JP7040076B2 - 透明ガスバリア積層体及びその製造方法、並びにデバイス - Google Patents

Description

本開示は、パターニングされた導電部を有する透明ガスバリア積層体及びその製造方法、並びに透明ガスバリア積層体を備えたデバイスに関する。

防湿層又はガスバリア層を有する積層フィルムで保護された構造の電子デバイスの開発が進められている。例えば、特許文献１は樹脂シートと防湿層と接着層と樹脂シートとをこの順序で備えた導電層用支持体及びこれを用いた電子ペーパーを開示する。特許文献２は基材層と、所定の材料から構成されたガスバリア層と、透明導電体層とを有する透明導電性フィルム及びこれを備える電子デバイスを開示する。

特開２００３－１７５５６６号公報 特開２０１２－８６３７８号公報

ところで、電子デバイスに用いられる透明ガスバリア積層体は、これに含まれる層もしくはフィルムの材質又はそれらの形成条件等により、無色透明ではなく、透明ではあるものの色味を有する場合がある。特に、従来の透明ガスバリア積層体は、以下に述べるとおり、黄色味を有しやすいという事情がある。

従来、透明導電層を構成する材料として、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）が広く採用されている。ＩＴＯからなる透明導電層は、例えば、スパッタリングによって透明樹脂フィルム上に形成される。透明樹脂フィルムが熱劣化しない温度条件（例えば１５０℃程度）で透明樹脂フィルム上にＩＴＯを成膜した場合、透明導電層は非晶質のＩＴＯを含む。非晶質のＩＴＯは青色などの短い波長の光の透過性が低いため、透明導電層が黄色味を有するように見えることがある。他方、透明ガスバリア積層体においてガスバリア機能を担う層として、従来、酸化ケイ素からなる蒸着層が採用されている。本発明者らの検討によると、温度条件等によっては蒸着による酸化ケイ素からなる蒸着層も黄色味を有するように見えることがある。

近年、デバイスメーカー又は消費者は黄色味を有する透明材料を敬遠する傾向にある。透明フィルムの黄色味を低減するには、黄色味と補色の関係にある青色味を有する透明フィルムを重ね合わせる手段が採用し得る。青色味を有する透明導電層を構成する材料としては、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＰＳ）との混合物（以下、場合により「ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ」と表記する。）を含む導電性ポリマーが挙げられる。したがって、例えば、黄色味を有する酸化ケイ素蒸着層と、青色味を有する導電性ポリマーを含む導電層とを重ね合わせることで、フィルム全体の黄色味を低減できる。

しかし、上記導電性ポリマーを含む導電層の一部を剥離することによって回路パターンを形成した場合、青色味を有する領域が回路パターンのみとなってしまって全体の黄色味を低減することができない。また、この場合、フィルムの外側から回路パターンが視認されやすくなるという課題もある。

そこで、本開示は、導電性ポリマーを含み且つパターニングされた導電部と、非導電部との境界が視認しにくい透明ガスバリア積層体及びその製造方法を提供することを目的とする。また、本開示は、上記透明ガスバリア積層体を用いたデバイスを提供することを目的とする。なお、本開示において「透明」とは少なくとも可視光に対して透明であることを意味する。

本開示の一側面は、パターニングされた導電部を有する透明ガスバリア積層体の製造方法に関する。この方法は、（Ａ）透明ガスバリアフィルムの表面上に、導電性ポリマーを含む透明導電層を形成する工程と、（Ｂ）透明導電層の一部に紫外線及びオゾンの少なくとも一方による処理を施して導電性ポリマーの導電性を失活させることによって非導電部を形成する工程とを含み、透明導電層における非導電部以外の領域がパターニングされた導電部である。

上述のとおり、本開示における非導電部は、透明導電層に含まれる導電性ポリマーの導電性を失活させることによって形成されたものであり、この非導電部以外の領域が導電部（例えば回路パターン）となる。透明導電層の一部を剥離することによって回路パターンを形成する場合と異なり、透明ガスバリアフィルムの表面上に非導電部が残存しており且つ非導電部と導電部とが一つの層（透明ポリマー層）を構成しているため、導電部と非導電部との境界を十分に視認しにくいものとすることができる。

本開示の一側面は、パターニングされた導電部を有する透明ガスバリア積層体に関する。この透明ガスバリア積層体は、透明ガスバリアフィルムと、透明ガスバリアフィルムの表面上に設けられた透明ポリマー層とを備え、透明ポリマー層は、導電性ポリマーを含み且つパターニングされた導電部と、導電性ポリマーの導電性が失活した領域からなる非導電部とを有する。透明ガスバリアフィルムの表面上において、非導電部と導電部とが一つの透明ポリマー層を構成しているため、導電部と非導電部との境界を十分に視認しにくいものとすることができる。

本開示の一側面は、上記透明ガスバリア積層体と、当該透明ガスバリア積層体に対して回路パターンと対面するように配置された被駆動ユニットとを備えるデバイスに関する。

非導電部のシート抵抗値は、例えば、１×１０^５～１×１０^９Ω／□である。他方、回路パターンを構成する導電部のシート抵抗値は、例えば、１００～１０００Ω／□である。

本開示において、透明ガスバリアフィルムはＬ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊が０より大きい場合、透明導電層（及び透明ポリマー層）はＬ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊が０より小さいことが好ましい。「Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊が０より大きい」とは黄色味を有することを意味し、他方、「Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊が０より小さい」とは青色味を有することを意味する。青色味を有する導電性ポリマーとして、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物が挙げられる。なお、黄色味を有する透明ガスバリアフィルムとして、酸化ケイ素蒸着層を含むものが挙げられる。

従来、透明導電膜として採用されているＩＴＯ膜は上述のように黄色味を有しやすい。ＩＴＯ膜は入力動作の繰り返しによって微小な割れが生じやすく、また曲げにも弱いという問題点もある。これに加え、ＩＴＯ膜の形成に必要な蒸着やスパッタリングなどの真空プロセスは多大な設備投資を必要とし、また大面積化も困難性を伴う。更に、希少金属であるインジウムは資源の枯渇や国際情勢による安定供給の不安が心配される材料である。これに対し、透明導電層及び導電部を構成する材料としてＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを採用することでこれらの課題を解消できる。ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳは導電性、柔軟性及び透明性に優れた材料である。またＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを含む透明導電層はウエットコーティングでの塗工が可能であることから、コスト面でもＩＴＯに比べて優位性がある。

本開示によれば、導電性ポリマーを含み且つパターニングされた導電部と、非導電部との境界が視認しにくい透明ガスバリア積層体及びその製造方法、並びに、この透明ガスバリア積層体を備えたデバイスが提供される。

図１（ａ）は本開示に係る透明ガスバリア積層体の第一実施形態を模式的に示す断面図であり、図１（ｂ）はその変形例を模式的に示す断面図である。 図２（ａ）は透明ガスバリアフィルムの構成の一例を模式的に示す断面図であり、図２（ｂ）は透明ガスバリアフィルムの構成の他の例を模式的に示す断面図である。 図３（ａ）は透明ガスバリアフィルムの表面上に透明導電層を形成した状態を示す断面図であり、図３（ｂ）は透明導電層の一部に紫外線を照射する工程を示す断面図である。 図４は透明ガスバリア積層体を備えたデバイスの一実施形態を模式的に示す断面図である。 図５（ａ）は本開示に係る透明ガスバリア積層体の第二実施形態を模式的に示す断面図であり、図５（ｂ）はその変形例を模式的に示す断面図である。 図６（ａ）は本開示に係る透明ガスバリア積層体の第三実施形態を模式的に示す断面図であり、図６（ｂ）はその変形例を模式的に示す断面図である。 図７（ａ）は本開示に係る透明ガスバリア積層体の第四実施形態を模式的に示す断面図であり、図７（ｂ）はその変形例を模式的に示す断面図である。

以下、図面を参照しながら本開示の複数の実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。更に、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。

＜第一実施形態＞
図１（ａ）に示す透明ガスバリア積層体（以下、「透明ガスバリア積層体」について場合により単に「積層体」という。）１０Ａは、透明ガスバリアフィルム１と、透明ガスバリアフィルム１の表面上に設けられた透明ポリマー層５とを備える。透明ポリマー層５は、導電性ポリマーを含み且つパターニングされた導電部５ａと、導電性ポリマーの導電性が失活した領域からなる非導電部５ｂとを有する。積層体１０Ａにおける透明ガスバリアフィルム１は、図１（ａ）に示すとおり、透明基材フィルム１ａとバリア層１ｂとによって構成されており、これらが外側から内側（透明ポリマー層５側）に向けてこの順序で積層されている。なお、この順序はこれに限定されず、図１（ｂ）に示す積層体１０Ｂのような構成であってもよい。積層体１０Ｂは、透明基材フィルム１ａの一方の面にバリア層１ｂが形成され、他方の面に透明ポリマー層５が形成された層構成を有する。

透明ガスバリアフィルム１のＬ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊が０より大きい場合（透明ガスバリアフィルム１が黄色味を有する場合）、透明ポリマー層５は導電性ポリマーを含有し且つＬ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊が０より小さい（透明ポリマー層５が青色味を有する）ことが好ましい。黄色味を有する透明ガスバリアフィルム１と青色味を有する透明ポリマー層５とを併用することで、透明ポリマー層５の青色味によって透明ガスバリアフィルム１の黄色味を低減することができる。すなわち、黄色味が十分に低減された積層体１０Ａ，１０Ｂを得ることができる。

透明ガスバリアフィルム１の黄色味は透明基材フィルム１ａ及びバリア層１ｂの一方又は両方に起因するものであってもよい。ただし、透明基材フィルム１ａとして十分に無色透明なものを比較的容易に入手できることから、バリア層１ｂに起因して透明ガスバリアフィルム１が黄色味を有することが想定される。

透明ガスバリアフィルム１のｂ^＊は０より大きく、０より大きく且つ２．５以下であってもよく、０．５～２．０又は０．５～１．５の範囲であってもよい。透明ガスバリアフィルム１のｂ^＊が２．５以下であれば透明ポリマー層５の青色味によって透明ガスバリア積層体１０Ａの黄色味を十分に低減できる。

透明基材フィルム１ａとして、十分に無色透明なものを採用すること好ましい。透明基材フィルム１ａの全光線透過率は８５％以上であることが好ましい。透明基材フィルム１ａとして、例えば透明性が高く、耐熱性に優れたフィルムとして、ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）、ポリエチレンナフタレートフィルムなどを用いることができる。透明基材フィルム１ａの厚さは９～５０μｍであり、好ましくは１２～３０μｍである。透明基材フィルム１ａの厚さが９μｍ以上であれば、透明基材フィルム１ａの強度を十分に確保することができ、他方、５０μｍ以下であれば、長いロール（透明ガスバリアフィルム１のロール）を効率的且つ経済的に製造することができる。

バリア層１ｂは、例えば図２（ａ）に示すように蒸着層１ｖとガスバリア性被覆層１ｃとによって構成される。すなわち、バリア層１ｂは、透明基材フィルム１ａの一方の面上に蒸着層１ｖが設けられ、この蒸着層１ｖの上にガスバリア性被覆層１ｃが設けられた構成である。バリア層１ｂは、図２（ｂ）に示すように、蒸着層１ｖとガスバリア性被覆層１ｃとが交互に積層された構成であってもよい。図示していないが、透明基材フィルム１ａの両面にバリア層１ｂを形成してもよい。透明基材フィルム１ａと蒸着層１ｖとの密着性を向上させるために、透明基材フィルム１ａの表面に、プラズマ処理などの処理を施したり、アクリル樹脂層、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂などからなるアンカーコート層を設けたりしてもよい。

蒸着層１ｖは、例えば、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化窒化ケイ素、酸化マグネシウムあるいはそれらの混合物を透明基材フィルム１ａに蒸着させることによって形成することができる。これら無機材料の中でも、バリア性、生産性の観点から、酸化アルミニウム又は酸化ケイ素を用いることが望ましい。蒸着層は、真空蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ等の手法により形成される。上述のとおり本発明者らの検討によると、酸化ケイ素からなる蒸着層を例えば真空蒸着法によって形成した場合、黄色味を有する蒸着層１ｖが形成されやすい。

蒸着層１ｖの厚さ（膜厚）は５～５００ｎｍの範囲内とすることが好ましく、１０～１００ｎｍの範囲内とすることがより好ましい。膜厚が５ｎｍ以上であると、均一な膜を形成しやすく、ガスバリア材としての機能をより十分に果たすことができる傾向がある。一方、膜厚が５００ｎｍ以下であると、十分なフレキシビリティを保持させることができ、成膜後に折り曲げ、引っ張りなどの外的要因により、薄膜に亀裂を生じることをより確実に防ぐことができる傾向がある。

ガスバリア性被覆層１ｃは後工程での二次的な各種損傷を防止するとともに、高いバリア性を付与するために設けられるものである。ガスバリア性被覆層１ｃは、優れたバリア性を得る観点から、水酸基含有高分子化合物、金属アルコキシド、金属アルコキシド加水分解物及び金属アルコキシド重合物からなる群より選択される少なくとも一種を成分として含有していることが好ましい。

水酸基含有高分子化合物としては、具体的には、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、デンプン等の水溶性高分子が挙げられるが、特にポリビニルアルコールを用いた場合にバリア性が最も優れる。

金属アルコキシドは、一般式：Ｍ（ＯＲ）_ｎ（ＭはＳｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｚｒ等の金属原子を示し、Ｒは－ＣＨ_３、－Ｃ_２Ｈ_５等のアルキル基を示し、ｎはＭの価数に対応した整数を示す）で表される化合物である。具体的には、テトラエトキシシラン〔Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４〕、トリイソプロポキシアルミニウム〔Ａｌ（Ｏ－ｉｓｏ－Ｃ_３Ｈ_７）_３〕などが挙げられる。テトラエトキシシラン、トリイソプロポキシアルミニウムは、加水分解後、水系の溶媒中において比較的安定であるので好ましい。また、金属アルコキシドの加水分解物及び重合物としては、例えば、テトラエトキシシランの加水分解物や重合物としてケイ酸（Ｓｉ（ＯＨ）_４）などが、トリプロポキシアルミニウムの加水分解物や重合物として水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）_３）などが挙げられる。

ガスバリア性被覆層１ｃの厚さ（膜厚）は５０～１０００ｎｍの範囲内とすることが好ましく、１００～５００ｎｍの範囲内とすることがより好ましい。膜厚が５０ｎｍ以上であると、より十分なガスバリア性を得ることができる傾向があり、１０００ｎｍ以下であると、十分なフレキシビリティを保持できる傾向がある。

＜透明ガスバリア積層体の製造方法＞
透明ガスバリアフィルム１は、例えば、以下の工程を経て製造される。すなわち、透明基材フィルム１ａの一方の面上に蒸着層１ｖを蒸着法によって積層する。次いで、水酸基含有高分子化合物、金属アルコキシド、金属アルコキシド加水分解物及び金属アルコキシド重合物からなる群より選択される少なくとも一種の成分等を含む水溶液あるいは水／アルコール混合溶液を主剤とするコーティング剤を蒸着層１ｖの表面上に塗布し、例えば８０～２５０℃で乾燥することで、ガスバリア性被覆層１ｃを形成する。

透明ポリマー層５は、導電性ポリマーを含み且つパターニングされた導電部５ａと、導電性ポリマーの導電性が失活した領域からなる非導電部５ｂとを有する。上述のとおり、透明ガスバリアフィルム１が黄色味を有する場合、透明ポリマー層５は青色味を有することが好ましい。透明ポリマー層５のｂ^＊は好ましくは０より小さく（すなわち負の値）であり、より好ましくは０より小さく且つ－５．０以上であり、更に好ましくは－１．０～－３．０であり、特に好ましくは－１．０～－２．０の範囲である。透明ポリマー層５のｂ^＊が－５．０より小さいとその青色味によって積層体１０Ａ，１０Ｂが過度に青色になる傾向にある。黄色味が十分に低減され、あるいは青色味を有する積層体１０Ａ，１０Ｂを得る観点から、透明ポリマー層５のｂ^＊の絶対値は、透明ガスバリアフィルム１のｂ^＊よりも大きいことが好ましい。すなわち、透明ガスバリアフィルム１のｂ^＊の値（Ｂ１）対する透明ポリマー層５のｂ^＊の絶対値（Ｂ５）の比（Ｂ５／Ｂ１）は１より大きいことが好ましく、２．０～４．０であることがより好ましい。

透明ポリマー層５の厚さ（膜厚）は０．１～２．０μｍの範囲内とすることが好ましく、０．１～０．４μｍの範囲内とすることがより好ましい。膜厚が０．１μｍ以上であると、均一な膜を形成しやすく、導電層としての機能をより十分に果たすことができる傾向がある。一方、膜厚が２．０μｍ以下であると、十分なフレキシビリティを保持させることができ、成膜後に折り曲げ、引っ張りなどの外的要因により、薄膜に亀裂を生じることをより確実に防ぐことができる傾向がある。

図３（ａ）及び図３（ｂ）は、図１（ａ）に示す積層体１０Ａを作製する過程を模式的に示す断面図である。これらの図に示されたとおり、透明ポリマー層５を含む積層体１０Ａは以下の工程を経て形成される。
（Ａ）透明ガスバリアフィルム１の表面上に、導電性ポリマーを含む透明導電層５ｐを形成する工程。
（Ｂ）透明導電層５ｐの一部（非導電部５ｂとなるべき領域）にマスクＭの開口部を通じて紫外線（ＵＶ）を照射して導電性ポリマーの導電性を失活させることによって非導電部５ｂを形成する工程。

透明導電層５ｐは、導電性ポリマーを含む塗液を塗工することによって形成することができる。青色味を有する導電性ポリマーの具体例としてはポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＰＳ）との混合物（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）が挙げられる。透明導電層５ｐの青色の程度は、例えば、透明導電層５ｐの厚さを調整したり、導電性ポリマーの重合度を調整することによって調整することができる。なお、透明導電層５ｐを構成する材料が無色透明であったり、青色の程度が不十分である場合には導電性を阻害しない範囲で塗液に青色の顔料などを配合してもよい。

紫外線の照射は、例えば、ＵＶランプ式露光機を使用して行うことができる。導電性ポリマーの種類等によるが、紫外線照射の好適な条件は以下のとおりである。
・光源出力：４０００～８０００Ｗ
・光源波長：３６０～４１０ｎｍ
・ギャップ（光源と照射対象面の距離）：５～１５ｍｍ
・露光時間：５～２０秒

なお、ここでは紫外線照射によって透明導電層５ｐの一部の領域について導電性を失活させる場合を例示したが、紫外線及びオゾンを併用して処理を実施してもよい。かかる処理は、紫外線の照射に伴ってオゾンが発生する装置（例えばサムコ株式会社製ＵＶオゾンクリーナー）と、導電性を失活させる部分が開口したメタルマスクとを組み合わせて使用することで実施できる。具体的には、サムコ株式会社製ＵＶオゾンクリーナーの槽内ステージ上に、透明導電層５ｐが紫外線やオゾンに曝露される向きに透明ガスバリアフィルム１を設置し、透明導電層５ｐ上にメタルマスクを配置して処理を行えばよい。

透明導電層５ｐ及び導電部５ａのシート抵抗値は例えば１００～１０００Ω／□の範囲であり、好ましくは１００～５００Ω／□であり、より好ましくは１００～１５０Ω／□である。非導電部５ｂのシート抵抗値は例えば１×１０^５～１×１０^９Ω／□の範囲であり、好ましくは１×１０^７～１×１０^９Ω／□であり、より好ましくは１×１０^８～１×１０^９Ω／□である。

図４に示すデバイス１００は、透明ガスバリアフィルム１と、透明ポリマー層５と、被駆動ユニット５０とを備える。デバイス１００の具体例としては、電子ペーパー、エレクトロクロミック素子、有機又は無機のエレクトロルミネッセンス素子、その他の有機半導体デバイスなどが挙げられる。図４に示すように、被駆動ユニット５０は、透明ポリマー層５を介して透明ガスバリアフィルム１と対面するように配置されている。被駆動ユニット５０は透明ガスバリアフィルム１によって保護されているとともに透明ポリマー層５を介して駆動される。

＜第二実施形態＞
図５（ａ）は本開示に係る透明ガスバリア積層体の第二実施形態を模式的に示す断面図であり、図５（ｂ）はその変形例を模式的に示す断面図である。これらの図に示す積層体２０Ａ，２０Ｂにおける透明ガスバリアフィルム１は、透明基材フィルム１ａとバリア層１ｂとの組み合わせを二組有するとともに、これら二組の間に介在する接着層Ａ１を更に有する。かかる構成の透明ガスバリアフィルム１を採用することで、より一層優れたガスバリア性を達成できる。

図５（ａ）に示す積層体２０Ａにおいては、上記二組のバリア層１ｂ同士が対面するように積層されている。一方の組（図における上側）の透明基材フィルム１ａの表面上に透明ポリマー層５が形成されている。図５（ｂ）に示す積層体２０Ｂにおいては、一方の組（図における下側）のバリア層１ｂと他方の組（図における上側）の透明基材フィルム１ａとが対面するように積層されている。他方の組のバリア層１ｂの表面上に透明ポリマー層５が形成されている。

接着層Ａ１を構成する接着剤又は粘着剤としては、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤等が挙げられる。粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ポリビニルエーテル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、シリコーン系粘着剤等が挙げられる。特にアクリル系粘着剤は透明性が高く、耐熱性にも優れることから好ましい。接着層Ａ１の厚さは、０．５～５０μｍであることが好ましく、１～２０μｍであることがより好ましく、２～６μｍあることが更に好ましい。

接着層Ａ１を構成する接着剤として、酸素バリア性を有するものを採用してもよい。この場合、接着層Ａ１の酸素透過度は、厚さ５μｍにおいて、厚さ方向に、例えば１０００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下である。上記酸素透過度は５００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることが好ましく、１００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることがより好ましく、５０ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることが更に好ましく、１０ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることが特に好ましい。接着層Ａ１の酸素透過度が１０００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることにより、バリア層１ｂが欠陥を有していたとしてもこれを補うことができる。上記酸素透過度の下限値は特に制限されないが、例えば、０．１ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）である。

透明ポリマー層５に含まれる導電性ポリマー及び／又は被駆動ユニット５０が紫外線によって劣化するのを抑制する観点から、接着層Ａ１が紫外線カット性を有すことが好ましい。具体的には、接着層Ａ１が紫外線吸収剤を含有することが好ましい。紫外線吸収剤としてはペンザトリアゾール、ペンゾフェノン、トリアジン系などの化合物を含むもの挙げられる。市販品としてはＴｉｎｕｖｉｎ（登録商標）４００（商品名、ＢＡＳＦ株式会社製）などを使用できる。

＜第三実施形態＞
図６（ａ）は本開示に係る透明ガスバリア積層体の第三実施形態を模式的に示す断面図であり、図６（ｂ）はその変形例を模式的に示す断面図である。これらの図に示す積層体３０Ａ，３０Ｂは、接着層Ａ２を介して透明樹脂フィルム７が更に貼り合わされた構成である点において、上述の積層体２０Ａ，２０Ｂと相違する。接着層Ａ２は上述の接着層Ａ１と同様の構成（種類、厚さ、酸素バリア性、紫外線カット性）を必要に応じて適宜採用することができる。

透明樹脂フィルム７としては、特に限定されるものではないが、全光線透過率が８５％以上のフィルムが望ましい。例えば透明性が高く、耐熱性に優れたフィルムとして、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムなどを用いることができる。透明樹脂フィルム７として、紫外線カット性を有するフィルムを採用してもよい。

透明樹脂フィルム７の厚さは例えば１０～２５０μｍであり、好ましくは２５～２４０μｍであり、より好ましくは４０～２１０μｍであり、更には５５～２００μｍであってもよい。透明樹脂フィルム７の厚さが１０μｍ以上であることにより、透明ポリマー層５がベタ塗りではなく、パターンを有している場合にそのパターンを外側から視認しにくくすることができ、２５０μｍ以下であることにより、積層体３０Ａ，３０Ｂの総厚が過剰に厚くなることを抑制しやすい。

＜第四実施形態＞
図７（ａ）は本開示に係る透明ガスバリア積層体の第四実施形態を模式的に示す断面図であり、図７（ｂ）はその変形例を模式的に示す断面図である。これらの図に示す積層体４０Ａ，４０Ｂは、透明樹脂フィルム７の外側にコーティング層９が更に形成された構成である点において、上述の積層体３０Ａ，３０Ｂと相違する。

コーティング層９としては、例えば、バインダマトリックス成分である硬化型材料とレベリング材料とを含むものを採用することができる。主に硬化型材料から構成されるコーティング層９を採用することにより、コーティング層９がハードコートとして機能する。これにより、積層体４０Ａ，４０Ｂの表面強度を鉛筆硬度Ｈ以上（より好ましくは２Ｈ以上）とすることができる。コーティング層９は耐汚染性及び／又は耐薬品性を最外面に付与するものであってもよい。また、コーティング層９に導電性材料を配合することにより、コーティング層９に帯電防止機能を付与してもよい。

コーティング層９の厚さは例えば４０～１２０μｍであり、好ましくは５０～１００μｍであり、更には６０～８０μｍであってもよい。コーティング層９の厚さが４０μｍ以上であることにより、コーティング層９の機能を十分に発揮させやすく且つ透明ポリマー層５がパターンを有している場合にそのパターンを外側から視認しにくくすることができる。他方、コーティング層９の厚さが１２０μｍ以下であることにより、積層体４０Ａ，４０Ｂの総厚が過剰に厚くなることを抑制しやすい。

なお、ここでは透明樹脂フィルム７の外側にコーティング層９が形成された構成を例示したが、第二実施形態に係る積層体２０Ａ，２０Ｂにおける外側の透明基材フィルム１ａの表面上にコーティング層９が形成された構成であってもよい。

以上、本開示の複数の実施形態について詳細に説明したが、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

＜導電性失活試験＞
（試験１）
図５（ａ）に示す構成の透明ガスバリアフィルムの表面に、導電性ポリマーを含む透明導電層を形成した積層体を作製し、これを試料として用いて導電性失活試験を行った。
・透明基材フィルム：ＰＥＴフィルム（Ｕ３２（商品名）、東レ株式会社製）
・アンカーコート層：アクリル樹脂を含む塗液を塗工することによって形成した。
・蒸着層（厚さ３０ｎｍ）：真空蒸着法によって酸化ケイ層を形成した。
・ガスバリア性被覆層（厚さ３００ｎｍ）：テトラエトキシシランとポリビニルアルコールとを含む塗液を塗工することによって形成した。
・接着層：アクリル系接着剤
・透明導電層（１００ｎｍ）：ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを含む塗液（商品名：ＣＬＥＶＩＯＳ ＰＨ１０００、ヘレウス株式会社製）をウエットコーティング法により塗工することによって形成した。

透明導電層のシート抵抗値は３８６Ω／□であった。シート抵抗値はロレスターＧＰ ＭＣＰ－Ｔ６１０（商品名、株式会社三菱化学アナリテック製）を用いて測定した。

透明導電層に対して以下の条件で紫外線を照射した。紫外線照射後の透明導電層のシート抵抗値は２６００００Ω／□であった。
・光源出力：６０００Ｗ
・光源波長：３６０～４１０ｎｍ
・ギャップ（光源と照射対象面の距離）：１０ｍｍ
・露光時間：１２秒

（試験２）
比較のため、以下の試験を行った。すなわち、上記試験１と同様の方法で導電性ポリマーを含む透明導電層を有する積層体を作製した。フォトリソグラフィー法によって透明導電層を部分的に除去し、導電部と、非導電部を形成した。フォトリソグラフィー法によるパターニングのためにレジストを塗布してから露光現像し、非導電部の透明導電層及びレジストを除去してパターニングが完了するまでの時間をタクトタイムとして計測した。また、導電部と非導電部のシート抵抗を測定したところ、それぞれ１５０９Ω／□、５５００００Ω／□であった。

表１に試験１及び試験２の結果をまとめて示す。なお、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊は、ＵＶ－２４５０（商品名、株式会社島津製作所製）を用いて対象のフィルムの分光透過率を測定し、その測定値から算出した。

試験１の結果によれば、紫外線照射による導電性の失活処理は短い処理時間（タクトタイム）で実施できるとともに、導電部と非導電部のｂ^＊の値の差を小さくできることが確認された。ｂ^＊の値の差が小さいことで、回路パターンが外部から見えてしまう現象（いわゆる「骨見え」）を防ぐことができる。これに対し、フォトリソグラフィー法によってパターニングした試験例２では、処理に長時間を要するとともに、導電部と非導電部のｂ^＊の値の差が大きいため、「骨見え」が認められた。

１…透明ガスバリアフィルム、１ａ…透明基材フィルム、１ｂ…バリア層、１ｖ…蒸着層、１ｃ…ガスバリア性被覆層、５…透明ポリマー層、７…透明樹脂フィルム、９…コーティング層、１０Ａ，１０Ｂ，２０Ａ，２０Ｂ，３０Ａ，３０Ｂ，４０Ａ，４０Ｂ…透明ガスバリア積層体、５０…被駆動ユニット、１００…デバイス、Ａ１，Ａ２…接着層。

Claims (13)

1. パターニングされた導電部を有する透明ガスバリア積層体の製造方法であって、
   （Ａ）Ｌ ^＊ ａ ^＊ ｂ ^＊ 表色系におけるｂ ^＊ が０より大きい透明ガスバリアフィルムの表面上に、導電性ポリマーを含み且つＬ ^＊ ａ ^＊ ｂ ^＊ 表色系におけるｂ ^＊ が０より小さい透明導電層を形成する工程と、
   （Ｂ）前記透明導電層の一部に紫外線及びオゾンの少なくとも一方による処理を施して前記導電性ポリマーの導電性を失活させることによって非導電部を形成する工程と、
   を含み、
   前記透明導電層における前記非導電部以外の領域が前記パターニングされた導電部であり、（Ｂ）工程を経て得られる透明ガスバリア積層体はＬ ^＊ ａ ^＊ ｂ ^＊ 表色系におけるｂ ^＊ が０より小さい、透明ガスバリア積層体の製造方法。
2. 前記透明導電層のｂ ^＊ の絶対値が、前記透明ガスバリアフィルムのｂ ^＊ の値よりも大きい、請求項１に記載の透明ガスバリア積層体の製造方法。
3. 前記透明ガスバリアフィルムのｂ ^＊ の値に対する前記透明導電層のｂ ^＊ の絶対値の比が２．０～４．０である、請求項１に記載の透明ガスバリア積層体の製造方法。
4. 前記導電性ポリマーがポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物である、請求項１～３のいずれか一項に記載の透明ガスバリア積層体の製造方法。
5. 前記非導電部のシート抵抗値が１×１０^５～１×１０^９Ω／□である、請求項１～４のいずれか一項に記載の透明ガスバリア積層体の製造方法。
6. 前記導電部のシート抵抗値が１００～１０００Ω／□である、請求項１～５のいずれか一項に記載の透明ガスバリア積層体の製造方法。
7. Ｌ ^＊ ａ ^＊ ｂ ^＊ 表色系におけるｂ ^＊ が０より大きい透明ガスバリアフィルムと、
   前記透明ガスバリアフィルムの表面上に設けられた透明ポリマー層と、
   を備え、
   前記透明ポリマー層は、導電性ポリマーを含み且つパターニングされた導電部と、前記導電性ポリマーの導電性が失活した領域からなる非導電部とを有するとともに、Ｌ ^＊ ａ ^＊ ｂ ^＊ 表色系におけるｂ ^＊ が０より小さく、
   Ｌ ^＊ ａ ^＊ ｂ ^＊ 表色系におけるｂ ^＊ が０より小さい、透明ガスバリア積層体。
8. 前記透明ポリマー層のｂ ^＊ の絶対値が、前記透明ガスバリアフィルムのｂ ^＊ の値よりも大きい、請求項７に記載の透明ガスバリア積層体。
9. 前記透明ガスバリアフィルムのｂ ^＊ の値に対する前記透明ポリマー層のｂ ^＊ の絶対値の比が２．０～４．０である、請求項７に記載の透明ガスバリア積層体。
10. 前記導電性ポリマーがポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物である、請求項７～９のいずれか一項に記載の透明ガスバリア積層体。
11. 前記非導電部のシート抵抗値が１×１０^５～１×１０^９Ω／□である、請求項７～１０のいずれか一項に記載の透明ガスバリア積層体。
12. 前記導電部のシート抵抗値が１００～１０００Ω／□である、請求項７～１１のいずれか一項に記載の透明ガスバリア積層体。
13. 請求項７～１２のいずれか一項に記載の透明ガスバリア積層体と、
    前記透明ガスバリア積層体に対して前記パターニングされた導電部と対面するように配置された被駆動ユニットと、
    を備えるデバイス。
    

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