JP7000598B2 - 無線周波数インピーダンス整合のための方法およびデバイス、および半導体処理装置 - Google Patents
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Description
不整合信号を受信したとき、i=i+1に設定し、第iのパルス周期における各周波数スキャン段階についての周波数スキャン整合を実行し、整合が完了した後に制御信号を捕捉モジュールに送るように構成される。第(i+1)のパルス周期の各周波数スキャン段階の周波数スキャンパラメータの開始値は、第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の周波数スキャンパラメータの終了値と一致しており、
整合信号が受信されると、第(m+1)のパルス周期から第Mのパルス周期まで、各パルス周期の各周波数スキャン段階に対応するパルス位相の周波数スキャンパラメータは変化のないままであり、第mのパルス周期における各周波数スキャン段階の周波数スキャンパラメータの終了値と一致している。
以下に本願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[C1]
無線周波数(RF)インピーダンス整合のための方法であって、前記無線周波数は、M個のパルス周期を含み、各パルス周期は、N個のパルス位相を含み、MおよびNは、1よりも大きい整数であり、前記方法は、
S110:第1のm個のパルス周期のうちの第1のn個のパルス位相を、周波数スキャン整合を実行するための周波数スキャン段階として使用することと、第(i+1)のパルス周期の各周波数スキャン段階の周波数スキャンパラメータの開始値が、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの終了値と一致しており、第mのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの終了値を、前記周波数スキャンパラメータの事前設定のターゲット値と整合させ、ここで、mおよびnは、0よりも大きい整数であり、m<M、n≦N、およびi=1、2、......、mであり、
S120:第(m+1)のパルス周期から第Mのパルス周期まで、各パルス周期の各周波数スキャン段階に対応するパルス位相の周波数スキャンパラメータを、変化しないように維持することと、各パルス周期の各周波数スキャン段階に対応する前記パルス位相の前記周波数スキャンパラメータは、前記第mのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値と一致している、
を備える、無線周波数(RF)インピーダンス整合のための方法。
[C2]
前記S110は、
S111:前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階に対して周波数スキャン整合を実行することと、
S112:前記整合が完了した後に、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値を取得することと、
S113:前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値が前記周波数スキャンパラメータのターゲット値と整合するかどうかを決定し、整合している場合、S120を実行し、整合していない場合、i=i+1に設定してS111に戻ることと、前記第(i+1)のパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記開始値は、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値と一致している、
をさらに備える、C1に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。
[C3]
前記S120は、
S121:第(m+j)のパルス周期の各周波数スキャン段階に対応するパルス位相の周波数スキャンパラメータを、変化しないように維持することと、前記第(m+j)のパルス周期の各周波数スキャン段階に対応する前記パルス位相の前記周波数スキャンパラメータは、前記第mのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンと一致しており、ここで、j=1、2、......、M-m-1であり、
S122:前記第(m+j)のパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの終了値を捕捉することと、
S123:前記第(m+j)のパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値が前記周波数スキャンパラメータの前記ターゲット値と整合するかどうかを決定し、整合している場合、j=j+1に設定して再びS121を実行し、整合していない場合、j=j+1に設定して再びS110を実行することと、前記第(j+1)のパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの値が、前記第jのパルス周期の各周波数段階の前記周波数スキャンパラメータの終了値と一致している、
をさらに備える、C1に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。
[C4]
前記S112は、
前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の後に無線周波数電源の反射電力を捕捉することと、
前記反射電力が所定の反射電力と整合するかどうかを決定し、整合している場合、前記周波数スキャンパラメータの前記終了値が前記周波数スキャンパラメータの前記ターゲット値と整合することを決定し、整合していない場合、前記周波数スキャン終了パラメータの前記終了値が前記周波数スキャンパラメータの前記ターゲット値と整合しないことを決定することと
をさらに備える、C2に記載の無線周波数インピーダンス整合の方法。
[C5]
前記S110において、n<Nであり、
各パルス周期において、第(n+1)のパルス位相から第Nのパルス位相まで、RF電源の出力インピーダンスを負荷インピーダンスと整合させるために、各パルス位相に周波数スキャンを実行するか、または整合デバイスの容量を調整する、C1に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。
[C6]
N=3、n=1である、C1~3のいずれか一項に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。
[C7]
N=2、n=2である、C1~3のいずれか一項に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。
[C8]
前記周波数スキャンパラメータは、
前記周波数スキャンの周波数、周波数スキャン範囲、周波数スキャン速度、周波数スキャン精度、および周波数スキャン利得、のうちの少なくとも1つを備える、
C1~3のいずれか一項に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。
[C9]
無線周波数インピーダンス整合のためのデバイスであって、前記デバイスは、C1~8のいずれか一項に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法を実施する、無線周波数インピーダンス整合のためのデバイス。
[C10]
前記デバイスは、C2に記載の無線周波数インピーダンス整合のための前記方法を実施し、前記デバイスは、捕捉モジュール、決定モジュール、および制御モジュールを備え、
前記制御モジュールは、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階に対して周波数スキャン整合を実行し、前記整合が完了した後に制御信号を前記捕捉モジュールに送るように構成され、
前記捕捉モジュールは、前記制御信号を受信したとき、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の周波数スキャンパラメータの終了値を捕捉し、前記周波数スキャンパラメータの前記終了値を前記決定モジュールに送るように構成され、
前記決定モジュールは、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値が前記周波数スキャンパラメータの前記ターゲット値と整合するかどうかを決定し、整合している場合、整合信号を前記制御モジュールに送り、整合していない場合、不整合信号を前記制御モジュールに送るように構成され、
前記制御モジュールは、
前記不整合信号を受信したとき、i=i+1に設定し、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階についての周波数スキャン整合を実行し、前記整合が完了した後に前記制御信号を前記捕捉モジュールに送ることと、前記第(i+1)のパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記開始値は、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値と一致しており、
前記整合信号を受信したとき、前記第(m+1)のパルス周期から前記第Mのパルス周期まで、各パルス周期の各周波数スキャン段階に対応する前記パルス位相の前記周波数スキャンパラメータを、変化しないように維持することと、各パルス周期の各周波数スキャン段階に対応する前記パルス位相の前記周波数スキャンパラメータは、前記第mのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値と一致している、
を行うようにさらに構成される、C9に記載の無線周波数インピーダンス整合のためのデバイス。
[C11]
C9または10に記載の無線周波数インピーダンス整合デバイスを備える半導体処理装置。
Claims (11)
- 無線周波数(RF)インピーダンス整合のための方法であって、前記無線周波数は、M個のパルス周期を含み、各パルス周期は、N個のパルス位相を含み、MおよびNは、1よりも大きい整数であり、前記方法は、
S110:第1のm個のパルス周期のうちの第1のn個のパルス位相を、周波数スキャン整合を実行するための周波数スキャン段階として使用することと、第(i+1)のパルス周期の各周波数スキャン段階の周波数スキャンパラメータの開始値が、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの終了値と一致しており、第mのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの終了値を、前記周波数スキャンパラメータの事前設定のターゲット値と整合させ、ここで、mおよびnは、0よりも大きい整数であり、m<M、n≦N、およびi=1、2、......、mであり、
S120:第(m+1)のパルス周期から第Mのパルス周期まで、各パルス周期の各周波数スキャン段階に対応するパルス位相の周波数スキャンパラメータを、変化しないように維持することと、各パルス周期の各周波数スキャン段階に対応する前記パルス位相の前記周波数スキャンパラメータは、前記第mのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値と一致している、
を備える、無線周波数(RF)インピーダンス整合のための方法。 - 前記S110は、
S111:前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階に対して周波数スキャン整合を実行することと、
S112:前記整合が完了した後に、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値を取得することと、
S113:前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値が前記周波数スキャンパラメータのターゲット値と整合するかどうかを決定し、整合している場合、S120を実行し、整合していない場合、i=i+1に設定してS111に戻ることと、前記第(i+1)のパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記開始値は、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値と一致している、
をさらに備える、請求項1に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。 - 前記S120は、
S121:第(m+j)のパルス周期の各周波数スキャン段階に対応するパルス位相の周波数スキャンパラメータを、変化しないように維持することと、前記第(m+j)のパルス周期の各周波数スキャン段階に対応する前記パルス位相の前記周波数スキャンパラメータは、前記第mのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンと一致しており、ここで、j=1、2、......、M-m-1であり、
S122:前記第(m+j)のパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの終了値を捕捉することと、
S123:前記第(m+j)のパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値が前記周波数スキャンパラメータの前記ターゲット値と整合するかどうかを決定し、整合している場合、j=j+1に設定して再びS121を実行し、整合していない場合、j=j+1に設定して再びS110を実行することと、前記第(j+1)のパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの値が、前記第jのパルス周期の各周波数段階の前記周波数スキャンパラメータの終了値と一致している、
をさらに備える、請求項1に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。 - 前記S112は、
前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の後に無線周波数電源の反射電力を捕捉することと、
前記反射電力が所定の反射電力と整合するかどうかを決定し、整合している場合、前記周波数スキャンパラメータの前記終了値が前記周波数スキャンパラメータの前記ターゲット値と整合することを決定し、整合していない場合、前記周波数スキャン終了パラメータの前記終了値が前記周波数スキャンパラメータの前記ターゲット値と整合しないことを決定することと
をさらに備える、請求項2に記載の無線周波数インピーダンス整合の方法。 - 前記S110において、n<Nであり、
各パルス周期において、第(n+1)のパルス位相から第Nのパルス位相まで、RF電源の出力インピーダンスを負荷インピーダンスと整合させるために、各パルス位相に周波数スキャンを実行するか、または整合デバイスの容量を調整する、請求項1に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。 - N=3、n=1である、請求項1~3のいずれか一項に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。
- N=2、n=2である、請求項1~3のいずれか一項に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。
- 前記周波数スキャンパラメータは、
前記周波数スキャンの周波数、周波数スキャン範囲、周波数スキャン速度、および周波数スキャン精度、のうちの少なくとも1つを備える、
請求項1~3のいずれか一項に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法。 - 無線周波数インピーダンス整合のためのデバイスであって、前記デバイスは、請求項1~8のいずれか一項に記載の無線周波数インピーダンス整合のための方法を実施する、無線周波数インピーダンス整合のためのデバイス。
- 前記デバイスは、請求項2に記載の無線周波数インピーダンス整合のための前記方法を実施し、前記デバイスは、捕捉モジュール、決定モジュール、および制御モジュールを備え、
前記制御モジュールは、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階に対して周波数スキャン整合を実行し、前記整合が完了した後に制御信号を前記捕捉モジュールに送るように構成され、
前記捕捉モジュールは、前記制御信号を受信したとき、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の周波数スキャンパラメータの終了値を捕捉し、前記周波数スキャンパラメータの前記終了値を前記決定モジュールに送るように構成され、
前記決定モジュールは、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値が前記周波数スキャンパラメータの前記ターゲット値と整合するかどうかを決定し、整合している場合、整合信号を前記制御モジュールに送り、整合していない場合、不整合信号を前記制御モジュールに送るように構成され、
前記制御モジュールは、
前記不整合信号を受信したとき、i=i+1に設定し、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階についての周波数スキャン整合を実行し、前記整合が完了した後に前記制御信号を前記捕捉モジュールに送ることと、前記第(i+1)のパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記開始値は、前記第iのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値と一致しており、
前記整合信号を受信したとき、前記第(m+1)のパルス周期から前記第Mのパルス周期まで、各パルス周期の各周波数スキャン段階に対応する前記パルス位相の前記周波数スキャンパラメータを、変化しないように維持することと、各パルス周期の各周波数スキャン段階に対応する前記パルス位相の前記周波数スキャンパラメータは、前記第mのパルス周期の各周波数スキャン段階の前記周波数スキャンパラメータの前記終了値と一致している、
を行うようにさらに構成される、請求項9に記載の無線周波数インピーダンス整合のためのデバイス。 - 請求項9または10に記載の無線周波数インピーダンス整合デバイスを備える半導体処理装置。
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