JP7061289B2 - Barrel polishing method - Google Patents

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Description

本発明は、硬脆材料、金属、合成樹脂および複合材料で構成される部品(被加工物)を研磨する際に被加工物表面に発生するダメージを軽減できるバレル研磨方法に関する。 The present invention relates to a barrel polishing method capable of reducing damage generated on the surface of a workpiece when polishing a part (workpiece) composed of a hard and brittle material, a metal, a synthetic resin and a composite material.

被加工物のバリ取り、面粗度調整、丸み付け、光沢仕上げ、等のバレル研磨を行うバレル研磨機として、マスを装入した複数のバレル槽を地面に対して平行な軸を軸心として回転させる回転バレル研磨機や遠心バレル研磨機が知られている。回転バレル研磨機は、バレル槽を自転させるタイプであり、例えば特許文献1に開示されている。遠心バレル研磨機は、バレル槽を遊星運動(自転及び公転)させるタイプであり、例えば特許文献2に開示されている。
ここで、マスとは、バレル槽に装入する被加工物および研磨メディアの総称である。
As a barrel polishing machine that performs barrel polishing such as deburring, surface roughness adjustment, rounding, gloss finishing, etc. of the work piece, multiple barrel tanks loaded with mass are centered on the axis parallel to the ground. Rotating rotary barrel grinding machines and centrifugal barrel grinding machines are known. The rotary barrel grinding machine is a type that rotates the barrel tank, and is disclosed in, for example, Patent Document 1. The centrifugal barrel grinding machine is a type that causes the barrel tank to make planetary motions (rotation and revolution), and is disclosed in, for example, Patent Document 2.
Here, the mass is a general term for a work piece and a polishing medium to be charged into a barrel tank.

特開昭55-131464号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 55-131464 特開昭57-173459号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 57-173459 特開平03-033023号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 03-033023

回転バレル研磨機や遠心バレル研磨機により、硬脆材料(硬いが衝撃に弱く割れやすい材料)で構成された被加工物を研磨する際に、その角部や縁部に割れ(クラック)や欠け(チッピング)といったダメージが生じる。 When a workpiece made of a hard and brittle material (a material that is hard but vulnerable to impact and easily cracked) is polished by a rotary barrel grinder or a centrifugal barrel grinder, the corners and edges are cracked or chipped. Damage such as (chipping) occurs.

硬脆材料は、積層セラミックスコンデンサ(MLCC)、インダクタ又は水晶発振子等の各種電子部品の材料として広く用いられている。電子部品は、高性能化かつ小型化が要求されているので、被加工物が研磨加工時に割れ又は欠けが生じない研磨装置および研磨方法が求められている。 Hard and brittle materials are widely used as materials for various electronic components such as multilayer ceramic capacitors (MLCCs), inductors and crystal oscillators. Since electronic components are required to have high performance and miniaturization, there is a demand for a polishing device and a polishing method in which the workpiece does not crack or chip during polishing.

例えば、特許文献3にはガラス光学レンズ等の光学素子をバレル研磨方法にて円滑加工することが開示されている。しかし、ダメージが生じないバレル研磨方法については開示されていない。 For example, Patent Document 3 discloses that an optical element such as a glass optical lens is smoothly processed by a barrel polishing method. However, the barrel polishing method that does not cause damage is not disclosed.

本技術分野では、硬脆材料で構成される被加工物を研磨する際に、被加工物に割れや欠け、打痕、変形、傷等といったダメージが生じることを低減できるバレル研磨方法が望まれている。 In the present technical field, a barrel polishing method capable of reducing damage such as cracks, chips, dents, deformations, scratches, etc., when polishing a work piece made of a hard and brittle material is desired. ing.

本発明の一側面は、被加工物および研磨メディアを含むマスが投入されるバレル槽自体の回転により前記被加工物を研磨するバレル研磨機によるバレル研磨方法である。
このバレル研磨方法は、次の(1)(2)の工程を含む。
(1)密封可能なバレル槽に被加工物及び研磨メディアを含むマスを投入する工程
(2)回転軸を軸心にバレル槽を回転させて、マスを流動化させると共に、前記被加工物に対して研磨メディアを擦過させて当該被加工物を研磨する工程。
そして、(2)の工程では、バレル槽が回転を始めてから回転速度が定常速度となるまで加速されている間、被加工物同士の衝突を制御する。
One aspect of the present invention is a barrel polishing method using a barrel polishing machine that polishes the workpiece by rotating the barrel tank itself into which a mass containing a workpiece and a polishing medium is charged.
This barrel polishing method includes the following steps (1) and (2).
(1) Step of putting mass containing work piece and polishing media into a sealable barrel tank (2) Rotate the barrel tank around the axis of rotation to fluidize the mass and put it into the work piece. On the other hand, the process of polishing the workpiece by rubbing the polishing media.
Then, in the step (2), the collision between the workpieces is controlled while the barrel tank is accelerated from the start of rotation until the rotation speed reaches a steady speed.

本発明の一実施形態では、上述の(2)の工程では、前記研磨メディアの集合体として形成される層中に、前記被加工物が混在した状態でバレル槽に投入してもよい。 In one embodiment of the present invention, in the step (2) described above, the workpiece may be put into the barrel tank in a state where the workpiece is mixed in the layer formed as an aggregate of the polishing media.

本発明の一実施形態では、マスは更に砥粒を含み、この砥粒は被加工物を研磨すると共に、バレル槽が回転を始めてから回転速度が最高速度となるまで加速されている間、被加工物同士の衝突を制御してもよい。 In one embodiment of the invention, the mass further comprises abrasive grains, which grind the workpiece and are covered while the barrel tank is accelerated from the start of rotation until the rotational speed reaches its maximum. You may control the collision between the workpieces.

本発明の一実施形態では、上述の(2)の工程では、被加工物を研磨メディアの集合体として形成される2つの層の間にセットしてもよい。 In one embodiment of the present invention, in the step (2) described above, the workpiece may be set between two layers formed as an aggregate of polishing media.

本発明の一実施形態では、上述の(2)の工程では、研磨メディアで形成される2つの層間に位置する前記砥粒で形成される層中に被加工物をセットしてもよい。 In one embodiment of the present invention, in the step (2) described above, the workpiece may be set in the layer formed by the abrasive grains located between the two layers formed by the polishing medium.

本発明の一実施形態では、被加工物を硬脆材料としてもよい。 In one embodiment of the present invention, the workpiece may be a hard and brittle material.

本発明の一側面及び一実施形態により、被加工物にダメージが生じることを低減し、被加工物を良好に研磨することができる。 According to one aspect and one embodiment of the present invention, it is possible to reduce damage to the workpiece and to polish the workpiece satisfactorily.

本発明の一実施形態で用いたバレル研磨機を示す模式図である。図1(A)は正面図、図1(B)は図1(A)におけるA-A断面図、である。It is a schematic diagram which shows the barrel grinding machine used in one Embodiment of this invention. 1 (A) is a front view, and FIG. 1 (B) is a sectional view taken along the line AA in FIG. 1 (A). 図2(A)(B)(C)は本発明の一実施形態のバレル研磨方法における被加工物のセット方法を説明するための模式図であり、図2(D)は従来のバレル研磨方法における被加工物のセット方法を説明するための模式図である。2A, 2B, and 2C are schematic views for explaining a method of setting a workpiece in the barrel polishing method according to the embodiment of the present invention, and FIG. 2D is a conventional barrel polishing method. It is a schematic diagram for demonstrating the setting method of the workpiece in the above. バレル研磨におけるマスの動きを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the movement of mass in barrel polishing. 本発明の一実施形態のバレル研磨方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the barrel polishing method of one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態のバレル研磨方法の評価における測定箇所を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the measurement point in the evaluation of the barrel polishing method of one Embodiment of this invention. 本発明のバレル研磨方法の別の形態を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining another form of the barrel polishing method of this invention. 本発明のバレル研磨方法の別の形態を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining another form of the barrel polishing method of this invention.

本発明の一実施形態を、図を参照して説明する。ここでは、バレル研磨機として遠心バレル研磨機を例に説明する。なお、以下の説明における「上下左右方向」は、特に断りのない限り図中の方向を指す。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Here, a centrifugal barrel polishing machine will be described as an example as the barrel polishing machine. The "vertical, horizontal, and horizontal directions" in the following description refer to the directions in the figure unless otherwise specified.

始めに、本発明の一実施形態におけるバレル研磨機を説明する。図1に示すように、このバレル研磨機10は、マスが装入される4つのバレル槽11と、バレル槽11がそれぞれ着脱自在に固定される4つのバレル槽ケース12と、バレル槽ケース12を回転可能に固定する一対のタレット13(公転円盤)と、タレット13の平面中心に固定されている公転軸14と、公転軸14を軸心としてタレット13を回転させる駆動機構15と、タレット13の回転に従動してバレル槽ケース12を回転させる従動機構16と、公転軸を固定するベース17と、バレル研磨機10の作動を制御する制御機構18と、これらを収容する筐体19と、を備える。なお、図1では、便宜上2つのバレル槽11及び2つのバレル槽ケース12のみを図示している。 First, the barrel grinding machine according to the embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 1, the barrel grinding machine 10 includes four barrel tanks 11 into which masses are charged, four barrel tank cases 12 to which the barrel tanks 11 are detachably fixed, and a barrel tank case 12. A pair of turrets 13 (revolving disks) that rotatably fix the barrel, a revolving shaft 14 that is fixed to the center of the plane of the turret 13, a drive mechanism 15 that rotates the turret 13 about the revolving shaft 14 as an axis, and a turret 13. A driven mechanism 16 that rotates the barrel tank case 12 in accordance with the rotation of the barrel, a base 17 that fixes the revolving shaft, a control mechanism 18 that controls the operation of the barrel grinding machine 10, and a housing 19 that houses them. To prepare for. Note that FIG. 1 shows only the two barrel tanks 11 and the two barrel tank cases 12 for convenience.

バレル槽11は、内部に横断面(図1(B)におけるが多角形(一実施形態では八角形)の筒状の空間が形成されている。上面が開口したバレル槽本体11aと、この開口部を封止して内部の空間を密封できるバレル槽蓋11bと、バレル槽蓋1をバレル槽本体に固定する為の蓋固定機構(図示せず)と、で構成される。 The barrel tank 11 has a cylindrical space having a cross section (polygonal (octagonal in one embodiment) formed in the cross section (FIG. 1B) inside. The barrel tank main body 11a having an open upper surface and the opening thereof. It is composed of a barrel tank lid 11b that can seal the portion and seal the internal space, and a lid fixing mechanism (not shown) for fixing the barrel tank lid 1 to the barrel tank main body.

バレル槽ケース12は、バレル槽11を着脱自在に固定する。バレル槽11が収納される枠体12aと、枠体12aの両端に固定される自転軸12bと、枠体12a内に収納されたバレル槽11を係止すると共に、バレル槽蓋11bをバレル槽本体11aに密着させるための係止機構12cと、を備える。 The barrel tank case 12 detachably fixes the barrel tank 11. The frame body 12a in which the barrel tank 11 is housed, the rotation shaft 12b fixed to both ends of the frame body 12a, and the barrel tank 11 housed in the frame body 12a are locked, and the barrel tank lid 11b is used as the barrel tank. It is provided with a locking mechanism 12c for being brought into close contact with the main body 11a.

自転軸12bは、後述のようにバレル槽ケース12をタレット13に軸支させる。 The rotation shaft 12b pivotally supports the barrel tank case 12 on the turret 13 as described later.

バレル槽固定機構12cは、枠体12aに立設されるように固定され、上部に支持部材12eが遊嵌される穴が加工されたガイド部材12dと、中央にネジ穴が貫通して設けられた板状の支持部材12eと、該ネジ穴に螺嵌されたネジ部材12fと、該ネジ部材12fの上端に設けられた、該ネジ部材12fを回転させるための押圧ハンドル12gと、該ネジ部材12fの下端に設けられた、バレル槽蓋11bをバレル槽本体11aに向けて押圧するための押圧部材12hと、を含む。 The barrel tank fixing mechanism 12c is fixed so as to be erected on the frame body 12a, and is provided with a guide member 12d having a hole in which the support member 12e is loosely fitted in the upper portion and a screw hole penetrating in the center. A plate-shaped support member 12e, a screw member 12f screwed into the screw hole, a pressing handle 12g provided at the upper end of the screw member 12f for rotating the screw member 12f, and the screw member. It includes a pressing member 12h provided at the lower end of 12f for pressing the barrel tank lid 11b toward the barrel tank main body 11a.

バレル槽11を枠体12a内に装入後、押圧部材12hがバレル槽蓋11bの中心の垂直方向(バレル槽蓋11bの天面に対して垂直方向)に位置するように支持部材31dを遊嵌する。そして、押圧ハンドル31fを回転させることで、押圧部材31gがバレル槽蓋11bに向かって前進させる。これにより、バレル槽蓋11bがバレル槽本体11aに押圧されて内部の空間が完全に密封されると同時に、バレル槽11がバレル槽ケース12に固定される。 After the barrel tank 11 is loaded into the frame body 12a, the support member 31d is idled so that the pressing member 12h is located in the vertical direction of the center of the barrel tank lid 11b (perpendicular to the top surface of the barrel tank lid 11b). Fit. Then, by rotating the pressing handle 31f, the pressing member 31g is advanced toward the barrel tank lid 11b. As a result, the barrel tank lid 11b is pressed against the barrel tank main body 11a to completely seal the internal space, and at the same time, the barrel tank 11 is fixed to the barrel tank case 12.

タレット13は円盤形状を有しており、タレット13の平面中心には公転軸14が挿通できる穴が形成されており、各穴には公転軸14を回転可能に嵌合できる第一軸受13aが設けられている。タレット13は、ベース17に固定される公転軸14に第一軸受13aを介して回転可能に支持されている。また、タレット13には、第一軸受13aを中心に、その周方向に沿って複数の第二軸受13bが等間隔で設けられている。これらの第二軸受13bは、複数のバレル槽ケース12の自転軸12bに個別に嵌合し、各バレル槽ケース12を回転可能に軸支している。この構成により、4つのバレル槽ケース12が両タレット13の間に等間隔で、かつタレット13に対して相対回転可能に配置されている。 The turret 13 has a disk shape, a hole through which the revolution shaft 14 can be inserted is formed in the center of the plane of the turret 13, and a first bearing 13a capable of rotatably fitting the revolution shaft 14 is formed in each hole. It is provided. The turret 13 is rotatably supported by a revolution shaft 14 fixed to the base 17 via a first bearing 13a. Further, the turret 13 is provided with a plurality of second bearings 13b at equal intervals along the circumferential direction of the first bearing 13a. These second bearings 13b are individually fitted to the rotation shafts 12b of the plurality of barrel tank cases 12, and each barrel tank case 12 is rotatably supported. With this configuration, the four barrel tank cases 12 are arranged between the turrets 13 at equal intervals and rotatably relative to the turrets 13.

公転軸14は、ベース17によって地面に対して所定の角度で傾けられるように軸支されている。また、同様にタレットに設けられている第二軸受13bに軸支される自転軸12bも、地面に対して所定の角度となるように軸支されている。即ち、バレル槽12は、ベース17によって角度θで傾くように配置されている。 The revolution shaft 14 is pivotally supported by the base 17 so as to be tilted at a predetermined angle with respect to the ground. Similarly, the rotation shaft 12b pivotally supported by the second bearing 13b provided on the turret is also pivotally supported so as to have a predetermined angle with respect to the ground. That is, the barrel tank 12 is arranged so as to be tilted at an angle θ by the base 17.

駆動機構15は、駆動モータ15a、モータプーリ15b、公転プーリ15c、及び駆動ベルト15dを含んでいる。モータプーリ15bは、駆動モータ15aの回転軸に固定されている。公転プーリ15cは、一対のタレット13のうち一方のタレット13(図1では左側)の外周に設けられている。駆動ベルト15dは、モータプーリ15bと公転プーリ15cとの間に架け渡されている。 The drive mechanism 15 includes a drive motor 15a, a motor pulley 15b, a revolution pulley 15c, and a drive belt 15d. The motor pulley 15b is fixed to the rotating shaft of the drive motor 15a. The revolution pulley 15c is provided on the outer periphery of one of the pair of turrets 13 (left side in FIG. 1). The drive belt 15d is bridged between the motor pulley 15b and the revolution pulley 15c.

従動機構16は、駆動プーリ16a、従動プーリ16b、及び従動ベルト16cを含んでいる。駆動プーリ16aは、公転軸14に固定されている。従動プーリ16bは、自転軸12bに固定されている。従動ベルト16cは、駆動プーリ16aと前記従動プーリ16bとの間に架け渡されている。 The driven mechanism 16 includes a drive pulley 16a, a driven pulley 16b, and a driven belt 16c. The drive pulley 16a is fixed to the revolution shaft 14. The driven pulley 16b is fixed to the rotating shaft 12b. The driven belt 16c is bridged between the driving pulley 16a and the driven pulley 16b.

制御手段18は、バレル研磨機10の作動条件を入力する入力手段18aと、入力された作動条件を記憶し、またバレル研磨機を作動する信号を出力する記憶手段18bと、を備える。 The control means 18 includes an input means 18a for inputting the operating conditions of the barrel polishing machine 10 and a storage means 18b for storing the input operating conditions and outputting a signal for operating the barrel polishing machine.

駆動モータ15aを作動させると公転軸14を中心にタレット13が回転する。このタレット13の回転に伴い、バレル槽ケース12に固定されたバレル槽11が公転軸14を軸心として旋回(公転)する。また、従動機構16によって、バレル槽11は自転軸12bを軸心としてタレット13の回転方向と逆方向に回転(自転)する。 When the drive motor 15a is operated, the turret 13 rotates around the revolution shaft 14. Along with the rotation of the turret 13, the barrel tank 11 fixed to the barrel tank case 12 rotates (revolves) around the revolution shaft 14. Further, the driven mechanism 16 rotates (rotates) the barrel tank 11 in the direction opposite to the rotation direction of the turret 13 with the rotation shaft 12b as the axis.

この時、記憶手段17bからの信号によって、バレル槽の回転をバレル研摩に最適な回転速度まで所定の時間で加速するよう、駆動モータ15aの作動が制御される。 At this time, the operation of the drive motor 15a is controlled by the signal from the storage means 17b so as to accelerate the rotation of the barrel tank to the optimum rotation speed for barrel polishing in a predetermined time.

以上の様に、バレル槽11は自身の回転による自転およびタレット13の回転による公転、即ち遊星運動をすることができる。これらの回転は、地面に対して水平である回転軸を軸心として行われる。 As described above, the barrel tank 11 can rotate by its own rotation and revolve by the rotation of the turret 13, that is, it can perform planetary motion. These rotations are performed around the axis of rotation that is horizontal to the ground.

次に、バレル研磨方法について、図2~図6を更に参照して説明する。ここでは、20mm×20mm×t1.0mmの石英板を、角部のR面取り加工を目的としてバレル研磨した場合を例に説明する。 Next, the barrel polishing method will be described with reference to FIGS. 2 to 6. Here, a case where a 20 mm × 20 mm × t1.0 mm quartz plate is barrel-polished for the purpose of round chamfering of corners will be described as an example.

<S01:マスの投入工程>
まず、バレル槽蓋11aを取り外し、バレル槽本体11b内に被加工物20、研磨メディア30、水、研磨助剤(コンパウンド)を投入する。この投入方法については後述する。
<S01: Mass input process>
First, the barrel tank lid 11a is removed, and the workpiece 20, the polishing medium 30, water, and the polishing aid (compound) are put into the barrel tank main body 11b. This charging method will be described later.

研磨メディア30は、砥粒同士をビトリファイド結合剤にて結合したタイプ(セラミックスメディア)、砥粒同士を樹脂にて結合したタイプ(樹脂メディア)、金属で構成されるタイプ(金属メディア)、植物系種子等の粉砕物であるタイプ(植物系メディア)等から適宜選択することができる。 The polishing media 30 includes a type in which abrasive grains are bonded to each other with a vitrified binder (ceramics media), a type in which abrasive grains are bonded to each other with a resin (resin media), a type composed of metal (metal media), and a plant-based medium. It can be appropriately selected from a type (plant-based media) that is a crushed product such as seeds.

コンパウンドは目的に応じて、コンパウンドの種類および量を適宜選択することができる。目的は、例えば(1)~(10)のいずれかを挙げることができる。
(1)研磨力の向上
(2)研磨メディアの洗浄および研磨力の持続(研磨メディアの目詰まりを防止)
(3)被加工物の洗浄
(4)被加工物の光沢度の向上
(5)被加工物のスケールの除去。
(6)被加工物の油脂の除去
(7)被加工物に防錆効果を付与、または被加工物の変色の防止
(8)被加工物表面に打撃痕の形成を防止
(9)水を軟化
(10)被加工物が硬脆材料の場合、チッピングの抑制
The type and amount of the compound can be appropriately selected depending on the purpose of the compound. The object can be any one of (1) to (10), for example.
(1) Improvement of polishing power (2) Cleaning of polishing media and maintenance of polishing power (preventing clogging of polishing media)
(3) Cleaning of the workpiece (4) Improvement of glossiness of the workpiece (5) Removal of scale of the workpiece.
(6) Removal of oils and fats on the work piece (7) Gives the work piece a rust preventive effect or prevents discoloration of the work piece (8) Prevents the formation of impact marks on the work piece surface (9) Water Softening (10) Suppression of chipping when the work piece is a hard and brittle material

マスを投入後、バレル槽本体11aに対してバレル槽蓋11bを載置し、バレル槽ケース12にセットする。その後、バレル槽固定機構12cによりバレル槽11を密封すると共に、バレル槽ケース12に固定する。 After the mass is put in, the barrel tank lid 11b is placed on the barrel tank main body 11a and set in the barrel tank case 12. After that, the barrel tank 11 is sealed by the barrel tank fixing mechanism 12c and fixed to the barrel tank case 12.

一連の作業をすべてのバレル槽11に対して行い、全てのバレル槽11をバレル槽ケース12に固定した後、扉19aを閉じてマスが投入されたバレル槽11を筐体19内に収容する。 After performing a series of operations for all the barrel tanks 11 and fixing all the barrel tanks 11 to the barrel tank case 12, the door 19a is closed and the barrel tank 11 into which the mass is put is housed in the housing 19. ..

<S02:研磨工程>
制御機構17の入力手段17aを介して、記憶手段17bに予め稼働条件(稼働時間、タレット13の回転速度、等)を入力する。そして、入力手段の起動釦を「ON」にすると、記憶手段17bからの出力された信号により、駆動モータ15aが稼働して、バレル槽が遊星運動をする。
<S02: Polishing process>
The operating conditions (operating time, rotation speed of the turret 13, etc.) are input to the storage means 17b in advance via the input means 17a of the control mechanism 17. Then, when the start button of the input means is turned "ON", the drive motor 15a is operated by the signal output from the storage means 17b, and the barrel tank makes a planetary motion.

バレル槽11の回転は、記憶手段17bからの信号に基づき加速していき、やがて定常速度となる。定常速度となったバレル槽11の内部では、マスが図3(A)に示すような流動状態となる。その結果、被加工物20に対して研磨メディア30が擦過するので、研磨が進行する。 The rotation of the barrel tank 11 accelerates based on the signal from the storage means 17b, and eventually reaches a steady speed. Inside the barrel tank 11 which has reached a steady speed, the mass is in a fluid state as shown in FIG. 3 (A). As a result, the polishing media 30 rubs against the workpiece 20, so that polishing proceeds.

バレル槽にマスを投入する際、通常は所定量の被加工物20、研磨メディア30、水、コンパウンド、をそれぞれ纏めて投入する(図2(D))。その状態でバレル研磨機10を作動させた場合、バレル槽11の回転初期の段階(バレル槽11が回転を始めてから回転速度が定常速度となるまでの加速されている間)で被加工物20同士が衝突し、被加工物20の角部や縁部に割れ(クラック)や欠け(チッピング)といったダメージが生じる。その為、その段階で被加工物20同士の衝突を制御するのが好ましい。 When the mass is charged into the barrel tank, usually, a predetermined amount of the workpiece 20, the polishing medium 30, water, and the compound are charged together (FIG. 2 (D)). When the barrel grinding machine 10 is operated in that state, the workpiece 20 is in the initial stage of rotation of the barrel tank 11 (while the barrel tank 11 is accelerated from the start of rotation to the steady rotation speed). They collide with each other, causing damage such as cracks and chipping at the corners and edges of the workpiece 20. Therefore, it is preferable to control the collision between the workpieces 20 at that stage.

被加工物20同士の衝突を制御する方法について鋭意研究を行った結果、マスの投入方法により制御できることを見出した。一実施形態では、図2(A)研磨メディア30の集合体として形成される層中に、被加工物20が混在した状態になるようにセットしてもよい。一実施形態では図2(A)(B)(C)のいずれかのように被加工物20をセットしてもよい。 As a result of diligent research on the method of controlling the collision between the workpieces 20, it was found that the method can be controlled by the mass feeding method. In one embodiment, the workpiece 20 may be set so as to be mixed in the layer formed as an aggregate of the polishing media 30 in FIG. 2 (A). In one embodiment, the workpiece 20 may be set as shown in any of FIGS. 2A, 2B, and 2C.

図3はマスの動きを示す模式図である。図3(A)のようにセットされたマスは、回転初期の段階では、壁に沿って移動するが(図3(B))、ある程度の高さまで移動すると、自重により壁に沿うように落下する(図3(C))。やがて、定常速度まで速度が上昇すると、図3(D)のようにマスは流動状態になる。 FIG. 3 is a schematic diagram showing the movement of a mass. The mass set as shown in FIG. 3 (A) moves along the wall at the initial stage of rotation (FIG. 3 (B)), but when it moves to a certain height, it falls along the wall due to its own weight. (Fig. 3 (C)). Eventually, when the speed rises to the steady speed, the mass becomes in a fluid state as shown in FIG. 3 (D).

図2(A)は研磨メディア30で形成される層と層の間に被加工物20を挟み込むようにセットした状態を示す。回転初期の段階でマスが移動する際、被加工物20は研磨メディア30の層の重量によって自由に動くのが阻害されるので、被加工物20同士が衝突するのを防ぐことができる。 FIG. 2A shows a state in which the workpiece 20 is set so as to be sandwiched between the layers formed by the polishing media 30. When the mass moves in the initial stage of rotation, the workpiece 20 is prevented from freely moving due to the weight of the layer of the polishing media 30, so that the workpieces 20 can be prevented from colliding with each other.

図2(B)は研磨メディア30同士の間に被加工物20を混在された状態でセットした状態を示す。回転初期の段階ではマスは流動化していないので、マスに対して相対的な動きしかできないので、被加工物20同士が衝突するのを防ぐことができる。 FIG. 2B shows a state in which the workpiece 20 is set between the polishing media 30 in a mixed state. Since the mass is not fluidized at the initial stage of rotation, it can only move relative to the mass, so that it is possible to prevent the workpieces 20 from colliding with each other.

図2(C)はマスとして更に砥粒40を含み、研磨メディア30で形成される層、砥粒40で形成される層、被加工物20、砥粒40で形成される層、研磨メディア30の順でセットした状態を示す。砥粒40で形成される層により、図2(A)よりも更に被加工物20の動きが制限されると共に、定常状態では研磨能力の向上に寄与するので、被加工物20同士の衝突を防ぐとともに、研磨能力の向上の効果を得ることができる。研磨能力の向上は、被加工物20が衝撃力をうける環境下におかれる時間を短縮することができるので、結果として被加工物20へのダメージの抑制に寄与する。 FIG. 2C further includes abrasive grains 40 as mass, a layer formed by the polishing medium 30, a layer formed by the abrasive grains 40, a workpiece 20, a layer formed by the abrasive grains 40, and the polishing media 30. Indicates the state in which they are set in the order of. The layer formed by the abrasive grains 40 further restricts the movement of the workpiece 20 as compared with FIG. 2A, and contributes to the improvement of the polishing ability in a steady state. Therefore, collisions between the workpieces 20 occur. While preventing it, the effect of improving the polishing ability can be obtained. The improvement of the polishing ability can shorten the time that the workpiece 20 is placed in an environment subject to an impact force, and as a result, contributes to the suppression of damage to the workpiece 20.

砥粒40は、材質及び粒子径を被加工物の物性に応じて適宜選択する。研磨力が強すぎると被加工物を必要以上に研磨して寸法精度に影響がでる。また、弱すぎると研磨能力の向上に寄与しない。砥粒40の材質は、例えばアルミナ質や炭化珪素質など公知の物質より適宜選択してもよい。また、砥粒40の粒子径は、JIS R6001:1998に規定されるF60~F220または#240~#1000の中から選択することができる。 For the abrasive grains 40, the material and particle diameter are appropriately selected according to the physical characteristics of the workpiece. If the polishing force is too strong, the work piece will be polished more than necessary, which will affect the dimensional accuracy. Moreover, if it is too weak, it does not contribute to the improvement of polishing ability. The material of the abrasive grains 40 may be appropriately selected from known substances such as alumina and silicon carbide. The particle size of the abrasive grains 40 can be selected from F60 to F220 or # 240 to # 1000 specified in JIS R6001: 1998.

以上のように、マスを図2(A)(B)(C)のようにセットした一実施形態は、バレル槽11が回転を始めてから回転速度が定常状態となるまで加速されている間、被加工物20の動きを制御することで、被加工物20同士の衝突を制御することができる。 As described above, in one embodiment in which the mass is set as shown in FIGS. 2A, 2B, and 2C, while the barrel tank 11 is accelerated from the start of rotation until the rotation speed becomes a steady state, By controlling the movement of the workpiece 20, it is possible to control the collision between the workpieces 20.

図2(A)(C)では、研磨メディア30で形成される層を2層としたが、必要に応じて変更することができる。 In FIGS. 2A and 2C, the number of layers formed by the polishing media 30 is two, but it can be changed as needed.

<S3:被加工物を回収>
バレル研磨機の稼働が所定時間経過したら、記憶手段17aからの信号により駆動モータ15aが停止する。その後、被加工物20及び研磨メディア10をバレル槽11から取り出す。その後、被加工物20と研磨メディア30と水(図3の場合は更に砥粒40)とを分別し、超音波洗浄等で被加工物20の洗浄を行う。この際、まず被加工物20と研磨メディア30との分離を行った後で被加工物20と水の分離を行うと、水中で被加工物20と研磨メディア30との分離を行うことになるので、分離の過程で被加工物20にダメージが生じるのを抑制することができる。
<S3: Collect the work piece>
After the operation of the barrel grinding machine has elapsed for a predetermined time, the drive motor 15a is stopped by the signal from the storage means 17a. After that, the workpiece 20 and the polishing medium 10 are taken out from the barrel tank 11. After that, the workpiece 20, the polishing medium 30, and water (in the case of FIG. 3, further the abrasive grains 40) are separated, and the workpiece 20 is cleaned by ultrasonic cleaning or the like. At this time, if the workpiece 20 and the polishing media 30 are separated first and then the workpiece 20 and the water are separated, the workpiece 20 and the polishing media 30 are separated in water. Therefore, it is possible to prevent the workpiece 20 from being damaged in the process of separation.

以上のS1~S3の工程を経て、バレル研磨が完了する。 Barrel polishing is completed through the above steps S1 to S3.

一実施形態のバレル研磨方法による効果を確認した。50枚の被加工物を、図2に示す4通りの方法にてセットし、バレル研磨を行った。バレル研磨後、各条件においてそれぞれ5枚の被加工物に対して表面形状測定器にて図5に示す6か所の角部の形状(R面の寸法)を測定した。 The effect of the barrel polishing method of one embodiment was confirmed. Fifty workpieces were set by the four methods shown in FIG. 2 and barrel-polished. After barrel polishing, the shapes (R-plane dimensions) of the six corners shown in FIG. 5 were measured with a surface shape measuring instrument for each of the five workpieces under each condition.

さらに、すべての被加工物に対して、チッピングの有無をマイクロスコープにて確認した。 Furthermore, the presence or absence of chipping was confirmed with a microscope for all workpieces.

表1に示すように、一実施形態のバレル研磨方法である、図2(A)(B)(C)は、従来のバレル研磨方法である図2(D)に比べてチッピングの発生が大きく減少しており、一実施形態のバレル研磨方法によって被加工物表面に発生するダメージを軽減できることがわかる。 As shown in Table 1, FIGS. 2A, 2B, and 2C, which are the barrel polishing methods of one embodiment, generate more chipping than FIG. 2D, which is a conventional barrel polishing method. It is reduced, and it can be seen that the damage generated on the surface of the workpiece can be reduced by the barrel polishing method of one embodiment.

Figure 0007061289000001
Figure 0007061289000001

一実施形態では、マスの投入方法によって、バレル槽11が回転を始めてから回転速度が定常状態となるまで加速されている間の被加工物20の動きを制御した。しかし、この制御は別の方法でも行うことができる。以下、変更例として説明する。 In one embodiment, the movement of the workpiece 20 is controlled while the barrel tank 11 is accelerated from the start of rotation until the rotation speed becomes a steady state by a mass charging method. However, this control can also be done in another way. Hereinafter, a modified example will be described.

<変更例1>
被加工物20同士の衝突の制御は、バレル槽11の回転の加速度を制御してもよい。図6に示すように、定常速度Nまで一定速度で加速してもよいし(パターンA)、多段階で加速してもよい(パターンC)。または、時間-回転速度を示すグラフがなだらかな軌跡を描くように連続的に加速を変更してもよい(パターンC、パターンC)。加速度を制御することで、被加工物20同士が衝突しないように被加工物20に負荷される遠心力を制御することができる。この遠心力によってマスに対する被加工物20の動きを制御できるので、被加工物20同士の衝突を制御することができる。
<Change example 1>
To control the collision between the workpieces 20, the acceleration of rotation of the barrel tank 11 may be controlled. As shown in FIG. 6, the vehicle may be accelerated to a steady speed NS at a constant speed (Pattern A) or may be accelerated in multiple stages (Pattern C ). Alternatively, the acceleration may be continuously changed so that the graph showing the time-rotational speed draws a gentle trajectory (Pattern C, Pattern C). By controlling the acceleration, it is possible to control the centrifugal force applied to the workpieces 20 so that the workpieces 20 do not collide with each other. Since the movement of the workpiece 20 with respect to the mass can be controlled by this centrifugal force, the collision between the workpieces 20 can be controlled.

別の方法として、バレル槽11の傾斜角度θを任意に変更できる構成のバレル研磨機を用い、研摩の進行に合わせて傾斜角度θを変更しながらバレル研磨を行ってもよい。この方式の一実施形態は図7に示すように、ベース17にシリンダ17aを取り付け、シリンダを伸縮させると、研磨ユニット(バレル槽11、バレル槽ケース12、タレット13、公転軸14、駆動機構15、従動機構16、ベース17)を、軸受17bを中心に回動する。シリンダ17aの長さによりバレル槽11の傾斜角度が任意に調整される。シリンダ17aは、エアシリンダ、油圧シリンダ、電動シリンダ等公知のものを適宜選択できる。 As another method, a barrel polishing machine having a configuration in which the inclination angle θ of the barrel tank 11 can be arbitrarily changed may be used, and barrel polishing may be performed while changing the inclination angle θ according to the progress of polishing. In one embodiment of this method, as shown in FIG. 7, when the cylinder 17a is attached to the base 17 and the cylinder is expanded and contracted, the polishing unit (barrel tank 11, barrel tank case 12, turret 13, revolution shaft 14, drive mechanism 15) is used. , The driven mechanism 16, the base 17) is rotated around the bearing 17b. The inclination angle of the barrel tank 11 is arbitrarily adjusted by the length of the cylinder 17a. As the cylinder 17a, a known cylinder such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, or an electric cylinder can be appropriately selected.

例えば、バレル研磨機10の起動時はバレル槽11の傾斜角度θを90°にして、バレル槽11の回転初期の段階における被加工物20の移動を抑制し、定常速度となった後、バレル槽11の傾斜角度θが所定の角度となるようにシリンダ17aの長さを短くしていくことで研磨能力を確保することができる。即ち、バレル槽11の傾斜角度を制御することで、被加工物20の動きを制御し、それによって被加工物20同士の衝突を制御することができる。 For example, when the barrel polishing machine 10 is started, the inclination angle θ of the barrel tank 11 is set to 90 ° to suppress the movement of the workpiece 20 in the initial stage of rotation of the barrel tank 11, and after reaching a steady speed, the barrel The polishing ability can be ensured by shortening the length of the cylinder 17a so that the inclination angle θ of the tank 11 becomes a predetermined angle. That is, by controlling the inclination angle of the barrel tank 11, it is possible to control the movement of the workpiece 20 and thereby control the collision between the workpieces 20.

一実施形態のバレル研磨方法により、生産性と品質面の双方の要求を満たすバレル研磨方法が提供される。特に、被加工物が硬脆材料の場合はチッピング等のダメージは顕著であるので、硬脆材料の加工に対して一実施形態のバレル研磨方法を好適に適用することができる。 One embodiment of the barrel polishing method provides a barrel polishing method that meets both productivity and quality requirements. In particular, when the workpiece is a hard and brittle material, damage such as chipping is remarkable, so that the barrel polishing method of one embodiment can be suitably applied to the processing of the hard and brittle material.

一実施形態では、バレル槽を傾けたタイプの遠心バレル研磨機を用いたバレル研磨について説明したが、バレル研磨機はこのタイプに限定されない。バレル槽を傾けないタイプ(θ=0°、90°)の遠心バレル研磨機、バレル槽の底部に設けられた回転盤の回転によりマスを流動化させるタイプのバレル研磨機、バレル槽に振動力を加えることでマスを流動化させるタイプのバレル研磨機、バレル槽を自転させるタイプのバレル研磨機、においても一実施形態のバレル研磨方法は好適に用いることができる。 In one embodiment, barrel polishing using a centrifugal barrel grinding machine of a type in which the barrel tank is tilted has been described, but the barrel grinding machine is not limited to this type. Centrifugal barrel polishing machine that does not tilt the barrel tank (θ = 0 °, 90 °), barrel polishing machine that fluidizes mass by rotating the rotating disk provided at the bottom of the barrel tank, vibration force in the barrel tank The barrel polishing method of one embodiment can also be suitably used in a barrel polishing machine of a type in which mass is fluidized by adding the above, and a barrel polishing machine of a type in which a barrel tank is rotated.

10 バレル研磨機
11 バレル槽
12 バレル槽ケース
13 タレット
14 公転軸
15 駆動機構
16 従動機構
20 被加工物
21 ベース
22 脚部
30 研磨メディア
10 Barrel grinding machine 11 Barrel tank 12 Barrel tank case 13 Turret 14 Revolution shaft 15 Drive mechanism 16 Driven mechanism 20 Work piece 21 Base 22 Leg 30 Polishing media

Claims (3)

被加工物および研磨メディアを含むマスが投入されるバレル槽自体の回転により前記被加工物を研磨するバレル研磨機によるバレル研磨方法であって、
密封可能なバレル槽に被加工物及び研磨メディアを含むマスを投入する工程と、
回転軸を軸心に前記バレル槽を回転させて、マスを流動化させると共に、前記被加工物に対して研磨メディアを擦過させて当該被加工物を研磨する工程と、
を含み、
前記マスを投入する工程では前記被加工物を前記研磨メディアの集合体として形成される2つの層の間にセットし、
前記被加工物を研磨する工程では、前記バレル槽が回転を始めてから回転速度が定常速度となるまで加速されている間、被加工物が研磨メディアの層の重量によって自由に動くのを阻害することで、被加工物同士の衝突を抑制することを特徴とするバレル研磨方法。
A barrel polishing method using a barrel polishing machine that polishes the workpiece by rotating the barrel tank itself into which a mass containing a workpiece and a polishing medium is charged.
The process of putting the mass containing the workpiece and the polishing media into the barrel tank that can be sealed,
The process of rotating the barrel tank around the axis of rotation to fluidize the mass and scraping the polishing media against the workpiece to polish the workpiece.
Including
In the step of charging the mass, the workpiece is set between two layers formed as an aggregate of the polishing media, and the work piece is set.
In the step of polishing the work piece, while the barrel tank starts to rotate and is accelerated until the rotation speed reaches a steady speed, the work piece is prevented from freely moving due to the weight of the layer of the polishing media. This is a barrel polishing method characterized by suppressing collisions between workpieces.
被加工物および研磨メディアを含むマスが投入されるバレル槽自体の回転により前記被加工物を研磨するバレル研磨機によるバレル研磨方法であって、
密封可能なバレル槽に被加工物及び研磨メディアを含むマスを投入する工程と、
回転軸を軸心に前記バレル槽を回転させて、マスを流動化させると共に、前記被加工物に対して研磨メディアを擦過させて当該被加工物を研磨する工程と、
を含み、
前記マスは、JIS R6001:1998に規定されるF60~F220または#240~#1000に規定される粒度の砥粒を更に含み、
前記マスを投入する工程では、前記研磨メディアで形成される2つの層の間に位置する前記砥粒で形成される層中に前記被加工物をセットし、
前記被加工物を研磨する工程では、前記バレル槽が回転を始めてから回転速度が定常速度となるまで加速されている間、被加工物が研磨メディアの層の重量によって自由に動くのを阻害することで、前記バレル槽が回転を始めてから回転速度が定常速度となるまで加速されている間、被加工物同士の衝突を抑制することを特徴とするバレル研磨方法。
A barrel polishing method using a barrel polishing machine that polishes the workpiece by rotating the barrel tank itself into which a mass containing a workpiece and a polishing medium is charged.
The process of putting the mass containing the workpiece and the polishing media into the barrel tank that can be sealed,
The process of rotating the barrel tank around the axis of rotation to fluidize the mass and scraping the polishing media against the workpiece to polish the workpiece.
Including
The mass further contains abrasive grains having a particle size specified in F60 to F220 or # 240 to # 1000 specified in JIS R6001: 1998 .
In the step of charging the mass, the workpiece is set in the layer formed by the abrasive grains located between the two layers formed by the polishing medium.
In the step of polishing the work piece, while the barrel tank starts to rotate and is accelerated until the rotation speed reaches a steady speed, the work piece is prevented from freely moving due to the weight of the layer of the polishing media. This is a barrel polishing method characterized by suppressing collisions between workpieces while the barrel tank is accelerated from the start of rotation until the rotation speed reaches a steady speed.
前記被加工物は硬脆材料であることを特徴とする請求項1または請求項に記載のバレル研磨方法。
The barrel polishing method according to claim 1 or 2 , wherein the workpiece is a hard and brittle material.
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