JP7020173B2 - スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子、磁気メモリ及びスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法 - Google Patents
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Description
すなわち本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
(スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子)
図1は、第1実施形態にかかるスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子100の断面模式図である。図1に示すスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子100は、第1強磁性層1と第2強磁性層2と非磁性層3からなる機能部10と、スピン軌道トルク配線20とを備える。図1では、第1電極31、第2電極32及び基板40を同時に図示している。
機能部10は、一般の磁気抵抗効果素子と同様の構成である。機能部10は、非磁性層3が絶縁体からなる場合は、トンネル磁気抵抗効果(TMR:Tunneling Magnetoresistance)素子と同様の構成であり、金属からなる場合は巨大磁気抵抗効果(GMR:Giant Magnetoresistance)素子と同様の構成である。第2強磁性層2は固定層や参照層、第1強磁性層1は自由層や記憶層などと呼ばれる。
例えば、非磁性層3が絶縁体からなる場合(トンネルバリア層である場合)、その材料としては、Al2O3、SiO2、MgO、及び、MgAl2O4等を用いることができる。また、これらの他にも、Al、Si、Mgの一部が、Zn、Be等に置換された材料等も用いることができる。これらの中でも、MgOやMgAl2O4はコヒーレントトンネルが実現できる材料であるため、スピンを効率よく注入できる。非磁性層3が金属からなる場合、その材料としては、Cu、Au、Ag等を用いることができる。さらに、非磁性層3が半導体からなる場合、その材料としては、Si、Ge、CuInSe2、CuGaSe2、Cu(In,Ga)Se2等を用いることができる。
スピン軌道トルク配線20は、x方向に延びる。スピン軌道トルク配線20は、第1強磁性層1の一面に接続されている。スピン軌道トルク配線20は、第1強磁性層1に直接接続されていてもよいし、他の層を介し接続されていてもよい。
第1電極31及び第2電極32は、平面視で機能部10を挟む位置に設けられる。第1電極31と第2電極32との間に電位差を与えることで、スピン軌道トルク配線20に電流が流れる。第1電極及び第2電極32は、Ag、Au、Cu、Al、W、Co、Ni、Zn、Ta、TiN及びTaNからなる群のいずれかを含むことが好ましい。これらの材料は熱伝導性に優れ、スピン軌道トルク配線20に蓄積された熱を効率的に排熱できる。
基板40は、平坦性に優れることが好ましい。平坦性に優れた表面を得るために、材料として例えば、Si、AlTiC等を用いることができる。
本実施形態にかかるスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子は、いくつかの方法で作製できる。
図5は、本実施形態にかかるスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子の製造方法の一例を模式的に示した図である。第1の製造方法は、基板上に保護層を積層し、少なくとも凸部となる位置を残して保護層を除去する工程と、保護層上に、スピン軌道トルク配線となる層と強磁性層とを順に積層する工程と、強磁性層上の一部に犠牲層を形成しエッチングする工程と、を有する。
図7は、本実施形態にかかるスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子の製造方法の一例を模式的に示した図である。第2の製造方法は、基板上にスピン軌道トルク配線となる層と強磁性層とを順に積層する工程と、凸部及び第1強磁性層となる部分を被覆する犠牲層を形成する工程と、犠牲層を介してエッチングする工程と、を有する。
図8は、本実施形態にかかるスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子の製造方法の一例を模式的に示した図である。第3の製造方法は、基板上にスピン軌道トルク配線となる層と強磁性層とを順に積層する工程と、第1強磁性層となる部分を被覆する保護層を形成した後、不要部を除去し、第1強磁性層を形成する工程と、スピン軌道トルク配線となる層及び第1強磁性層を被覆する絶縁層を被覆する工程と、スピン軌道トルク配線となる層と同じ材料を積層し、スピン軌道トルク配線となる層の厚みを増やす工程と、を有する。
(スピン軌道トルク型磁化回転素子)
図9は、本実施形態にかかるスピン軌道トルク型磁化回転素子の断面模式図である。図9に示すスピン軌道トルク型磁化回転素子110は、非磁性層3及び第2強磁性層2を有さない点のみが、図1に示すスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子100と異なる。
(磁気メモリ)
図10は、複数のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子100(図1参照)を備える磁気メモリ200の模式図である。図1は、図10におけるA-A面に沿ってスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子100を切断した断面図に対応する。図10に示す磁気メモリ200は、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子100が3×3のマトリックス配置をしている。図10は、磁気メモリの一例であり、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子100の構成、数及び配置は任意である。
2 第2強磁性層
3 非磁性層
10 機能部
20、21 スピン軌道トルク配線
20a 第1面
22 凸部
22a 頂部
22b 側面
24 挿入層
31 第1電極
32 第2電極
40 基板
50 層間絶縁膜
100、101、102 スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子
Claims (13)
- 第1方向に延在するスピン軌道トルク配線と、
前記スピン軌道トルク配線と交差する第2方向に積層された第1強磁性層と、を備え、
前記スピン軌道トルク配線は、前記スピン軌道トルク配線と前記第1強磁性層との接続部における第1面より前記第2方向に突出する凸部を有し、
前記凸部は前記第1強磁性層の周囲を囲んでいる、スピン軌道トルク型磁化回転素子。 - 前記凸部の前記第1強磁性層側の側面が、前記第1面から前記凸部の頂部に向かって、前記第1強磁性層から離れる向きに傾斜している、請求項1に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 前記スピン軌道トルク配線の前記凸部の位置において、前記スピン軌道トルク配線の前記第1強磁性層と反対側の面に、挿入層を有する、請求項1又は2に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 前記スピン軌道トルク配線が、Ta、W、Pt、Au、Nb、Mo、Ru、Os、Rh、Ir、Pd及びAgからなる群から選択される1種以上の元素を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子と、
前記第1強磁性層において前記スピン軌道トルク配線と接する面と反対側の面に積層された非磁性層と、
前記第1強磁性層と前記非磁性層を挟む第2強磁性層と、を備え、
前記第1強磁性層と前記非磁性層と前記第2強磁性層とが磁気抵抗効果を発現する機能部をなす、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。 - 前記凸部と前記機能部との最短距離が、前記機能部の高さ以下である、請求項5に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。
- 第1方向に延在するスピン軌道トルク配線と、
前記スピン軌道トルク配線と交差する第2方向に積層された第1強磁性層と、
前記第1強磁性層の前記スピン軌道トルク配線と接する面と反対側の面に積層された非磁性層と、
前記第1強磁性層と前記非磁性層を挟む第2強磁性層と、
を備え、
前記スピン軌道トルク配線は、前記スピン軌道トルク配線と前記第1強磁性層との接続部における第1面より前記第2方向に突出する凸部を有し、
前記第1強磁性層と前記非磁性層と前記第2強磁性層とが磁気抵抗効果を発現する機能部をなし、
前記凸部と前記機能部との最短距離が、前記機能部の高さと前記凸部の高さの差分以上である、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。 - 前記凸部の高さが、前記機能部の高さ以下である、請求項5から7のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。
- 前記機能部の側壁を保護する層間絶縁膜をさらに備え、
前記層間絶縁膜が、Si、Al、Ta、Mg、Hfからなる群から選択される1種以上の元素の酸化物または窒化物である、請求項5から8のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子。 - 請求項5から9のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子を複数備えた、磁気メモリ。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法であって、
基板上に保護層を積層し、少なくとも前記凸部となる位置を残して前記保護層を除去する工程と、
前記保護層上に、スピン軌道トルク配線となる層と強磁性層とを順に積層する工程と、
前記強磁性層上の一部に犠牲層を形成しエッチングする工程と、を有するスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載のスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法であって、
基板上にスピン軌道トルク配線となる層と強磁性層とを順に積層する工程と、
前記凸部及び前記第1強磁性層となる部分を被覆する犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層を介してエッチングする工程と、を有するスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法。 - 第1方向に延在するスピン軌道トルク配線と、
前記スピン軌道トルク配線と交差する第2方向に積層された第1強磁性層と、を備え、
前記スピン軌道トルク配線は、前記スピン軌道トルク配線と前記第1強磁性層との接続部における第1面より前記第2方向に突出する凸部を有するスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法であって、
基板上にスピン軌道トルク配線となる層と強磁性層とを順に積層する工程と、
前記第1強磁性層となる部分を被覆する保護層を形成した後、不要部を除去し、前記第1強磁性層を形成する工程と、
前記スピン軌道トルク配線となる層及び前記第1強磁性層を被覆する絶縁層を被覆する工程と、
前記スピン軌道トルク配線となる層と同じ材料を積層し、前記スピン軌道トルク配線となる層の厚みを増やす工程と、を有するスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018031984A JP7020173B2 (ja) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子、磁気メモリ及びスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法 |
US16/282,884 US10756262B2 (en) | 2018-02-26 | 2019-02-22 | Spin-orbit-torque magnetization rotational element, spin-orbit-torque magnetoresistance effect element, magnetic memory, and spin-orbit-torque magnetization rotational element manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018031984A JP7020173B2 (ja) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子、磁気メモリ及びスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019149403A JP2019149403A (ja) | 2019-09-05 |
JP7020173B2 true JP7020173B2 (ja) | 2022-02-16 |
Family
ID=67684664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018031984A Active JP7020173B2 (ja) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子、磁気メモリ及びスピン軌道トルク型磁化回転素子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10756262B2 (ja) |
JP (1) | JP7020173B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6803575B2 (ja) * | 2016-06-24 | 2020-12-23 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | I−iii−vi2化合物半導体を用いた磁気抵抗素子及びその製造方法、これを用いた磁気記憶装置並びにスピントランジスタ |
JP6686990B2 (ja) * | 2017-09-04 | 2020-04-22 | Tdk株式会社 | スピン軌道トルク型磁化反転素子及び磁気メモリ |
WO2020157958A1 (ja) * | 2019-02-01 | 2020-08-06 | Tdk株式会社 | スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ |
JP2021090041A (ja) * | 2019-11-26 | 2021-06-10 | Tdk株式会社 | 磁化回転素子、磁気抵抗効果素子、半導体素子、磁気記録アレイ及び磁気抵抗効果素子の製造方法 |
JP7384068B2 (ja) * | 2020-02-20 | 2023-11-21 | Tdk株式会社 | 磁化回転素子、磁気抵抗効果素子および磁気メモリ |
US11805706B2 (en) * | 2021-03-04 | 2023-10-31 | Tdk Corporation | Magnetoresistance effect element and magnetic memory |
US11793001B2 (en) | 2021-08-13 | 2023-10-17 | International Business Machines Corporation | Spin-orbit-torque magnetoresistive random-access memory |
US11915734B2 (en) | 2021-08-13 | 2024-02-27 | International Business Machines Corporation | Spin-orbit-torque magnetoresistive random-access memory with integrated diode |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014045196A (ja) | 2012-08-26 | 2014-03-13 | Samsung Electronics Co Ltd | スイッチングに基づいたスピン軌道相互作用を使用する磁気トンネルリング接合と、磁気トンネルリング接合を利用するメモリを提供するための方法及びシステム |
US20150213865A1 (en) | 2014-01-28 | 2015-07-30 | Qualcomm Incorporated | High density low power gshe-stt mram |
US20160225982A1 (en) | 2015-01-30 | 2016-08-04 | T3Memory, Inc. | Mram having spin hall effect writing and method of making the same |
JP2017028277A (ja) | 2015-07-17 | 2017-02-02 | 台湾積體電路製造股▲ふん▼有限公司Taiwan Semiconductor Manufacturing Company,Ltd. | 磁気トンネル接合装置の製造技術と対応装置 |
JP2018157111A (ja) | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 株式会社東芝 | 磁気記憶装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2963153B1 (fr) | 2010-07-26 | 2013-04-26 | Centre Nat Rech Scient | Element magnetique inscriptible |
CN103890855B (zh) | 2011-08-18 | 2016-09-21 | 康奈尔大学 | 自旋霍尔效应磁性设备、方法及应用 |
CN104704564B (zh) * | 2012-08-06 | 2017-05-31 | 康奈尔大学 | 磁性纳米结构中基于自旋霍尔扭矩效应的电栅控式三端子电路及装置 |
KR102080631B1 (ko) | 2014-08-08 | 2020-02-24 | 고쿠리츠 다이가쿠 호진 도호쿠 다이가쿠 | 자기 저항 효과 소자 및 자기 메모리 장치 |
-
2018
- 2018-02-26 JP JP2018031984A patent/JP7020173B2/ja active Active
-
2019
- 2019-02-22 US US16/282,884 patent/US10756262B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014045196A (ja) | 2012-08-26 | 2014-03-13 | Samsung Electronics Co Ltd | スイッチングに基づいたスピン軌道相互作用を使用する磁気トンネルリング接合と、磁気トンネルリング接合を利用するメモリを提供するための方法及びシステム |
US20150213865A1 (en) | 2014-01-28 | 2015-07-30 | Qualcomm Incorporated | High density low power gshe-stt mram |
US20160225982A1 (en) | 2015-01-30 | 2016-08-04 | T3Memory, Inc. | Mram having spin hall effect writing and method of making the same |
JP2017028277A (ja) | 2015-07-17 | 2017-02-02 | 台湾積體電路製造股▲ふん▼有限公司Taiwan Semiconductor Manufacturing Company,Ltd. | 磁気トンネル接合装置の製造技術と対応装置 |
JP2018157111A (ja) | 2017-03-17 | 2018-10-04 | 株式会社東芝 | 磁気記憶装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10756262B2 (en) | 2020-08-25 |
JP2019149403A (ja) | 2019-09-05 |
US20190267542A1 (en) | 2019-08-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201009 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210714 |
|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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