JP7022815B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
Claims (14)
- 荷電粒子線を発生させる荷電粒子線源と、円環形状を有する荷電粒子線絞りとを含み、前記荷電粒子線を試料に集束させる荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子線絞りに電圧を印加する荷電粒子線絞り電源とを有し、
前記荷電粒子線絞りは、前記荷電粒子光学系が形成する電場環境内に配置され、
前記荷電粒子線絞り電源は、前記荷電粒子線の電荷と逆極性となる電圧を前記荷電粒子線絞りに印加する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線絞りが形成され、前記荷電粒子線絞り電源により電圧が印加される荷電粒子線絞り板と、
前記荷電粒子線絞り板の電位を周囲の構造物の電位と分離する絶縁材とを有し、
前記絶縁材は前記荷電粒子線の経路から見えない位置に配置される荷電粒子線装置。 - 請求項2において、
前記荷電粒子線絞り板に複数の前記荷電粒子線絞りが形成される荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線絞りが形成され、前記荷電粒子線絞り電源により電圧が印加される荷電粒子線絞り板を有し、
前記荷電粒子線絞りは、前記荷電粒子線絞り板の前記荷電粒子線源側では円環形状をしており、その裏側では前記円環形状よりも大きい径の筒形状をしている荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線絞りが形成され、前記荷電粒子線絞り電源により電圧が印加される荷電粒子線絞り板を有し、
前記荷電粒子線絞りは、前記荷電粒子線絞り板の前記荷電粒子線源側では円環形状をしており、その裏側では前記円環形状から径が次第に広がる円錐形状をしている荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
凹部を有し、前記荷電粒子線絞りが前記凹部にオサエ部材により固定される荷電粒子線絞り支持台と、
前記荷電粒子線絞り支持台の電位を周囲の構造物の電位と分離する絶縁材とを有し、
前記絶縁材は前記荷電粒子線の経路から見えない位置に配置される荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記オサエ部材は、ねじにより前記荷電粒子線絞りを前記荷電粒子線絞り支持台に固定するまたは、オサエ板を介して前記荷電粒子線絞りを前記荷電粒子線絞り支持台に固定する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線絞りが固定された荷電粒子線絞りユニットと、
凹部を有し、前記荷電粒子線絞りユニットの外径が前記凹部の内径と嵌め合いとされる荷電粒子線絞り支持台と、
前記荷電粒子線絞りユニットを前記荷電粒子線絞り支持台に固定するオサエ部材と、
前記荷電粒子線絞り支持台の電位を周囲の構造物の電位と分離する絶縁材とを有し、
前記絶縁材は前記荷電粒子線の経路から見えない位置に配置される荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を発生させる荷電粒子線源と、円環形状を有する第1の荷電粒子線絞りと、前記第1の荷電粒子線絞りに対して前記荷電粒子線の光軸方向に配置され、円環形状を有する第2の荷電粒子線絞りとを含み、前記荷電粒子線を試料に集束させる荷電粒子光学系と、
前記第1の荷電粒子線絞りに前記荷電粒子線の電荷と逆極性となる電圧を印加する荷電粒子線絞り電源とを有し、
前記第1の荷電粒子線絞り及び前記第2の荷電粒子線絞りは、前記荷電粒子光学系が形成する電場環境内に配置され、
前記第1の荷電粒子線絞りは前記第2の荷電粒子線絞りよりも前記荷電粒子線源側に配置される荷電粒子線装置。 - 請求項9において、
前記第2の荷電粒子線絞りの厚みは、前記第1の荷電粒子線絞りの厚みよりも薄い荷電粒子線装置。 - 請求項9において、
前記第2の荷電粒子線絞りの開口幅は、前記第1の荷電粒子線絞りの開口幅よりも細い荷電粒子線装置。 - 請求項9において、
前記第1の荷電粒子線絞りと前記第2の荷電粒子線絞りとは電気的に独立とされ、
前記第1の荷電粒子線絞りと前記第2の荷電粒子線絞りとの間に設けられるスペーサは、前記第1の荷電粒子線絞りに接する第1のスペーサと前記第2の荷電粒子線絞りに接する第2のスペーサと前記第1のスペーサと前記第2のスペーサとの間に介在する絶縁材とを有し、前記絶縁材は前記荷電粒子線の経路から見えない位置に配置される荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を発生させる荷電粒子線源と、円環形状を有する荷電粒子線絞りとを含み、前記荷電粒子線を試料に集束させる荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子線の電荷と逆極性となる電圧を前記荷電粒子線絞りに印加する荷電粒子線絞り電源と、
前記荷電粒子線が前記試料上に照射されることにより放出された二次荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器で検出された二次荷電粒子に基づき荷電粒子線像を形成するコンピュータと、
前記コンピュータに接続されるディスプレイとを有し、
前記荷電粒子線絞りは、前記荷電粒子光学系が形成する電場環境内に配置され、
前記ディスプレイに表示されるGUI画面の操作画面のスライドバー、または前記コンピュータに接続されるコントローラの制御スイッチにより、前記荷電粒子線絞り電源が前記荷電粒子線絞りに印加する電圧が制御される荷電粒子線装置。 - 請求項13において、
前記ディスプレイは前記荷電粒子線像を表示するライブ画面を有する荷電粒子線装置。
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