JP7059105B2 - Data processing equipment, data processing methods, programs, and data processing systems - Google Patents

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Description

データ処理装置、データ処理方法、プログラム、およびデータ処理システムに関する。 Data processing equipment, data processing methods, programs, and data processing systems.

従来、企業がインターネットなどのネットワーク通信により、遠隔から自社製品である装置のサポートサービスを提供することが行われている。遠隔から複数の装置をサポートするためには、サポートサービス実施拠点へサポートに必要な装置データを送信する必要がある。サポートに必要なデータは、サポートの目的によって異なるため、目的に応じて優先的に送信すべきデータが存在することとなる。 Conventionally, companies have been providing support services for devices that are their own products remotely by network communication such as the Internet. In order to remotely support multiple devices, it is necessary to send the device data required for support to the support service implementation base. Since the data required for support differs depending on the purpose of support, there is data that should be sent preferentially according to the purpose.

特許文献１の設備保全計画支援システムでは、各設備の過去の運行状況を運行データとして収集し、その設備が運行の際に環境に与える影響を環境負荷性能として診断した結果に基づき、保全すべき設備の優先順位を提示している。特許文献２の通信制御装置は、優先度が低い順にサービスを特定可能な情報を並べた廃棄リストを生成し、通信データの流量を制御している。これにより、通信ネットワークにより接続された複数の拠点間を接続するネットワークの通信品質が低下した際にサービスの品質を安定的に保っている。 In the equipment maintenance plan support system of Patent Document 1, the past operation status of each equipment should be collected as operation data, and maintenance should be performed based on the result of diagnosing the influence of the equipment on the environment during operation as environmental load performance. It presents the priority of equipment. The communication control device of Patent Document 2 generates a disposal list in which information that can identify a service is arranged in ascending order of priority, and controls the flow rate of communication data. As a result, the quality of service is kept stable when the communication quality of the network connecting a plurality of bases connected by the communication network deteriorates.

特開２００９－１８１２６９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-181269 特許第５９１５８２０号Patent No. 5915820

しかしながら、特許文献１および特許文献２の発明では、サポートの目的と現在の装置等の稼動状態の両方を考慮していないため、サポートに必要な適切なデータが送信されない場合がありうる。 However, in the inventions of Patent Document 1 and Patent Document 2, since both the purpose of the support and the operating state of the current device or the like are not taken into consideration, appropriate data necessary for the support may not be transmitted.

本発明は、例えば、適切なデータ送信の点で有利なデータ処理装置を提供することを目的とする。 It is an object of the present invention to provide, for example, a data processing apparatus which is advantageous in terms of appropriate data transmission.

上記課題を解決するために、本発明は、リソグラフィ装置と通信可能に接続され、リソグラフィ装置からのデータをネットワークを介して送信するデータ処理装置であって、リソグラフィ装置の稼動状態を判断して稼動状態を取得する判断部と、ネットワークの通信速度を取得する取得部と、判断部により取得された稼動状態、取得部により取得された通信速度、及びデータの優先度に基づいて送信するデータを決定する決定部と、を備え、優先度は、リソグラフィ装置からデータを受信する目的毎、及びリソグラフィ装置の稼動状態毎に予め定められる、ことを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention is a data processing device that is communicably connected to a lithography device and transmits data from the lithography device via a network, and operates by determining the operating state of the lithography device. The judgment unit that acquires the status, the acquisition unit that acquires the communication speed of the network, the operating status acquired by the determination unit, the communication speed acquired by the acquisition unit , and the data to be transmitted are determined based on the priority of the data. It is characterized in that the determination unit is provided, and the priority is predetermined for each purpose of receiving data from the lithography apparatus and for each operating state of the lithography apparatus .

本発明によれば、例えば、適切なデータ送信の点で有利なデータ処理装置を提供することができる。 According to the present invention, for example, it is possible to provide a data processing apparatus which is advantageous in terms of appropriate data transmission.

第１実施形態に係るデータ処理装置を含むデータ処理システムの概略構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the schematic structure of the data processing system including the data processing apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る判断部により把握された各装置の稼動状態を示す基準表の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the reference table which shows the operating state of each apparatus grasped by the determination part which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る目的別優先度基準表の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the priority standard table by purpose which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る通信速度による優先度基準表の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the priority standard table by the communication speed which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る優先度を含む全送信データリストの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the all transmission data list including the priority which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る装置データの送信処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the transmission process of the apparatus data which concerns on 1st Embodiment. 第２実施形態に係る目的別優先度基準表の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the priority standard table by purpose which concerns on 2nd Embodiment. 第２実施形態に係る優先度が示された全送信データリストの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the all transmission data list which showed the priority which concerns on 2nd Embodiment. 第３実施形態に係る判断部により把握された各装置の稼動状態およびエラー状態を示す基準表の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the standard table which shows the operation state and the error state of each apparatus grasped by the determination part which concerns on 3rd Embodiment. 第３実施形態に係る目的別優先度基準表の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the priority standard table by purpose which concerns on 3rd Embodiment. 第３実施形態に係る優先度が示された全送信データリストの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the all transmission data list which showed the priority which concerns on 3rd Embodiment.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳しく説明する。
〔第１実施形態〕 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[First Embodiment]

図１は、第１実施形態に係るデータ処理装置を含むデータ処理システムの概略構成の一例を示す図である。図１では、サポートサービス実施拠点から、サポートサービス実施拠点とは異なる拠点Ｐに設置されている複数のリソグラフィ装置のリモートサポートを行うためのデータ処理システム１を示している。本実施形態に係るデータ処理方法は、プログラムとしてコンピュータに実行されうる。データ処理システム１は、装置１００と、データ処理装置としてのサーバ１０１と、を含みうる。複数の装置１００は、基板上にパターンを形成する露光装置やインプリント装置等のリソグラフィ装置である。なお、基板上に平坦化層を形成する平坦化層形成装置であっても良い。複数の装置１００は、拠点Ｐに設置されている。複数の装置１００は、サーバ１０１とＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）などの専用回線を用いたネットワーク、一般回線を用いたネットワークまたは、無線通信によるネットワーク等で接続されている。装置１００とサーバ１０１とは、通信可能に接続される。 FIG. 1 is a diagram showing an example of a schematic configuration of a data processing system including the data processing apparatus according to the first embodiment. FIG. 1 shows a data processing system 1 for performing remote support from a support service implementation base to a plurality of lithography devices installed at a base P different from the support service implementation base. The data processing method according to this embodiment can be executed on a computer as a program. The data processing system 1 may include a device 100 and a server 101 as a data processing device. The plurality of devices 100 are lithography devices such as an exposure device and an imprint device that form a pattern on a substrate. In addition, a flattening layer forming apparatus for forming a flattening layer on a substrate may be used. The plurality of devices 100 are installed at the base P. The plurality of devices 100 are connected to the server 101 by a network using a dedicated line such as a LAN (Local Area Network), a network using a general line, a network by wireless communication, or the like. The device 100 and the server 101 are communicably connected.

サーバ１０１は、バーチャル・プライベート・ネットワーク（以下、「ＶＰＮ」と称する場合がある）などのインターネット回線を介し、サポートサービス実施拠点にある受信クライアント１０９と接続されている。サーバ１０１は、予め設定された、受信クライアント１０９が装置１００からデータを受信の目的（受信の目的）に応じた装置１００のデータ（装置データ１１０）を受信クライアント１０９へ送信する。以降、単に「データ」という場合、装置データ１１０を指すものとする。なお、サーバ１０１は、受信クライアント１０９からの要求に応じ、受信の目的を設定しても良い。この場合、受信クライアント１０９は、各装置１００に対して実施するサポートサービスに応じて、受信の目的を決定し、サーバ１０１へ送信する。サーバ１０１は、受信クライアント１０９から、受信の目的に関する情報を受信し、データを受信の目的に応じた装置１００のデータを受信クライアント１０９へ送信する。 The server 101 is connected to the receiving client 109 at the support service implementation base via an Internet line such as a virtual private network (hereinafter, may be referred to as “VPN”). The server 101 transmits preset data (device data 110) of the device 100 according to the purpose of receiving data (device data 110) from the device 100 to the receiving client 109. Hereinafter, the term "data" simply refers to the device data 110. The server 101 may set the purpose of reception in response to a request from the receiving client 109. In this case, the receiving client 109 determines the purpose of reception according to the support service provided to each device 100, and transmits the reception to the server 101. The server 101 receives information regarding the purpose of reception from the receiving client 109, and transmits the data of the device 100 according to the purpose of receiving to the receiving client 109.

サーバ１０１は、判断部１０２、通信速度取得部１０３、格納部１０８、および、送信データ決定部１０７を備えうる。判断部１０２は、各装置１００が設置動作を実施している状態であるか、メンテナンス動作を実施している状態であるか、または、デバイスの製造を実施している状態であるかなどの稼動状態を判断し、基準表を生成し、送信データ決定部１０７へ提供する。なお、以降、設置動作を実施している状態を「設置中」、メンテナンス動作を実施している状態を「メンテナンス中」、デバイスの製造を実施している状態を「生産中」という。図２は、第１実施形態に係る判断部１０２により判断された各装置１００の稼動状態を示す基準表の一例を示す図である。判断部１０２により生成される基準表では、例えば、装置＃１の状態は「生産中」、装置＃２も「生産中」、装置＃３は「メンテナンス中」、装置＃４は「生産中」、装置＃５は「設置中」のように、装置１００それぞれの現在の稼動状態が示されている。以降、図２に示す基準表を基準表Ａという。判断部１０２は、例えば、装置１００のデバイスの製造速度や、操作状況などから稼動状態を判断する。なお、判断部１０２は、例えば、装置１００または受信クライアント１０９に入力された稼動状態に関する情報から装置１００の稼動状態を判断しても良い。 The server 101 may include a determination unit 102, a communication speed acquisition unit 103, a storage unit 108, and a transmission data determination unit 107. The determination unit 102 operates such as whether each device 100 is in the state of performing the installation operation, the state of performing the maintenance operation, or the state of performing the manufacturing of the device. The state is determined, a reference table is generated, and the reference table is provided to the transmission data determination unit 107. Hereinafter, the state in which the installation operation is being carried out is referred to as "installing", the state in which the maintenance operation is being carried out is referred to as "maintenance in progress", and the state in which the device is being manufactured is referred to as "in production". FIG. 2 is a diagram showing an example of a reference table showing an operating state of each device 100 determined by the determination unit 102 according to the first embodiment. In the reference table generated by the determination unit 102, for example, the state of the device # 1 is "in production", the device # 2 is also "in production", the device # 3 is "under maintenance", and the device # 4 is "in production". , Device # 5 shows the current operating state of each device 100, such as "Installing". Hereinafter, the reference table shown in FIG. 2 is referred to as reference table A. The determination unit 102 determines the operating state from, for example, the manufacturing speed of the device of the device 100, the operation status, and the like. The determination unit 102 may determine the operating state of the device 100 from the information regarding the operating state input to the device 100 or the receiving client 109, for example.

通信速度取得部１０３は、サーバ１０１、受信クライアント１０９間のデータ転送時間から通信速度を取得し、送信データ決定部１０７へ提供する。 The communication speed acquisition unit 103 acquires the communication speed from the data transfer time between the server 101 and the receiving client 109 and provides it to the transmission data determination unit 107.

格納部１０８には、目的別優先度基準表１０４、通信速度による優先度基準表１０５、および、全送信データリスト１０６などの受信クライアント１０９へ送信するデータを決定するための優先度に関する情報が格納される。目的別優先度基準表１０４は、装置１００の稼働状態および受信の目的に対応した、データそれぞれの送信優先度を示す。図３は、第１実施形態に係る目的別優先度基準表１０４の一例を示す図である。図３（Ａ）は、装置１００の稼動状態が「生産中」で、データを受信する目的が「トラブルシューティング」である場合の目的別優先度基準表１０４の一例である。本図において、各データ種類の横に示される数字は、受信クライアント１０９へのデータ送信の優先度を示している。例えば、トラブルシューティングのように、緊急対応としてスポット的に装置データが要求される場面においては、すべてのデータ種類が高優先度に設定される。 The storage unit 108 stores information on priorities for determining data to be transmitted to the receiving client 109, such as the purpose-specific priority reference table 104, the priority reference table 105 according to the communication speed, and the all transmission data list 106. Will be done. The purpose-specific priority reference table 104 shows the transmission priority of each data corresponding to the operating state of the device 100 and the purpose of reception. FIG. 3 is a diagram showing an example of the purpose-specific priority standard table 104 according to the first embodiment. FIG. 3A is an example of the purpose-specific priority standard table 104 when the operating state of the device 100 is “in production” and the purpose of receiving data is “troubleshooting”. In this figure, the numbers shown next to each data type indicate the priority of data transmission to the receiving client 109. For example, in a situation where device data is required spot-on as an emergency response, such as troubleshooting, all data types are set to high priority.

一方、図３（Ｂ）乃至（Ｄ）は、データを受信する目的が「稼働率モニタリング」である場合の目的別優先度基準表１０４の一例である。ここで、稼働率モニタリングのためのデータ受信は、一定サイクルで定常的に装置データを受信する形式を想定している。なお、以降、図３（Ａ）乃至（Ｄ）のに示す基準表を総称して基準表Ｂという。図３（Ｂ）では、装置１００の稼動状態が「生産中」の場合の送信優先度を示している。同様に図３（Ｃ）は、装置１００の稼動状態が「メンテナンス中」の場合、図３（Ｄ）は装置１００の稼動状態が「設置中」の場合の送信優先度を示している。受信の目的が「稼働率モニタリング」であるため、設置中は各装置データの優先度が低く、生産中は各装置データの優先度がより高くなるように設定されている。基準表Ｂにおいて、装置１００の稼動状態によって各装置データの優先度は個別に設定される。なお、ここでは、受信の目的の一例として、「トラブルシューティング」と「稼働率モニタリング」例示したが、これらに限られず、例えば、新たな受信の目的が受信クライアント１０９から入力されても良い。 On the other hand, FIGS. 3 (B) to 3 (D) are examples of the purpose-specific priority standard table 104 when the purpose of receiving the data is “availability monitoring”. Here, the data reception for operating rate monitoring assumes a format in which device data is constantly received in a fixed cycle. Hereinafter, the reference tables shown in FIGS. 3 (A) to 3 (D) are collectively referred to as a reference table B. FIG. 3B shows the transmission priority when the operating state of the apparatus 100 is “in production”. Similarly, FIG. 3C shows the transmission priority when the operating state of the device 100 is “under maintenance”, and FIG. 3D shows the transmission priority when the operating state of the device 100 is “installing”. Since the purpose of reception is "availability monitoring", the priority of each device data is set to be low during installation, and the priority of each device data is set to be higher during production. In the reference table B, the priority of each device data is individually set according to the operating state of the device 100. Here, "troubleshooting" and "availability monitoring" are exemplified as examples of the purpose of reception, but the present invention is not limited to these, and for example, a new purpose of reception may be input from the receiving client 109.

図４は、第１実施形態に係る通信速度による優先度基準表１０５の一例を示す図である。通信速度による優先度基準表１０５は、サーバ１０１、受信クライアント１０９間における通信速度と装置データの優先度とを対応させた基準表である。なお、以降、図４に示す基準表Ｃという。図４に示す例では、通信速度取得部１０３により取得された通信速度が３００ＫＢ／ｓｅｃ未満であった場合は、優先度が「８」以上の装置データを送信対象とすることを示している。同様に３００～５００ＫＢ／ｓｅｃは優先度「５」以上、５００～８００ＫＢ／ｓｅｃは優先度「３」以上、８００ＫＢ／ｓｅｃ以上の通信速度の場合は、すべての装置データを送信対象とすることを示している。全送信データリスト１０６は、受信クライアント１０９が各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要な装置データをすべて列挙したものである。即ち、受信の目的に対応する必要な装置データの情報である。 FIG. 4 is a diagram showing an example of the priority reference table 105 according to the communication speed according to the first embodiment. The priority standard table 105 based on the communication speed is a standard table in which the communication speed between the server 101 and the receiving client 109 and the priority of the device data are associated with each other. Hereinafter, it is referred to as a reference table C shown in FIG. In the example shown in FIG. 4, when the communication speed acquired by the communication speed acquisition unit 103 is less than 300 KB / sec, it is shown that the device data having a priority of "8" or higher is to be transmitted. Similarly, if the communication speed is 300 to 500 KB / sec with a priority of "5" or higher, 500 to 800 KB / sec with a priority of "3" or higher, and a communication speed of 800 KB / sec or higher, all device data should be transmitted. Shows. The all transmission data list 106 is a list of all the device data required for the support service performed by the receiving client 109 for each device 100. That is, it is information on necessary device data corresponding to the purpose of reception.

送信データ決定部１０７は、受信クライアント１０９が各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要な全ての装置データ（全送信データリスト１０６）から、各基準表の情報に基づき、受信クライアント１０９へ送信する装置データを決定する。送信データ決定部１０７は、インターネットを介して、受信クライアント１０９へ送信対象の装置データを送信する。 The transmission data determination unit 107 transmits from all the device data (all transmission data list 106) required for the support service performed by the reception client 109 to each device 100 to the reception client 109 based on the information in each reference table. Determine the device data to be used. The transmission data determination unit 107 transmits the device data to be transmitted to the receiving client 109 via the Internet.

具体的には、送信データ決定部１０７は、基準表Ａから対象となる装置１００の稼動状態を把握し、対象となる装置１００の稼動状態に対応する基準表Ｂを選択する。送信データ決定部１０７は、対応する基準表Ｂに基づいて各装置データの送信優先度を決定し、優先度を含む、全送信データリスト１０６を生成する。図５は、第１実施形態に係る優先度を含む全送信データリスト１０６の一例を示す図である。図５（Ａ）に示す全送信データリスト１０６には、受信クライアント１０９が各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要な装置データがすべて列挙され、各装置データに対応する優先度が含まれている。送信データ決定部１０７は、必要な装置データのデータ種類が決定したら、さらに基準表Ｃに基づき、通信速度に応じて送信対象とする装置データを決定する。例えば、この時、通信速度が２９０ＫＢ／ｓｅｃだったとする。図４に示す基準表Ｃによれば、優先度「８」以上の装置データが送信対象となる。よって、送信データ決定部１０７は、図５（Ｂ）に示すように、優先度が「８」以上の装置データのみの送信を決定する。送信対象として選択されなかった装置データに関しては削除されても良いし、次の送信タイミングにて、再び優先度判断されても良い。 Specifically, the transmission data determination unit 107 grasps the operating state of the target device 100 from the reference table A, and selects the reference table B corresponding to the operating state of the target device 100. The transmission data determination unit 107 determines the transmission priority of each device data based on the corresponding reference table B, and generates a total transmission data list 106 including the priority. FIG. 5 is a diagram showing an example of the total transmission data list 106 including the priority according to the first embodiment. The all transmission data list 106 shown in FIG. 5A enumerates all the device data required for the support service performed by the receiving client 109 for each device 100, and includes the priority corresponding to each device data. ing. After the data type of the necessary device data is determined, the transmission data determination unit 107 further determines the device data to be transmitted according to the communication speed based on the reference table C. For example, at this time, it is assumed that the communication speed is 290 KB / sec. According to the reference table C shown in FIG. 4, device data having a priority of “8” or higher is to be transmitted. Therefore, as shown in FIG. 5B, the transmission data determination unit 107 determines transmission of only device data having a priority of “8” or higher. The device data that has not been selected as the transmission target may be deleted, or the priority may be determined again at the next transmission timing.

図６は、第１実施形態に係る装置データの送信処理を示すフローチャートである。このフローチャートで示す各動作（ステップ）は、送信データ決定部１０７よって実行されうる。ステップＳ２０１では、設定された受信の目的に応じて、各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要なデータをすべて列挙し、送信すべきデータを確定する。即ち、全送信データリスト１０６を生成して、格納部１０８に格納する。ステップＳ２０２では、判断部１０２は、各装置１００の稼動状態を判断し、基準表Ａを生成して、送信データ決定部１０７に各装置１００の稼動状態を提供する。ステップＳ２０３では、通信速度取得部１０３は、サーバ１０１と受信クライアント１０９間のデータ転送時間から通信速度を取得し、送信データ決定部１０７へ提供する。 FIG. 6 is a flowchart showing a transmission process of device data according to the first embodiment. Each operation (step) shown in this flowchart can be executed by the transmission data determination unit 107. In step S201, all the data necessary for the support service to be performed for each device 100 is listed according to the set purpose of reception, and the data to be transmitted is determined. That is, the all transmission data list 106 is generated and stored in the storage unit 108. In step S202, the determination unit 102 determines the operating state of each device 100, generates the reference table A, and provides the transmission data determination unit 107 with the operating state of each device 100. In step S203, the communication speed acquisition unit 103 acquires the communication speed from the data transfer time between the server 101 and the receiving client 109 and provides it to the transmission data determination unit 107.

ステップＳ２０４では、送信データ決定部１０７は、予め設定された目的別優先度基準表１０４（基準表Ｂ）に基づき、全送信データの優先度を決定する。ステップＳ２０５では、ステップＳ２０３にて通信速度の提供を受けた送信データ決定部１０７が、予め設定された通信速度による優先度基準表１０５に基づき、送信対象とする優先度を決定する。ステップＳ２０６では、送信データ決定部１０７は、優先度が示された全送信データリスト１０６の中から、ステップＳ２０５で決定した、送信対象となる優先度に応じて、装置データを選択し、送信すべき装置データを決定する。ステップＳ２０７では、送信データ決定部１０７は、決定した装置データを各装置１００から取得し、受信クライアント１０９へ装置データを送信する。 In step S204, the transmission data determination unit 107 determines the priority of all transmission data based on the preset priority reference table 104 for each purpose (reference table B). In step S205, the transmission data determination unit 107 provided with the communication speed in step S203 determines the priority to be transmitted based on the priority reference table 105 based on the preset communication speed. In step S206, the transmission data determination unit 107 selects and transmits device data from all the transmission data lists 106 whose priorities are shown, according to the priority to be transmitted determined in step S205. Determine the device data to be used. In step S207, the transmission data determination unit 107 acquires the determined device data from each device 100 and transmits the device data to the receiving client 109.

このデータ処理装置によれば、通信速度が不十分な状態になった場合でも、装置１００の稼動状態に応じ、受信の目的に沿った、適切な装置データが送信対象として選択される。これにより、サポートサービス実施拠点において、その時実施し得る最大限のサポートサービスを実施することが可能となる。 According to this data processing device, even when the communication speed becomes insufficient, appropriate device data according to the purpose of reception is selected as a transmission target according to the operating state of the device 100. This makes it possible to provide the maximum support service that can be provided at that time at the support service implementation base.

なお、本実施形態に示した各基準表は、受信クライアント１０９からの要求に応じ、更新されても良い。例えば、受信クライアント１０９が備える入力部から、各基準表が更新されても良い。 Each reference table shown in this embodiment may be updated in response to a request from the receiving client 109. For example, each reference table may be updated from the input unit included in the receiving client 109.

（第２実施形態）
以下、本発明の第２実施形態に係るデータ処理装置について説明する。第２実施形態として言及しない事項は、第１実施形態に従う。第２実施形態では、一つの目的別優先度基準表１０４で、複数の受信の目的を示す。 (Second Embodiment)
Hereinafter, the data processing apparatus according to the second embodiment of the present invention will be described. Matters not mentioned as the second embodiment follow the first embodiment. In the second embodiment, one purpose-specific priority standard table 104 shows a plurality of reception purposes.

図７は、第２実施形態に係る目的別優先度基準表１０４の一例を示す図である。図７（Ａ）は、装置の稼動状態が「生産中」であって、受信の目的が「トラブルシューティング」、「稼動率モニタリング」、「精度検討」、「光学劣化診断」、「ゴミ検知」および「故障診断」などの複数の目的を示している。本実施形態に係る目的別優先度基準表１０４では、複数の受信の目的のそれぞれにデータ種類の優先度を設定している。同様に図７（Ｂ）は、装置１００の稼動状態が「メンテナンス中」の場合、図７（Ｃ）は、装置１００の稼動状態が「設置中」の場合の目的別優先度基準表１０４である。装置１００の稼動状態と受信の目的によりデータ種類の優先度が異なっている。なお、以降、図７（Ａ）乃至（Ｃ）のに示す基準表を総称して基準表Ｄという。 FIG. 7 is a diagram showing an example of the purpose-specific priority standard table 104 according to the second embodiment. In FIG. 7A, the operating state of the device is "in production", and the purpose of reception is "troubleshooting", "availability monitoring", "accuracy examination", "optical deterioration diagnosis", and "dust detection". And it shows multiple purposes such as "fault diagnosis". In the purpose-specific priority standard table 104 according to the present embodiment, the priority of the data type is set for each of the plurality of reception purposes. Similarly, FIG. 7 (B) shows the purpose-specific priority standard table 104 when the operating state of the device 100 is “under maintenance” and FIG. 7 (C) shows the case where the operating state of the device 100 is “installing”. be. The priority of the data type differs depending on the operating state of the device 100 and the purpose of reception. Hereinafter, the reference tables shown in FIGS. 7 (A) to 7 (C) are collectively referred to as a reference table D.

送信データ決定部１０７は、基準表Ａから対象となる装置の装置１００の稼動状態を把握する。そして、送信データ決定部１０７は、対象となる装置１００の稼動状態に対応する基準表Ｄを選択し、データ種類別の優先度を決定する。図８は、第２実施形態に係る優先度が示された全送信データリスト１０６の一例を示す図である。図８（Ａ）に示す全送信データリスト１０６には、受信クライアント１０９が各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要な装置データがすべて列挙され、各装置データに対応する優先度が示されている。 The transmission data determination unit 107 grasps the operating state of the device 100 of the target device from the reference table A. Then, the transmission data determination unit 107 selects the reference table D corresponding to the operating state of the target device 100, and determines the priority for each data type. FIG. 8 is a diagram showing an example of the total transmission data list 106 showing the priority according to the second embodiment. The all transmission data list 106 shown in FIG. 8A lists all the device data required for the support service performed by the receiving client 109 for each device 100, and shows the priority corresponding to each device data. ing.

次に、送信データ決定部１０７は、基準表Ｃに基づき、通信速度に応じて、送信対象とする優先度を決定し、送信すべきデータを決定する。例えば、この時、通信速度が３５０ＫＢ／ｓｅｃだった場合、基準表Ｃによれば優先度「５」以上の装置データが送信対象となり、図８（Ｂ）に示すように、優先度が「５」以上の装置データのみの送信を決定する。本実施形態では、例えば、装置＃３では、同じデータ種類であるリアルタイムログを、異なる受信の目的である「稼働率モニタリング」と「精度検討」でそれぞれ送信対象としている。ここでは、送信する優先度は通信速度から「５」以上と決定しているため、リアルタイムログは、「稼働率モニタリング」の目的では送信されない。しかし、「精度検討」という受信の目的の観点では送信対象となるため、結果としてリアルタイムログは送信されることとなる。このように複数の受信の目的に基づき、送信対象となる装置データを決定しても良い。 Next, the transmission data determination unit 107 determines the priority to be transmitted according to the communication speed based on the reference table C, and determines the data to be transmitted. For example, at this time, if the communication speed is 350 KB / sec, the device data having the priority "5" or higher is the transmission target according to the reference table C, and the priority is "5" as shown in FIG. 8 (B). "Determine to send only the above device data. In the present embodiment, for example, in device # 3, real-time logs having the same data type are targeted for transmission for different reception purposes, “operation rate monitoring” and “accuracy examination”, respectively. Here, since the priority of transmission is determined to be "5" or higher from the communication speed, the real-time log is not transmitted for the purpose of "availability monitoring". However, since it is a transmission target from the viewpoint of the purpose of reception of "accuracy examination", the real-time log is transmitted as a result. In this way, the device data to be transmitted may be determined based on a plurality of reception purposes.

本実施形態によれば、複数の受信の目的に応じて送信データを決定すること可能となり、より適切な装置データを送信することが可能となる。 According to the present embodiment, it is possible to determine the transmission data according to the purpose of a plurality of receptions, and it is possible to transmit more appropriate device data.

（第３実施形態）
以下、本発明の第３実施形態に係るデータ処理装置について説明する。第３実施形態として言及しない事項は、第１実施形態、および、第２実施形態に従う。本実施形態では、さらに、装置１００のエラー状態に基づき、送信する装置データを決定する。 (Third Embodiment)
Hereinafter, the data processing apparatus according to the third embodiment of the present invention will be described. Matters not mentioned as the third embodiment follow the first embodiment and the second embodiment. In the present embodiment, the device data to be transmitted is further determined based on the error state of the device 100.

図９は、第３実施形態に係る判断部１０２により判断された各装置１００の稼動状態およびエラー状態を示す基準表の一例を示す図である。以降、図９に示す基準表を基準表Ｅという。図９において、装置＃１の稼動状態は「生産中」を、エラー状態は「プロセス精度ばらつき」を示している。ここで、「プロセス精度ばらつき」とは、生産プロセスの精度にばらつきが生じている状態を示している。装置＃３の稼動状態は「メンテナンス中」を、エラー状態は「消耗部品消耗」を示している。ここで、「消耗部品消耗」とは、対象となる装置内の消耗部品が消耗している状態、即ち、消耗部品の交換時期が近づいている状態を示している。装置＃４の稼動状態は「生産中」を、エラー状態は「光学系劣化」を示している。ここで、「光学系劣化」とは、対象となる装置内の光学系が劣化している状態、即ち、光学系の交換時期が近づいている状態を示している。 FIG. 9 is a diagram showing an example of a reference table showing an operating state and an error state of each device 100 determined by the determination unit 102 according to the third embodiment. Hereinafter, the reference table shown in FIG. 9 is referred to as a reference table E. In FIG. 9, the operating state of the device # 1 indicates “in production”, and the error state indicates “process accuracy variation”. Here, the “process accuracy variation” indicates a state in which the accuracy of the production process varies. The operating status of device # 3 indicates "under maintenance", and the error status indicates "consumable parts consumed". Here, "consumable parts consumption" indicates a state in which the consumable parts in the target device are consumed, that is, a state in which the replacement time of the consumable parts is approaching. The operating state of device # 4 indicates "in production", and the error state indicates "optical system deterioration". Here, "deterioration of the optical system" indicates a state in which the optical system in the target device is deteriorated, that is, a state in which the replacement time of the optical system is approaching.

エラー状態とは、例えば、装置１００のプロセス精度にばらつきが生じている状態などの装置１００に異常が生じている状態、または、装置１００の光学系が劣化している状態、もしくは、消耗部品が消耗している状態などの部品の交換が必要な状態である。判断部１０２は、例えば、製造されたデバイスの状態や、装置の総稼働時間などから、エラー状態を判断しても良い。なお、前述のエラー状態は一例であって、これらに限られない。また、以降、「装置の状態」という場合、装置の稼働状態およびエラー状態を含むものとする。 The error state is, for example, a state in which an abnormality has occurred in the device 100, such as a state in which the process accuracy of the device 100 is uneven, a state in which the optical system of the device 100 has deteriorated, or a consumable part. It is in a state where parts need to be replaced, such as when they are worn out. The determination unit 102 may determine the error state from, for example, the state of the manufactured device, the total operating time of the device, and the like. The above-mentioned error state is an example, and is not limited to these. In addition, hereinafter, the term "device status" shall include the operating status and error status of the device.

図１０は、第３実施形態に係る目的別優先度基準表１０４の一例を示す図である。本図では、第２実施形態の基準表Ｄ（図７）と同様、複数の受信の目的別にデータ種類の優先度を示している。図１０（Ａ）は、装置１００の稼動状態が「生産中」の場合の目的別優先度基準表１０４の一例を示している。図１０（Ｂ）は、装置１００のエラー状態が「プロセス精度ばらつき」の場合の目的別優先度基準表１０４の一例を示している。以降、図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）の基準表を総称して基準表Ｆという。 FIG. 10 is a diagram showing an example of the purpose-specific priority standard table 104 according to the third embodiment. In this figure, as in the reference table D (FIG. 7) of the second embodiment, the priority of the data type is shown according to the purpose of the plurality of receptions. FIG. 10A shows an example of the purpose-specific priority reference table 104 when the operating state of the apparatus 100 is “in production”. FIG. 10B shows an example of the purpose-specific priority reference table 104 when the error state of the apparatus 100 is “process accuracy variation”. Hereinafter, the reference tables of FIGS. 10 (A) and 10 (B) are collectively referred to as a reference table F.

送信データ決定部１０７は、基準表Ｅから対象となる装置１００の状態を把握する。送信データ決定部１０７は、対象となる装置１００の稼動状態およびエラー状態に対応する基準表Ｆを選択し、データ種類別の優先度を決定する。図１１は、第３実施形態に係る優先度が示された全送信データリスト１０６の一例を示す図である。図１１（Ａ）に示す全送信データリスト１０６には、受信クライアント１０９が各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要な装置データがすべて列挙され、各装置データに対応する優先度が示されている。 The transmission data determination unit 107 grasps the state of the target device 100 from the reference table E. The transmission data determination unit 107 selects the reference table F corresponding to the operating state and the error state of the target device 100, and determines the priority for each data type. FIG. 11 is a diagram showing an example of the all transmission data list 106 showing the priority according to the third embodiment. The all transmission data list 106 shown in FIG. 11A lists all the device data required for the support service performed by the receiving client 109 for each device 100, and shows the priority corresponding to each device data. ing.

次に、送信データ決定部１０７は、基準表Ｃに基づき、通信速度に応じて、送信対象とする優先度を決定し、送信するデータを決定する。例えば、この時通信速度が７００ＫＢ／ｓｅｃだった場合、基準表Ｃによれば優先度「３」以上の装置データが送信対象となる。よって送信データ決定部１０７は、図１１（Ｂ）に示すように、優先度が「３」以上の装置データの送信を決定する。 Next, the transmission data determination unit 107 determines the priority to be transmitted according to the communication speed based on the reference table C, and determines the data to be transmitted. For example, if the communication speed is 700 KB / sec at this time, according to the reference table C, the device data having the priority “3” or higher is the transmission target. Therefore, as shown in FIG. 11B, the transmission data determination unit 107 determines the transmission of device data having a priority of “3” or higher.

また、例えば、この時、通信速度が２５０ＫＢ／ｓｅｃであり、基準表Ｃによる優先度が「９」であった場合、送信データ決定部１０７は、優先度が「９」以上の装置データのみの送信を決定する。本実施形態では、例えば、装置＃１では、同じデータ種類であるリアルタイムログを、異なる装置の状態である「生産中」と「プロセス精度ばらつき」、異なる受信の目的である「稼働率モニタリング」と「精度検討」、のそれぞれで送信対象としている。ここでは、送信する優先度は通信速度から「９」以上と決定しているため、リアルタイムログは、「生産中」の装置状態、かつ、「稼働率モニタリング」の目的では送信されない。しかし、「プロセス精度ばらつき」の装置状態、かつ、「精度検討」という受信の目的の観点では送信対象となるため、結果としてリアルタイムログは送信されることとなる。 Further, for example, at this time, when the communication speed is 250 KB / sec and the priority according to the reference table C is "9", the transmission data determination unit 107 is only for the device data having the priority "9" or higher. Decide to send. In the present embodiment, for example, in device # 1, real-time logs having the same data type are displayed as "in production" and "process accuracy variation", which are different device states, and "availability monitoring", which is the purpose of different reception. It is targeted for transmission in each of "accuracy examination". Here, since the priority of transmission is determined to be "9" or higher from the communication speed, the real-time log is not transmitted for the purpose of "in production" device status and "availability monitoring". However, since it is a transmission target from the viewpoint of the device state of "process accuracy variation" and the purpose of reception of "accuracy examination", the real-time log is transmitted as a result.

このように、複数の装置の状態に基づき、送信する装置データを決定しても良い。これにより、より適切な装置データが送信対象として選択されることとなり、適切なサポートサービスを実施することが可能となる。 In this way, the device data to be transmitted may be determined based on the states of the plurality of devices. As a result, more appropriate device data will be selected as the transmission target, and appropriate support services can be provided.

なお、同一の装置において、同一のデータ種類が選択された場合は、優先度の高いデータのみの送信を決定しても良い。これにより、重複するデータの送信を回避することができるため、データ送信負荷が軽減されることとなる。 When the same data type is selected in the same device, it may be determined to transmit only the data having a high priority. As a result, it is possible to avoid transmission of duplicate data, so that the data transmission load can be reduced.

（その他の実施形態）
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。 (Other embodiments)
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications can be made within the scope of the gist thereof.

１ データ処理システム
１００ 装置
１０１ サーバ
１０２ 判断部
１０３ 通信速度取得部
１０７ 送信データ決定部
１０８ 格納部

1 Data processing system 100 Device 101 Server 102 Judgment unit 103 Communication speed acquisition unit 107 Transmission data determination unit 108 Storage unit

Claims (11)

リソグラフィ装置と通信可能に接続され、前記リソグラフィ装置からのデータをネットワークを介して送信するデータ処理装置であって、
前記リソグラフィ装置の稼動状態を判断して前記稼動状態を取得する判断部と、
前記ネットワークの通信速度を取得する取得部と、
前記判断部により取得された前記稼動状態、前記取得部により取得された前記通信速度、及び前記データの優先度に基づいて送信するデータを決定する決定部と、を備え、
前記優先度は、前記リソグラフィ装置から前記データを受信する目的毎、及び前記リソグラフィ装置の稼動状態毎に予め定められる、
ことを特徴とするデータ処理装置。 A data processing device that is communicably connected to a lithography device and transmits data from the lithography device via a network.
A determination unit that determines the operating state of the lithography device and acquires the operating state,
An acquisition unit that acquires the communication speed of the network, and
A determination unit for determining data to be transmitted based on the operating state acquired by the determination unit , the communication speed acquired by the acquisition unit, and the priority of the data is provided.
The priority is predetermined for each purpose of receiving the data from the lithographic apparatus and for each operating state of the lithographic apparatus.
A data processing device characterized by that. 前記稼動状態は、設置動作を実施している状態、メンテナンス動作を実施している状態、デバイスの製造を実施している状態を含む、ことを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。 The data processing according to claim 1, wherein the operating state includes a state in which an installation operation is performed, a state in which a maintenance operation is performed, and a state in which a device is manufactured. Device. 前記優先度は、前記リソグラフィ装置から受信する前記データの種類毎に予め定められる、ことを特徴とする請求項１または２に記載のデータ処理装置。 The data processing device according to claim 1 or 2, wherein the priority is predetermined for each type of data received from the lithography device. 前記判断部は、前記リソグラフィ装置のエラー状態を判断して前記エラー状態を取得し、
前記決定部は、前記判断部により取得された前記エラー状態に基づき、前記送信するデータを決定する、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のデータ処理装置。 The determination unit determines the error state of the lithography device , acquires the error state, and obtains the error state .
The data processing apparatus according to any one of claims 1 to 3 , wherein the determination unit determines data to be transmitted based on the error state acquired by the determination unit. 前記エラー状態は、前記リソグラフィ装置のプロセス精度にばらつきが生じている状態、前記リソグラフィ装置の光学系が劣化している状態、および、前記リソグラフィ装置の消耗部品が消耗している状態を含む、ことを特徴とする請求項４に記載のデータ処理装置。 The error state includes a state in which the process accuracy of the lithography device varies, a state in which the optical system of the lithography device is deteriorated, and a state in which consumable parts of the lithography device are consumed. The data processing apparatus according to claim 4, wherein the data processing apparatus is characterized by the above. 前記決定部は、前記通信速度が低くなるほど、高い優先度が定められている情報に基づき、前記送信するデータを決定する、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のデータ処理装置。 The determination unit determines the data to be transmitted based on the information for which the higher the priority is determined as the communication speed becomes lower , according to any one of claims 1 to 5. The data processing device described. 前記リソグラフィ装置の稼動状態、前記リソグラフィ装置のエラー状態、前記ネットワークの通信速度、または、前記受信する目的に対応し、前記優先度に関する情報を格納する格納部をさらに備える、ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のデータ処理装置。 It is characterized by further including a storage unit for storing information regarding the priority according to the operating state of the lithography device, the error state of the lithography device, the communication speed of the network, or the purpose of receiving. The data processing apparatus according to any one of claims 1 to 6. 前記決定部は、前記リソグラフィ装置の稼動状態または前記リソグラフィ装置のエラー状態と、前記受信する目的と、前記優先度に関する情報と、に基づき、前記受信する目的に対応する必要なデータと、前記必要なデータに対応する前記優先度を含む情報を生成する、ことを特徴とすることを特徴とする請求項７に記載のデータ処理装置。 The determination unit is based on the operating state of the lithography device or the error state of the lithography device, the purpose of receiving the information, and the information regarding the priority, and the necessary data corresponding to the purpose of receiving and the necessary data. The data processing apparatus according to claim 7, wherein information including the priority corresponding to the data is generated. リソグラフィ装置からのデータをネットワークを介して送信するデータ処理方法であって、
前記リソグラフィ装置の稼動状態を判断して前記稼動状態を取得する第１工程と、
前記ネットワークの通信速度を取得する第２工程と、
前記第１工程で取得された前記稼動状態、前記第２工程で取得された前記通信速度、及び前記データの優先度に基づいて送信するデータを決定する第３工程と、を有し、
前記優先度は、前記リソグラフィ装置から前記データを受信する目的毎、及び前記リソグラフィ装置の稼動状態毎に予め定められる、
ことを特徴とするデータ処理方法。 It is a data processing method that sends data from a lithography device via a network.
The first step of determining the operating state of the lithography device and acquiring the operating state, and
The second step of acquiring the communication speed of the network and
It has the operating state acquired in the first step, the communication speed acquired in the second step, and a third step of determining data to be transmitted based on the priority of the data.
The priority is predetermined for each purpose of receiving the data from the lithographic apparatus and for each operating state of the lithographic apparatus.
A data processing method characterized by that. リソグラフィ装置からのデータをネットワークを介して送信するデータ処理方法をコンピュータに実行させるプログラムであって、
前記データ処理方法は、
前記リソグラフィ装置の稼動状態を判断して前記稼動状態を取得する第１工程と、
前記ネットワークの通信速度を取得する第２工程と、
前記第１工程で取得された前記稼動状態、前記第２工程で取得された前記通信速度、及び前記データの優先度に基づいて送信するデータを決定する第３工程と、を有し、
前記優先度は、前記リソグラフィ装置から前記データを受信する目的毎、及び前記リソグラフィ装置の稼動状態毎に予め定められる、
ことを特徴とするプログラム。 A program that causes a computer to execute a data processing method that sends data from a lithography device via a network.
The data processing method is
The first step of determining the operating state of the lithography device and acquiring the operating state, and
The second step of acquiring the communication speed of the network and
It has the operating state acquired in the first step, the communication speed acquired in the second step, and a third step of determining data to be transmitted based on the priority of the data.
The priority is predetermined for each purpose of receiving the data from the lithographic apparatus and for each operating state of the lithographic apparatus.
A program characterized by that. リソグラフィ装置と、前記リソグラフィ装置と通信可能に接続されるデータ処理装置とを備え、前記リソグラフィ装置からのデータをネットワークを介して送信するデータ処理システムであって、
前記データ処理装置は、
前記リソグラフィ装置の稼動状態を判断して前記稼動状態を取得する判断部と、
前記ネットワークの通信速度を取得する取得部と、
前記判断部により取得された前記稼動状態、前記取得部により取得された前記通信速度、及び前記データの優先度に基づいて送信するデータを決定する決定部と、を備え、
前記優先度は、前記リソグラフィ装置から前記データを受信する目的毎、及び前記リソグラフィ装置の稼動状態毎に予め定められる、
ことを特徴とするデータ処理システム。 A data processing system including a lithography device and a data processing device communicably connected to the lithography device, and transmitting data from the lithography device via a network.
The data processing device is
A determination unit that determines the operating state of the lithography device and acquires the operating state,
An acquisition unit that acquires the communication speed of the network, and
A determination unit for determining data to be transmitted based on the operating state acquired by the determination unit , the communication speed acquired by the acquisition unit, and the priority of the data is provided.
The priority is predetermined for each purpose of receiving the data from the lithographic apparatus and for each operating state of the lithographic apparatus.
A data processing system characterized by that.
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