TWI642929B - 致動傳感模組之驅動系統 - Google Patents
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Abstract
一種致動傳感模組之驅動系統，包含：致動傳感裝置及供電裝置，致
動傳感裝置包括至少一個傳感器、至少一個致動器、微處理器及電源控制器；供電裝置透過傳導而輸送一能量至電源控制器，以令電源控制器接收該能量，以驅動傳感器及致動器之致動。
Description
本案關於一種致動傳感模組之監測環境應用，尤指一種致動傳感模組之驅動系統。
目前人類在生活上對環境空氣品質的監測愈來愈重視，例如一氧化碳、二氧化碳、揮發性有機物(Volatile Organic Compound，VOC)、PM2.5等等環境空氣品質的監測，環境中這些氣體暴露會對人體造成不良的健康影響，嚴重的甚至危害到生命。因此環境空氣品質監測紛紛引起各國重視，要如何去實施環境空氣品質監測是目前急需要去重視的課題。
利用傳感器來監測周圍環境氣體是可行的做法，若又能即時提供監測資訊，警示處在危險環境中的人，能夠即時預防或逃離，避免遭受環境中的氣體暴露造成人體健康影響及傷害，則透過傳感器來監測周圍環境可說是非常好的應用。
然，以傳感器來監測環境，雖能向使用者提供關於該使用者之環境的較多資訊，但對於監測敏度、精準之最佳效能就需要去考量，例如，傳感器單靠環境中流體自然流通之引流，不僅無法獲取穩定、一致性之流體流通量以進行穩定監測，且環境中流體自然流通之引流要到達接觸傳感器之監測反應作用時間較長，因此會影響到即時監測之成效。
另外，環境空氣品質監測雖有大型環境監測基地台作監測，但監測結果只能針對大區域性的環境空氣品質作監測，對於人類處於之近身環境空氣品質無法有效精確作監測，例如，室內空氣品質、身旁周圍的空氣品質就無法有效快速作監測，因此，若能將傳感器結合到可攜式的電子裝置上應用，就可達到隨時隨地的即時監測，並能即時傳送監測資料到一雲端資料庫進行資料建構及統整，提供更精準及時的空氣品質監測資訊，以啟動空氣品質通報機制及空氣品質處理機制。
有鑑於此，要如何能夠提供解決傳感器之監測準度及傳感器加快監測反應速度、以及可隨時隨地的即時監測、即時傳送監測資料至雲端資料庫進行資料建構及統整，提供更精準及時的空氣品質監測資訊，以啟動空氣品質通報機制及空氣品質處理機制等問題，實為目前迫切需要解決之問題。
本案之主要目的在於提供一種致動傳感模組之驅動系統，包括一致動傳感裝置及一供電裝置，致動傳感裝置包含至少一個傳感器、至少一個致動器、一微處理器、一電源控制器而予以整合成模組設置，致動器用以促使流體加速流動，並提供穩定、一致性之流量，讓傳感器能獲取穩定、一致性之流體流通量，以直接監測，且縮短傳感器之監測反應作用時間，達成精準之監測，而致動傳感裝置本身可不設置電源裝置，進而搭配一外接供電裝置來傳導能量，以提供驅動該傳感器及該致動器之致動，以及提供電源控制器及微處理器之驅動運作，以節省整個模組之設置空間，達到微型化之設計趨勢，並可應用於監測空氣品質之電子裝置上。
為達上述目的，本案之較廣義實施態樣為提供一種致動傳感模組之驅動系統，包含：一致動傳感裝置，包括至少一個傳感器、至少一個致動器、一微處理器及一電源控制器；一供電裝置，透過傳導而輸送一能量至該電源控制器，以令該電源控制器接收該能量，並驅動該傳感器及該致動器之致動。
1‧‧‧致動傳感裝置
11‧‧‧載體
12‧‧‧傳感器
13‧‧‧致動器
13’‧‧‧流體致動器
130‧‧‧第一腔室
131‧‧‧進氣板
131a‧‧‧進氣孔
131b‧‧‧匯流排孔
131c‧‧‧中心凹部
132‧‧‧共振片
132a‧‧‧可動部
132b‧‧‧固定部
132c‧‧‧中空孔洞
133‧‧‧壓電致動器
1331‧‧‧懸浮板
1331a‧‧‧凸部
1331b‧‧‧第二表面
1331c‧‧‧第一表面
1332‧‧‧外框
1332a‧‧‧第二表面
1332b‧‧‧第一表面
1332c‧‧‧導電接腳
1333‧‧‧支架
1333a‧‧‧第二表面
1333b‧‧‧第一表面
1334‧‧‧壓電片
1335‧‧‧空隙
134a‧‧‧第一絕緣片
134b‧‧‧第二絕緣片
135‧‧‧導電片
135a‧‧‧導電接腳
h‧‧‧間隙
14‧‧‧微處理器
15‧‧‧電源控制器
16‧‧‧資料傳接器
2‧‧‧供電裝置
3‧‧‧連結裝置
31‧‧‧通報處理系統
32‧‧‧通報處理裝置
4‧‧‧連網中繼站
5‧‧‧雲端資料處理裝置
6‧‧‧第二連結裝置
第1A圖所示為本案致動傳感模組之驅動系統之第一較佳實施例之架構示意圖。
第1B圖所示為本案致動傳感模組之驅動系統之另一較佳實施例之架構示意圖。
第2圖所示為本案致動傳感模組之驅動系統之致動傳感裝置相關構件示意圖。
第3A及3B圖所示分別為本案之致動器採用流體致動器於不同視角之分解結構示意圖。
第4圖所示為第3A及3B圖所示之壓電致動器之剖面結構示意圖。
第5圖所示為本案之致動器採用流體致動器之剖面結構示意圖。
第6A至6E圖所示為本案之致動器採用流體致動器作動之流程結構圖。
體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。
請參閱第1A圖所示，本案致動傳感模組之驅動系統主要包括一致動傳感裝置1及供電裝置2。致動傳感裝置1包括至少一個傳感器12、至少一個致動器13、一微處理器14及一電源控制器15。其中，該電源控制器15為接收一能量，且能傳輸該能量以驅動傳感器12及致動器13之致動。
本案之傳感器12可包括像是如以下各者之傳感器：溫度傳感器、揮發性有機化合物傳感器(例如，量測甲醛、氨氣之傳感器)、微粒傳感器(例如，PM2.5之微粒傳感器)、一氧化碳傳感器、二氧化碳傳感器、氧氣傳感器、臭氧傳感器、其他氣體傳感器、濕度傳感器、水分傳感器、量測水或其他液體中或空氣中之化合物及/或生物學物質之傳感器(例如，水質傳感器)、其他液體傳感器，或用於量測環境之光傳感器，亦可為該等傳感器之任意組合而成之群組，均不以此為限。
本案之致動器13受驅動而致動產生流體流出通過傳感器12處，以提供穩定、一致性之流量直接導入傳感器12，讓傳感器12能獲取穩定、一致性之流體流通量，以直接量測所接收之該流體，且縮短傳感器12之監測反應作用時間，達成精準之監測。於一些實施例中，流體係可為但不限為氣體、液體。
本案之供電裝置2透過傳導而可輸送能量至電源控制器15，電源控制器15接收該能量以驅動傳感器12及致動器13之致動。於另一些實施例中，該能量包含光、電、磁、聲、化學能...等，但不以此為限。
本案之供電裝置2之電傳導可為一有線傳導方式，例如，供電裝置12為一充電器或是一充電電池，可以透過有線傳導方式將能量輸送至電源控制器15。或者是，供電裝置2之電傳導方式亦可為一無線傳導方式，以透過無線傳導方式將能量輸送至電源控制器15，例如，供電裝置2為一充電器或一充電電池，其內設有無線充電(感應充電)之元件，進而可
透過無線傳導方式將能量輸送至電源控制器15。又或者是，於另一些實施例中，供電裝置2之電傳導方式更可為一具有無線充放電傳導模式之可攜式行動裝置，例如，手機，其內設置有無線充電(感應充電)之元件，且可透過無線傳導方式將能量輸送至電源控制器15。
本案之電源控制器15可進一步包含一可接收能量及儲存充電之充電元件(未圖示)，電源控制器15之充電元件可接收供電裝置2以有線傳輸方式或無線傳輸方式所輸送之能量，並予以儲存能量，且可輸出能量以提供傳感器12之量測操作及致動器13之致動控制。
又如第1B圖所示，本案致動傳感模組之驅動系統之致動傳感裝置1進一步包括一資料傳接器16，資料傳接器16為一接收訊號或發送訊號之裝置，以及本案致動傳感模組之驅動系統進一步包含一連結裝置3，如此致動傳感裝置1之微處理器14為對傳感器12之量測資料做演算處理，以轉換成輸出數據，藉由資料傳接器16接收輸出數據，而資料傳接器16透過傳輸發送給連結裝置3，進而使連結裝置3去顯示該輸出數據之資訊、儲存輸出數據之資訊，或者傳送輸出數據之資訊至其中之儲存裝置(未圖示)以進行儲存、運算處理。於一些實施例中，連結裝置3連結一通報處理系統31，以啟動空氣品質通報機制，例如，即時空氣品質地圖告知迴避遠離或指示穿戴口罩防護等通報；於另一些實施例中，連結裝置3亦可連結一通報處理裝置32，以啟動空氣品質處理機制，例如，啟動空氣清潔器、空調等過濾空氣品質處理。
本案之連結裝置3為具有一有線通信傳輸模組之顯示裝置，例如，桌上型電腦；或者為具有一無線通信傳輸模組之顯示裝置，例如，筆記型電腦；又或者為具有一無線通信傳輸模組之可攜式行動裝置，例如，手機。有線通信傳輸模組主要可採用RS485、RS232、Modbus、KNX等
通訊接口來進行有線通信傳輸作業。無線通信傳輸模組主要可採用zigbee，z-wave，RF，藍牙，wifi，EnOcean等技術以進行無線通信傳輸作業。
本案致動傳感模組之驅動系統可進一步包括一連網中繼站4及一雲端資料處理裝置5，連結裝置3用以傳輸該輸出數據之資訊至連網中繼站4，而連網中繼站4傳輸該輸出數據之資訊至雲端資料處理裝置5中以進行運算儲存。如此，雲端資料處理裝置5可將運算處理後之該輸出數據之資訊發布通知，該通知先發送至連網中繼站4，再將之傳輸至連結裝置3；如此，連結裝置3所連結之通報處理系統31，即可接收連結裝置3所接獲之通知而啟動空氣品質通報機制，或者是連結裝置3所連結之通報處理裝置32，亦可接收連結裝置3所接獲之通知而啟動空氣品質處理機制。
上述之連結裝置3亦可發送操控指令來操作致動傳感裝置1之運作，也可如上述透過有線通信傳輸作業、無線通信傳輸作業將操控指令傳送至資料傳接器16，再傳輸給微處理器14以控制啟動傳感器12之量測操作及致動器13之致動。
當然，本案之致動傳感模組之驅動系統，也進一步包括第二連結裝置6，以發送操控指令，其透過連網中繼站4傳輸該操控指令至雲端資料處理裝置5，雲端資料處理裝置5再發送該操控指令給連網中繼站4，並傳輸至連結裝置3，連結裝置3再發送至資料傳接器16，以接收該操控指令，再傳輸給微處理器14以控制啟動傳感器12之量測操作及致動器13之致動。於本實施例中，第二連結裝置6為具有一有線通信傳輸模組之裝置，或者為具有一無線通信傳輸模組之裝置，又或者為具有一無線通信傳輸模組之可攜式行動裝置，均不以此為限。
本案之致動器13為能將控制訊號轉換成具有推動被控系統之動力裝置，致動器13可以包含一電動致動器、一磁力致動器、一熱動致動器、一壓電致動器及一流體致動器。例如可為交直流馬達、步進馬達等電動致動器、或是磁性線圈馬達等磁力致動器、或是熱泵等熱動致動器、或是壓電泵等壓電致動器、又或者是氣體泵、液體泵等流體致動器，均不以此為限。
又請參閱第2圖所示，本案實施例中，本案致動傳感裝置1可進一步包括一載體11，整合至少一個傳感器12、至少一個致動器13、微處理器14、電源控制器15及資料傳接器16形成模組化之結構，於一些實施例中，載體11可為一基板(PCB)，傳感器12與致動器13可以陣列安裝於其上；於另一些實施例中，載體11亦可為一特殊應用晶片(ASIC)、或是一系統單晶片(SOC)，傳感器12沉積於載體上，而致動器13亦可封裝整合於載體11上，但本案之載體11之型態及種類均不以此為限，也可以其他支撐整合傳感器12與致動器13之平台。
請參閱第3A圖、第3B圖所示，本案實施例中，致動器13為一流體致動器13’做說明，以下說明以流體致動器13’同等代表此致動器13。本案之流體致動器13’可為一壓電致動泵浦之驅動結構，或者一微機電系統(MEMS)泵浦之驅動結構。本實施例以下就以壓電致動泵浦之流體致動器13’之作動來說明：
又請參閱第3A圖及第3B圖所示，流體致動器13’包括進氣板131、共振片132、壓電致動器133、第一絕緣片134a、第二絕緣片134b及導電片135等結構，其中壓電致動器133對應於共振片132而設置，並使進氣板131、共振片132、壓電致動器133、第一絕緣片134a、導電片135及第二絕緣片134b等依序堆疊設置，其組裝完成之剖面圖係如第5圖所示。
於本實施例中，進氣板131具有至少一進氣孔131a，其中進氣孔131a之數量以4個為較佳，但不以此為限。進氣孔131a係貫穿進氣板131，用以供流體自裝置外順應大氣壓力之作用而自該至少一進氣孔131a流入流體致動器 13’之中。進氣板131上具有至少一匯流排孔131b，用以與進氣板131另一表面之該至少一進氣孔131a對應設置。於匯流排孔131b的中心交流處係具有中心凹部131c，且中心凹部131c係與匯流排孔131b相連通，藉此可將自該至少一進氣孔131a進入匯流排孔131b之流體引導並匯流集中至中心凹部131c，以實現流體傳遞。於本實施例中，進氣板131具有一體成型的進氣孔131a、匯流排孔131b及中心凹部131c，且於中心凹部131c處即對應形成一匯流流體的匯流腔室，以供流體暫存。於一些實施例中，進氣板131之材質可為例如但不限於不鏽鋼材質所構成。於另一些實施例中，由該中心凹部131c處所構成之匯流腔室之深度與匯流排孔131b之深度相同，但不以此為限。共振片132係由一可撓性材質所構成，但不以此為限，且於共振片132上具有一中空孔洞132c，係對應於進氣板131之中心凹部131c而設置，以使流體流通。於另一些實施例中，共振片132係可由一銅材質所構成，但不以此為限。
壓電致動器133係由一懸浮板1331、一外框1332、至少一支架1333以及一壓電片1334所共同組裝而成，其中，該壓電片1334貼附於懸浮板1331之第一表面1331c，用以施加電壓產生形變以驅動該懸浮板1331彎曲振動，以及該至少一支架1333係連接於懸浮板1331以及外框1332之間，於本實施例中，該支架1333係連接設置於懸浮板1331與外框1332之間，其兩端點係分別連接於外框1332、懸浮板1331，以提供彈性支撐，且於支架1333、懸浮板1331及外框1332之間更具有至少一空隙1335，
該至少一空隙1335係與流體通道相連通，用以供流體流通。應強調的是，懸浮板1331、外框1332以及支架1333之型態及數量不以前述實施例為限，且可依實際應用需求變化。另外，外框1332係環繞設置於懸浮板1331之外側，且具有一向外凸設之導電接腳1332c，用以供電連接之用，但不以此為限。
懸浮板1331係為一階梯面之結構(如第4圖所示)，意即於懸浮板1331之第二表面1331b更具有一凸部1331a，該凸部1331a可為但不限為一圓形凸起結構。懸浮板1331之凸部1331a係與外框1332之第二表面1332a共平面，且懸浮板1331之第二表面1331b及支架1333之第二表面1333a亦為共平面，且該懸浮板1331之凸部1331a及外框1332之第二表面1332a與懸浮板1331之第二表面1331b及支架1333之第二表面1333a之間係具有一特定深度。懸浮板1331之第一表面1331c，其與外框1332之第一表面1332b及支架1333之第一表面1333b為平整之共平面結構，而壓電片1334則貼附於此平整之懸浮板1331之第一表面1331c處。於另一些實施例中，懸浮板1331之型態亦可為一雙面平整之板狀正方形結構，並不以此為限，可依照實際施作情形而任施變化。於一些實施例中，懸浮板1331、支架1333以及外框1332係可為一體成型之結構，且可由一金屬板所構成，例如但不限於不鏽鋼材質所構成。又於另一些實施例中，壓電片1334之邊長係小於該懸浮板1331之邊長。再於另一些實施例中，壓電片1334之邊長係等於懸浮板1331之邊長，且同樣設計為與懸浮板1331相對應之正方形板狀結構，但並不以此為限。
於本實施例中，如第3A圖所示，流體致動器13’之第一絕緣片134a、導電片135及第二絕緣片134b係依序對應設置於壓電致動器133之下，且其形態大致上對應於壓電致動器133之外框1332之形態。於一些實施例
中，第一絕緣片134a、第二絕緣片134b係由絕緣材質所構成，例如但不限於塑膠，俾提供絕緣功能。於另一些實施例中，導電片135可由導電材質所構成，例如但不限於金屬材質，以提供電導通功能。於本實施例中，導電片135上亦可設置一導電接腳135a，以實現電導通功能。
於本實施例中，如第5圖所示，流體致動器13’係依序由進氣板131、共振片132、壓電致動器133、第一絕緣片134a、導電片135及第二絕緣片134b等堆疊而成，且於共振片132與壓電致動器133之間係具有一間隙h，於本實施例中，係於共振片132及壓電致動器133之外框1332周緣之間的間隙h中填入一填充材質，例如但不限於導電膠，以使共振片132與壓電致動器133之懸浮板1331之凸部1331a之間可維持該間隙h之深度，進而可導引氣流更迅速地流動，且因懸浮板1331之凸部1331a與共振片132保持適當距離使彼此接觸干涉減少，促使噪音產生可被降低。於另一些實施例中，亦可藉由加高壓電致動器133之外框1332之高度，以使其與共振片132組裝時增加一間隙，但不以此為限。
請參閱第3A圖及第3B圖、第5圖所示，於本實施例中，當進氣板131、共振片132與壓電致動器133依序對應組裝後，於共振片132具有一可動部132a及一固定部132b，可動部132a處可與其上的進氣板131共同形成一匯流流體的腔室，且在共振片132與壓電致動器133之間更形成一第一腔室130，用以暫存流體，且第一腔室130係透過共振片132之中空孔洞132c而與進氣板131之中心凹部131c處的腔室相連通，且第一腔室130之兩側則由壓電致動器133之支架1333之間的空隙1335而與流體通道相連通。
請參閱第3A圖、第3B圖、第5圖、第6A圖至第6E圖，本案之流體致動器13’之作動流程簡述如下。當流體致動器13’進行作動時，壓電致動器
133受電壓致動而以支架1333為支點，進行垂直方向之往復式振動。如第6A圖所示，當壓電致動器133受電壓致動而向下振動時，由於共振片132係為輕、薄之片狀結構，是以當壓電致動器133振動時，共振片132亦會隨之共振而進行垂直之往復式振動，即為共振片132對應中心凹部131c的部分亦會隨之彎曲振動形變，即該對應中心凹部131c的部分係為共振片132之可動部132a，是以當壓電致動器133向下彎曲振動時，此時共振片132對應中心凹部131c的可動部132a會因流體的帶入及推壓以及壓電致動器133振動之帶動，而隨著壓電致動器133向下彎曲振動形變，則流體由進氣板131上的至少一進氣孔131a進入，並透過至少一匯流排孔131b以匯集到中央的中心凹部131c處，再經由共振片132上與中心凹部131c對應設置的中空孔洞132c向下流入至第一腔室130中。其後，由於受壓電致動器133振動之帶動，共振片132亦會隨之共振而進行垂直之往復式振動，如第6B圖所示，此時共振片132之可動部132a亦隨之向下振動，並貼附抵觸於壓電致動器133之懸浮板1331之凸部1331a上，使懸浮板1331之凸部1331a以外的區域與共振片132兩側之固定部132b之間的匯流腔室的間距不會變小，並藉由此共振片132之形變，以壓縮第一腔室130之體積，並關閉第一腔室130中間流通空間，促使其內的流體推擠向兩側流動，進而經過壓電致動器133之支架1333之間的空隙1335而向下穿越流動。之後，如第6C圖所示，共振片132之可動部132a向上彎曲振動形變，而回復至初始位置，且壓電致動器133受電壓驅動以向上振動，如此同樣擠壓第一腔室130之體積，惟此時由於壓電致動器133係向上抬升，因而使得第一腔室130內的流體會朝兩側流動，而流體持續地自進氣板131上的至少一進氣孔131a進入，再流入中心凹部131c所形成之腔室中。之後，如第6D圖所示，該共振
片132受壓電致動器133向上抬升的振動而共振向上，此時共振片132之可動部132a亦隨之向上振動，進而減緩流體持續地自進氣板131上的至少一進氣孔131a進入，再流入中心凹部131c所形成之腔室中。最後，如第6E圖所示，共振片132之可動部132a亦回復至初始位置，由此實施態樣可知，當共振片132進行垂直之往復式振動時，係可由其與壓電致動器133之間的間隙h以增加其垂直位移的最大距離，換句話說，於該兩結構之間設置間隙h可使共振片132於共振時可產生更大幅度的上下位移。是以，在經此流體致動器13’之流道設計中產生壓力梯度，使流體高速流動，並透過流道進出方向之阻抗差異，將流體由吸入端傳輸至排出端，以完成流體輸送作業，即使在排出端有氣壓之狀態下，仍有能力持續將流體推入流體通道，並可達到靜音之效果，如此重覆第6A至6E圖之流體致動器13’作動，即可使流體致動器13’產生一由外向內的流體傳輸。
承上所述，為了解流體致動器13’之作動，而進氣板131、共振片132、壓電致動器133、第一絕緣片134a、導電片135及第二絕緣片134b等依序堆疊設置，流體致動器13’組裝於載體11上，並與載體11保持一通道(未圖示)，且通道位於傳感器12一側，流體致動器13’受驅動而致動壓縮流體，由通道流出產生流動，以通過傳感器12上量測所接收之流體，如此讓流體致動器13’內部導引流體，並提供穩定、一致性之流量直接導送至傳感器12處，讓傳感器12能獲取穩定、一致性之流體流通量，以直接監測，且縮短傳感器12之監測反應作用時間，達成精準之監測；又，致動傳感裝置1本身可不設置電源裝置，進而搭配一外接之供電裝置2來傳導能量，以提供驅動傳感器12及致動器13之致動，以及提供電源控制器15、資料傳接器16及微處理器14之驅動運作，以節省整個模
組之設置空間，達到微型化之設計趨勢，應用於監測空氣品質之電子裝置上；又，以資料傳接器16更可接收一控制指令，以控制啟動該傳感器12之量測操作及該致動器13之致動，以及資料傳接器16亦可傳送一監測量測之輸出數據，發送至連結裝置3以進行顯示及儲存，達到即時顯示資訊及通報之效用，同時能傳送資料至雲端資料庫進行資料建構及統整，以啟動空氣品質通報機制及空氣品質處理機制。
綜上所述，本案提供一種致動傳感模組之驅動系統，包括致動傳感裝置及供電裝置，致動傳感裝置包含至少一個傳感器、至少一個致動器、微處理器及電源控制器而予以整合成模組設置，致動器用以促使流體加速流動，並提供穩定、一致性之流量，讓傳感器能獲取穩定、一致性之流體流通量，以直接監測，且縮短傳感器之監測反應作用時間，達成精準之監測，本身可不設置電源裝置，進而搭配一外接之供電裝置來傳導能量，以提供驅動該傳感器及該致動器之致動，以及提供電源控制器、資料傳接器及微處理器之驅動運作，以節省整個模組之設置空間，達到微型化之設計趨勢，俾利於應用於監測空氣品質之電子裝置上。是以，本案之致動傳感模組之驅動系統極具產業之價值，爰依法提出申請。
本案得由熟習此技術之人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。
Claims (31)
- 一種致動傳感模組之驅動系統，包含：一致動傳感裝置，包括至少一個傳感器、至少一個流體致動器、一微處理器及一電源控制器；一供電裝置，透過傳導而輸送一能量至該電源控制器，以令該電源控制器接收該能量，並驅動該傳感器及該流體致動器之致動，其中該流體致動器為一壓電致動泵浦。
- 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該供電裝置為一充電器。
- 如申請專利範圍第2項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該充電器為透過一有線傳導方式輸送該能量。
- 如申請專利範圍第2項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該充電器為透過一無線傳導方式輸送該能量。
- 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該供電裝置為一具有無線充放電傳導模式之可攜式行動裝置。
- 如申請專利範圍第5項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該可攜式行動裝置為透過一無線傳導方式輸送該能量。
- 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該供電裝置為一充電電池。
- 如申請專利範圍第7項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該充電電池為透過一有線傳導方式輸送該能量。
- 如申請專利範圍第7項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該充電電池為透過一無線傳導方式輸送該能量。
- 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該致動傳感裝置進一步包括一充電元件。
- 如申請專利範圍第10項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該充電元件接收該供電裝置以一有線傳導方式所輸送之該能量，予以儲存該能量，並可輸出該能量以提供該傳感器之量測操作及該流體致動器之致動控制。
- 如申請專利範圍第10項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該充電元件接收該供電裝置以一無線傳導方式所輸送之該能量，予以儲存該能量，並可輸出該能量以提供該傳感器之量測操作及該流體致動器之致動控制。
- 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該致動傳感裝置進一步包括一資料傳接器。
- 如申請專利範圍第13項所述之致動傳感模組之驅動系統，該致動傳感模組之驅動系統進一步包括一連結裝置，該微處理器將該至少一個傳感器之量測資料做演算處理，以轉換成一輸出數據，藉由該資料傳接器接收該輸出數據，並傳輸發送給該連結裝置，以顯示該輸出數據之資訊、儲存該輸出數據之資訊及傳送該輸出數據之資訊，以及該資料傳接器接收該連結裝置之一操控指令，傳輸至該微處理器以控制啟動該傳感器之量測操作及該流體致動器之致動。
- 如申請專利範圍第13項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該致動傳感裝置可進一步包括一載體，整合該至少一個傳感器、該至少一個流體致動器、該電源控制器、該資料傳接器及該微處理器形成模組化。
- 如申請專利範圍第15項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該載體為一基板，該傳感器與該流體致動器可以陣列安裝於其上。
- 如申請專利範圍第15項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該載體可為一特殊應用晶片，該傳感器與該流體致動器可以封裝整合於其上。
- 如申請專利範圍第15項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該載體可為一系統單晶片，該傳感器與該流體致動器可以封裝整合於其上。
- 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該傳感器包含一氣體傳感器。
- 如申請專利範圍第1項之致動傳感模組之驅動系統，其中該傳感器包含一氧氣傳感器、一一氧化碳傳感器及一二氧化碳傳感器之至少其中之一任意組合而成之群組。
- 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該傳感器包含一液體傳感器。
- 如申請專利範圍第1項之致動傳感模組之驅動系統，其中該傳感器包含一溫度傳感器、一液體傳感器、及一濕度傳感器至少其中之一任意組合而成之群組。
- 如申請專利範圍第1項之致動傳感模組之驅動系統，其中該傳感器包含一臭氧傳感器。
- 如申請專利範圍第1項之致動傳感模組之驅動系統，其中該傳感器包含一微粒傳感器。
- 如申請專利範圍第1項之致動傳感模組之驅動系統，其中該傳感器包含一揮發性有機物傳感器。
- 如申請專利範圍第1項之致動傳感模組之驅動系統，其中該傳感器包含一光傳感器。
- 如申請專利範圍第1項之致動傳感模組之驅動系統，其中該壓電致動泵浦包括：一進氣板，具有至少一進氣孔、至少一匯流排孔及構成一匯流腔室之一中心凹部，其中該至少一進氣孔供導入氣流，該匯流排孔對應該進氣孔，且引導該進氣孔之氣流匯流至該中心凹部所構成之該匯流腔室；一共振片，具有一中空孔洞對應於該匯流腔室，且該中空孔洞之周圍為一可動部；以及一壓電致動器，與該共振片相對應設置；其中，該共振片與該壓電致動器之間具有一間隙形成一第一腔室，以使該壓電致動器受驅動時，使氣流由該進氣板之該至少一進氣孔導入，經該至少一匯流排孔匯集至該中心凹部，再流經該共振片之該中空孔洞，以進入該第一腔室內，由該壓電致動器與該共振片之該可動部產生共振傳輸氣流。
- 如申請專利範圍第27項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該壓電致動器包含：一懸浮板，具有一第一表面及一第二表面，且可彎曲振動；一外框，環繞設置於該懸浮板之外側；至少一支架，連接於該懸浮板與該外框之間，以提供彈性支撐；以及一壓電片，具有一邊長，該邊長係小於或等於該懸浮板之一邊長，且該壓電片係貼附於該懸浮板之該第一表面上，用以施加電壓以驅動該懸浮板彎曲振動。
- 如申請專利範圍第28項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該懸浮板為一正方形懸浮板，並具有一凸部。
- 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組之驅動系統，其中該壓電致動泵浦包括：一導電片、一第一絕緣片以及一第二絕緣片，其中該進氣板、該共振片、該壓電致動器、該第一絕緣片、該導電片及該第二絕緣片係依序堆疊設置。
- 一種致動傳感模組之驅動系統，包含：一致動傳感裝置，包括至少一個傳感器、至少一個流體致動器、一微處理器及一電源控制器；一供電裝置，透過傳導而輸送一能量至該電源控制器，以令該電源控制器接收該能量，並驅動該傳感器及該流體致動器之致動，其中該流體致動器為一微機電系統泵浦。
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