JP6997616B2 - 液体封入式ゴムへの液体封入方法及び液体の脱気装置 - Google Patents

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Description

本発明は、液体封入式ゴムへの液体封入方法及び液体の脱気装置に関する。
エンジン、トランスミッション等のパワートレイン関連ユニットは、マウントゴムを介して車両に弾性的に搭載されており、マウントゴムによりパワートレイン関連ユニットから車体への振動伝達が抑制されるようになっている。マウントゴムによる振動伝達の抑制をさらに高めるため、液体が封入された液室を内部に有する液体封入式ゴム(液封マウントゴムとも称する)が知られている。
液体封入式ゴムは、液室が変形するときに生じる、ここに封入された液体の流動を利用して振動減衰性能の向上を可能としている。このため、液室に空気等の気体が残留(残留エアと称する)している場合、液体封入式ゴムは液室が変形しても残留エアの変形(圧縮)が生じ、液体の流動が生じ難くい場合がある。この結果、液体封入式ゴムによる振動減衰性能の向上が不十分になってしまう。
このため、液体封入式ゴムを製造する場合、液室に空気等の気体が残存しないように、液室に液体を封止する前に、液体を脱気して液体に溶存する空気を予め取り除くと共に、液室内の空気を真空ポンプにより予め除去することが行われている(例えば特許文献1参照)。
特開2004-286068号公報
減圧された雰囲気下においては液体の沸点が低下するため、特に略真空状に減圧された液室に液体を注入する場合、液体が沸騰しやすくなり、液室から液体がこぼれてしまい、液室内の液量が不足してしまう場合がある。また、液体の沸騰により、液室に残留エアが生じる場合がある。すなわち、減圧された雰囲気下での液体の沸騰を抑制する観点で、液室における残存エアの抑制を更に改良する余地がある。
本発明は、減圧された雰囲気下で液室に液体を封入する場合に、液室における残留エアの発生を抑制可能な、液体封入式ゴムへの液体封入方法及び液体の脱気装置を提供することを課題とする。
本発明は、
常温下で液体を脱気する脱気工程と、
前記脱気された液体を冷却する冷却工程と、
前記冷却された液体を更に脱気する第2脱気工程と、
前記冷却された液体をゴム部材の液室に注入する注入工程と、
減圧された雰囲気下で前記液室を封止して該液室に前記液体を密閉する封止工程と
を備えており、
前記第2脱気工程では、圧送された前記液体が、供給されて、減圧された雰囲気下に噴霧されて脱気される液体封入式ゴムへの液体封入方法を提供する。
本発明によれば、液体は冷却されているので、封止工程において減圧された雰囲気下の沸騰が抑制される。しかも、該液体は冷却工程の前に常温で脱気されているので、脱気工程における脱気効率を高く維持でき、これにより液体への気体の溶存を抑制できる。したがって、減圧された雰囲気下で液室に液体を封入する場合に気体の介在又は出現が抑制されるので、液室における残留エアの発生を効果的に抑制できる。
さらに、第2脱気工程を実施することにより、液体の脱気度合いを更に高めることができる。また、冷却工程と注入工程との間に第2脱気工程を実施することによって、冷却工程と注入工程との間の接続方法によっては生じ得る脱気度合いの悪化を補うことができる。
しかも、液体は、圧送されて供給されるので、液圧が高く容易に噴霧化しやすい。さらに、液体は、噴霧化されることにより表面積が大きく確保されるので、その大部分を減圧された雰囲気下に晒しやすく、脱気効率を高めることができる。
好ましくは、前記脱気工程は複数回実施される。
本構成によれば、脱気工程を複数回実施することにより、液体の脱気度合いを高めることができる。
前記注入工程では、前記液体は、冷却された配管を介して送液される。
本構成によれば、ゴム部材に注入される直前まで液体の温度上昇が抑制されるので、封止工程において液体の温度を低く維持しやすく、液体の沸騰を更に抑制できる。
また、本発明の他の態様は、
液体封入式ゴムに封入される液体の脱気装置であって、
常温下で前記液体を脱気する脱気部と、
前記脱気された液体を冷却する冷却部と
前記冷却された液体をさらに脱気する第2脱気部と
を備えており、
前記第2脱気部では、圧送された前記液体が、供給されて、減圧された雰囲気下に噴霧されて脱気される脱気装置を提供する。
本発明によれば、液体は冷却されているので、該液体を減圧された雰囲気下でゴム部材に封止する際の沸騰を抑制できる。しかも、液体は冷却される前に常温で脱気されているので、脱気部における脱気効率を高く維持でき、これにより液体への気体の溶存を抑制できる。したがって、本脱気装置を用いて脱気された液体を用いてゴム部材の液室に封入することにより、液室における残留エアの発生を効率的に抑制できる。
本発明によれば、減圧された雰囲気下で液室に液体を封入する場合に、液室における残留エアの発生を抑制できる。
縦型の液体封入式エンジンマウントゴムを示す縦断面図。 液体封入式ゴムへの液体封入ラインを示す全体構成図。 液体封入式ゴムの組み立て工程を示す説明図。
以下、本発明に係る実施形態を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。また、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは相違している。
図1は、液体封入式ゴムの一例として、縦型の液体封入式ゴム50(以下、液封マウントゴム50と称する)を示している。液封マウントゴム50は、不図示のエンジン及び車体フレームの間に介設されて、エンジンを車体フレームに対して弾性的に支持するものであり、エンジンに取り付けられるボス金具51と、車体フレームに取り付けられる外筒金具52と、ボス金具51と外筒金具52との間に介設されたゴム製の弾性基体53とを備えている。
ボス金具51には上下方向に延びる雌ねじ部54が設けられており、ここに不図示のボルトによりエンジン側の部材に取り付けられるように構成されている。
弾性基体53は、下端部53aにボス金具51が加硫接着されており、上端部53bに外筒金具52がカシメにより固定されている。上端部53bは、外径が下端部53aより大きく、この内側には、上方に開口した液室55が画定されている。液室55の上端の開口部55aには、ダイヤフラム56が設けられている。ダイヤフラム56はこの外周部に設けられた補強金具(不図示)を介して開口部55aにカシメ固定されている。
液室55は、ダイヤフラム56によって密閉状態に構成されており、水、エチレングリコール、シリコンオイル等の液体が封入されている。液室55は、仕切り部材57によって上側の第1室55bと下側の第2室55cとに上下に仕切られており、これらは仕切り部材57に形成された不図示のオリフィス流路を介して互いに連通している。すなわち、液室55に封入された液体は、第1室55bから第2室55cへ又はこの逆方向へ、互いに流動可能に構成されている。
次に、図2,3を参照しながら、この液封マウントゴム50の製造方法について説明する。図2は本発明の一実施形態に係る液封マウントゴム50に液体を封入するための液体封入ライン1を模式的に示しており、図3は液封マウントゴム50の組み立て工程を模式的に示している。
先ず、図2を参照して液体封入ライン1について説明する。液体封入ライン1は、液体Wを脱気する脱気装置10と、液封マウントゴム50を組み立てる組立装置40と、脱気装置10及び組立装置40間を接続しており脱気装置10により脱気された液体Wを組立装置40に送液する配管としての供給管3とを有している。なお、図2において、符号Tsは温度センサを示し、符号Psは圧力センサを示しており、実線の矢印は液体Wの流れを、破線の矢印は空気等の気体の流れをそれぞれ示している。
脱気装置10は、脱気前の液体Wが貯留された貯留タンク11と、脱気部としての液体Wを脱気する第1脱気タンク12及び第2脱気タンク13と、第1真空ポンプ14及び第2真空ポンプ15と、冷却部としての熱交換器16とを備えている。ここで、以下の説明では、液体Wを、貯留タンク11に貯留されている液体W0と、第1脱気タンク12で脱気された液体W1と、第2脱気タンク13で脱気された液体W2とに区別して説明する。
第1脱気タンク12の上部には、第1供給ライン21及び第1脱気ライン25が接続されている。第1脱気タンク12は、第1供給ライン21を介して貯留タンク11に接続されており、第1脱気ライン25を介して第1真空ポンプ14に接続されている。第1供給ライン21上には流路を開閉可能な第1開閉バルブ31が介設されており、第1開閉バルブ31のバルブ開度を調整することにより第1脱気タンク12への液体W0の供給流量が調整される。
第1脱気タンク12の内側上部には、モータMによって回転駆動される円盤17が略水平に設けられており、円盤17上の径方向内側部分に第1供給ライン21から液体W0が供給されるようになっている。円盤17は、外周縁部において上方に突設された周壁部17aを有し、周壁部17aには径方向に貫通する貫通孔17bが周方向の複数箇所に設けられている。
第1脱気タンク12の内側は、第1脱気ライン25を介して第1真空ポンプ14により真空引きされており、減圧された雰囲気下(好ましくは真空状態)に構成されている。第1脱気タンク12の減圧された雰囲気により、貯留タンク11内の液体W0は、第1脱気タンク12に吸い込まれて、溶存する空気等の気体が取り除かれる。この結果、第1脱気タンク12において脱気された液体W1が得られる。
第1脱気タンク12の下部には第2供給ライン22が接続されている。第1脱気タンク12は、第2供給ライン22を介して第2脱気タンク13に接続されている。また、第2供給ライン22には、分岐して第1脱気タンク12に戻る、戻りライン24が接続されている。
第2供給ライン22上には、戻りライン24との分岐部22aより上流側に第2開閉バルブ32が介設されており、分岐部22aより下流側には第3開閉バルブ33、メインポンプP1、熱交換器16が上流側から順に介設されている。一方、戻りライン24上には、リターンポンプP2、逆止弁39、及び第4開閉バルブ34が介設されている。第2及び第3開閉バルブ32,33を開いて第4開閉バルブ34を閉じた状態でメインポンプP1を作動させることにより、第1脱気タンク12から脱気された液体W1が熱交換器16に供給される。
熱交換器16では、冷却媒体としてエチレングリコールが使用されており、ここに供給される液体W1の液温を0度以下に低下させるように、液体W1と熱交換を行う。具体的には、液体W1の液温が-20度以上-5度以下の温度範囲、好ましくは-15度以上-10度以下の温度範囲に低下するように構成され、これにより後述する組立装置40に供給される液体W2の液温が5度以下に維持されている。
戻りライン24の他端部は、第1脱気タンク12の上部に接続されており、戻りライン24を介して既に脱気された液体W1が円盤17上の径方向内側部分に再び供給されるようになっている。第2及び第4開閉バルブ32,34を開き且つ第3開閉バルブ33を閉じた状態でリターンポンプP2を作動させることによって、既に脱気された液体W1を戻りライン24を介して第1脱気タンク12に戻すことができ、これにより液体W1が繰り返し脱気されるので、液体W1の脱気度合いを高めることができる。
第2脱気タンク13の上部には、第2供給ライン22及び第2脱気ライン26が接続されている。第2脱気タンク13は、第2供給ライン22を介して第1脱気タンク12に接続されており、第2脱気ライン26を介して第2真空ポンプ15に接続されている。
ここで、本実施形態では、第2脱気タンク13は、2つの第2脱気タンク13A,13Bが並列に設けられており、第2供給ライン22は熱交換器16の下流側に位置する二股分岐部22bにおいて二股に分岐されて、それぞれ第2脱気タンク13A,13Bの上部に接続されている。第2供給ライン22上には、二股分岐部22bの下流側においてそれぞれ流路を開閉可能な第5開閉バルブ35が介設されている。第5開閉バルブ35のバルブ開度を調整することにより第2脱気タンク13への液体W1の供給流量が調整される。
第2供給ライン22の下流側端部には、第2脱気タンク13の内側に位置する噴霧ノズル18が設けられている。噴霧ノズル18には、所定圧で供給された液体を噴霧化するように例えば複数の小孔が穿設されている。噴霧ノズル18には、第2供給ライン22を介してメインポンプP1により圧送された液体W1が供給されるので、液体W1は噴霧ノズル18を通過する際に噴霧化されて第2脱気タンク13の内側に供給される。
第2脱気ライン26は、2つの第2脱気タンク13A,13Bに対応して二股分岐部26aにおいて二股に分岐している。第2脱気ライン26は、二股分岐部26aより下流側に第6開閉バルブ36を有しており、さらに第6開閉バルブ36より下流側において、第2脱気タンク13に接続される脱気ライン26Aと大気開放される大気ライン26Bとに二股に分岐している。大気ライン26B上には第7開閉バルブ37が介設されている。
第2脱気タンク13の内側は、第2脱気ライン26を介して第2真空ポンプ15により真空引きされており、減圧された雰囲気下(好ましくは真空状態)に構成されている。第2脱気タンク13の減圧された雰囲気により、第1脱気タンク12により脱気された液体W1は、溶存する空気等の気体が取り除かれ、この結果、第2脱気タンク13において脱気された液体W2が得られる。
第2脱気タンク13の下部には第3供給ライン23が接続されている。第3供給ライン23は、第2脱気タンク13側において、2つの第2脱気タンク13A,13Bに対応して二股に構成されており、それぞれに第8開閉バルブ38が介設されている。第3供給ライン23は、第8開閉バルブ38より下流側において1つの経路に合流しており、この下流側に位置する供給管3を介して組立装置40に接続されている。
なお、第2脱気タンク13A,13Bのうち一方の第2脱気タンク13のみが液体W2の供給に使用されており、この間、他方の第2脱気タンク13は液体W1の脱気に使用されてもよく、停止していてもよい。すなわち、第2脱気タンク13を2つ設けることにより一方で液体W1を脱気して液体W2を生成しながらも、他方から液体W2を組立装置40に供給できるので、脱気装置10を効率的に作動させることができる。
例えば、第2脱気タンク13Aにて脱気を行い、第2脱気タンク13Bから液体W2を組立装置40に供給する場合、第2脱気タンク13A側の第5及び第6開閉バルブ35,36を開き且つ第7及び第8開閉バルブ37,38を閉じて、第2脱気タンク13Aを第2真空ポンプ15に連通させて第2供給ライン22から供給される液体W1の脱気を行う。一方、第2脱気タンク13B側の第5及び第6開閉バルブ35,36を閉じ且つ第7及び第8開閉バルブ37,38を開けば、第2脱気タンク13Bから液体W2を供給できる。
供給管3の供給経路の途中には、ディスペンサ5が設けられている。ディスペンサ5によって、供給管3から供給される液体W2が所定量でマウントワーク50Wの液室55に供給されるようになっている。供給管3は、ディスペンサ5を挟んだ上流側及び下流側に、ニ重管に構成された上流側二重管6と下流側二重管7を備えている。上流側二重管6及び下流側二重管7は外管と内管との間に冷却用媒体が供給されており、これにより供給管3内を供給される液体W2の液温が低温に維持されている。
次に、図3を参照して組立装置40における組立工程ついて説明する。図3(a)に示すように、マウントワーク50Wが、液室55が上方に開口する姿勢で組立台41の上に載置されている。
次に、図3(b)に示すように供給管3により液体W2が液室55に所定量注入される。そして、図3(c)に示すように仕切り部材57が液室55に組み込まれた後、図3(d)に示すようにダイヤフラム56が液室55の開口部55aに組み付けられる。ここで、仕切り部材57の上側の第1室55bと下側の第2室55cとは図示しないオリフィス流路を介して連通しているので、仕切り部材57を組み込む際に第2室55cに介在するエアは、オリフィス流路を通して外部へ排出される。
次に、図3(e)に示すように、外筒金具52がマウントワーク50Wの上端部の外周に嵌挿されると共に、上方から組立台41上に載置される囲み部材42によってマウントワーク50Wの上方及び側方が囲まれ、組立台41と囲み部材42とよって密閉された気密室43が画定される。
次に、図3(f)に示すように、気密室43を不図示の真空ポンプにより真空引きして、減圧された雰囲気下(好ましくは真空状態)にすると共に、外筒金具52を径方向内側にカシメてダイヤフラム56を液室55の開口部55aに固定し、液室55を液体W2のみで満たされた気密状態に構成する。このとき、気密室43は真空状に構成されているので、液室55に気体が混入することが防止されている。最後に、囲み部材42を上方へ取り外して、気密室43を大気開放して液封マウントゴム50が取り出される。
次に液封マウントゴム50の製造方法について説明する。まず、マウントワーク50Wを形成し、次いで液体W0を脱気(第1脱気)し、脱気された液体W1を冷却し(冷却工程)、冷却された液体W1を更に脱気(第2脱気)し、更に脱気された液体W2をマウントワーク50Wの液室55に定量注入し、組み立てて液室55を封止して液封マウントゴム50を製造する。
(マウントワーク50Wの製造工程)
図1を参照して、マウントワーク50Wは、ボス金具51と未加硫ゴムを加硫金型にセットして、こられを加硫成形することにより、弾性基体53の下端部53aにボス金具51が加硫接着されたマウントワーク50Wが形成される。
(第1脱気工程)
図2を参照して、液体W0を、第1供給ライン21を介して、第1脱気タンク12に供給する。このとき、液体W0は、第1脱気タンク12の内側上部に位置する円盤17上に供給される。次いで、液体W0は、モータMにより回転駆動される円盤17上を遠心力で径方向外側に移動し、貫通孔17bを通して第1脱気タンク12内に小径で分散される。
ここで、貫通孔17bは小径に構成されているので、液体W0がダマ状となって分散することが抑制されている。更に、円盤17は高速回転(例えば3,000rpm)するため、円盤17の遠心力により飛ばされる液体W0は第1脱気タンク12の内周壁面に叩きつけられ、この結果より小径化されることになる。
第1脱気タンク12の内周壁面に叩きつけられた液体W0は、この内周壁面に沿って下方へ滴下する。第1脱気タンク12は、第1真空ポンプ14により減圧された雰囲気下にされているので、滴下するW0からここに溶存する空気等の気体が減圧された雰囲気下に出現して取り除かれ、すなわち脱気された液体W1になる。なお、第1脱気タンク12の内側を略真空状態にするのが、脱気効率を向上させるうえで望ましい。
なお、液体W0は、常温(例えば約25度)で第1脱気タンク12に供給される。ここで、第1脱気タンク12は特に冷却等、加熱等の温度管理はなされていない。第1脱気タンク12において、液体W0は常温下で脱気されて液体W1となる。また、液体W1を、戻りライン24を介して、第1脱気タンク12に戻して更に脱気してもよく、これにより液体W1の脱気度合いを更に高めることができる。
(冷却工程)
液体W1は、メインポンプP1により圧送されて第2供給ライン22を介して熱交換器16に供給され、液温が、常温から0度以下、好ましくは-20度以上-5度以下、より好ましくは-15度以上-10度以下の温度範囲に低減される。
(第2脱気工程)
冷却された液体W1は、第2供給ライン22を介して第2脱気タンク13に供給される。ここで、液体W1は圧送されて、第2供給ライン22の下流端に設けられた噴霧ノズル18に供給される。したがって、液体W1は、噴霧ノズル18により噴霧化された状態で第2脱気タンク13の内側に供給される。
第2脱気タンク13は、第2真空ポンプ15により減圧された雰囲気下にされているので、液体W1からここに溶存する空気等の気体が減圧された雰囲気下に出現して取り除かれ、すなわち更に脱気された液体W2になる。なお、第2脱気タンク13の内側を略真空状態にするのが、脱気効率を向上させるうえで望ましい。
なお、第1脱気タンク12から熱交換器16を介して第2脱気タンク13への液体W1の供給は、メインポンプP1により圧送されて行われる。この場合、メインポンプP1による圧送時に液体W1に空気等の気体が巻き込まれ、液体W1の脱気度合いが悪化する場合がある。しかしながら、本実施形態では、第2脱気タンク13において第2脱気を実施することにより、液体W1の脱気度合いの悪化を補い、冷却され且つ脱気度合いが高められた液体W2を得ることができる。
(注入工程)
冷却され且つ脱気度合いが高められた液体W2は、供給管3を通して組立装置40に供給される。ここで、供給管3にはディスペンサ5が設けられており、液体W2は、マウントワーク50Wの液室55にディスペンサ5により定量供給される。このとき、供給管3はディスペンサ5を挟んだ両側に上流側二重管6と下流側二重管7を備え、これらには冷却用媒体が供給されているので、供給管3内を供給される液体W2の液温が例えば5度以下の低温に維持されている。
(封止工程)
マウントワーク50Wは、液室55に液体W2が定量供給された後、仕切り部材57、ダイヤフラム56、外筒金具52が組み付けられ、真空引きされた気密室43において外筒金具52がカシメられる。
ここで、液体W2は、冷却工程において0度以下に冷却されており、さらに冷却された上流側及び下流側二重管6,7を介して、マウントワーク50Wの液室55に供給されているので、低温に維持されている。具体的には5度以下の低温に維持されているので、気密室43を真空引きしても沸騰することが抑制されている。
さらに、真空引きされた気密室43にて、外筒金具52をカシメて液室55を密閉することにより、液室55に空気等の気体が巻き込まれることを防止しつつ、液体W2を封入できる。この結果、空気等の気体の介在を抑制させつつ液体W2が液室55に封入された、液封マウントゴム50が製造される。
前記構成からなる液体封入式ゴムへの液体封入方法及び液体の脱気装置によれば、次のような効果が得られる。
(1)冷却されて低温に維持された液体W2が組立装置40に供給されるので、封止工程において減圧された気密室43における液体W2の沸騰が抑制される。しかも、液体W2は第1脱気工程において、冷却工程の前に常温で脱気されているので、第1脱気工程における脱気効率を高く維持でき、これにより液体W1への気体の溶存を抑制できる。したがって、減圧された気密室43でマウントワーク50Wの液室55に液体W2を封入する場合に気体の介在又は出現が抑制されるので、液室55における残留エアの発生を効果的に抑制できる。
(2)第1脱気工程を複数回実施することにより、液体W1の脱気度合いを高めることができる。
(3)第1脱気工程に加えて、第2脱気工程を実施することにより、液体W2の脱気度合いを更に高めることができる。また、冷却工程と注入工程との間に第2脱気工程を実施することによって、冷却工程と注入工程との間の接続方法、すなわちメインポンプP1による圧送時に起こり得る空気の巻き込みによる脱気度合いの悪化を補うことができる。
(4)液体W1は、第2脱気タンク13へ圧送されて供給されるので、液圧が高く噴霧ノズル18により容易に噴霧化される。さらに、液体W2は、噴霧化されることにより表面積が大きく確保されるので、その大部分を減圧された雰囲気下に晒しやすく、脱気効率を高めることができる。
(5)液体W2は、供給管3の上流側二重管6及び下流側二重管7により低温に維持されるので、マウントワーク50Wの液室55に注入される直前まで液体W2の温度上昇が抑制される。この結果、封止工程において液体W2の温度を低く維持しやすく、減圧された気密室43における液体W2の沸騰を更に抑制できる。
上記実施形態では、脱気工程として、第1脱気工程に続いて第2脱気工程実施しているが、第1脱気工程のみ実施してもよく、この場合でも第1脱気工程の後に冷却工程を実施すればよい。また、上記実施形態では、液封マウントゴム50の製造方法を例にとって説明したが、これに限らず、液体が封入される液室を有するゴム部材であれば、本発明を好適に実施できる。
1 液体封入ライン
3 供給管
5 ディスペンサ
6 上流側二重管
7 下流側二重管
10 脱気装置
11 貯留タンク
12 第1脱気タンク
13 第2脱気タンク
14 第1真空ポンプ
15 第2真空ポンプ
16 熱交換器
17 円盤
18 噴霧ノズル
21 第1供給ライン
22 第2供給ライン
23 第3供給ライン
24 戻りライン
25 第1脱気ライン
26 第2脱気ライン
40 組立装置
41 組立台
42 囲み部材
43 気密室
50 液封マウントゴム
50W マウントワーク
51 ボス金具
52 外筒金具
53 弾性基体
55 液室
56 ダイヤフラム
57 仕切り部材

Claims (4)

  1. 液体封入式ゴムへの液体封入方法であって、
    常温下で液体を脱気する脱気工程と、
    前記脱気された液体を冷却する冷却工程と、
    前記冷却された液体を更に脱気する第2脱気工程と、
    前記冷却された液体をゴム部材の液室に注入する注入工程と、
    減圧された雰囲気下で前記液室を封止して該液室に前記液体を密閉する封止工程と
    を備えており、
    前記第2脱気工程では、圧送された前記液体が、供給されて、減圧された雰囲気下に噴霧されて脱気される液体封入式ゴムへの液体封入方法。
  2. 前記脱気工程は複数回実施される、
    請求項1に記載の液体封入式ゴムへの液体封入方法。
  3. 前記液体は、冷却された配管を介して送液される、
    請求項1又は2に記載の液体封入式ゴムへの液体封入方法。
  4. 液体封入式ゴムに封入される液体の脱気装置であって、
    常温下で前記液体を脱気する脱気部と、
    前記脱気された液体を冷却する冷却部と
    前記冷却された液体をさらに脱気する第2脱気部と
    を備えており、
    前記第2脱気部では、圧送された前記液体が、供給されて、減圧された雰囲気下に噴霧されて脱気される脱気装置。
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