JP7016823B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
図1は、実施形態1に係る圧力センサの模式的な構成図である。圧力センサ100は、光源1と、光分岐部2と、複数(本実施形態では3本)の光伝送体31、32、33と、受光器であるPD(Photo Diode)アレイ4と、処理装置5と、を備える。
図5は、実施形態2に係る圧力センサの模式的な構成図である。圧力センサ100Aは、図1に示す圧力センサ100の構成において、光伝送体31、32、33をそれぞれ光伝送体31A、32A、33Aに置き換え、PDアレイ4をPD4a、4b、4cに置き換え、誘電体や金属などからなる反射膜61、62、63を追加した構成を有する。
図6は、実施形態3に係る圧力センサの模式的な構成図および波形図である。図6(a)に示すように、圧力センサ100Bは、光源1と、DC電源7と、信号発生器であるシンセサイザ8と、バイアスティ9と、分岐部10と、センサ光ファイバ31Bと、PD4Bと、オシロスコープ11と、処理装置5とを備えている。
2 光分岐部
4 PDアレイ
4a、4b、4c PD
5 処理装置
7 DC電源
8 シンセサイザ
9 バイアスティ
10 分岐部
11 オシロスコープ
31、32、33、31A、32A、33A 光伝送体
31a、31Aa、31Ab、32Aa、32Ab、33Aa、33Ab 伝送光ファイバ
31b、31B センサ光ファイバ
31B1 FBG部
31ba コア部
31bb クラッド部
31bc ナノ構造
61、62、63 反射膜
100、100A、100B 圧力センサ
Claims (13)
- 試験光を出力する光源と、
前記試験光が入力され、該試験光を0.3dB/m以上の損失で伝搬するセンサ光ファイバと、
前記センサ光ファイバを伝搬した前記試験光を受光する受光器と、
を備え、
前記センサ光ファイバは、コア部と該コア部の外周に形成されたクラッド部とを有し、前記コア部と前記クラッド部のとの界面付近に、複数のナノ構造が存在しており、前記ナノ構造は、前記センサ光ファイバの長手方向に垂直な断面における断面直径が100nm以下であり、かつ前記ナノ構造は、前記長手方向において1m未満の長さ領域で分布しており、
前記受光器により受光された前記試験光の強度に基づいて、前記センサ光ファイバに掛かっている圧力を検出することを特徴とする圧力センサ。 - 前記センサ光ファイバと、前記センサ光ファイバに接続された、前記センサ光ファイバよりも伝搬損失が小さい伝送光ファイバと、を含む光伝送体を備えることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記試験光の波長において、前記センサ光ファイバはシングルモード光ファイバであり、前記センサ光ファイバよりも前記光源側に位置する前記伝送光ファイバはマルチモード光ファイバであることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記マルチモード光ファイバは、前記センサ光ファイバと接続箇所にて融着接続されており、前記マルチモード光ファイバにおける前記接続箇所から所定の長さの部分に掛かっている圧力を検出することを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。
- 並列配置された複数の前記光伝送体を備え、前記複数の光伝送体のそれぞれに含まれる前記センサ光ファイバの位置が、長手方向において互いに異なることを特徴とする請求項2~4のいずれか一つに記載の圧力センサ。
- 前記受光器が、前記センサ光ファイバまたは前記伝送光ファイバの光ファイバ端面において反射した前記試験光を受光するように構成されていることを特徴とする請求項1~5のいずれか一つに記載の圧力センサ。
- 前記受光器が、前記センサ光ファイバの一端側から入力された前記試験光を前記センサ光ファイバの他端側において受光するように構成されていることを特徴とする請求項1~5のいずれか一つに記載の圧力センサ。
- 前記試験光はパルス光であり、
前記センサ光ファイバまたは前記伝送光ファイバは、長手方向における途中に反射部を有しており、
前記受光器が、前記反射部で反射された前記試験光を受光するように構成されていることを特徴とする請求項1~5のいずれか一つに記載の圧力センサ。 - 前記反射部は、前記センサ光ファイバまたは前記伝送光ファイバのコア部に形成された高屈折率部であることを特徴とする請求項8に記載の圧力センサ。
- 前記ナノ構造は、微粒子、円柱状のチューブ、または空隙であることを特徴とする請求項1~9のいずれか一つに記載の圧力センサ。
- 前記微粒子は、融点が1500℃以上の材料からなることを特徴とする請求項10に記載の圧力センサ。
- 前記試験光の強度に基づいて前記センサ光ファイバに掛かっている圧力を求める処理装置を備えることを特徴とする請求項1~11のいずれか一つに記載の圧力センサ。
- 前記処理装置は、前記圧力に基づいて音響波の強度を求めるように構成されていることを特徴とする請求項12に記載の圧力センサ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022049133A (ja) * | 2020-09-16 | 2022-03-29 | 古河電気工業株式会社 | 生体内圧力測定装置 |
JP2022049796A (ja) * | 2020-09-17 | 2022-03-30 | 日本ゼオン株式会社 | 物体検出装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4915473A (en) | 1989-02-23 | 1990-04-10 | The Dow Chemical Company | Pressure sensor utilizing a polyurethane optical fiber |
JP2006258463A (ja) | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Yokogawa Denshikiki Co Ltd | 外力検出装置及びこれを用いた防犯システム |
CN101261117A (zh) | 2008-04-18 | 2008-09-10 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于多孔微结构光纤的应变传感器 |
CN102998039A (zh) | 2011-09-19 | 2013-03-27 | 杭州有源光电科技有限公司 | 基于光纤环镜的保偏光纤的应力、扭曲同时测量的传感器 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4659923A (en) * | 1981-03-09 | 1987-04-21 | Polaroid Corporation | Fiber optic interferometer transducer |
FR2681438B1 (fr) * | 1991-09-16 | 1994-12-09 | Alcatel Nv | Procede pour limiter les pertes de couplage entre une fibre optique monomode et un systeme optique presentant respectivement des diametres de mode differents. |
JPH095021A (ja) * | 1995-06-20 | 1997-01-10 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 光ファイバセンサ |
US5917180A (en) * | 1997-07-16 | 1999-06-29 | Canadian Space Agency | Pressure sensor based on illumination of a deformable integrating cavity |
CA2240550C (en) * | 1997-07-31 | 2003-12-02 | Litton Systems, Inc. | Tdm array of optical non-acoustic pressure sensors |
JP2000346722A (ja) * | 1999-06-07 | 2000-12-15 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 力学センサ |
JP2005274201A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Yokogawa Denshikiki Co Ltd | 外力検出システム |
JP2006010384A (ja) * | 2004-06-23 | 2006-01-12 | Fujikura Ltd | 圧力センサ |
US7359586B2 (en) * | 2004-11-12 | 2008-04-15 | Gennadii Ivtsenkov | Fiber optic strain sensor and associated data acquisition system |
JP4536114B2 (ja) * | 2005-05-26 | 2010-09-01 | 三菱電機株式会社 | 光ファイバセンサ |
JP4751118B2 (ja) * | 2005-07-21 | 2011-08-17 | 株式会社フジクラ | 光学式検出センサ |
US7551810B2 (en) * | 2005-09-22 | 2009-06-23 | Optech Ventures, Llc | Segmented fiber optic sensor and method |
CN101165459B (zh) * | 2006-10-20 | 2010-09-29 | 株式会社藤仓 | 光学式检测传感器 |
CN100588914C (zh) * | 2007-10-18 | 2010-02-10 | 西北工业大学 | 一种基于包层导光的光子晶体光纤传感装置 |
CN105974513B (zh) | 2009-11-20 | 2022-10-14 | 康宁股份有限公司 | 具有侧面发光的光学光子纤维的照明系统及其制造方法 |
US8478384B2 (en) | 2010-01-19 | 2013-07-02 | Lightlab Imaging, Inc. | Intravascular optical coherence tomography system with pressure monitoring interface and accessories |
US8744782B2 (en) * | 2010-11-16 | 2014-06-03 | Corning Incorporated | System and method for simultaneously determining strain and temperature characteristics of an object |
CN102494816B (zh) * | 2011-11-20 | 2015-03-04 | 北京航空航天大学 | 一种基于光子晶体光纤的压力传感方法及传感器 |
US9459163B2 (en) | 2013-01-22 | 2016-10-04 | The Regents Of The University Of California | Ultra-sensitive force sensing based on evanescent light |
JP6534999B2 (ja) * | 2014-07-04 | 2019-06-26 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバレーザ装置 |
US9921164B2 (en) * | 2016-05-11 | 2018-03-20 | Uvic Industry Partnerships Inc. | System and method for molecule sensing using evanescent light coupling approach |
JP6406418B1 (ja) * | 2017-11-15 | 2018-10-17 | 沖電気工業株式会社 | 光ファイバセンサ装置 |
CN109238535A (zh) * | 2018-10-24 | 2019-01-18 | 深圳大学 | 多芯光纤压力传感器、传感系统及传感器制备方法 |
JP2022049133A (ja) * | 2020-09-16 | 2022-03-29 | 古河電気工業株式会社 | 生体内圧力測定装置 |
JP7516337B2 (ja) * | 2021-10-22 | 2024-07-16 | 古河電気工業株式会社 | センシングケーブルおよびセンシングシステム |
JP2023136527A (ja) * | 2022-03-17 | 2023-09-29 | 古河電気工業株式会社 | 温度センサ |
-
2019
- 2019-03-12 JP JP2019044462A patent/JP7016823B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-05 CN CN202080017056.1A patent/CN113490840B/zh active Active
- 2020-03-05 EP EP20770067.5A patent/EP3940354A4/en active Pending
- 2020-03-05 WO PCT/JP2020/009514 patent/WO2020184396A1/ja unknown
-
2021
- 2021-09-03 US US17/446,876 patent/US12078562B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4915473A (en) | 1989-02-23 | 1990-04-10 | The Dow Chemical Company | Pressure sensor utilizing a polyurethane optical fiber |
JP2006258463A (ja) | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Yokogawa Denshikiki Co Ltd | 外力検出装置及びこれを用いた防犯システム |
CN101261117A (zh) | 2008-04-18 | 2008-09-10 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于多孔微结构光纤的应变传感器 |
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Cited By (1)
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