JP7007420B2 - ラインのうねりを低減するための方法 - Google Patents
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Description
工程1030Cで示すように、対称角1106のセレーション選択1110を決定することは、対称角1106のセレーションピッチ(SP)1114を決定することを更に含む。セレーションピッチ1114は、以下に示すように、方程式2を用いて求められうる。
工程1040において、セレーション選択1110は、図10A及び図10Bに示すように、対称角1106で適用される。いくつかの実施形態では、セレーション選択1110は、基板に適用されてもよい。特定の実施形態では、セレーション選択1110は、露光パターンが形成される前又は形成された後に適用されうる。セレーション選択1110は、波形のような少なくとも1つの湾曲したエッジを有する多角形を含みうる。上述のように、波形は、正方形の波形、三角形の波形、湾曲した波形、又は少なくとも1つの湾曲したエッジを有する他の任意の多角形状を含みうる。
Claims (17)
- 露光パターンを変更するための方法であって、
デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)の複数のミラーの配列を決定することと、
前記DMDの複数のミラーの配列の対称角を決定することと、
前記対称角における鋸歯形状の振幅とピッチを決定することと、
前記鋸歯形状の振幅とピッチを、前記対称角付近で延びる前記露光パターンに適用することと、
を含む方法。 - 前記鋸歯形状の振幅とピッチをその上に有するパターンを露光すること
を更に含む、請求項1に記載の方法。 - 前記DMDの複数のミラーの配列が六方最密配置である、請求項1に記載の方法。
- 前記鋸歯形状が、方形の波形又は三角形の波形を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記鋸歯形状の振幅とピッチを決定することが、前記対称角における前記鋸歯形状のピッチを決定することと、前記DMDの複数のミラーの配列のミラーショットピッチを決定することと、を含み、前記鋸歯形状のピッチの前記ミラーショットピッチに対する割合が、約3.0から約8.0までの間である、請求項1に記載の方法。
- 前記鋸歯形状の振幅とピッチを決定することが、前記対称角における前記鋸歯形状の振幅を決定することと、前記DMDの複数のミラーの配列のミラーショットピッチを決定することと、を含み、前記鋸歯形状の振幅が、前記ミラーショットピッチの約50%から約120%までの間である、請求項1に記載の方法。
- 露光パターンを変更するためのコンピュータシステムであって、
プロセッサと、
命令を記憶するメモリと
を備え、前記命令は、前記プロセッサによって実行されるときに、前記コンピュータシステムに、
デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)の複数のミラーの配列を決定させ、
前記DMDの複数のミラーの配列の対称角を決定させ、
前記対称角における鋸歯形状の振幅とピッチを決定させ、
前記鋸歯形状の振幅とピッチを、前記対称角付近で延びる前記露光パターンに適用させる、
コンピュータシステム。 - 前記鋸歯形状の振幅とピッチをその上に有するパターンを露光すること
を更に含む、請求項7に記載のコンピュータシステム。 - 前記DMDの複数のミラーの配列が六方最密配置である、請求項7に記載のコンピュータシステム。
- 前記鋸歯形状が、方形の波形又は三角形の波形を含む、請求項7に記載のコンピュータシステム。
- 前記鋸歯形状の振幅とピッチを決定することが、前記対称角における前記鋸歯形状のピッチを決定することと、前記DMDの複数のミラーの配列のミラーショットピッチを決定することと、を含み、前記鋸歯形状のピッチの前記ミラーショットピッチに対する割合が、約3.0から約8.0までの間である、請求項7に記載のコンピュータシステム。
- 前記鋸歯形状の振幅とピッチを決定することが、前記対称角における前記鋸歯形状の振幅を決定することと、前記DMDの複数のミラーの配列のミラーショットピッチを決定することと、を含み、前記鋸歯形状の振幅が、前記ミラーショットピッチの約50%から約120%までの間である、請求項7に記載のコンピュータシステム。
- 命令を記憶する非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記命令が、プロセッサによって実行されるときに、
デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)の複数のミラーの配列を決定するステップと、
前記DMDの複数のミラーの配列の対称角を決定するステップと、
前記対称角における鋸歯形状の振幅とピッチを決定するステップと、
前記鋸歯形状の振幅とピッチを、前記対称角付近で延びる露光パターンに適用するステップと、
を実行することによって、コンピュータシステムに前記露光パターンを変更させる、非一時的コンピュータ可読媒体。 - 前記鋸歯形状の振幅とピッチをその上に有するパターンを露光すること
を更に含む、請求項13に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。 - 前記DMDの複数のミラーの配列が六方最密配置である、請求項13に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
- 前記鋸歯形状が、方形の波形又は三角形の波形を含む、請求項13に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
- 前記鋸歯形状の振幅とピッチを決定することが、前記対称角における前記鋸歯形状のピッチを決定することと、前記DMDの複数のミラーの配列のミラーショットピッチを決定することと、前記対称角における前記鋸歯形状の振幅を決定することと、を含み、前記鋸歯形状のピッチの前記ミラーショットピッチに対する割合が約3.0から約8.0までの間であり、前記鋸歯形状の振幅が前記ミラーショットピッチの約50%から約120%までの間である、請求項13に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
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