２は、先端が尖った形状である。凹部４８６は、突出部４６２を受け入れる受け入れ凹部である。突出部４６２の先端は、第二側壁部４８２の第一の領域４８２Ａで接触している。すなわち、凹部４８６が形成された第二側壁部４８２が支持部４９となり透過部材４６を支持している。なお、支持部４９は、窓部４１の周囲に配置されている。

透過部材４６の外周面４６３の一部には、内方側に凹む切り欠き４６４が形成されている。切り欠き４６４は、調整用のピン等が差し込み可能な形状を有する。偏光子４７は、透過部材４６の一方の主面４６１Ａに接触して配置されている。偏光子４７は、Ｘ軸方向から平面的に見て、八角形の形状を有する。

次に、本実施の形態２における光モジュール１の製造方法について説明する。実施の形態２における光モジュール１の製造方法は、工程（Ｓ３０）および工程（Ｓ４０）を除いて、実施の形態１と同様の工程である。すなわち、実施の形態２においては、第一構造体の配置の仕方や特定方向の直線偏光成分の方向を調整の仕方が異なっている。以下、実施の形態１の場合とは異なる点について主に説明する。

工程（Ｓ３０）として、第二構造体を配置する工程が実施される。より具体的には、透過部材４６が本体部４０における底壁部４８５の底面４８５Ａ上に配置される。透過部材４６の突出部４６２を、凹部４８６に嵌め込み、第二構造体を配置する。突出部４６２の先端は、第二側壁部４８２の第一の領域４８２Ａで接触している。このようにして、透過部材４６は、支持部４９としての第二側壁部４８２によって支持されている。透過部材４６は、レーザダイオード８１，８２，８３から出射された光の光軸に垂直な面（Ｙ－Ｚ平面）に沿って回動可能である。すなわち、透過部材４２は、第二側壁部４８２の第一の領域４８２Ａを支点として、Ｙ軸方向に揺動することができる。

工程（Ｓ４０）として、特定方向の直線偏光成分の方向を調整する工程が実施される。より具体的には、まず、レーザダイオード８１，８２，８３が出射するそれぞれの光の偏光角から、最適な偏光角Ｙ°を決定する。透過部材４６に形成されている切り欠き４６４に調整用ピンを差し込み、透過部材４６を第二側壁部４８２の第一の領域４８２Ａを支点として、Ｙ軸方向に揺動する。そして、偏光子４７のワイヤが延びる方向を偏光角Ｙ°に対応するように調整し、偏光子４７が透過する特定方向の直線偏光成分（Ｐ偏光）の方向が調整される。その後、実施の形態１と同様に、工程（Ｓ５０）および工程（Ｓ６０）が実行される。

上記実施の形態２の構造を有する光モジュール１００によっても、実施の形態１と同様に、偏光角が制御された光を取り出すことができる。

なお、上記の実施の形態においては、光モジュール１，１００は、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３を含む構成としたが、これに限らず、いずれか１色、すなわち、赤色レーザダイオード８１、緑色レーザダイオード８２および青色レーザダイオード８３のうちの少なくともいずれか１つを含む構成であればよい。また、上記実施の形態においては、第１フィルタ９７、第２フィルタ９８および第３フィルタ９９として波長選択性フィルタが採用される場合を例示したが、これらのフィルタは、たとえば偏波合成フィルタであってもよい。

上記の実施の形態において、光モジュール１，１００は、各色に対応する３つのフォトダイオード９４，９５，９６を含む構成としたが、これに限られるものではなく、例えば、合波された光を受光する受光素子として、１つのフォトダイオードを含む構成であってもよい。また、光モジュール１，１００がフォトダイオード９４，９５，９６を含まない構成であってもよい。この場合、例えば、光モジュール１，１００の外部に合波された光を受光する受光素子としてのフォトダイオードを配置するようにしてもよい。

上記実施の形態において、基部１０の主面１０Ａに対して直交するように配置される第二の面４０２において窓部４１が形成される場合について説明したが、これに限られるものではなく、基部１０の主面１０Ａに平行に配置される第一の面４０１において窓部４１が形成されてもよい。

上記実施の形態において、光モジュール１，１００では、保護部材２の外形形状が、略直方体形状としたが、これに限られるものではなく、保護部材２の外形形状は、ＣＡＮタイプのような円柱状であってもよい。この場合、本体部４０に対応する部材は、一方の開口が閉塞された円筒状の形状である。

上記実施の形態では、レーザダイオード８１，８２，８３としてチップ状のレーザダイオードが採用される場合について説明したが、レーザダイオードのチップが、たとえばＣＡＮタイプのような金属製の容器内に封入された構造を有するものを採用するようにしてもよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本願の光モジュールは、偏光角が制御された光を取り出すことが求められる光モジュールに、特に有利に適用される。

１，１００ 光モジュール
２ 保護部材
４ ベース体
１０ 基部
１０Ａ，１０Ｂ，４６１Ａ 主面
２０ 光形成部
３０ 電子温度調整モジュール
３１ 吸熱板
３２ 放熱板
３３ 半導体柱
４０ 本体部
４１ 窓部
４２，４６ 透過部材
４２Ｂ 変質層
４３，４７ 偏光子
４４，４８，４８６ 凹部
４４Ａ，４４５Ｂ 領域
４５，４９ 支持部
５１ リードピン
６０ ベース部材
６１ ベース領域
６２ チップ搭載領域
６４ フォトダイオード搭載領域
６６ ベース板
７１ 第１サブマウント
７２ 第２サブマウント
７３ 第３サブマウント
７４ 第４サブマウント
７５ 第５サブマウント
７６ 第６サブマウント
７７ 第１レンズ保持部
７８ 第２レンズ保持部
７９ 第３レンズ保持部
８１ 赤色レーザダイオード
８２ 緑色レーザダイオード
８３ 青色レーザダイオード
８７ 第１突出領域
８８ 第２突出領域
８９ 第３突出領域
９１ 第１レンズ
９１Ａ，９２Ａ，９３Ａ，４４５Ａ 面
９２ 第２レンズ
９３ 第３レンズ
９４ 第１フォトダイオード
９４Ａ，９５Ａ，９６Ａ 受光面
９５ 第２フォトダイオード
９６ 第３フォトダイオード
９７ 第１フィルタ
９８ 第２フィルタ
９９ 第３フィルタ
４０１ 第一の面
４０２ 第二の面
４０３ 第三の面
４０４ 第四の面
４０５ 第五の面
４２１ 第一主面
４２１Ａ 線分
４２２ 第二主面
４２３，４６３ 外周面
４２４，４６４ 切り欠き
４４２Ａ，４８２Ａ 第一の領域
４４３Ａ 第二の領域
４４１，４８１ 第一側壁部
４４２，４８２ 第二側壁部
４４３，４８３ 第三側壁部
４４４，４８４ 第四側壁部
４４５，４８５ 底壁部
４６１ 本体部
４６２ 突出部
４８５Ａ 底面

Claims (10)

1. レーザダイオードと、
   前記レーザダイオードを取り囲み、前記レーザダイオードを封止する保護部材と、を備え、
   前記保護部材は、
   前記レーザダイオードから出射される光の外部への出射口である窓部を有する本体部と、
   前記窓部を閉塞するように設置され、前記レーザダイオードから出射された光が入射する領域を含む入射面と、前記レーザダイオードから出射された光を出射する領域を含む出射面と、前記入射面および前記出射面を繋ぐ外周面とを含む透過部材と、
   前記入射面または前記出射面上に配置され、前記レーザダイオードから出射された光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光子と、を含み、
   前記本体部は、前記窓部の周囲に配置され、前記外周面の一部に接触して、前記透過部材を支持する支持部を含み、
   前記外周面には切り欠きが形成されている、
   光モジュール。
2. レーザダイオードと、
   前記レーザダイオードを取り囲み、前記レーザダイオードを封止する保護部材と、を備え、
   前記保護部材は、
   前記レーザダイオードから出射される光の外部への出射口である窓部を有する本体部と、
   前記窓部を閉塞するように設置され、前記レーザダイオードから出射された光が入射する領域を含む入射面と、前記レーザダイオードから出射された光を出射する領域を含む出射面と、前記入射面および前記出射面を繋ぐ外周面とを含む透過部材と、
   前記入射面または前記出射面上に配置され、前記レーザダイオードから出射された光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光子と、を含み、
   前記本体部は、前記窓部の周囲に配置され、前記外周面の一部に接触して、前記透過部材を支持する支持部を含み、
   前記透過部材は、前記偏光子が透過する直線偏光成分の方向を示す目印を有する、
   光モジュール。
3. 前記入射面および前記出射面のうち、前記偏光子が配置される側とは異なる面と、前記本体部において前記窓部を取り囲む領域とが、接合されている、請求項１または請求項２に記載の光モジュール。
4. 前記支持部は、前記外周面に線接触している、請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の光モジュール。
5. 前記偏光子は、フィルム偏光子である、請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の光モジュール。
6. 前記フィルム偏光子は、ワイヤーグリッド偏光子である、請求項５に記載の光モジュール。
7. 前記レーザダイオードから出射される光のスポットサイズを変換するレンズをさらに備える、請求項１～請求項６のいずれか１項に記載の光モジュール。
8. 複数の前記レーザダイオードを備え、
   前記複数のレーザダイオードから出射される光を合波するフィルタをさらに備える、請求項１～請求項７のいずれか１項に記載の光モジュール。
9. 前記複数のレーザダイオードは、
   赤色の光を出射する第一のレーザダイオードと、
   緑色の光を出射する第二のレーザダイオードと、
   青色の光を出射する第三のレーザダイオードと、を含む、請求項８に記載の光モジュール。
10. ベース体と、前記ベース体上に配置されたレーザダイオードとを含む第一構造体を準備する工程と、
    前記レーザダイオードから出射される光の出射口である窓部を有し、前記窓部の周囲に形成された支持部を含む本体部を、前記レーザダイオードが前記ベース体および前記本体部により取り囲まれるように配置する工程と、
    前記レーザダイオードから出射された光が入射する領域を含む入射面と、前記レーザダイオードから出射された光を出射する領域を含む出射面と、前記入射面および前記出射面を繋ぐ外周面と、を含む透過部材と、前記入射面または前記出射面上に配置され、前記レーザダイオードから出射された光に含まれる特定方向の直線偏光成分の光を選択的に透過する偏光子と、を含む第二構造体を、前記窓部を閉塞し、前記外周面の一部が前記支持部に接触するように配置する工程と、
    前記支持部を支点として、前記レーザダイオードから出射される光の光軸に垂直な面に沿って前記透過部材を回動させて、前記偏光子が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分の方向を調整する工程と、
    前記偏光子が選択的に透過する特定方向の直線偏光成分の方向が調整された前記第二構造体を前記本体部に接合する工程と、
    前記第二構造体が接合された前記本体部と、前記ベース体と、を接合して、前記レーザダイオードを前記本体部と、前記ベース体とを含む保護部材により封止する工程と、を備える、光モジュールの製造方法。

Images