JP7003588B2 - バルブ装置 - Google Patents

Description

この明細書における開示は、流体が流れる流通路を開閉するバルブ装置に関する。

特許文献１には、燃料噴射装置に用いられているバルブ装置が開示されている。このバルブ装置では、バルブが離着座するシート部の表面に高硬度のコーティング層を成膜することで、シート部の耐摩耗性を向上させている。

特開平１０－１２２０８２号公報

しかしながら、硬度と靭性は相反するものであり、コーティング層を高硬度に成膜して耐摩耗性を向上させるほど、靭性の低下を招く。その結果、例えば流体に砂系異物が混入している場合には、砂系異物がシート部に噛み込んで割れや欠けの原因となる。そのため、バルブ装置のシート部においては、硬度と靭性のバランスを調節してコーティング層を成膜することが重要である。例えば、アークイオンプレーティング法で成膜する場合には、アークを生じさせる電圧や成膜時の雰囲気圧力等の成膜条件を調節することで、硬度を調節することが可能であり、上記バランスが最適となるように成膜条件を調節することが望まれる。

硬度については、コーティング層に圧子を押し付けて生じる圧痕の大きさ（ビッカース硬さ）を指標とすることが知られている。靭性については、以下に説明するクラック長さを指標とすることが日本工業規格（ＪＩＳ）で規定されている。すなわち、ビッカース試験の菱形圧痕の頂角から生じるクラックであって、菱形の対角線方向に延びるクラックの長さである。そして本発明者らは、これらの指標を用いて成膜条件を調節することを検討した。

しかしながら、コーティング層のような薄膜の場合、上記クラックを生じさせるような荷重でコーティング層に圧子を押し付けると、コーティング層が割れてしまう。換言すれば、コーティング層が砕けない程度の荷重で圧子を押し付けても、上記クラックは生じない。このように、コーティング層を対象とした靭性については、好適な指標が存在せず、成膜条件をどのように調節すれば良いかを正確に把握できていないのが実情である。よって、従来のバルブ装置では、コーティング層の硬度と靭性のバランスについて、十分に最適化できていない。

開示される１つの目的は、コーティング層の硬度と靭性のバランスの最適化を図ったバルブ装置を提供することである。

上記目的を達成するため、開示された１つの態様は、
流体が流れる流通路（４１）を開閉する弁体（２５）と、
流通路を形成するとともに、弁体のシート面（２５ａ）が離着座する弁座（４２）を有する弁部材（４０）と、を備え、
シート面および弁座の少なくとも一方は、金属母材（４０ａ）と、金属母材の表面に形成され金属母材よりも高硬度のコーティング層（４０ｂ）と、を有し、
コーティング層に四角錐形状の圧子（１１０）を押し付けて生じる圧痕（４７）の外形線の全長をＬａと定義し、圧子を押し付けて生じるクラック（４７１、４７２、４７３、４７４）の外形線への投影長の総和をＬｂと定義し、Ｌｂ／Ｌａをクラック率と定義し、
コーティング層は、クラック率が１２％以上３０％以下、かつ、硬度が２０ＧＰａ以上２５ＧＰａ以下となるように形成されているバルブ装置とされる。

ここで、コーティング層に四角錐形状の圧子を押し付けて圧痕を形成するにあたり、コーティング層が砕けない程度の荷重で圧子を押し付けた場合、圧痕の外形線に沿って延びるクラックが生じることがある。そして、このクラックの長さは靭性と相関があり、靭性が低いほどクラックが生じやすく、かつ、靭性が低いほどクラックが長くなる、といった知見を本発明者は得た。

この知見を鑑み、上記態様では、コーティング層に四角錐形状の圧子を押し付けて生じる圧痕の外形線の全長をＬａと定義し、圧子を押し付けて生じるクラックの外形線への投影長の総和をＬｂと定義し、Ｌｂ／Ｌａをクラック率と定義している。そして、コーティング層は、クラック率が１２％以上３０％以下、かつ、硬度が２０ＧＰａ以上２５ＧＰａ以下となるように形成されている。このように定義されたクラック率は靭性と高い相関を有するので、クラック率が３０％以下となるように形成された上記コーティング層によれば、十分な靭性が確保されている。それでいて、硬度が２０ＧＰａ以上となるように形成されているので、十分な硬度も確保されている。

そして、衝突を繰り返すシート面または弁座の耐摩耗性については硬度２０ＧＰａ以上を確保しつつ、流体に混入した砂系異物がシート面と弁座の間に噛み込んだ場合の靭性についてはクラック率３０％以下に抑えることが、靭性と硬度の最適なバランスである。つまり、バルブ装置のシート面または弁座の場合、クラック率１２％以上３０％以下、かつ、硬度２０ＧＰａ以上２５ＧＰａ以下が最適バランスであることを本発明者らは見出した。このように、上記態様のバルブ装置では、コーティング層の硬度と靭性のバランスが最適化されている。

尚、上記括弧内の参照番号は、後述する実施形態における具体的な構成との対応関係の一例を示すものにすぎず、技術的範囲を何ら制限するものではない。

第１実施形態に係る燃料噴射弁（バルブ装置）を模式的に示す断面図である。 第１実施形態に係る燃料噴射弁の、保持部、支持部および弁体を示す斜視図である。 第１実施形態に係る燃料噴射弁の、弁座プレートを示す斜視図である。 図３のＩＶ矢視図である。 第１実施形態に係る燃料噴射弁の、弁座プレートおよび弁体を示す断面図である。 第１実施形態に係る弁座プレートのコーティング層形成に用いる、アークイオンプレーティング装置の概略図である。 第１実施形態に係る弁座プレートに、マイクロビッカース試験装置の圧子が押し付けられた状態を模式的に示す断面図である。 図７のＶＩＩＩ矢視図である。 圧子の押付荷重、圧子の押付量および圧痕の対角線長さの関係を試験した結果を示すグラフである。 クラック率と硬度の関係を試験した結果を示すグラフである。 圧子の押付荷重、クラック率および硬度の関係を試験した結果を示すグラフである。 クラック率とリーク急増時間の関係を試験した結果を示すグラフである。

以下、本開示の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、各実施形態において対応する構成要素には同一の符号を付すことにより、重複する説明を省略する場合がある。各実施形態において構成の一部分のみを説明している場合、当該構成の他の部分については、先行して説明した他の実施形態の構成を適用することができる。

（第１実施形態）
本実施形態に係るバルブ装置は、図１に示す燃料噴射弁１０に適用されたものである。燃料噴射弁１０は、車両に搭載された内燃機関のシリンダヘッドに取り付けられ、内燃機関の燃焼に用いる燃料を燃焼室へ噴射する。内燃機関は自着火燃焼するディーゼルエンジンであり、燃料には軽油が用いられている。

燃料噴射弁１０は、金属製のボデー、電動のアクチュエータ２０、ピストン３１、ロッド３２、ニードル３３、弁座プレート４０およびシリンダプレート５０を備える。ボデーは、複数に分割されており、第１ボデー１１、第２ボデー１２、第３ボデー１３および第４ボデー１４を有する。第１ボデー１１は、アクチュエータ２０を内部に収容する。第２ボデー１２は、シリンダプレート５０を内部に収容する。第３ボデー１３は、ピストン３１およびロッド３２を摺動可能な状態で内部に収容する。第４ボデー１４は、ニードル３３を摺動可能な状態で内部に収容する。

第３ボデー１３には高圧流入口Ｈ１が形成され、第３ボデー１３および第４ボデー１４には、高圧流入口Ｈ１に連通する高圧通路Ｈ２が形成されている。さらに第４ボデー１４には、高圧通路Ｈ２に連通する溜室１４ａが形成されており、この溜室１４ａにニードル３３は配置されている。換言すれば、溜室１４ａは、ニードル３３を取り囲む環状の燃料通路として機能する。さらに第４ボデー１４には、溜室１４ａに連通する噴孔１４ｂが形成されている。そして、図示しないコモンレールから高圧流入口Ｈ１へ供給された高圧燃料は、高圧通路Ｈ２および溜室１４ａを通じて噴孔１４ｂから噴射される。

ニードル３３は、先端に円錐面を有する針状の円柱形状であり、その円錐面は、第４ボデー１４の内周面に形成された弁座１４ｃに当接するシート面３３ａとして機能する。ニードル３３が弁座１４ｃに着座してシート面３３ａが弁座１４ｃに密着すると、溜室１４ａ（燃料通路）が閉鎖され、噴孔１４ｂからの燃料噴射が停止される。ニードル３３が弁座１４ｃから離座してシート面３３ａが弁座１４ｃから離れると、溜室１４ａ（燃料通路）が開放され、噴孔１４ｂから燃料が噴射される。

ロッド３２の一端はニードル３３の反噴孔側に接続され、ロッド３２の他端はピストン３１に接続されている。ピストン３１、ロッド３２およびニードル３３は、一体となって軸方向（図１の上下方向）に往復動する。なお、ピストン３１およびロッド３２は軸方向に延びる円柱形状である。

ピストン３１の反噴孔側には制御室１３ａが設けられている。制御室１３ａは、第２ボデー１２、第３ボデー１３およびピストン３１に囲まれた形成されており、第２ボデー１２に形成された流入通路Ｈ３および流出通路Ｌ１と連通している。流入通路Ｈ３は高圧流入口Ｈ１と連通しており、高圧流入口Ｈ１から流入した高圧燃料の一部は、流入通路Ｈ３を通じて制御室１３ａへ流入する。これにより、制御室１３ａには燃料が充填される。

制御室１３ａに充填されている燃料は、ピストン３１を噴孔１４ｂへ近づかせる向きに付勢する。換言すれば、制御室１３ａ内の燃料の圧力をピストン３１の受圧面積に乗算した力である燃圧閉弁力が、ピストン３１に付与される。燃圧閉弁力は、ピストン３１およびロッド３２を介してニードル３３に伝達される。また、ニードル３３には、弾性部材３２ａの弾性変形による力（弾性力）が、ニードル３３を噴孔１４ｂへ近づく向きに付与されている。したがって、これら燃圧閉弁力および弾性力は、ニードル３３を閉弁作動させる力（閉弁力）としてニードル３３に作用する。

また、溜室１４ａに充填されている燃料は、ニードル３３を噴孔１４ｂから遠ざける向きに付勢する。換言すれば、溜室１４ａ内の燃料の圧力を、ニードル３３の噴孔側の面の面積に乗算した力である燃圧開弁力が、ニードル３３に付与される。したがって、制御室１３ａの燃料の圧力（制御圧）を十分に大きくすると、燃圧閉弁力および弾性力が燃圧開弁力よりも大きくなり、ニードル３３が閉弁作動してシート面３３ａが弁座１４ｃに密着した状態になり、噴孔１４ｂからの燃料噴射が停止される。制御圧を十分に小さくすると、燃圧閉弁力および弾性力が燃圧開弁力よりも小さくなり、ニードル３３が開弁作動してシート面３３ａが弁座１４ｃから離れた状態になり、噴孔１４ｂから燃料が噴射される。

弁座プレート４０は、第２ボデー１２のうち制御室１３ａの反対側の面に固定されている。弁座プレート４０には、先述した流出通路Ｌ１の一部として機能する貫通孔４１が形成されている。貫通孔４１は、液体燃料である流体が流れる「流通路」に相当する。弁座プレート４０は、上記流通路を形成するとともに、後述する弁体２５のシート面２５ａが離着座する弁座４２を有する「弁部材」に相当する。

第３ボデー１３および第２ボデー１２には、低圧通路Ｌ２が形成されている。第１ボデー１１には、低圧通路Ｌ２と連通する低圧室１２ａと、その低圧室１２ａと連通する低圧流出口Ｌ３とが形成されている。低圧通路Ｌ２は、溜室１４ａ等からリークした低圧燃料、および流出通路Ｌ１から流出した低圧燃料を流通させる。低圧通路Ｌ２から低圧室１２ａへ流入した低圧燃料は、低圧流出口Ｌ３を通じて第１ボデー１１から流出し、図示しない低圧配管を通じて燃料タンクへ戻される。

アクチュエータ２０は、電磁コイル２１、制御弁２２および弾性部材２６を有する。制御弁２２は、低圧室１２ａに配置されるとともにシリンダプレート５０により摺動可能に保持され、弁座プレート４０の貫通孔４１を開閉する。制御弁２２には、弾性部材２６の弾性変形による力（弾性力）が、制御弁２２を貫通孔４１へ近づく向きに付与されている。したがって、弾性部材２６による弾性力は、制御弁２２を閉弁作動させる力（閉弁力）として制御弁２２に作用する。電磁コイル２１への通電により磁束を生じさせると、制御弁２２には磁気吸引力が作用する。この磁気吸引力は、制御弁２２を開弁作動させる力（開弁力）として制御弁２２に作用する。

図２に示すように、制御弁２２は、保持部２３、支持部２４および弁体２５を有する。保持部２３は金属製であり、軸方向に延びる円筒形状である。支持部２４は金属製であり、保持部２３の円筒内部に溶接または圧入等の手段で固定されている。支持部２４は、円錐形状の支持面２４ａを有する。弁体２５は金属製のボール形状であり、ボールの一部に平坦形状のシート面２５ａが形成されている。弁体２５は、保持部２３の円筒内部に、回転可能な状態で保持されている。具体的には、保持部２３の円筒端部は、加締めにより塑性変形されて小径に形成されており、弁体２５が保持部２３から抜け落ちないように機能する。つまり、弁体２５は、保持部２３の加締め部と支持部２４の支持面２４ａとの間に挟まれて、回転可能な状態で保持されている。

図３に示すように、弁座プレート４０は、金属製の円板形状であり、シリンダプレート５０と第２ボデー１２とに挟まれている。弁座プレート４０には、貫通孔４１に加えて、弁座４２、テーパ面４３、環状溝４４、ストレート溝４５および当接面４６が形成されている。弁座４２は、貫通孔４１の流出口周りに環状に延びる平坦面を有した形状であり、その平坦面に弁体２５のシート面２５ａが離着座する。上記平坦面は、軸方向に対して垂直に拡がる面である。弁体２５は、セラミックまたは合金の球体の一部を研削して製造されている。

環状溝４４は、弁座４２の周りに環状に延びる溝である。環状溝４４の底面と弁座４２の外周縁とを接続する面は、軸方向に対して傾斜するテーパ面４３である。ストレート溝４５は、弁座プレート４０の径方向に延びる形状の溝である。ストレート溝４５は、環状溝４４と連通し、複数本形成されている。弁体２５が開弁作動することに伴い貫通孔４１から流出した低圧燃料は、環状溝４４およびストレート溝４５を流通した後、シリンダプレート５０と第２ボデー１２との接触面に形成された図示しない連通溝を通じて低圧通路Ｌ２へ流入する。

図４中の一点鎖線はシート面２５ａの外縁を示す。弁座プレート４０のうち環状溝４４より径方向外側の部分、かつ一点鎖線より径方向内側の部分、かつストレート溝４５が形成されていない部分は、シート面２５ａと当接する当接面４６として機能する。つまりシート面２５ａは、弁座４２に加えて当接面４６とも離着座する（図５参照）。

図５に示すように、弁座プレート４０のうち弁座４２が形成されている側の面には、硬質のコーティングが施されている。換言すれば、弁座プレート４０は、金属母材４０ａと、金属母材４０ａの表面に形成されたコーティング層４０ｂと、を有していると言える。コーティング層４０ｂは金属母材４０ａに比べて高硬度である。金属母材４０ａの材質は、鉄Ｆｅを主成分（５０％以上）としクロムＣｒを１０．５％以上含むステンレス鋼である。コーティング層４０ｂの材質は窒化クロムＣｒＮである。

図６に示すイオンプレーティング装置２００を用いて、イオンプレーティング法によりコーティング層４０ｂは形成されている。イオンプレーティング法とは、イオン化した金属を被加工物に蒸着させる表面処理のことであり、本実施形態では、イオン化したクロムＣｒを、窒素が存在する高温低圧環境下で、金属母材４０ａ（被加工物）に蒸着させることでコーティング層４０ｂを形成する。

イオンプレーティング装置２００は、真空容器２０１、回転テーブル２０２、バイアス電源２０３、ターゲット２０４、アーク電源２０５およびヒータ２０６を備える。真空容器２０１内には、回転テーブル２０２、ターゲット２０４およびヒータ２０６が配置されている。回転テーブル２０２にはバイアス電源２０３の陰極が電気接続され、ターゲット２０４にはアーク電源２０５の陽極が電気接続されている。また、回転テーブル２０２には、被加工物としての金属母材４０ａが載置され、ターゲット２０４には、蒸着金属としてのクロムＣｒがセットされている。

イオンプレーティング装置２００を以下のように作動させることで、コーティング層４０ｂは形成される。すなわち、ガス導入口２０１ａから窒素ガスを導入して、真空容器２０１内の窒素ガス濃度を所定濃度にする。真空容器２０１内を所定圧力（例えば０．０３３Ｐａ以下）に減圧する。ヒータ２０６を作動させて真空容器２０１内を所定温度（例えば５００℃）にする。回転テーブル２０２を所定速度で回転させる。そして、バイアス電源２０３に所定のバイアス電圧（例えば０Ｖ～３００Ｖ）を印加することで、ターゲット２０４にセットされた金属と回転テーブル２０２に載置された金属母材４０ａとの間でアーク放電させる。

上述した各種の成膜条件、すなわちバイアス電圧の大きさ、バイアス電圧の印加時間、真空容器２０１内の窒素ガス濃度、圧力、温度、および回転テーブル２０２の回転速度を調節することで、コーティング層４０ｂの厚さ、硬度および靭性が調節される。具体的には、硬度および靭性の目標値を定め、その目標値となるように上記成膜条件を調節する。コーティング層４０ｂの厚さの目標値は、例えば３μｍに設定されている。

硬度については、図７に示すマイクロビッカース試験装置１００の圧子１１０をコーティング層４０ｂに押し付けて生じる圧痕４７（図８参照）の大きさで表されるビッカース硬さを指標とする。具体的には、圧痕４７の表面積に対する、圧子１１０を押し付けるのに要した荷重の比率を、ＧＰａ（＝ｋｇｆ／ｍｍ^２）で表現する。本実施形態に係るコーティング層４０ｂの目標硬度は、２０ＧＰａ以上２５ＧＰａ以下の範囲に設定されている。なお、圧子１１０は、日本工業規格で定められた形状である。すなわち、対向する２つの圧子面１１０ａの対面角度を１３６度とする、四角錐形状である。

靭性については、図８を用いて以下に詳述するクラック率を指標とする。

圧痕４７は、弁座プレート４０の表面から四角錐形状に窪んだ形状である。四角錐の底面に位置する４本の外形線４７ａは、概略、正方形になることを想定している。圧痕４７の稜線４７ｂが正方形の対角線に位置する。各々の外形線４７ａの長さをＡ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４とし、外形線４７ａの全長（Ａ１＋Ａ２＋Ａ３＋Ａ４）をＬａと定義する。

さて、コーティング層４０ｂの靭性が低い場合には、外形線４７ａに沿って延びるクラック４７１、４７２、４７３、４７４が生じる。これらのクラック４７１～４７４は、図８に示すような湾曲した形状になることを想定しているが、直線形状や蛇行した形状になる場合もある。また、クラック４７１～４７４が生じる位置は、圧痕４７の外の場合（符号４７２、４７３参照）もあるし、圧痕４７の中の場合（符号４７１、４７４参照）もある。

いずれの形状および位置であっても、クラック４７１～４７４の外形線４７ａへの投影長をＢ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４とし、投影長の全長（Ｂ１＋Ｂ２＋Ｂ３＋Ｂ４）をＬｂと定義する。図８に示すようにクラック４７１～４７４が複数生じた場合には、各々のクラック４７１～４７４の投影長の総和をＬｂと定義し、クラックが１つの場合には、その１つのクラックの投影長をＬｂと定義し、クラックが生じない場合にはＬｂ＝０とする。

そして、上述の如く定義されたＬａに対するＬｂの比率Ｌｂ／Ｌａをクラック率と定義する。したがって、投影長の長いクラックが生じるほどクラック率の値は大きくなる。また、生じたクラックの本数が多いほどクラック率の値は大きくなる。そして、クラック率の値が大きいほど、コーティング層４０ｂの靭性が低いと言える。

また、上記クラック率は、コーティング層４０ｂの厚さＤ１（図７参照）より小さい押付量Ｄ２で、コーティング層４０ｂに圧子１１０を押し付けた場合に生じる圧痕４７およびクラックを対象として定義されたものである。図９の横軸は、マイクロビッカース試験装置１００により圧子１１０を押し付ける荷重を示し、右側の縦軸は圧子１１０の深さ（押付量Ｄ２）を示し、左側の縦軸は、圧痕４７の対角線長さを示す。図９に示す試験結果は、コーティング層４０ｂの厚さＤ１を３μｍとした場合、０．２ｋｇｆ未満の荷重で圧子１１０を押し付ければＤ２＜Ｄ１となることを示す。

さて、燃料噴射弁１０に用いる燃料に砂系異物Ｓ（図５参照）が混入している場合がある。この場合には、弁体２５が閉弁作動した時に、弁座プレート４０の弁座４２と弁体２５のシート面２５ａとの間に砂系異物Ｓが噛み込み、弁座プレート４０のコーティング層４０ｂに割れや欠けが生じることが懸念される。また、このような割れや欠けが起点となって、コーティング層４０ｂが金属母材４０ａから脱落する懸念も生じる。この懸念に対しては、コーティング層４０ｂの靭性を高くすることが有効である。つまり、クラック率の値が大きいほど靭性が高くなり、砂系異物Ｓによるコーティング層４０ｂの割れ欠けが生じにくくなる。

その一方で、弁座プレート４０の弁座４２および当接面４６は、弁体２５が繰り返し衝突する部分であるため摩耗が生じやすい。そのため、弁座４２および当接面４６は高硬度であることが望ましい。そして、硬度と靭性は相反するものであり、コーティング層４０ｂを高硬度に成膜して耐摩耗性を向上させるほど、靭性の低下を招き、砂系異物Ｓ等に起因した割れ欠けが生じやすくなる。そのため、弁座プレート４０のコーティング層４０ｂにおいては、硬度と靭性のバランスを調節することが重要である。

図１０に示す試験結果は、マイクロビッカース試験装置１００により圧痕４７を形成して計測したクラック率と硬度との関係を示す。なお、図１０中の黒塗りドットは窒化クロムＣｒＮの試験データ、白丸ドットは窒化チタンＴｉＮの試験データ、白三角ドットは窒化チタンアルミニウムＴｉＡｌＮの試験データである。この試験に係る成膜条件では、コーティング層４０ｂの厚さ、バイアス電圧、およびコーティング層４０ｂの材質を変化させている。

この試験結果は、成膜条件を調節してクラック率を３０％より大きくして靭性を低くしても硬度は大きく向上せず、それでいて、成膜条件を調節してクラック率を３０％以下にしても２０ＧＰａ以上の硬度を確保できることを意味する。この点を鑑み、本実施形態では、クラック率が３０％以下かつ硬度が２０ＧＰａ以上となるように、コーティング層４０ｂを形成している。具体的には、イオンプレーティング装置２００に係る上記成膜条件を調節すれば、クラック率が３０％以下かつ硬度が２０ＧＰａ以上となるようにコーティング層４０ｂを形成できる。例えば、バイアス電圧を高くするほど、高硬度かつ低靭性となるので、クラック率が３０％以下かつ硬度が２０ＧＰａ以上となるようにバイアス電圧を調節して、コーティング層４０ｂを形成する。

さらに、図１０に示す試験結果は、クラック率が１２％未満になる（高靭性になる）と、硬度が急激に低下することを意味する。この点を鑑み、本実施形態では、クラック率が１２％以上となるようにコーティング層４０ｂを形成している。さらに、図１０に示す試験結果は、硬度を２５ＧＰａより大きくすると、クラック率が極めて大きくなる（低靭性になる）ことを意味する。この点を鑑み、本実施形態では、硬度が２５ＧＰａ以下となるようにコーティング層４０ｂを形成している。

図１１に示す試験結果は、５つの供試体（１）～（５）について、圧子１１０の押付荷重条件を変更させてクラック率を計測した値である。供試体（１）～（４）については、コーティング層４０ｂの材質を窒化クロムＣｒＮとし、印加するバイアス電圧を各供試体（１）～（４）で異ならせている。供試体（１）のバイアス電圧は０Ｖ、供試体（２）のバイアス電圧は７５Ｖ、供試体（３）のバイアス電圧は１００Ｖ、供試体（４）のバイアス電圧は３００Ｖである。バイアス電圧を高くするほど高硬度になることは一般的に知られており、高硬度であるほど靭性が低くなることは先述した通りである。そして、供試体（１）～（４）による試験結果は、本発明者らが定義したクラック率の値は、高硬度であるほど高くなる（低靭性になる）ことを示している。つまり、本発明者らが定義したクラック率は靭性と高い相関関係にあることを示している。

但し、押込荷重を０．１５ｋｇｆとした場合には、圧痕４７の外形線４７ａのほぼ全周にクラックが生じたため、硬度の違いによるクラック率（靭性）の違いを精度よく検出できていない。また、押込荷重を０．１ｋｇｆとした場合には、クラックが殆ど生じなかったため、硬度の違いによるクラック率（靭性）の違いを精度よく検出できていない。そして、０．１１ｋｇｆ～０．１３ｋｇｆの範囲であれば、硬度の違いによるクラック率（靭性）の違いが精度よく検出できている。要するに、押込荷重には、クラック率（靭性）を高精度で検出可能な範囲が存在することが、図１１の試験により確認された。

また、供試体（５）については、コーティング層４０ｂの材質を窒化チタンアルミニウムＴｉＡｌＮとし、印加するバイアス電圧を１００Ｖとしている。窒化チタンアルミニウムの方が窒化クロムより高硬度であり、供試体（３）（５）による試験結果は、本発明者らが定義したクラック率の値は、高硬度である窒化チタンアルミニウムのほうが窒化クロムより高くなる（低靭性になる）ことを示している。つまり、本発明者らが定義したクラック率は靭性と高い相関関係にあることを示している。

以上により、上記定義によるクラック率は靭性と高い相関があり、本実施形態によれば、コーティング層４０ｂはクラック率３０％以下に形成されている。そのため、燃料に混入した砂系異物Ｓがシート面２５ａと弁座４２の間に噛み込んだ場合の靭性を、十分に確保できる。それでいて、コーティング層４０ｂは硬度２０ＧＰａ以上に形成されている。そのため、衝突を繰り返す弁座４２の耐摩耗性を、十分に確保できる。要するに、靭性と硬度のバランスが最適化されている。

図１２に示す試験結果は、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上が上記バランスに最適であることを示す。この試験では、バイアス電圧の条件を５０Ｖ、７５Ｖ、１００Ｖの３種類とし、コーティング層４０ｂの厚さを３μｍ、１．５μｍの２種類としている。硬度については、２０ＧＰａ～２５ＧＰａの範囲となるように調節されている。図１２の縦軸は、電磁コイル２１への通電オンオフを繰り返し実行して制御弁２２の耐久試験を開始してから、制御弁２２の閉弁作動時における弁座４２からの燃料リーク量が急増する（弁座４２が決壊する）までの時間を示す。図１２の横軸はクラック率を示す。この試験結果は、クラック率が低いほどリーク急増時間が長くなり耐久性が向上することを示す。そして、クラック率を３０％以下にすれば十分な耐久性を確保できることが確認された。

さらに、図１０に示す試験結果から、クラック率が１２％未満になる（高靭性になる）と硬度が急激に低下するといった知見を本発明者らは得ている。この点を鑑み本実施形態では、コーティング層４０ｂをクラック率１２％以上となるように形成している。そのため、硬度を大きく低下させることなく十分なクラック率を確保できており、硬度と靭性のバランスの適正化を促進できている。

さらに、図１０に示す試験結果から、硬度を２５ＧＰａより大きくすると、クラック率が極めて大きくなる（低靭性になる）といった知見を本発明者らは得ている。この点を鑑み本実施形態では、コーティング層４０ｂを硬度２５ＧＰａ以下に形成している。そのため、靭性を大きく低下させることなく十分な硬度を確保できており、硬度と靭性のバランスの適正化を促進できている。

ここで、本実施形態に反して押付量Ｄ２を大きくすると、クラック率と靭性の相関度合が低下することを本発明者らは確認している。この点を鑑み本実施形態では、コーティング層４０ｂの厚さＤ１より小さい押付量Ｄ２で圧子１１０をコーティング層４０ｂに押し付けた場合に生じる圧痕４７およびクラック４７１～４７４を対象として、クラック率は定義されている。そのため、硬度と靭性のバランスの機差ばらつきを抑制でき、上記バランスの適正化を高精度で実現できている。

さらに、本実施形態では、コーティング層４０ｂの材質を窒化クロムとしている。窒化クロムの場合、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上となるような成膜条件の調節を、他の材質に比べて容易に実現できる。

さらに、本実施形態では、コーティング層４０ｂはイオンプレーティング法により形成された状態である。これによれば、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上となるような成膜条件の調節を、他の製造方法に比べて容易に実現できる。

（他の実施形態）
以上、本開示の複数の実施形態について説明したが、各実施形態の説明において明示している構成の組み合わせばかりではなく、特に組み合わせに支障が生じなければ、明示していなくても複数の実施形態の構成同士を部分的に組み合わせることができる。そして、複数の実施形態及び変形例に記述された構成同士の明示されていない組み合わせも、以下の説明によって開示されているものとする。

上記第１実施形態では、弁座プレート４０に圧痕４７が形成されている。詳細には、コーティング層４０ｂの表面のうち、当接面４６よりも径方向外側に位置する部分に圧痕４７が形成されている。これに対し、上記圧痕４７は形成されていなくてもよい。

上記第１実施形態では、弁座プレート４０に形成された環状溝４４は、低圧通路Ｌ２に連通しており、環状溝４４から流出する低圧燃料は、低圧通路Ｌ２を通じて低圧室１２ａに流入する。これに対し、環状溝４４は、低圧通路Ｌ２をバイパスして低圧室１２ａに直接連通するように形成されていてもよい。

上記第１実施形態では、コーティング層４０ｂの材質を窒化クロムＣｒＮとしている。これに対し、窒化クロムアルミニウムＣｒＡｌＮ等の窒化クロムＣｒＮ以外の硬質クロムであってもよい。また、窒化チタンＴｉＮ、窒化チタンアルミニウムＴｉＡｌＮ等の硬質チタンであってもよいし、ダイヤモンドライクカーボンＤＬＣ等の硬質炭素であってもよい。

上記第１実施形態では、弁座プレート４０の弁座４２および弁体２５のシート面２５ａのうち、弁座４２にコーティング層４０ｂを形成し、弁座４２を対象として、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上にしている。これに対し、弁体２５のシート面２５ａを対象として、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上にしてもよい。また、弁座プレート４０および弁体２５の両方を対象として、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上にしてもよい。

上記第１実施形態では、制御室１３ａの流出通路Ｌ１を開閉する弁体２５と、弁体２５が離着座する弁座プレート４０（弁部材）との少なくとも一方に形成されたコーティング層４０ｂを対象として、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上としている。これに対し、ニードル３３（弁体）および第４ボデー１４（弁部材）の少なくとも一方に形成されたコーティング層を対象として、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上としてもよい。

上記第１実施形態では、バルブ装置としての燃料噴射弁１０が備える弁体および弁部材のコーティング層を対象として、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上としている。これに対し、燃料噴射弁１０とは別のバルブ装置が備えるコーティング層を対象として、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上としてもよい。例えば、コモンレールへ高圧燃料を圧送する高圧ポンプに取り付けられた調量弁や、コモンレールに取り付けられた減圧弁が、バルブ装置の変形例として挙げられる。

上記第１実施形態では、以下に説明する靭性計測方法を開示していると言える。この靭性計測方法は、金属母材４０ａの表面に形成されたコーティング層４０ｂの靭性を計測する方法である。この方法は、以下に説明する押付工程、計測工程および演算工程を備える。先ず押付工程では、計測対象となるコーティング層４０ｂに、四角錐形状の圧子１１０を押し付けて、圧痕４７を形成する。

続く計測工程では、押付工程で形成された圧痕４７の外形線４７ａの全長を計測する。さらに計測工程では、圧子１１０を押し付けて生じるクラック４７１、４７２、４７３、４７４の、外形線４７ａへの投影長を計測する。ここで、計測工程で計測された外形線４７ａの全長をＬａと定義し、クラック４７１～４７４の外形線４７ａへの投影長をＬｂと定義する。

続く演算工程では、ＬｂをＬａで除算する演算を実行し、その演算結果であるＬｂ／Ｌａをクラック率とする。このように定義されたクラック率が靭性と高い相関を有することは先述した通りである。よって、上記靭性計測方法によれば、クラック率を靭性の指標として計測できる。

上記第１実施形態では、以下に説明するバルブ装置製造方法を開示していると言える。このバルブ装置製造方法は、金属母材４０ａの表面に、イオンプレーティング法でコーティング層４０ｂを成膜する方法である。この方法は、クラック率計測工程、硬度計測工程、成膜条件調節工程および成膜工程を備える。クラック率計測工程は、先述した押付工程、計測工程および演算工程を有し、先述した靭性計測方法の手順でクラック率を計測する。硬度計測工程では、図７を用いて先述した通り、マイクロビッカース試験装置１００の圧子１１０をコーティング層４０ｂに押し付けて生じる圧痕４７の大きさで表されるビッカース硬さ（硬度）を計測する。

続く成膜条件調節工程では、計測されたクラック率および硬度が目標値となるように、計測対象となっていたコーティング層４０ｂの成膜条件を補正する。例えば、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上となるように成膜条件を補正する。続く成膜工程では、補正により調節された成膜条件で、イオンプレーティング装置２００を作動させ、金属母材４０ａの表面にコーティング層４０ｂを成膜する。これにより、クラック率３０％以下かつ硬度２０ＧＰａ以上となるコーティング層４０ｂが、金属母材４０ａの表面に成膜される。

１０ 燃料噴射弁（バルブ装置）、 １１０ 圧子、 ２５ 弁体、 ２５ａ シート面、 ４０ 弁部材、 ４０ａ 金属母材、 ４０ｂ コーティング層、 ４１ 流通路、 ４２ 弁座、 ４７ 圧痕、 ４７１、４７２、４７３、４７４ クラック

Claims (4)

1. 流体が流れる流通路（４１）を開閉する弁体（２５）と、
   前記流通路を形成するとともに、前記弁体のシート面（２５ａ）が離着座する弁座（４２）を有する弁部材（４０）と、を備え、
   前記シート面および前記弁座の少なくとも一方は、金属母材（４０ａ）と、前記金属母材の表面に形成され前記金属母材よりも高硬度のコーティング層（４０ｂ）と、を有し、
   前記コーティング層に四角錐形状の圧子（１１０）を押し付けて生じる圧痕（４７）の外形線の全長をＬａと定義し、前記圧子を押し付けて生じるクラック（４７１、４７２、４７３、４７４）の前記外形線への投影長の総和をＬｂと定義し、Ｌｂ／Ｌａをクラック率と定義し、
   前記コーティング層は、前記クラック率が１２％以上３０％以下、かつ、硬度が２０ＧＰａ以上２５ＧＰａ以下となるように形成されているバルブ装置。
2. 前記クラック率は、前記コーティング層の厚さより小さい量で前記圧子を前記コーティング層に押し付けた場合に生じる前記圧痕および前記クラックを対象として定義されたものである請求項１に記載のバルブ装置。
3. 前記コーティング層の材質は窒化クロムである請求項１または２に記載のバルブ装置。
4. 前記コーティング層は、イオンプレーティング法により形成された状態である請求項１～３のいずれか１つに記載のバルブ装置。

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