JP7059656B2 - Liquid discharge heads, liquid discharge devices, and piezoelectric devices - Google Patents

Liquid discharge heads, liquid discharge devices, and piezoelectric devices Download PDF

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Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、圧電デバイスに関する。 The present invention relates to a liquid discharge head, a liquid discharge device, and a piezoelectric device.

液体吐出装置には、液体を吐出させるための圧電素子を備えた液体吐出ヘッドが広く用いられる。圧電素子には、主に、圧電体と、圧電体の一方の面に形成された下電極と、圧電体の他方の面に形成され圧電体を挟み下電極に対向する位置に形成される上電極と、が備えられている。例えば、下電極は複数の圧電素子間で導通された共通電極として形成され、上電極は個別電極として形成される。また、上電極には個別電極として機能するための配線が接続されている。この上電極に接続された配線と下電極との間には、絶縁機能を持たせた保護膜が形成されている（例えば、特許文献１）。 A liquid discharge head provided with a piezoelectric element for discharging a liquid is widely used in the liquid discharge device. The piezoelectric element is mainly formed on a piezoelectric body, a lower electrode formed on one surface of the piezoelectric body, and an upper electrode formed on the other surface of the piezoelectric body and sandwiching the piezoelectric body at a position facing the lower electrode. It is equipped with an electrode. For example, the lower electrode is formed as a common electrode conducted between a plurality of piezoelectric elements, and the upper electrode is formed as an individual electrode. Further, wiring for functioning as an individual electrode is connected to the upper electrode. A protective film having an insulating function is formed between the wiring connected to the upper electrode and the lower electrode (for example, Patent Document 1).

特開２０１４－１７９５４９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-179549

上電極に接続された配線と下電極との間に形成された保護膜には、何らかの原因によって欠陥が生じることがある。この場合、上電極へ電圧を印加すると、配線からこの欠陥を介して下電極に電流が流れてしまい、圧電素子を正常に駆動できなくなるといった問題がある。 The protective film formed between the wiring connected to the upper electrode and the lower electrode may be defective for some reason. In this case, when a voltage is applied to the upper electrode, a current flows from the wiring to the lower electrode through this defect, and there is a problem that the piezoelectric element cannot be driven normally.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［形態１］
本開示の一形態によれば、液体を収容する圧力室と、前記圧力室の壁面を構成する振動板と、前記圧力室に収容されていた液体を吐出するノズルと、前記振動板の一方の側に配置された圧電素子と、を備える液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドでは、前記圧電素子は、電圧を印加されて変形する圧電体層と、前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と、前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と、を備える。前記液体吐出ヘッドは、前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備える。前記液体吐出ヘッドは、前記配線と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極の面方向と垂直な向きにおいて前記配線が前記第２電極または前記圧電体層のいずれとも重ならない第１領域に、前記第１電極と電気的に接続されていない金属層を有する。前記液体吐出ヘッドは、前記金属層と前記配線との間に第１保護膜を備える。 The present invention has been made to solve at least a part of the above-mentioned problems, and can be realized as the following form or application example.
[Form 1]
According to one embodiment of the present disclosure, one of a pressure chamber for accommodating a liquid, a diaphragm constituting the wall surface of the pressure chamber, a nozzle for discharging the liquid contained in the pressure chamber, and the diaphragm. A liquid discharge head comprising a piezoelectric element disposed on the side is provided. In this liquid discharge head, the piezoelectric element is arranged between the piezoelectric layer that is deformed by applying a voltage, the vibrating plate, and the piezoelectric layer on one surface of the piezoelectric layer. It includes one electrode and a second electrode arranged on the other surface of the piezoelectric layer. The liquid discharge head is connected to the second electrode and includes wiring extended along the plane direction of the piezoelectric layer. The liquid discharge head is a region between the wiring and the diaphragm, and the wiring does not overlap with either the second electrode or the piezoelectric layer in a direction perpendicular to the surface direction of the second electrode. The first region has a metal layer that is not electrically connected to the first electrode. The liquid discharge head includes a first protective film between the metal layer and the wiring.

（１）本開示の一形態によれば、液体を収容する圧力室と、前記圧力室の壁面を構成する振動板と、前記圧力室に収容されていた液体を吐出するノズルと、前記振動板の一方の側に配置された圧電素子と、を備える液体吐出ヘッドが提供される。前記圧電素子は：電圧を印加されて変形する圧電体層と；前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と；前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と；を備える。前記液体吐出ヘッドは：前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備え；前記配線と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極の面方向と垂直な向きにおいて前記配線が前記第２電極または前記圧電体層のいずれとも重ならない第１領域には、前記第１電極と同電位となる金属層を有しない。
このような形態においては、配線を介して第２電極に電圧を印加する際に、第１電極と同電位の金属と配線とが短絡する不具合を回避でき、圧電素子を安定して駆動することができる。 (1) According to one embodiment of the present disclosure, a pressure chamber for accommodating a liquid, a diaphragm constituting the wall surface of the pressure chamber, a nozzle for discharging the liquid contained in the pressure chamber, and the diaphragm. A liquid discharge head comprising a piezoelectric element disposed on one side is provided. The piezoelectric element is: a piezoelectric layer that is deformed by applying a voltage; and a first electrode that is located between the vibrating plate and the piezoelectric layer and is arranged on one surface of the piezoelectric layer; the piezoelectric. It comprises a second electrode located on the other surface of the body layer; The liquid discharge head: comprises a wiring connected to the second electrode and stretched along the plane direction of the piezoelectric layer; a region between the wiring and the vibrating plate, the second electrode. In the first region where the wiring does not overlap with either the second electrode or the piezoelectric layer in the direction perpendicular to the plane direction of the above, there is no metal layer having the same potential as the first electrode.
In such a form, when a voltage is applied to the second electrode via the wiring, it is possible to avoid a problem that the metal having the same potential as the first electrode and the wiring are short-circuited, and the piezoelectric element is stably driven. Can be done.

（２）上記形態の液体吐出ヘッドであって、前記第１領域に、金属層を有しない、態様とすることもできる。
このような形態においては、第２電極に接続された配線と振動板との間の領域である第１領域に、その電位によらず金属層が配置されないため、配線が短絡する不具合を回避でき、圧電素子を安定して駆動することができる。 (2) The liquid discharge head of the above-described embodiment may have an embodiment in which the first region does not have a metal layer.
In such a form, since the metal layer is not arranged in the first region, which is the region between the wiring connected to the second electrode and the diaphragm, regardless of the potential, it is possible to avoid a problem that the wiring is short-circuited. , The piezoelectric element can be driven stably.

（３）上記形態の液体吐出ヘッドであって：前記第１領域に、前記第１電極と同じ材料で構成される金属層であって、前記第１電極と電気的に接続されていない金属層を有する、態様とすることもできる。
このような形態においては、第２電極に接続された配線と振動板との間の領域である第１領域に備えられた金属層は、第１電極と電気的に接続されていない。従って、配線が短絡する不具合を回避でき、圧電素子を安定して駆動することができる。 (3) The liquid discharge head of the above embodiment: A metal layer having the same material as the first electrode in the first region and not electrically connected to the first electrode. It can also be an embodiment having the above.
In such a form, the metal layer provided in the first region, which is the region between the wiring connected to the second electrode and the diaphragm, is not electrically connected to the first electrode. Therefore, it is possible to avoid a problem that the wiring is short-circuited, and it is possible to stably drive the piezoelectric element.

（４）本開示の他の形態によれば、上記形態の液体吐出ヘッドを備える、液体吐出装置が提供される。 (4) According to another aspect of the present disclosure, a liquid discharge device including the liquid discharge head of the above-mentioned form is provided.

（５）本開示の他の形態によれば、振動板と、前記振動板の一方の側に配置された圧電素子と、を備える圧電デバイスが提供される。前記圧電素子は：電圧を印加されて変形する圧電体層と；前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と；前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と、を備える。前記圧電デバイスは：前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備え；前記配線と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極の面方向と垂直な向きにおいて前記配線が前記第２電極または前記圧電体層のいずれとも重ならない第１領域には、前記第１電極と同電位となる金属層を有しない。 (5) According to another embodiment of the present disclosure, a piezoelectric device including a diaphragm and a piezoelectric element arranged on one side of the diaphragm is provided. The piezoelectric element is: a piezoelectric layer that is deformed by applying a voltage; and a first electrode that is located between the vibrating plate and the piezoelectric layer and is arranged on one surface of the piezoelectric layer; the piezoelectric. It comprises a second electrode disposed on the other surface of the body layer. The piezoelectric device is: a region connected to the second electrode and extended along the plane direction of the piezoelectric layer; a region between the wiring and the vibrating plate of the second electrode. The first region where the wiring does not overlap with either the second electrode or the piezoelectric layer in the direction perpendicular to the plane direction does not have a metal layer having the same potential as the first electrode.

（６）本開示の他の形態によれば、液体を収容する圧力室と、前記圧力室の壁面を構成する振動板と、前記圧力室に収容されていた液体を吐出するノズルと、前記振動板のうち前記圧力室とは逆側に配置された圧電素子と、を備える液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドの前記圧電素子は：電圧を印加されて変形する圧電体層と；前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と；前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と、を備える。前記液体吐出ヘッドは：前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備える。前記第２電極と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極のうち前記配線が延伸する方向側の端部と前記振動板との間の領域である第２領域は、前記圧電体層を含む絶縁部で構成される。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、配線を介して第２電極に電圧を印加する際に、第１電極と配線とが短絡する不具合を回避でき、圧電素子を安定して駆動することができる。 (6) According to another embodiment of the present disclosure, a pressure chamber containing a liquid, a diaphragm constituting the wall surface of the pressure chamber, a nozzle for discharging the liquid contained in the pressure chamber, and the vibration. A liquid discharge head including a piezoelectric element arranged on the opposite side of the plate to the pressure chamber is provided. The piezoelectric element of the liquid discharge head is: a piezoelectric layer that is deformed by applying a voltage; a first portion between the vibrating plate and the piezoelectric layer and arranged on one surface of the piezoelectric layer. It comprises an electrode; a second electrode disposed on the other surface of the piezoelectric layer. The liquid discharge head: is connected to the second electrode and includes wiring extending along the plane direction of the piezoelectric layer. The second region, which is a region between the second electrode and the diaphragm and is a region between the end of the second electrode on the direction side in which the wiring extends and the diaphragm, is the region. It is composed of an insulating portion including a piezoelectric layer.
According to this form of the liquid discharge head, when a voltage is applied to the second electrode via the wiring, it is possible to avoid a problem that the first electrode and the wiring are short-circuited, and the piezoelectric element can be stably driven. ..

上述した本発明の各形態の有する複数の構成要素はすべてが必須のものではなく、上述の課題の一部または全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部または全部を達成するために、適宜、前記複数の構成要素の一部の構成要素について、その変更、削除、新たな他の構成要素との差し替え、限定内容の一部削除を行うことが可能である。また、上述の課題の一部または全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部または全部を達成するために、上述した本発明の一形態に含まれる技術的特徴の一部または全部を上述した本発明の他の形態に含まれる技術的特徴の一部または全部と組み合わせて、本発明の独立した一形態とすることも可能である。 The plurality of components of each embodiment of the invention described above are not all essential, and may be used to solve some or all of the above-mentioned problems, or part or all of the effects described herein. In order to achieve the above, it is possible to change, delete, replace a part of the plurality of components with new other components, and partially delete the limited contents, as appropriate. Further, in order to solve a part or all of the above-mentioned problems, or to achieve a part or all of the effects described in the present specification, the technical features included in the above-mentioned embodiment of the present invention. It is also possible to combine some or all with some or all of the technical features contained in the other embodiments of the invention described above to form an independent embodiment of the invention.

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、圧電デバイス以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、それらの装置の製造方法や制御方法、その制御方法を実現するコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムを記録した一時的でない記録媒体等の形態で実現することができる。 The present invention can also be realized in various forms other than the liquid discharge head, the liquid discharge device, and the piezoelectric device. For example, it can be realized in the form of a manufacturing method and a control method of those devices, a computer program for realizing the control method, a non-temporary recording medium on which the computer program is recorded, and the like.

第１実施形態の液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置１００を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the liquid discharge apparatus 100 which mounted the liquid discharge head of 1st Embodiment. 液体吐出ヘッド２６の分解斜視図である。It is an exploded perspective view of the liquid discharge head 26. 液体吐出ヘッド２６の断面図である。It is sectional drawing of the liquid discharge head 26. Ｚ方向に液体吐出ヘッド２６を透視した場合の圧力室Ｃｈと、圧電アクチュエーター３８と、配線５６との配置を示す平面図である。It is a top view which shows the arrangement of the pressure chamber Ch, the piezoelectric actuator 38, and the wiring 56 when the liquid discharge head 26 is seen through in the Z direction. 図４のＶ－Ｖ線における圧電アクチュエーター３８の断面図である。It is sectional drawing of the piezoelectric actuator 38 in the VV line of FIG. 圧電アクチュエーター３８の一部を拡大した断面図である。It is an enlarged sectional view of a part of a piezoelectric actuator 38. 第２実施形態の圧電アクチュエーター３８ｂの一部を拡大した断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a part of the piezoelectric actuator 38b of the second embodiment. Ｚ方向に液体吐出ヘッド２６を透視した場合の圧力室Ｃｈと、圧電アクチュエーター３８ｃと、配線５６との配置を示す平面図である。It is a top view which shows the arrangement of the pressure chamber Ch, the piezoelectric actuator 38c, and the wiring 56 when the liquid discharge head 26 is seen through in the Z direction. 圧電アクチュエーター３８ｃの範囲Ａｒでの構成を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the structure in the range Ar of the piezoelectric actuator 38c. 超音波センサー９０を備える超音波診断装置８１の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the ultrasonic diagnostic apparatus 81 which includes the ultrasonic sensor 90. 超音波センサー９０の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of an ultrasonic sensor 90.

Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態の液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置１００を示す説明図である。なお、図１には、Ｘ方向の一方の方向を「Ｘ１方向」、Ｘ１方向とは逆の方向を「Ｘ２方向」とし、Ｘ方向と直交するＹ方向の一方の方向を「Ｙ１方向」、Ｙ１方向とは逆の方向を「Ｙ２方向」とした矢印が表記されている。このＸ方向とＹ方向とで構成される平面を「ＸＹ平面」とする。また、図１には示されていないが、ＸＹ平面に直交するＺ方向の一方の方向を「Ｚ１方向」、逆の方向を「Ｚ２方向」とする。また、Ｘ方向とＺ方向とで構成される平面を「ＸＺ平面」、Ｙ方向とＺ方向とで構成される平面を「ＹＺ平面」とする。以下、各矢印を各図にも示す。 A. First Embodiment:
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a liquid discharge device 100 equipped with the liquid discharge head of the first embodiment. In FIG. 1, one direction in the X direction is defined as "X1 direction", the direction opposite to the X1 direction is defined as "X2 direction", and one direction in the Y direction orthogonal to the X direction is defined as "Y1 direction". An arrow is shown with the direction opposite to the Y1 direction as the "Y2 direction". The plane composed of the X direction and the Y direction is referred to as an "XY plane". Further, although not shown in FIG. 1, one direction in the Z direction orthogonal to the XY plane is referred to as "Z1 direction", and the opposite direction is referred to as "Z2 direction". Further, a plane composed of the X direction and the Z direction is referred to as an "XZ plane", and a plane composed of the Y direction and the Z direction is referred to as a "YZ plane". Hereinafter, each arrow is also shown in each figure.

液体吐出装置１００は、制御ユニット２０と、搬送機構２２と、移動機構２４と、液体吐出ヘッド２６と、を備える。また、液体吐出装置１００は、インクを収容する液体容器１４を取付けられ、媒体１２をセットされることができる。液体吐出装置１００は、液体容器１４から供給される液体のインクを媒体１２に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。 The liquid discharge device 100 includes a control unit 20, a transfer mechanism 22, a moving mechanism 24, and a liquid discharge head 26. Further, in the liquid ejection device 100, a liquid container 14 for accommodating ink can be attached and a medium 12 can be set. The liquid ejection device 100 is an inkjet printing apparatus that ejects the liquid ink supplied from the liquid container 14 to the medium 12.

制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えるコンピューターによって構成されている。制御ユニット２０は、搬送機構２２と、移動機構２４と、液体吐出ヘッド２６を制御する。 The control unit 20 is composed of, for example, a computer including a CPU, a ROM, and a RAM. The control unit 20 controls the transport mechanism 22, the moving mechanism 24, and the liquid discharge head 26.

移動機構２４は、輪状のベルト２４４と、キャリッジ２４２と、を備える。キャリッジ２４２は、ベルト２４４に固定され、液体吐出ヘッド２６を収容している。移動機構２４は、輪状のベルト２４４を双方向に回転させることにより、キャリッジ２４２に収容された液体吐出ヘッド２６をＸ方向に沿って往復させる。 The moving mechanism 24 includes a ring-shaped belt 244 and a carriage 242. The carriage 242 is fixed to the belt 244 and houses the liquid discharge head 26. The moving mechanism 24 reciprocates the liquid discharge head 26 housed in the carriage 242 along the X direction by rotating the ring-shaped belt 244 in both directions.

液体吐出ヘッド２６には、液体を吐出するための複数のノズルＮｚが備えられている。ノズルＮｚの構成については後述する。液体吐出ヘッド２６は、制御ユニット２０によって制御され、液体容器１４から供給されたインクを、この複数のノズルＮｚから媒体１２に吐出する。 The liquid discharge head 26 is provided with a plurality of nozzles Nz for discharging the liquid. The configuration of the nozzle Nz will be described later. The liquid ejection head 26 is controlled by the control unit 20 and ejects the ink supplied from the liquid container 14 to the medium 12 from the plurality of nozzles Nz.

搬送機構２２は、移動機構２４による液体吐出ヘッド２６のＸ方向における複数回の移動の間に、媒体１２をＹ方向に沿って搬送する。Ｘ方向とＹ方向とで張られる仮想面に向かって吐出されたインクによって、媒体１２上に、画像が形成される。 The transport mechanism 22 transports the medium 12 along the Y direction during a plurality of movements of the liquid discharge head 26 in the X direction by the moving mechanism 24. An image is formed on the medium 12 by the ink ejected toward the virtual surface stretched in the X direction and the Y direction.

制御ユニット２０は、搬送機構２２の制御によるＹ方向に対する媒体１２の移動と、ベルト２４４の制御によるＸ方向に対するキャリッジ２４２の移動と、液体吐出ヘッド２６のインクの吐出とを制御して、媒体１２上に予め定められた画像を形成する。 The control unit 20 controls the movement of the medium 12 in the Y direction under the control of the transport mechanism 22, the movement of the carriage 242 in the X direction under the control of the belt 244, and the ejection of ink from the liquid ejection head 26. Form a predetermined image above.

図２は、液体吐出ヘッド２６の分解斜視図である。液体吐出ヘッド２６は、流路基板３２と、圧力室基板３４と、振動板３６と、筐体部４２と、封止体４４と、ノズル板４６と、吸振体４８と、を有する。 FIG. 2 is an exploded perspective view of the liquid discharge head 26. The liquid discharge head 26 has a flow path substrate 32, a pressure chamber substrate 34, a diaphragm 36, a housing portion 42, a sealing body 44, a nozzle plate 46, and a vibration absorbing body 48.

図３は、液体吐出ヘッド２６を構成する各部材が接合された状態における液体吐出ヘッド２６の断面図である。具体的には、図３は、図２の液体吐出ヘッド２６のＩＩＩ－ＩＩＩ線におけるＸＺ平面と平行な断面図である。以下、液体吐出ヘッド２６の構成について、図２とともに図３を参照して説明する。 FIG. 3 is a cross-sectional view of the liquid discharge head 26 in a state where the members constituting the liquid discharge head 26 are joined. Specifically, FIG. 3 is a cross-sectional view of the liquid discharge head 26 of FIG. 2 parallel to the XZ plane in lines III-III. Hereinafter, the configuration of the liquid discharge head 26 will be described with reference to FIG. 2 and FIG.

ノズル板４６は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する板状の部材である。ノズル板４６は、流路基板３２のＺ１側の面上に備えられている。具体的には、ノズル板４６は、流路基板３２の一部の領域であって、後述する連通流路３２６が設けられている領域を覆うように、備えられている。ノズル板４６には、Ｙ方向に配列される複数のノズルＮｚが形成されている。ノズルＮｚは、インクが吐出されるための貫通孔である。 The nozzle plate 46 is a plate-shaped member having a substantially rectangular shape that is long in the Y direction. The nozzle plate 46 is provided on the surface of the flow path substrate 32 on the Z1 side. Specifically, the nozzle plate 46 is provided so as to cover a part of the area of the flow path substrate 32 where the communication flow path 326 described later is provided. A plurality of nozzles Nz arranged in the Y direction are formed on the nozzle plate 46. The nozzle Nz is a through hole for ejecting ink.

流路基板３２は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する板状の部材である。流路基板３２は、開口部３２２と、供給流路３２４と、連通流路３２６と、中継流路３２８と、を備える。なお、中継流路３２８は、流路基板３２のＺ１側の面に設けられているため、図２には表されていない。 The flow path substrate 32 is a plate-shaped member having a substantially rectangular shape that is long in the Y direction. The flow path substrate 32 includes an opening 322, a supply flow path 324, a communication flow path 326, and a relay flow path 328. Since the relay flow path 328 is provided on the surface of the flow path substrate 32 on the Z1 side, it is not shown in FIG.

開口部３２２は、流路基板３２において、Ｚ方向に伸びる一つの貫通孔である。開口部３２２は、Ｙ方向に長尺な形状を有する開口である。 The opening 322 is one through hole extending in the Z direction in the flow path substrate 32. The opening 322 is an opening having a long shape in the Y direction.

連通流路３２６は、流路基板３２において、Ｚ方向に伸びる貫通孔である。複数の連通流路３２６は、Ｙ方向に沿って流路基板３２の面上に配列されている。連通流路３２６の数とノズルＮｚの数は一致する。連通流路３２６のＺ１側の外形の大きさは、ノズルＮｚのＺ２側の外形の大きさよりも大きい。ノズルＮｚと連通流路３２６とは、流路基板３２とノズル板４６の接合によって接続される（図３参照）。各ノズルＮｚから吐出されるインクは、対応する連通流路３２６内を通る。 The communication flow path 326 is a through hole extending in the Z direction in the flow path substrate 32. The plurality of communication flow paths 326 are arranged on the surface of the flow path substrate 32 along the Y direction. The number of communication flow paths 326 and the number of nozzles Nz match. The size of the outer shape of the communication flow path 326 on the Z1 side is larger than the size of the outer shape of the nozzle Nz on the Z2 side. The nozzle Nz and the communication flow path 326 are connected by joining the flow path substrate 32 and the nozzle plate 46 (see FIG. 3). The ink ejected from each nozzle Nz passes through the corresponding communication flow path 326.

供給流路３２４は、流路基板３２において、Ｚ方向に伸びる複数の貫通孔である。複数の供給流路３２４は、Ｙ方向に沿って流路基板３２の面上に配列されている。各供給流路３２４は、共通の開口部３２２と、各供給流路３２４が接続されている連通流路３２６と、の間に設けられている。一つの供給流路３２４は、後述する圧力室Ｃｈおよび上述の連通流路３２６を介して、一つのノズルＮｚに接続される。供給流路３２４の数とノズルＮｚの数は一致する。各ノズルＮｚから吐出されるインクは、対応する供給流路３２４内を通る（図３参照）。 The supply flow path 324 is a plurality of through holes extending in the Z direction in the flow path substrate 32. The plurality of supply flow paths 324 are arranged on the surface of the flow path substrate 32 along the Y direction. Each supply flow path 324 is provided between a common opening 322 and a communication flow path 326 to which each supply flow path 324 is connected. One supply flow path 324 is connected to one nozzle Nz via the pressure chamber Ch described later and the communication flow path 326 described above. The number of supply channels 324 and the number of nozzles Nz match. The ink ejected from each nozzle Nz passes through the corresponding supply flow path 324 (see FIG. 3).

中継流路３２８は、流路基板３２のＺ１側の面に備えられた凹部である（図２において図示しない）。中継流路３２８は、流路基板３２のＺ１側の面において、開口部３２２と、複数の供給流路３２４とを、接続している。液体吐出ヘッド２６が備える各ノズルＮｚから吐出されるインクは、中継流路３２８を通る（図３参照）。 The relay flow path 328 is a recess provided on the surface of the flow path substrate 32 on the Z1 side (not shown in FIG. 2). The relay flow path 328 connects the opening 322 and the plurality of supply flow paths 324 on the surface of the flow path substrate 32 on the Z1 side. The ink discharged from each nozzle Nz included in the liquid discharge head 26 passes through the relay flow path 328 (see FIG. 3).

圧力室基板３４は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する板状の部材である。圧力室基板３４は、流路基板３２のＺ２側の面上に備えられている。具体的には、圧力室基板３４は、流路基板３２の一部の領域であって、供給流路３２４および連通流路３２６が設けられている領域を覆うように、備えられている。圧力室基板３４には、複数の開口部３４２が設けられている。 The pressure chamber substrate 34 is a plate-shaped member having a substantially rectangular shape that is long in the Y direction. The pressure chamber substrate 34 is provided on the surface of the flow path substrate 32 on the Z2 side. Specifically, the pressure chamber substrate 34 is provided so as to cover a part of the region of the flow path substrate 32 where the supply flow path 324 and the communication flow path 326 are provided. The pressure chamber substrate 34 is provided with a plurality of openings 342.

開口部３４２は、圧力室基板３４において、Ｚ方向に伸びる複数の貫通孔である。開口部３４２は、Ｘ方向に長尺な形状を有する開口である。複数の開口部３４２は、Ｙ方向に沿って流路基板３２の面上に配列されている。開口部３４２の数とノズルＮｚの数は一致する。開口部３４２は、流路基板３２においてＸ方向に並んで配される一組の供給流路３２４と連通流路３２６と、Ｚ方向に投影したときに重なる位置に、配されている。開口部３４２は、インクを収容し、液体吐出ヘッド２６内の流路中のインクに圧力を加える圧力室Ｃｈとして機能する（図３参照）。 The opening 342 is a plurality of through holes extending in the Z direction in the pressure chamber substrate 34. The opening 342 is an opening having a long shape in the X direction. The plurality of openings 342 are arranged on the surface of the flow path substrate 32 along the Y direction. The number of openings 342 and the number of nozzles Nz match. The opening 342 is arranged at a position where it overlaps with a set of supply flow paths 324 and communication flow paths 326 arranged side by side in the X direction on the flow path substrate 32 when projected in the Z direction. The opening 342 functions as a pressure chamber Ch that stores ink and applies pressure to the ink in the flow path in the liquid ejection head 26 (see FIG. 3).

吸振体４８は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する板状の部材である。吸振体４８は、流路基板３２のＺ１側の面上に備えられている。具体的には、吸振体４８は、流路基板３２の一部の領域であって、開口部３２２と、中継流路３２８と、供給流路３２４とが設けられている領域を覆うように、備えられている。吸振体４８は、開口部３２２と、中継流路３２８と、供給流路３２４とのＺ１側を塞ぐ内壁として機能する（図３参照）。また、吸振体４８は、可撓性を有することによって弾性変形が可能なシート状の部材によって構成される。吸振体４８は、開口部３２２、中継流路３２８および供給流路３２４の内部のインクを圧力に応じて弾性変形し、圧力変化を緩和するように構成されている。 The vibration absorber 48 is a plate-shaped member having a substantially rectangular shape that is long in the Y direction. The vibration absorbing body 48 is provided on the surface of the flow path substrate 32 on the Z1 side. Specifically, the vibration absorbing body 48 covers a part of the area of the flow path substrate 32, and covers the area where the opening 322, the relay flow path 328, and the supply flow path 324 are provided. It is prepared. The vibration absorbing body 48 functions as an inner wall that closes the opening 322, the relay flow path 328, and the supply flow path 324 on the Z1 side (see FIG. 3). Further, the vibration absorbing body 48 is composed of a sheet-like member that can be elastically deformed by having flexibility. The vibration absorbing body 48 is configured to elastically deform the ink inside the opening 322, the relay flow path 328, and the supply flow path 324 in response to pressure to alleviate the pressure change.

振動板３６は、圧力室基板３４の外形と一致する外形形状を有する板状の部材である。振動板３６は、圧力室基板３４のＺ２側の面上に備えられる。振動板３６は、圧力室基板３４の開口部３４２のＺ２側の開口を塞ぐ壁面として機能する（図３参照）。振動板３６は、圧電アクチュエーター３８によって弾性変形されることができる。 The diaphragm 36 is a plate-shaped member having an outer shape that matches the outer shape of the pressure chamber substrate 34. The diaphragm 36 is provided on the surface of the pressure chamber substrate 34 on the Z2 side. The diaphragm 36 functions as a wall surface that closes the opening on the Z2 side of the opening 342 of the pressure chamber substrate 34 (see FIG. 3). The diaphragm 36 can be elastically deformed by the piezoelectric actuator 38.

振動板３６は、第１膜３６１と、第２膜３６２と、を備える（図３参照）。第１膜３６１は、圧力室基板３４のＺ２側の面上に備えられる。第２膜３６２は、第１膜３６１を挟んで、圧力室基板３４とは反対側の第１膜３６１の面上に備えられる。第１膜３６１は、酸化シリコン（ＳｉＯ２）等の弾性材料で形成される弾性膜である。第２膜３６２は、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）等の絶縁材料で形成される絶縁膜である。 The diaphragm 36 includes a first film 361 and a second film 362 (see FIG. 3). The first film 361 is provided on the surface of the pressure chamber substrate 34 on the Z2 side. The second film 362 is provided on the surface of the first film 361 opposite to the pressure chamber substrate 34 with the first film 361 interposed therebetween. The first film 361 is an elastic film formed of an elastic material such as silicon oxide (SiO 2 ). The second film 362 is an insulating film formed of an insulating material such as zirconium oxide (ZrO 2 ).

圧電アクチュエーター３８は、振動板３６のＺ２側の面上において、Ｙ方向に沿って配列されている。一つの圧電アクチュエーター３８は、振動板３６を挟んで、圧力室基板３４の一つの開口部３４２と重なる位置に配されている。圧電アクチュエーター３８は、密着層（図示しない）を介して振動板３６に接合される。圧電アクチュエーター３８の数とノズルＮｚの数は一致する。 The piezoelectric actuators 38 are arranged along the Y direction on the surface of the diaphragm 36 on the Z2 side. One piezoelectric actuator 38 is arranged at a position overlapping with one opening 342 of the pressure chamber substrate 34 with the diaphragm 36 interposed therebetween. The piezoelectric actuator 38 is joined to the diaphragm 36 via a close contact layer (not shown). The number of piezoelectric actuators 38 and the number of nozzles Nz match.

配線基板５０は、振動板３６のＺ２側の面上に接続されている実装部品である（図３参照）。配線基板５０には、制御ユニット２０（図１参照）および電源回路（図１から図３において図示しない）と液体吐出ヘッド２６とを電気的に接続するための複数の配線が形成されている。配線基板５０は、圧電アクチュエーター３８を駆動するための駆動信号を各圧電アクチュエーター３８に供給する。配線基板５０は、例えばＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）やＦＦＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｆｌａｔ Ｃａｂｌｅ）等の可撓性を有する基板を採用できる。なお、配線基板５０は、技術の理解を容易にするため、図２において省略されている。 The wiring board 50 is a mounting component connected to the surface of the diaphragm 36 on the Z2 side (see FIG. 3). The wiring board 50 is formed with a plurality of wirings for electrically connecting the control unit 20 (see FIG. 1), the power supply circuit (not shown in FIGS. 1 to 3), and the liquid discharge head 26. The wiring board 50 supplies a drive signal for driving the piezoelectric actuators 38 to each piezoelectric actuator 38. As the wiring board 50, a flexible substrate such as an FPC (Flexible Printed Circuit) or an FFC (Flexible Flat Cable) can be adopted. The wiring board 50 is omitted in FIG. 2 in order to facilitate the understanding of the technique.

封止体４４は、振動板３６および圧電アクチュエーター３８に対してＺ２側に配されている。具体的には、封止体４４は、振動板３６の一部の領域であって、圧電アクチュエーター３８が備えられた領域を覆うように、接合される。封止体４４は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する部材である。封止体４４は、Ｚ１側の面が開口され、一つの凹部を備えている。この凹部の内側に圧電アクチュエーター３８が収容されるように、封止体４４と振動板３６とが接合される（図３参照）。封止体４４は、圧電アクチュエーター３８を保護すると共に、圧力室基板３４および振動板３６との機械的な強度を補強する機能を奏する。 The sealing body 44 is arranged on the Z2 side with respect to the diaphragm 36 and the piezoelectric actuator 38. Specifically, the sealing body 44 is joined so as to cover a part of the region of the diaphragm 36 and the region provided with the piezoelectric actuator 38. The sealing body 44 is a member having a substantially rectangular shape that is long in the Y direction. The sealing body 44 has a Z1 side surface opened and has one recess. The sealant 44 and the diaphragm 36 are joined so that the piezoelectric actuator 38 is housed inside the recess (see FIG. 3). The sealing body 44 has a function of protecting the piezoelectric actuator 38 and reinforcing the mechanical strength between the pressure chamber substrate 34 and the diaphragm 36.

筐体部４２は、流路基板３２に対してＺ２側に配されている。具体的には、筐体部４２は、流路基板３２の一部の領域であって、開口部３２２が備えられた領域を覆うように接合される。筐体部４２は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する部材である。筐体部４２は、Ｚ１側の面が開口され、一つの凹部を備えている。筐体部４２は、収容部４２２と、導入口４２４と、を備える。 The housing portion 42 is arranged on the Z2 side with respect to the flow path substrate 32. Specifically, the housing portion 42 is joined so as to cover a part of the region of the flow path substrate 32 and the region provided with the opening 322. The housing portion 42 is a member having a substantially rectangular shape that is long in the Y direction. The housing portion 42 has a Z1 side surface opened and has one recess. The housing portion 42 includes an accommodating portion 422 and an introduction port 424.

収容部４２２は、筐体部４２の凹部によって形成される筐体部４２の内側の空隙である（図３参照）。収容部４２２のＺ１側の開口の外形は、流路基板３２に設けられた開口部３２２のＺ２側の開口の外形と略同一である。筐体部４２は、流路基板３２のＺ２方向における面の一部と接合される。このとき、収容部４２２の外形と開口部３２２の外形とが一致するように、筐体部４２と流路基板３２とが接合される（図３参照）。流路基板３２に備えられた開口部３２２と、筐体部４２に備えられた収容部４２２とによって、一つの空間が構成される。この空間を、液体貯留室Ｒｓとも呼ぶ。なお、収容部４２２は、筐体部４２のＺ１側の面に設けられているため、図２には表されていない。 The accommodating portion 422 is a gap inside the housing portion 42 formed by the recesses of the housing portion 42 (see FIG. 3). The outer shape of the opening on the Z1 side of the accommodating portion 422 is substantially the same as the outer shape of the opening on the Z2 side of the opening 322 provided on the flow path substrate 32. The housing portion 42 is joined to a part of the surface of the flow path substrate 32 in the Z2 direction. At this time, the housing portion 42 and the flow path substrate 32 are joined so that the outer shape of the accommodating portion 422 and the outer shape of the opening portion 322 match (see FIG. 3). One space is formed by the opening 322 provided in the flow path substrate 32 and the accommodating portion 422 provided in the housing portion 42. This space is also referred to as a liquid storage chamber Rs. Since the accommodating portion 422 is provided on the surface of the housing portion 42 on the Z1 side, it is not shown in FIG.

導入口４２４は、筐体部４２において、Ｚ方向に伸びる貫通孔であり、収容部４２２と接続されている（図３参照）。導入口４２４は、筐体部４２のＺ２側における面の略中央に備えられている。液体容器１４から液体吐出ヘッド２６に供給されたインクは、導入口４２４を通過して液体貯留室Ｒｓに貯留される。 The introduction port 424 is a through hole extending in the Z direction in the housing portion 42, and is connected to the accommodating portion 422 (see FIG. 3). The introduction port 424 is provided substantially in the center of the surface of the housing portion 42 on the Z2 side. The ink supplied from the liquid container 14 to the liquid discharge head 26 passes through the introduction port 424 and is stored in the liquid storage chamber Rs.

液体貯留室Ｒｓに貯留されたインクは、中継流路３２８を通過し各供給流路３２４に分岐して、各圧力室Ｃｈ（開口部３４２）に並列に供給される。各圧電アクチュエーター３８は、配線基板５０を介して電圧を印加されて変形し、各開口部３４２（すなわち各圧力室Ｃｈ）の内壁を構成している振動板３６を変形させる。その結果、圧力室Ｃｈが変形されて、圧力室Ｃｈ内のインクに圧力が加えられる。この圧力によって、圧力室Ｃｈに充填されたインクが押し出され、連通流路３２６を通過してノズルＮｚから吐出される（図３参照）。 The ink stored in the liquid storage chambers Rs passes through the relay flow path 328, branches into each supply flow path 324, and is supplied in parallel to each pressure chamber Ch (opening 342). Each piezoelectric actuator 38 is deformed by applying a voltage through the wiring substrate 50, and deforms the diaphragm 36 constituting the inner wall of each opening 342 (that is, each pressure chamber Ch). As a result, the pressure chamber Ch is deformed and pressure is applied to the ink in the pressure chamber Ch. By this pressure, the ink filled in the pressure chamber Ch is extruded, passes through the communication flow path 326, and is ejected from the nozzle Nz (see FIG. 3).

図４は、Ｚ方向に液体吐出ヘッド２６を透視した場合の圧力室Ｃｈと、圧電アクチュエーター３８と、配線５６との配置を示す平面図である。図４の奥（Ｚ１方向）側に位置しており、図中の手前（Ｚ２方向）側に位置する部材によって視認することができない部材も、図４においては図示されている。図４において、振動板３６上に備えられる複数の圧電アクチュエーター３８（図４において３個）の周辺の構成が示されている。 FIG. 4 is a plan view showing the arrangement of the pressure chamber Ch, the piezoelectric actuator 38, and the wiring 56 when the liquid discharge head 26 is seen through in the Z direction. A member that is located on the back side (Z1 direction) side of FIG. 4 and cannot be visually recognized by a member located on the front side (Z2 direction) side in the figure is also shown in FIG. FIG. 4 shows the peripheral configuration of a plurality of piezoelectric actuators 38 (three in FIG. 4) provided on the diaphragm 36.

図５は、図４のＶ－Ｖ線における断面図である。具体的には、圧電アクチュエーター３８の短手方向における略中央部を含む、ＸＺ平面における断面図である。以下、図４とともに図５を用いて、圧電アクチュエーター３８の構成を説明する。 FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line VV of FIG. Specifically, it is a cross-sectional view in an XZ plane including a substantially central portion in the lateral direction of the piezoelectric actuator 38. Hereinafter, the configuration of the piezoelectric actuator 38 will be described with reference to FIG. 4 and FIG.

圧電アクチュエーター３８は、圧電素子Ｐｅと、第１保護膜５４と、第２保護膜５５と、配線５６とを備える（図５参照）。圧電素子Ｐｅは、第１電極５１と、圧電体層５２と、第２電極５３とを備える。なお、技術の理解を容易にするため、図４において第１保護膜５４および第２保護膜５５は図示されていない。 The piezoelectric actuator 38 includes a piezoelectric element Pe, a first protective film 54, a second protective film 55, and wiring 56 (see FIG. 5). The piezoelectric element Pe includes a first electrode 51, a piezoelectric layer 52, and a second electrode 53. In addition, in order to facilitate understanding of the technique, the first protective film 54 and the second protective film 55 are not shown in FIG.

第１電極５１は、厚さが略均一な一つの導電層である。第１電極５１は、振動板３６のうち第２膜３６２のＺ２側の面上に備えられている（図５参照）。第１電極５１は、Ｙ方向に配列される複数の圧電素子Ｐｅによって共有される、いわゆる共通電極である。第１電極５１のＸ１方向における端部Ｅａ１は、第２電極５３のＸ１方向における端部Ｅｃ１よりもＸ２側となるように形成されている。また、第１電極５１のＸ２方向における端部Ｅａ２は、第２電極５３のＸ２方向における端部Ｅｃ２よりもＸ１側となるように形成されている。第１電極５１には、配線基板５０に設けられた回路から基準電圧Ｖｂｓを供給される。なお、本明細書において、圧電体層５２の変形によって変形する機能が、各圧電アクチュエーター３８によって個別に奏されることから、液体吐出ヘッド２６は、「複数の圧電アクチュエーター３８」を備えるものとして、記述する。 The first electrode 51 is one conductive layer having a substantially uniform thickness. The first electrode 51 is provided on the surface of the diaphragm 36 on the Z2 side of the second film 362 (see FIG. 5). The first electrode 51 is a so-called common electrode shared by a plurality of piezoelectric elements Pe arranged in the Y direction. The end Ea1 of the first electrode 51 in the X1 direction is formed so as to be on the X2 side of the end Ec1 of the second electrode 53 in the X1 direction. Further, the end portion Ea2 of the first electrode 51 in the X2 direction is formed so as to be on the X1 side of the end portion Ec2 of the second electrode 53 in the X2 direction. A reference voltage Vbs is supplied to the first electrode 51 from a circuit provided on the wiring board 50. In the present specification, since the function of being deformed by the deformation of the piezoelectric layer 52 is individually performed by each piezoelectric actuator 38, the liquid discharge head 26 is assumed to include "a plurality of piezoelectric actuators 38". Describe.

圧電体層５２は、第１電極５１のＺ２側の面上と、第１電極５１を有しない振動板３６のＺ２側における面上とに形成される、厚さが略均一の層である。圧電体層５２は、第１電極５１の外形を覆うようにして形成される（図５参照）。圧電体層５２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料がスパッタリングによって成膜されて、フォトリソグラフィにより選択的に除去されることによって形成される。圧電体層５２のＸ１方向における端部Ｅｂ１は、圧力室ＣｈのＸ１方向における端部ｃ１よりもＸ２側に形成される。圧電体層５２のＸ２方向における端部Ｅｂ２は、圧力室ＣｈのＸ２方向における端部ｃ２よりもＸ１側に形成される。また、圧電体層５２のＹ１方向における端部は、圧力室ＣｈのＹ１方向における端部よりもＹ２側に形成される。圧電体層５２のＹ２方向における端部は、圧力室ＣｈのＹ２方向における端部ｃ２よりもＹ１側に形成される。すなわち、圧電体層５２のＸＹ平面視における外形が、圧力室ＣｈのＸＹ平面視におけるＺ２方向の上端の外形よりも内側になるように、圧電体層５２が形成される。圧電体層５２は、第１電極５１と第２電極５３とから電圧を印加されて、Ｚ１方向に変形する。 The piezoelectric layer 52 is a layer having a substantially uniform thickness formed on the surface of the first electrode 51 on the Z2 side and on the surface of the diaphragm 36 having no first electrode 51 on the Z2 side. The piezoelectric layer 52 is formed so as to cover the outer shape of the first electrode 51 (see FIG. 5). The piezoelectric layer 52 is formed by forming a piezoelectric material such as lead zirconate titanate (PZT) into a film by sputtering and selectively removing it by photolithography. The end portion Eb1 of the piezoelectric layer 52 in the X1 direction is formed on the X2 side of the end portion c1 of the pressure chamber Ch in the X1 direction. The end portion Eb2 of the piezoelectric layer 52 in the X2 direction is formed on the X1 side of the end portion c2 of the pressure chamber Ch in the X2 direction. Further, the end portion of the piezoelectric layer 52 in the Y1 direction is formed on the Y2 side of the end portion of the pressure chamber Ch in the Y1 direction. The end portion of the piezoelectric layer 52 in the Y2 direction is formed on the Y1 side of the end portion c2 of the pressure chamber Ch in the Y2 direction. That is, the piezoelectric layer 52 is formed so that the outer shape of the piezoelectric layer 52 in the XY plan view is inside the outer shape of the upper end in the Z2 direction in the XY plan view of the pressure chamber Ch. The piezoelectric layer 52 is deformed in the Z1 direction by applying a voltage from the first electrode 51 and the second electrode 53.

第２電極５３は、圧電体層５２のＺ２側の面上に形成される、厚さが略均一の導電層である（図５参照）。第２電極５３は、圧電アクチュエーター３８ごとに個別に形成される、いわゆる個別電極である。第２電極５３は、例えば、白金やイリジウムといった導電材料がスパッタリングによって成膜されて、フォトリソグラフィにより選択的に除去されることによって形成される。第２電極５３のＸ１方向における端部Ｅｃ１は、圧電体層５２のＸ１方向における端部Ｅｂ１よりもＸ２側に形成される。第２電極５３のＸ２方向における端部Ｅｃ２は、圧電体層５２のＸ２方向における端部Ｅｂ２よりもＸ１側に形成される。また、第２電極５３のＹ１方向における端部は、圧電体層５２のＹ１方向における端部よりもＹ２側に形成される。第２電極５３のＹ２方向における端部は、圧電体層５２のＹ２方向における端部よりもＹ１側に形成される。すなわち、第２電極５３のＸＹ平面視における外形が、圧電体層５２のＸＹ平面視における外形よりも内側になるようにして、第２電極５３が形成される。 The second electrode 53 is a conductive layer having a substantially uniform thickness, which is formed on the surface of the piezoelectric layer 52 on the Z2 side (see FIG. 5). The second electrode 53 is a so-called individual electrode that is individually formed for each piezoelectric actuator 38. The second electrode 53 is formed by forming a conductive material such as platinum or iridium into a film by sputtering and selectively removing it by photolithography. The end Ec1 of the second electrode 53 in the X1 direction is formed on the X2 side of the end Eb1 of the piezoelectric layer 52 in the X1 direction. The end Ec2 of the second electrode 53 in the X2 direction is formed on the X1 side of the end Eb2 of the piezoelectric layer 52 in the X2 direction. Further, the end portion of the second electrode 53 in the Y1 direction is formed on the Y2 side of the end portion of the piezoelectric layer 52 in the Y1 direction. The end portion of the second electrode 53 in the Y2 direction is formed on the Y1 side of the end portion of the piezoelectric layer 52 in the Y2 direction. That is, the second electrode 53 is formed so that the outer shape of the second electrode 53 in the XY plan view is inside the outer shape of the piezoelectric layer 52 in the XY plan view.

第１保護膜５４は、振動板３６と振動板３６上に形成された複数の圧電素子ＰｅとにおけるＺ２側の表面を覆う絶縁性を有する膜である（図５参照）。第１保護膜５４には、配線５６と第２電極５３のＸ２側の端部近傍とが電気的に接続するための貫通孔であるコンタクトホールＨ１が形成されている。第１保護膜５４には、例えば酸化珪素（ＳｉＯＸ）または窒化珪素（ＳｉＮＸ）等の絶縁材料が用いられる。第１保護膜５４は、この絶縁性によって、配線５６と、第１電極５１および圧電体層５２と、を絶縁する機能を有し、配線５６が第２電極５３以外の材料と電気的に短絡することを抑制する機能を奏する。 The first protective film 54 is a film having an insulating property that covers the surface on the Z2 side of the diaphragm 36 and the plurality of piezoelectric elements Pe formed on the diaphragm 36 (see FIG. 5). The first protective film 54 is formed with a contact hole H1 which is a through hole for electrically connecting the wiring 56 and the vicinity of the end portion of the second electrode 53 on the X2 side. For the first protective film 54, an insulating material such as silicon oxide (SiO X ) or silicon nitride (SiN X ) is used. The first protective film 54 has a function of insulating the wiring 56, the first electrode 51, and the piezoelectric layer 52 due to this insulating property, and the wiring 56 is electrically short-circuited with a material other than the second electrode 53. It plays a function of suppressing the operation.

配線５６は、第１保護膜５４のＺ２側における面上に形成された導電性を有する層である。具体的には、配線５６は、第１保護膜５４のＺ２側における面上を圧電体層５２の面方向に沿ってＸ２方向に延伸して、形成される。配線５６のＸ２側の端部Ｅｅ２は、配線基板５０の配線と電気的に接続される。また、配線５６は、コンタクトホールＨ１を介して第２電極５３と接続される。これにより、配線基板５０に供給された駆動信号Ｖｄｒは、配線５６を介して第２電極５３に供給される。 The wiring 56 is a conductive layer formed on the surface of the first protective film 54 on the Z2 side. Specifically, the wiring 56 is formed by extending the surface of the first protective film 54 on the Z2 side in the X2 direction along the surface direction of the piezoelectric layer 52. The end Ee2 on the X2 side of the wiring 56 is electrically connected to the wiring of the wiring board 50. Further, the wiring 56 is connected to the second electrode 53 via the contact hole H1. As a result, the drive signal Vdr supplied to the wiring board 50 is supplied to the second electrode 53 via the wiring 56.

第２保護膜５５は、第１保護膜５４および配線５６のＺ２側の表面上に形成された耐湿性を有する層である。第２保護膜５５は、外気中に含まれる酸素や水分による酸化や腐食から圧電アクチュエーター３８を保護する機能を備える。 The second protective film 55 is a moisture-resistant layer formed on the surface of the first protective film 54 and the wiring 56 on the Z2 side. The second protective film 55 has a function of protecting the piezoelectric actuator 38 from oxidation and corrosion caused by oxygen and moisture contained in the outside air.

図６は、圧電アクチュエーター３８の一部（図５における一点鎖線で表された範囲Ａｒ）の構成を模式的に示す断面図である。なお、図６において、技術の理解を容易にするため、各部材は、ブロック形状を用いて模式的に図示されている。 FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a part of the piezoelectric actuator 38 (range Ar represented by the alternate long and short dash line in FIG. 5). In addition, in FIG. 6, in order to facilitate understanding of the technique, each member is schematically illustrated using a block shape.

上述した通り、振動板３６のＺ２側には、圧電素子Ｐｅの第１電極５１と、圧電体層５２と、第２電極５３とが、その順に配されている。すなわち、第１電極５１は、振動板３６と圧電体層５２との間に位置し、圧電体層５２のＺ１側の面に配置される。第２電極５３は、圧電体層５２のＺ２側の面に配置される。 As described above, on the Z2 side of the diaphragm 36, the first electrode 51 of the piezoelectric element Pe, the piezoelectric layer 52, and the second electrode 53 are arranged in that order. That is, the first electrode 51 is located between the diaphragm 36 and the piezoelectric layer 52, and is arranged on the Z1 side surface of the piezoelectric layer 52. The second electrode 53 is arranged on the surface of the piezoelectric layer 52 on the Z2 side.

本実施形態の液体吐出ヘッド２６においては、各圧電アクチュエーター３８に第１保護膜５４と、第２保護膜５５とが備えられている。図６において、第１保護膜５４は、第２電極５３と配線５６とが連通するコンタクトホールＨ１を除いて、圧電体層５２と、第２電極５３とを覆うように構成されている。第２保護膜５５は、第１保護膜５４上に形成される配線５６を覆うように形成される。 In the liquid discharge head 26 of the present embodiment, each piezoelectric actuator 38 is provided with a first protective film 54 and a second protective film 55. In FIG. 6, the first protective film 54 is configured to cover the piezoelectric layer 52 and the second electrode 53, except for the contact hole H1 in which the second electrode 53 and the wiring 56 communicate with each other. The second protective film 55 is formed so as to cover the wiring 56 formed on the first protective film 54.

上述した通り、第１電極５１には基準電圧Ｖｂｓが印加され、第２電極５３には配線５６を介して駆動信号Ｖｄｒが供給される。これにより、第１電極５１と第２電極５３との間に電位差が生じて圧電体層５２が変形する。この変形によって、圧電アクチュエーター３８において、第１電極５１が設けられている部分は、圧力室Ｃｈを変形させる際に、Ｚ１方向に凸となる形状に変形する。例えば、この圧電アクチュエーター３８の変形によって第１保護膜５４にクラックが生じることがある。このクラックにより、第１保護膜５４の絶縁性の欠落する部分が生じる。 As described above, the reference voltage Vbs is applied to the first electrode 51, and the drive signal Vdr is supplied to the second electrode 53 via the wiring 56. As a result, a potential difference is generated between the first electrode 51 and the second electrode 53, and the piezoelectric layer 52 is deformed. Due to this deformation, in the piezoelectric actuator 38, the portion provided with the first electrode 51 is deformed into a shape convex in the Z1 direction when the pressure chamber Ch is deformed. For example, the deformation of the piezoelectric actuator 38 may cause cracks in the first protective film 54. Due to this crack, a portion where the insulating property of the first protective film 54 is lacking is generated.

配線５６のＺ１側と、振動板３６のＺ２側とで挟まれる領域（以下、「領域Ａ１０」とも呼ぶ）において、電気的に接続されることによって第１電極５１と同電位となる金属層が存在すると、例えば、以下の問題が生ずる。 In the region sandwiched between the Z1 side of the wiring 56 and the Z2 side of the diaphragm 36 (hereinafter, also referred to as "region A10"), a metal layer having the same potential as the first electrode 51 by being electrically connected is formed. If present, for example, the following problems arise.

電気的に接続されることによって第１電極５１と同電位となった金属層は、第１保護膜５４に生じたクラックを介して、金属層のＺ２側にある配線５６と、電気的に接続される。すなわち、この金属層と配線５６との間で電気的に短絡するという不具合が生じる。この不具合が生じると、圧電素子は正常に駆動できなくなる。 The metal layer having the same potential as the first electrode 51 by being electrically connected is electrically connected to the wiring 56 on the Z2 side of the metal layer via a crack generated in the first protective film 54. Will be done. That is, there is a problem that an electric short circuit occurs between the metal layer and the wiring 56. When this defect occurs, the piezoelectric element cannot be driven normally.

第１保護膜５４にクラックが発生し、第１電極５１のＸ２側の端部が、圧電体層５２のＸ２側の端部よりもＸ２側に存在すると、第１電極５１と配線５６との間で、上記の不具合が発生する虞がある。また、第１保護膜５４にクラックが発生し、第１電極５１のＸ２側の端部が、第２電極５３のＸ２側の端部よりもＸ２側に存在している場合にも、第１電極５１と配線５６との間で、上記の不具合が発生する虞がある。 When a crack occurs in the first protective film 54 and the end on the X2 side of the first electrode 51 is on the X2 side of the end on the X2 side of the piezoelectric layer 52, the first electrode 51 and the wiring 56 In the meantime, the above problems may occur. Further, when a crack is generated in the first protective film 54 and the end portion of the first electrode 51 on the X2 side is present on the X2 side of the end portion of the second electrode 53 on the X2 side, the first is also present. The above-mentioned problem may occur between the electrode 51 and the wiring 56.

以上から、配線５６のＺ１側の面と、振動板３６のＺ２側の面とで挟まれる領域Ａ１０のうち、ＸＹ平面視において配線５６が第２電極５３と圧電体層５２のいずれとも重ならない領域（以下、「第１領域Ａ１」とも呼ぶ）に、第１電極５１と同電位となる金属層が配置されることによって、第１電極５１と配線５６とが電気的に短絡する不具合が、発生する虞がある。 From the above, in the region A10 sandwiched between the Z1 side surface of the wiring 56 and the Z2 side surface of the vibrating plate 36, the wiring 56 does not overlap with either the second electrode 53 or the piezoelectric layer 52 in the XY plan view. By arranging a metal layer having the same potential as the first electrode 51 in the region (hereinafter, also referred to as “first region A1”), there is a problem that the first electrode 51 and the wiring 56 are electrically short-circuited. It may occur.

本実施形態において、第１領域Ａ１には、金属層が備えられていない。従って、駆動信号Ｖｄｒが供給され配線５６に電流の供給がされても、第１領域Ａ１と配線５６との間で、配線５６が電気的に短絡する不具合は生じない。また、この不具合が生じないことによって、配線５６と振動板３６との間に形成される第１保護膜５４において、絶縁性の機能を備える必要がなくなる。従って、第１保護膜５４の材料を選択できる範囲が、絶縁性の機能を有しない材料の範囲にまで拡大されることができる。 In the present embodiment, the first region A1 is not provided with a metal layer. Therefore, even if the drive signal Vdr is supplied and the current is supplied to the wiring 56, there is no problem that the wiring 56 is electrically short-circuited between the first region A1 and the wiring 56. Further, by eliminating this problem, the first protective film 54 formed between the wiring 56 and the diaphragm 36 does not need to have an insulating function. Therefore, the range in which the material of the first protective film 54 can be selected can be expanded to the range of materials having no insulating function.

Ｂ．第２実施形態：
図７は、第２実施形態である圧電アクチュエーター３８ｂの構成を表す断面図である。配線５６のＺ１側の面と、振動板３６のＺ２側の面とで挟まれる領域を領域Ａ１０ｂとする。また、領域Ａ１０ｂのうち、ＸＹ平面視において配線５６が第２電極５３と圧電体層５２のいずれとも重ならない領域を第１領域Ａ１ｂとする。第２実施形態の圧電アクチュエーター３８ｂには、第１領域Ａ１ｂに金属層６０が備えられている。第２実施形態の他の点は、第１実施形態と同じである。なお、図７において、技術の理解を容易にするため、各部材はブロック形状を用いて模式的に図示されている。 B. Second embodiment:
FIG. 7 is a cross-sectional view showing the configuration of the piezoelectric actuator 38b according to the second embodiment. The region sandwiched between the Z1 side surface of the wiring 56 and the Z2 side surface of the diaphragm 36 is defined as the region A10b. Further, in the region A10b, the region where the wiring 56 does not overlap with either the second electrode 53 and the piezoelectric layer 52 in the XY plan view is referred to as the first region A1b. The piezoelectric actuator 38b of the second embodiment is provided with a metal layer 60 in the first region A1b. Other points of the second embodiment are the same as those of the first embodiment. In addition, in FIG. 7, in order to facilitate understanding of the technique, each member is schematically illustrated using a block shape.

金属層６０は、第１電極５１と同じ金属材料によって構成されている厚さが略均一の層である。第１電極５１のＸ２側の端部と、金属層６０のＸ１側の端部との間には、第１電極５１の外形を覆うようにして形成された圧電体層５２が存在する。すなわち、金属層６０は、絶縁体である圧電体層５２によって第１電極５１とは接触せず、第１電極５１とは電気的に接続されないように形成されている。このような形態としても、金属層６０と第１電極５１とは電気的に接続されていないため、配線５６に駆動信号Ｖｄｒが供給されても、配線５６が電気的に短絡する不具合は生じない。 The metal layer 60 is a layer made of the same metal material as the first electrode 51 and having a substantially uniform thickness. Between the end on the X2 side of the first electrode 51 and the end on the X1 side of the metal layer 60, there is a piezoelectric layer 52 formed so as to cover the outer shape of the first electrode 51. That is, the metal layer 60 is formed so as not to come into contact with the first electrode 51 by the piezoelectric layer 52 which is an insulator and not to be electrically connected to the first electrode 51. Even in such a form, since the metal layer 60 and the first electrode 51 are not electrically connected, even if the drive signal Vdr is supplied to the wiring 56, there is no problem that the wiring 56 is electrically short-circuited. ..

また、第１電極５１の材料となる金属層を、金属層６０を含む領域まで形成した後、予め定められた領域を例えばエッチングによって選択的に除去することによって、第１電極５１と、第１電極５１と絶縁される金属層６０とが形成されることができる。この予め定められた領域とは、例えば、図中において第１電極５１のＸ２方向における端部から、金属層６０のＸ１方向における端部までの領域（以下、「領域Ａ２ｂ」とも呼ぶ）である。なお、この領域Ａ２ｂは、Ｙ方向（図７において奥行きと平行する方向）に沿って形成される。金属層６０は、Ｙ方向においても第１電極５１のいずれの部分とも接することはなく、Ｙ方向に配列される各圧電アクチュエーター３８ｂにおいて同じ構成で形成される。第１保護膜５４の材料には、第１電極５１との密着性が考慮された既存の材料が適用されることができる。 Further, the first electrode 51 and the first electrode 51 are formed by forming a metal layer as a material of the first electrode 51 up to a region including the metal layer 60 and then selectively removing a predetermined region by, for example, etching. A metal layer 60 to be insulated from the electrode 51 can be formed. The predetermined region is, for example, a region (hereinafter, also referred to as “region A2b”) from the end portion of the first electrode 51 in the X2 direction to the end portion of the metal layer 60 in the X1 direction in the drawing. .. The region A2b is formed along the Y direction (direction parallel to the depth in FIG. 7). The metal layer 60 does not come into contact with any portion of the first electrode 51 in the Y direction, and is formed with the same configuration in each piezoelectric actuator 38b arranged in the Y direction. As the material of the first protective film 54, an existing material in consideration of adhesion to the first electrode 51 can be applied.

Ｃ．第３実施形態：
図８は、Ｚ方向に液体吐出ヘッド２６を透視した場合の圧力室Ｃｈと、第３実施形態の圧電アクチュエーター３８ｃと、配線５６との配置を示す平面図である。図８の手前（Ｚ２方向）側に位置する部材によって視認することができない部材も、図８においては図示されている。第３実施形態の圧電アクチュエーター３８ｃは、第１実施形態の第２電極５３よりもＸ方向に沿って延伸された第２電極５３ｃを備える。第３実施形態の圧電アクチュエーター３８ｃのその他の構成は、第１実施形態の圧電アクチュエーター３８の構成と同じである。 C. Third embodiment:
FIG. 8 is a plan view showing the arrangement of the pressure chamber Ch, the piezoelectric actuator 38c of the third embodiment, and the wiring 56 when the liquid discharge head 26 is seen through in the Z direction. A member that cannot be visually recognized by a member located on the front side (Z2 direction) side of FIG. 8 is also shown in FIG. The piezoelectric actuator 38c of the third embodiment includes a second electrode 53c extending along the X direction from the second electrode 53 of the first embodiment. Other configurations of the piezoelectric actuator 38c of the third embodiment are the same as the configurations of the piezoelectric actuator 38 of the first embodiment.

図９は、圧電アクチュエーター３８ｃの範囲Ａｒでの構成を模式的に示す断面図である。なお、図９において、技術の理解を容易にするため、各部材は、ブロック形状を用いて模式的に図示されている。図９には、後述する第２領域Ａ２が模式的に例示されている。 FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the piezoelectric actuator 38c in the range Ar. In addition, in FIG. 9, in order to facilitate understanding of the technique, each member is schematically illustrated using a block shape. FIG. 9 schematically illustrates the second region A2, which will be described later.

第２領域Ａ２は、第２電極５３ｃと振動板３６との間の領域であって、第２電極５３ｃのうち配線５６が延伸する方向側（図中においてＸ２方向側）の端部と振動板３６との間の領域である。圧電アクチュエーター３８ｃの第２領域Ａ２は、圧電体層５２を含む絶縁材料からなる絶縁部で構成される。本実施形態において、この絶縁部は、圧電体層５２のみによって構成される。すなわち、圧電体層５２は、第２領域Ａ２において第１電極５１のＸ２方向側の端部を覆うように構成される。 The second region A2 is a region between the second electrode 53c and the diaphragm 36, and is the end of the second electrode 53c on the direction side (X2 direction side in the drawing) where the wiring 56 extends and the diaphragm. The area between 36 and 36. The second region A2 of the piezoelectric actuator 38c is composed of an insulating portion made of an insulating material including the piezoelectric layer 52. In the present embodiment, this insulating portion is composed of only the piezoelectric layer 52. That is, the piezoelectric layer 52 is configured to cover the end portion of the first electrode 51 on the X2 direction side in the second region A2.

なお、本明細書において、第２電極５３ｃにおける「Ｘ２方向側の端部」とは、第２電極５３ｃのＸ２方向側の端部である円弧状の部分を指し（図８参照）、Ｙ方向に配列される各圧電アクチュエーター３８ｃにおいて同じ構成で形成される。また、「第２電極５３ｃの端部と振動板３６との間の領域」とは、第２電極５３ｃのうち圧電体層５２を備える側の面の端部と、振動板３６とを結ぶ線を含み、所定の幅を有する領域のことを表す。 In the present specification, the "end on the X2 direction side" of the second electrode 53c refers to an arcuate portion which is the end on the X2 direction side of the second electrode 53c (see FIG. 8), and refers to the Y direction. It is formed in the same configuration in each of the piezoelectric actuators 38c arranged in. Further, the "region between the end of the second electrode 53c and the diaphragm 36" is a line connecting the end of the surface of the second electrode 53c on the side provided with the piezoelectric layer 52 and the diaphragm 36. Represents a region having a predetermined width.

これにより、第１電極５１は、絶縁部である圧電体層５２によって、配線５６との電気的な接続を抑制されることができる。従って、このような形態としても、配線５６を介して第２電極５３ｃに電圧を印加する際に、第１電極５１と配線５６とが短絡する不具合を回避できる。 As a result, the first electrode 51 can be suppressed from being electrically connected to the wiring 56 by the piezoelectric layer 52 which is an insulating portion. Therefore, even in such a form, it is possible to avoid a problem that the first electrode 51 and the wiring 56 are short-circuited when a voltage is applied to the second electrode 53c via the wiring 56.

Ｄ．第４実施形態：
図１０は、第４実施形態における圧電デバイスの一種である超音波センサー９０を備える超音波診断装置８１の構成を示す図である。上記各実施形態においては、圧力室Ｃｈが変形することでノズルＮｚから液体の一種であるインクを吐出させる構成を例示したが、これには限られず、本実施形態における超音波センサー９０のように、測定対象の振動（変位）等を検出するセンサーにも本発明を適用することができる。このため、本開示における圧力室Ｃｈは、液体が流通するものには限られない。 D. Fourth Embodiment:
FIG. 10 is a diagram showing the configuration of an ultrasonic diagnostic apparatus 81 including an ultrasonic sensor 90, which is a kind of piezoelectric device according to the fourth embodiment. In each of the above embodiments, the configuration in which the pressure chamber Ch is deformed to eject ink, which is a kind of liquid, from the nozzle Nz is exemplified, but the present invention is not limited to this, and the ultrasonic sensor 90 in the present embodiment is used. The present invention can also be applied to a sensor that detects vibration (displacement) of a measurement target. Therefore, the pressure chamber Ch in the present disclosure is not limited to the one through which a liquid flows.

図１０に示される超音波診断装置８１は、装置端末８２と超音波プローブ８３とを備える。装置端末８２と超音波プローブ８３とはケーブル８４で相互に接続されている。装置端末８２と超音波プローブ８３とはケーブル８４を通じて電気信号を送受する。超音波プローブ８３は、本体部８５と、この本体部８５に着脱可能に取り付けられたプローブヘッド８６と、を備えている。超音波センサー９０は、プローブヘッド８６に設けられている。超音波センサー９０は、その表面（図１１に示される面）から音波や超音波を測定対象に向けて発信するとともに、測定対象からの反射波を受信することにより、測定対象までの距離や測定対象の形状等の検知を行う。 The ultrasonic diagnostic apparatus 81 shown in FIG. 10 includes an apparatus terminal 82 and an ultrasonic probe 83. The device terminal 82 and the ultrasonic probe 83 are connected to each other by a cable 84. The device terminal 82 and the ultrasonic probe 83 transmit and receive electrical signals through the cable 84. The ultrasonic probe 83 includes a main body portion 85 and a probe head 86 detachably attached to the main body portion 85. The ultrasonic sensor 90 is provided on the probe head 86. The ultrasonic sensor 90 transmits sound waves and ultrasonic waves from its surface (the surface shown in FIG. 11) toward the measurement target, and receives reflected waves from the measurement target to measure the distance to the measurement target and the measurement. Detects the shape of the target.

図１１は、本実施形態に係る超音波センサー９０の一例を示す平面図である。本実施形態における超音波センサー９０は、基体６１に素子アレイ６２が形成されて構成されている。素子アレイ６２は、圧電素子Ｐｅ４の配列で構成されている。配列は複数行×複数列のマトリクス状に形成されている。圧電素子Ｐｅ４は、下部電極である第１電極５１ｄ、上部電極である第２電極５３ｄ、及び圧電体層５２ｄで構成され、第２電極５３ｄと第１電極５１ｄとの間に圧電体層５２ｄが挟み込まれている。各圧電素子Ｐｅ４は、一層の振動板３６ｄの上に配置されている。本実施形態において、第１電極５１ｄよりもＺ１方向側（図１１において奥行き方向側）には、振動板３６ｄと、各圧電アクチュエーター３８ｄの圧力室Ｃｈ（図１１において図示しない）と、図示しない補強板とがこの順に備えられている。 FIG. 11 is a plan view showing an example of the ultrasonic sensor 90 according to the present embodiment. The ultrasonic sensor 90 in this embodiment is configured by forming an element array 62 on a substrate 61. The element array 62 is composed of an array of piezoelectric elements Pe4. The array is formed in a matrix of multiple rows and multiple columns. The piezoelectric element Pe4 is composed of a first electrode 51d which is a lower electrode, a second electrode 53d which is an upper electrode, and a piezoelectric layer 52d, and a piezoelectric layer 52d is formed between the second electrode 53d and the first electrode 51d. It is sandwiched. Each piezoelectric element Pe4 is arranged on one layer of the diaphragm 36d. In the present embodiment, on the Z1 direction side (depth direction side in FIG. 11) with respect to the first electrode 51d, a diaphragm 36d, a pressure chamber Ch of each piezoelectric actuator 38d (not shown in FIG. 11), and reinforcement (not shown) are provided. The boards are provided in this order.

本実施形態において、第１電極５１ｄが各圧電素子Ｐｅ４に共通の共通電極として機能し、第２電極５３ｄが各圧電素子Ｐｅ４のそれぞれの個別電極として機能する。なお、第２電極５３ｄ及び第１電極５１ｄの機能は入れ替えられてもよい。すなわち、マトリクス全体の圧電素子Ｐｅ４に上部電極が共通に設けられ、各圧電素子Ｐｅ４に下部電極が個別に設けられてもよい。また、素子アレイ６２の配列は、例えば、隣り合う列の圧電素子Ｐｅ４の列方向の位置が互い違いとなるような構成を採用することもできる。この場合、偶数列の圧電素子Ｐｅ４群は、奇数列の圧電素子Ｐｅ４群に対して行ピッチの２分の１で列方向にずらされて配置される構成とすることができる。 In the present embodiment, the first electrode 51d functions as a common electrode common to each piezoelectric element Pe4, and the second electrode 53d functions as an individual electrode of each piezoelectric element Pe4. The functions of the second electrode 53d and the first electrode 51d may be interchanged. That is, the upper electrode may be provided in common to the piezoelectric element Pe4 of the entire matrix, and the lower electrode may be individually provided to each piezoelectric element Pe4. Further, the arrangement of the element arrays 62 may adopt, for example, a configuration in which the positions of the piezoelectric elements Pe4 in adjacent rows in the row direction are staggered. In this case, the even-numbered column piezoelectric element Pe4 group can be arranged so as to be displaced in the column direction by half the row pitch with respect to the odd-numbered column piezoelectric element Pe4 group.

基体６１において、圧電素子Ｐｅ４の列方向（Ｘ方向）における一端側と他端側であって、素子アレイ６２から外れた位置に、それぞれ第１端子アレイ６８ａ及び第２端子アレイ６８ｂが形成されている。各端子アレイ６８ａ，６８ｂは、それぞれ、行方向（Ｙ方向）の両側に配置された１対の共通電極端子６９と、両側の共通電極端子６９の間に配置された複数の個別電極端子７０とで構成されている。共通電極端子６９は、圧電素子Ｐｅ４の第２電極５３ｄに導通され、個別電極端子７０は、圧電素子Ｐｅ４の第１電極５１ｄにそれぞれ導通されている。各端子アレイ６８ａ，６８ｂには、一端が超音波診断装置８１の図示しない制御回路と接続された図示しないフレキシブル配線基板が電気的に接続される。フレキシブル配線基板を通じて制御回路と超音波センサー９０との間で、後述する駆動信号Ｖｄｒ及び受信信号Ｖｒの送受信が行われる。基体６１のＺ１方向側の面（以下、「裏面」とも呼ぶ）には、補強板（図示しない）が接着剤により接合され、各圧電素子Ｐｅ４の圧力室Ｃｈを閉じている。補強板には例えばシリコン基板が用いられることができる。 In the substrate 61, the first terminal array 68a and the second terminal array 68b are formed at positions on one end side and the other end side of the piezoelectric element Pe4 in the row direction (X direction) and away from the element array 62, respectively. There is. Each of the terminal arrays 68a and 68b has a pair of common electrode terminals 69 arranged on both sides in the row direction (Y direction), and a plurality of individual electrode terminals 70 arranged between the common electrode terminals 69 on both sides. It is composed of. The common electrode terminal 69 is conducted to the second electrode 53d of the piezoelectric element Pe4, and the individual electrode terminal 70 is conducted to the first electrode 51d of the piezoelectric element Pe4. A flexible wiring board (not shown) having one end connected to a control circuit (not shown) of the ultrasonic diagnostic apparatus 81 is electrically connected to each of the terminal arrays 68a and 68b. The drive signal Vdr and the received signal Vr, which will be described later, are transmitted and received between the control circuit and the ultrasonic sensor 90 through the flexible wiring board. A reinforcing plate (not shown) is bonded to the surface of the substrate 61 on the Z1 direction side (hereinafter, also referred to as “back surface”) with an adhesive, and the pressure chamber Ch of each piezoelectric element Pe4 is closed. For example, a silicon substrate can be used for the reinforcing plate.

超音波センサー９０において、超音波を発信する発信期間（振動期間）には、制御回路が出力するが、個別電極端子７０を介して各圧電素子Ｐｅ４の第１電極５１ｄに供給（印加）される。また、超音波の反射波（エコー）を受信する受信期間（振動期間）には、圧電素子Ｐｅ４からの受信信号Ｖｒが、第１電極５１ｄ及び個別電極端子７０を介して出力される。また、共通電極端子６９を介して各圧電素子Ｐｅ４の第２電極５３ｄには、共通電圧ＶＣＯＭが供給される。この共通電圧ＶＣＯＭは一定の直流電圧である。駆動信号Ｖｄｒと共通電圧ＶＣＯＭとの差の電圧が各圧電素子Ｐｅ４に印加されると、当該圧電素子Ｐｅ４からは所定の周波数の超音波が発信される。そして、各圧電素子Ｐｅ４からそれぞれ放射される超音波が合成されて、超音波センサー９０の素子アレイ面から放射される超音波が形成される。この超音波は、測定対象（例えば人体の内部）に向けて発信される。また、超音波が発信された後、測定対象から反射されてきた反射波が圧電素子Ｐｅ４に入力されると、これに応じて当該圧電素子Ｐｅ４が検知用振動部として振動することにより起電力が生じる。この起電力は受信信号Ｖｒとして制御回路に出力される。本実施形態において、検知用振動部として機能する圧電素子群は、音波の発信と反射波の受信とを、時間を異ならせて交互に行う。 In the ultrasonic sensor 90, during the transmission period (vibration period) in which ultrasonic waves are transmitted, the control circuit outputs, but is supplied (applied) to the first electrode 51d of each piezoelectric element Pe4 via the individual electrode terminals 70. .. Further, during the reception period (vibration period) in which the reflected wave (echo) of the ultrasonic wave is received, the reception signal Vr from the piezoelectric element Pe4 is output via the first electrode 51d and the individual electrode terminal 70. Further, a common voltage VCOM is supplied to the second electrode 53d of each piezoelectric element Pe4 via the common electrode terminal 69. This common voltage VCOM is a constant DC voltage. When a voltage difference between the drive signal Vdr and the common voltage VCOM is applied to each piezoelectric element Pe4, ultrasonic waves having a predetermined frequency are transmitted from the piezoelectric element Pe4. Then, the ultrasonic waves radiated from each piezoelectric element Pe4 are combined to form the ultrasonic waves radiated from the element array surface of the ultrasonic sensor 90. This ultrasonic wave is transmitted toward the measurement target (for example, the inside of the human body). Further, when the reflected wave reflected from the measurement target is input to the piezoelectric element Pe4 after the ultrasonic wave is transmitted, the piezoelectric element Pe4 vibrates as a vibration unit for detection in response to the reflected wave, so that the electromotive force is generated. Occurs. This electromotive force is output to the control circuit as a received signal Vr. In the present embodiment, the piezoelectric element group that functions as the detection vibration unit alternately transmits sound waves and receives reflected waves at different times.

第２電極５３ｄは、個別電極端子７０から延伸された配線５６ｄと接続される。すなわち、本実施形態において、各圧電アクチュエーター３８ｄの第２電極５３ｄは、Ｘ１側の端部およびＸ２側の端部のいずれも配線５６ｄによって接続されている。本実施形態において、第２領域Ａ２は、第２電極５３ｄと振動板３６との間の領域であって、第２電極５３ｄのうち、配線５６が延伸する方向側であるＸ１方向側の端部と振動板３６ｄとの間の領域およびＸ２方向側の端部と振動板３６ｄとの間の２つの領域である。各圧電アクチュエーター３８ｄは、この２つの第２領域Ａ２に絶縁部である圧電体層５２ｄを備える。すなわち、圧電体層５２ｄは、第２領域において第１電極５１ｄのＸ１方向側の端部と、第１電極５１ｄのＸ２方向側の端部とを覆うように構成される。従って、このような形態としても、配線５６を介して第２電極５３ｃに電圧を印加する際に、第１電極５１と配線５６とが短絡する不具合を回避できる。 The second electrode 53d is connected to the wiring 56d extended from the individual electrode terminal 70. That is, in the present embodiment, the second electrode 53d of each piezoelectric actuator 38d is connected to both the end portion on the X1 side and the end portion on the X2 side by the wiring 56d. In the present embodiment, the second region A2 is a region between the second electrode 53d and the diaphragm 36, and is an end portion of the second electrode 53d on the X1 direction side, which is the direction side in which the wiring 56 extends. And the region between the diaphragm 36d and the two regions between the end on the X2 direction side and the diaphragm 36d. Each piezoelectric actuator 38d includes a piezoelectric layer 52d which is an insulating portion in the two second regions A2. That is, the piezoelectric layer 52d is configured to cover the end portion of the first electrode 51d on the X1 direction side and the end portion of the first electrode 51d on the X2 direction side in the second region. Therefore, even in such a form, it is possible to avoid a problem that the first electrode 51 and the wiring 56 are short-circuited when a voltage is applied to the second electrode 53c via the wiring 56.

Ｅ．他の形態：
Ｅ１．他の形態１：
（１）上記実施形態においては、第１領域Ａ１に金属層を備えない態様、もしくは第１電極５１と同じ材料で構成される金属層６０であって、前記第１電極と電気的に接続されていない金属層６０を、第１領域Ａ１ｂに備えられている態様が示されている。すなわち、第１領域には、第２電極の電位とは異なる電位に、電位が制御されている金属層を備えない態様とすることができる。このような態様とすることにより、第２電極が、第２電極の電位と異なる電位を有する電極層を介して、他の回路と電気的に短絡する不具合を防止することが出来る。例えば、第１電極と接続されていることにより第１電極と同電位となる金属層、を備えない態様とすることができる。このように構成することにより、配線５６に電流が供給されても、配線５６が第１電極と電気的に短絡する不具合は生じない。 E. Other forms:
E1. Other form 1:
(1) In the above embodiment, the first region A1 is not provided with a metal layer, or the metal layer 60 is made of the same material as the first electrode 51 and is electrically connected to the first electrode. The embodiment in which the metal layer 60 which is not provided is provided in the first region A1b is shown. That is, the first region may not be provided with a metal layer whose potential is controlled at a potential different from the potential of the second electrode. With such an embodiment, it is possible to prevent a problem that the second electrode is electrically short-circuited with another circuit via an electrode layer having a potential different from the potential of the second electrode. For example, the embodiment may not include a metal layer having the same potential as the first electrode because it is connected to the first electrode. With this configuration, even if a current is supplied to the wiring 56, there is no problem that the wiring 56 is electrically short-circuited with the first electrode.

（２）上記実施形態においては、圧電アクチュエーター３８は、電圧を印加された際に圧力室Ｃｈ側に凸となる形状に変形し、電圧を印加されていない場合には、平板状となるように構成されている。しかし、圧電アクチュエーターは、電圧を印加された際に平板状となり、電圧を印加されていないときに、他の形状となる態様とすることもできる。すなわち、圧電アクチュエーターは、電圧の印加の有無により変形することができるものであればよい。そして、圧電アクチュエーターの変形は、曲げ変形であると歪み変形であるとを問わない。 (2) In the above embodiment, the piezoelectric actuator 38 is deformed into a shape that is convex toward the pressure chamber Ch side when a voltage is applied, and becomes a flat plate shape when no voltage is applied. It is configured. However, the piezoelectric actuator may have a flat plate shape when a voltage is applied, and may have another shape when a voltage is not applied. That is, the piezoelectric actuator may be any as long as it can be deformed depending on the presence or absence of voltage application. The deformation of the piezoelectric actuator is not limited to bending deformation or strain deformation.

（３）上記実施形態においては、圧電体層５２が、第１電極５１の外形を覆うようにして形成されている。しかし、圧電体層は、例えば、第１電極５１と圧電体層５２と第２電極５３とにおけるＸ２側の端部が略同一の位置となるように形成される等、第１電極５１の外形を覆わないように形成されている態様とすることもできる。このとき、第１保護膜は、第１電極５１、圧電体層５２および第２電極５３が保護されるように形成されることが好ましい。 (3) In the above embodiment, the piezoelectric layer 52 is formed so as to cover the outer shape of the first electrode 51. However, the piezoelectric layer is formed so that, for example, the ends on the X2 side of the first electrode 51, the piezoelectric layer 52, and the second electrode 53 are formed at substantially the same position, and the outer shape of the first electrode 51 is formed. It can also be an embodiment formed so as not to cover. At this time, the first protective film is preferably formed so as to protect the first electrode 51, the piezoelectric layer 52, and the second electrode 53.

（４）上記各実施形態において、配線５６が延伸する方向と略垂直な方向（図４，８においてＹ方向）における配線５６の幅の長さは、圧電体層５２のＹ方向における幅の長さよりも短い態様とすることもできる。このような態様であれば、第１電極５１と配線５６とが短絡する不具合の発生をより抑制することができる。 (4) In each of the above embodiments, the length of the width of the wiring 56 in the direction substantially perpendicular to the direction in which the wiring 56 extends (the Y direction in FIGS. 4 and 8) is the length of the width of the piezoelectric layer 52 in the Y direction. It can also be a shorter embodiment. In such an embodiment, it is possible to further suppress the occurrence of a problem that the first electrode 51 and the wiring 56 are short-circuited.

Ｅ２．他の形態２：
（１）上記第２実施形態では、第１電極５１のＸ２側の端部と、金属層６０のＸ１側の端部との間に、第１電極５１の外形を覆うようにして形成された圧電体層５２が存在するが、金属層６０のＺ２側の面には圧電体層５２は存在していない。しかし、金属層６０のＺ２側の面上に圧電体層が存在する態様とすることもできる。例えば、第１電極５１と、金属層６０とが形成された後に、第１電極５１のＺ２側と、金属層６０のＺ２側との面上に圧電体層を同時に形成することもできる。 E2. Other form 2:
(1) In the second embodiment, the first electrode 51 is formed so as to cover the outer shape of the first electrode 51 between the end portion on the X2 side of the first electrode 51 and the end portion on the X1 side of the metal layer 60. Although the piezoelectric layer 52 exists, the piezoelectric layer 52 does not exist on the surface of the metal layer 60 on the Z2 side. However, it is also possible that the piezoelectric layer exists on the Z2 side surface of the metal layer 60. For example, after the first electrode 51 and the metal layer 60 are formed, the piezoelectric layer can be simultaneously formed on the surfaces of the Z2 side of the first electrode 51 and the Z2 side of the metal layer 60.

（２）上記第２実施形態では、金属層６０は、第１電極５１と同じ金属材料によって構成されている。しかし、金属層は、第１電極５１とは異なる金属材料によって構成されていてもよい。ただし、本明細書に開示された技術は、第１電極を構成する素材と金属層を構成する素材とが同一である場合に、特に有効である。 (2) In the second embodiment, the metal layer 60 is made of the same metal material as the first electrode 51. However, the metal layer may be made of a metal material different from that of the first electrode 51. However, the technique disclosed in the present specification is particularly effective when the material constituting the first electrode and the material constituting the metal layer are the same.

Ｅ３．他の形態３：
（１）上記実施形態においては、液体吐出ヘッド２６と液体容器１４とは所定のインク流路で接続されており、液体容器１４は、移動機構２４によって搬送されるわけではない。しかし、液体吐出ヘッドと液体容器とを一体で形成して、移動機構によって移動される態様とすることもできる。本明細書で開示する技術は、そのような液体吐出ヘッドと液体容器が相互に固定された液体吐出ヘッドユニットに、適用することもできる。 E3. Other form 3:
(1) In the above embodiment, the liquid discharge head 26 and the liquid container 14 are connected by a predetermined ink flow path, and the liquid container 14 is not conveyed by the moving mechanism 24. However, the liquid discharge head and the liquid container may be integrally formed so as to be moved by a moving mechanism. The techniques disclosed herein can also be applied to such liquid discharge head units in which a liquid discharge head and a liquid container are mutually fixed.

（２）上記実施形態において、第２領域Ａ２の絶縁部は、圧電体層５２のみによって構成される。しかし、第２領域は、圧電体層のみの構成には限定されない。例えば、絶縁部は、圧電体層を含み、更に、第１保護膜のような絶縁性を有する膜や、他の絶縁材料を含んでもよい。 (2) In the above embodiment, the insulating portion of the second region A2 is composed of only the piezoelectric layer 52. However, the second region is not limited to the configuration of only the piezoelectric layer. For example, the insulating portion includes a piezoelectric layer, and may further include an insulating film such as a first protective film or another insulating material.

Ｅ４．他の形態４：
上記実施形態においては、本明細書で開示する技術を、液体吐出ヘッド２６および液体吐出装置１００を例に説明した。しかし、本明細書で開示する技術は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置に限らず、平板状に構成された圧電素子に対して、電極が配されている平板の一方の面に配線が接続される様々な圧電デバイスに、適用することができる。 E4. Other form 4:
In the above embodiment, the technique disclosed in the present specification has been described by taking the liquid discharge head 26 and the liquid discharge device 100 as an example. However, the technique disclosed in the present specification is not limited to the liquid discharge head and the liquid discharge device, and the wiring is connected to one surface of the flat plate on which the electrodes are arranged for the piezoelectric element configured in the flat plate shape. It can be applied to various piezoelectric devices.

例えば、本明細書で開示する技術は、圧電素子を振動させて超音波を発生させる超音波振動子に適用することができる。また、本明細書で開示する技術は、圧電素子を動かすことにより液体を送る送液ポンプに適用することができる。本明細書で開示する技術は、圧電素子による振動によってローターを回転させるＭＥＭＳモーターに適用することができる。さらに、本明細書で開示する技術は、環境圧力によって圧電素子が変形して信号を送信する気圧センサーに適用することもできる。 For example, the technique disclosed herein can be applied to an ultrasonic transducer that vibrates a piezoelectric element to generate ultrasonic waves. In addition, the technique disclosed herein can be applied to a liquid feed pump that feeds a liquid by moving a piezoelectric element. The techniques disclosed herein can be applied to MEMS motors that rotate a rotor by vibration from a piezoelectric element. Further, the technique disclosed herein can also be applied to a barometric pressure sensor in which a piezoelectric element is deformed by environmental pressure to transmit a signal.

Ｅ５．その他：
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。 E5. others:
The present disclosure is not limited to the above-described embodiment, and can be realized by various configurations within a range not deviating from the gist thereof. For example, the technical features in the embodiments corresponding to the technical features in each embodiment described in the column of the outline of the invention are for solving a part or all of the above-mentioned problems, or one of the above-mentioned effects. It is possible to replace or combine as appropriate to achieve the part or all. Further, if the technical feature is not described as essential in the present specification, it can be appropriately deleted.

１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…移動機構、２６…液体吐出ヘッド、３２…流路基板、３４…圧力室基板、３６…振動板、３６ｄ…振動板、３８…圧電アクチュエーター、３８ｂ…圧電アクチュエーター、３８ｃ…圧電アクチュエーター、３８ｄ…圧電アクチュエーター、４２…筐体部、４４…封止体、４６…ノズル板、４８…吸振体、５０…配線基板、５１…第１電極、５１ｄ…第１電極、５２…圧電体層、５２ｄ…圧電体層、５３…第２電極、５３ｃ…第２電極、５３ｄ…第２電極、５４…第１保護膜、５５…第２保護膜、５６…配線、５６ｄ…配線、６０…金属層、６１…基体、６２…素子アレイ、６８ａ…端子アレイ、６８ｂ…第２端子アレイ、６９…共通電極端子、７０…個別電極端子、８１…超音波診断装置、８２…装置端末、８３…超音波プローブ、８４…ケーブル、８５…本体部、８６…プローブヘッド、９０…超音波センサー、１００…液体吐出装置、２４２…キャリッジ、２４４…ベルト、３２２…開口部、３２４…供給流路、３２６…連通流路、３２８…中継流路、３４２…開口部、３６１…第１膜、３６２…第２膜、４２２…収容部、４２４…導入口、Ａ１…第１領域、Ａ１０…領域、Ａ１０ｂ…領域、Ａ１ｂ…第１領域、Ａ２…第２領域、Ａ２ｂ…領域、Ａｒ…範囲、Ｃｈ…圧力室、Ｅａ１…端部、Ｅａ２…端部、Ｅｂ１…端部、Ｅｂ２…端部、Ｅｃ１…端部、Ｅｃ２…端部、Ｅｅ２…端部、Ｈ１…コンタクトホール、Ｎｚ…ノズル、Ｐｅ…圧電素子、Ｐｅ４…圧電素子、Ｒｓ…液体貯留室、ＶＣＯＭ…共通電圧、Ｖｂｓ…基準電圧、Ｖｄｒ…駆動信号、Ｖｒ…受信信号、ｃ１…端部、ｃ２…端部 12 ... medium, 14 ... liquid container, 20 ... control unit, 22 ... transfer mechanism, 24 ... moving mechanism, 26 ... liquid discharge head, 32 ... flow path substrate, 34 ... pressure chamber substrate, 36 ... vibrating plate, 36d ... vibration Plate, 38 ... Piezoelectric actuator, 38b ... Piezoelectric actuator, 38c ... Piezoelectric actuator, 38d ... Piezoelectric actuator, 42 ... Case, 44 ... Sealed body, 46 ... Nozzle plate, 48 ... Vibration absorber, 50 ... Wiring board, 51 ... 1st electrode, 51d ... 1st electrode, 52 ... Piezoelectric layer, 52d ... Piezoelectric layer, 53 ... 2nd electrode, 53c ... 2nd electrode, 53d ... 2nd electrode, 54 ... 1st protective film, 55 ... 2nd protective film, 56 ... wiring, 56d ... wiring, 60 ... metal layer, 61 ... substrate, 62 ... element array, 68a ... terminal array, 68b ... second terminal array, 69 ... common electrode terminal, 70 ... individual electrode terminal , 81 ... Ultrasonic diagnostic device, 82 ... Device terminal, 83 ... Ultrasonic probe, 84 ... Cable, 85 ... Main body, 86 ... Probe head, 90 ... Ultrasonic sensor, 100 ... Liquid discharge device, 242 ... Carriage, 244 ... belt, 322 ... opening, 324 ... supply flow path, 326 ... communication flow path, 328 ... relay flow path, 342 ... opening, 361 ... first film, 362 ... second film, 422 ... accommodating section, 424 ... Inlet port, A1 ... 1st region, A10 ... region, A10b ... region, A1b ... 1st region, A2 ... 2nd region, A2b ... region, Ar ... range, Ch ... pressure chamber, Ea1 ... end, Ea2 ... end Part, Eb1 ... end, Eb2 ... end, Ec1 ... end, Ec2 ... end, Ee2 ... end, H1 ... contact hole, Nz ... nozzle, Pe ... piezoelectric element, Pe4 ... piezoelectric element, Rs ... liquid storage Chamber, VCOM ... common voltage, Vbs ... reference voltage, Vdr ... drive signal, Vr ... received signal, c1 ... end, c2 ... end

Claims (7)

液体を収容する圧力室と、前記圧力室の壁面を構成する振動板と、前記圧力室に収容されていた液体を吐出するノズルと、前記振動板の一方の側に配置された圧電素子と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記圧電素子は、
電圧を印加されて変形する圧電体層と、
前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と、
前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と、を備え、
前記液体吐出ヘッドは、
前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備え、
前記配線と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極の面方向と垂直な向きにおいて前記配線が前記第２電極または前記圧電体層のいずれとも重ならない第１領域に、前記第１電極と電気的に接続されていない金属層を有し、
前記金属層と前記配線との間に第１保護膜を備える、液体吐出ヘッド。 A pressure chamber for accommodating a liquid, a diaphragm constituting the wall surface of the pressure chamber, a nozzle for discharging the liquid contained in the pressure chamber, and a piezoelectric element arranged on one side of the diaphragm. Is a liquid discharge head equipped with
The piezoelectric element is
A piezoelectric layer that deforms when a voltage is applied,
A first electrode located between the diaphragm and the piezoelectric layer and arranged on one surface of the piezoelectric layer,
A second electrode disposed on the other surface of the piezoelectric layer.
The liquid discharge head is
It is connected to the second electrode and includes wiring extending along the plane direction of the piezoelectric layer.
The region between the wiring and the diaphragm, wherein the wiring does not overlap with either the second electrode or the piezoelectric layer in a direction perpendicular to the plane direction of the second electrode. It has a metal layer that is not electrically connected to the first electrode,
A liquid discharge head provided with a first protective film between the metal layer and the wiring . 請求項１記載の液体吐出ヘッドであって、
前記金属層は、前記第１電極と同じ材料で構成される、液体吐出ヘッド。 The liquid discharge head according to claim 1.
The metal layer is a liquid discharge head made of the same material as the first electrode. 前記第１保護膜は絶縁性を有する、請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid discharge head according to claim 1 or 2, wherein the first protective film has an insulating property. 前記第２電極の面方向と垂直な向きにおいて、前記第２電極と前記金属層とは重ならない、請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid discharge head according to any one of claims 1 to 3, wherein the second electrode and the metal layer do not overlap with each other in a direction perpendicular to the surface direction of the second electrode. 前記第２電極と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極のうち前記配線が延伸する方向側の端部と前記振動板との間の第２領域には、絶縁材料のみが備えられる、請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 In the region between the second electrode and the diaphragm, in the second region between the end of the second electrode on the direction side in which the wiring extends and the diaphragm, only the insulating material is used. The liquid discharge head according to any one of claims 1 to 4, wherein the liquid discharge head is provided. 請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備える、液体吐出装置。 A liquid discharge device comprising the liquid discharge head according to any one of claims 1 to 5 . 振動板と、前記振動板の一方の側に配置された圧電素子と、を備える圧電デバイスであって、
前記圧電素子は、
電圧を印加されて変形する圧電体層と、
前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と、
前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と、を備え、
前記圧電デバイスは、
前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備え、
前記配線と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極の面方向と垂直な向きにおいて前記配線が前記第２電極または前記圧電体層のいずれとも重ならない第１領域に、前記第１電極と電気的に接続されていない金属層を有し、
前記金属層と前記配線との間に第１保護膜を備える、圧電デバイス。 A piezoelectric device comprising a diaphragm and a piezoelectric element arranged on one side of the diaphragm.
The piezoelectric element is
A piezoelectric layer that deforms when a voltage is applied,
A first electrode located between the diaphragm and the piezoelectric layer and arranged on one surface of the piezoelectric layer,
A second electrode disposed on the other surface of the piezoelectric layer.
The piezoelectric device is
It is connected to the second electrode and includes wiring extending along the plane direction of the piezoelectric layer.
The region between the wiring and the diaphragm, wherein the wiring does not overlap with either the second electrode or the piezoelectric layer in a direction perpendicular to the plane direction of the second electrode. It has a metal layer that is not electrically connected to the first electrode,
A piezoelectric device comprising a first protective film between the metal layer and the wiring .
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