JP6981682B2 - 立体構造砥石とその製造方法 - Google Patents
立体構造砥石とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6981682B2 JP6981682B2 JP2019546692A JP2019546692A JP6981682B2 JP 6981682 B2 JP6981682 B2 JP 6981682B2 JP 2019546692 A JP2019546692 A JP 2019546692A JP 2019546692 A JP2019546692 A JP 2019546692A JP 6981682 B2 JP6981682 B2 JP 6981682B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dimensional structure
- sheet
- abrasive grains
- sheets
- grindstone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
Description
複数のシートから構成される立体構造体と、
前記複数のシートに固定され、前記立体構造体の厚さ方向に複数層に配置された複数の砥粒と、から構成される立体構造砥石であって、
前記シートが構成する壁は、前記立体構造体の研磨面に対して、垂直方向に延在し、
前記複数の砥粒は、各前記シートの前記研磨面を構成する辺に所定の角度で交差する互いに平行な仮想線上に配置されており、
前記立体構造体は、前記複数のシートの間にチップポケットとして機能する貫通孔を有する。
上記目的を達成するため、本発明の第2の立体構造砥石は、
複数のシートから構成される立体構造体と、
前記複数のシートに固定され、前記立体構造体の厚さ方向に複数層に配置された複数の砥粒と、から構成される立体構造砥石であって、
前記シートが構成する壁は、前記立体構造体の研磨面に対して、垂直方向に延在し、
前記複数の砥粒は、各前記シートに等間隔で配置されており、
前記立体構造体は、前記複数のシートの間にチップポケットとして機能する貫通孔を有する。
各前記シートには、複数の開口部が等間隔に形成され、該開口部に前記砥粒が配置されている。
複数のシートのそれぞれの、研磨面を構成する辺に所定の角度で交差する互いに平行な仮想線上に砥粒を配置し、
前記砥粒が配置された前記複数のシートから、前記複数のシートの間にチップポケットとして機能する貫通孔を有する立体構造体を形成し、
前記シートが構成する壁は、前記立体構造体の前記研磨面に対して、垂直方向に延在する。
nを3以上の奇数、iを1以上(n−1)/2以下の自然数とし、
n枚のシートそれぞれに研磨面を構成する辺に所定の角度で交差する互いに平行な仮想線上に砥粒を配置する工程と、
(2・i−1)枚目の前記シートと2・i枚目の前記シートの間を所定間隔で互いに平行な第1のストライプで接着し、(2・i)枚目の前記シートと(2・i+1)枚目の前記シートの間を所定間隔で互いに平行で且つ隣接する2つの第1のストライプの間に位置する第2のストライプで接着することで、前記砥粒が配置されたn枚の前記シートを積層する工程と、
第1の前記シートと第nの前記シートとを引き離すように引っ張ることにより、前記シートの間に貫通孔を有するハニカム構造を有する立体構造体を形成する工程と、
を備え、
前記シートが構成する壁は、前記立体構造体の前記研磨面に対して、垂直方向に延在する。
各前記シートに、前記砥粒の平均粒径の1/4〜3/4の大きさの開口部を、前記砥粒の平均粒径の2〜50倍の間隔で等間隔に形成する工程と、
複数の前記開口部に砥粒を配置する工程と、
を備える。
また、本発明の立体構造砥石の製造方法によれば、上記効果を得られる立体構造砥石を製造することができる。
図1に示すように、本実施の形態に係る立体構造砥石1は、被研磨体又は被研削体(以下、被研磨・研削体)を研磨又は研削(以下、研磨・研削)するためのものである。立体構造砥石1は、立体的な構造を有し、研磨面又は研削面(以下、研磨・研削面)1aを任意の被研磨・研削体100に押し当てて、被研磨・研削体100を研磨・研削する。被研磨・研削体100は、磁気ディスク基板、シリコンウェーハ、表示装置用ガラス基板やレンズ等の各種被研磨・研削体、機械部品等任意である。尚、図1では、被研磨・研削体100を球体で例示している。
砥粒11は、例えば、アルミナ、シリカ、ダイヤモンド等の無機研磨材又は研削材の微粒子から構成される。
開口部21bの間隔、即ち、砥粒11の間隔は、砥粒11の平均粒径の2〜50倍とすることが望ましい。なお、砥粒11の粒径とは、砥粒11の外接球の直径に相当する。
まず、用途に合致する砥粒11とシート21を用意する。
次に、シート21に、等間隔に開口部21bを形成する。開口部21bを形成する方法は任意である。例えば、一定の制御機構を有したレーザービームをシート21に断続的に照射することにより開口部21bを形成してよい。また、複数針の上下、左右移動によって開口部21bを形成してもよい。
なお、開口部21bの当初のサイズは、砥粒11の平均粒径の1/4〜3/4、さらに望ましくは1/2程度が望ましい。
続いて、接着剤を砥粒11とシート21とに塗布して接着層12を形成し、図7に示すように、砥粒11をシート21に確実に固定する。
以下同様にn枚のシートを図9に示すように重ねる。
例えば、上記実施の形態においては、断面が6角形のハニカム構造を例示したが、断面の形状は任意であり、3角形でも、4角形でも、5角形でも、7角形以上でもよい。
また、ハニカム構造の形成手法は任意である。例えば、シート21で形成された筒を組み合わせてハニカム構造を構成することも可能である。
1a 研磨面又は研削面
11 砥粒
12 接着層
2 基材
21 シート
21a 中空部
21b 開口部
211〜21n シート
22 枠
31 接着代
100 被研磨体又は被研削体
Claims (9)
- 複数のシートから構成される立体構造体と、
前記複数のシートに固定され、前記立体構造体の厚さ方向に複数層に配置された複数の砥粒と、から構成される立体構造砥石であって、
前記シートが構成する壁は、前記立体構造体の研磨面に対して、垂直方向に延在し、
前記複数の砥粒は、各前記シートの前記研磨面を構成する辺に所定の角度で交差する互いに平行な仮想線上に配置されており、
前記立体構造体は、前記複数のシートの間にチップポケットとして機能する貫通孔を有する、
立体構造砥石。 - 複数のシートから構成される立体構造体と、
前記複数のシートに固定され、前記立体構造体の厚さ方向に複数層に配置された複数の砥粒と、から構成される立体構造砥石であって、
前記シートが構成する壁は、前記立体構造体の研磨面に対して、垂直方向に延在し、
前記複数の砥粒は、各前記シートに等間隔で配置されており、
前記立体構造体は、前記複数のシートの間にチップポケットとして機能する貫通孔を有する、
立体構造砥石。 - 前記立体構造体は、前記複数のシートから構成されたハニカム構造体から構成され、
各前記シートには、複数の開口部が等間隔に形成され、該開口部に前記砥粒が配置されている、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の立体構造砥石。 - 各前記シート上の前記砥粒の間隔は、前記砥粒の平均粒径の2〜50倍である、ことを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の立体構造砥石。
- 各前記シートは、厚みは10〜1000μmで、樹脂、紙、金属、布のいずれかから構成される、ことを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の立体構造砥石。
- 前記立体構造体の前記貫通孔は、1〜20mmの径を有する、ことを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の立体構造砥石。
- 複数のシートのそれぞれの、研磨面を構成する辺に所定の角度で交差する互いに平行な仮想線上に砥粒を配置し、
前記砥粒が配置された前記複数のシートから、前記複数のシートの間にチップポケットとして機能する貫通孔を有する立体構造体を形成し、
前記シートが構成する壁は、前記立体構造体の前記研磨面に対して、垂直方向に延在する、
立体構造砥石の製造方法。 - nを3以上の奇数、iを1以上(n−1)/2以下の自然数とし、
n枚のシートそれぞれに研磨面を構成する辺に所定の角度で交差する互いに平行な仮想線上に砥粒を配置する工程と、
(2・i−1)枚目の前記シートと2・i枚目の前記シートの間を所定間隔で互いに平行な第1のストライプで接着し、(2・i)枚目の前記シートと(2・i+1)枚目の前記シートの間を所定間隔で互いに平行で且つ隣接する2つの第1のストライプの間に位置する第2のストライプで接着することで、前記砥粒が配置されたn枚の前記シートを積層する工程と、
第1の前記シートと第nの前記シートとを引き離すように引っ張ることにより、前記複数のシートの間に貫通孔を有するハニカム構造を有する立体構造体を形成する工程と、
を備え、
前記シートが構成する壁は、前記立体構造体の前記研磨面に対して、垂直方向に延在する、
ことを特徴とする立体構造砥石の製造方法。 - 前記シートに砥粒を配置する工程は、
各前記シートに、前記砥粒の平均粒径の1/4〜3/4の大きさの開口部を、前記砥粒の平均粒径の2〜50倍の間隔で等間隔に形成する工程と、
複数の前記開口部に前記砥粒を配置する工程と、
を備える、ことを特徴とする請求項7又は8に記載の立体構造砥石の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017204001 | 2017-10-03 | ||
JP2017204001 | 2017-10-03 | ||
PCT/JP2018/036671 WO2019069847A1 (ja) | 2017-10-03 | 2018-10-01 | 立体構造砥石とその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019069847A1 JPWO2019069847A1 (ja) | 2020-10-22 |
JP6981682B2 true JP6981682B2 (ja) | 2021-12-17 |
Family
ID=65994642
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019546692A Active JP6981682B2 (ja) | 2017-10-03 | 2018-10-01 | 立体構造砥石とその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6981682B2 (ja) |
CN (1) | CN111225767A (ja) |
TW (1) | TWI725344B (ja) |
WO (1) | WO2019069847A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7426692B2 (ja) * | 2019-12-06 | 2024-02-02 | 株式会社ナノテム | 砥石及び工作機械 |
JP7417988B2 (ja) * | 2019-12-06 | 2024-01-19 | 株式会社ナノテム | 砥石、砥石ユニット及び工作機械 |
JP7418009B2 (ja) * | 2020-07-08 | 2024-01-19 | 株式会社ナノテム | 研磨プレート |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54130684U (ja) * | 1978-03-03 | 1979-09-11 | ||
BR9405838A (pt) * | 1993-03-01 | 1996-01-16 | Ultimate Abrasive Syst Inc | Ferramenta cortante abrasiva |
US5427566A (en) * | 1994-01-21 | 1995-06-27 | Supracor Systems, Inc. | Flexible honeycomb panel containing wire or other abrasive material |
JP2002172563A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-18 | Three M Innovative Properties Co | 研磨テープ |
JP2004337986A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-12-02 | Noritake Co Ltd | 円筒状樹脂砥石およびその製造方法 |
KR100773606B1 (ko) * | 2006-01-24 | 2007-11-05 | 이창현 | 초연마재 프리폼을 이용한 가공팁 및 그 제조방법 |
CN101376234B (zh) * | 2007-08-28 | 2013-05-29 | 侯家祥 | 一种研磨工具磨料颗粒有序排列的方法 |
JP4584971B2 (ja) * | 2007-10-09 | 2010-11-24 | 株式会社ナノテム | 研削砥石の製造方法 |
JP5893669B2 (ja) * | 2014-04-30 | 2016-03-23 | 富士製砥株式会社 | 回転砥石の製造法及び該製造法によって製造した回転砥石 |
CN106457523A (zh) * | 2014-06-17 | 2017-02-22 | 阪东化学株式会社 | 研磨垫及研磨垫的制造方法 |
JP6029042B1 (ja) * | 2016-03-01 | 2016-11-24 | 伊藤 幸男 | 丸鋸,ダイシングソー,円盤砥石,カップ砥石の本体環とこの生産方法 |
CN106881671B (zh) * | 2017-02-24 | 2020-01-17 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 一种多层钎焊金刚石工具及其制备方法 |
-
2018
- 2018-10-01 JP JP2019546692A patent/JP6981682B2/ja active Active
- 2018-10-01 WO PCT/JP2018/036671 patent/WO2019069847A1/ja active Application Filing
- 2018-10-01 CN CN201880064806.3A patent/CN111225767A/zh active Pending
- 2018-10-02 TW TW107134863A patent/TWI725344B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI725344B (zh) | 2021-04-21 |
TW201924865A (zh) | 2019-07-01 |
JPWO2019069847A1 (ja) | 2020-10-22 |
CN111225767A (zh) | 2020-06-02 |
WO2019069847A1 (ja) | 2019-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6981682B2 (ja) | 立体構造砥石とその製造方法 | |
US9969054B2 (en) | Grinding tool and method of manufacturing the same | |
ES2306591B1 (es) | Herramientas abrasivas fabricadas con una matriz de granos abrasivos auto-elusiva. | |
JP2021504168A5 (ja) | ||
JP2014510645A5 (ja) | ||
JP2016212440A5 (ja) | 積層光学シート | |
JP2021504171A5 (ja) | ||
CN101367202A (zh) | 用于化学机械抛光的层叠的纤丝栅格 | |
TWI535526B (zh) | 研磨物件、固定研磨物件及拋光工件表面之方法 | |
JP2014508650A5 (ja) | ||
JP6091704B2 (ja) | 研磨材及び研磨材の製造方法 | |
KR101118537B1 (ko) | 연마공구 및 그 제조방법 | |
US20100122498A1 (en) | Abrasive Sheet Including An Abrasive Layer | |
JP6085723B1 (ja) | 研磨材及び研磨材の製造方法 | |
JP2014176909A (ja) | 高効率精密加工用研磨砥粒、それを用いた工具及びそれらの製法 | |
JP2001071267A (ja) | パッドコンディショニングダイヤモンドドレッサー及びその製造方法 | |
KR102040144B1 (ko) | 연마재 | |
TWI725119B (zh) | 研磨材 | |
TWI602650B (zh) | 化學機械研磨之固定環 | |
TWI421146B (zh) | 吸附墊片 | |
JP5636012B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
TW201100198A (en) | Assembly type trimmer | |
TW201801857A (zh) | 研磨材 | |
MY193539A (en) | Annular grindstone and manufacturing method of annular grindstone | |
US20240145182A1 (en) | Method for aligning multilayer components and method for manufacturing multilayer ceramic electronic components |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200401 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210706 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210826 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211102 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6981682 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |