JP7044663B2 - Actuator - Google Patents
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Description
本発明はアクチュエータに関するものであり、とりわけマイクロ型、超薄型、に適し、且つ静音のアクチュエータである。 The present invention relates to an actuator, and is particularly suitable for a micro type, an ultrathin type, and a quiet actuator.
現在、各分野において、例えば、医療薬品、コンピュータ科学技術、印刷、エネルギー源等の工業だけでなく、製品は全て精密化及びマイクロ化の方向に発展している。その内、マイクロポンプ、噴霧器、インクジェットヘッド、工業用印刷機等のアクチュエータを含む製品は、その技術の要である。これより、どのように新しい構造をつくり、その技術の問題を解決するかが発展に重要な内容である。 Currently, in each field, not only industries such as medical chemicals, computer science and technology, printing, and energy sources, but also products are all developing toward refinement and micronization. Among them, products including actuators such as micropumps, atomizers, inkjet heads, and industrial printing machines are the cornerstones of the technology. From this, how to create a new structure and solve the problem of the technology is important for the development.
例を挙げると、医療薬品産業において、多くは気圧動力駆動を採用する測定器或いは設備を需要し、例えば、血圧計、ポータブル式、着用式の測定器或いはこれら設備は通常従来モータ及び気圧バルブを利用してその流体輸送の目的を達成する。しかし、これらの従来モータ及び流体バルブの体積には限度があり、この類いの測定器或いは設備の装置体積を縮小するのは難しく、即ち薄型化の実現は難しく、ポータブル式にすることは不可能である。これ以外に、前記従来モータ及び前記流体バルブは、騒音や散熱差の問題を生じ、使用において不便さ及び不快感をもたらす。 For example, in the medical and pharmaceutical industry, many demand measuring instruments or equipment that employ barometric power drive, for example, sphygmomanometers, portable, wearable measuring instruments or these equipment usually include conventional motors and barometric valves. Use to achieve the purpose of its fluid transport. However, the volume of these conventional motors and fluid valves is limited, and it is difficult to reduce the volume of this type of measuring instrument or equipment, that is, it is difficult to realize thinning, and it is not possible to make it portable. It is possible. In addition to this, the conventional motor and the fluid valve cause problems of noise and heat dissipation difference, which causes inconvenience and discomfort in use.
以上のことを鑑み、どのように上述の周知技術の不備を改善し発展させ、気圧動力駆動を利用する測定器及び設備が体積縮小と、マイクロ化且つ静音と、導熱性能を向上させ、すばやく散熱させることができるように、軽くて不快感の無いポータブル式を目的とするアクチュエータをつくるかが、現在急いで取りかからなければならない課題である。 In view of the above, how to improve and develop the deficiencies of the above-mentioned well-known technology, and the measuring instruments and equipment using atmospheric pressure power drive can reduce the volume, micronize and quietly, improve the heat conduction performance, and quickly dissipate heat. At present, it is an urgent task to create an actuator that is light and has no discomfort and is intended to be portable so that it can be made to work.
本発明の主要目的は、アクチュエータの提供において、圧電片が懸吊板に結合する設計を備え、圧電片の高周波作動でつくられた流体波動により、設計後の流動中において圧力勾配をつくることにより、流体を高速流動させ、且つ流動進出方向の抵抗差異を通じて、流体を吸入端から排出端に伝輸し、周知技術の気圧動力駆動を利用した測定器或いは設備が抱える体積過大と、薄型化の困難と、ポータブル式化目的の不達成と、騒音と、等の不備を解決することである。 A main object of the present invention is to provide an actuator in which a piezoelectric piece is designed to be coupled to a suspension plate, and a fluid wave generated by high-frequency operation of the piezoelectric piece creates a pressure gradient in the flow after the design. The fluid is flowed at high speed, and the fluid is transmitted from the suction end to the discharge end through the resistance difference in the flow advance direction. It is to solve the deficiencies such as difficulty, failure to achieve the purpose of portable type, noise, and so on.
本発明のもう一つの目的は、アクチュエータの提供において、前記圧電片がグラフェン材をドーピングして合成した銀パラジウム合金の二つの電極を備え、抵抗を下げて電荷の移動速度を上げ、導熱性を高めてすばやく散熱を達成させることである。その内一つの前記電極の表層は、グラフェン材をドーピングして合成した塗料を塗布した導熱層であり、導熱性を高めてすばやく散熱を達成させることができ、もう一つの前記電極は、グラフェン材をドーピングして合成したエポキシ樹脂を塗布したペースト層であり、前記懸吊板の第一表面に取付け、抵抗を下げて電荷の移動速度を上げ、導熱性を高めてすばやく散熱を達成させることができる。このようにアクチュエータが最良の導電性で駆動できる構成は、導熱性を高めてすばやく散熱の目的を達成させることができる。 Another object of the present invention is to provide an actuator in which the piezoelectric piece is provided with two electrodes of a silver-palladium alloy synthesized by doping with a graphene material, the resistance is lowered, the charge transfer speed is increased, and the heat conductivity is improved. It is to increase and achieve heat dissipation quickly. The surface layer of one of the electrodes is a heat-conducting layer coated with a paint synthesized by doping graphene material, and heat conductivity can be enhanced to quickly achieve heat dissipation, and the other electrode is a graphene material. It is a paste layer coated with an epoxy resin synthesized by doping with graphene, which can be attached to the first surface of the suspension plate to lower resistance, increase charge transfer speed, improve heat conductivity, and achieve heat dissipation quickly. can. Such a configuration in which the actuator can be driven with the best conductivity can enhance the heat conductivity and quickly achieve the purpose of heat dissipation.
上述の目的を達成するために、本発明の広義的実施様態は、アクチュエータの提供であ り、懸吊板と、外枠と、少なくとも一つのフレームと、圧電片と、を含み、前記懸吊板は、第一表面及び第二表面を備え、且つ屈折振動をすることができ、前記外枠は、前記懸吊板の外側を囲むように設置され、少なくとも一つの前記フレームは、前記懸吊板と、前記外枠と、の間に連接し、弾性支持を提供し、前記圧電片は、チタン酸ジルコン酸鉛系列の圧 電粉末がグラフェンをドーピングすることで作製され、且つ前記グラフェンの重量比は0.1%~20%の間であり、前記懸吊板の前記第一表面に取付け電圧を加えることで、前記懸吊板を駆動して屈折振動させる。
In order to achieve the above object, the broader embodiment of the present invention is to provide an actuator, the suspension plate, an outer frame, at least one frame, a piezoelectric piece, and the suspension. The plate comprises a first surface and a second surface and is capable of bending vibration, the outer frame is installed so as to surround the outside of the suspension plate, and at least one of the frames is the suspension. It is articulated between the plate and the outer frame to provide elastic support, the piezoelectric piece is made by doping graphene with lead zirconate titanate series pressure powder and the weight of the graphene. The ratio is between 0.1% and 20%, and by applying a mounting voltage to the first surface of the suspension plate, the suspension plate is driven and subjected to refractive vibration.
本発明の特徴と長所を体現する典型的な実施例は、後半の説明で詳細に記述する。理解しておかなければならないことは、本発明は異なる形態で様々な変化を持ち、そのすべてが本発明の範囲から逸脱せず、且つ、そのうちにおける説明及び図は本質的に説明するために使用するものであり、本発明を制限するためではない。 Typical examples embodying the features and advantages of the present invention will be described in detail later. It must be understood that the present invention has various variations in different forms, all of which do not deviate from the scope of the present invention, and the description and figures thereof are used essentially to explain. This is not to limit the present invention.
図1から図3を参照すると、本発明はアクチュエータ1を提供し、少なくとも一つの懸吊板11と、少なくとも一つの外枠12と、少なくとも一つのフレーム13と、少なくとも一つの圧電片14と、を包含しており、以下の実施例の前記懸吊板11と、前記外枠12と、前記圧電片14と、において、それらの数量全ては一つとして例を挙げて説明するが、これに限るわけではなく、前記懸吊板11と、前記外枠12と、前記圧電片14と、は多くの組合せとすることもできる。
Referring to FIGS. 1 to 3, the present invention provides an
図1と、図2及び図4と、を参照すると、前記アクチュエータ1は、主に前記懸吊板11と、前記外枠12と、少なくとも一つの前記フレーム13及び前記圧電片14と、を含む。その内、前記懸吊板11は、第一表面11c及び第二表面11bを備え、湾曲振動することができ、前記外枠12は、前記懸吊板11の外側を囲むように設置され、少なくとも一つの前記フレーム13は、前記懸吊板11と、前記外枠12と、の間に連接し、本実施例において、各前記フレーム13の両端点は、それぞれ前記懸吊板11と、前記外枠12と、の間に連接して弾性支持を提供し、且つ前記フレーム13と、前記懸吊板11と、前記外枠12と、の間には更に少なくとも一つの空隙15を備え、少なくとも一つの前記空隙15は、気体の流通に用いられる。強調すべきことは、前記懸吊板11と、前記外枠12と、前記フレーム13と、の形態及び数量は前述の実施例に限るわけではなく、実際の状況に基づいて変化させることができる。更に、前記外枠12は、前記懸吊板11の外側を囲むように設置され、且つ外向きに導電ピン12cを凸設し、電気的連接に用いられるが、これに限るわけではない。
Referring to FIGS. 1, 2 and 4, the
本実施例の前記懸吊板11は、段差状の構造(図3表示)であり、即ち前記懸吊板11の前記第二表面11bには更に凸部11aを備え、前記凸部11aの構造は、円形凸起構造とすることができるが、これに限らない。前記懸吊板11の前記凸部11aは、前記外枠12の第二表面12aと共に平面であり、前記懸吊板11の前記第二表面11b及び前記フレーム13の第二表面13aも共に平面である。前記懸吊板11の前記凸部11a及び前記外枠12の前記第二表面12aと、前記懸吊板11の前記第二表面11b及び前記フレーム13の前記第二表面13aと、の間には特定の深さを備える。前記懸吊板11の前記第一表面11cは、前記外枠12の第一表面12b及び前記フレーム13の第一表面13bと共に均された平面構造であるが、全てこれに限るわけではない。
The
本実施例の前記圧電片14は、この平らである前記懸吊板11の前記第一表面11cに 取付けられるが、これに限るわけではない。もう一つのこれらの実施例において、前記懸 吊板11の形態も両面が平らな板状の正方形構造とすることができるが、これに限るわけ ではなく、実際の施作状況に基づいて変化させることができる。これらの実施例において、前記懸吊板11と、前記フレーム13及び前記外枠12と、は一体成型構造であり、例えばステンレス材質に限らず、金属板により構成できる。又もう一つのこれらの実施例に おいて、前記圧電片14の長さは、前記懸吊板11の長さより短い。又更にもう一つのこ れらの実施例において、前記圧電片14の長さは前記懸吊板11の長さと等しく、且つ同 様に設計は前記懸吊板11と相対応した正方形板状の構造であるが、これに限るわけでは ない。又、本実施例の前記圧電片14は、チタン酸ジルコン酸鉛(Lead Zirconate Titanate,PZT)系列の圧電粉末がグラフェン(Graphene) をドーピングすることで作製され、前記グラフェンの重量比0.1%~20%の間でドー ピングを行うのが一番望ましく、前記チタン酸ジルコン酸鉛の優良な圧電特性を通じて、前記懸吊板11に最良の圧電駆動効果をもたらすことができる。本実施例の前記圧電片14は、グラフェン材をドーピングして合成した銀パラジウム合金の二つの電極14aと、14bと、を備え、二つの前記電極14aと、14bと、は抵抗を下げて電荷の移動速度を上げ、導熱性を高めてすばやく散熱を達成させることができる。その内の前記電極14aの表層は、グラフェン材をドーピングして合成した塗料を塗布した導熱層14cであり、導熱性を高めてすばやく散熱を達成させることができ、もう一つの前記電極14bは、グラフェン材をドーピングして合成したエポキシ樹脂を塗布したペースト層14dであり、前記懸吊板11の第一表面11cに取付け、抵抗を下げて電荷の移動速度を上げ、導熱性を高めてすやばく散熱を達成させることができる。前記電極14a、14bは電圧を加えることで前記懸吊板11を駆動して湾曲振動させる。
The
図1と、図2と、を参照すると、本発明の前記アクチュエータ1は、更に吸気板16と、共振片17と、絶縁片18aと、絶縁片18bと、導電片19と、等の構造を含み、その内、前記懸吊板11は、前記共振片17に対応して設置され、前記吸気板16と、前記共振片17と、前記外枠12と、前記絶縁片18aと、前記導電片19及びもう一つの前記絶縁片18bと、の順に積重ねって設置される。その完成した組立ての断面図は図4に示す。
Referring to FIGS. 1 and 2, the
図1と、図2と、を参照すると、図1が示すように、本実施例において、前記吸気板16は、少なくとも一つの吸気孔16aを備え、その内前記吸気孔16aの数量は四個が一番望ましいが、これに限るわけではない。前記吸気孔16aは、前記吸気板16を貫通し、気体を装置外から大気圧の作用に順応させ、少なくとも一つの前記吸気孔16aから流入させる。図2が示すように、前記吸気板16上には少なくとも一つの合流排気孔16bを備え、前記合流排気孔16bの中心交流所には中心凹部16cを備え、且つ前記中心凹部16cは、前記合流排気孔16bと連通している。前記吸気板16は、グラフィンをドーピングして合成した塗料を塗布した第一表面16dを備え、導熱性を高めてすばやく散熱をすることができ、且つ前記第一表面16dの少なくとも一つの前記吸気孔16aに対応して少なくとも一つの前記合流排気孔16bを設置する。これより、少なくとも一つの前記吸気孔16aから進入する前記合流排気孔16bの気体を導き、合流させて前記中心凹部16cに集めることができ、気体伝送を実現する。本実施例において、前記吸気板16は、複合した前記吸気孔16aと、前記合流排気孔16b及び前記中心凹部16cと、を備え、且つ前記中心凹部16cで合流気体を形成する合流チャンバに対応し、気体を一時的に貯蔵する。これらの実施例において、前記吸気板16の材質はステンレスとすることができるが、これに限らない。これらの実施例において、前記中心凹部16cにより構成される前記合流チャンバの深さは、前記合流排気孔16bの深さと同じであるが、これに限るわけではない。前記共振片17は可撓性材質で構成されるが、これに限るわけではなく、且つ前記共振片17上には中空孔17cを備え、前記中空孔17cは、前記吸気板16の前記中心凹部16cに対応して設置され、気体を流通させる。これらの実施例において、前記共振片17は銅材質で構成されるが、これに限るわけではない。
Referring to FIGS. 1 and 2, as shown in FIG. 1, in this embodiment, the
本実施例において、図1と、図2及び図4と、が示すように、本実施例の前記絶縁片18aと、前記導電片19及びもう一つの前記絶縁片18bと、はこの順に対応して前記外枠12下に設置され、且つその形態はほとんど前記外枠12の形態に対応している。これらの実施例において、前記絶縁片18a、18bは絶縁材質で構成され、プラスチックに限るわけではないが、絶縁効果を提供する。もう一つのこれらの実施例において、前記導電片19は、導電材質で構成され、金属材質に限るわけではないが、電導効果を提供する。本実施例において、前記導電片19上には導電ピン19aも設置され、電導効果を実現し、上述の前記導電ピン12cが前記圧電片14の前記電極14aと電気的に連接することで、前記導電ピン19aは前記圧電片14の前記電極14bと電気的に連接するが、これに限るわけではない。
In this embodiment, as shown by FIGS. 1, 2 and 4, the insulating
本実施例において、図4が示すように、前記吸気板16と、前記共振片17と、前記外枠12と、前記絶縁片18aと、前記導電片19及びもう一つの前記絶縁片18bと、の順の積重なりは、流体を輸送するこができる装置を形成する。前記共振片17と、前記外枠12と、の間には隙間hが形成され、本実施例において、前記共振片17及び前記外枠12の周縁の間の隙間h中に、導電性接着剤に限らない填充材質を埋込み、前記共振片17と、前記懸吊板11の前記凸部11aと、の間に前記隙間hの深さを維持させることで、気流を導き、更に迅速に流動させることができ、且つ前記懸吊板11の前記凸部11aは、前記共振片17と適度な距離を保持し、お互いの接触干渉を減少させるので、騒音の発生を減少させる。もう一方の実施例において、前記外枠12の高さを高くすることにより、それと、前記共振片17と、を組立てる時に隙間を増加させるが、これに限るわけではない。
In this embodiment, as shown in FIG. 4, the
図1及び図2と、図4と、を参照すると、本実施例において、前記吸気板16と、前記共振片17と、前記外枠12と、が順に対応して組立てられた後、前記共振片17は可動部17a及び固定部17bを備え、前記可動部17aは、その上の前記吸気板16と共同に合流気体のチャンバを形成し、且つ前記共振片17は、前記懸吊板11と、前記フレーム13と、前記外枠12と、の間にさらに第一チャンバ10を形成し、空気を一時的に貯蔵するために用いる。前記第一チャンバ10は、前記共振片17の前記中空孔17cを通り、前記吸気板16の前記中心凹部16cのチャンバと連通し、且つ前記第一チャンバ10の両側は、前記フレーム13の間の前記空隙15により流体通路と連通している。
With reference to FIGS. 1 and 2, and FIG. 4, in this embodiment, the
図1と、図2と、図4と、図5A至図5Eと、を参照すると、前記圧電片14は、電圧作動を受け、前記フレーム13を支点にして垂直方向の往復式振動をする。図5Aが示すように、前記圧電片14が電圧作動を受け下向きに振動する時、前記共振片17は、軽くて薄い片状構造なので、前記圧電片14が振動する時、前記共振片17も連れて共振し、垂直の往復式振動をする。即ち前記共振片17は、前記中心凹部16cに対応する部分も連れて湾曲振動し、変形する。前記中心凹部16cに対応する部分は、前記共振片17の前記可動部17aであり、前記圧電片14が下向きに湾曲振動をする時、前記中心凹部16cに対応する前記共振片17の前記可動部17aは、気体の導入及び圧縮と、前記圧電片14の振動の帯動と、より、前記圧電片14が湾曲振動するにつれて変形する。一方で気体は、前記吸気板16上の少なくとも一つの前記吸気孔16aから進入し、少なくとも一つの前記合流排気孔16bを通り、中央の前記中心凹部16cに集められ、再度前記共振片17上で前記中心凹部16cと対応して設置される前記中空孔17cを経由し、前記第一チャンバ10中に流入される。その後、前記圧電片14の振動の帯動より、前記共振片17も連れて共振し垂直の往復式運動をする。図5Bが示すように、この時、前記共振片17の前記可動部17aも連れて下方向に振動し、前記懸吊板11の前記凸部11a上に抵触するように張付けられ、前記懸吊板11の前記凸部11a以外の区域と、前記共振片17の両側の前記固定部17bと、の間の前記合流チャンバ間の距離を小さくさせない。この前記共振片17の変形により、前記第一チャンバ10の体積を圧縮し、前記第一チャンバ10中の流通空間を閉じ、その内の気体を両側に押して流動させ、前記圧電片14の前記フレーム13の間の前記空隙15を通り、下方向に通り抜けるように流動させる。その後、図5Cが示すように、前記共振片17の前記可動部17aは、上方向に湾曲振動して変形し、初期の位置に戻り、且つ前記圧電片14は、電圧駆動して上方向に振動し、同様に前記第一チャンバ10の体積を圧縮するが、前記懸吊板11が上方向に上がるので、前記第一チャンバ10内の気体は、両側方向に流動され、気体は持続的に前記吸気板16上の少なくとも一つの前記吸気孔16aから進入し、再度前記中心凹部16cが形成したチャンバ中に流入される。その後、図5Dが示すように、前記共振片17は、前記懸吊板11の上方向に昇る振動を受け上方向に共振する。この時、前記共振片17の前記可動部17aもつれて上方向に振動し、気体を緩やかに持続的に前記吸気板16上の少なくとも一つの前記吸気孔16aから進入させ、再度前記中心凹部16cが形成した前記合流チャンバ中に流入させる。最後、図5Eが示すように、前記共振片17の前記可動部17aも初期位置に戻る。この実施例の様態から分かるように、前記共振片17は、垂直の往復式振動をする時、それと、前記外枠12と、の間の前期隙間hより垂直移動の最大距離を増加させることができる。言い換えると、前記二つの構造の間に前記隙間hを設置し、前記共振片17に共振時更に大幅な上下移動をさせることができる。なので、この前記流体アクチュエータ13の流動設計を通じて圧力勾配をつくり、気体を高速流動させ、流動進出方向の抵抗の差異により、気体を吸入端部から排出端部に送り、空気輸送作業を完成させる。たとえ前記排出端部に気圧が有る状態でも、持続的に気体を前記流体通路に押す能力を有し、静音効果ももたらす。このように図5A至図5Eの作動を繰返し、外から内方向への気体伝送をつくることができる。
Referring to FIGS. 1, 2, 4, and 5A to 5E, the
以上により、本発明の提供するアクチュエータは、圧電片の高周波作動でつくられた流 体波動が、設計後の流動中において圧力勾配をつくることにより、流体を高速流動させ、 且つ流動進出方向の抵抗の差異を通じて、流体を吸入端から排出端に伝輸し、流体を高速 流動させ、継続的に伝送させることで、流体を迅速的に伝送することができる。且つ同時 に、静音効果をもたらし、更にアクチュエータの体積を小さく及び薄型化にできるので、 軽くて便利なポータブル式の目的を達成させる。これ以外に、本発明は、吸気板の表面に おいて、圧電板の電極にチタン酸ジルコン酸鉛とグラフェンのドーピングで合成した塗料を塗布することで、最良の散熱と、圧電効果と、をもたらす。なので、本発明は、産業の価値を有し、法に基づいて申請を提出する。 As described above, in the actuator provided by the present invention, the fluid wave created by the high-frequency operation of the piezoelectric piece creates a pressure gradient during the flow after design, so that the fluid flows at high speed and the resistance in the flow advance direction. The fluid can be transmitted rapidly by transmitting the fluid from the suction end to the discharge end, causing the fluid to flow at high speed and continuously transmitting the fluid. At the same time, it brings about a quiet effect, and the volume of the actuator can be made smaller and thinner, so that the purpose of a light and convenient portable type can be achieved. In addition to this, the present invention provides the best heat dissipation and piezoelectric effect by applying a paint synthesized by doping lead zirconate titanate and graphene to the electrodes of the piezoelectric plate on the surface of the intake plate. Bring. Therefore, the present invention has industrial value and submits an application in accordance with the law.
本発明に属する技術分野において通常の知識を有する者であればさまざまな工夫と修飾が可能であるが、それらはいずれも本発明の特許請求の範囲が求める保護を逸脱するものではない。 Any person who has ordinary knowledge in the technical field belonging to the present invention can make various ingenuity and modification, but none of them deviates from the protection required by the claims of the present invention.
1 アクチュエータ
10 第一チャンバ
11 懸吊板
11a 凸部
11b 第二表面
11c 第一表面
12 外枠
12a 第二表面
12b 第一表面
12c 導電ピン
13 フレーム
13a 第二表面
13b 第一表面
14 圧電片
14a、14b 電極
14c 導熱層
14d ペースト層
15 空隙
16 吸気板
16a 吸気孔
16b 合流排気孔
16c 中心凹部
16d 第一表面
17 共振片
17a 可動部
17b 固定部
17c 中空孔
18a、18b 絶縁片
19 導電片
19a 導電ピン
h 隙間
1
Claims (6)
前記懸吊板が、第一表面及び第二表面を備え、且つ湾曲振動をすることができ、
前記外枠が、前記懸吊板の外側を囲むように設置され、
少なくとも一つの前記フレームが、前記懸吊板と、前記外枠と、の間に連接し、弾性支持を提供し、
前記圧電片が、チタン酸ジルコン酸鉛系列の圧電粉末がグラフェンをドーピングすることで作製され、且つ前記グラフェンの重量比は0.1%~20%の間であり、前記懸吊板の前記第一表面に取付け、電圧を印加することで、前記懸吊板を駆動して屈折振動させ、前記圧電片が、グラフェン材をドーピングして合成した銀パラジウム合金の二つの電極を備え、その内の一つの前記電極の表層が、グラフェン材をドーピングして合成した塗料 を塗布した導熱層であり、もう一つの前記電極が、グラフェン材をドーピングして合成し たエポキシ樹脂を塗布したペースト層であり、前記懸吊板の第一表面に取付けられていることを特徴とするアクチュエータ。 An actuator, including a suspension plate, an outer frame, at least one frame, and a piezoelectric piece.
The suspension plate has a first surface and a second surface, and can vibrate in a curved manner.
The outer frame is installed so as to surround the outside of the suspension plate.
At least one of the frames articulates between the suspension plate and the outer frame to provide elastic support.
The piezoelectric piece is made by doping graphene with a piezoelectric powder of the lead zirconate titanate series, and the weight ratio of the graphene is between 0.1% and 20%, and the first of the suspension plates. By mounting it on one surface and applying a voltage, the suspension plate is driven to bend and vibrate, and the piezoelectric piece is provided with two electrodes of a silver-palladium alloy synthesized by doping with a graphene material. The surface layer of one of the electrodes is a heat guide layer coated with a paint synthesized by doping graphene material, and the other electrode is a paste layer coated with an epoxy resin synthesized by doping graphene material. , An actuator characterized in that it is attached to the first surface of the suspension plate .
前記吸気板が、前記懸吊板の第二表面側に設置され、少なくとも一つの吸気孔と、少な くとも一つの合流排気孔と、合流チャンバを構成する中心凹部と、を備え、その内の少なくとも一つの前記吸気孔が気流を導入し、前記合流排気孔が前記吸気孔に対応し、且つ前記吸気孔の気流を導き、前記中心凹部が構成する前記合流チャンバに合流させ、
前記共振片が、前記吸気板と、前記懸吊板と、の間に設置され、前記合流チャンバに対 応する中空孔を備え、且つ前記中空孔の周囲が可動部であり、
その内、前記共振片と、前記懸吊板と、前記フレームと、前記外枠と、の間に第一チャ ンバを形成する隙間を備え、前記圧電片を駆動し前記懸吊板を湾曲振動させる時、気流を 前記吸気板の少なくとも一つの前記吸気孔から導入し、少なくとも一つの前記合流排気孔 を経由して前記中心凹部に集め、再度前記共振片の前記中空孔を流れ、前記第一チャンバ 内に進入させ、前記懸吊板と、前記共振片の可動部が共振することで、気流を伝送するこ とを特徴とする、請求項1に記載のアクチュエータ。 Further, the intake plate and the resonance piece are included.
The intake plate is installed on the second surface side of the suspension plate and includes at least one intake hole, at least one merging exhaust hole, and a central recess constituting the merging chamber . At least one of the intake holes introduces an air flow, the merging exhaust hole corresponds to the intake hole, and the air flow of the intake hole is guided to join the merging chamber formed by the central recess.
The resonance piece is installed between the intake plate and the suspension plate, has a hollow hole corresponding to the merging chamber, and the periphery of the hollow hole is a movable portion.
Among them, the resonance piece, the suspension plate, the frame, and the outer frame are provided with a gap forming a first chamber, and the piezoelectric piece is driven to cause the suspension plate to vibrate. When the air flow is introduced, the air flow is introduced from at least one of the intake holes of the intake plate, collected in the central recess via at least one of the confluent exhaust holes, and flows again through the hollow holes of the resonance piece, and the first. The actuator according to claim 1, wherein the actuator is allowed to enter the chamber, and the suspension plate and the movable portion of the resonance piece resonate to transmit an air flow.
少なくとも一つの前記懸吊板が、第一表面及び第二表面を備え、且つ湾曲振動をするこ とができ、
少なくとも一つの前記外枠が、前記懸吊板の外側を囲むように設置され、
少なくとも一つの前記フレームが、前記懸吊板と、前記外枠と、の間に連接し、弾性支 持を提供し、
少なくとも一つの前記圧電片が、チタン酸ジルコン酸鉛系列の圧電粉末がグラフェンをドーピングすることで作製され、且つ前記グラフェンの重量比は0.1%~20%の間であり、前記懸吊板の前記第一表面に取付け電圧を印加することで、前記懸吊板を駆動して湾曲振動させ、前記圧電片が、グラフェン材をドーピングして合成した銀パラジウム合金の二つの電極を備え、その内の一つの前記電極の表層が、グラフェン材をドーピングして合成した塗料を塗布した導熱層であり、もう一つの前記電極が、グラフェン材をドーピングして合成したエポキシ樹脂を塗布したペースト層であり、前記懸吊板の第一表面に取付けられていることを特徴とするアクチュエータ。 An actuator comprising at least one suspension plate, at least one outer frame, at least one frame, and at least one piezoelectric piece.
At least one of the suspension plates comprises a first surface and a second surface and is capable of bending vibration.
At least one outer frame is installed so as to surround the outside of the suspension plate.
At least one of the frames articulates between the suspension and the outer frame to provide elastic support.
At least one of the piezoelectric pieces is made by doping graphene with a piezoelectric powder of the lead zirconate titanate series, and the weight ratio of the graphene is between 0.1% and 20%, and the suspension plate. By applying a mounting voltage to the first surface of the above, the suspension plate is driven to bend and vibrate, and the piezoelectric piece is provided with two electrodes of a silver-palladium alloy synthesized by doping with a graphene material. The surface layer of one of the electrodes is a heat guide layer coated with a paint synthesized by doping graphene material, and the other electrode is a paste layer coated with an epoxy resin synthesized by doping graphene material. An actuator characterized by being attached to the first surface of the suspension plate .
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