JP7022164B2 - センサパッケージおよびセンサモジュール - Google Patents
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Description
直線状の第1の方向に沿って流体を流動させる内部流路を内部に有する容器と、
前記第1の方向に沿って並ぶように前記内部流路に位置し、流体中の検出対象成分を検出する複数のセンサと、を備え、
前記内部流路の一部を画定する底面に平行且つ前記第1の方向に垂直な第2の方向における、該底面の両側において、前記第1の方向に延びる段部が形成される。
第1流路および第2流路の下流側に配置され、前記第1流路および前記第2流路の開閉状態を選択的に切替える切替部と、
前記切替部の下流側に配置され、直線状の第1の方向に沿って流体を流動させる内部流路を内部に有する容器と、前記第1の方向に沿って前記内部流路に位置し、流体中の検出対象成分を検出する複数のセンサと、を有し、前記内部流路の一部を画定する底面に平行且つ前記第1の方向に垂直な第2の方向における、該底面の両側において、前記第1の方向に延びる段部が形成されるセンサパッケージと、
前記センサ部の下流側に配置され、流体を下流側へ引込むポンプ部と、を備える。
以下に示す実施例および比較例について、定常流体解析および非定常流体解析が行われた。定常流体解析および非定常流体解析には、ANSYS Fluent 19.2(ANSYS社製)が用いられた。定常流体解析および非定常流体解析に用いる気体は空気とし、密度を1.225kg/m3(1気圧、15℃)、粘度を1.789×10-5Pa・s、流入量を30cm3/minとした。
図12、13に示すように、主要部分の第1の方向における長さをa1=9.20mm、両側面の間隔をa2=3.80mm、底面および天面の間隔をa3=1.46mm、底面からの段部の高さをa4=1.15mm、および両側面に形成される両段部の間隔をa5=2.70mm、ならびに主要部分の第1の方向における両端における流出入部分の両側面の間の角度をa6°=90°とする実施例1の内部流路をモデル化した。さらに、当該モデルにおいて、実施例1の内部流路内に、第1の方向に沿って、3つの直方体状のセンサを第1の方向に沿って底面上に配置した。直方体状のセンサの長さ、幅、および高さは、b1=2.1mm、b2=2.1mm、およびb3=0.73mmであった。当該モデル内で、センサの長さ方向および幅方向が内部流路の第1の方向および第2の方向に平行になるよう、各センサを配置した。当該モデル内で、各センサは、第1の方向において、主要部分の第1の方向における一方の端から、各センサの端部がc1=0.46mm、c2=3.56mm、c3=6.66mmに位置するように各センサを配置した。検出部をセンサの中心から第1の方向および第2の方向にc4=0.4mm変位させた位置に配置した。
図13に示すように、主要部分の底面からの段部の高さをa4=0.73mmとすること以外は実施例1の内部流路と同じである実施例2の内部流路をモデル化した。
図13に示すように主要部分の底面および天面の間隔をa3=1.10mm、および底面からの段部の高さをa4=0.73mmとし、図6に示すように流出入部分の底面を容器の天面に対向する段部の面に連続させること以外は実施例1の内部流路と同じである実施例3をモデル化した。
図27に示すように、第1のチャンバ31、第2のチャンバ32、第3のチャンバ33、第4のチャンバ34、第5のチャンバ35、第1のc字型連結管36、第2のc字型連結管37、z字型連結管38、l字型連結管39、および屈曲管40を用いて、比較例1の流路をモデル化した。
11 センサモジュール
12 筐体
13 切替部
14 測定部
15 ポンプ部
16 流路
17a 第1流路
17b 第2流路
17c 第3流路
18 容器
19 センサ
20 ヒータ
21 内部流路
22 主要部分
23 段部
24 流出入口
25 流出入部分
26 本体部
27 蓋部
28 検出部
29 制御部
30 記憶部
31 第1のチャンバ
32 第2のチャンバ
33 第3のチャンバ
34 第4のチャンバ
35 第5のチャンバ
36 第1のc字型連結管
37 第2のc字型連結管
38 z字型連結管
39 l字型連結管
40 屈曲管
41 本体部
42 連結部
43 本体部
44 連結部
45 本体部
46 長尺連結部
47 短尺連結部
48 本体部
49 連結部
50 本体部
51 連結部
52 屈曲部
53 流入口部
54 段部電極
55 センサ電極
56 接続配線
bs 底面
d1 第1の方向
d2 第2の方向
d3 第3の方向
d4 第4の方向
d5 底面の法線方向
ds 検出面
ss1 主要部分の側面
ss2 流出入部分の側面
s1 天面に対向する面
ts 天面
w1 内部流路の幅
w2 両側面に形成される段部の幅
Claims (11)
- 直線状の第1の方向に沿って流体を流動させる内部流路を内部に有する容器と、
前記第1の方向に沿って並ぶように前記内部流路に位置し、流体中の検出対象成分を検出する複数のセンサと、を備え、
前記内部流路の一部を画定する底面に平行且つ前記第1の方向に垂直な第2の方向における、該底面の両側において、前記第1の方向に延びる段部が形成される
センサパッケージ。 - 請求項1に記載のセンサパッケージにおいて、
前記複数のセンサは、前記内部流路の一部を画定する平面状の底面に位置する
センサパッケージ。 - 請求項2に記載のセンサパッケージにおいて、
前記内部流路の前記第1の方向における両端は、前記底面の法線方向から見て、該内部流路の中心から離れる程先細りの形状であり、
前記容器には、前記内部流路の両端における先細りの形状の先端近傍に、流出入口が形成されている
センサパッケージ。 - 請求項3に記載のセンサパッケージにおいて、
前記流出入口は、前記底面に垂直な筒状の内周壁面によって画定される
センサパッケージ。 - 請求項3または4に記載のセンサパッケージにおいて、
前記容器は、窪を有する本体部、および前記流出入口が形成されている蓋部を含んで構成され、
前記窪を前記蓋部で覆うことにより、前記内部流路が形成される
センサパッケージ。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のセンサパッケージにおいて、
前記容器は、セラミックによって形成されている
センサパッケージ。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載のセンサパッケージにおいて、
前記内部流路を加熱するヒータを、さらに備える
センサパッケージ。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載のセンサパッケージにおいて、
前記底面に対する前記段部の高さは、前記複数のセンサの高さ以上である
センサパッケージ。 - 請求項1から8のいずれか1項に記載のセンサパッケージにおいて、
前記内部流路の前記第2の方向における幅は、前記複数のセンサそれぞれの前記第2の方向における幅の1.5倍以上3倍以下である
センサパッケージ。 - 請求項1から9のいずれか1項に記載のセンサパッケージにおいて、
前記複数のセンサ各々と、前記内部流路の一部を画定する天面との間隔は、前記複数のセンサそれぞれの高さと同じである
センサパッケージ。 - 第1流路および第2流路の下流側に配置され、前記第1流路および前記第2流路の開閉状態を選択的に切替える切替部と、
前記切替部の下流側に配置され、直線状の第1の方向に沿って流体を流動させる内部流路を内部に有する容器と、前記第1の方向に沿って前記内部流路に位置し、流体中の検出対象成分を検出する複数のセンサと、を有し、前記内部流路の一部を画定する底面に平行且つ前記第1の方向に垂直な第2の方向における、該底面の両側において、前記第1の方向に延びる段部が形成されるセンサパッケージと、
前記センサパッケージの下流側に配置され、流体を下流側へ引込むポンプ部と、を備える
センサモジュール。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007506080A (ja) | 2003-09-15 | 2007-03-15 | ディアグノスイス ソシエテ アノニム | 流れ監視マイクロフルイディックデバイス |
JP2010117159A (ja) | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Oval Corp | 微少流量計及び微少流量測定方法 |
JP2016170013A (ja) | 2015-03-12 | 2016-09-23 | オムロン株式会社 | センサパッケージ |
JP2018165682A (ja) | 2017-03-28 | 2018-10-25 | 学校法人加計学園 | ガスセンサ |
JP2019120561A (ja) | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 京セラ株式会社 | センサモジュール |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0392502B1 (en) * | 1989-04-12 | 1994-12-07 | Puritan-Bennett Corporation | Method and apparatus for measuring a parameter of a gas in isolation from gas pressure fluctuations |
US5369977A (en) * | 1992-09-30 | 1994-12-06 | Lundahl Instruments, Inc. | Gaseous detection system |
JP2012002691A (ja) | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Seiko Epson Corp | 周波数計測装置、並びに同装置を備えるニオイセンサー及び電子機器 |
JP5556850B2 (ja) * | 2012-05-31 | 2014-07-23 | 横河電機株式会社 | 微小流量センサ |
US9759676B2 (en) * | 2012-09-03 | 2017-09-12 | Kake Educational Institution | Gas sensor array, gas analysis method, and gas analysis system |
EP3627139A4 (en) | 2017-05-17 | 2021-03-31 | Aroma Bit, Inc. | METHOD FOR GENERATING BASIC DATA FOR SCENT IMAGE |
-
2020
- 2020-02-28 JP JP2020033843A patent/JP7022164B2/ja active Active
-
2021
- 2021-02-03 WO PCT/JP2021/003976 patent/WO2021171940A1/ja unknown
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007506080A (ja) | 2003-09-15 | 2007-03-15 | ディアグノスイス ソシエテ アノニム | 流れ監視マイクロフルイディックデバイス |
JP2010117159A (ja) | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Oval Corp | 微少流量計及び微少流量測定方法 |
JP2016170013A (ja) | 2015-03-12 | 2016-09-23 | オムロン株式会社 | センサパッケージ |
JP2018165682A (ja) | 2017-03-28 | 2018-10-25 | 学校法人加計学園 | ガスセンサ |
JP2019120561A (ja) | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 京セラ株式会社 | センサモジュール |
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