JP6991778B2 - 検査装置および閾値算出方法 - Google Patents
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Description
Mc1=Ms1×(-1/4),Mc2=Ms2×(-1/4),Mc3=Ms3×(4/4),Mc4=Ms2×(-1/4),Mc5=Ms2×(-1/4)・・・第1のフィルタ処理
Mc1=Ms1×(-2/6),Mc2=Ms2×(-1/6),Mc3=Ms3×(6/6),Mc4=Ms4×(-1/6),Mc5=Ms5×(-2/6)・・・第2のフィルタ処理
Mc1=Ms1×(-1/4),Mc2=Ms2×(4/4),Mc3=Ms3×(4/4),Mc4=Ms4×(-1/4)・・・第3のフィルタ処理
Mc1=Ms1×(-1/4),Mc2=Ms2×(-1/4),Mc3=Ms3×(2/4),Mc4=Ms4×(2/4),Mc5=Ms5×(-1/4),Mc6=Ms6×(-1/4)・・・第4のフィルタ処理
Mc1=Ms1×(-1/5),Mc2=Ms2×(-1/5),Mc3=Ms3×(1/2),Mc4=Ms4×(-1/5),Mc5=Ms5×(1/2),Mc6=Ms6×(-1/5),Mc7=Ms7×(-1/5)・・・第5のフィルタ処理
17 処理部
100,100a,100b コイル
L 傾き値
Ma,Mb 平均値
Mm1,Md1,Mm8 値
Ms,Ms1~Ms7,Mc1~Mc7 サンプリング値
Mt 閾値
St 検査用信号
Sd 被検出信号
W1 第1波形
W2 第2波形
W3 第3波形
W4 第4波形
W5 第5波形
W6 第6波形
W7 第7波形
W8a,W8b 第8波形
Wp,Wp1a~Wp4a,Wp1b~Wp4b,Wp1c パルス波形
α1,α2,α3 係数
Claims (6)
- 検査対象の部品に検査用信号を供給したときに生じる被検出信号に基づく波形に閾値以上の値のパルス波形が含まれているときに当該部品を不良と判定する検査部と、前記閾値を算出する演算部とを備えた検査装置であって、
前記演算部は、コイル、抵抗およびコンデンサのいずれかを前記部品として検査するための前記閾値を算出するときに、前記被検出信号を予め決められたサンプリング周期でサンプリングしたサンプリング値によって表される第1波形を特定する第1処理と、前記第1波形から高周波成分を除去した第2波形を特定する第2処理と、前記第2波形上の各位置における傾きまたは傾きの変化量を示す値の経時変化によって表される第3波形を特定する第3処理と、前記第1波形における連続するa個(aは、4以上の自然数)の前記サンプリング値が変動するパルス波形が当該第1波形に含まれているときに当該パルス波形の突出部分が強調されるように当該サンプリング値を増減させた第4波形を特定する第4処理と、前記第3波形における前記サンプリング周期毎の各値の中から連続するb個(bは、3以上の自然数)の値を選択して当該各値の各絶対値のうちの最大の値を第1最大値として取得する処理を当該b個の各値の組み合わせを時間軸に沿って変更しつつ行って当該取得した各第1最大値によって表される第5波形を特定する第5処理と、前記第4波形における前記サンプリング周期毎の各値の絶対値を第1絶対値として取得する処理を時間軸に沿って行って当該取得した各第1絶対値によって表される第6波形を特定する第6処理と、前記各第1最大値に予め決められた第1係数をそれぞれ乗算した各値を対応する前記各第1絶対値からそれぞれ減算した各減算値によって表される第7波形を特定する第7処理と、前記第7波形における負の値となる部分を0の値となるように変形した第8波形を特定する第8処理と、前記第8波形の各値の平均値を算出する第9処理と、前記第8波形の各値の最大値に予め決められた第2係数を乗算した値を前記平均値で除算した値を第3係数として算出する第10処理とを良品の前記部品について実行し、検査対象の前記部品について前記第1処理から第9処理を実行して算出した前記平均値に前記第3係数を乗算した値を前記閾値として算出することにより、前記部品に前記検査用信号を供給したときの過渡現象の発生期間における前記被検出信号の大きな値の影響を低減可能な当該閾値を算出する検査装置。 - 前記演算部は、前記第3処理において、前記第2波形上の連続する3つの位置の両端における当該第2波形の各値の差分値の1/2の値、および当該3つの位置のうちの連続する2つの位置における当該第2波形の各値の差分値のいずれかの値を当該3つの位置の中央における前記傾きを示す値とする請求項1記載の検査装置。
- 前記演算部は、前記第3処理において、前記第2波形上の各位置における2階微分値を前記傾きを示す値とする請求項1記載の検査装置。
- 前記演算部は、前記第4処理において、前記突出部分の前記サンプリング値に予め決められた正の値を乗算すると共に前記突出部分を除く部分の前記サンプリング値に予め決められた負の値を乗算して当該サンプリング値を増減させる請求項1から3のいずれかに記載の検査装置。
- 前記演算部は、良品の前記部品について前記第7処理を実行したときの前記過渡現象の発生期間における前記減算値が0以下となる値を前記第1係数として前記各第1最大値に乗算する請求項1から4のいずれかに記載の検査装置。
- 検査対象の部品に検査用信号を供給したときに生じる被検出信号に基づく波形に閾値以上の値のパルス波形が含まれているときに当該部品を不良と判定する際の当該閾値を算出する閾値算出方法であって、
コイル、抵抗およびコンデンサのいずれかを前記部品として検査するための前記閾値を算出するときに、前記被検出信号を予め決められたサンプリング周期でサンプリングしたサンプリング値によって表される第1波形を特定する第1処理と、前記第1波形から高周波成分を除去した第2波形を特定する第2処理と、前記第2波形上の各位置における傾きまたは傾きの変化量を示す値の経時変化によって表される第3波形を特定する第3処理と、前記第1波形における連続するa個(aは、4以上の自然数)の前記サンプリング値が変動するパルス波形が当該第1波形に含まれているときに当該パルス波形の突出部分が強調されるように当該サンプリング値を増減させた第4波形を特定する第4処理と、前記第3波形における前記サンプリング周期毎の各値の中から連続するb個(bは、3以上の自然数)の値を選択して当該各値の各絶対値のうちの最大の値を第1最大値として取得する処理を当該b個の各値の組み合わせを時間軸に沿って変更しつつ行って当該取得した各第1最大値によって表される第5波形を特定する第5処理と、前記第4波形における前記サンプリング周期毎の各値の絶対値を第1絶対値として取得する処理を時間軸に沿って行って当該取得した各第1絶対値によって表される第6波形を特定する第6処理と、前記各第1最大値に予め決められた第1係数をそれぞれ乗算した各値を対応する前記各第1絶対値からそれぞれ減算した各減算値によって表される第7波形を特定する第7処理と、前記第7波形における負の値となる部分を0の値となるように変形した第8波形を特定する第8処理と、前記第8波形の各値の平均値を算出する第9処理と、前記第8波形の各値の最大値に予め決められた第2係数を乗算した値を前記平均値で除算した値を第3係数として算出する第10処理とを良品の前記部品について実行し、検査対象の前記部品について前記第1処理から第9処理を実行して算出した前記平均値に前記第3係数を乗算した値を前記閾値として算出することにより、前記部品に前記検査用信号を供給したときの過渡現象の発生期間における前記被検出信号の大きな値の影響を低減可能な当該閾値を算出する閾値算出方法。
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2017
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