JP7026590B2

JP7026590B2 - アクチュエータセンサモジュール

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Publication number: JP7026590B2
Application number: JP2018129635A
Authority: JP
Inventors: 皓然莫; 達偉薛; 英倫張; 榮候余; 正明張; 賢忠載; 文雄廖; 永隆韓; ▲けい▼峰黄
Original assignee: Microjet Technology Co Ltd
Current assignee: Microjet Technology Co Ltd
Priority date: 2017-07-10
Filing date: 2018-07-09
Publication date: 2022-02-28
Anticipated expiration: 2038-07-09
Also published as: US20190011390A1; TWI640961B; EP3431956A1; JP2019015718A; TW201909133A; BR102018012775A2; JP2019015733A

Description

本願発明は、アクチュエータセンサモジュールに関するものであって、とりわけ電子装置に応用し、環境を測定するアクチュエータセンサモジュールである。

現在、人類が生活上において、例えば一酸化炭素、二酸化炭素、揮発性有機化合物（ＶｏｌａｔｉｌｅＯｒｇａｎｉｃＣｏｍｐｏｕｎｄ、VOC）、ＰＭ２．５など環境測定に対する要求は重視されてある傾向にあり、環境の中おいて、これらの気体の露呈は人体にとって好ましくない悪影響を及ぼし、深刻な場合、命に関わることもある。以上より、環境測定の実施は各国から重視されており、目前に迫った重視すべき課題である。

ポータブル式の電子デバイスは、現代の生活上において広範囲に使用及び応用され、不可欠な電子デバイスでもあり、そのためにポータブル式の電子デバイスを利用し、周囲の環境気体を検出できるほか、もしすぐさま測定データ通信を提供できるのであれば、環境内にいる人に注意を促せるほか、迅速に予防や避難でき、環境内の気体曝露によって引き起こる人体の健康への影響や傷害を避けることができるため、ポータブル式電子デバイスを使用して周囲環境を測定することは、非常に良い応用である。

しかしながら、電子装置に提供する外部センサによる環境測定は、使用者により多くの環境情報を提供するが、より良い測定感度、精度については、例えばセンサは、自然の流れを利用するだけでは、安定して確保ができないだけでなく、均一性のあるある流体流通による測定もできず、且つ、環境中の流体が自然流通の流れでセンサに接触し、反応するまで時間がかかるため、測定の効率にも影響する。

以上を鑑みると、どのようにセンサの測定精度に対する解決策を提供し、センサの測定反応速度を向上させることが、現状解決すべき問題点である。

本願発明の主な目的は、少なくとも一つのセンサと、流体アクチュエータ装置と、をチップ上に統合したモジュール設置であるアクチュエータセンサモジュールを提供することであり、流体アクチュエータ装置は流体を早く流通させることができ、並びに安定で、均一性のある流体量を提供することで、センサを安定させ、均一性のある流体量を直接測定させ、且つ、センサの測定反応時間を効果的に短縮し、正確な測定を達成することである。

上述の目的を達成するため、本願発明はより広義な実施様態として、少なくとも一つのチップと、前記チップに取り付けるセンサと、前記チップ上にパッケージされ、前記センサの一側に設置される通路を有し、その駆動を受け、流体を圧縮し、前記通路から流出し、並びに前記センサを通過することで、前記センサが前記流体を受信する流体アクチュエータと、を包含する。

は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールにおける断面指示図である。は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールにおける流体アクチュエータ動作指示図である。は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールにおけるチップ上にパッケージされた特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）形態の指示図である。は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールにおけるチップ上にパッケージされたシステム・オン・チップ（SOC）形態の指示図である。は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールにおける流体アクチュエータ立体図である。は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールにおける流体アクチュエータ斜視図である。図３Ａ及び図３Ｂにおける圧電アクチュエータの分解指示図である。は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールの流体アクチュエータ断面構造指示図である。は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールにおける流体アクチュエータ動作指示図である。は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールにおける流体アクチュエータ動作指示図である。は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールにおける流体アクチュエータ動作指示図である。は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールにおける流体アクチュエータ動作指示図である。は本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールにおける流体アクチュエータ動作指示図である。

本願発明のメリットを呈するために、典型的な実施例を以下の段落にて詳細に説明する。特に理解すべきは、本願発明は異なる様態上に様々な変化を有し、これらは本願発明の範囲を逸脱するものでなく、且つ明細書及び図に示す内容も説明のために用いるものであり、これに限るものではない。

図１及び図２を参照すると、本願発明は、少なくとも一つのチップ１１と、少なくとも一つのセンサ１２と、少なくとも一つのアクチュエータ１３と、を包含し、以下の実施例において、前記チップ１１と、前記センサ１２と、前記アクチュエータ装置１３は、１つで動作説明を行っているが、これに限らず、前記チップ１１と、前記センサ１２と、前記アクチュエータ装置１３と、は複数この組み合わせとすることもできる。

図１Ａと１Ｂを参照すると、本願発明アクチュエータセンサモジュール1は環境関連パラメータを測定するために電子デバイスに取り付けられるが、これに限らない。前記アクチュエータセンサモジュール1は主に、チップ１１と、少なくとも1つのセンサ１２と、少なくとも1つのアクチュエータ装置１３と、を包含している。前記センサ１２は、前記アクチュエータ装置１３と、組み合わせてモジュールを設置し、前記アクチュエータ装置１３は、前記センサ１２の一側に設置され、少なくとも一つの通路１５を有し、前記アクチュエータ装置１３は駆動を受け、流体或いはエネルギを通路１５から流出させ、前記センサ１２を通過して、前記センサ１２が受信した流体を計測する。

前記アクチュエータ装置１３は、制御信号を動力装置システム制御できる動力に変換することができ、前記アクチュエータ装置１３は、電動アクチュエータ、磁力アクチュエータ、サーマルアクチュエータ、圧電気アクチュエータ及び流体アクチュエータを包含することができる。たとえば、直流モーター、ステッピングモーターなどの電動アクチュエータ、磁気性ソレノイドモーターなどの磁力アクチュエータ、熱ポンプなどのサーマルアクチュエータ、圧電ポンプなどの圧電アクチュエータ、気体ポンプ、液体ポンプなどの流体アクチュエータであるがこれに限らない。

本願発明に係るセンサ１２は、以下のようなセンサを含むことができる。温度センサ、揮発性有機化合物センサ（例えば、ホルムアルデヒド、アンモニアを測定するセンサ）、粒子センサ（例えば、ＰＭ２．５の粒子センサ）、一酸化炭素センサ、二酸化炭素センサ、酸素センサ、オゾンセンサ、その他の気体のセンサ、湿度センサ、水分センサ、水またはその他液体中もしくは空気中の化合物、もしくは生体物質を測定するセンサ（例えば水質センサ）、その他液体のセンサ、もしくは環境の光を測定するセンサを用いる、また、センサを任意の組み合わせとできるが、これに限らない。

これらの実施例において、前記チップ１１は、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）の形態（図２Ａのような）或いは、システム・オン・チップ（ＳＯＣ）の形態（図２Ｂのような）とすることができ、また、前記チップ１１は、センサ通路１４をエッチングすることができ、並びに前記センサ１２は前記センサ通路１４上に搭載され、且つ前記流体アクチュエータ装置１３は、前記チップ１１上に統合してパッケージされ、並びに前記センサ１２の一側に通路１５を設け、前記センサ通路１４と連通している。

図１Ａと図１Ｂを参照すると、本願実施例において、前記アクチュエータセンサモジュール１のアクチュエータ装置１３は、流体アクチェータを採用し、説明を進行するものであり、以下に前記流体アクチュエータ１３を本願発明に係るアクチュエータ装置として説明する。本願発明に係る前記流体アクチュエータ装置１３は、圧電アクチュエータポンプの駆動構造とすることができ、或いは、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ポンプ構造とすることができるがこれに限らない。

本願実施例において、以下に圧電アクチュエータポンプを流体アクチュエータ１３として動作説明を行う。

図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、前記流体アクチュエータ１３は、吸気板１３１と、共振片１３２と、圧電アクチュエータ１３３と、絶縁片１３４ａ、１３４ｂと、導電片１３５等の構造を備えており、そのうち、前記圧電アクチュエータ１３３は、前記共振片１３２に対応して設置され、並びに前記吸気板１３１、前記共振片１３２、前記圧電アクチュエータ１３３、前記絶縁片１３４ａ、前記導電片１３５、もう一つの前記絶縁片１３４ｂの順序で積み重ねて設置されており、その組み立てた断面図を図５に図示している。

本願に係る実施例において、前記吸気板１３１は、少なくとも一つの吸気孔１３１ａを有し、前記吸気孔１３１ａの数量は４つが好ましいが、これに限らない。前記吸気孔１３１ａは、前記吸気板１３１を貫通し、流体が装置外から外界圧力作用に応じて、少なくとも一つの前記吸気孔１３１ａから前記流体アクチュエータ１３中に提供するために用いられる。前記吸気板１３１上には、少なくとも一つの合流ガイド１３１ｂを有し、前記吸気板１３１のもう一つの表面にある少なくとも一つの前記吸気孔１３１ａに対応して設置する。前記合流ガイド１３１ｂにおける中心交流する場所に中心凹部１３１ｃを有し、且つ、前記中心凹部１３１ｃは、前記合流ガイド１３１ｂと互いに連通し、少なくとも一つの前記吸気孔１３１ａから前記合流ガイド１３１ｂの流体引導に進入し、並びに前記中心凹部１３１ｃに合流集結し、実際の流体の流れを呈している。本願実施例において、前記吸気板１３１は、一体形成の前記吸気孔１３１ａと、前記合流ガイド１３１ｂと、前記中心凹部１３１ｃと、を有し、且つ、前記中心凹部１３１ｃにおいて、合流流体に対応した合流チャンバが形成され、流体を一時保存する。これら実施例において、前記吸気板１３１の材質は、例えば、ステンレス素材から構成されるが、これに限らない。ほかの実施例において、前記中心凹部１３１ｃより、構成される合流チャンバの深度は、前記合流ガイド１３１ｂと同等の深度であるが、これに限らない。前記共振片１３２は、フレキシブルな材質から構成され、且つ前記共振片１３２上には、中空孔洞１３２ｃを有し、前記吸気板１３１の前記中心凹部１３１ｃに対応して設置されることで、気体を流通させる。その他の実施例において、前記共振片１３２は、銅材質から構成されるが、これに限らない。

前記圧電アクチュエータ１３３は、懸浮吊１３３１と、外枠１３３２と、少なくとも１つのフレーム１３３３と、圧電片１３３４と、から組み立てられ、そのうち、前記圧電片１３３４は、前記懸吊板１３３１の第一表面１３３１ｃに貼り付けられ、電圧を加えることで変形させ、前記懸吊板１３３１を駆動し、湾曲振動させるために用いられ、少なくとも一つの前記フレーム１３３３は、前記懸吊板１３３１と、前記外枠１３３２と、の間に連接し、本願実施例において、前記フレーム１３３３は、前記懸吊板１３３１と前記外枠１３３２と、の間に連接し、その両端は前記外枠１３３２と、前記懸吊板１３３１にそれぞれ連接し、弾性支持を提供しており、且つ前記フレーム１３３３と、前記懸吊板１３３１及び前記外枠１３３２と、の間には、更に少なくとも一つの間隙１３３５を有し、少なくとも一つの前記間隙１３３５は、前記通路１５を互いに連通し、流体が流通するために用いられる。特筆すべきは、前記懸吊板１３３１と、前記外枠１３３２と、前記フレーム１３３３と、の形態及び数量は、上述の実施例に限らず、且つ、実際の要求によって変化できる。その他に、前記外枠１３３２は、前記懸吊板１３３１の外側を囲繞して設置され、且つ、電気的連接するために用いる外向き凸出している導電ピン１３３２ｃを有するが、これに限らない。

前記懸浮吊１３３１は階段状の構造であり（図４に示す）、即ち、前記懸浮吊１３３１の第二表面１３３１ｂは、更に凸部１３３１ａを有し、前記凸部１３３１ａは円形凸起構造とすることができるが、これに限らない。前記懸浮板１３３１の前記凸部１３３１ａは、前記外枠１３３２の第二表面１３３２ａと、同一の平面にあり、且つ、前記懸浮吊１３３１の前記第二表面１３３１ｂ及び前記フレーム１３３３の第二表面１３３３ａもまた、同一平面上にあり、前記懸浮板１３３１の前記凸部１３３１ａ及び前記外枠１３３２の前記第二表面１３３２ａは、前記懸浮板１３３１の前記第二表面１３３１ｂ及びフレーム１３３３の前記第二表面１３３３ａとの間に特定の深度を有している。前記懸浮板１３３１の前記第一表面１３３１ｃは、前記外枠１３３２の前記第一表面１３３２ｂ及び、前記フレーム１３３３の前記第一表面１２３３ｂは、同一の平面構造を有し，前記圧電片１３３４は、平坦な前記懸吊板１３３１の前記第一表面１３３１ｃに貼り付けられている。他の実施例において、前記懸吊板１３３１の形状は、両面が平面である板状正方形構造とすることもできるが、これに限らず、実際の状況に応じて変更することができる。いくつかの実施例において、前記懸吊板１３３１と、前記フレーム１３３３と、前記外枠１３３２は、一体形成構造とすることができ、且つ、ステンレス鋼などの金属板から構成することができるが、これに限らない。また、他の実施例においては、前記圧電片１３３４の長辺は、前記懸吊板１３３１の長辺よりも小さい。他の実施例においては、前記圧電片１３３４の長辺は、前記懸吊板１３３１の長辺と同等であり、且つ、前記懸吊板１３３１に対応する板状正方形構造に設計されるが、これに限らない。

本願実施例において、図３Ａ示すように、前記流体アクチュエータ１３にある前記絶縁片１３４ａ、導電片１３５、もう一つの前記絶縁片１３４ｂの順に前記圧電アクチュエータ１３３下部に対応して配置され、且つ、形態は、前記圧電アクチュエータ１３３の前記外枠１３３２の形態と、おおよそ同じである。これらの実施において、前記絶縁片１３４ａ、１２４ｂは、例えばプラスチック等の絶縁素材から構成されるがこれに限らず、機能絶縁を提供するものである。その他の実施例において、前記導電片１３５は、例えば金属材質などの導電性材質から構成されるがこれに限らず、導電効能を提供するものである。本願実施例において、前記導電片１３５に導電ピン１３５ａを設置し、導電効能を実現してもよい。

本願実施例において、図５に示すように、前記流体アクチュエータ１３は、前記吸気板１３１、前記共振片１３２、前記圧電アクチュエータ１３３、前記絶縁片１３４ａ、前記導電片１３５、もう一つの前記絶縁片１３４ｂの順で、積み重ねてなり、且つ前記共振片１３２と、前記圧電アクチュエータ１３３と、の間には間隙ｈを有しており、本願実施例において、前記共振片１３２及び前記圧電アクチュエータ１３３の前記外枠１３３２周辺との間にある前記間隙ｈに、例えば導電性ペーストなどの充填剤を充填することで、前記共振片１３２と、前記圧電アクチュエータ１３３にある前記懸吊板１３３１の凸部１３３１ａと、の間の間隙ｈが深度を維持でき、流体を導引し、迅速に流動することができ、且つ、前記懸吊板１３３１の前記凸部１３３１ａと、前記共振片１３２と、が適切な距離を互いに保持するため、干渉が減少し、騒音が発生も低減する。もう一つの実施例において、前記圧電アクチュエータ１３３の前記外枠１３３２の高度を上げることもでき、これにより、前記共振片１３２と組み立てる際に間隙が増加するが、これに限らない。

図５、図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、本願実施例において、前記吸気板１３１、前記共振片１３２、前記圧電アクチュエータ１３３の順に組み立てた後、前記共振片１３２は、可動部１３２ａ及び固定部１３２ｂを有し、前記可動部１３２ａは、前記吸気板１３１と共に合流流体のチャンバを形成することができ、且つ、前記共振片１３２と、前記圧電アクチュエータ１３３と、の間に第一チャンバ１３０を形成し、流体を一時的保存するために用いられ、前記第一チャンバ１３０は、前記共振片１３２の前記中空洞孔１３２ｃを通じて、前記吸気板１３１の前記中心凹部１３１ｃがチャンバと互いに連通し、且つ前記第一チャンバ１３０の両側は、前記圧電アクチュエータ１３３の前記フレーム１３３３と間にある前記間隙１３３５により、通路１５と互いに連通している。

図３Ａと、図３Ｂと、図５と、図６Ａ乃至６Ｅを参照すると、本願発明に係る前記流体アクチュエータ１３の動作過程を以下に簡単に示す。前記流体アクチュエータ１３が作動した際、前記圧電アクチュエータ１３３は、圧電駆動して前記フレーム１３３３により支持され、垂直方向に往復振動を実施する。図６Ａに示すように、前記圧電アクチュエータ１３３が圧電駆動を受け、下向きに振動した際、前記共振片１３２は、軽くて薄いプレート状構造であり、前記圧電アクチュエータ１３３が振動した時、前記共振片１３２も共振に追随して湾曲振動変形し、即ち前記共振片１３２が対応する前記中心凹部１３１ｃ部分もまた、追随して湾曲振動変形し、即ち、前記中心凹部１３１ｃの部分は、前記共振片１３２の前記可動部１３２ａに対応し、前記圧電アクチュエータ１３３が下向に湾曲した際、前記共振片１３２は、前記中心凹部１３１ｃの前記可動部１３２ａに対応し、流体の投入及び、押圧及び圧電アクチュエータ１３３の振動のリードし、前記圧電アクチュエータ１３３に追随して、下向きに湾曲振動変形することで、前記吸気板１３１上に少なくとも一つの前記吸気孔１３１ａから流体が進入し、少なくとも一つの前記合流ガイド１３１ｂを通して、中心である前記中心凹部１３１ｃに合流し、前記共振片１３２上と、前記中心凹部１３１ｃに対応して設置される前記中空孔洞１３２ｃと、が、下向きに前記第一チャンバ１３０中に流入する。その後、前記圧電アクチュエータ１３３の振動を受けて、前記共振片１３２も、追随して共振し、垂直往復振動を実施しており、図６Ｂに示すように、
前記共振片１３２の前記可動部１３２ａも、追随して下向きに振動し、並びに前記圧電アクチュエータ１３３の前記懸吊板１３３１の前記凸部１３３１ａ上に張り付き、当接することで、前記懸吊板１３３１の前記凸部１３３１ａ以外のエリアと、前記共振片１３２の両側の固定部１３２ｂと、の間にある合流チャンバ間の距離は小さくならず、並びに、前記共振片１３２の変形により、前記第一チャンバ１３０の体積は圧縮され、前記第一チャンバ１３０中を流れる流通空間を閉鎖し、流体が押圧され、その両側に流動し、前記圧電アクチュエータ１３３の前記フレーム１３３３の間にある前記間隙１３３５を下向きに通り超えて流動する。その後、図６Cに示すように、前記共振片１３２の前記可動部１３２ａは、上向きに湾曲振動変形して、初期位置に戻り、且つ、前記圧電アクチュエータ１３３は、電圧駆動を受け、上向きに振動し、同様に前記第一チャンバ１３０の胎生期を押圧することで、前記圧電アクチュエータ１３３は上向きに上昇し、前記第一チャンバ１３０内の流体が両側に流れることができ、流体が前記吸気板１３１上の少なくとも一つの前記吸気孔１３１ａから進入し、前記中心凹部１３１ｃにより形成されるチャンバ内に流入される。この後、図６Dに示すように、前記共振片１３２は、前記圧電アクチュエータ１３３の駆動を受けて上向きに上昇して振動し、上向きに共振ており、この際、前記共振片１３２の前記可動部１３２ａも追随して上向きに振動し、流体が前記吸気板１３１上の少なくとも一つの前記吸気孔１３１ａに進入し続けるのを、低減し、前記中心凹部１３１ｃにより形成されるチャンバ内に流入する。最後に、図６Ｅに示すように、前記共振片１３２の前記可動部１３２ａも、初期位置に戻り、実施様態からわかるように、前記共振片１３２が垂直往復振動する際、前記圧電アクチュエータ１３３と、の間の間隙ｈは、垂直変位最大距離を増加させており、言い換えると、前記二つの構造間に前記間隙ｈを設置することで、前記共振片１３２が共振する時に、より大きい振幅の上下変位を生成させることができる。前記流体アクチュエータ１３の流道設計中に圧力勾配を発生させることで、流体が高速で流動し、並びに流道進出方向の抵抗の差異を通して、流体は、吸引端から排出端に輸送され、流体輸送作業を完成させており、即ち、排出端の圧力状態下において、流体は、前記通路１５を流入し続けることができ、並びに消音効果も達成でき、図６Aから図６Eにおける前記流体アクチュエータ１３の動作を繰り返すことで、前記流体アクチュエータ１３は外から内へ流体輸送を発生することができる。

以上により、前記流体アクチュエータ１３の動作を理解するために、前記吸気板１３１、前記共振片１３２、前記圧電アクチュエータ１３３、前記絶縁片１３４ａ、前記導電片１３５、もう一つの前記絶縁片１３４ｂ、の順序で積み重ねて設置され、また、図１Ａ、図１Ｂに示すように前記流体アクチュエータ１３は、前記チップ１１上にパッケージされ、前記流体アクチュエータ１３は、駆動を受けて流体を圧縮し、前記センサ通路１４から流道を発生し、図１Ｂに示すように、矢印で示された方向に流道し、前記センサ１２を通過し、前記流体アクチュエータ１３を介して流体を導引し、並びに安定し、均一した流体の流通量を直接前記センサ１２まで輸送し、前記センサ１２が、安定性、均一した流通量を直接測定することができるために、前記センサ１２の反応時間を効果的に短縮でき、正確な測定を達成し、産業価値を有する。

以上により、本願発明に係るアクチュエータセンサモジュールは、少なくとも一つのセンサと、アクチュエータが、チップ上に統合されるモジュール装置であり、流体アクチュエータは、流体の流量を加速することができ、そして流通を促進しながら、安定して均一した流量を提供し、センサに安定性をもたらせ、均一した流体の流通量を直接監視しながら、またセンサの測定反応時間を効果的に短縮し、正確な測定を達成でき、本願発明のアクチュエータセンサモジュールは、電子装置産業において、価値があると思慮されるため、特許申請をするものである。

本願発明に属する技術分野において通常の知識を有する者であればさまざまな工夫と修飾が可能であるが、それらはいずれも本願発明の特許請求の範囲が求める保護を逸脱するものではない。

１アクチュエータセンサモジュール
１１チップ
１２センサ
１３アクチュエータ装置、流体アクチュエータ
１３０第一チャンバ
１３１吸気板
１３１ａ吸気孔
１３１ｂ合流ガイド
１３１ｃ中心凹部
１３２共振片
１３２ａ可動部
１３２ｂ固定部
１３２ｃ中空孔洞
１３３圧電アクチュエータ
１３３１懸吊板
１３３１ａ凸部
１３３１ｂ第二表面
１３３１ｃ第一表面
１３３２外枠
１３３２ａ第二表面
１３３２ｂ第一表面
１３３２ｃ導電ピン
１３３３フレーム
１３３３ａ第二表面
１３３３ｂ第一表面
１３３４圧電片
１３３５間隙
１３４ａ、１３４ｂ絶縁片
１３５導電片
１３５ａ導電ピン
ｈ間隙
１４センサ通路
１５通路

Claims

エッチングによるセンサ通路を有するチップと、
前記チップ上の前記センサ通路に搭載される少なくとも一つのセンサと、
前記チップ上にパッケージし、少なくとも一つの通路を設け、且つ、前記通路は、前記センサ通路と互いに連通し、前記センサの一側に位置し、駆動を受けて流体を圧縮して前記通路から流体を輸送し、前記センサを通すことで、前記センサが前記流体の測定をする少なくとも一つのアクチュエータと、を包含することを特徴とするアクチュエータセンサモジュール。
前記チップは、特定用途向け集積回路、システム・オン・チップのうちの一つであり、前記センサと、前記アクチュエータとは、その上にパッケージされ、組み付けられていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータセンサモジュール。
前記センサは、酸素センサ、一酸化炭素センサ、二酸化炭素、温度センサ、液体センサ、湿度センサのうちの一つ、或いは、いずれかの組み合わせであることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータセンサモジュール。
前記センサは、液体センサ、オゾンセンサ、光センサのうちの一つであることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータセンサモジュール。
前記センサは、マイクロセンサ、揮発性有機物センサのうちの一つであることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータセンサモジュール。
前記アクチュエータを、流体アクチュエータとすることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータセンサモジュール。
前記アクチュエータを、微小電気機械システムポンプとすることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータセンサモジュール。
前記流体アクチュエータは、
少なくとも一つの吸気孔と、少なくとも一つの合流ガイドと、合流チャンバを構成する中心凹部を有し、そのうち、前記吸気孔は流体を導入し、前記合流ガイドは前記吸気孔に対応し、且つ前記吸気孔の流体を前記中心凹部に構成する合流チャンバに引導する吸気板と、
中空孔洞が対応する前記合流チャンバと、且つ、前記中空孔洞の周辺は可動部を有する共振片と、
前記共振片に相対して設置される圧電アクチュエータと、を包含しており、
そのうち、前記共振片と、前記圧電アクチュエータと、の間に第一チャンバを形成する間隙を有し、前記圧電アクチュエータが駆動した際、流体は前記吸気板にある少なくとも一つの前記吸気孔より導入され、少なくとも一つの前記合流ガイドを経て、前記中心凹部に集合し、前記共振片にある前記中空孔洞を通して、前記第一チャンバ内へ進入し、前記圧電アクチュエータと、前記共振片にある可動部により、共振を発生し、流体を輸送することを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータセンサモジュール。
前記圧電アクチュエータは、
第一表面と、第二表面と、を有し、且つ湾曲振動ができる懸吊板と、
前記懸吊板の外側を囲繞する外枠と、
前記懸吊板と、前記外枠と、の間を連接し、弾性支持を提供する少なくとも一つのフレームと、
長辺を有し、前記長辺が前記懸吊板の長辺より、小さい或いは同等であり、且つ、前記懸吊板の前記第一表面上に張り付き、電圧を加えることで前記懸吊板を駆動して湾曲振動する圧電片と、を包含することを特徴とする請求項８に記載のアクチュエータセンサモジュール。
エッチングによるセンサ通路を有する少なくとも一つのチップと、
前記チップ上の前記センサ通路に搭載される少なくとも一つのセンサと、
前記チップ上にパッケージし、少なくとも一つの通路を設け、且つ、前記通路は、前記センサ通路と互いに連通し、前記センサの一側に位置し、駆動を受けて流体を圧縮して前記通路から流体を輸送し、前記センサを通すことで、前記センサが前記流体の測定をする少なくとも一つのアクチュエータと、を包含することを特徴とするアクチュエータセンサモジュール。