JP7049875B2 - 希釈液製造方法および希釈液製造装置 - Google Patents
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Q=(π×D4×ΔP)/(128×μ×L)
という関係で表される。すなわち、ハーゲン・ポアズイユの法則によれば、円管を流れる液体の流量Qが、円管の内径Dの4乗と両端の圧力勾配ΔPとに比例し、円管の長さLと液体の粘性係数μとに反比例する。
次に、具体的な実施例を挙げて、本発明の効果について説明する。
10 希釈液製造装置
11 第1の配管
12a 第1のタンク
12b 第2のタンク
13 第2の配管
14 圧力調整部
14a タンク加圧用ガス供給ライン
14b 給排気機構
15 圧力計
16 接続ライン
17 薬液供給ライン
18 サンプリング配管
20 制御部
21 流量測定手段
22 濃度測定手段
23 圧力測定手段
V1,V5~V7 バルブ
V2 給気バルブ
V3 排気バルブ
V4 大気開放バルブ
Claims (12)
- 第1の液体に対して第2の液体を添加することで該第2の液体の希釈液を製造し、ユースポイントに前記希釈液を供給する希釈液製造方法であって、
第1の配管に前記第1の液体を供給する工程と、
前記第2の液体を貯留するタンクと前記第1の配管とを接続する第2の配管を通じて、前記第1の配管内を流れる前記第1の液体に前記タンク内の前記第2の液体を添加する工程と、
前記第1の配管内を流れる前記第1の液体または前記希釈液の流量を測定する工程と、
前記希釈液の濃度を測定する工程と、
前記希釈液の濃度が所定の濃度になるように前記第1の液体への前記第2の液体の添加量を調整する工程と、を含み、
前記第2の液体の添加量を調整する工程が、前記測定された流量と前記測定された濃度とに基づいて、前記第2の液体の添加量を調整する第1の調整モードと、前記測定された流量に基づいて、前記第2の液体の添加量を調整する第2の調整モードとを切り替えて、前記第2の液体の添加量の調整を実行することを含み、
前記第1の調整モードから前記第2の調整モードへの切り替えは、前記測定された流量が所定の条件を満たす場合に行われる、希釈液製造方法。 - 前記所定の条件は、前記測定された流量が所定時間以内に第1の値から第2の値まで変化したときに、前記第1の値と前記第2の値とに基づいて設定される条件である、請求項1に記載の希釈液製造方法。
- 前記第1の調整モードから前記第2の調整モードへの切り替えが行われ、前記第2の調整モードが一定時間継続して実行された後、前記第2の調整モードから前記第1の調整モードへの切り替えが行われる、請求項1または2に記載の希釈液製造方法。
- 前記第2の液体を添加する工程が、前記タンク内の圧力を調整して該タンク内の前記第2の液体を前記第2の配管を通じて圧送することを含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の希釈液製造方法。
- 前記第2の配管との接続部における前記第1の配管内の圧力を測定する工程をさらに含み、
前記第1の調整モードでは、前記測定された流量と前記測定された濃度と前記測定された圧力とに基づいて、前記第2の液体の添加量が調整され、前記第2の調整モードでは、前記測定された流量と前記測定された圧力とに基づいて、前記第2の液体の添加量が調整される、請求項4に記載の希釈液製造方法。 - 前記第1の液体を供給する工程が、前記第1の液体として超純水を供給することを含み、前記第2の液体を添加する工程が、前記第2の液体としてアンモニア水溶液または水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液を添加することを含む、請求項1から5のいずれか1項に記載の希釈液製造方法。
- 第1の液体に対して第2の液体を添加することで該第2の液体の希釈液を製造し、ユースポイントに前記希釈液を供給する希釈液製造装置であって、
前記第1の液体を供給する第1の配管と、
前記第2の液体を貯留するタンクと、
前記タンクと前記第1の配管とを接続する第2の配管と、
前記タンク内の前記第2の液体を前記第2の配管を通じて前記第1の配管に供給する液体供給部と、
前記第1の配管内を流れる前記第1の液体または前記希釈液の流量を測定する流量測定部と、
前記希釈液の濃度を測定する濃度測定部と、
前記希釈液の濃度が所定の濃度になるように、前記液体供給部による前記第1の液体への前記第2の液体の添加量を調整する制御部であって、前記流量測定部と前記濃度測定部との測定結果に基づいて、前記第2の液体の添加量を調整する第1の調整モードと、前記流量測定部の測定結果に基づいて、前記第2の液体の添加量を調整する第2の調整モードとを切り替えて、前記第2の液体の添加量の調整を実行する制御部と、を有し、
前記制御部は、前記流量測定部の測定結果が所定の条件を満たしていると判断した場合に、前記第2の液体の添加量の調整を、前記第1の調整モードから前記第2の調整モードに切り替える、希釈液製造装置。 - 前記制御部は、前記流量測定部により測定された流量の変化量が所定値以上であり、かつ、前記流量測定部により測定された流量の単位時間当たりの変化率が所定値以上であると判断した場合、前記第2の液体の添加量の調整を、前記第1の調整モードから前記第2の調整モードに切り替える、請求項7に記載の希釈液製造装置。
- 前記制御部は、前記第2の液体の添加量の調整を、前記第1の調整モードから前記第2の調整モードに切り替えてから所定時間が経過した後、前記第2の調整モードから前記第1の調整モードに切り替える、請求項7または8に記載の希釈液製造装置。
- 前記液体供給部が、前記タンク内の圧力を調整して該タンク内の前記第2の液体を前記第2の配管を通じて圧送する圧力調整部を有する、請求項7から9のいずれか1項に記載の希釈液製造装置。
- 前記第2の配管との接続部における前記第1の配管内の圧力を測定する圧力測定部をさらに有し、
前記制御部は、前記第1の調整モードでは、前記流量測定部と前記濃度測定部と前記圧力測定部との測定結果に基づいて、前記第2の液体の添加量を調整し、前記第2の調整モードでは、前記流量測定部と前記圧力測定部との測定結果に基づいて、前記第2の液体の添加量を調整する、請求項10に記載の希釈液製造装置。 - 前記第1の液体が、超純水であり、第2の液体が、アンモニア水溶液または水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液である、請求項7から11のいずれか1項に記載の希釈液製造装置。
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