JP6977662B2 - Photosensitive resin composition, cured product and image display device - Google Patents

Photosensitive resin composition, cured product and image display device Download PDF

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Description

本発明は、感光性樹脂組成物、硬化物及び画像表示装置に関する。特に、高感度かつ細線密着性に優れた感光性樹脂組成物、それを硬化させた硬化物、該硬化物を有する画像表示装置に関する。本発明の感光性樹脂組成物は、特に、高感度で高精細な細線を形成できるブラックマトリックス(Black Matrix。以下「BM」と略称することがある。)用の感光性樹脂組成物に適している。 The present invention relates to a photosensitive resin composition, a cured product, and an image display device. In particular, the present invention relates to a photosensitive resin composition having high sensitivity and excellent fine line adhesion, a cured product obtained by curing the photosensitive resin composition, and an image display device having the cured product. The photosensitive resin composition of the present invention is particularly suitable for a photosensitive resin composition for a black matrix (Black Matrix, hereinafter abbreviated as "BM") capable of forming high-sensitivity and high-definition fine lines. There is.

カラーフィルターは、通常、ガラス、プラスチック等の透明基板の表面に、黒色のブラックマトリックスを形成し、続いて、赤、緑、青等の3種以上の異なる色の画素を順次、格子状、ストライプ状またはモザイク状等のパターンで形成したものである。パターンサイズはカラーフィルターの用途並びにそれぞれの色により異なるが通常5〜700μm程度である。 A color filter usually forms a black matrix on the surface of a transparent substrate such as glass or plastic, and then sequentially grids and stripes pixels of three or more different colors such as red, green, and blue. It is formed by a pattern such as a shape or a mosaic shape. The pattern size varies depending on the use of the color filter and each color, but is usually about 5 to 700 μm.

カラーフィルターの代表的な製造方法として、現在、顔料分散法が知られている。顔料分散法によりカラーフィルターを製造する場合、まず黒色顔料を含有する感光性樹脂組成物を透明基板上に塗布した後に乾燥させ、更に画像露光、現像した後、200℃以上の高温処理により硬化させることでBMを形成する。これを赤、緑、青等の各色ごとに繰り返すことでカラーフィルターを形成する。 Currently, a pigment dispersion method is known as a typical method for manufacturing a color filter. When a color filter is manufactured by the pigment dispersion method, a photosensitive resin composition containing a black pigment is first applied onto a transparent substrate, dried, and then image-exposed and developed, and then cured by high-temperature treatment at 200 ° C. or higher. This forms a BM. A color filter is formed by repeating this for each color such as red, green, and blue.

BMは、赤、緑、青等の画素の間に格子状、ストライプ状またはモザイク状に配置するのが一般的であり、各画素間の混色抑制によるコントラスト向上あるいは光漏れを防止する役目がある。このため、BMには高い遮光性が要求される。また、BM形成後に形成する赤、緑、青等の画素のエッジ部は、このBMと一部が重なるため、BMの膜厚の影響を受けて、重なり部分で段差が形成される。この重なり部分では、画素の平坦性が損なわれ、液晶セルギャップの不均一化あるいは液晶の配向の乱れが発生して、表示能力低下の原因となる。そこで近年は特にBMの膜厚を薄膜化することが求められており、薄膜化した際でも十分な遮光性を発現するために、感光性樹脂組成物中における顔料含有割合はより高くなる方向にある。そのため、添加できる光重合開始剤の割合は減る方向であり、少量添加でも架橋度を維持できる高感度の開始剤が求められている。 The BM is generally arranged in a grid pattern, a stripe pattern, or a mosaic pattern between pixels of red, green, blue, etc., and has a role of improving contrast or preventing light leakage by suppressing color mixing between the pixels. .. Therefore, the BM is required to have a high light-shielding property. Further, since the edge portion of the pixels such as red, green, and blue formed after the BM is partially overlapped with the BM, a step is formed at the overlapped portion due to the influence of the film thickness of the BM. At this overlapping portion, the flatness of the pixels is impaired, non-uniformity of the liquid crystal cell gap or disorder of the orientation of the liquid crystal occurs, which causes a decrease in display capability. Therefore, in recent years, it has been particularly required to reduce the film thickness of BM, and in order to exhibit sufficient light-shielding properties even when the film thickness is reduced, the pigment content ratio in the photosensitive resin composition tends to increase. be. Therefore, the proportion of the photopolymerization initiator that can be added is decreasing, and there is a demand for a highly sensitive initiator that can maintain the degree of cross-linking even if a small amount is added.

一方で、省エネルギー化やモバイルバッテリーの長寿命化のため、バックライトの出力は低くなる方向にあり、そのような条件下にあっても高輝度で画像表示できるよう、遮光部であるBMの細線化が進められている。また、近年では、液晶ディスプレイの市場において、タブレットなどのような小型化が主流となり、大型のテレビにおいては高解像度の要求が高くなってきている。これらの理由からも、BMの高精細化の要望が高くなってきており、近年、BM細線の線幅は従来の10μm前後から、現在では6〜8μm前後が求められるようになってきている。露光マスクのパターン線幅が10μm未満の領域にくると、通過した光の回折による影響が大きくなり、その分、BM表面に届く光量は減少してしまう。そのため、高感度の開始剤が求められている。また露光後の現像においては残渣を無くすために現像時間は長めに設定するのが一般的であるが、これによりBM/基板界面の溶解(差込み)が進行し、ラインパターンの剥離が起こりやすくなる。パターン線幅が10μm以上の場合は約1〜2μmの差込み(ライン両側の合計で約2〜4μm)が生じても細線密着を維持できるが、10μm未満の細線パターンではBM/基板の密着面積が小さくなり、線幅を1μm狭めるごとの現像密着の低下幅が顕著に大きくなる。特にカラーフィルター製造装置等で使われるシャワー現像方式ではBMの物理的密着力も要求されるため、10μm未満の細線パターン形成が困難であった。そのため、露光時の内部硬化性向上などの手段により細線密着性を高める必要がある。 On the other hand, in order to save energy and extend the life of the mobile battery, the output of the backlight tends to be low, and the thin line of BM, which is a light-shielding part, can display images with high brightness even under such conditions. Is being promoted. Further, in recent years, in the liquid crystal display market, miniaturization such as tablets has become the mainstream, and the demand for high resolution is increasing in large-sized televisions. For these reasons as well, there is an increasing demand for higher definition of BM, and in recent years, the line width of BM fine lines has been required to be about 6 to 8 μm from the conventional 10 μm. When the pattern line width of the exposure mask is less than 10 μm, the influence of the diffraction of the passed light becomes large, and the amount of light reaching the BM surface is reduced by that amount. Therefore, a highly sensitive initiator is required. Further, in the development after exposure, it is common to set the development time longer in order to eliminate the residue, but this promotes the dissolution (insertion) of the BM / substrate interface and the line pattern is likely to be peeled off. .. When the pattern line width is 10 μm or more, the fine line adhesion can be maintained even if the insertion of about 1 to 2 μm (total of about 2 to 4 μm on both sides of the line) occurs, but the fine line pattern of less than 10 μm has a BM / substrate adhesion area. It becomes smaller, and the reduction width of the development adhesion becomes remarkably large every time the line width is narrowed by 1 μm. In particular, in the shower development method used in a color filter manufacturing apparatus or the like, the physical adhesion of the BM is also required, so that it is difficult to form a fine line pattern of less than 10 μm. Therefore, it is necessary to improve the fine line adhesion by means such as improving the internal curability at the time of exposure.

こうした背景から、高感度、かつ10μm未満の細線密着性に優れたBM用の感光性樹脂組成物が求められている。 Against this background, there is a demand for a photosensitive resin composition for BM having high sensitivity and excellent adhesion to fine wires of less than 10 μm.

特許文献1にはニトロ化したカルバゾリル構造を有するオキシムエステル化合物が、405nmや365nm等の長波長の光を効率よく吸収し活性化される高感度の光重合開始剤であると記載されている。特許文献2にはベンゾ−不飽和5員環−カルボニル基を有するオキシムエステル化合物が、高感度であることが記載されている。 Patent Document 1 describes that an oxime ester compound having a nitrated carbazolyl structure is a highly sensitive photopolymerization initiator that efficiently absorbs and activates light having a long wavelength such as 405 nm or 365 nm. Patent Document 2 describes that an oxime ester compound having a benzo-unsaturated 5-membered ring-carbonyl group has high sensitivity.

国際公開第2008/078678号International Publication No. 2008/07878 国際公開第2015/036910号International Publication No. 2015/036910

本発明者らが、特許文献1に記載の光重合開始剤を用いてBM評価を行ったところ、感度は高めとなるものの、シャワー現像方式での細線密着が不十分であることが見出された。また、特許文献2に記載の光重合開始剤を用いてBM評価を行ったところ、細線密着は良好となるものの、線幅細りやパターントップの膜減りがあり、感度が十分ではないことが見出された。
そこで本発明は、高感度かつ細線密着性に優れた感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
When the present inventors performed a BM evaluation using the photopolymerization initiator described in Patent Document 1, it was found that although the sensitivity was high, the fine line adhesion in the shower development method was insufficient. rice field. Further, when a BM evaluation was performed using the photopolymerization initiator described in Patent Document 2, it was found that the fine line adhesion was good, but the line width was narrowed and the film on the pattern top was reduced, and the sensitivity was not sufficient. It was issued.
Therefore, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having high sensitivity and excellent fine wire adhesion.

本発明者らは前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、感光性樹脂組成物において、特定の組み合わせの光重合開始剤を含有させることにより、前記課題を解決できることを見出した。即ち本発明の要旨は以下に存する。 As a result of diligent studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that the above-mentioned problems can be solved by containing a specific combination of photopolymerization initiators in the photosensitive resin composition. That is, the gist of the present invention lies below.

[1] (a)アルカリ可溶性樹脂、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤及び(d)色材を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(c)光重合開始剤が、下記一般式(I)で表される光重合開始剤(c1)、及び、波長320nm〜400nmの範囲における極大吸収波長が334nm以上である光重合開始剤(c2)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
[1] A photosensitive resin composition containing (a) an alkali-soluble resin, (b) a photopolymerizable monomer, (c) a photopolymerization initiator, and (d) a coloring material.
The photopolymerization initiator (c) is a photopolymerization initiator (c1) represented by the following general formula (I) and a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength of 334 nm or more in the wavelength range of 320 nm to 400 nm. A photosensitive resin composition comprising c2).

Figure 0006977662
Figure 0006977662

(式(I)中、Rは置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
は置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
kは0又は1を表す。
〜Rは各々独立に、任意の1価の置換基を表す。
l、m及びoは各々独立に、0〜3の整数を表す。nは0又は1を表す。)
(In formula (I), R 1 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
R 2 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
k represents 0 or 1.
R 3 to R 6 each independently represent an arbitrary monovalent substituent.
l, m and o each independently represent an integer of 0 to 3. n represents 0 or 1. )

[2] 全固形分に対する前記(c)光重合開始剤の含有割合が2質量%以上である、[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[3] 前記(c)光重合開始剤における、前記光重合開始剤(c1)の含有割合が1質量%以上である、[1]又は[2]に記載の感光性樹脂組成物。
[4] 前記光重合開始剤(c2)が、フルオレン骨格又はカルバゾール骨格を有する光重合開始剤である、[1]〜[3]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[5] 前記光重合開始剤(c2)が、下記一般式(II)で表される光重合開始剤である、[4]に記載の感光性樹脂組成物。
[2] The photosensitive resin composition according to [1], wherein the content ratio of the photopolymerization initiator (c) to the total solid content is 2% by mass or more.
[3] The photosensitive resin composition according to [1] or [2], wherein the content ratio of the photopolymerization initiator (c1) in the (c) photopolymerization initiator is 1% by mass or more.
[4] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the photopolymerization initiator (c2) is a photopolymerization initiator having a fluorene skeleton or a carbazole skeleton.
[5] The photosensitive resin composition according to [4], wherein the photopolymerization initiator (c2) is a photopolymerization initiator represented by the following general formula (II).

Figure 0006977662
Figure 0006977662

(式(II)中、Rは置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
は置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
pは0又は1を表す。
は任意の1価の置換基を表す。qは0〜3の整数を表す。
Xは−N(R10)−又は−C(R11)(R12)−を表す。
10〜R12は各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。R11とR12は相互に結合して環を形成していてもよい。)
(In formula (II), R 7 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
R 8 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
p represents 0 or 1.
R 9 represents any monovalent substituent. q represents an integer of 0 to 3.
X represents −N (R 10 ) − or −C (R 11 ) (R 12 ) −.
R 10 to R 12 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent, or an aromatic ring group which may have a substituent. R 11 and R 12 may be coupled to each other to form a ring. )

[6] 前記(d)色材がカーボンブラックである、[1]〜[5]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[7] 全固形分に対する前記(d)色材の含有割合が30質量%以上である、[1]〜[6]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[8] 前記(a)アルカリ可溶性樹脂が、カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂を含有する、[1]〜[7]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[9] [1]〜[8]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物を硬化させた硬化物。
[10] [9]に記載の硬化物を有する画像表示装置。
[6] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [5], wherein the coloring material (d) is carbon black.
[7] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [6], wherein the content ratio of the coloring material (d) to the total solid content is 30% by mass or more.
[8] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [7], wherein the alkali-soluble resin (a) contains an epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group.
[9] A cured product obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [8].
[10] An image display device having the cured product according to [9].

本発明によれば、高感度かつ細線密着性に優れた感光性樹脂組成物を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a photosensitive resin composition having high sensitivity and excellent fine wire adhesion.

図1は、本発明のカラーフィルターを備えた有機EL(Electro Luminescence)素子の一例を示す断面概略図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of an organic EL (Electro Luminescence) device provided with the color filter of the present invention.

以下、本発明の実施の形態を具体的に説明するが、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更して実施することができる。
なお、本発明において、「(メタ)アクリル」とは「アクリル及び/又はメタクリル」を意味し、「(メタ)アクリレート」、「(メタ)アクリロイル」についても同様である。
また、本発明において、質量で表される全ての百分率や部は、重量で表される百分率や部と同様である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described, but the present invention is not limited to the following embodiments, and can be variously modified and implemented within the scope of the gist thereof.
In the present invention, "(meth) acrylic" means "acrylic and / or methacrylic", and the same applies to "(meth) acrylate" and "(meth) acryloyl".
Further, in the present invention, all percentages and parts represented by mass are the same as percentages and parts represented by weight.

本発明において「全固形分」とは、感光性樹脂組成物中又は後述するインク中に含まれる、溶剤以外の全成分を意味するものとする。
本発明において、重量平均分子量とは、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)を指す。
また、本発明において、「アミン価」とは、特に断りのない限り、有効固形分換算のアミン価を表し、分散剤の固形分1gあたりの塩基量と当量のKOHの重量で表される値である。なお、測定方法については後述する。
In the present invention, the "total solid content" means all the components other than the solvent contained in the photosensitive resin composition or the ink described later.
In the present invention, the weight average molecular weight refers to the polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) by GPC (gel permeation chromatography).
Further, in the present invention, the "amine value" represents an amine value in terms of effective solid content, and is a value represented by the amount of base per 1 g of solid content of the dispersant and the weight of equivalent KOH, unless otherwise specified. Is. The measurement method will be described later.

[感光性樹脂組成物]
本発明の感光性樹脂組成物は、(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤及び(d)色材を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(c)光重合開始剤が、下記一般式(I)で表される光重合開始剤(c1)、及び、波長320nm〜400nmの範囲における極大吸収波長が334nm以上である光重合開始剤(c2)を含有することを特徴とする。なお、本発明において(c)光重合開始剤の「極大吸収波長」とは、波長320nm〜400nmの範囲における極大吸収波長を意味するものとする。
[Photosensitive resin composition]
The photosensitive resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition containing (a) an alkali-soluble resin, (b) a photopolymerizable monomer, (c) a photopolymerization initiator and (d) a coloring material. The (c) photopolymerization initiator is a photopolymerization initiator (c1) represented by the following general formula (I), and a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength of 334 nm or more in the wavelength range of 320 nm to 400 nm. It is characterized by containing c2). In the present invention, the "maximum absorption wavelength" of (c) the photopolymerization initiator means the maximum absorption wavelength in the wavelength range of 320 nm to 400 nm.

Figure 0006977662
Figure 0006977662

式(I)中、Rは置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
は置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
kは0又は1を表す。
〜Rは各々独立に、任意の1価の置換基を表す。
l、m及びoは各々独立に、0〜3の整数を表す。nは0又は1を表す。
In formula (I), R 1 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
R 2 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
k represents 0 or 1.
R 3 to R 6 each independently represent an arbitrary monovalent substituent.
l, m and o each independently represent an integer of 0 to 3. n represents 0 or 1.

本発明の感光性樹脂組成物は更に、分散剤、チオール類を含有していてもよく、必要に応じて、密着向上剤、塗布性向上剤、現像改良剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、顔料誘導体等のその他の配合成分を含んでいてもよく、通常、各配合成分が、有機溶剤に溶解又は分散した状態で使用される。
本発明の特徴は、感光性樹脂組成物において(c)光重合開始剤が、光重合開始剤(c1)及び光重合開始剤(c2)を含有することにある。まず、(c)光重合開始剤について説明する。
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain a dispersant and thiols, and if necessary, an adhesion improver, a coatability improver, a development improver, an ultraviolet absorber, an antioxidant, and the like. Other compounding components such as pigment derivatives may be contained, and each compounding component is usually used in a state of being dissolved or dispersed in an organic solvent.
A feature of the present invention is that the (c) photopolymerization initiator contains a photopolymerization initiator (c1) and a photopolymerization initiator (c2) in the photosensitive resin composition. First, (c) a photopolymerization initiator will be described.

<(c)光重合開始剤>
本発明における(c)光重合開始剤は、後述の一般式(I)で表される光重合開始剤(c1)、及び、極大吸収波長が334nm以上である光重合開始剤(c2)を含有する。
<(C) Photopolymerization initiator>
The (c) photopolymerization initiator in the present invention contains a photopolymerization initiator (c1) represented by the general formula (I) described later and a photopolymerization initiator (c2) having a maximum absorption wavelength of 334 nm or more. do.

<光重合開始剤(c1)>
光重合開始剤(c1)は、下記一般式(I)で表される光重合開始剤である。
<Photopolymerization initiator (c1)>
The photopolymerization initiator (c1) is a photopolymerization initiator represented by the following general formula (I).

Figure 0006977662
Figure 0006977662

式(I)中、Rは置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
は置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
kは0又は1を表す。
〜Rは各々独立に、任意の1価の置換基を表す。
l、m及びoは各々独立に、0〜3の整数を表す。nは0又は1を表す。
In formula (I), R 1 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
R 2 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
k represents 0 or 1.
R 3 to R 6 each independently represent an arbitrary monovalent substituent.
l, m and o each independently represent an integer of 0 to 3. n represents 0 or 1.

このように、前記一般式(I)で表される光重合開始剤(c1)を含有することで、色材粒子表面への光重合開始剤の吸着が促進され、露光時の光重合開始剤の光吸収率が向上すると共に、樹脂成分のUV(Ultraviolet)光透過性が上がって内部硬化性が向上し、細線密着性が良好になるものと考えられる。 As described above, by containing the photopolymerization initiator (c1) represented by the general formula (I), the adsorption of the photopolymerization initiator on the surface of the coloring material particles is promoted, and the photopolymerization initiator at the time of exposure is promoted. It is considered that the light absorption rate of the polymer is improved, the UV (Ultraviolet) light transmittance of the resin component is increased, the internal curability is improved, and the fine line adhesion is improved.

(R
前記式(I)において、Rは置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
におけるアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよい。アルキル基の炭素数は特に限定されないが、通常1以上であり、また好ましくは12以下、より好ましくは6以下、さらに好ましくは3以下、特に好ましくは2以下である。アルキル基の炭素数を前記上限値以下とすることで、架橋密度が高くなる傾向がある。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。これらの中でも、感度の観点から、メチル基、エチル基、プロピル基、又はブチル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子、水酸基、ニトロ基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、メトキシ基又は水酸基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。
(R 1 )
In the formula (I), R 1 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
The alkyl group in R 1 may be linear, branched, cyclic, or bonded to each other. The number of carbon atoms of the alkyl group is not particularly limited, but is usually 1 or more, preferably 12 or less, more preferably 6 or less, still more preferably 3 or less, and particularly preferably 2 or less. By setting the number of carbon atoms of the alkyl group to the upper limit or less, the crosslink density tends to increase.
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a tert-butyl group, a pentyl group, an isopentyl group, a cyclopentyl group, a hexyl group, a cyclohexyl group and the like. Among these, from the viewpoint of sensitivity, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, or a butyl group is preferable, a methyl group or an ethyl group is more preferable, and a methyl group is further preferable.
Examples of the substituent that the alkyl group may have include an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom such as F, Cl, Br, and I, a hydroxyl group, and a nitro group. From the viewpoint of solvent solubility, a methoxy group or a hydroxyl group is preferable. Further, from the viewpoint of sensitivity, it is preferably unsubstituted.

における芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、また、12以下が好ましく、10以下がより好ましく、8以下がさらに好ましい。芳香族環基の炭素数を前記下限値以上とすることで保存安定性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向がある。 Examples of the aromatic ring group in R 1 include an aromatic hydrocarbon ring group and an aromatic heterocyclic group. The carbon number is usually 4 or more, preferably 6 or more, preferably 12 or less, more preferably 10 or less, still more preferably 8 or less. When the number of carbon atoms of the aromatic ring group is at least the above lower limit value, the storage stability tends to be good, and when it is at least the above upper limit value, the solvent solubility tends to be good.

芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環基としては、例えば、1個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。芳香族複素環基としては、例えば、1個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。
これらの中でも溶剤溶解性の観点から、1個の遊離原子価を有するベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、1個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the aromatic hydrocarbon ring group include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, and a triphenylene ring, which have one free atomic value. Examples include groups such as acenaphthene ring, fluoranthene ring, and fluorene ring.
Further, the aromatic heterocycle in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the aromatic heterocyclic group include a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrazole ring, a pyrazole ring, an imidazole ring, an oxadiazole ring, an indole ring, and a carbazole ring having one free atomic value. Ring, Pyrolobymidazole ring, Pyrrolopyrazole ring, Pyrrolopyrrole ring, Thienopyrrole ring, Thienothiophene ring, Flopyrole ring, Flofran ring, Thienofranc ring, Benzoisoxazole ring, Benzoisothiazole ring, Benzimidazole ring, Pyridine ring, Pyrazine ring, Examples thereof include pyridazine rings, pyrimidine rings, triazine rings, quinoline rings, isoquinoline rings, sinoline rings, quinoxalin rings, phenanthridin rings, benzimidazole rings, perimidine rings, quinazoline rings, quinazolinone rings, and azulene rings.
Among these, from the viewpoint of solvent solubility, a benzene ring or a naphthalene ring having one free valence is preferable, and a benzene ring having one free valence is more preferable.

芳香族環基が有していてもよい置換基としては、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子、水酸基、ニトロ基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、メトキシ基又は水酸基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。 Substituents that the aromatic ring group may have include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms, F, Cl, Br, and I. Examples thereof include halogen atoms such as, hydroxyl groups and nitro groups, and methoxy groups or hydroxyl groups are preferable from the viewpoint of solvent solubility. Further, from the viewpoint of sensitivity, it is preferably unsubstituted.

これらの中でも硬化性の観点から、Rは置換基を有していてもよいアルキル基であることが好ましく、無置換のアルキル基であることがより好ましく、メチル基であることがさらに好ましい。 Among these, from the viewpoint of curability, R 1 is preferably an alkyl group which may have a substituent, more preferably an unsubstituted alkyl group, and further preferably a methyl group.

(R
前記式(I)において、Rは置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
におけるアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよいが、溶剤溶解性の観点から直鎖状又は分岐状が好ましく、分岐状がより好ましい。
アルキル基の炭素数は特に限定されないが、通常1以上、好ましくは2以上、より好ましくは3以上、さらに好ましくは4以上、特に好ましくは5以上、また、好ましくは10以下、より好ましくは8以下、さらに好ましくは7以下、特に好ましくは6以下である。アルキル基の炭素数を前記下限値以上とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。これらの中でも、溶剤溶解性の観点から、イソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、又はシクロペンチルが好ましく、イソブチル基又はイソペンチル基がより好ましく、イソペンチル基がさらに好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、炭素数6〜10の芳香族環基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子、水酸基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、炭素数1〜3のアルコキシ基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。
(R 2 )
In the formula (I), R 2 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
The alkyl group in R 2 can be linear, even branched, be cyclic, may be one to which they are attached, but solvent solubility viewpoint from straight or branched is preferred, branched and more preferable.
The number of carbon atoms of the alkyl group is not particularly limited, but is usually 1 or more, preferably 2 or more, more preferably 3 or more, still more preferably 4 or more, particularly preferably 5 or more, and preferably 10 or less, more preferably 8 or less. , More preferably 7 or less, and particularly preferably 6 or less. When the number of carbon atoms of the alkyl group is at least the above lower limit value, the solvent solubility tends to be good, and when it is at least the above upper limit value, the sensitivity tends to be high.
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a tert-butyl group, a pentyl group, an isopentyl group, a cyclopentyl group, a hexyl group, a cyclohexyl group and the like. Among these, from the viewpoint of solvent solubility, an isopropyl group, an isobutyl group, an isopentyl group, or a cyclopentyl group is preferable, an isobutyl group or an isopentyl group is more preferable, and an isopentyl group is further preferable.
Substituents that the alkyl group may have include an aromatic ring group having 6 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms, F, Cl, Br, and I. Examples thereof include halogen atoms and hydroxyl groups such as, and from the viewpoint of solvent solubility, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms is preferable. Further, from the viewpoint of sensitivity, it is preferably unsubstituted.

における芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、また、12以下が好ましく、10以下がより好ましく、8以下がさらに好ましい。芳香族環基の炭素数を前記下限値以上とすることで分子が安定となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向がある。 The aromatic ring group in R 2, an aromatic hydrocarbon ring group and aromatic heterocyclic group. The carbon number is usually 4 or more, preferably 6 or more, preferably 12 or less, more preferably 10 or less, still more preferably 8 or less. When the number of carbon atoms of the aromatic ring group is at least the above lower limit value, the molecule tends to be stable, and when it is at least the above upper limit value, the solvent solubility tends to be good.

芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環基としては、例えば、1個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。芳香族複素環基としては、例えば、1個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。
これらの中でも溶剤溶解性の観点から、1個の遊離原子価を有するベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、1個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the aromatic hydrocarbon ring group include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, and a triphenylene ring, which have one free atomic value. Examples include groups such as acenaphthene ring, fluoranthene ring, and fluorene ring.
Further, the aromatic heterocycle in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the aromatic heterocyclic group include a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrazole ring, a pyrazole ring, an imidazole ring, an oxadiazole ring, an indole ring, and a carbazole ring having one free atomic value. Ring, Pyrolobymidazole ring, Pyrrolopyrazole ring, Pyrrolopyrrole ring, Thienopyrrole ring, Thienothiophene ring, Flopyrole ring, Flofran ring, Thienofranc ring, Benzoisoxazole ring, Benzoisothiazole ring, Benzimidazole ring, Pyridine ring, Pyrazine ring, Examples thereof include pyridazine rings, pyrimidine rings, triazine rings, quinoline rings, isoquinoline rings, sinoline rings, quinoxalin rings, phenanthridin rings, benzimidazole rings, perimidine rings, quinazoline rings, quinazolinone rings, and azulene rings.
Among these, from the viewpoint of solvent solubility, a benzene ring or a naphthalene ring having one free valence is preferable, and a benzene ring having one free valence is more preferable.

芳香族環基が有していてもよい置換基としては、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子、水酸基、ニトロ基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、炭素数1〜3のアルコキシ基又は水酸基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。 Substituents that the aromatic ring group may have include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms, F, Cl, Br, and I. Examples thereof include a halogen atom such as, a hydroxyl group and a nitro group, and from the viewpoint of solvent solubility, an alkoxy group or a hydroxyl group having 1 to 3 carbon atoms is preferable. Further, from the viewpoint of sensitivity, it is preferably unsubstituted.

これらの中でも感度の観点から、Rは置換基を有していてもよいアルキル基であることが好ましく、無置換のアルキル基であることがより好ましく、イソペンチル基であることがさらに好ましい。 Among these, from the viewpoint of sensitivity, R 2 is preferably an alkyl group which may have a substituent, more preferably an unsubstituted alkyl group, and further preferably an isopentyl group.

(k)
前記式(I)において、kは0又は1を表す。感度の観点からはkが0であることが好ましく、一方で溶剤溶解性の観点からはkが1であることが好ましい。
(K)
In the formula (I), k represents 0 or 1. From the viewpoint of sensitivity, k is preferably 0, while from the viewpoint of solvent solubility, k is preferably 1.

(R〜R
前記式(I)において、R〜Rは各々独立に、任意の1価の置換基を表す。
任意の1価の置換基としては、メチル基、エチル基等の炭素数1〜10のアルキル基;メトキシ基、エトキシ基などの炭素数1〜10のアルコキシ基;F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子;炭素数1〜10のアシル基;炭素数1〜10のアルキルエステル基;炭素数1〜10のアルコキシカルボニル基;炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基;炭素数4〜10の芳香族環基;アミノ基;炭素数1〜10のアミノアルキル基;水酸基;ニトロ基;CN基等が挙げられる。これらの中でも溶剤溶解性の観点から、メチル基、メトキシ基が好ましく、メチル基がより好ましい。
、R及びRにおいて、l、m及びoが2以上の場合、複数のR、R及びR同士が結合して環を形成していてもよい。環は脂肪族環であっても、芳香族環であってもよい。
(R 3 to R 6 )
In the formula (I), R 3 to R 6 each independently represent an arbitrary monovalent substituent.
As any monovalent substituent, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms such as a methyl group and an ethyl group; an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms such as a methoxy group and an ethoxy group; F, Cl, Br, I and the like. Halogen atom; acyl group having 1 to 10 carbon atoms; alkyl ester group having 1 to 10 carbon atoms; alkoxycarbonyl group having 1 to 10 carbon atoms; alkyl halide group having 1 to 10 carbon atoms; 4 to 10 carbon atoms Examples include an aromatic ring group; an amino group; an aminoalkyl group having 1 to 10 carbon atoms; a hydroxyl group; a nitro group; a CN group and the like. Among these, a methyl group and a methoxy group are preferable, and a methyl group is more preferable, from the viewpoint of solvent solubility.
In R 3 , R 4 and R 6 , when l, m and o are 2 or more, a plurality of R 3 , R 4 and R 6 may be bonded to each other to form a ring. The ring may be an aliphatic ring or an aromatic ring.

(l、m、n、o)
前記式(I)において、l、m及びoは各々独立に、0〜3の整数を表し、nは0又は1を表す。
感度の観点から、l、m及びoは各々独立に0又は1であることが好ましく、0であることがより好ましい。また、感度の観点から、nは0であることが好ましい。
(L, m, n, o)
In the formula (I), l, m and o each independently represent an integer of 0 to 3, and n represents 0 or 1.
From the viewpoint of sensitivity, l, m and o are preferably 0 or 1 independently, and more preferably 0. Further, from the viewpoint of sensitivity, n is preferably 0.

前記一般式(I)で表される光重合開始剤は、溶剤溶解性と感度のバランスに加えて、色材との適度な相互作用の観点から、下記一般式(I−1)で表される光重合開始剤であることが好ましい。 The photopolymerization initiator represented by the general formula (I) is represented by the following general formula (I-1) from the viewpoint of a balance between solvent solubility and sensitivity and an appropriate interaction with a coloring material. It is preferably a photopolymerization initiator.

Figure 0006977662
Figure 0006977662

式(I−1)中、R〜R、k〜oは前記式(I)と同義である。 In the formula (I-1), R 1 to R 6 and k to o are synonymous with the above formula (I).

前記光重合開始剤(c1)の極大吸収波長は特に限定されないが、感度の観点から、322nm以上が好ましく、325nm以上がより好ましく、328nm以上がさらに好ましく、329nm以上がよりさらに好ましく、330nm以上が特に好ましく、また、337nm以下が好ましく、336nm以下がより好ましく、334nm以下がさらに好ましく、333nm以下がよりさらに好ましい。前記範囲内にすることでUV光源が発する333nmの輝線から365nmの輝線(i線)の間の光を有効利用できる傾向がある。 The maximum absorption wavelength of the photopolymerization initiator (c1) is not particularly limited, but from the viewpoint of sensitivity, it is preferably 322 nm or more, more preferably 325 nm or more, further preferably 328 nm or more, further preferably 329 nm or more, and 330 nm or more. Particularly preferably, it is preferably 337 nm or less, more preferably 336 nm or less, further preferably 334 nm or less, still more preferably 333 nm or less. Within the above range, there is a tendency that the light between the emission line of 333 nm and the emission line (i line) of 365 nm emitted by the UV light source can be effectively used.

前記光重合開始剤(c1)の製造方法は特に限定されないが、例えば、国際公開第2015/036910号に記載の方法を採用することができる。
また、前記光重合開始剤(c1)の具体例としては、例えば、以下のものが挙げられる。
The method for producing the photopolymerization initiator (c1) is not particularly limited, and for example, the method described in International Publication No. 2015/036910 can be adopted.
Further, specific examples of the photopolymerization initiator (c1) include the following.

Figure 0006977662
Figure 0006977662

Figure 0006977662
Figure 0006977662

Figure 0006977662
Figure 0006977662

Figure 0006977662
Figure 0006977662

本発明における(c)光重合開始剤は、前記光重合開始剤(c1)の他に、極大吸収波長が334nm以上である光重合開始剤(c2)を含有する。 In addition to the photopolymerization initiator (c1), the photopolymerization initiator (c) in the present invention contains a photopolymerization initiator (c2) having a maximum absorption wavelength of 334 nm or more.

<光重合開始剤(c2)>
光重合開始剤(c2)は、極大吸収波長が334nm以上である光重合開始剤である。
このように、光重合開始剤(c1)に加えて、極大吸収波長が334nm以上である光重合開始剤(c2)を用いることで、有効利用できる光波長範囲が広がり、感度が良好になると考えられる。
<Photopolymerization initiator (c2)>
The photopolymerization initiator (c2) is a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength of 334 nm or more.
As described above, by using the photopolymerization initiator (c2) having a maximum absorption wavelength of 334 nm or more in addition to the photopolymerization initiator (c1), it is considered that the light wavelength range that can be effectively used is widened and the sensitivity is improved. Be done.

前記光重合開始剤(c2)の極大吸収波長は、334nm以上であれば特に限定されないが、感度の観点から、335nm以上が好ましく、336nm以上がより好ましく、338nm以上がさらに好ましく、340nm以上がよりさらに好ましく、345nm以上が特に好ましく、350nm以上が最も好ましく、また、390nm以下が好ましく、380nm以下がより好ましく、375nm以下がさらに好ましく、370nm以下が特に好ましい。光重合開始剤(c2)の極大吸収波長を前記下限値以上とすることで内部硬化が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。
更に、光重合開始剤(c2)と光重合開始剤(c1)の極大吸収波長の差は、5nm以上が好ましく、10nm以上がより好ましく、20nm以上がさらに好ましく、30nm以上が特に好ましく、また、60nm以下が好ましく、50nm以下がより好ましく、40nm以下がさらに好ましく、適当な極大吸収波長を持つ光重合開始剤(c1)と光重合開始剤(c2)の組合せを選択して用いればよい。光重合開始剤(c1)と光重合開始剤(c2)の極大吸収波長の差を前記下限値以上とすることで有効利用できる光波長範囲が広がり高感度化する傾向があり、前記上限値以下とすることでUV光のi線(365nm)に対する感度が高くなる傾向がある。
The maximum absorption wavelength of the photopolymerization initiator (c2) is not particularly limited as long as it is 334 nm or more, but from the viewpoint of sensitivity, it is preferably 335 nm or more, more preferably 336 nm or more, further preferably 338 nm or more, and more preferably 340 nm or more. More preferably, 345 nm or more is particularly preferable, 350 nm or more is most preferable, 390 nm or less is preferable, 380 nm or less is more preferable, 375 nm or less is further preferable, and 370 nm or less is particularly preferable. When the maximum absorption wavelength of the photopolymerization initiator (c2) is set to the lower limit value or more, the internal curing tends to be high, and when the maximum absorption wavelength is set to the upper limit value or less, the sensitivity tends to be high.
Further, the difference in the maximum absorption wavelength between the photopolymerization initiator (c2) and the photopolymerization initiator (c1) is preferably 5 nm or more, more preferably 10 nm or more, further preferably 20 nm or more, particularly preferably 30 nm or more, and further. 60 nm or less is preferable, 50 nm or less is more preferable, 40 nm or less is further preferable, and a combination of a photopolymerization initiator (c1) and a photopolymerization initiator (c2) having an appropriate maximum absorption wavelength may be selected and used. By setting the difference between the maximum absorption wavelengths of the photopolymerization initiator (c1) and the photopolymerization initiator (c2) to be equal to or greater than the lower limit, the range of light wavelengths that can be effectively used tends to be widened and the sensitivity tends to be increased. Therefore, the sensitivity of UV light to i-ray (365 nm) tends to be high.

前記光重合開始剤(c2)の化学構造は特に限定されないが、感度の観点から、オキシムエステル系光重合開始剤であることが好ましく、特に、フルオレン骨格又はカルバゾール骨格を有する光重合開始剤であることが好ましい。なお、フルオレン骨格又はカルバゾール骨格を有するとは、分子構造中にフルオレン環又はカルバゾール環を有することを意味し、それらの環は置換されていてもよい。
また、表面硬化性の観点から、光重合開始剤(c2)は下記一般式(II)で表される光重合開始剤であることが好ましい。
The chemical structure of the photopolymerization initiator (c2) is not particularly limited, but from the viewpoint of sensitivity, it is preferably an oxime ester-based photopolymerization initiator, and in particular, a photopolymerization initiator having a fluorene skeleton or a carbazole skeleton. Is preferable. In addition, having a fluorene skeleton or a carbazole skeleton means having a fluorene ring or a carbazole ring in the molecular structure, and those rings may be substituted.
Further, from the viewpoint of surface curability, the photopolymerization initiator (c2) is preferably a photopolymerization initiator represented by the following general formula (II).

Figure 0006977662
Figure 0006977662

式(II)中、Rは置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
は置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
pは0又は1を表す。
は任意の1価の置換基を表す。qは0〜3の整数を表す。
Xは−N(R10)−又は−C(R11)(R12)−を表す。
10〜R12は各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。R11とR12は相互に結合して環を形成していてもよい。
In formula (II), R 7 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
R 8 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
p represents 0 or 1.
R 9 represents any monovalent substituent. q represents an integer of 0 to 3.
X represents −N (R 10 ) − or −C (R 11 ) (R 12 ) −.
R 10 to R 12 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent, or an aromatic ring group which may have a substituent. R 11 and R 12 may be coupled to each other to form a ring.

(R
前記式(II)において、Rは置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
におけるアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよい。アルキル基の炭素数は特に限定されないが、好ましくは10以下、より好ましくは7以下、さらに好ましくは5以下、特に好ましくは3以下、最も好ましくは2以下であり、通常1以上である。アルキル基の炭素数を前記上限値以下とすることで、架橋密度が高くなる傾向がある。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。これらの中でも、感度の観点から、メチル基、エチル基、プロピル基、又はブチル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、炭素数6〜10の芳香族環基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子、水酸基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、炭素数1〜3のアルコキシ基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。
(R 7 )
In the formula (II), R 7 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
The alkyl group in R 7 may be linear, branched, cyclic, or bonded to each other. The number of carbon atoms of the alkyl group is not particularly limited, but is preferably 10 or less, more preferably 7 or less, still more preferably 5 or less, particularly preferably 3 or less, most preferably 2 or less, and usually 1 or more. By setting the number of carbon atoms of the alkyl group to the upper limit or less, the crosslink density tends to increase.
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a tert-butyl group, a pentyl group, an isopentyl group, a cyclopentyl group, a hexyl group, a cyclohexyl group and the like. Among these, from the viewpoint of sensitivity, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, or a butyl group is preferable, a methyl group or an ethyl group is more preferable, and a methyl group is further preferable.
Substituents that the alkyl group may have include an aromatic ring group having 6 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms, F, Cl, Br, and I. Examples thereof include halogen atoms and hydroxyl groups such as, and from the viewpoint of solvent solubility, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms is preferable. Further, from the viewpoint of sensitivity, it is preferably unsubstituted.

における芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、また、12以下が好ましく、10以下がより好ましく、8以下がさらに好ましい。芳香族環基の炭素数を前記下限値以上とすることで分子が安定となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向がある。 The aromatic ring group in R 7, and an aromatic hydrocarbon ring group and aromatic heterocyclic group. The carbon number is usually 4 or more, preferably 6 or more, preferably 12 or less, more preferably 10 or less, still more preferably 8 or less. When the number of carbon atoms of the aromatic ring group is at least the above lower limit value, the molecule tends to be stable, and when it is at least the above upper limit value, the solvent solubility tends to be good.

芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環基としては、例えば、1個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。芳香族複素環基としては、例えば、1個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。
これらの中でも溶剤溶解性の観点から、1個の遊離原子価を有するベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、1個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the aromatic hydrocarbon ring group include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, and a triphenylene ring, which have one free atomic value. Examples include groups such as acenaphthene ring, fluoranthene ring, and fluorene ring.
Further, the aromatic heterocycle in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the aromatic heterocyclic group include a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrazole ring, a pyrazole ring, an imidazole ring, an oxadiazole ring, an indole ring, and a carbazole ring having one free atomic value. Ring, Pyrolobymidazole ring, Pyrrolopyrazole ring, Pyrrolopyrrole ring, Thienopyrrole ring, Thienothiophene ring, Flopyrole ring, Flofran ring, Thienofranc ring, Benzoisoxazole ring, Benzoisothiazole ring, Benzimidazole ring, Pyridine ring, Pyrazine ring, Examples thereof include pyridazine rings, pyrimidine rings, triazine rings, quinoline rings, isoquinoline rings, sinoline rings, quinoxalin rings, phenanthridin rings, benzimidazole rings, perimidine rings, quinazoline rings, quinazolinone rings, and azulene rings.
Among these, from the viewpoint of solvent solubility, a benzene ring or a naphthalene ring having one free valence is preferable, and a benzene ring having one free valence is more preferable.

芳香族環基が有していてもよい置換基としては、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子、水酸基、ニトロ基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、炭素数1〜3のアルコキシ基又は水酸基が好ましい。 Substituents that the aromatic ring group may have include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms, F, Cl, Br, and I. Examples thereof include a halogen atom such as, a hydroxyl group and a nitro group, and from the viewpoint of solvent solubility, an alkoxy group or a hydroxyl group having 1 to 3 carbon atoms is preferable.

これらの中でも感度の観点から、Rは置換基を有していてもよいアルキル基であることが好ましく、無置換のアルキル基であることがより好ましく、メチル基又はエチル基であることがさらに好ましく、メチル基であることが特に好ましい。 From the viewpoint of sensitivity Among these, it is preferred that R 7 is an alkyl group which may have a substituent, more preferably an unsubstituted alkyl group, further a methyl group or an ethyl group It is preferable, and it is particularly preferable that it is a methyl group.

(R
前記式(II)において、Rは置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
におけるアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよいが、溶剤溶解性の観点から直鎖状又は分岐状が好ましく、分岐状がより好ましい。一方で、感度の観点からは直鎖状アルキル基と環状アルキル基とを結合した基が好ましい。
(R 8)
In the formula (II), R 8 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
The alkyl group in R 8 can be linear, even branched, be cyclic, may be one to which they are attached, but solvent solubility viewpoint from straight or branched is preferred, branched and more preferable. On the other hand, from the viewpoint of sensitivity, a group in which a linear alkyl group and a cyclic alkyl group are bonded is preferable.

アルキル基の炭素数は特に限定されないが、通常1以上、好ましくは2以上、より好ましくは3以上、さらに好ましくは4以上、よりさらに好ましくは5以上、特に好ましくは6以上、最も好ましくは7以上、また、好ましくは12以下、より好ましくは10以下、さらに好ましくは9以下、特に好ましくは8以下である。アルキル基の炭素数を前記下限値以上とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。 The number of carbon atoms of the alkyl group is not particularly limited, but is usually 1 or more, preferably 2 or more, more preferably 3 or more, still more preferably 4 or more, still more preferably 5 or more, particularly preferably 6 or more, and most preferably 7 or more. Further, it is preferably 12 or less, more preferably 10 or less, still more preferably 9 or less, and particularly preferably 8 or less. When the number of carbon atoms of the alkyl group is at least the above lower limit value, the solvent solubility tends to be good, and when it is at least the above upper limit value, the sensitivity tends to be high.

アルキル基が有していてもよい置換基としては、炭素数6〜10の芳香族環基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、炭素数1〜10のアルコキシカルボニル基、F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子、水酸基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、炭素数1〜3のアルコキシ基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。 Substituents that the alkyl group may have include an aromatic ring group having 6 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms, and an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms. Examples thereof include a carbonyl group, a halogen atom such as F, Cl, Br, and I, a hydroxyl group, and the like, and from the viewpoint of solvent solubility, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms is preferable. Further, from the viewpoint of sensitivity, it is preferably unsubstituted.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、シクロペンチルメチル基、シクロペンチルエチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基などが挙げられる。これらの中でも、溶剤溶解性の観点から、イソペンチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロペンチルエチル基、又はシクロヘキシルエチル基が好ましく、シクロペンチルエチル基又はシクロヘキシルエチル基がより好ましく、シクロヘキシルエチル基がさらに好ましい。 Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a tert-butyl group, a pentyl group, an isopentyl group, a cyclopentyl group, a hexyl group, a cyclohexyl group and a cyclopentylmethyl group. Cyclopentylethyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylethyl group and the like can be mentioned. Among these, an isopentyl group, a cyclohexylmethyl group, a cyclopentylethyl group, or a cyclohexylethyl group is preferable, a cyclopentylethyl group or a cyclohexylethyl group is more preferable, and a cyclohexylethyl group is further preferable, from the viewpoint of solvent solubility.

における芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、また、12以下が好ましく、10以下がより好ましく、8以下がさらに好ましい。芳香族環基の炭素数を前記下限値以上とすることで分子が安定となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向がある。 The aromatic ring group in R 8, and an aromatic hydrocarbon ring group and aromatic heterocyclic group. The carbon number is usually 4 or more, preferably 6 or more, preferably 12 or less, more preferably 10 or less, still more preferably 8 or less. When the number of carbon atoms of the aromatic ring group is at least the above lower limit value, the molecule tends to be stable, and when it is at least the above upper limit value, the solvent solubility tends to be good.

芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環基としては、例えば、1個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。芳香族複素環基としては、例えば、1個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。
これらの中でも溶剤溶解性の観点から、1個の遊離原子価を有するベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、1個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the aromatic hydrocarbon ring group include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, and a triphenylene ring, which have one free atomic value. Examples include groups such as acenaphthene ring, fluoranthene ring, and fluorene ring.
Further, the aromatic heterocycle in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the aromatic heterocyclic group include a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrazole ring, a pyrazole ring, an imidazole ring, an oxadiazole ring, an indole ring, and a carbazole ring having one free atomic value. Ring, Pyrolobymidazole ring, Pyrrolopyrazole ring, Pyrrolopyrrole ring, Thienopyrrole ring, Thienothiophene ring, Flopyrole ring, Flofran ring, Thienofranc ring, Benzoisoxazole ring, Benzoisothiazole ring, Benzimidazole ring, Pyridine ring, Pyrazine ring, Examples thereof include pyridazine rings, pyrimidine rings, triazine rings, quinoline rings, isoquinoline rings, sinoline rings, quinoxalin rings, phenanthridin rings, benzimidazole rings, perimidine rings, quinazoline rings, quinazolinone rings, and azulene rings.
Among these, from the viewpoint of solvent solubility, a benzene ring or a naphthalene ring having one free valence is preferable, and a benzene ring having one free valence is more preferable.

芳香族環基が有していてもよい置換基としては、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子、水酸基、ニトロ基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、炭素数1〜5のアルコキシ基又は水酸基が好ましい。置換基のアルキル鎖部分は、直鎖状でも分岐状でもよく、更に、炭素数1〜3のアルコキシ基、炭素数1〜3のアルキルチオ基、ハロゲン原子、水酸基、ニトロ基などの置換基を有していてもよい。 Substituents that the aromatic ring group may have include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms, F, Cl, Br, and I. Examples thereof include a halogen atom such as, a hydroxyl group and a nitro group, and from the viewpoint of solvent solubility, an alkoxy group or a hydroxyl group having 1 to 5 carbon atoms is preferable. The alkyl chain portion of the substituent may be linear or branched, and further has a substituent such as an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 3 carbon atoms, a halogen atom, a hydroxyl group, or a nitro group. You may be doing it.

これらの中でも光吸収波長の長波長化などの観点から、Rは置換基を有していてもよい芳香族環基であることが好ましく、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環基であることがより好ましい。 From the viewpoint of long wavelength of the light absorption wavelength Among these, R 8 is preferably substituted is also an aromatic ring group, an aromatic optionally substituted hydrocarbon It is more preferably a ring group.

(p)
前記式(II)において、pは0又は1を表す。感度の観点からはpが0であることが好ましく、一方で溶剤溶解性の観点からはpが1であることが好ましい。
(P)
In the formula (II), p represents 0 or 1. From the viewpoint of sensitivity, p is preferably 0, while from the viewpoint of solvent solubility, p is preferably 1.

(R
前記式(II)において、Rは任意の1価の置換基を表す。
任意の1価の置換基としては、メチル基、エチル基等の炭素数1〜10のアルキル基;メトキシ基、エトキシ基などの炭素数1〜10のアルコキシ基;F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子;炭素数1〜10のアシル基;炭素数1〜10のアルキルエステル基;炭素数1〜10のアルコキシカルボニル基;炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基;炭素数4〜10の芳香族環基;アミノ基;炭素数1〜10のアミノアルキル基;水酸基;ニトロ基;CN基;置換基を有していてもよいベンゾイル基;置換基を有していてもよいテノイル基等が挙げられる。ベンゾイル基、または、テノイル基が有していてもよい置換基としては、炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシ基等が挙げられ、0〜3個の範囲で有してもよい。これらの中でも吸収波長の長波長化の観点から、ニトロ基、2−テノイル基が好ましく、ニトロ基がより好ましい。
において、qが2以上の場合、複数のR同士が結合して環を形成していてもよい。環は脂肪族環であっても、芳香族環であってもよい。
(R 9 )
In formula (II), R 9 represents any monovalent substituent.
As any monovalent substituent, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms such as a methyl group and an ethyl group; an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms such as a methoxy group and an ethoxy group; F, Cl, Br, I and the like. Halogen atom; acyl group having 1 to 10 carbon atoms; alkyl ester group having 1 to 10 carbon atoms; alkoxycarbonyl group having 1 to 10 carbon atoms; alkyl halide group having 1 to 10 carbon atoms; 4 to 10 carbon atoms Aromatic ring group; amino group; aminoalkyl group having 1 to 10 carbon atoms; hydroxyl group; nitro group; CN group; benzoyl group which may have a substituent; tenoyl group which may have a substituent and the like. Can be mentioned. Examples of the substituent that the benzoyl group or the tenoyl group may have include an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, and the like, and the group has 0 to 3 carbon atoms. You may. Among these, a nitro group and a 2-tenoyl group are preferable, and a nitro group is more preferable, from the viewpoint of lengthening the absorption wavelength.
In R 9, when q is 2 or more, may form a ring by combining a plurality of R 9 together. The ring may be an aliphatic ring or an aromatic ring.

(q)
前記式(II)において、qは0〜3の整数を表す。ラジカル生成効率の観点から、0又は1であることが好ましく、1であることがより好ましい。
(Q)
In the formula (II), q represents an integer of 0 to 3. From the viewpoint of radical generation efficiency, it is preferably 0 or 1, and more preferably 1.

(X)
前記式(II)において、Xは−N(R10)−又は−C(R11)(R12)−を表す。これらの中でも、感度の観点からは−N(R10)−が好ましい。
(X)
In the formula (II), X represents −N (R 10 ) − or −C (R 11 ) (R 12 ) −. Among these, −N (R 10 ) − is preferable from the viewpoint of sensitivity.

(R10〜R12
前記式(II)において、R10〜R12は各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
(R 10 to R 12 )
In the formula (II), R 10 to R 12 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent, or an aromatic ring group which may have a substituent.

10〜R12におけるアルキル基は、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよいが、感度の観点から直鎖状又は分岐状が好ましく、直鎖状がより好ましい。
アルキル基の炭素数は特に限定されないが、通常1以上、好ましくは2以上、より好ましくは3以上、さらに好ましくは4以上、特に好ましくは5以上、また、好ましくは10以下、より好ましくは8以下、さらに好ましくは6以下、特に好ましくは4以下である。アルキル基の炭素数を前記下限値以上とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、2−エチルヘキシル基などが挙げられる。これらの中でも、感度と溶剤溶解性のバランスの観点から、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、又はブチル基が好ましく、エチル基又はプロピル基がより好ましく、エチル基がさらに好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、炭素数6〜10の芳香族環基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子、水酸基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、炭素数1〜3のアルコキシ基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。
The alkyl groups in R 10 to R 12 may be linear, branched, cyclic, or bonded thereof, but from the viewpoint of sensitivity, linear or branched is preferable, and linear is preferable. Is more preferable.
The number of carbon atoms of the alkyl group is not particularly limited, but is usually 1 or more, preferably 2 or more, more preferably 3 or more, still more preferably 4 or more, particularly preferably 5 or more, and preferably 10 or less, more preferably 8 or less. , More preferably 6 or less, and particularly preferably 4 or less. When the number of carbon atoms of the alkyl group is at least the above lower limit value, the solvent solubility tends to be good, and when it is at least the above upper limit value, the sensitivity tends to be high.
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a tert-butyl group, a pentyl group, an isopentyl group, a cyclopentyl group, a hexyl group, a cyclohexyl group and a 2-ethylhexyl group. And so on. Among these, from the viewpoint of the balance between sensitivity and solvent solubility, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, or a butyl group is preferable, an ethyl group or a propyl group is more preferable, and an ethyl group is further preferable.
Substituents that the alkyl group may have include an aromatic ring group having 6 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms, F, Cl, Br, and I. Examples thereof include halogen atoms and hydroxyl groups such as, and from the viewpoint of solvent solubility, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms is preferable. Further, from the viewpoint of sensitivity, it is preferably unsubstituted.

10〜R12における芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、また、12以下が好ましく、10以下がより好ましく、8以下がさらに好ましい。芳香族環基の炭素数を前記下限値以上とすることで分子が安定となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで溶剤溶解性が良好となる傾向がある。 Examples of the aromatic ring group in R 10 to R 12 include an aromatic hydrocarbon ring group and an aromatic heterocyclic group. The carbon number is usually 4 or more, preferably 6 or more, preferably 12 or less, more preferably 10 or less, still more preferably 8 or less. When the number of carbon atoms of the aromatic ring group is at least the above lower limit value, the molecule tends to be stable, and when it is at least the above upper limit value, the solvent solubility tends to be good.

芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環基としては、例えば、1個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。芳香族複素環基としては、例えば、1個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも溶剤溶解性の観点から、1個の遊離原子価を有するベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、1個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the aromatic hydrocarbon ring group include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, and a triphenylene ring, which have one free atomic value. Examples include groups such as acenaphthene ring, fluoranthene ring, and fluorene ring.
Further, the aromatic heterocycle in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the aromatic heterocyclic group include a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrazole ring, a pyrazole ring, an imidazole ring, an oxadiazole ring, an indole ring, and a carbazole ring having one free atomic value. Ring, Pyrolobymidazole ring, Pyrrolopyrazole ring, Pyrrolopyrrole ring, Thienopyrrole ring, Thienothiophene ring, Flopyrole ring, Flofran ring, Thienofranc ring, Benzoisoxazole ring, Benzoisothiazole ring, Benzimidazole ring, Pyridine ring, Pyrazine ring, Examples thereof include pyridazine rings, pyrimidine rings, triazine rings, quinoline rings, isoquinoline rings, sinoline rings, quinoxalin rings, phenanthridin rings, benzimidazole rings, perimidine rings, quinazoline rings, quinazolinone rings, and azulene rings. Among these, from the viewpoint of solvent solubility, a benzene ring or a naphthalene ring having one free valence is preferable, and a benzene ring having one free valence is more preferable.

芳香族環基が有していてもよい置換基としては、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、F、Cl、Br、Iなどのハロゲン原子、水酸基、ニトロ基などが挙げられ、溶剤溶解性の観点から、炭素数1〜3のアルコキシ基又は水酸基が好ましい。また、感度の観点からは、無置換であることが好ましい。 Substituents that the aromatic ring group may have include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms, F, Cl, Br, and I. Examples thereof include a halogen atom such as, a hydroxyl group and a nitro group, and from the viewpoint of solvent solubility, an alkoxy group or a hydroxyl group having 1 to 3 carbon atoms is preferable. Further, from the viewpoint of sensitivity, it is preferably unsubstituted.

また、R11とR12は相互に結合して環を形成していてもよく、該環は脂肪族環でもよく芳香族環でもよい。 Further, R 11 and R 12 may be coupled to each other to form a ring, and the ring may be an aliphatic ring or an aromatic ring.

これらの中でも感度の観点から、R10〜R12は各々独立に、置換基を有していてもよいアルキル基であることが好ましく、無置換のアルキル基であることがより好ましく、R10はメチル基又はエチル基であることが、R11及びR12はブチル基であることがさらに好ましい。 Among these, from the viewpoint of sensitivity, each of R 10 to R 12 is preferably an alkyl group which may independently have a substituent, more preferably an unsubstituted alkyl group, and R 10 is It is more preferably a methyl group or an ethyl group, and it is more preferable that R 11 and R 12 are butyl groups.

また、光重合開始剤(c2)の市販品としては、BASF社製のOXE−02、常州強力電子新材料社製のTR−PBG−304、TR−PBG−314、TR−PBG−358などが挙げられる。また、日本国特許第4223071号公報に記載のもの、国際公開第2016/010036号に記載のもの、日本国特許第5682094号公報に記載のものを用いることもできる。 Commercially available products of the photopolymerization initiator (c2) include OXE-02 manufactured by BASF, TR-PBG-304, TR-PBG-314, and TR-PBG-358 manufactured by Changzhou Powerful Electronics New Materials Co., Ltd. Can be mentioned. Further, those described in Japanese Patent No. 4223071, those described in International Publication No. 2016/010036, and those described in Japanese Patent No. 5682094 can also be used.

光重合開始剤(c2)の具体例としては、例えば、以下のものが挙げられる。なお、式中、nBuはノルマルブチル基を表す。 Specific examples of the photopolymerization initiator (c2) include the following. In the formula, nBu represents a normal butyl group.

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(c)光重合開始剤は、前記光重合開始剤(c1)及び前記光重合開始剤(c2)以外の、その他の光重合開始剤をさらに含んでいてもよい。
その他の光重合開始剤としては、例えば、日本国特開昭59−152396号公報、日本国特開昭61−151197号各公報に記載のチタノセン化合物を含むメタロセン化合物;日本国特開2000−56118号公報に記載のヘキサアリールビイミダゾール誘導体;日本国特開平10−39503号公報記載のハロメチル化オキサジアゾール誘導体、ハロメチル−s−トリアジン誘導体、N−フェニルグリシン等のN−アリール−α−アミノ酸類、N−アリール−α−アミノ酸塩類、N−アリール−α−アミノ酸エステル類等のラジカル活性剤、α−アミノアルキルフェノン誘導体;日本国特開2000−80068号公報、日本国特開2006−36750号公報等に記載されているオキシムエステル誘導体等が挙げられる。
(C) The photopolymerization initiator may further contain other photopolymerization initiators other than the photopolymerization initiator (c1) and the photopolymerization initiator (c2).
Examples of other photopolymerization initiators include metallocene compounds containing the titanosen compounds described in JP-A-59-152396 and JP-A-61-151197 of Japan; Japanese Patent Laid-Open No. 2000-56118. Hexaaryl-biimidazole derivative described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-39503; N-aryl-α-amino acids such as halomethylated oxadiazole derivative, halomethyl-s-triazine derivative, N-phenylglycine and the like described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-39503. , N-aryl-α-amino acid salts, radical activators such as N-aryl-α-amino acid esters, α-aminoalkylphenone derivatives; Examples thereof include oxime ester derivatives described in Japanese publications.

具体的には、例えば、チタノセン誘導体類としては、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロライド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ(2,6−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ(2,4−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,6−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウム〔2,6−ジ−フルオロ−3−(ピロ−1−イル)−フェニ−1−イル〕等が挙げられる。 Specifically, for example, as titanosen derivatives, dicyclopentadienyl titanium dichloride, dicyclopentadienyl titanium bisphenyl, dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluoro) Pheni-1-yl), Dicyclopentadienyl Titanium Bis (2,3,5,6-Tetrafluoropheni-1-yl), Dicyclopentadienyl Titanium Bis (2,4,6-Trifluorophenyl) 1-yl), Dicyclopentadienyl Titanium Di (2,6-difluoropheni-1-yl), Dicyclopentadienyl Titanium Di (2,4-difluoropheni-1-yl), Di (Methylcyclopenta) Dienyl) Titanium Bis (2,3,4,5,6-pentafluoropheni-1-yl), Di (Methylcyclopentadienyl) Titanium Bis (2,6-difluoropheni-1-yl), Dicyclo Examples thereof include pentadienyl titanium [2,6-di-fluoro-3- (pyro-1-yl) -pheni-1-yl].

また、ビイミダゾール誘導体類としては、2−(2’−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(2’−クロロフェニル)−4,5−ビス(3’−メトキシフェニル)イミダゾール2量体、2−(2’−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(2’−メトキシフエニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、(4’−メトキシフエニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体等が挙げられる。 Examples of the biimidazole derivatives include 2- (2'-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer and 2- (2'-chlorophenyl) -4,5-bis (3'-methoxyphenyl) imidazole. Dimeric, 2- (2'-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (2'-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, (4'-methoxy) Phenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer and the like can be mentioned.

また、ハロメチル化オキサジアゾール誘導体類としては、2−トリクロロメチル−5−(2’−ベンゾフリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−〔β−(2’−ベンゾフリル)ビニル〕−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−〔β−(2’−(6”−ベンゾフリル)ビニル)〕−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−フリル−1,3,4−オキサジアゾール等が挙げられる。 Examples of the halomethylated oxadiazole derivatives include 2-trichloromethyl-5- (2'-benzofuryl) -1,3,4-oxadiazole and 2-trichloromethyl-5-[β- (2'-). Benzofuryl) vinyl] -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-[β- (2'-(6 "-benzofuryl) vinyl)]-1,3,4-oxadiazole, 2 -Trichloromethyl-5-furyl-1,3,4-oxadiazole and the like can be mentioned.

また、ハロメチル−s−トリアジン誘導体類としては、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシカルボニルナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。 Examples of halomethyl-s-triazine derivatives include 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine and 2- (4-methoxynaphthyl) -4,6-bis ( Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxycarbonylnaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-Triazine and the like can be mentioned.

また、α−アミノアルキルフェノン誘導体類としては、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、4−ジメチルアミノエチルベンゾエ−ト、4−ジメチルアミノイソアミルベンゾエ−ト、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、2−エチルヘキシル−1,4−ジメチルアミノベンゾエート、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等が挙げられる。 Examples of α-aminoalkylphenone derivatives include 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4). -Morphorinophenyl) -butanone-1, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butane-1-one, 4-dimethylaminoethylbenzoate, 4-dimethylaminoisoamylbenzo Aet, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, 2-ethylhexyl-1,4-dimethylaminobenzoate, 2,5-bis (4-diethylaminobenzal) cyclohexanone, 7-diethylamino-3- ( Examples thereof include 4-diethylaminobenzoyl) coumarin and 4- (diethylamino) chalcone.

オキシムエステル誘導体としては、日本国特表2004−534797号公報、日本国特開2000−80068号公報、日本国特開2006−36750号公報、日本国特開2008−179611号公報、日本国特表2012−526185号公報、日本国特表2012−519191号公報等に記載されているオキシムエステル化合物が挙げられる。中でも感度の観点から4−アセトキシイミノ−5−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−5−オキソペンタン酸メチルが、また製品名として、OXE−01(BASF社製)、TR−PBG−305(常州強力社製)、NCI−930(ADEKA社製)等を好ましいものとして挙げることができる。
上記その他の光重合開始剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Examples of the oxime ester derivative include Japanese Patent Laid-Open No. 2004-534797, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-80068, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-36750, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-179611, and Japanese Patent Laid-Open No. 2004-179611. Examples thereof include oxime ester compounds described in Japanese Patent Publication No. 2012-526185, Japanese Patent Laid-Open No. 2012-591191 and the like. Among them, from the viewpoint of sensitivity, 4-acetoxyimino-5- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl] -5-methyloxopentanoate is also used as a product name, OXE-. 01 (manufactured by BASF), TR-PBG-305 (manufactured by Changzhou Power Co., Ltd.), NCI-930 (manufactured by ADEKA) and the like can be mentioned as preferable ones.
The above-mentioned other photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

<増感色素>
光重合開始剤には、必要に応じて、感応感度を高める目的で、画像露光光源の波長に応じた増感色素を併用させることができる。これら増感色素としては、日本国特開平4−221958号公報、日本国特開平4−219756号公報等に記載のキサンテン色素、日本国特開平3−239703号公報、日本国特開平5−289335号公報等に記載の複素環を有するクマリン色素、日本国特開平3−239703号公報、日本国特開平5−289335号公報等に記載の3−ケトクマリン化合物、日本国特開平6−19240号公報に記載のピロメテン色素、その他、日本国特開昭47−2528号公報、日本国特開昭54−155292号公報、日本国特公昭45−37377号公報、日本国特開昭48−84183号公報、日本国特開昭52−112681号公報、日本国特開昭58−15503号公報、日本国特開昭60−88005号公報、日本国特開昭59−56403号公報、日本国特開平2−69号公報、日本国特開昭57−168088号公報、日本国特開平5−107761号公報、日本国特開平5−210240号公報、日本国特開平4−288818号公報等に記載のジアルキルアミノベンゼン骨格を有する色素等を挙げることができる。
<Sensitizer>
If necessary, the photopolymerization initiator may be used in combination with a sensitizing dye according to the wavelength of the image exposure light source for the purpose of increasing the sensitivity. Examples of these sensitizing dyes include xanthene dyes described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-221958, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-219756, Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-239703, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-289335. A coumarin dye having a heterocycle described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-239703, a 3-ketocoumarin compound described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-289335, etc., Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-19240. Japanese Patent Application Laid-Open No. 47-2528, Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-155292, Japanese Patent Application Laid-Open No. 45-373777, Japanese Patent Application Laid-Open No. 48-84183. , Japanese Patent Application Laid-Open No. 52-112681, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-15503, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-88805, Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-56403, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2 The dialkyl described in Japanese Patent Application Laid-Open No. -69, Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-168888, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-107761, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-210240, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-288818, etc. Examples thereof include dyes having an aminobenzene skeleton.

これらの増感色素のうち好ましいものは、アミノ基含有増感色素であり、更に好ましいものは、アミノ基及びフェニル基を同一分子内に有する化合物である。特に、好ましいものは、例えば、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン、2−アミノベンゾフェノン、4−アミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,4−ジアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物;2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾオキサゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンゾオキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾ[4,5]ベンゾオキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾ[6,7]ベンゾオキサゾール、2,5−ビス(p−ジエチルアミノフェニル)1,3,4−オキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾチアゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンゾチアゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンズイミダゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンズイミダゾール、2,5−ビス(p−ジエチルアミノフェニル)1,3,4−チアジアゾール、(p−ジメチルアミノフェニル)ピリジン、(p−ジエチルアミノフェニル)ピリジン、(p−ジメチルアミノフェニル)キノリン、(p−ジエチルアミノフェニル)キノリン、(p−ジメチルアミノフェニル)ピリミジン、(p−ジエチルアミノフェニル)ピリミジン等のp−ジアルキルアミノフェニル基含有化合物等である。
このうち最も好ましいものは、4,4’−ジアルキルアミノベンゾフェノンである。
増感色素もまた1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Of these sensitizing dyes, preferred are amino group-containing sensitizing dyes, and more preferred are compounds having an amino group and a phenyl group in the same molecule. Particularly preferred are, for example, 4,4'-dimethylaminobenzophenone, 4,4'-diethylaminobenzophenone, 2-aminobenzophenone, 4-aminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminobenzophenone. , 3,4-Diaminobenzophenone and other benzophenone compounds; 2- (p-dimethylaminophenyl) benzoxazole, 2- (p-diethylaminophenyl) benzoxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzo [4,5 ] Benzoxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzo [6,7] benzoxazole, 2,5-bis (p-diethylaminophenyl) 1,3,4-oxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) Benzothiazole, 2- (p-diethylaminophenyl) benzothiazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzimidazole, 2- (p-diethylaminophenyl) benzimidazole, 2,5-bis (p-diethylaminophenyl) 1, 3,4-Thiadiazol, (p-dimethylaminophenyl) pyridine, (p-diethylaminophenyl) pyridine, (p-dimethylaminophenyl) quinoline, (p-diethylaminophenyl) quinoline, (p-dimethylaminophenyl) pyrimidine, ( It is a p-dialkylaminophenyl group-containing compound such as p-diethylaminophenyl) pyrimidine.
The most preferable of these is 4,4'-dialkylaminobenzophenone.
The sensitizing dye may also be used alone or in combination of two or more.

(c)光重合開始剤の含有割合は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.1質量%以上、好ましくは1質量%以上、より好ましくは2質量%以上、さらに好ましくは3質量%以上、特に好ましくは4質量%以上であり、通常30質量%以下、好ましくは20質量%以下、より好ましくは15質量%以下、さらに好ましくは10質量%以下、よりさらに好ましくは8質量%以下、特に好ましくは6質量%以下である。(c)光重合開始剤の含有割合を前記下限値以上とすることで酸素阻害の影響を抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで基板密着性が良好となる傾向がある。 (C) The content ratio of the photopolymerization initiator is usually 0.1% by mass or more, preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, based on the total solid content of the photosensitive resin composition of the present invention. More preferably 3% by mass or more, particularly preferably 4% by mass or more, usually 30% by mass or less, preferably 20% by mass or less, more preferably 15% by mass or less, still more preferably 10% by mass or less, still more. It is preferably 8% by mass or less, and particularly preferably 6% by mass or less. (C) The effect of oxygen inhibition tends to be suppressed by setting the content ratio of the photopolymerization initiator to be equal to or higher than the lower limit value, and the substrate adhesion tends to be improved by setting the content ratio to be lower than the upper limit value. ..

(c)光重合開始剤における光重合開始剤(c1)の含有割合は特に限定されないが、0.1質量%以上が好ましく、1質量%以上がより好ましく、10質量%以上がさらに好ましく、20質量%以上がよりさらに好ましく、30質量%以上が特に好ましく、40質量%以上が最も好ましく、また、99.9質量%以下が好ましく、99質量%以下がより好ましく、90質量%以下がさらに好ましく、60質量%以下が最も好ましい。光重合開始剤(c1)の含有割合を前記下限値以上とすることで内部硬化性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでパターンのトップ部分の硬化性が良好となる傾向がある。 (C) The content ratio of the photopolymerization initiator (c1) in the photopolymerization initiator is not particularly limited, but is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, still more preferably 10% by mass or more, 20. More preferably, it is more preferably mass% or more, particularly preferably 30% by mass or more, most preferably 40% by mass or more, and further preferably 99.9% by mass or less, more preferably 99% by mass or less, still more preferably 90% by mass or less. , 60% by mass or less is most preferable. When the content ratio of the photopolymerization initiator (c1) is at least the above lower limit value, the internal curability tends to be good, and when it is at least the above upper limit value, the curability of the top portion of the pattern is good. Tends to be.

(c)光重合開始剤における光重合開始剤(c2)の含有割合は特に限定されないが、0.1質量%以上が好ましく、1質量%以上がより好ましく、10質量%以上がさらに好ましく、40質量%以上が最も好ましく、また、99.9質量%以下が好ましく、99質量%以下がより好ましく、90質量%以下がさらに好ましく、80質量%以下がよりさらに好ましく、60質量%以下が特に好ましい。光重合開始剤(c2)の含有割合を前記下限値以上とすることでパターンのトップ部分の硬化性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで内部硬化性が良好となる傾向がある。 (C) The content ratio of the photopolymerization initiator (c2) in the photopolymerization initiator is not particularly limited, but is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, still more preferably 10% by mass or more, and 40. The mass% or more is the most preferable, and 99.9% by mass or less is preferable, 99% by mass or less is more preferable, 90% by mass or less is further preferable, 80% by mass or less is further preferable, and 60% by mass or less is particularly preferable. .. When the content ratio of the photopolymerization initiator (c2) is at least the above lower limit value, the curability of the top portion of the pattern tends to be good, and when it is at least the above upper limit value, the internal curability is good. Tends to be.

<(a)アルカリ可溶性樹脂>
本発明の感光性樹脂組成物は(a)アルカリ可溶性樹脂を含む。(a)アルカリ可溶性樹脂は、感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して得られる塗膜を露光後、露光部と非露光部のアルカリ現像液に対する溶解性が変化するようなものであれば特に限定されないが、水酸基、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基などの酸性の官能基を有するアルカリ可溶性樹脂が好ましく、カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂がより好ましい。また、硬化性の観点からエチレン性不飽和基を有するものが好ましく、硬化性と現像性の観点からエチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂がより好ましい。具体的には、カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂やアクリル共重合樹脂が挙げられ、好ましいものとしてより具体的には、後述の(A1−1)、(A1−2)、(A2−1)、(A2−2)、(A2−3)及び(A2−4)として記載のものが挙げられ、これらは1種を用いても2種以上を用いてもよい。上記の中でも、カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1)、(A1−2)が特に望ましい。
<(A) Alkali-soluble resin>
The photosensitive resin composition of the present invention contains (a) an alkali-soluble resin. (A) The alkali-soluble resin is particularly such that the solubility of the exposed portion and the non-exposed portion in the alkali developing solution changes after the coating film obtained by applying and drying the photosensitive resin composition is exposed. Although not limited, an alkali-soluble resin having an acidic functional group such as a hydroxyl group, a carboxyl group, a phosphoric acid group, or a sulfonic acid group is preferable, and an alkali-soluble resin having a carboxyl group is more preferable. Further, those having an ethylenically unsaturated group are preferable from the viewpoint of curability, and an alkali-soluble resin having an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group is more preferable from the viewpoint of curability and developability. Specific examples thereof include an epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group and an acrylic copolymer resin, and more specific examples thereof are (A1-1), (A1-2) and (A2-) described later. 1), (A2-2), (A2-3) and (A2-4) are mentioned, and these may use one kind or two or more kinds. Among the above, epoxy (meth) acrylate resins (A1-1) and (A1-2) having a carboxyl group are particularly desirable.

カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、エポキシ樹脂とα,β−不飽和モノカルボン酸及び/又はエステル部分にカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物の、反応で生成した水酸基に更に多塩基酸、及び/又はその無水物を反応させて得られる樹脂である。また、多塩基酸及び/又はその無水物を水酸基と反応させる前に、該水酸基と反応し得る置換基を2個以上有する化合物を反応させた後、多塩基酸、及び/又はその無水物を反応させて得られる樹脂も、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂に含まれる。さらに上記反応で得られた樹脂のカルボキシル基に、更に反応し得る官能基を有する化合物を反応させて得られる樹脂も、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂に含まれる。
このように、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は化学構造上、実質的にエポキシ基を有さず、かつ「(メタ)アクリレート」に限定されるものではないが、エポキシ樹脂が原料であり、かつ、「(メタ)アクリレート」が代表例であるので慣用に従いこのように命名されている。
The epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group is a reaction product of the epoxy resin and an α, β-unsaturated monocarboxylic acid and / or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group in the ester moiety. It is a resin obtained by further reacting a hydroxyl group generated in the reaction with a polybasic acid and / or an anhydride thereof. Further, before reacting the polybasic acid and / or its anhydride with a hydroxyl group, a compound having two or more substituents capable of reacting with the hydroxyl group is reacted, and then the polybasic acid and / or its anhydride is added. The resin obtained by the reaction is also included in the epoxy (meth) acrylate resin. Further, a resin obtained by reacting the carboxyl group of the resin obtained by the above reaction with a compound having a functional group capable of further reacting is also included in the epoxy (meth) acrylate resin.
As described above, the epoxy (meth) acrylate resin has substantially no epoxy group due to its chemical structure and is not limited to "(meth) acrylate", but the epoxy resin is a raw material and is not limited to "(meth) acrylate". Since "(meth) acrylate" is a typical example, it is named in this way according to the convention.

カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂としては、例えば、以下のエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1)及び/又はエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−2)が挙げられる。 Examples of the epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group include the following epoxy (meth) acrylate resin (A1-1) and / or epoxy (meth) acrylate resin (A1-2).

<エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1)>
エポキシ樹脂にα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多塩基酸及び/又はその無水物を反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
<エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−2)>
エポキシ樹脂にα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多価アルコール、及び多塩基酸及び/又はその無水物と反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
<Epoxy (meth) acrylate resin (A1-1)>
It was obtained by adding an α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group to an epoxy resin, and further reacting with a polybasic acid and / or its anhydride. Alkaline-soluble resin.
<Epoxy (meth) acrylate resin (A1-2)>
An α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group is added to the epoxy resin, and further reacted with a polyhydric alcohol and a polybasic acid and / or its anhydride. The alkali-soluble resin obtained by this.

<エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1)>
原料となるエポキシ樹脂とは、熱硬化により樹脂を形成する以前の原料化合物をも含めて言うこととし、そのエポキシ樹脂としては、公知のエポキシ樹脂の中から適宜選択して用いることができる。また、エポキシ樹脂は、フェノール性化合物とエピハロヒドリンとを反応させて得られる化合物を用いることができる。フェノール性化合物としては、2価以上のフェノール性水酸基を有する化合物が好ましく、単量体でも重合体でもよい。
エポキシ樹脂の種類としては、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレンノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンとフェノールまたはクレゾールとの重付加反応物とエピハロヒドリンとの反応生成物であるエポキシ樹脂、アダマンチル基含有エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂等を好適に用いることができ、このように主鎖に芳香族環を有するものを好適に用いることができる。
エポキシ樹脂の具体例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(例えば、三菱ケミカル社製の「jER(登録商標。以下同じ。)828」、「jER1001」、「jER1002」、「jER1004」等)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ(例えば、日本化薬社製の「NER−1302」(エポキシ当量323,軟化点76℃))、ビスフェノールF型樹脂(例えば、三菱ケミカル社製の「jER807」、「EP−4001」、「EP−4002」、「EP−4004」等)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ樹脂(例えば、日本化薬社製の「NER−7406」(エポキシ当量350,軟化点66℃))、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニルグリシジルエーテル(例えば、三菱ケミカル社製の「YX−4000」)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(例えば、日本化薬社製の「EPPN−201」、三菱ケミカル社製の「EP−152」、「EP−154」、ダウケミカル社製の「DEN−438」)、(o,m,p−)クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(例えば、日本化薬社製の「EOCN(登録商標。以下同じ。)−102S」、「EOCN−1020」、「EOCN−104S」)、トリグリシジルイソシアヌレート(例えば、日産化学社製の「TEPIC(登録商標)」)、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂(例えば、日本化薬社製の「EPPN(登録商標。以下同じ。)−501」、「EPPN−502」、「EPPN−503」)、脂環式エポキシ樹脂(ダイセル社製の「セロキサイド(登録商標。以下同じ。)2021P」、「セロキサイドEHPE」)、ジシクロペンタジエンとフェノールの反応によるフェノール樹脂をグリシジル化したエポキシ樹脂(例えば、DIC社製の「EXA−7200」、日本化薬社製の「NC−7300」)、下記一般式(a1)〜(a5)で表されるエポキシ樹脂、等を好適に用いることができる。具体的には、下記一般式(a1)で表されるエポキシ樹脂として日本化薬社製の「XD−1000」、下記一般式(a2)で表されるエポキシ樹脂として日本化薬社製の「NC−3000」、下記一般式(a4)で表されるエポキシ樹脂として新日鐵住金化学社製の「ESF−300」等が挙げられる。
<Epoxy (meth) acrylate resin (A1-1)>
The epoxy resin as a raw material includes a raw material compound before forming the resin by thermosetting, and the epoxy resin can be appropriately selected from known epoxy resins and used. Further, as the epoxy resin, a compound obtained by reacting a phenolic compound with epihalohydrin can be used. The phenolic compound is preferably a compound having a divalent or higher phenolic hydroxyl group, and may be a monomer or a polymer.
The types of epoxy resin include cresol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, trisphenol methane type epoxy resin, biphenyl novolac type epoxy resin, naphthalene novolac type epoxy resin, and so on. An epoxy resin, an adamantyl group-containing epoxy resin, a fluorene-type epoxy resin, or the like, which is a reaction product of a polyaddition reaction product of dicyclopentadiene with phenol or cresol and epihalohydrin, can be preferably used. Those having an aromatic ring can be preferably used.
Specific examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin (for example, "jER (registered trademark; the same applies hereinafter) 828", "jER1001", "jER1002", "jER1004", etc.) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, bisphenol A. Epoxy obtained by the reaction of the alcoholic hydroxyl group of the type epoxy resin with epichlorohydrin (for example, "NER-1302" (epoxy equivalent 323, softening point 76 ° C.) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), bisphenol F type resin (for example, Mitsubishi Chemical) "JER807", "EP-4001", "EP-4002", "EP-4004", etc. manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), an epoxy resin obtained by the reaction of an alcoholic hydroxyl group of a bisphenol F type epoxy resin with epichlorohydrin (for example, Japan "NER-7406" manufactured by Yakusha (epoxy equivalent 350, softening point 66 ° C), bisphenol S type epoxy resin, biphenyl glycidyl ether (for example, "YX-4000" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), phenol novolac type epoxy resin (For example, "EPPN-201" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., "EP-152", "EP-154" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, "DEN-438" manufactured by Dow Chemical Corporation), (o, m, p. -) Cresol novolak type epoxy resin (for example, "EOCN (registered trademark. The same shall apply hereinafter) -102S", "EOCN-1020", "EOCN-1020") manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., triglycidyl isocyanurate (for example, "TEPIC (registered trademark)" manufactured by Nissan Chemical Corporation), Trisphenol methane type epoxy resin (for example, "EPPN (registered trademark; the same applies hereinafter) -501", "EPPN-502", "EPPN-502" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. EPPN-503 "), alicyclic epoxy resin ("Seroxide (registered trademark; the same shall apply hereinafter) 2021P "manufactured by Daicel Co., Ltd." A resin (for example, "EXA-7200" manufactured by DIC, "NC-7300" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), an epoxy resin represented by the following general formulas (a1) to (a5), and the like are preferably used. Can be done. Specifically, "XD-1000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. is used as the epoxy resin represented by the following general formula (a1), and "XD-1000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. is used as the epoxy resin represented by the following general formula (a2). Examples of the epoxy resin represented by the following general formula (a4) include "NC-3000" and "ESF-300" manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation.

Figure 0006977662
Figure 0006977662

上記一般式(a1)において、b11は平均値を示し0〜10の数を示す。R11は水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、フェニル基、ナフチル基、又はビフェニル基を表す。なお、1分子中に存在する複数のR11は互いに同一であっても異なっていてもよい。 In the above general formula (a1), b11 indicates an average value and indicates a number of 0 to 10. R 11 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a phenyl group, a naphthyl group, or a biphenyl group. The plurality of R 11s existing in one molecule may be the same or different from each other.

Figure 0006977662
Figure 0006977662

上記一般式(a2)において、b12は平均値を示し0〜10の数を示す。R21は水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、フェニル基、ナフチル基、又はビフェニル基を表す。なお、1分子中に存在する複数のR21は互いに同一であっても異なっていてもよい。 In the above general formula (a2), b12 indicates an average value and indicates a number of 0 to 10. R 21 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a phenyl group, a naphthyl group, or a biphenyl group. The plurality of R 21s existing in one molecule may be the same or different from each other.

Figure 0006977662
Figure 0006977662

上記一般式(a3)において、Xは下記一般式(a3−1)又は(a3−2)で表される連結基を示す。但し、分子構造中に1つ以上のアダマンタン構造を含む。b13は2又は3の整数を示す。 In the above general formula (a3), X represents a linking group represented by the following general formula (a3-1) or (a3-2). However, the molecular structure contains one or more adamantane structures. b13 indicates an integer of 2 or 3.

Figure 0006977662
Figure 0006977662

上記一般式(a3−1)及び(a3−2)において、R31〜R34及びR35〜R37は、各々独立に、置換基を有していてもよいアダマンチル基、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1〜12のアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基を示す。また、式中の*印は(a3)中の結合部位を表す。 In the above general formulas (a3-1) and (a3-2), R 31 to R 34 and R 35 to R 37 each independently have an adamantyl group, a hydrogen atom, and a substituent which may have a substituent. Indicates an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms which may have a substituent, or a phenyl group which may have a substituent. Further, the * mark in the formula represents the binding site in (a3).

Figure 0006977662
Figure 0006977662

上記一般式(a4)において、p及びqはそれぞれ独立に0〜4の整数を表し、R41及びR42は各々独立に炭素数1〜20のアルキル基又はハロゲン原子を表す。R43及びR44は各々独立に炭素数1〜5のアルキレン基を表す。x及びyはそれぞれ独立して0以上の整数を表す。 In the above general formula (a4), p and q each independently represent an integer of 0 to 4, and R 41 and R 42 each independently represent an alkyl group or a halogen atom having 1 to 20 carbon atoms. R 43 and R 44 each independently represent an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms. x and y each independently represent an integer of 0 or more.

Figure 0006977662
Figure 0006977662

上記一般式(a5)において、R51〜R54は各々独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素原子6〜20のアリール基、又は、炭素原子7〜20のアラルキル基、であり、R55は炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、又は炭素数7〜20のアラルキル基であり、R56は各々独立に炭素数1〜5のアルキレン基である。kは1〜5の整数であり、lは0〜13の整数であり、mは各々独立に0〜5の整数である。
これらの中で、一般式(a1)〜(a5)のいずれかで表されるエポキシ樹脂を用いるのが好ましい。
In the above general formula (a5), R 51 to R 54 are independently hydrogen atoms, alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, aryl groups having 6 to 20 carbon atoms, or aralkyl groups having 7 to 20 carbon atoms. R 55 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, or an aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms, and R 56 is an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms independently. Is. k is an integer of 1 to 5, l is an integer of 0 to 13, and m is an integer of 0 to 5 independently.
Among these, it is preferable to use the epoxy resin represented by any of the general formulas (a1) to (a5).

α,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとしては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、o−、m−、p−ビニル安息香酸、(メタ)アクリル酸のα位ハロアルキル、アルコキシル、ハロゲン、ニトロ、シアノ置換体などのモノカルボン酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルアジピン酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルマレイン酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルコハク酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルアジピン酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルテトラヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルマレイン酸、2−(メタ)アクリロイロキシブチルコハク酸、2−(メタ)アクリロイロキシブチルアジピン酸、2−(メタ)アクリロイロキシブチルヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシブチルフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシブチルマレイン酸、
(メタ)アクリル酸エステルとしては、(メタ)アクリル酸にε−カプロラクトン、β−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトン類を付加させ末端に1個の水酸基を有する単量体や、
或いはヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートのような末端に1個の水酸基を有する単量体や、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートのような末端に1個の水酸基を有する化合物に、(無水)コハク酸、(無水)フタル酸、(無水)マレイン酸などの酸(無水物)を付加させ、1個以上のエチレン不飽和基と末端に1個のカルボキシル基を有する(メタ)アクリル酸エステルなどが挙げられる。また、(メタ)アクリル酸ダイマーなども挙げられる。
Examples of the α, β-unsaturated monocarboxylic acid or the α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group include (meth) acrylic acid, crotonic acid, o-, m-, p-vinyl benzoic acid, and (meth). ) Monocarboxylic acids such as α-position haloalkyl, alkoxyl, halogen, nitro, cyano-substituted acrylic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl succinic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl adipic acid, 2- ( Meta) acryloyloxyethyl phthalic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl maleic acid, 2- (meth) acryloyloxypropyl succinic acid, 2- ( Meta) acryloyloxypropyl adipic acid, 2- (meth) acryloyloxypropyltetrahydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyloxypropylphthalic acid, 2- (meth) acryloyloxypropylmaleic acid, 2- (meth) ) Acryloyloxybutyl succinic acid, 2- (meth) acryloyloxybutyl adipic acid, 2- (meth) acryloyloxybutylhydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyloxybutylphthalic acid, 2- (meth) Acryloyloxybutylmaleic acid,
The (meth) acrylic acid ester is a single amount having one hydroxyl group at the end by adding lactones such as ε-caprolactone, β-propiolactone, γ-butyrolactone, and δ-valerolactone to (meth) acrylic acid. Body and
Alternatively, a monomer having one hydroxyl group at the terminal such as hydroxyalkyl (meth) acrylate, or a compound having one hydroxyl group at the terminal such as pentaerythritol tri (meth) acrylate, and (maleic) succinic acid, Examples thereof include (meth) acrylic acid esters having one or more ethylene unsaturated groups and one carboxyl group at the end by adding an acid (anhydride) such as (anhydrous) phthalic acid and (maleic anhydride) maleic acid. .. In addition, (meth) acrylic acid dimer and the like can also be mentioned.

これらの内、感度の点から、特に好ましいものは(メタ)アクリル酸である。
エポキシ樹脂にα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させる方法としては、公知の手法を用いることができる。例えば、エステル化触媒の存在下、50〜150℃の温度で、α,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとエポキシ樹脂とを反応させることができる。ここで用いるエステル化触媒としては、トリエチルアミン、トリメチルアミン、ベンジルジメチルアミン、ベンジルジエチルアミン等の三級アミン、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド等の四級アンモニウム塩等を用いることができる。
Of these, (meth) acrylic acid is particularly preferable from the viewpoint of sensitivity.
A known method can be used as a method for adding an α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group to the epoxy resin. For example, in the presence of an esterification catalyst, an α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group can be reacted with an epoxy resin at a temperature of 50 to 150 ° C. can. As the esterification catalyst used here, tertiary amines such as triethylamine, trimethylamine, benzyldimethylamine and benzyldiethylamine, and quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride and dodecyltrimethylammonium chloride can be used. ..

なお、エポキシ樹脂、α,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステル、及びエステル化触媒は、いずれも1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
α,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルの使用量は、エポキシ樹脂のエポキシ基1当量に対し0.5〜1.2当量の範囲が好ましく、さらに好ましくは0.7〜1.1当量の範囲である。
α,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルの使用量が前記下限値以上であると不飽和基の導入量が十分となり、引き続く多塩基酸及び/又はその無水物との反応も十分となり、また、エポキシ基の残存も抑制できる傾向がある。一方、該使用量が前記上限値以下であるとα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルが未反応物として残存して硬化特性が悪化するのを抑制できる傾向がある。
As the epoxy resin, α, β-unsaturated monocarboxylic acid, α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group, and the esterification catalyst, one type may be used alone, or two types may be used. The above may be used together.
The amount of α, β-unsaturated monocarboxylic acid or α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group is preferably in the range of 0.5 to 1.2 equivalents with respect to 1 equivalent of the epoxy group of the epoxy resin. , More preferably in the range of 0.7 to 1.1 equivalents.
When the amount of α, β-unsaturated monocarboxylic acid or α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group used is equal to or higher than the above lower limit, the amount of unsaturated group introduced becomes sufficient, and the subsequent polybasic acid and subsequent polybasic acid and / Or the reaction with the anhydride thereof is sufficient, and there is a tendency that the residual epoxy group can be suppressed. On the other hand, when the amount used is not more than the upper limit, α, β-unsaturated monocarboxylic acid or α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group remains as an unreacted product and the curing characteristics deteriorate. Tends to be able to suppress.

多塩基酸及び/又はその無水物としては、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸、及びこれらの無水物等から選ばれた、1種又は2種以上が挙げられる。 Polybasic acid and / or its anhydrate include maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, benzophenone tetracarboxylic acid and methylhexahydrophthalic acid. Examples thereof include one or more selected from acids, endomethylenetetrahydrophthalic acid, chlorendic acid, methyltetrahydrophthalic acid, biphenyltetracarboxylic acid, and anhydrides thereof.

好ましくは、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸、又はこれらの無水物である。特に好ましくは、テトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸、無水テトラヒドロフタル酸、又はビフェニルテトラカルボン酸二無水物である。 Preferred are maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, biphenyltetracarboxylic acid, or anhydrides thereof. Particularly preferred are tetrahydrophthalic acid, biphenyltetracarboxylic acid, tetrahydrophthalic anhydride, or biphenyltetracarboxylic dianhydride.

多塩基酸及び/又はその無水物の付加反応に関しても公知の手法を用いることができ、エポキシ樹脂へのα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルの付加反応と同様な条件下で、継続反応させて目的物を得ることができる。多塩基酸及び/又はその無水物成分の付加量は、生成するカルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の酸価が10〜150mgKOH/gの範囲となるような程度であることが好ましく、さらに20〜140mgKOH/gの範囲となるような程度であることが好ましい。カルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の酸価を前記下限値以上とすることでアルカリ現像性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで硬化性が良好となる傾向がある。 A known method can also be used for the addition reaction of polybasic acid and / or its anhydride, and α, β-unsaturated monocarboxylic acid or α, β-unsaturated monocarboxylic acid having a carboxyl group to an epoxy resin can be used. The desired product can be obtained by a continuous reaction under the same conditions as the addition reaction of the ester. The addition amount of the polybasic acid and / or its anhydride component is preferably such that the acid value of the produced carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate resin is in the range of 10 to 150 mgKOH / g, and further 20 It is preferably in the range of ~ 140 mgKOH / g. When the acid value of the carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate resin is at least the above lower limit value, the alkali developability tends to be good, and when it is at least the above upper limit value, the curability tends to be good.

<(A1−1)樹脂の合成と(A1−1)樹脂に多価アルコールを添加し分岐構造を導入した(A1−2)樹脂の合成>
上記(A1−1)樹脂の多塩基酸及び/又はその無水物の付加反応合成時に、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールなどの多価アルコールを添加し、多分岐構造を導入したものとしてもよい。
カルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、通常、エポキシ樹脂とα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物に、多塩基酸及び/又はその無水物を混合した後、もしくは、エポキシ樹脂とα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物に、多塩基酸及び/又はその無水物及び多価アルコールを混合した後に、加温することにより得られる。この場合、多塩基酸及び/又はその無水物と多価アルコールの混合順序に、特に制限はない。加温により、エポキシ樹脂とα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物と多価アルコールとの混合物中に存在するいずれかの水酸基に対して多塩基酸及び/又はその無水物が付加反応する。
<Synthesis of (A1-1) resin and synthesis of (A1-2) resin in which a polyhydric alcohol is added to (A1-1) resin to introduce a branched structure>
Assuming that a polyhydric alcohol such as trimethylolpropane, pentaerythritol, or dipentaerythritol was added during the addition reaction synthesis of the polybasic acid and / or its anhydride of the above (A1-1) resin to introduce a multi-branched structure. May be good.
A carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate resin is usually a reaction product of an epoxy resin and an α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group, and a polybasic acid and a polybasic acid. / Or after mixing the anhydride thereof, or after mixing the epoxy resin with α, β-unsaturated monocarboxylic acid or α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group, polybasic acid and / or Alternatively, it can be obtained by mixing an anhydride thereof and a polyvalent alcohol and then heating the mixture. In this case, the mixing order of the polybasic acid and / or its anhydride and the polyhydric alcohol is not particularly limited. Any hydroxyl group present in the mixture of the reaction product of the epoxy resin and the α, β-unsaturated monocarboxylic acid or the α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group and the polyhydric alcohol by heating. A polybasic acid and / or its anhydride undergoes an addition reaction with respect to.

カルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、1種を単独で用いても、2種以上の樹脂を混合して用いてもよい。
多価アルコールの使用量は、増粘やゲル化を抑制しつつ効果を発現するとの観点から、エポキシ樹脂成分とα,β−不飽和モノカルボン酸又はエステル部分にカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステル成分との反応物に対して、通常0.01〜0.5質量倍程度、好ましくは0.02〜0.2質量倍程度である。
As the carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate resin, one type may be used alone, or two or more types of resins may be mixed and used.
From the viewpoint that the amount of polyhydric alcohol used is effective while suppressing thickening and gelation, the epoxy resin component and α, β-unsaturated monocarboxylic acid or α, β- having a carboxyl group in the ester moiety It is usually about 0.01 to 0.5 times by mass, preferably about 0.02 to 0.2 times by mass with respect to the reaction product with the unsaturated monocarboxylic acid ester component.

このようにして得られるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1)、(A1−2)の酸価は、通常10mgKOH/g以上、好ましくは50mgKOH/g以上、より好ましくは70mgKOH/g以上、さらに好ましくは90mgKOH/g以上であり、また好ましくは200mgKOH/g以下、より好ましくは150mgKOH/g以下、さらに好ましくは120mgKOH/g以下である。前記樹脂の酸価を前記下限値以上とすることで現像性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることでアルカリ耐性を良好にすることができる傾向がある。 The acid values of the epoxy (meth) acrylate resins (A1-1) and (A1-2) thus obtained are usually 10 mgKOH / g or more, preferably 50 mgKOH / g or more, more preferably 70 mgKOH / g or more, and further. It is preferably 90 mgKOH / g or more, preferably 200 mgKOH / g or less, more preferably 150 mgKOH / g or less, still more preferably 120 mgKOH / g or less. When the acid value of the resin is at least the lower limit value, the developability tends to be good, and when it is at least the upper limit value, the alkali resistance tends to be good.

エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1)、(A1−2)のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)測定によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は、1,000以上であることが好ましく、1,500以上であることがより好ましい。また、20,000以下であることが好ましく、15,000以下であることがより好ましく、10,000以下であることがさらに好ましく、8,000以下であることがよりさらに好ましく、6,000以下であることが特に好ましい。重量平均分子量(Mw)を前記下限値以上とすることで感度、塗膜強度、アルカリ耐性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性や再溶解性を良好なものとすることができる傾向がある。 The polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) of the epoxy (meth) acrylate resins (A1-1) and (A1-2) measured by gel permeation chromatography (GPC) is preferably 1,000 or more. , 500 or more is more preferable. Further, it is preferably 20,000 or less, more preferably 15,000 or less, further preferably 10,000 or less, further preferably 8,000 or less, and 6,000 or less. Is particularly preferable. When the weight average molecular weight (Mw) is at least the above lower limit value, the sensitivity, coating film strength, and alkali resistance tend to be good, and when it is at least the above upper limit value, the developability and resolubility are good. Tend to be able to.

<アクリル共重合樹脂(A2−1)、(A2−2)、(A2−3)、(A2−4)>
アクリル共重合樹脂としては、例えば、日本国特開平7−207211号公報、日本国特開平8−259876号公報、日本国特開平10−300922号公報、日本国特開平11−140144号公報、日本国特開平11−174224号公報、日本国特開2000−56118号公報、日本国特開2003−233179号公報、日本国特開2007−270147号公報などの各公報等に記載された様々な高分子化合物を使用することができるが、好ましくは、以下の(A2−1)〜(A2−4)の樹脂等が挙げられ、中でも、(A2−1)樹脂が特に好ましい。
<Acrylic copolymer resin (A2-1), (A2-2), (A2-3), (A2-4)>
Examples of the acrylic copolymer resin include Japanese Patent Laid-Open No. 7-2072111, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-259876, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-300922, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-140144, Japan. Various highs described in Japanese Patent Laid-Open Nos. 11-174224, Japanese Patent Laid-Open Nos. 2000-56118, Japanese Patent Laid-Open Nos. 2003-233179, Japanese Patent Laid-Open No. 2007-270147, etc. Although molecular compounds can be used, the following resins (A2-1) to (A2-4) are preferable, and (A2-1) resin is particularly preferable.

(A2−1):エポキシ基含有(メタ)アクリレートと、他のラジカル重合性単量体との共重合体に対し、当該共重合体が有するエポキシ基の少なくとも一部に不飽和一塩基酸を付加させてなる樹脂、或いは当該付加反応により生じた水酸基の少なくとも一部に多塩基酸無水物を付加させて得られる樹脂
(A2−2):主鎖にカルボキシル基を含有する直鎖状アルカリ可溶性樹脂
(A2−3):前記(A2−2)樹脂のカルボキシル基部分に、エポキシ基含有不飽和化合物を付加させた樹脂
(A2−4):(メタ)アクリル系樹脂
(A2-1): With respect to a copolymer of an epoxy group-containing (meth) acrylate and another radically polymerizable monomer, unsaturated monobasic acid is added to at least a part of the epoxy group of the copolymer. Resin to be added, or resin obtained by adding a polybasic acid anhydride to at least a part of the hydroxyl group generated by the addition reaction (A2-2): Linear alkali-soluble having a carboxyl group in the main chain. Resin (A2-3): Resin in which an unsaturated compound containing an epoxy group is added to the carboxyl group portion of the resin (A2-2) (A2-4): (meth) acrylic resin.

本発明の感光性樹脂組成物は、感度の観点から、エチレン性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂として(A1−1)、(A1−2)、(A2−1)、(A2−3)の少なくとも何れかを含むのがさらに好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、表面硬化性の観点から、エチレン性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂としてエポキシ(メタ)アクリレート樹脂である(A1−1)、(A1−2)の少なくとも何れかを含むのが特に好ましい。 From the viewpoint of sensitivity, the photosensitive resin composition of the present invention is an alkali-soluble resin containing an ethylenically unsaturated group (A1-1), (A1-2), (A2-1), (A2-3). It is more preferable to include at least one of the above. From the viewpoint of surface curability, the photosensitive resin composition of the present invention is an epoxy (meth) acrylate resin as an alkali-soluble resin containing an ethylenically unsaturated group, at least of (A1-1) and (A1-2). It is particularly preferable to include any of them.

本発明の感光性樹脂組成物は、その他のアルカリ可溶性樹脂を併用してもよい。
その他のアルカリ可溶性樹脂に制限は無く、カラーフィルター用感光性樹脂組成物に通常使用される樹脂から選択すればよい。例えば、日本国特開2007−271727号公報、日本国特開2007−316620号公報、日本国特開2007−334290号公報などに記載のアルカリ可溶性樹脂などが挙げられる。
The photosensitive resin composition of the present invention may be used in combination with other alkali-soluble resins.
The other alkali-soluble resins are not limited, and may be selected from the resins usually used in the photosensitive resin composition for color filters. For example, the alkali-soluble resins described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-271727, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-316620, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-334290 and the like can be mentioned.

(a)アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは15質量%以上、さらに好ましくは20質量%以上であり、通常90質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは50質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下である。(a)アルカリ可溶性樹脂の含有割合を前記下限値以上とすることで未露光部の現像液に対する溶解性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで露光部への現像液の過剰な浸透を抑制することができ、画像のシャープ製や密着性が良好となる傾向がある。
尚、上述のように、本発明の感光性樹脂組成物は、(a)アルカリ可溶性樹脂として、前述の(A1−1)、(A1−2)、(A2−1)、(A2−2)、(A2−3)及び(A2−4)の少なくとも1種を含むのが好ましく、その他のアルカリ可溶性樹脂を含む場合、その含有割合は、(a)アルカリ可溶性樹脂の合計に対して、20質量%以下、好ましくは10質量%以下である。
(A) The content ratio of the alkali-soluble resin is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 15% by mass or more, still more preferably, with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition of the present invention. Is 20% by mass or more, usually 90% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, still more preferably 30% by mass or less. (A) When the content ratio of the alkali-soluble resin is at least the above lower limit value, the solubility of the unexposed part in the developing solution tends to be good, and when it is at least the above upper limit value, the development to the exposed part tends to be good. Excessive penetration of the liquid can be suppressed, and the image tends to be sharpened and the adhesion tends to be good.
As described above, the photosensitive resin composition of the present invention is (a) an alkali-soluble resin as described above (A1-1), (A1-2), (A2-1), (A2-2). , (A2-3) and (A2-4) are preferably contained, and when other alkali-soluble resins are contained, the content ratio thereof is 20 mass with respect to the total of (a) alkali-soluble resins. % Or less, preferably 10% by mass or less.

<(b)光重合性モノマー>
本発明の感光性樹脂組成物は、感度等の点から(b)光重合性モノマーを含有する。
本発明に用いられる(b)光重合性モノマーとしては、分子内にエチレン性不飽和基を少なくとも1個有する化合物(以下、「エチレン性単量体」と称することがある)を挙げることができる。具体的には、例えば(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、アクリロニトリル、スチレン、及びエチレン性不飽和結合を1個有するカルボン酸と、多価又は1価アルコールのエステル等が挙げられる。
<(B) Photopolymerizable monomer>
The photosensitive resin composition of the present invention contains (b) a photopolymerizable monomer from the viewpoint of sensitivity and the like.
Examples of the (b) photopolymerizable monomer used in the present invention include compounds having at least one ethylenically unsaturated group in the molecule (hereinafter, may be referred to as “ethylenic monomer”). .. Specific examples thereof include (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid alkyl ester, acrylonitrile, styrene, a carboxylic acid having one ethylenically unsaturated bond, and an ester of a polyvalent or monovalent alcohol. ..

本発明においては、特に、1分子中にエチレン性不飽和基を2以上有する多官能エチレン性単量体を使用することが望ましい。多官能エチレン性単量体におけるエチレン性不飽和基の数は通常2以上、好ましくは3以上、より好ましくは4以上、さらに好ましくは5以上、特に好ましくは6以上、また通常10以下、好ましくは8以下である。エチレン性不飽和基の数を前記下限値以上とすることで感光性樹脂組成物が高感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで重合時の硬化収縮が小さくなる傾向がある。
多官能エチレン性単量体の例としては、例えば脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルなどが挙げられる。
In the present invention, it is particularly desirable to use a polyfunctional ethylenic monomer having two or more ethylenically unsaturated groups in one molecule. The number of ethylenically unsaturated groups in the polyfunctional ethylenic monomer is usually 2 or more, preferably 3 or more, more preferably 4 or more, still more preferably 5 or more, particularly preferably 6 or more, and usually 10 or less, preferably 10 or less. It is 8 or less. When the number of ethylenically unsaturated groups is at least the above lower limit value, the photosensitive resin composition tends to have high sensitivity, and when it is at least the above upper limit value, the curing shrinkage during polymerization tends to be small. be.
Examples of the polyfunctional ethylenic monomer include, for example, an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid; an ester of an aromatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid; an aliphatic polyhydroxy compound, an aromatic poly. Examples thereof include an ester obtained by an esterification reaction between a polyvalent hydroxy compound such as a hydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid and a polybasic carboxylic acid.

前記脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、グリセロールアクリレート等の脂肪族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル、これら例示化合物のアクリレートをメタクリレートに代えたメタクリル酸エステル、同様にイタコネートに代えたイタコン酸エステル、クロネートに代えたクロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマレイン酸エステル等が挙げられる。 Examples of the ester of the aliphatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid include ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, trimethylol propanetriacrylate, trimethylol ethanetriacrylate, pentaerythritol diacrylate, and pentaerythritol triacrylate. Acrylic acid esters of aliphatic polyhydroxy compounds such as pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and glycerol acrylate, and methacrylic acid esters in which the acrylates of these exemplary compounds are replaced with methacrylates. Similarly, an itaconic acid ester replaced with itaconate, a crotonic acid ester replaced with clonate, a maleic acid ester replaced with maleate, and the like can be mentioned.

芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、ハイドロキノンジアクリレート、ハイドロキノンジメタクリレート、レゾルシンジアクリレート、レゾルシンジメタクリレート、ピロガロールトリアクリレート等の芳香族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル等が挙げられる。
多塩基性カルボン酸及び不飽和カルボン酸と、多価ヒドロキシ化合物のエステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも単一物ではないが、代表的な具体例を挙げれば、アクリル酸、フタル酸、及びエチレングリコールの縮合物、アクリル酸、マレイン酸、及びジエチレングリコールの縮合物、メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトールの縮合物、アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及びグリセリンの縮合物等が挙げられる。
Examples of the ester of the aromatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid esters and methacrylic acid esters of aromatic polyhydroxy compounds such as hydroquinone diacrylate, hydroquinone dimethacrylate, resorcindiacrylate, resorcindimethacrylate, and pyrogalloltriacrylate. And so on.
The ester obtained by the esterification reaction of a polybasic carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid with a polyvalent hydroxy compound is not necessarily a single substance, but typical specific examples include acrylic acid, phthalic acid, and Examples thereof include a condensate of ethylene glycol, a condensate of acrylic acid, maleic acid and diethylene glycol, a condensate of methacrylic acid, terephthalic acid and pentaerythritol, a condensate of acrylic acid, adipic acid, butanediol and glycerin.

その他、本発明に用いられる多官能エチレン性単量体の例としては、ポリイソシアネート化合物と水酸基含有(メタ)アクリル酸エステル又はポリイソシアネート化合物とポリオール及び水酸基含有(メタ)アクリル酸エステルを反応させて得られるようなウレタン(メタ)アクリレート類;多価エポキシ化合物とヒドロキシ(メタ)アクリレート又は(メタ)アクリル酸との付加反応物のようなエポキシアクリレート類;エチレンビスアクリルアミド等のアクリルアミド類;フタル酸ジアリル等のアリルエステル類;ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物等が有用である。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
In addition, as an example of the polyfunctional ethylenic monomer used in the present invention, a polyisocyanate compound is reacted with a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester or a polyisocyanate compound is reacted with a polyol and a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester. Urethane (meth) acrylates as obtained; epoxy acrylates such as an addition reaction product of a polyvalent epoxy compound and hydroxy (meth) acrylate or (meth) acrylic acid; acrylamides such as ethylenebisacrylamide; diallyl phthalate. Allyl esters such as; vinyl group-containing compounds such as divinyl phthalate are useful.
These may be used alone or in combination of two or more.

(b)光重合性モノマーの含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常90質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは50質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下、よりさらに好ましくは20質量%以下、特に好ましくは10質量%以下である。光重合性モノマーの含有量が上記上限値以下であることで、露光部への現像液の浸透性が適度となり良好な画像を得ることができる傾向にある。(b)光重合性モノマーの含有量の下限値は、通常1質量%以上、好ましくは5質量%以上である。上記下限値以上であることで、紫外線照射による光硬化を向上させるとともにアルカリ現像性も良好となる傾向にある。 (B) The content ratio of the photopolymerizable monomer is usually 90% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, still more preferably 30 with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. It is 0% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and particularly preferably 10% by mass or less. When the content of the photopolymerizable monomer is not more than the above upper limit value, the permeability of the developing solution to the exposed portion becomes appropriate, and a good image tends to be obtained. (B) The lower limit of the content of the photopolymerizable monomer is usually 1% by mass or more, preferably 5% by mass or more. When it is at least the above lower limit value, the photocuring due to ultraviolet irradiation is improved and the alkali developability tends to be good.

本発明の感光性樹脂組成物における(b)光重合性モノマーの含有割合に対する(a)アルカリ可溶性樹脂の含有割合の質量比は、通常0.5以上、好ましくは1以上、より好ましくは2以上、さらに好ましくは2.5以上、また通常15以下、好ましくは10以下、より好ましくは8以下、さらに好ましくは5以下である。前記下限値以上とすることで、硬化時の硬化収縮が小さくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで、硬化膜の硬度が高くなる傾向がある。 The mass ratio of (a) the content ratio of the alkali-soluble resin to the content ratio of (b) the photopolymerizable monomer in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.5 or more, preferably 1 or more, more preferably 2 or more. It is more preferably 2.5 or more, and usually 15 or less, preferably 10 or less, more preferably 8 or less, still more preferably 5 or less. When it is at least the above lower limit value, the curing shrinkage at the time of curing tends to be small, and when it is at least the above upper limit value, the hardness of the cured film tends to be high.

<(d)色材>
本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルターの画素、ブラックマトリックス、着色スペーサーの形成等に用いられる場合には、色材を含有する。色材は、本発明の感光性樹脂組成物を着色するものをいう。色材としては、染料や顔料が使用できるが、耐熱性、耐光性等の点から顔料が好ましい。
<(D) Color material>
The photosensitive resin composition of the present invention contains a coloring material when used for forming pixels of a color filter, a black matrix, a colored spacer, and the like. The coloring material refers to a material that colors the photosensitive resin composition of the present invention. As the coloring material, dyes and pigments can be used, but pigments are preferable from the viewpoint of heat resistance, light resistance and the like.

顔料としては青色顔料、緑色顔料、赤色顔料、黄色顔料、紫色顔料、オレンジ顔料、ブラウン顔料、黒色顔料等各種の色の顔料を使用することができる。また、その構造としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリレン系等の有機顔料の他に種々の無機顔料等も利用可能である。 As the pigment, pigments of various colors such as blue pigment, green pigment, red pigment, yellow pigment, purple pigment, orange pigment, brown pigment and black pigment can be used. In addition to organic pigments such as azo, phthalocyanine, quinacridone, benzimidazolone, isoindolenone, dioxazine, indanthrone, and perylene, various inorganic pigments can be used as the structure. Is.

以下に、本発明に使用できる顔料の具体例をピグメントナンバーで示す。なお、以下に挙げる「C.I.ピグメントレッド2」等の用語は、カラーインデックス(C.I.)を意味する。
赤色顔料としては、C.I.ピグメントレッド1、2、3、4、5、6、7、8、9、12、14、15、16、17、21、22、23、31、32、37、38、41、47、48、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、50:1、52:1、52:2、53、53:1、53:2、53:3、57、57:1、57:2、58:4、60、63、63:1、63:2、64、64:1、68、69、81、81:1、81:2、81:3、81:4、83、88、90:1、101、101:1、104、108、108:1、109、112、113、114、122、123、144、146、147、149、151、166、168、169、170、172、173、174、175、176、177、178、179、181、184、185、187、188、190、193、194、200、202、206、207、208、209、210、214、216、220、221、224、230、231、232、233、235、236、237、238、239、242、243、245、247、249、250、251、253、254、255、256、257、258、259、260、262、263、264、265、266、267、268、269、270、271、272、273、274、275、276を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントレッド48:1、122、168、177、202、206、207、209、224、242、254、更に好ましくはC.I.ピグメントレッド177、209、224、254を挙げることができる。
Specific examples of pigments that can be used in the present invention are shown below by pigment numbers. The terms such as "CI Pigment Red 2" listed below mean the color index (CI).
As the red pigment, C.I. I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 37, 38, 41, 47, 48, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 52: 2, 53, 53: 1, 53: 2, 53: 3, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 4, 60, 63, 63: 1, 63: 2, 64, 64: 1, 68, 69, 81, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 81: 4, 83, 88, 90: 1, 101, 101: 1, 104, 108, 108: 1, 109, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 147, 149, 151, 166, 168, 169, 170, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 181, 184, 185, 187, 188, 190, 193, 194, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 214, 216, 220, 221, 224, 230, 231, 232, 233, 235, 236, 237, 238, 239, 242, 243, 245, 247, 249, 250, 251, 253, 254, 255, 256, 257, 258, 259, 260, 262, 263, 264, 265, 266, 267, 268, 269, 270, 271, 272, 273, 274, 275, 276 can be mentioned. Among these, preferably C.I. I. Pigment Red 48: 1, 122, 168, 177, 202, 206, 207, 209, 224, 242, 254, more preferably C.I. I. Pigment Red 177, 209, 224, 254 can be mentioned.

青色顔料としては、C.I.ピグメントブルー1、1:2、9、14、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、17、19、25、27、28、29、33、35、36、56、56:1、60、61、61:1、62、63、66、67、68、71、72、73、74、75、76、78、79を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、更に好ましくはC.I.ピグメントブルー15:6を挙げることができる。
緑色顔料としては、C.I.ピグメントグリーン1、2、4、7、8、10、13、14、15、17、18、19、26、36、45、48、50、51、54、55、58を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントグリーン7、36、58を挙げることができる。
As the blue pigment, C.I. I. Pigment Blue 1, 1: 2, 9, 14, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 17, 19, 25, 27, 28, 29, 33, 35, 36, 56, 56: 1, 60, 61, 61: 1, 62, 63, 66, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 75, 76, 78, 79 can be mentioned. Among these, preferably C.I. I. Pigment Blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, more preferably C.I. I. Pigment Blue 15: 6 can be mentioned.
Examples of the green pigment include C.I. I. Pigment Greens 1, 2, 4, 7, 8, 10, 13, 14, 15, 17, 18, 19, 26, 36, 45, 48, 50, 51, 54, 55, 58 can be mentioned. Among these, preferably C.I. I. Pigment Greens 7, 36 and 58 can be mentioned.

黄色顔料としては、C.I.ピグメントイエロー1、1:1、2、3、4、5、6、9、10、12、13、14、16、17、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、41、42、43、48、53、55、61、62、62:1、63、65、73、74、75、81、83、87、93、94、95、97、100、101、104、105、108、109、110、111、116、117、119、120、126、127、127:1、128、129、133、134、136、138、139、142、147、148、150、151、153、154、155、157、158、159、160、161、162、163、164、165、166、167、168、169、170、172、173、174、175、176、180、181、182、183、184、185、188、189、190、191、191:1、192、193、194、195、196、197、198、199、200、202、203、204、205、206、207、208を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントイエロー83、117、129、138、139、150、154、155、180、185、更に好ましくはC.I.ピグメントイエロー83、138、139、150、180を挙げることができる。 As the yellow pigment, C.I. I. Pigment Yellow 1, 1: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 13, 14, 16, 17, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1,37,37: 1,40,41,42,43,48,53,55,61,62,62: 1,63,65,73,74,75,81,83,87,93,94, 95, 97, 100, 101, 104, 105, 108, 109, 110, 111, 116, 117, 119, 120, 126, 127, 127: 1, 128, 129, 133, 134, 136, 138, 139, 142, 147, 148, 150, 151, 153, 154, 155, 157, 158, 159, 160, 161, 162, 163, 164, 165, 166, 167, 168, 169, 170, 172, 173, 174, 175, 176, 180, 181, 182, 183, 184, 185, 188, 189, 190, 191, 191: 1, 192, 193, 194, 195, 196, 197, 198, 199, 200, 202, 203, 204, 205, 206, 207, 208 can be mentioned. Among these, preferably C.I. I. Pigment Yellow 83, 117, 129, 138, 139, 150, 154, 155, 180, 185, more preferably C.I. I. Pigment Yellow 83, 138, 139, 150, 180 can be mentioned.

オレンジ顔料としては、C.I.ピグメントオレンジ1、2、5、13、16、17、19、20、21、22、23、24、34、36、38、39、43、46、48、49、61、62、64、65、67、68、69、70、71、72、73、74、75、77、78、79を挙げることができる。この中でも、好ましくは、C.I.ピグメントオレンジ38、71を挙げることができる。 As the orange pigment, C.I. I. Pigment Orange 1, 2, 5, 13, 16, 17, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 34, 36, 38, 39, 43, 46, 48, 49, 61, 62, 64, 65, 67, 68, 69, 70, 71, 72, 73, 74, 75, 77, 78, 79 can be mentioned. Among these, preferably, C.I. I. Pigment Oranges 38 and 71 can be mentioned.

紫色顔料としては、C.I.ピグメントバイオレット1、1:1、2、2:2、3、3:1、3:3、5、5:1、14、15、16、19、23、25、27、29、31、32、37、39、42、44、47、49、50を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントバイオレット19、23、更に好ましくはC.I.ピグメントバイオレット23を挙げることができる。 As the purple pigment, C.I. I. Pigment Violet 1, 1: 1, 2, 2: 2, 3, 3: 1, 3: 3, 5, 5: 1, 14, 15, 16, 19, 23, 25, 27, 29, 31, 32, 37, 39, 42, 44, 47, 49, 50 can be mentioned. Among these, preferably C.I. I. Pigment Violet 19, 23, more preferably C.I. I. Pigment Violet 23 can be mentioned.

また、本発明の感光性樹脂組成物が、カラーフィルターの樹脂ブラックマトリックス用感光性樹脂組成物である場合、(d)色材としては、黒色の色材を用いることができる。黒色色材は、黒色色材単独としてもよく、赤、緑、青等の混合としてもよい。また、これら色材は無機又は有機の顔料、染料の中から適宜選択することができる。
黒色色材を調製するために混合使用可能な色材としては、ビクトリアピュアブルー(42595)、オーラミンO(41000)、カチロンブリリアントフラビン(ベーシック13)、ローダミン6GCP(45160)、ローダミンB(45170)、サフラニンOK70:100(50240)、エリオグラウシンX(42080)、No.120/リオノールイエロー(21090)、リオノールイエローGRO(21090)、シムラーファーストイエロー8GF(21105)、ベンジジンイエロー4T−564D(21095)、シムラーファーストレッド4015(12355)、リオノールレッド7B4401(15850)、ファーストゲンブルーTGR−L(74160)、リオノールブルーSM(26150)、リオノールブルーES(ピグメントブルー15:6)、リオノーゲンレッドGD(ピグメントレッド168)、リオノールグリーン2YS(ピグメントグリーン36)等が挙げられる(なお、上記の( )内の数字は、カラーインデックス(C.I.)を意味する。)。
When the photosensitive resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition for a resin black matrix of a color filter, a black coloring material can be used as the (d) coloring material. The black color material may be a black color material alone or a mixture of red, green, blue and the like. Further, these coloring materials can be appropriately selected from inorganic or organic pigments and dyes.
Coloring materials that can be mixed and used to prepare black coloring materials include Victoria Pure Blue (42595), Auramine O (41000), Cachilon Brilliant Flavin (Basic 13), Rhodamine 6GCP (45160), Rhodamine B (45170). , Safranin OK70: 100 (50240), Eriograusin X (42080), No. 120 / Lionol Yellow (21090), Lionol Yellow GRO (21090), Simler First Yellow 8GF (21105), Benzidine Yellow 4T-564D (21095), Simler First Red 4015 (12355), Lionol Red 7B4401 (15850), Fastgen Blue TGR-L (74160), Lionol Blue SM (26150), Lionol Blue ES (Pigment Blue 15: 6), Lionol Gen Red GD (Pigment Red 168), Lionol Green 2YS (Pigment Green 36), etc. (Note that the numbers in () above mean the color index (CI)).

また、更に他の混合使用可能な顔料についてC.I.ナンバーにて示すと、例えば、C.I.黄色顔料20、24、86、93、109、110、117、125、137、138、147、148、153、154、166、C.I.オレンジ顔料36、43、51、55、59、61、C.I.赤色顔料9、97、122、123、149、168、177、180、192、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、C.I.バイオレット顔料19、23、29、30、37、40、50、C.I.青色顔料15、15:1、15:4、22、60、64、C.I.緑色顔料7、C.I.ブラウン顔料23、25、26等を挙げることができる。 Further, regarding other pigments that can be mixed and used, C.I. I. Indicated by number, for example, C.I. I. Yellow pigments 20, 24, 86, 93, 109, 110, 117, 125, 137, 138, 147, 148, 153, 154, 166, C.I. I. Orange pigments 36, 43, 51, 55, 59, 61, C.I. I. Red pigments 9, 97, 122, 123, 149, 168, 177, 180, 192, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, C.I. I. Violet pigments 19, 23, 29, 30, 37, 40, 50, C.I. I. Blue pigment 15, 15: 1, 15: 4, 22, 60, 64, C.I. I. Green pigment 7, C.I. I. Brown pigments 23, 25, 26 and the like can be mentioned.

また、単独使用可能な黒色色材としては、カーボンブラック、アセチレンブラック、ランプブラック、ボーンブラック、黒鉛、鉄黒、アニリンブラック、シアニンブラック、チタンブラック、ペリレンブラック、ラクタムブラック等が挙げられる。
これらの(d)色材の中で黒色の色材を用いる場合には、遮光率、画像特性の観点からカーボンブラックが好ましい。カーボンブラックの例としては、以下のようなカーボンブラックが挙げられる。
Examples of the black color material that can be used alone include carbon black, acetylene black, lamp black, bone black, graphite, iron black, aniline black, cyanine black, titanium black, perylene black, and lactam black.
When a black color material is used among these (d) color materials, carbon black is preferable from the viewpoint of light shielding rate and image characteristics. Examples of carbon black include the following carbon blacks.

三菱ケミカル社製:MA7、MA77、MA8、MA11、MA100、MA100R、MA220、MA230、MA600、#5、#10、#20、#25、#30、#32、#33、#40、#44、#45、#47、#50、#52、#55、#650、#750、#850、#950、#960、#970、#980、#990、#1000、#2200、#2300、#2350、#2400、#2600、#3050、#3150、#3250、#3600、#3750、#3950、#4000、#4010、OIL7B、OIL9B、OIL11B、OIL30B、OIL31B
デグサ社製:Printex(登録商標。以下同じ。)3、Printex3OP、Printex30、Printex30OP、Printex40、Printex45、Printex55、Printex60、Printex75、Printex80、Printex85、Printex90、Printex A、Printex L、Printex G、Printex P、Printex U、Printex V、PrintexG、SpecialBlack550、SpecialBlack350、SpecialBlack250、SpecialBlack100、SpecialBlack6、SpecialBlack5、SpecialBlack4、Color Black FW1、Color Black FW2、Color Black FW2V、Color Black FW18、Color Black FW18、Color Black FW200、Color Black S160、Color Black S170
キャボット社製:Monarch(登録商標。以下同じ。)120、Monarch280、Monarch460、Monarch800、Monarch880、Monarch900、Monarch1000、Monarch1100、Monarch1300、Monarch1400、Monarch4630、REGAL(登録商標。以下同じ。)99、REGAL99R、REGAL415、REGAL415R、REGAL250、REGAL250R、REGAL330、REGAL400R、REGAL55R0、REGAL660R、BLACK PEARLS480、PEARLS130、VULCAN(登録商標) XC72R、ELFTEX(登録商標)−8
ビルラー社製:RAVEN11、RAVEN14、RAVEN15、RAVEN16、RAVEN22RAVEN30、RAVEN35、RAVEN40、RAVEN410、RAVEN420、RAVEN450、RAVEN500、RAVEN780、RAVEN850、RAVEN890H、RAVEN1000、RAVEN1020、RAVEN1040、RAVEN1060U、RAVEN1080U、RAVEN1170、RAVEN1190U、RAVEN1250、RAVEN1500、RAVEN2000、RAVEN2500U、RAVEN3500、RAVEN5000、RAVEN5250、RAVEN5750、RAVEN7000
Made by Mitsubishi Chemical Corporation: MA7, MA77, MA8, MA11, MA100, MA100R, MA220, MA230, MA600, # 5, # 10, # 20, # 25, # 30, # 32, # 33, # 40, # 44, # 45, # 47, # 50, # 52, # 55, # 650, # 750, # 850, # 950, # 960, # 970, # 980, # 990, # 1000, # 2200, # 2300, # 2350 , # 2400, # 2600, # 3050, # 3150, # 3250, # 3600, # 3750, # 3950, # 4000, # 4010, OIL7B, OIL9B, OIL11B, OIL30B, OIL31B
Made by Degusa: Printex (registered trademark; the same applies hereinafter) 3, Printex3OP, Printex30, Printex30OP, Printex40, Printex45, Printex55, Printex60, Printex75, Printex80, Printex85, Printex90, PrintexA, PrintexA. U, Printex V, PrintexG, SpecialBlack550, SpecialBlack350, SpecialBlack250, SpecialBlack100, SpecialBlack6, SpecialBlack5, SpecialBlack4, Color Black FW1, Color Black FW2, Color Black FW2V, Color Black FW18, Color Black FW18, Color Black FW200, Color Black S160, Color Black S170
Made by Cabot Corporation: Monarch (registered trademark; the same shall apply hereinafter) 120, Monarch 280, Monarch 460, Monarch 800, Monarch 880, Monarch 900, Monarch 1000, Monarch 1100, Monarch 1300, Monarch 1400, Monarch 4630, REGAL (registered trademark; same as REGAL). REGAL415R, REGAL250, REGAL250R, REGAL330, REGAL400R, REGAL55R0, REGAL660R, BLACK PEARLS480, PEARLS130, VULCAN® XC72R, ELFTEX®-8
Made by Biller: RAVEN11, RAVEN14, RAVEN15, RAVEN16, RAVEN22RAVEN30, RAVEN35, RAVEN40, RAVEN410, RAVEN420, RAVEN450, RAVEN500, RAVEN780, RAVEN850, RAVEN890H, RAVEN1000, RAVEN10URA RAVEN2000, RAVEN2500U, RAVEN3500, RAVEN5000, RAVEN5250, RAVEN5750, RAVEN7000

他の黒色顔料の例としては、チタンブラック、アニリンブラック、酸化鉄系黒色顔料、及び、赤色、緑色、青色の三色の有機顔料を混合して黒色顔料として用いることができる。 As an example of other black pigments, titanium black, aniline black, iron oxide-based black pigments, and organic pigments of three colors of red, green, and blue can be mixed and used as black pigments.

また、顔料として、硫酸バリウム、硫酸鉛、酸化チタン、黄色鉛、ベンガラ、酸化クロム等を用いることもできる。これら各種の顔料は、複数種を併用することもできる。例えば、色度の調整のために、緑色顔料と黄色顔料とを併用したり、青色顔料と紫色顔料とを併用することができる。 Further, as the pigment, barium sulfate, lead sulfate, titanium oxide, yellow lead, red iron oxide, chromium oxide and the like can also be used. A plurality of these various pigments can be used in combination. For example, a green pigment and a yellow pigment can be used in combination, or a blue pigment and a purple pigment can be used in combination for adjusting the chromaticity.

本発明に用いられる顔料の平均粒径としては、カラーフィルターの着色層とした場合に、所望の発色が可能なものであればよく、特に限定されず、用いる顔料の種類によっても異なるが、10〜100nmの範囲内であることが好ましく、10〜70nmの範囲内であることがより好ましい。該顔料の平均粒径が上記範囲であることにより、本発明の感光性樹脂組成物を用いて製造された液晶表示装置の色特性を高品質なものとすることができる傾向がある。
また、顔料がカーボンブラックの場合の平均粒径は、60nm以下が好ましく、50nm以下がさらに好ましく、また、20nm以上が好ましい。平均粒径を前記上限値以下とすることで、散乱が小さくなり、遮光性やコントラストなどの色特性の低下を抑制できる傾向がある。また、平均粒径を前記下限値以上とすることで、分散剤の量が過度に多くならずに済み、分散性が良好となる傾向がある。
なお、上記顔料の平均粒径は、電子顕微鏡写真から一次粒子の大きさを直接計測する方法で求めることができる。具体的には、個々の一次粒子の短軸径と長軸径を計測し、その平均をその粒子の粒径とする。次に、100個以上の粒子について、それぞれの粒子の体積(質量)を、求めた粒径の直方体と近似して求め、体積平均粒径を求めそれを平均粒径とする。なお、電子顕微鏡は透過型(TEM)または走査型(SEM)のいずれを用いても同じ結果を得ることができる。
The average particle size of the pigment used in the present invention may be any as long as it can develop a desired color when used as a colored layer of a color filter, and is not particularly limited and varies depending on the type of pigment used. It is preferably in the range of ~ 100 nm, and more preferably in the range of 10 to 70 nm. When the average particle size of the pigment is in the above range, the color characteristics of the liquid crystal display device manufactured by using the photosensitive resin composition of the present invention tend to be high quality.
When the pigment is carbon black, the average particle size is preferably 60 nm or less, more preferably 50 nm or less, and more preferably 20 nm or more. By setting the average particle size to the upper limit or less, the scattering becomes small, and there is a tendency that deterioration of color characteristics such as light-shielding property and contrast can be suppressed. Further, by setting the average particle size to the lower limit value or more, the amount of the dispersant does not need to be excessively large, and the dispersibility tends to be good.
The average particle size of the pigment can be obtained by a method of directly measuring the size of the primary particles from an electron micrograph. Specifically, the minor axis diameter and the major axis diameter of each primary particle are measured, and the average thereof is taken as the particle size of the particle. Next, for 100 or more particles, the volume (mass) of each particle is obtained by approximating it to a rectangular parallelepiped having the obtained particle size, and the volume average particle size is obtained and used as the average particle size. The same result can be obtained regardless of whether the electron microscope is a transmission type (TEM) or a scanning type (SEM).

また、本発明の感光性樹脂組成物は、少なくとも顔料を含むことが好ましいが、その他に、本発明の効果に影響を及ぼさない範囲で染料を併用してもよい。併用できる染料としては、アゾ系染料、アントラキノン系染料、フタロシアニン系染料、キノンイミン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、カルボニル系染料、メチン系染料等が挙げられる。 Further, the photosensitive resin composition of the present invention preferably contains at least a pigment, but in addition, a dye may be used in combination as long as the effect of the present invention is not affected. Examples of dyes that can be used in combination include azo dyes, anthraquinone dyes, phthalocyanine dyes, quinoneimine dyes, quinoline dyes, nitro dyes, carbonyl dyes, and methine dyes.

アゾ系染料としては、例えば、C.I.アシッドイエロー11、C.I.アシッドオレンジ7、C.I.アシッドレッド37、C.I.アシッドレッド180、C.I.アシッドブルー29、C.I.ダイレクトレッド28、C.I.ダイレクトレッド83、C.I.ダイレクトイエロー12、C.I.ダイレクトオレンジ26、C.I.ダイレクトグリーン28、C.I.ダイレクトグリーン59、C.I.リアクティブイエロー2、C.I.リアクティブレッド17、C.I.リアクティブレッド120、C.I.リアクティブブラック5、C.I.ディスパースオレンジ5、C.I.ディスパースレッド58、C.I.ディスパースブルー165、C.I.ベーシックブルー41、C.I.ベーシックレッド18、C.I.モルダントレッド7、C.I.モルダントイエロー5、C.I.モルダントブラック7等が挙げられる。 Examples of the azo dye include C.I. I. Acid Yellow 11, C.I. I. Acid Orange 7, C.I. I. Acid Red 37, C.I. I. Acid Red 180, C.I. I. Acid Blue 29, C.I. I. Direct Red 28, C.I. I. Direct Red 83, C.I. I. Direct Yellow 12, C.I. I. Direct Orange 26, C.I. I. Direct Green 28, C.I. I. Direct Green 59, C.I. I. Reactive Yellow 2, C.I. I. Reactive Red 17, C.I. I. Reactive Red 120, C.I. I. Reactive Black 5, C.I. I. Disperse Orange 5, C.I. I. Disperse thread 58, C.I. I. Disperse Blue 165, C.I. I. Basic Blue 41, C.I. I. Basic Red 18, C.I. I. Moldant Red 7, C.I. I. Moldant Yellow 5, C.I. I. Examples include Moldant Black 7.

アントラキノン系染料としては、例えば、C.I.バットブルー4、C.I.アシッドブルー40、C.I.アシッドグリーン25、C.I.リアクティブブルー19、C.I.リアクティブブルー49、C.I.ディスパースレッド60、C.I.ディスパースブルー56、C.I.ディスパースブルー60等が挙げられる。
この他、フタロシアニン系染料として、例えば、C.I.パッドブルー5等が、キノンイミン系染料として、例えば、C.I.ベーシックブルー3、C.I.ベーシックブルー9等が、キノリン系染料として、例えば、C.I.ソルベントイエロー33、C.I.アシッドイエロー3、C.I.ディスパースイエロー64等が、ニトロ系染料として、例えば、C.I.アシッドイエロー1、C.I.アシッドオレンジ3、C.I.ディスパースイエロー42等が挙げられる。
Examples of the anthraquinone dye include C.I. I. Bat Blue 4, C.I. I. Acid Blue 40, C.I. I. Acid Green 25, C.I. I. Reactive Blue 19, C.I. I. Reactive Blue 49, C.I. I. Disperse thread 60, C.I. I. Disperse Blue 56, C.I. I. Disperse blue 60 and the like can be mentioned.
In addition, as a phthalocyanine dye, for example, C.I. I. Pad Blue 5 and the like can be used as quinoneimine dyes, for example, C.I. I. Basic Blue 3, C.I. I. Basic Blue 9 and the like are used as quinoline dyes, for example, C.I. I. Solvent Yellow 33, C.I. I. Acid Yellow 3, C.I. I. Disperse Yellow 64 and the like can be used as nitro dyes, for example, C.I. I. Acid Yellow 1, C.I. I. Acid Orange 3, C.I. I. Disperse Yellow 42 and the like can be mentioned.

(d)色材の含有割合は、感光性樹脂組成物中の全固形分量に対して通常1〜70質量%の範囲で選ぶことができる。この範囲の中では、20質量%以上がより好ましく、30質量%以上がさらに好ましく、40質量%以上が特に好ましく、また、60質量%以下がより好ましい。 (D) The content ratio of the coloring material can be usually selected in the range of 1 to 70% by mass with respect to the total solid content in the photosensitive resin composition. Within this range, 20% by mass or more is more preferable, 30% by mass or more is further preferable, 40% by mass or more is particularly preferable, and 60% by mass or less is more preferable.

本発明の感光性樹脂組成物は、前述したように種々な用途に使用することができるが、優れた画像形成性は、カラーフィルター用ブラックマトリックスの形成に使用した場合に、特に効果的である。ブラックマトリックス形成に使用する場合には(d)色材として、前述したカーボンブラックやチタンブラック等の黒色色材を使用するか、黒色以外の色材を複数種類混合し黒色に調整して使用すればよい。その中でも分散安定性及び遮光性の観点から、カーボンブラックを使用することが、特に好ましい。 The photosensitive resin composition of the present invention can be used for various purposes as described above, but the excellent image forming property is particularly effective when used for forming a black matrix for a color filter. .. When used to form a black matrix, (d) use a black color material such as carbon black or titanium black described above, or mix multiple types of color materials other than black and adjust to black. Just do it. Among them, it is particularly preferable to use carbon black from the viewpoint of dispersion stability and light-shielding property.

本発明は特に黒色顔料の顔料濃度が大きくなる領域で効果が大きい。特に近年は遮光度を上げるために黒色顔料濃度を多くする必要がある。このように効果が大きくなる領域における黒色顔料の含有割合は感光性樹脂組成物の全固形分に対し40質量%以上であり、45質量%以上であることが好ましく、50質量%以上であることがより好ましい。 The present invention is particularly effective in the region where the pigment concentration of the black pigment is high. Especially in recent years, it is necessary to increase the concentration of black pigment in order to increase the degree of shading. The content ratio of the black pigment in the region where the effect is large is 40% by mass or more, preferably 45% by mass or more, and more preferably 50% by mass or more, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. Is more preferable.

感光性樹脂組成物において、黒色顔料の含有割合が上記範囲内であることにより、遮光性(光学密度、OD値)の高い感光性樹脂組成物を得ることができる。具体的には、黒色顔料の含有量を45質量%以上とすることにより、本発明の感光性樹脂組成物を用いて厚さ1μmのブラックマトリックスを形成した場合における光学濃度を4.0以上の値とすることができる。光学濃度はより好ましくは4.2以上である。遮光性が高い領域では紫外線が深部に透過しにくく、光重合による架橋が特に基板と細線の密着する部分で弱くなるが、本発明の感光性樹脂組成物を用いた場合は、特にその黒色顔料の含有割合が大きい場合に、本発明の効果をよく確認できる。黒色顔料の含有割合としては40〜65質量%が特に効果的である。黒色顔料の含有割合を前記下限値以上とすることで色濃度に対する膜厚が大きくなりすぎるのを抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで十分な画像形成性を確保しやすい傾向がある。 When the content ratio of the black pigment in the photosensitive resin composition is within the above range, a photosensitive resin composition having a high light-shielding property (optical density, OD value) can be obtained. Specifically, by setting the content of the black pigment to 45% by mass or more, the optical density when a black matrix having a thickness of 1 μm is formed using the photosensitive resin composition of the present invention is 4.0 or more. Can be a value. The optical density is more preferably 4.2 or more. In a region with high light-shielding properties, ultraviolet rays are difficult to penetrate deeply, and cross-linking due to photopolymerization is weakened especially in the portion where the substrate and the fine wire are in close contact. However, when the photosensitive resin composition of the present invention is used, the black pigment is particularly weak. When the content ratio of the above is large, the effect of the present invention can be confirmed well. As the content ratio of the black pigment, 40 to 65% by mass is particularly effective. By setting the content ratio of the black pigment to the lower limit value or more, it tends to be possible to suppress the film thickness from becoming too large with respect to the color density, and by setting it to the upper limit value or less, it is easy to secure sufficient image formability. Tend.

なお感光性樹脂組成物において、(d)色材の含有割合は、(a)アルカリ可溶性樹脂100質量部あたり、通常20質量部以上、好ましくは30質量部以上、より好ましくは40質量部以上、さらに好ましくは60質量部以上、よりさらに好ましくは80質量部以上、特に好ましくは120質量部以上、最も好ましくは160質量部以上であり、また通常500質量部以下、好ましくは300質量部以下、より好ましくは280質量部以下である。(d)色材の含有割合を前記下限値以上とすることで未露光部の現像液に対する溶解性の低下を抑制しやすい傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望の画像膜厚が得やすい傾向がある。 In the photosensitive resin composition, the content ratio of (d) the coloring material is (a) 20 parts by mass or more, preferably 30 parts by mass or more, and more preferably 40 parts by mass or more per 100 parts by mass of the alkali-soluble resin. More preferably 60 parts by mass or more, further preferably 80 parts by mass or more, particularly preferably 120 parts by mass or more, most preferably 160 parts by mass or more, and usually 500 parts by mass or less, preferably 300 parts by mass or less. It is preferably 280 parts by mass or less. (D) When the content ratio of the coloring material is at least the above lower limit value, it tends to be easy to suppress the decrease in solubility of the unexposed portion in the developing solution, and when it is at least the above upper limit value, the desired image film is formed. The thickness tends to be easy to obtain.

<(e)分散剤>
本発明においては、色材を微細に分散させ、且つその分散状態を安定化させることが品質の安定性確保には重要なため、(e)分散剤を含むことが好ましい。
分散剤としては、官能基を有する高分子分散剤が好ましく、更には、分散安定性の面からカルボキシル基;リン酸基;スルホン酸基;又はこれらの塩基;一級、二級又は三級アミノ基;四級アンモニウム塩基;ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の官能基を有する高分子分散剤が好ましい。中でも特に、一級、二級又は三級アミノ基;四級アンモニウム塩基;ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の塩基性官能基を有する高分子分散剤が特に好ましい。これら塩基性官能基を有する高分子分散剤を使用することにより、分散性を良好にでき、高い遮光性を達成できる傾向がある。
<(E) Dispersant>
In the present invention, it is important to finely disperse the coloring material and stabilize the dispersed state thereof in order to ensure the stability of quality. Therefore, it is preferable to include (e) a dispersant.
As the dispersant, a polymer dispersant having a functional group is preferable, and further, from the viewpoint of dispersion stability, a carboxyl group; a phosphoric acid group; a sulfonic acid group; or these groups; a primary, secondary or tertiary amino group. A quaternary ammonium base; a polymer dispersant having a functional group such as a group derived from a nitrogen-containing heterocycle such as pyridine, pyrimidine, or pyrazine is preferable. Among them, a polymer dispersant having a basic functional group such as a primary, secondary or tertiary amino group; a quaternary ammonium base; a group derived from a nitrogen-containing heterocycle such as pyridine, pyrimidine or pyrazine is particularly preferable. By using a polymer dispersant having these basic functional groups, the dispersibility can be improved and a high light-shielding property tends to be achieved.

また高分子分散剤としては、例えばウレタン系分散剤、アクリル系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリアリルアミン系分散剤、アミノ基を持つモノマーとマクロモノマーからなる分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレンジエステル系分散剤、ポリエーテルリン酸系分散剤、ポリエステルリン酸系分散剤、ソルビタン脂肪族エステル系分散剤、脂肪族変性ポリエステル系分散剤等を挙げることができる。 Examples of the polymer dispersant include urethane-based dispersants, acrylic-based dispersants, polyethyleneimine-based dispersants, polyallylamine-based dispersants, dispersants consisting of monomers having amino groups and macromonomers, and polyoxyethylene alkyl ether-based agents. Examples thereof include dispersants, polyoxyethylene diester dispersants, polyether phosphate dispersants, polyester phosphate dispersants, sorbitan aliphatic ester dispersants, and aliphatic modified polyester dispersants.

このような分散剤の具体例としては、商品名で、EFKA(登録商標。エフカーケミカルズビーブイ(EFKA)社製。)、Disperbyk(登録商標。ビックケミー社製。)、ディスパロン(登録商標。楠本化成社製。)、SOLSPERSE(登録商標。ルーブリゾール社製。)、KP(信越化学工業社製)、ポリフロー又はフローレン(登録商標。共栄社化学社製。)、アジスパー(登録商標。味の素ファインテクノ社製。)等を挙げることができる。
これらの高分子分散剤は1種を単独で使用してもよく、又は2種以上を併用してもよい。
Specific examples of such a dispersant include EFKA (registered trademark, manufactured by EFKA), Disperbyk (registered trademark, manufactured by Big Chemie), and Disparon (registered trademark, manufactured by Kusumoto Kasei) under the trade names. SOLSPERSE (registered trademark, manufactured by Lubrizol), KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow or Floren (registered trademark, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), Azisper (registered trademark, manufactured by Ajinomoto Fine Techno). .) Etc. can be mentioned.
These polymer dispersants may be used alone or in combination of two or more.

これらの内、密着性及び直線性の面から、(e)分散剤は塩基性官能基を有するウレタン系高分子分散剤及び/又はアクリル系高分子分散剤を含むことが、特に好ましい。特にはウレタン系高分子分散剤が密着性の面で好ましい。また分散性、保存性の面から、塩基性官能基を有し、ポリエステル及び/又はポリエーテル結合を有する高分子分散剤が好ましい。 Among these, from the viewpoint of adhesion and linearity, it is particularly preferable that the dispersant (e) contains a urethane-based polymer dispersant having a basic functional group and / or an acrylic polymer dispersant. In particular, a urethane-based polymer dispersant is preferable in terms of adhesion. Further, from the viewpoint of dispersibility and storage stability, a polymer dispersant having a basic functional group and having a polyester and / or a polyether bond is preferable.

高分子分散剤の重量平均分子量(Mw)は通常700以上、好ましくは1,000以上であり、また通常100,000以下、好ましくは50,000以下であり、より好ましくは30,000以下である。重量平均分子量(Mw)を前記上限値以下とすることで、顔料濃度が高い時でもアルカリ現像性が良好となる傾向がある。
ウレタン系及びアクリル系高分子分散剤としては、例えばDISPERBYK−160〜167、182シリーズ(いずれもウレタン系)、DISPERBYK−2000,2001等(いずれもアクリル系)(以上すべてビックケミー社製)が挙げられる。上記の塩基性官能基を有し、ポリエステル及び/又はポリエーテル結合を有するウレタン系高分子分散剤で重量平均分子量30,000以下の特に好ましいものとしてDISPERBYK−167、182などが挙げられる。
The weight average molecular weight (Mw) of the polymer dispersant is usually 700 or more, preferably 1,000 or more, and usually 100,000 or less, preferably 50,000 or less, and more preferably 30,000 or less. .. By setting the weight average molecular weight (Mw) to the upper limit or less, the alkali developability tends to be good even when the pigment concentration is high.
Examples of the urethane-based and acrylic-based polymer dispersants include DISPERBYK-160 to 167, 182 series (all urethane-based), DISPERBYK-2000, 2001 (all acrylic-based) (all manufactured by Big Chemie). .. DISPERBYK-167, 182 and the like are particularly preferable urethane-based polymer dispersants having the above-mentioned basic functional groups and having polyester and / or polyether bonds and having a weight average molecular weight of 30,000 or less.

<ウレタン系高分子分散剤>
ウレタン系高分子分散剤として好ましい化学構造を具体的に例示するならば、例えば、ポリイソシアネート化合物と、分子内に水酸基を1個又は2個有する数平均分子量300〜10,000の化合物と、同一分子内に活性水素と三級アミノ基を有する化合物とを反応させることによって得られる、重量平均分子量1,000〜200,000の分散樹脂等が挙げられる。
<Urethane-based polymer dispersant>
To specifically exemplify a preferable chemical structure as a urethane-based polymer dispersant, for example, it is the same as a polyisocyanate compound and a compound having one or two hydroxyl groups in the molecule and having a number average molecular weight of 300 to 10,000. Examples thereof include a dispersed resin having a weight average molecular weight of 1,000 to 200,000, which is obtained by reacting an active hydrogen with a compound having a tertiary amino group in the molecule.

上記のポリイソシアネート化合物の例としては、パラフェニレンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、トリジンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、リジンメチルエステルジイソシアネート、2,4,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、4,4′−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、ω,ω′−ジイソシネートジメチルシクロヘキサン等の脂環族ジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、α,α,α′,α′−テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の芳香環を有する脂肪族ジイソシアネート、リジンエステルトリイソシアネート、1,6,11−ウンデカントリイソシアネート、1,8−ジイソシアネート−4−イソシアネートメチルオクタン、1,3,6−ヘキサメチレントリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート、トリス(イソシアネートフェニルメタン)、トリス(イソシアネートフェニル)チオホスフェート等のトリイソシアネート、及びこれらの三量体、水付加物、及びこれらのポリオール付加物等が挙げられる。ポリイソシアネートとして好ましいのは有機ジイソシアネートの三量体で、最も好ましいのはトリレンジイソシアネートの三量体とイソホロンジイソシアネートの三量体である。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 Examples of the above polyisocyanate compounds include paraphenylene diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, trizine diisocyanate and the like. Aromatic diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, lysine methyl ester diisocyanate, 2,4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, aliphatic diisocyanate such as dimerate diisocyanate, isophorone diisocyanate, 4,4'-methylenebis (cyclohexylisocyanate), ω, ω Alicyclic diisocyanate such as ′-diisocinatedimethylcyclohexane, aliphatic diisocyanate having aromatic ring such as xylylene diisocyanate, α, α, α ′, α ′-tetramethylxylylene diisocyanate, lysine ester triisocyanate, 1, 6,11-Undecantriisocyanate, 1,8-diisocyanate-4-isocyanatemethyloctane, 1,3,6-hexamethylenetriisocyanate, bicycloheptantriisocyanate, tris (isocyanatephenylmethane), tris (isocyanatephenyl) thiophosphate Such as triisocyanates, trimerics thereof, water adducts, and polyol adducts thereof. The polyisocyanate is preferably a trimer of organic diisocyanate, and most preferably a trimer of tolylene diisocyanate and a trimer of isophorone diisocyanate. These may be used alone or in combination of two or more.

イソシアネートの三量体の製造方法としては、前記ポリイソシアネート類を適当な三量化触媒、例えば第三級アミン類、ホスフィン類、アルコキシド類、金属酸化物、カルボン酸塩類等を用いてイソシアネート基の部分的な三量化を行い、触媒毒の添加により三量化を停止させた後、未反応のポリイソシアネートを溶剤抽出、薄膜蒸留により除去して目的のイソシアヌレート基含有ポリイソシアネートを得る方法が挙げられる。 As a method for producing an isocyanate trimer, the polyisocyanate is subjected to an isocyanate group moiety using an appropriate trimerization catalyst such as tertiary amines, phosphins, alkoxides, metal oxides, carboxylates and the like. A method of obtaining a desired isocyanurate group-containing polyisocyanate by performing a trimerization, stopping the trimerization by adding a catalytic poison, and then removing the unreacted polyisocyanate by solvent extraction and thin film distillation.

同一分子内に水酸基を1個又は2個有する数平均分子量300〜10,000の化合物としては、ポリエーテルグリコール、ポリエステルグリコール、ポリカーボネートグリコール、ポリオレフィングリコール等、及びこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数1〜25のアルキル基でアルコキシ化されたもの及びこれら2種類以上の混合物が挙げられる。 As a compound having one or two hydroxyl groups in the same molecule and having an average molecular weight of 300 to 10,000, polyether glycol, polyester glycol, polycarbonate glycol, polyolefin glycol and the like, and one-terminal hydroxyl group of these compounds have the number of carbon atoms. Examples thereof include those alkenylated with 1 to 25 alkyl groups and mixtures of two or more of these.

ポリエーテルグリコールとしては、ポリエーテルジオール、ポリエーテルエステルジオール、及びこれら2種類以上の混合物が挙げられる。ポリエーテルジオールとしては、アルキレンオキシドを単独又は共重合させて得られるもの、例えばポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレン−プロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール、ポリオキシヘキサメチレングリコール、ポリオキシオクタメチレングリコール及びそれらの2種以上の混合物が挙げられる。 Examples of the polyether glycol include a polyether diol, a polyether ester diol, and a mixture of two or more of these. Polyether diols are obtained by using alkylene oxide alone or in copolymerization, for example, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyethylene-propylene glycol, polyoxytetramethylene glycol, polyoxyhexamethylene glycol, polyoxyoctamethylene glycol and them. A mixture of two or more of the above can be mentioned.

ポリエーテルエステルジオールとしては、エーテル基含有ジオールもしくは他のグリコールとの混合物をジカルボン酸又はそれらの無水物と反応させるか、又はポリエステルグリコールにアルキレンオキシドを反応させることによって得られるもの、例えばポリ(ポリオキシテトラメチレン)アジペート等が挙げられる。ポリエーテルグリコールとして最も好ましいのはポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール又はこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数1〜25のアルキル基でアルコキシ化された化合物である。 Polyester ester diols are obtained by reacting ether group-containing diols or mixtures with other glycols with dicarboxylic acids or their anhydrides, or by reacting polyester glycols with alkylene oxides, such as poly (poly). Oxytetramethylene) adipate and the like. The most preferable polyether glycol is polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyoxytetramethylene glycol, or a compound in which one terminal hydroxyl group of these compounds is alkoxylated with an alkyl group having 1 to 25 carbon atoms.

ポリエステルグリコールとしては、ジカルボン酸(コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン酸、フマル酸、マレイン酸、フタル酸等)又はそれらの無水物とグリコール(エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、2−メチル−1,3−プロパンジオール、2−メチル−2−プロピル−1,3−プロパンジオール、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、2−メチル−2,4−ペンタンジオール、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオール、2−エチル−1,3−ヘキサンジオール、2,5−ジメチル−2,5−ヘキサンジオール、1,8−オクタメチレングリコール、2−メチル−1,8−オクタメチレングリコール、1,9−ノナンジオール等の脂肪族グリコール、ビスヒドロキシメチルシクロヘキサン等の脂環族グリコール、キシリレングリコール、ビスヒドロキシエトキシベンゼン等の芳香族グリコール、N−メチルジエタノールアミン等のN−アルキルジアルカノールアミン等)とを重縮合させて得られたもの、例えばポリエチレンアジペート、ポリブチレンアジペート、ポリヘキサメチレンアジペート、ポリエチレン/プロピレンアジペート等、又は前記ジオール類又は炭素数1〜25の1価アルコールを開始剤として用いて得られるポリラクトンジオール又はポリラクトンモノオール、例えばポリカプロラクトングリコール、ポリメチルバレロラクトン及びこれらの2種以上の混合物が挙げられる。ポリエステルグリコールとして最も好ましいのはポリカプロラクトングリコール又は炭素数1〜25のアルコールを開始剤としたポリカプロラクトンである。 Examples of polyester glycols include dicarboxylic acids (succinic acid, glutaric acid, adipic acid, sebacic acid, fumaric acid, maleic acid, phthalic acid, etc.) or their anhydrides and glycols (ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol, etc.). Dipropylene glycol, tripropylene glycol, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 2,3-butanediol, 3-methyl-1,5-pentanediol, neopentyl glycol , 2-Methyl-1,3-propanediol, 2-methyl-2-propyl-1,3-propanediol, 2-butyl-2-ethyl-1,3-propanediol, 1,5-pentanediol, 1 , 6-Glycoldiol, 2-Methyl-2,4-Pentanediol, 2,2,4-trimethyl-1,3-Pentanediol, 2-Ethyl-1,3-Hexanediol, 2,5-dimethyl-2 , 5-Hexanediol, 1,8-octamethylene glycol, 2-methyl-1,8-octamethylene glycol, 1,9-nonanediol and other aliphatic glycols, bishydroxymethylcyclohexane and other alicyclic glycols, xyl It is obtained by polycondensing with aromatic glycol such as len glycol, bishydroxyethoxybenzene, N-alkyldialkanolamine such as N-methyldiethanolamine), for example, polyethylene adipate, polybutylene adipate, polyhexamethylene adipate. Polylactone diols or polylactone monools obtained by using the above diols or monovalent alcohols having 1 to 25 carbon atoms as an initiator, such as polyethylene / propylene adipate, for example, polycaprolactone glycols, polymethylvalerolactones and the like. Examples include a mixture of two or more. The most preferable polyester glycol is polycaprolactone glycol or polycaprolactone using an alcohol having 1 to 25 carbon atoms as an initiator.

ポリカーボネートグリコールとしては、ポリ(1,6−ヘキシレン)カーボネート、ポリ(3−メチル−1,5−ペンチレン)カーボネート等、ポリオレフィングリコールとしてはポリブタジエングリコール、水素添加型ポリブタジエングリコール、水素添加型ポリイソプレングリコール等が挙げられる。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Polycarbonate glycol includes poly (1,6-hexylene) carbonate, poly (3-methyl-1,5-pentylene) carbonate and the like, and polyolefin glycols include polybutadiene glycol, hydrogenated polybutadiene glycol, hydrogenated polyisoprene glycol and the like. Can be mentioned.
These may be used alone or in combination of two or more.

同一分子内に水酸基を1個又は2個有する化合物の数平均分子量は、通常300〜10,000、好ましくは500〜6,000、更に好ましくは1,000〜4,000である。
本発明に用いられる同一分子内に活性水素と三級アミノ基を有する化合物を説明する。活性水素、即ち、酸素原子、窒素原子又はイオウ原子に直接結合している水素原子としては、水酸基、アミノ基、チオール基等の官能基中の水素原子が挙げられ、中でもアミノ基、特に一級のアミノ基の水素原子が好ましい。
The number average molecular weight of the compound having one or two hydroxyl groups in the same molecule is usually 300 to 10,000, preferably 500 to 6,000, and more preferably 1,000 to 4,000.
A compound having an active hydrogen and a tertiary amino group in the same molecule used in the present invention will be described. Examples of active hydrogen, that is, a hydrogen atom directly bonded to an oxygen atom, a nitrogen atom or a sulfur atom include a hydrogen atom in a functional group such as a hydroxyl group, an amino group and a thiol group, and among them, an amino group, particularly a first-class one. A hydrogen atom of an amino group is preferable.

三級アミノ基は、特に限定されないが、例えば炭素数1〜4のアルキル基を有するアミノ基、又はヘテロ環構造、より具体的にはイミダゾール環又はトリアゾール環などが挙げられる。
このような同一分子内に活性水素と三級アミノ基を有する化合物を例示するならば、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジエチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジプロピル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジブチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジメチルエチレンジアミン、N,N−ジエチルエチレンジアミン、N,N−ジプロピルエチレンジアミン、N,N−ジブチルエチレンジアミン、N,N−ジメチル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジエチル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジプロピル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジブチル−1,4−ブタンジアミン等が挙げられる。
The tertiary amino group is not particularly limited, and examples thereof include an amino group having an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a heterocyclic structure, and more specifically, an imidazole ring or a triazole ring.
To exemplify such a compound having an active hydrogen and a tertiary amino group in the same molecule, N, N-dimethyl-1,3-propanediamine, N, N-diethyl-1,3-propanediamine, N , N-dipropyl-1,3-propanediamine, N, N-dibutyl-1,3-propanediamine, N, N-dimethylethylenediamine, N, N-diethylethylenediamine, N, N-dipropylethylenediamine, N, N -Dibutylethylenediamine, N, N-dimethyl-1,4-butanediamine, N, N-diethyl-1,4-butanediamine, N, N-dipropyl-1,4-butanediamine, N, N-dibutyl-1 , 4-Butandiamine and the like.

また、三級アミノ基が含窒素ヘテロ環構造である場合の該含窒素ヘテロ環としては、ピラゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、テトラゾール環、インドール環、カルバゾール環、インダゾール環、ベンズイミダゾール環、ベンゾトリアゾール環、ベンゾオキサゾール環、ベンゾチアゾール環、ベンゾチアジアゾール環等の含窒素ヘテロ5員環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、アクリジン環、イソキノリン環等の含窒素ヘテロ6員環が挙げられる。これらの含窒素ヘテロ環のうち好ましいものはイミダゾール環又はトリアゾール環である。 When the tertiary amino group has a nitrogen-containing heterocyclic structure, the nitrogen-containing heterocycle includes a pyrazole ring, an imidazole ring, a triazole ring, a tetrazole ring, an indole ring, a carbazole ring, an indazole ring, a benzimidazole ring, and a benzo. Nitrogen-containing hetero 5-membered ring such as triazole ring, benzoxazole ring, benzothiazole ring, benzothiasiazole ring, pyridine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, aclysine ring, isoquinoline ring and other nitrogen-containing hetero 6-membered ring. Ring is mentioned. Of these nitrogen-containing heterocycles, the imidazole ring or the triazole ring is preferable.

これらのイミダゾール環とアミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、1−(3−アミノプロピル)イミダゾール、ヒスチジン、2−アミノイミダゾール、1−(2−アミノエチル)イミダゾール等が挙げられる。また、トリアゾール環とアミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、5−(2−アミノ−5−クロロフェニル)−3−フェニル−1H−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−4H−1,2,4−トリアゾール−3,5−ジオール、3−アミノ−5−フェニル−1H−1,3,4−トリアゾール、5−アミノ−1,4−ジフェニル−1,2,3−トリアゾール、3−アミノ−1−ベンジル−1H−2,4−トリアゾール等が挙げられる。中でも、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジエチル−1,3−プロパンジアミン、1−(3−アミノプロピル)イミダゾール、3−アミノ−1,2,4−トリアゾールが好ましい。 Specific examples of these compounds having an imidazole ring and an amino group include 1- (3-aminopropyl) imidazole, histidine, 2-aminoimidazole, 1- (2-aminoethyl) imidazole and the like. Specific examples of the compound having a triazole ring and an amino group include 3-amino-1,2,4-triazole and 5- (2-amino-5-chlorophenyl) -3-phenyl-1H-1. , 2,4-Triazole, 4-amino-4H-1,2,4-Triazole-3,5-diol, 3-amino-5-phenyl-1H-1,3,4-triazole, 5-amino-1 , 4-Diphenyl-1,2,3-triazole, 3-amino-1-benzyl-1H-2,4-triazole and the like. Among them, N, N-dimethyl-1,3-propanediamine, N, N-diethyl-1,3-propanediamine, 1- (3-aminopropyl) imidazole, 3-amino-1,2,4-triazole preferable.

これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
ウレタン系高分子分散剤を製造する際の原料の好ましい配合比率はポリイソシアネート化合物100質量部に対し、同一分子内に水酸基を1個又は2個有する数平均分子量300〜10,000の化合物が10〜200質量部、好ましくは20〜190質量部、更に好ましくは30〜180質量部、同一分子内に活性水素と三級アミノ基を有する化合物が0.2〜25質量部、好ましくは0.3〜24質量部である。
These may be used alone or in combination of two or more.
The preferred blending ratio of the raw materials for producing a urethane-based polymer dispersant is 10 compounds having a number average molecular weight of 300 to 10,000 having one or two hydroxyl groups in the same molecule with respect to 100 parts by mass of the polyisocyanate compound. ~ 200 parts by mass, preferably 20 to 190 parts by mass, more preferably 30 to 180 parts by mass, and 0.2 to 25 parts by mass, preferably 0.3, a compound having an active hydrogen and a tertiary amino group in the same molecule. ~ 24 parts by mass.

ウレタン系高分子分散剤の製造はポリウレタン樹脂製造の公知の方法に従って行われる。製造する際の溶媒としては、通常、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸セロソルブ等のエステル類、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水素類、ダイアセトンアルコール、イソプロパノール、第二ブタノール、第三ブタノール等一部のアルコール類、塩化メチレン、クロロホルム等の塩化物、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル等のエーテル類、ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキサイド等の非プロトン性極性溶媒等が用いられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 The urethane-based polymer dispersant is produced according to a known method for producing a polyurethane resin. The solvent used for production is usually ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone and isophorone, esters such as ethyl acetate, butyl acetate and cellosolve acetate, benzene, toluene, xylene and hexane. Hydrocarbons such as, diacetone alcohol, isopropanol, second butanol, some alcohols such as tertiary butanol, chlorides such as methylene chloride and chloroform, ethers such as tetrahydrofuran and diethyl ether, dimethylformamide, N-methyl. An aprotonic polar solvent such as pyrrolidone or dimethylsulfoxide is used. These may be used alone or in combination of two or more.

上記製造に際して、通常、ウレタン化反応触媒が用いられる。この触媒としては、例えば、ジブチルチンジラウレート、ジオクチルチンジラウレート、ジブチルチンジオクトエート、スタナスオクトエート等の錫系、鉄アセチルアセトナート、塩化第二鉄等の鉄系、トリエチルアミン、トリエチレンジアミン等の三級アミン系等の1種又は2種以上が挙げられる。 In the above production, a urethanization reaction catalyst is usually used. Examples of this catalyst include tin-based catalysts such as dibutyltin dilaurate, dioctyltin dilaurate, dibutyltin dioctoate, and stanas octoate, iron-based catalysts such as iron acetylacetonate and ferric chloride, triethylamine, and triethylenediamine. One type or two or more types such as a tertiary amine type can be mentioned.

<アミン価の測定方法>
分散剤の三級アミン価は、分散剤試料中の溶剤を除いた固形分1gあたりの塩基量と当量のKOHの質量で表し、次の方法により測定することができる。
100mLのビーカーに分散剤試料の0.5〜1.5gを精秤し、50mLの酢酸で溶解する。pH電極を備えた自動滴定装置を使って、この溶液を0.1mol/LのHClO(過塩素酸)酢酸溶液にて中和滴定する。滴定pH曲線の変曲点を滴定終点とし次式によりアミン価を求める。
<Measuring method of amine value>
The tertiary amine value of the dispersant is expressed by the amount of base per 1 g of solid content excluding the solvent in the dispersant sample and the equivalent mass of KOH, and can be measured by the following method.
Weigh 0.5 to 1.5 g of the dispersant sample in a 100 mL beaker and dissolve in 50 mL of acetic acid. using automatic titrator equipped with a pH electrode, to neutralization titration of this solution with HClO 4 (perchloric acid) acetic acid solution of 0.1 mol / L. The amine value is calculated by the following equation with the inflection point of the titration pH curve as the titration end point.

アミン価[mgKOH/g]=(561×V)/(W×S)
〔但し、W:分散剤試料秤取量[g]、V:滴定終点での滴定量[mL]、S:分散剤試料の固形分濃度[質量%]を表す。〕
同一分子内に活性水素と三級アミノ基を有する化合物の導入量は反応後のアミン価で1〜100mgKOH/gの範囲に制御するのが好ましい。より好ましくは5〜95mgKOH/gの範囲である。アミン価は、塩基性アミノ基を酸により中和滴定し、酸価に対応させてKOHのmg数で表した値である。アミン価を前記下限値以上とすることで分散能力が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。
Amine value [mgKOH / g] = (561 × V) / (W × S)
[However, W: Dispersant sample weighing amount [g], V: Titration determination at the end point of titration [mL], S: Solid content concentration [mass%] of the dispersant sample. ]
The amount of the compound having an active hydrogen and a tertiary amino group in the same molecule is preferably controlled in the range of 1 to 100 mgKOH / g in terms of the amine value after the reaction. More preferably, it is in the range of 5 to 95 mgKOH / g. The amine value is a value expressed by the number of mg of KOH corresponding to the acid value by neutralizing and titrating the basic amino group with an acid. When the amine value is at least the lower limit value, the dispersibility tends to be good, and when it is at least the upper limit value, the developability tends to be good.

なお、以上の反応で高分子分散剤にイソシアネート基が残存する場合には更に、アルコールやアミノ化合物でイソシアネート基を潰すと生成物の経時安定性が高くなるので好ましい。
ウレタン系高分子分散剤の重量平均分子量(Mw)は通常1,000〜200,000、好ましくは2,000〜100,000、より好ましくは3,000〜50,000の範囲である。ウレタン系高分子分散剤の重量平均分子量(Mw)は、特に30,000以下が好ましい。重量平均分子量(Mw)を前記下限値以上とすることで分散性及び分散安定性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで溶解性が良好となり、分散性も良好となる傾向がある。分子量が30,000以下であると、特に顔料濃度の高い場合でも、アルカリ現像性が良好となる傾向がある。このような特に好ましい市販のウレタン分散剤の例としてDISPERBYK−167、182(ビックケミー社)などが挙げられる。
When the isocyanate group remains in the polymer dispersant by the above reaction, it is preferable to crush the isocyanate group with an alcohol or an amino compound because the stability of the product with time is improved.
The weight average molecular weight (Mw) of the urethane-based polymer dispersant is usually in the range of 1,000 to 200,000, preferably 2,000 to 100,000, and more preferably 3,000 to 50,000. The weight average molecular weight (Mw) of the urethane-based polymer dispersant is particularly preferably 30,000 or less. When the weight average molecular weight (Mw) is at least the lower limit value, the dispersibility and dispersion stability tend to be good, and when the weight average molecular weight (Mw) is at least the upper limit value, the solubility is good and the dispersibility is also good. There is. When the molecular weight is 30,000 or less, the alkali developability tends to be good even when the pigment concentration is particularly high. Examples of such a particularly preferable commercially available urethane dispersant include DISPERBYK-167 and 182 (Big Chemie).

(e)分散剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分中、通常50質量%以下、好ましくは30質量%以下、より好ましくは20質量%以下、さらに好ましくは15質量%以下、特に好ましくは10質量%以下であり、通常1質量%以上、好ましくは3質量%以上、より好ましくは5質量%以上、さらに好ましくは7質量%以上である。また、分散剤の含有割合は、(d)色材100質量部に対して、通常5質量部以上であり、10質量部以上が好ましく、通常200質量部以下であり、80質量部以下が好ましく、50質量部以下がより好ましく、30質量部以下がさらに好ましく、20質量部以下が特に好ましい。分散剤の含有割合を前記下限値以上とすることで十分な分散性を確保しやすい傾向があり、また、前記上限値以下とすることで他の成分の割合を減らすことなく、色濃度、感度、成膜性などを十分なものとしやすい傾向がある。 (E) The content of the dispersant is usually 50% by mass or less, preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, still more preferably 15% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. It is particularly preferably 10% by mass or less, usually 1% by mass or more, preferably 3% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, still more preferably 7% by mass or more. The content ratio of the dispersant is usually 5 parts by mass or more, preferably 10 parts by mass or more, usually 200 parts by mass or less, and preferably 80 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the coloring material (d). , 50 parts by mass or less is more preferable, 30 parts by mass or less is further preferable, and 20 parts by mass or less is particularly preferable. By setting the content ratio of the dispersant to be equal to or higher than the lower limit value, it tends to be easy to secure sufficient dispersibility, and by setting the content ratio to be lower than the upper limit value, the color density and sensitivity are not reduced without reducing the ratio of other components. , There is a tendency that the film forming property is sufficient.

特に、分散剤としては、高分子分散剤と顔料誘導体(分散助剤)とを併用することが好ましいが、この場合、顔料誘導体の含有割合は本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.1質量%以上、好ましくは0.5質量%以上、通常10質量%以下、好ましくは5質量%以下、より好ましくは2質量%以下である。 In particular, as the dispersant, it is preferable to use a polymer dispersant and a pigment derivative (dispersion aid) in combination. In this case, the content ratio of the pigment derivative is the total solid content of the photosensitive resin composition of the present invention. On the other hand, it is usually 0.1% by mass or more, preferably 0.5% by mass or more, usually 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less, and more preferably 2% by mass or less.

<チオール類>
本発明の感光性樹脂組成物は、高感度化、基板への密着性の向上のため、チオール類を含有することが好ましい。チオール類の種類としては、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、エチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、プロピレングリコールビス(3−メルカプトブチレート);(略してPGMB)、ブタンジオールビス(3−メルカプトブチレート)、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン;(商品名;カレンズMT BD1、昭和電工(株)製)、ブタンジオールトリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート);(商品名;カレンズMT PE1、昭和電工(株)製)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトブチレート)、エチレングリコールビス(3−メルカプトイソブチレート)、ブタンジオールビス(3−メルカプトイソブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトイソブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート);(略してTPMB)、トリメチロールプロパントリス(2−メルカプトイソブチレート);(略してTPMIB)、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン;(商品名;カレンズMT NR1、昭和電工(株)製)等が挙げられ、これらは種々のものが1種を単独で、或いは2種以上を混合して使用できる。好ましくは上記、PGMB、TPMB、TPMIB、カレンズMT BD1、カレンズMT PE1、カレンズMT NR1などの多官能チオールが好ましく、その中でもカレンズMT BD1、カレンズMT PE1、カレンズMT NR1がさらに好ましく、カレンズMT PE1が特に好ましい。
<Thiols>
The photosensitive resin composition of the present invention preferably contains thiols in order to increase the sensitivity and the adhesion to the substrate. Types of thiols include hexanedithiol, decandithiol, 1,4-dimethylmercaptobenzene, butanediol bisthiopropionate, butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, and trimethylolpropanetristhioglycolate. , Butanediol bisthiopropionate, trimethylolpropanetristhiopropionate, trimethylolpropanetristhioglycolate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, trishydroxyethyltristhiopropionate, Ethylene glycol bis (3-mercaptobutyrate), propylene glycol bis (3-mercaptobutyrate); (PGMB for short), butanediol bis (3-mercaptobutyrate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryl) Oxy) butane; (trade name; Karenz MT BD1, manufactured by Showa Denko Co., Ltd.), butanediol trimethylpropanetris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate); (trade name; Karenz) MT PE1, Showa Denko Co., Ltd.), Pentaerythritoltris (3-mercaptobutyrate), Ethylene glycol bis (3-mercaptoisobutyrate), Butanediol bis (3-mercaptoisobutyrate), Trimethylol propanetris (3-Mercaptoisobutyrate), trimethylolpropanetris (3-mercaptobutyrate); (TPMB for short), trimethylolpropanetris (2-mercaptoisobutyrate); (TPMIB for short), 1,3 5-Tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trion; (trade name; Karenz MT NR1, manufactured by Showa Denko Co., Ltd.) Etc., and various kinds of these can be used alone or in combination of two or more. Of these, polyfunctional thiols such as PGMB, TPMB, TPMIB, Karenz MT BD1, Karenz MT PE1, and Karenz MT NR1 are preferable, and among them, Karenz MT BD1, Karenz MT PE1, and Karenz MT NR1 are more preferable, and Karenz MT PE1 is more preferable. Especially preferable.

チオール化合物を用いる場合、チオール化合物の含有割合は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.1質量%以上、好ましくは0.3質量%以上、更に好ましくは0.5質量%以上であり、通常10質量%以下、好ましくは5質量%以下である。チオール化合物の含有割合を前記下限値以上とすることで感度低下を抑制できる傾向があり、前記上限値以下とすることで保存安定性を良好なものとしやすい傾向がある。 When a thiol compound is used, the content ratio of the thiol compound is usually 0.1% by mass or more, preferably 0.3% by mass or more, more preferably 0, based on the total solid content of the photosensitive resin composition of the present invention. It is .5% by mass or more, usually 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. When the content ratio of the thiol compound is set to the lower limit value or more, the sensitivity decrease tends to be suppressed, and when the content ratio is set to the upper limit value or less, the storage stability tends to be improved.

<溶剤>
本発明の感光性樹脂組成物は、通常、(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)色材及び必要に応じて使用される各種材料が、有機溶剤に溶解又は分散した状態で使用される。
有機溶剤としては、沸点(圧力1013.25[hPa]条件下。以下、沸点に関しては全て同様。)が100〜300℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは120〜280℃の沸点をもつ溶剤である。
このような有機溶剤としては、例えば、次のようなものが挙げられる。
<Solvent>
The photosensitive resin composition of the present invention usually contains (a) an alkali-soluble resin, (b) a photopolymerizable monomer, (c) a photopolymerization initiator, (d) a coloring material, and various materials used as necessary. Is used in a state of being dissolved or dispersed in an organic solvent.
As the organic solvent, it is preferable to select a solvent having a boiling point (pressure 1013.25 [hPa] condition; hereinafter, the same applies to all boiling points) in the range of 100 to 300 ° C. More preferably, it is a solvent having a boiling point of 120 to 280 ° C.
Examples of such an organic solvent include the following.

エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、プロピレングリコール−t−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、メトキシメチルペンタノール、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、3−メチル−3−メトキシブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルのようなグリコールモノアルキルエーテル類; Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, propylene glycol-t-butyl ether, diethylene glycol monomethyl Ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, methoxymethylpentanol, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, 3-methyl-3-methoxybutanol, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol Glycol monoalkyl ethers such as monoethyl ether, tripropylene glycol methyl ether;

エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルのようなグリコールジアルキルエーテル類;
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテートのようなグリコールアルキルエーテルアセテート類;
Glycoldialkyl ethers such as ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether;
Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, methoxybutyl Acetate, 3-methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, triethylene glycol monomethyl ether acetate, triethylene glycol monoethyl Glycolalkyl ether acetates such as ether acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate;

エチレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサノールジアセテートなどのグリコールジアセテート類;
シクロヘキサノールアセテートなどのアルキルアセテート類;
アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテルのようなエーテル類;
アセトン、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソアミルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチルアミルケトン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルノニルケトン、メトキシメチルペンタノンのようなケトン類;
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、メトキシメチルペンタノール、グリセリン、ベンジルアルコールのような1価又は多価アルコール類;
n−ペンタン、n−オクタン、ジイソブチレン、n−ヘキサン、ヘキセン、イソプレン、ジペンテン、ドデカンのような脂肪族炭化水素類;
シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシルのような脂環式炭化水素類;
Glycol diacetates such as ethylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanol diacetate;
Alkyl acetates such as cyclohexanol acetate;
Ethers such as amyl ether, diethyl ether, dipropyl ether, diisopropyl ether, dibutyl ether, diamil ether, ethylisobutyl ether, dihexyl ether;
Like acetone, methyl ethyl ketone, methyl amyl ketone, methyl isopropyl ketone, methyl isoamyl ketone, diisopropyl ketone, diisobutyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, ethyl amyl ketone, methyl butyl ketone, methylhexyl ketone, methylnonyl ketone, methoxymethylpentanone. Ketones;
Monohydric or polyhydric alcohols such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, butanediol, diethylene glycol, dipropylene glycol, triethylene glycol, methoxymethylpentanol, glycerin, benzyl alcohol;
aliphatic hydrocarbons such as n-pentane, n-octane, diisobutylene, n-hexane, hexene, isoprene, dipentene, dodecane;
Alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane, methylcyclohexane, methylcyclohexene, bicyclohexyl;

ベンゼン、トルエン、キシレン、クメンのような芳香族炭化水素類;
アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチレングリコールアセテート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、ブチルステアレート、エチルベンゾエート、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、γ−ブチロラクトンのような鎖状又は環状エステル類;
3−メトキシプロピオン酸、3−エトキシプロピオン酸のようなアルコキシカルボン酸類;
Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, cumene;
Amilformate, ethylformate, ethyl acetate, butyl acetate, propyl acetate, amyl acetate, methylisobutyrate, ethylene glycol acetate, ethylpropionate, propylpropionate, butyl butyrate, isobutyl butyrate, methyl isobutyrate, ethyl Caprilate, butyl stearate, ethyl benzoate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, 3-methoxypropionate Chain or cyclic esters such as butyl, γ-butyrolactone;
Alkoxycarboxylic acids such as 3-methoxypropionic acid, 3-ethoxypropionic acid;

ブチルクロライド、アミルクロライドのようなハロゲン化炭化水素類;
メトキシメチルペンタノンのようなエーテルケトン類;
アセトニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類等。
上記に該当する市販の溶剤としては、ミネラルスピリット、バルソル#2、アプコ#18ソルベント、アプコシンナー、ソーカルソルベントNo.1及びNo.2、ソルベッソ#150、シェルTS28 ソルベント、カルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、メチルセロソルブ(「セロソルブ」は登録商標。以下同じ。)、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ジグライム(いずれも商品名)などが挙げられる。
Halogenated hydrocarbons such as butyl chloride, amilk chloride;
Etheretones such as methoxymethylpentanone;
Nitriles such as acetonitrile and benzonitrile.
Examples of commercially available solvents corresponding to the above include Mineral Spirit, Balsol # 2, Apco # 18 Solvent, Apco Thinner, and Sokal Solvent No. 1 and No. 2. Solvento # 150, Shell TS28 Solvent, Carbitol, Ethyl Carbitol, Butyl Carbitol, Methyl Cellosolve (“Cellosolve” is a registered trademark; the same shall apply hereinafter), Ethyl Cellosolve, Ethyl Cellosolve Acetate, Methyl Cellosolve Acetate, Diglime (any of them). Product name) and so on.

これらの有機溶剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
フォトリソグラフィー法にてカラーフィルターの画素又はブラックマトリックスを形成する場合、有機溶剤としては沸点が100〜250℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは120〜230℃の沸点を持つものである。
上記有機溶剤のうち、塗布性、表面張力などのバランスが良く、組成物中の構成成分の溶解度が比較的高い点からは、グリコールアルキルエーテルアセテート類が好ましい。
These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.
When forming the pixels of the color filter or the black matrix by the photolithography method, it is preferable to select an organic solvent having a boiling point in the range of 100 to 250 ° C. More preferably, it has a boiling point of 120 to 230 ° C.
Of the above organic solvents, glycol alkyl ether acetates are preferable because they have a good balance of coatability, surface tension and the like, and the solubility of the constituent components in the composition is relatively high.

また、グリコールアルキルエーテルアセテート類は、単独で使用してもよいが、他の有機溶剤を併用してもよい。併用してもよい他の有機溶剤として、特に好ましいのはグリコールモノアルキルエーテル類である。中でも、特に組成物中の構成成分の溶解性からプロピレングリコールモノメチルエーテルが好ましい。なお、グリコールモノアルキルエーテル類は極性が高く、添加量が多すぎると顔料が凝集しやすく、後に得られる感光性樹脂組成物の粘度が上がっていくなどの保存安定性が低下する傾向があるので、溶剤中のグリコールモノアルキルエーテル類の割合は5質量%〜30質量%が好ましく、5質量%〜20質量%がより好ましい。 Further, the glycol alkyl ether acetates may be used alone or in combination with other organic solvents. As other organic solvents that may be used in combination, glycol monoalkyl ethers are particularly preferable. Of these, propylene glycol monomethyl ether is particularly preferable because of the solubility of the constituents in the composition. Glycol monoalkyl ethers have high polarity, and if the amount added is too large, the pigment tends to aggregate, and the viscosity of the photosensitive resin composition obtained later tends to increase, resulting in a decrease in storage stability. The proportion of glycol monoalkyl ethers in the solvent is preferably 5% by mass to 30% by mass, more preferably 5% by mass to 20% by mass.

また、200℃以上の沸点をもつ有機溶剤(以下「高沸点溶剤」と称す場合がある。)を併用することも好ましい。このような高沸点溶剤を併用することにより、感光性樹脂組成物は乾きにくくなるが、組成物中における顔料の均一な分散状態が、急激な乾燥により破壊されることを防止する効果がある。すなわち、例えばスリットノズル先端における、色材などの析出・固化による異物欠陥の発生を防止する効果がある。このような効果が高い点から、上述の各種溶剤の中でも、特にジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、及びジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、1,4−ブタンジオールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、トリアセチン、1,6−ヘキサンジオールジアセテートが好ましい。 It is also preferable to use an organic solvent having a boiling point of 200 ° C. or higher (hereinafter, may be referred to as “high boiling point solvent”) in combination. By using such a high boiling point solvent in combination, the photosensitive resin composition becomes difficult to dry, but there is an effect of preventing the uniformly dispersed state of the pigment in the composition from being destroyed by rapid drying. That is, for example, there is an effect of preventing the generation of foreign matter defects due to precipitation and solidification of coloring materials and the like at the tip of the slit nozzle. Among the various solvents mentioned above, dipropylene glycol methyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, and diethylene glycol monoethyl ether acetate, 1,4-butanediol diacetate, 1, 3-butylene glycol diacetate, triacetin and 1,6-hexanediol diacetate are preferred.

有機溶剤中の高沸点溶剤の含有割合は、0質量%〜50質量%が好ましく、0.5質量%〜40質量%がより好ましく、1質量%〜30質量%が特に好ましい。高沸点溶剤の含有割合を前記下限値以上とすることで、例えばスリットノズル先端で色材などが析出・固化して異物欠陥を惹き起こすことを回避できる傾向があり、また前記上限値以下とすることで組成物の乾燥温度が遅くなって減圧乾燥プロセスのタクト不良やプリベークのピン跡といった問題を回避できる傾向がある。 The content of the high boiling point solvent in the organic solvent is preferably 0% by mass to 50% by mass, more preferably 0.5% by mass to 40% by mass, and particularly preferably 1% by mass to 30% by mass. By setting the content ratio of the high boiling point solvent to the above lower limit value or more, for example, it tends to be possible to prevent the coloring material and the like from precipitating and solidifying at the tip of the slit nozzle to cause foreign matter defects, and to set it to the above upper limit value or less. As a result, the drying temperature of the composition becomes slower, and problems such as poor tact in the vacuum drying process and pin marks of prebake tend to be avoided.

本発明の感光性樹脂組成物において、有機溶剤の含有割合は特に限定されないが、塗布し易さや粘度安定性の観点から、感光性樹脂組成物中の全固形分量が好ましくは5質量%以上、より好ましくは8質量%以上、さらに好ましくは10質量%以上、特に好ましくは12質量%以上、また、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、さらに好ましくは25質量%以下、特に好ましくは20質量%以下である。 In the photosensitive resin composition of the present invention, the content ratio of the organic solvent is not particularly limited, but from the viewpoint of ease of application and viscosity stability, the total solid content in the photosensitive resin composition is preferably 5% by mass or more. More preferably 8% by mass or more, further preferably 10% by mass or more, particularly preferably 12% by mass or more, preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, still more preferably 25% by mass or less, particularly. It is preferably 20% by mass or less.

<感光性樹脂組成物のその他の配合成分>
本発明の感光性樹脂組成物には、上述の成分の他、密着向上剤、塗布性向上剤、顔料誘導体、現像改良剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤等を適宜配合することができる。
<Other ingredients of the photosensitive resin composition>
In addition to the above-mentioned components, the photosensitive resin composition of the present invention may appropriately contain an adhesion improver, a coatability improver, a pigment derivative, a development improver, an ultraviolet absorber, an antioxidant and the like.

<密着向上剤>
基板との密着性を改善するため、密着向上剤を含有させてもよく、例えば、シランカップリング剤、チタンカップリング剤等が挙げられるが、特にシランカップリング剤が好ましい。
このようなシランカップリング剤としては、例えば、KBM−402、KBM−403、KBM−502、KBM−5103、KBE−9007、X−12−1048、X12−1050(信越シリコーン社製)、Z−6040、Z−6043、Z−6062(東レ・ダウコーニング社製)等が挙げられる。なお、シランカップリング剤は、1種を用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
さらに、シランカップリング剤以外の密着向上剤を本発明の感光性樹脂組成物に含有させてもよく、例えば、リン酸系密着向上剤、その他の密着向上剤等が挙げられる。
<Adhesion improver>
In order to improve the adhesion to the substrate, an adhesion improver may be contained, and examples thereof include a silane coupling agent and a titanium coupling agent, and a silane coupling agent is particularly preferable.
Examples of such a silane coupling agent include KBM-402, KBM-403, KBM-502, KBM-5103, KBE-9007, X-12-1048, X12-1050 (manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.), Z-. 6040, Z-6043, Z-6062 (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.) and the like can be mentioned. As the silane coupling agent, one type may be used, or two or more types may be used in combination in any combination and ratio.
Further, an adhesion improver other than the silane coupling agent may be contained in the photosensitive resin composition of the present invention, and examples thereof include a phosphoric acid-based adhesion improver and other adhesion improvers.

リン酸系密着向上剤としては、(メタ)アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類が好ましく、中でも下記一般式(g1)、(g2)、(g3)で表されるものが好ましい。 As the phosphoric acid-based adhesion improver, (meth) acryloyloxy group-containing phosphates are preferable, and among them, those represented by the following general formulas (g1), (g2) and (g3) are preferable.

Figure 0006977662
Figure 0006977662

上記一般式(g1)、(g2)、(g3)において、R51は各々独立に水素原子又はメチル基を示し、l及びl’は各々独立に1〜10の整数、mは各々独立に1、2又は3である。
その他の密着向上剤としては、TEGOAdd Bond LTH(Evonik社製)などが挙げられる。これらの燐酸基含有化合物やその他の密着剤も1種類を単独で用いても、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
In the above general formulas (g1), (g2), and (g3), R 51 independently represents a hydrogen atom or a methyl group, l and l'are independently integers of 1 to 10, and m is independently 1 each. 2 or 3.
Examples of other adhesion improvers include TEGO * Add Bond LTH (manufactured by Evonik). These phosphoric acid group-containing compounds and other adhesives may be used alone or in combination of two or more.

感光性樹脂組成物中の密着向上剤の含有割合は特に限定されないが、全固形分中0.1質量%以上であることが好ましく、0.3質量%以上であることがより好ましく、0.5質量%以上がさらに好ましく、1質量%以上が特に好ましく、また、25質量%以下であることが好ましく、20質量%以下であることがより好ましく、10質量%以下であることがさらに好ましく、8質量%以下であることが特に好ましく、6質量%以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで基板との密着性を良好にできる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでアルカリ現像時の残渣を抑制できる傾向がある。 The content ratio of the adhesion improver in the photosensitive resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.3% by mass or more, and 0. 5% by mass or more is more preferable, 1% by mass or more is particularly preferable, 25% by mass or less is preferable, 20% by mass or less is more preferable, and 10% by mass or less is further preferable. It is particularly preferably 8% by mass or less, and most preferably 6% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, the adhesion to the substrate tends to be good, and when it is set to the upper limit value or less, the residue during alkaline development tends to be suppressed.

<塗布性向上剤>
本発明の感光性樹脂組成物には、塗布性向上のため、塗布性向上剤として界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、例えば、アニオン系、カチオン系、非イオン系および両性界面活性剤等各種のものを用いることができる。中でも、諸特性に悪影響を及ぼす可能性が低い点で、非イオン系界面活性剤を用いるのが好ましく、中でもフッ素系またはシリコン系の界面活性剤が塗布性の面で効果的である。
<Applicability improver>
The photosensitive resin composition of the present invention may contain a surfactant as a coatability improver in order to improve the coatability. As the surfactant, for example, various kinds such as anionic type, cationic type, nonionic type and amphoteric surfactant can be used. Among them, it is preferable to use a nonionic surfactant because it is unlikely to adversely affect various properties, and among them, a fluorine-based or silicon-based surfactant is effective in terms of coatability.

このような界面活性剤としては、例えば、TSF4460(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製)、DFX−18(ネオス社製)、BYK−300、BYK−325、BYK−330(ビックケミー社製)、KP340(信越シリコーン社製)、F−470、F−475、F−478、F−554、F−559(DIC社製)、SH7PA(東レ・ダウコーニング社製)、DS−401(ダイキン社製)、L−77(日本ユニカー社製)およびFC4430(3Mジャパン社製)等が挙げられる。なお、界面活性剤は、1種を用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
感光性樹脂組成物中の界面活性剤の含有割合は特に限定されないが、全固形分中0.01質量%以上であることが好ましく、0.05質量%以上であることがより好ましく、0.10質量%以上であることがさらに好ましく、また、1.0質量%以下であることが好ましく、0.7質量%以下であることがより好ましく、0.5質量%以下であることがさらに好ましく、0.3質量%以下であることが特に好ましい。界面活性剤の含有割合を前記下限値以上とすることでレジスト塗布均一性がよくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでレジスト感度が下がらない傾向がある。
Examples of such surfactants include TSF4460 (manufactured by Momentive Performance Materials), DFX-18 (manufactured by Neos), BYK-300, BYK-325, BYK-330 (manufactured by Big Chemie), and KP340. (Manufactured by Shinetsu Silicone), F-470, F-475, F-478, F-554, F-559 (manufactured by DIC), SH7PA (manufactured by Toray Dow Corning), DS-401 (manufactured by Daikin) , L-77 (manufactured by Nippon Unicar), FC4430 (manufactured by 3M Japan) and the like. As the surfactant, one type may be used, or two or more types may be used in combination in any combination and ratio.
The content ratio of the surfactant in the photosensitive resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and 0. It is more preferably 10% by mass or more, more preferably 1.0% by mass or less, still more preferably 0.7% by mass or less, still more preferably 0.5% by mass or less. , 0.3% by mass or less is particularly preferable. When the content ratio of the surfactant is not less than the lower limit value, the resist coating uniformity tends to be improved, and when it is not more than the upper limit value, the resist sensitivity tends not to be lowered.

<顔料誘導体>
本発明の感光性樹脂組成物には、分散性、保存性向上のため、顔料誘導体を含有させてもよい。顔料誘導体としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、キノフタロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、アントラキノン系、インダンスレン系、ペリレン系、ペリノン系、ジケトピロロピロール系、ジオキサジン系等の誘導体が挙げられるが、中でもフタロシアニン系、キノフタロン系が好ましい。
<Pigment derivative>
The photosensitive resin composition of the present invention may contain a pigment derivative in order to improve dispersibility and storage stability. Pigment derivatives include azo-based, phthalocyanine-based, quinacridone-based, benzimidazolone-based, quinophthalone-based, isoindoleinone-based, dioxazine-based, anthraquinone-based, indanthrone-based, perylene-based, perinone-based, diketopyrrolopyrrole-based, and dioxazine. Derivatives such as phthalocyanines can be mentioned, but phthalocyanine-based and quinophthalone-based derivatives are preferable.

顔料誘導体の置換基としてはスルホン酸基、スルホンアミド基及びその四級塩、フタルイミドメチル基、ジアルキルアミノアルキル基、水酸基、カルボキシル基、アミド基等が顔料骨格に直接又はアルキル基、アリール基、複素環基等を介して結合したものが挙げられ、好ましくはスルホン酸基である。またこれら置換基は一つの顔料骨格に複数置換していてもよい。顔料誘導体の具体例としてはフタロシアニンのスルホン酸誘導体、キノフタロンのスルホン酸誘導体、アントラキノンのスルホン酸誘導体、キナクリドンのスルホン酸誘導体、ジケトピロロピロールのスルホン酸誘導体、ジオキサジンのスルホン酸誘導体等が挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 As the substituent of the pigment derivative, a sulfonic acid group, a sulfonamide group and a quaternary salt thereof, a phthalimidemethyl group, a dialkylaminoalkyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, an amide group and the like are directly on the pigment skeleton or an alkyl group, an aryl group or a complex. Examples thereof include those bonded via a ring group or the like, and a sulfonic acid group is preferable. Further, a plurality of these substituents may be substituted into one pigment skeleton. Specific examples of the pigment derivative include phthalocyanine sulfonic acid derivative, quinophthalone sulfonic acid derivative, anthraquinone sulfonic acid derivative, quinacridone sulfonic acid derivative, diketopyrrolopyrrole sulfonic acid derivative, dioxazine sulfonic acid derivative and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

<感光性樹脂組成物の製造方法>
本発明の感光性樹脂組成物(以下、「レジスト」と称することがある。)は、常法に従って製造される。
通常、(d)色材は、予めペイントコンディショナー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミル、ストーンミル、ジェットミル、ホモジナイザー等を用いて分散処理するのが好ましい。分散処理により(d)色材が微粒子化されるため、レジストの塗布特性が向上する。また、(d)色材として黒色色材を使用した場合は遮光能力の向上に寄与する。
<Manufacturing method of photosensitive resin composition>
The photosensitive resin composition of the present invention (hereinafter, may be referred to as "resist") is produced according to a conventional method.
Usually, (d) the coloring material is preferably dispersed in advance using a paint conditioner, a sand grinder, a ball mill, a roll mill, a stone mill, a jet mill, a homogenizer, or the like. Since the (d) coloring material is made into fine particles by the dispersion treatment, the coating characteristics of the resist are improved. Further, (d) when a black color material is used as the color material, it contributes to the improvement of the light-shielding ability.

分散処理は、通常、(d)色材、溶剤、及び必要に応じて(e)分散剤、(a)アルカリ可溶性樹脂の一部又は全部を併用した系にて行うことが好ましい。(以下、分散処理に供する混合物、及び該処理にて得られた組成物を「インク」又は「顔料分散液」と称することがある。)特に分散剤として高分子分散剤を用いると、得られたインク及びレジストの経時の増粘が抑制される(分散安定性に優れる)ので好ましい。
なお、感光性樹脂組成物に配合する全成分を含有する液に対して分散処理を行った場合、分散処理時に生じる発熱のため、高反応性の成分が変性する可能性がある。従って、高分子分散剤を含む系にて分散処理を行うことが好ましい。
The dispersion treatment is usually preferably carried out in a system in which (d) a coloring material, a solvent, and if necessary, (e) a dispersant and (a) a part or all of an alkali-soluble resin are used in combination. (Hereinafter, the mixture to be subjected to the dispersion treatment and the composition obtained by the treatment may be referred to as "ink" or "pigment dispersion liquid".) In particular, when a polymer dispersant is used as the dispersant, the mixture is obtained. It is preferable because the thickening of the ink and the resist over time is suppressed (excellent in dispersion stability).
When the liquid containing all the components to be blended in the photosensitive resin composition is subjected to the dispersion treatment, the highly reactive component may be denatured due to the heat generated during the dispersion treatment. Therefore, it is preferable to perform the dispersion treatment in a system containing a polymer dispersant.

サンドグラインダーで(d)色材を分散させる場合には、0.1〜8mm程度の径のガラスビーズ又はジルコニアビーズが好ましく用いられる。分散処理条件は、温度は通常、0℃から100℃であり、好ましくは、室温から80℃の範囲である。分散時間は液の組成及び分散処理装置のサイズ等により適正時間が異なるため適宜調節する。レジストの20度鏡面光沢度(JIS Z8741)が100〜200の範囲となるように、インキの光沢を制御するのが分散の目安である。レジストの光沢度が前記下限値以上の場合には、分散処理が十分となり、荒い顔料(色材)粒子が残っていることが少なく、現像性、密着性、解像性等が十分となる傾向がある。また、光沢値が前記上限値以下の場合には、顔料が破砕して超微粒子が多数生じ、却って分散安定性が損なわれるのを回避できる傾向がある。 When (d) the coloring material is dispersed by a sand grinder, glass beads or zirconia beads having a diameter of about 0.1 to 8 mm are preferably used. The dispersion treatment conditions are such that the temperature is usually 0 ° C to 100 ° C, preferably in the range of room temperature to 80 ° C. The dispersion time varies depending on the composition of the liquid, the size of the dispersion treatment apparatus, etc., and is appropriately adjusted. The guideline for dispersion is to control the gloss of the ink so that the 20-degree mirror gloss (JIS Z8741) of the resist is in the range of 100 to 200. When the glossiness of the resist is at least the above lower limit value, the dispersion treatment is sufficient, coarse pigment (coloring material) particles are less likely to remain, and the developability, adhesion, resolution, etc. tend to be sufficient. There is. Further, when the gloss value is not more than the upper limit value, it tends to be possible to avoid that the pigment is crushed and a large number of ultrafine particles are generated, and the dispersion stability is rather impaired.

次に、上記分散処理により得られたインキと、レジスト中に含まれる、上記の他の成分を混合し、均一な溶液とする。レジストの製造工程においては、微細なゴミが液中に混じることが多いため、得られたレジストはフィルター等により濾過処理するのが望ましい。 Next, the ink obtained by the above dispersion treatment and the above other components contained in the resist are mixed to obtain a uniform solution. In the resist manufacturing process, fine dust is often mixed in the liquid, so it is desirable to filter the obtained resist with a filter or the like.

[硬化物]
本発明の感光性樹脂組成物を硬化させることで、硬化物を得ることができる。感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化物は、画素、ブラックマトリックスや着色スペーサーなどのカラーフィルターを構成する部材として好適に用いることができる。
[Cursed product]
A cured product can be obtained by curing the photosensitive resin composition of the present invention. The cured product obtained by curing the photosensitive resin composition can be suitably used as a member constituting a color filter such as a pixel, a black matrix or a colored spacer.

[ブラックマトリックス]
次に、本発明の感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリックスについて、その製造方法に従って説明する。
[Black Matrix]
Next, the black matrix using the photosensitive resin composition of the present invention will be described according to the production method thereof.

(1) 支持体
ブラックマトリックスを形成するための支持体としては、適度の強度があれば、その材質は特に限定されるものではない。おもに透明基板が使用されるが、材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルフォンなどの熱可塑性樹脂製シート、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリ(メタ)アクリル系樹脂などの熱硬化性樹脂シート、又は各種ガラスなどが挙げられる。この中でも、耐熱性の観点からガラス、耐熱性樹脂が好ましい。また、基板の表面にITO、IZO等の透明電極が成膜されている場合もある。透明基板以外では、TFTアレイ上に形成することも可能である。
(1) Support The material of the support for forming the black matrix is not particularly limited as long as it has an appropriate strength. A transparent substrate is mainly used, and as the material, for example, polyester resin such as polyethylene terephthalate, polyolefin resin such as polypropylene and polyethylene, thermoplastic resin sheet such as polycarbonate, polymethylmethacrylate and polysulphon, and epoxy resin. , A heat-curable resin sheet such as an unsaturated polyester resin or a poly (meth) acrylic resin, or various types of glass. Among these, glass and heat-resistant resin are preferable from the viewpoint of heat resistance. Further, a transparent electrode such as ITO or IZO may be formed on the surface of the substrate. Other than the transparent substrate, it can be formed on the TFT array.

支持体には、接着性などの表面物性の改良のため、必要に応じ、コロナ放電処理、オゾン処理、大気圧プラズマ処理、シランカップリング剤や、ウレタン系樹脂などの各種樹脂の薄膜形成処理などを行ってもよい。
透明基板の厚さは、通常0.05〜10mm、好ましくは0.1〜7mmの範囲とされる。また各種樹脂の薄膜形成処理を行う場合、その膜厚は、通常0.01〜10μm、好ましくは0.05〜5μmの範囲である。
For the support, in order to improve the surface physical properties such as adhesiveness, if necessary, corona discharge treatment, ozone treatment, atmospheric pressure plasma treatment, silane coupling agent, thin film formation treatment of various resins such as urethane resin, etc. May be done.
The thickness of the transparent substrate is usually in the range of 0.05 to 10 mm, preferably 0.1 to 7 mm. When the thin film forming treatment of various resins is performed, the film thickness is usually in the range of 0.01 to 10 μm, preferably 0.05 to 5 μm.

(2) ブラックマトリックス
上述の本発明の感光性樹脂組成物により、本発明のブラックマトリックスを形成するには、透明基板上に本発明の感光性樹脂組成物を塗布して乾燥した後、塗膜の上にフォトマスクを置き、該フォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化或いは光硬化することによりブラックマトリックスを形成させる。
(2) Black Matrix In order to form the black matrix of the present invention with the above-mentioned photosensitive resin composition of the present invention, the photosensitive resin composition of the present invention is applied onto a transparent substrate, dried, and then coated. A photomask is placed on the surface, and a black matrix is formed by image exposure, development, and heat curing or photocuring as required through the photomask.

(3) ブラックマトリックスの形成
(3−1) 感光性樹脂組成物の塗布
ブラックマトリックス用の感光性樹脂組成物の透明基板上への塗布は、スピナー法、ワイヤーバー法、フローコート法、ダイコート法、ロールコート法、又はスプレーコート法などによって行うことができる。中でも、ダイコート法によれば、塗布液使用量が大幅に削減され、かつ、スピンコート法により行った際に付着するミストなどの影響が全くなく、異物発生が抑制されるなど、総合的な観点から好ましい。
(3) Formation of Black Matrix (3-1) Application of Photosensitive Resin Composition The application of the photosensitive resin composition for black matrix on a transparent substrate is performed by a spinner method, a wire bar method, a flow coat method, or a die coat method. , The roll coating method, the spray coating method, or the like. Above all, according to the die coating method, the amount of the coating liquid used is significantly reduced, and there is no influence of mist or the like adhering when the spin coating method is used, and the generation of foreign substances is suppressed. It is preferable from.

塗膜の厚さは、乾燥後の膜厚として、通常0.2〜10μmの範囲とするのが好ましく、より好ましいのは0.5〜6μmの範囲、更に好ましいのは1〜4μmの範囲である。前記上限値以下とすることでパターン現像が容易となり、液晶セル化工程でのギャップ調整も容易となる傾向がある。また前記下限値以上とすることで所望の色発現が容易となる傾向がある。 The thickness of the coating film is usually preferably in the range of 0.2 to 10 μm after drying, more preferably in the range of 0.5 to 6 μm, and further preferably in the range of 1 to 4 μm. be. By setting the value to the upper limit or less, pattern development tends to be easy, and gap adjustment in the liquid crystal cell formation step tends to be easy. Further, when the value is equal to or higher than the lower limit, the desired color expression tends to be facilitated.

(3−2) 塗膜の乾燥
基板に感光性樹脂組成物を塗布した後の塗膜の乾燥は、ホットプレート、IRオーブン、又はコンベクションオーブンを使用した乾燥法によるのが好ましい。乾燥の条件は、前記溶剤成分の種類、使用する乾燥機の性能などに応じて適宜選択することができる。乾燥時間は、溶剤成分の種類、使用する乾燥機の性能などに応じて、通常は、40〜200℃の温度で15秒〜5分間の範囲で選ばれ、好ましくは50〜130℃の温度で30秒〜3分間の範囲で選ばれる。
(3-2) Drying of coating film Drying of the coating film after applying the photosensitive resin composition to the substrate is preferably by a drying method using a hot plate, an IR oven, or a convection oven. The drying conditions can be appropriately selected according to the type of the solvent component, the performance of the dryer used, and the like. The drying time is usually selected in the range of 15 seconds to 5 minutes at a temperature of 40 to 200 ° C., preferably at a temperature of 50 to 130 ° C., depending on the type of solvent component, the performance of the dryer used, and the like. It is selected in the range of 30 seconds to 3 minutes.

乾燥温度は、高いほど透明基板に対する塗膜の接着性が向上するが、高すぎるとアルカリ可溶性樹脂が分解し、熱重合を誘発して現像不良を生ずる場合がある。なお、この塗膜の乾燥工程は、温度を高めず、減圧チャンバー内で乾燥を行う、減圧乾燥法であってもよい。 The higher the drying temperature, the better the adhesiveness of the coating film to the transparent substrate, but if it is too high, the alkali-soluble resin may be decomposed, inducing thermal polymerization and causing development failure. The step of drying the coating film may be a vacuum drying method in which the coating film is dried in a reduced pressure chamber without raising the temperature.

(3−3)露光
画像露光は、感光性樹脂組成物の塗膜上に、ネガのマスクパターンを重ね、このマスクパターンを介し、紫外域から可視域に至る波長の光を照射して行う。この際、必要に応じ、酸素による光重合性層の感度の低下を防ぐため、光重合性の塗膜上にポリビニルアルコール層などの酸素遮断層を形成した後に露光を行ってもよい。上記の画像露光に使用される光源は、特に限定されるものではない。光源としては、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアークなどのランプ光源などが挙げられる。特定の波長の光を照射して使用する場合には、光学フィルタを利用することもできる。
(3-3) Exposure Image exposure is performed by superimposing a negative mask pattern on a coating film of a photosensitive resin composition and irradiating light having a wavelength from the ultraviolet region to the visible region through the mask pattern. At this time, if necessary, in order to prevent the sensitivity of the photopolymerizable layer from being lowered by oxygen, exposure may be performed after forming an oxygen blocking layer such as a polyvinyl alcohol layer on the photopolymerizable coating film. The light source used for the above image exposure is not particularly limited. Examples of the light source include a lamp light source such as a xenon lamp, a halogen lamp, a tungsten lamp, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a medium pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, and a carbon arc. An optical filter can also be used when irradiating light of a specific wavelength for use.

(3−4)現像
本発明に係るブラックマトリックスは、感光性樹脂組成物による塗膜を、上記の光源によって画像露光を行った後、有機溶剤、又は、界面活性剤とアルカリ性化合物とを含む水溶液を用いる現像によって、基板上に画像を形成して作製することができる。この水溶液には、更に有機溶剤、緩衝剤、錯化剤、染料又は顔料を含ませることができる。
(3-4) Development The black matrix according to the present invention is an aqueous solution containing an organic solvent or a surfactant and an alkaline compound after image exposure of a coating film made of a photosensitive resin composition with the above-mentioned light source. An image can be formed and produced on a substrate by development using. The aqueous solution may further contain an organic solvent, a buffer, a complexing agent, a dye or a pigment.

アルカリ性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、メタケイ酸ナトリウム、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム、リン酸水素ナトリウム、リン酸水素カリウム、リン酸二水素ナトリウム、リン酸二水素カリウム、水酸化アンモニウムなどの無機アルカリ性化合物や、モノ−・ジ−又はトリエタノールアミン、モノ−・ジ−又はトリメチルアミン、モノ−・ジ−又はトリエチルアミン、モノ−又はジイソプロピルアミン、n−ブチルアミン、モノ−・ジ−又はトリイソプロパノールアミン、エチレンイミン、エチレンジイミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)、コリンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられる。これらのアルカリ性化合物は、2種以上の混合物であってもよい。 Examples of alkaline compounds include sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydrogencarbonate, potassium hydrogencarbonate, sodium silicate, potassium silicate, sodium metasilicate, sodium phosphate, and potassium phosphate. , Inorganic alkaline compounds such as sodium hydrogen phosphate, potassium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, ammonium hydroxide, mono-di or triethanolamine, mono-di or trimethylamine. , Mono-di- or triethylamine, mono- or diisopropylamine, n-butylamine, mono-di- or triisopropanolamine, ethyleneimine, ethylenediimine, tetramethylammonium hydroxide (TMAH), organic alkaline such as choline. Examples include compounds. These alkaline compounds may be a mixture of two or more kinds.

界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤、アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキルスルホン酸塩類、スルホコハク酸エステル塩類などのアニオン性界面活性剤、アルキルベタイン類、アミノ酸類などの両性界面活性剤が挙げられる。 Examples of the surfactant include nonionic surfactants such as polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkylaryl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, sorbitan alkyl esters, and monoglyceride alkyl esters, and alkylbenzene sulfonic acids. Examples thereof include anionic surfactants such as salts, alkylnaphthalene sulfonates, alkyl sulfates, alkyl sulfonates and sulfosuccinic acid ester salts, and amphoteric surfactants such as alkyl betaines and amino acids.

有機溶剤としては、例えば、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコール、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、フェニルセロソルブ、プロピレングリコール、ジアセトンアルコールなどが挙げられる。有機溶剤は、単独で用いてもよく、また、水溶液と併用してもよい。
現像処理の条件は特に制限はなく、通常、現像温度は10〜50℃の範囲、中でも15〜45℃、特に好ましくは20〜40℃で、現像方法は、浸漬現像法、スプレー現像法、ブラシ現像法、超音波現像法などのいずれかの方法によることができる。
Examples of the organic solvent include isopropyl alcohol, benzyl alcohol, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, phenyl cellosolve, propylene glycol, diacetone alcohol and the like. The organic solvent may be used alone or in combination with an aqueous solution.
The conditions of the development process are not particularly limited, and the development temperature is usually in the range of 10 to 50 ° C., particularly preferably 15 to 45 ° C., particularly preferably 20 to 40 ° C., and the development methods are a dip development method, a spray development method, and a brush. Any method such as a developing method or an ultrasonic developing method can be used.

(3−5)熱硬化処理
現像の後の基板には、熱硬化処理又は光硬化処理、好ましくは熱硬化処理を施す。この際の熱硬化処理条件は、温度は100〜280℃の範囲、好ましくは150〜250℃の範囲で選ばれ、時間は5〜60分間の範囲で選ばれる。
以上のようにして形成させたブラックマトリックスの高さは通常0.5〜5μm、好ましくは0.8〜4μmである。
さらに、厚さ1μm当たりの光学濃度(OD)が3.0以上、好ましくは3.5以上、より好ましくは3.8以上、特に好ましくは4.0以上、最も好ましくは4.2以上である。
(3-5) Thermosetting Treatment The substrate after development is subjected to a thermosetting treatment or a photocuring treatment, preferably a thermosetting treatment. The thermosetting treatment conditions at this time are selected in the range of 100 to 280 ° C., preferably 150 to 250 ° C., and the time is selected in the range of 5 to 60 minutes.
The height of the black matrix formed as described above is usually 0.5 to 5 μm, preferably 0.8 to 4 μm.
Further, the optical density (OD) per 1 μm of thickness is 3.0 or more, preferably 3.5 or more, more preferably 3.8 or more, particularly preferably 4.0 or more, and most preferably 4.2 or more. ..

[その他のカラーフィルター画像の形成]
ブラックマトリックスを設けた透明基板上に、上記(3−1)〜(3−5)と同じプロセスで赤色、緑色、青色のうち一色の色材を含有する感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、塗膜の上にフォトマスクを重ね、このフォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化又は光硬化により画素画像を形成させ、着色層を作製する。この操作を、赤色、緑色、青色の三色の感光性樹脂組成物についてそれぞれ行うことによって、カラーフィルター画像を形成することができる。これらの順番は上記に限定されるものではない。
[Formation of other color filter images]
A photosensitive resin composition containing one of red, green, and blue coloring materials is applied onto a transparent substrate provided with a black matrix by the same process as in (3-1) to (3-5) above, and dried. After that, a photomask is superposed on the coating film, and a pixel image is formed through the photomask by image exposure, development, and if necessary, heat curing or photocuring to prepare a colored layer. By performing this operation on each of the three color photosensitive resin compositions of red, green, and blue, a color filter image can be formed. These orders are not limited to the above.

[着色スペーサー]
本発明の感光性樹脂組成物は、ブラックマトリックス以外に着色スペーサー用のレジストとして使用することも可能である。スペーサーをTFT型LCDに使用する場合、TFTに入射する光によりスイッチング素子としてTFTが誤作動を起こすことがあり、着色スペーサーはこれを防止するために用いられ、例えば、日本国特開平8−234212号公報にスペーサーを遮光性とすることが記載されている。着色スペーサーは着色スペーサー用のマスクを用いる以外は前述のブラックマトリックスと同様の方法で形成することができる。
[Colored spacer]
The photosensitive resin composition of the present invention can also be used as a resist for a colored spacer in addition to the black matrix. When the spacer is used for the TFT type LCD, the TFT may malfunction as a switching element due to the light incident on the TFT, and the colored spacer is used to prevent this. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-234212 The publication describes that the spacer has a light-shielding property. The colored spacer can be formed by the same method as the above-mentioned black matrix except that a mask for the colored spacer is used.

(3−6) 透明電極の形成
カラーフィルターは、このままの状態で画像上にITOなどの透明電極を形成して、カラーディスプレー、液晶表示装置などの部品の一部として使用されるが、表面平滑性や耐久性を高めるため、必要に応じ、画像上にポリアミド、ポリイミドなどのトップコート層を設けることもできる。また一部、平面配向型駆動方式(IPSモード)などの用途においては、透明電極を形成しないこともある。
(3-6) Formation of transparent electrode A color filter is used as a part of parts such as a color display and a liquid crystal display device by forming a transparent electrode such as ITO on an image as it is, but the surface is smooth. If necessary, a top coat layer such as polyamide or polyimide can be provided on the image in order to improve the properties and durability. Further, in some applications such as a plane alignment type drive system (IPS mode), a transparent electrode may not be formed.

[画像表示装置]
本発明の画像表示装置は、本発明の感光性樹脂組成物を硬化させた硬化物を有する。画像表示装置としては、画像や映像を表示する装置であれば特に限定は受けないが、後述する液晶表示装置や有機ELディスプレイ等が挙げられる。
[Image display device]
The image display device of the present invention has a cured product obtained by curing the photosensitive resin composition of the present invention. The image display device is not particularly limited as long as it is a device that displays an image or a moving image, and examples thereof include a liquid crystal display device and an organic EL display described later.

[液晶表示装置]
本発明の液晶表示装置は、上述の本発明のブラックマトリックス、カラーフィルター画素、着色スペーサー等の硬化物を有するものであり、カラー画素やブラックマトリックスの形成順序や形成位置等特に制限を受けるものではない。
[Liquid crystal display device]
The liquid crystal display device of the present invention has a cured product such as the black matrix, color filter pixels, and colored spacers of the present invention described above, and is not particularly limited in terms of the formation order and position of the color pixels and the black matrix. No.

液晶表示装置は、通常、カラーフィルター上に配向膜を形成し、この配向膜上にスペーサーを散布した後、対向基板と貼り合わせて液晶セルを形成し、形成した液晶セルに液晶を注入し、対向電極に結線して完成する。配向膜としては、ポリイミド等の樹脂膜が好適である。配向膜の形成には、通常、グラビア印刷法及び/又はフレキソ印刷法が採用され、配向膜の厚さは数10nmとされる。熱焼成によって配向膜の硬化処理を行った後、紫外線の照射やラビング布による処理によって表面処理し、液晶の傾きを調整しうる表面状態に加工される。 A liquid crystal display device usually forms an alignment film on a color filter, sprays a spacer on the alignment film, attaches the spacer to the facing substrate to form a liquid crystal cell, and injects liquid crystal into the formed liquid crystal cell. It is completed by connecting to the counter electrode. As the alignment film, a resin film such as polyimide is suitable. A gravure printing method and / or a flexographic printing method is usually adopted for forming the alignment film, and the thickness of the alignment film is several tens of nm. After the alignment film is hardened by heat firing, it is surface-treated by irradiation with ultraviolet rays or treatment with a rubbing cloth to obtain a surface state in which the inclination of the liquid crystal can be adjusted.

スペーサーとしては、対向基板とのギャップ(隙間)に応じた大きさのものが用いられ、通常2〜8μmのものが好適である。カラーフィルター基板上に、フォトリソグラフィ法によって透明樹脂膜のフォトスペーサー(PS)を形成し、これをスペーサーの代わりに活用することもできる。対向基板としては、通常、アレイ基板が用いられ、特にTFT(薄膜トランジスタ)基板が好適である。 As the spacer, a spacer having a size corresponding to a gap (gap) with the facing substrate is used, and a spacer having a size of 2 to 8 μm is usually preferable. A photospacer (PS) of a transparent resin film can be formed on a color filter substrate by a photolithography method, and this can be used instead of the spacer. As the facing substrate, an array substrate is usually used, and a TFT (thin film transistor) substrate is particularly suitable.

対向基板との貼り合わせのギャップは、液晶表示装置の用途によって異なるが、通常2〜8μmの範囲で選ばれる。対向基板と貼り合わせた後、液晶注入口以外の部分は、エポキシ樹脂等のシール材によって封止する。シール材は、UV照射及び/又は加熱することによって硬化させ、液晶セル周辺がシールされる。
周辺をシールされた液晶セルは、パネル単位に切断した後、真空チャンバー内で減圧とし、上記液晶注入口を液晶に浸漬した後、チャンバー内をリークすることによって、液晶を液晶セル内に注入する。液晶セル内の減圧度は、通常、1×10−2〜1×10−7Paであるが、好ましくは1×10−3〜1×10−6Paである。また、減圧時に液晶セルを加温するのが好ましく、加温温度は通常30〜100℃であり、より好ましくは50〜90℃である。減圧時の加温保持は、通常10〜60分間の範囲とされ、その後液晶中に浸漬される。液晶を注入した液晶セルは、液晶注入口をUV硬化樹脂を硬化させて封止することによって、液晶表示装置(パネル)が完成する。
The gap for bonding to the facing substrate varies depending on the application of the liquid crystal display device, but is usually selected in the range of 2 to 8 μm. After bonding to the facing substrate, the parts other than the liquid crystal injection port are sealed with a sealing material such as epoxy resin. The sealing material is cured by UV irradiation and / or heating, and the periphery of the liquid crystal cell is sealed.
The liquid crystal cell whose periphery is sealed is cut into panel units, then depressurized in a vacuum chamber, the liquid crystal injection port is immersed in the liquid crystal, and then the inside of the chamber leaks to inject the liquid crystal into the liquid crystal cell. .. The degree of decompression in the liquid crystal cell is usually 1 × 10 − 2 to 1 × 10 −7 Pa, but preferably 1 × 10 − 3 to 1 × 10 − 6 Pa. Further, it is preferable to heat the liquid crystal cell at the time of depressurization, and the heating temperature is usually 30 to 100 ° C, more preferably 50 to 90 ° C. The heat retention during depressurization is usually in the range of 10 to 60 minutes, and then immersed in the liquid crystal display. A liquid crystal display device (panel) is completed by sealing the liquid crystal cell into which the liquid crystal is injected by curing the UV curable resin and sealing the liquid crystal injection port.

液晶の種類には特に制限がなく、芳香族系、脂肪族系、多環状化合物等、従来から知られている液晶であって、リオトロピック液晶、サーモトロピック液晶等のいずれでもよい。サーモトロピック液晶には、ネマティック液晶、スメスティック液晶及びコレステリック液晶等が知られているが、いずれであってもよい。 The type of liquid crystal is not particularly limited, and is a conventionally known liquid crystal such as an aromatic type, an aliphatic type, or a polycyclic compound, and may be any of a liotropic liquid crystal, a thermotropic liquid crystal, and the like. As the thermotropic liquid crystal, a nematic liquid crystal, a smestic liquid crystal, a cholesteric liquid crystal and the like are known, but any of them may be used.

[有機ELディスプレイ]
本発明の有機ELディスプレイは、本発明のカラーフィルターを用いて作製されたものである。
[Organic EL display]
The organic EL display of the present invention is manufactured by using the color filter of the present invention.

本発明のカラーフィルターを用いて有機ELディスプレイを作製する場合、例えば図1に示すように、まず透明支持基板10上に、感光性樹脂組成物により形成されたパターン(すなわち、画素20、及び隣接する画素20の間に設けられた樹脂ブラックマトリックス(図示せず))が形成されてなるカラーフィルターを作製し、該カラーフィルター上に有機保護層30及び無機酸化膜40を介して有機発光体500を積層することによって、有機EL素子100を作製することができる。なお、画素20及び樹脂ブラックマトリックスの内、少なくとも一つは本発明の感光性樹脂組成物を用いて作製されたものである。有機発光体500の積層方法としては、カラーフィルター上面へ透明陽極50、正孔注入層51、正孔輸送層52、発光層53、電子注入層54、及び陰極55を逐次形成していく方法や、別基板上へ形成した有機発光体500を無機酸化膜40上に貼り合わせる方法などが挙げられる。このようにして作製された有機EL素子100を用い、例えば「有機ELディスプレイ」(オーム社,2004年8月20日発光,時任静士、安達千波矢、村田英幸著)に記載された方法等にて、有機ELディスプレイを作製することができる。 When an organic EL display is manufactured using the color filter of the present invention, for example, as shown in FIG. 1, a pattern formed by a photosensitive resin composition (that is, pixels 20 and adjacent to each other) is first placed on a transparent support substrate 10. A color filter in which a resin black matrix (not shown) provided between the pixels 20 is formed is produced, and an organic illuminant 500 is formed on the color filter via an organic protective layer 30 and an inorganic oxide film 40. The organic EL element 100 can be manufactured by laminating the above. At least one of the pixel 20 and the resin black matrix was produced by using the photosensitive resin composition of the present invention. As a method of laminating the organic illuminant 500, a method of sequentially forming a transparent anode 50, a hole injection layer 51, a hole transport layer 52, a light emitting layer 53, an electron injection layer 54, and a cathode 55 on the upper surface of a color filter, or a method of sequentially forming a cathode 55. Examples thereof include a method of bonding the organic light emitter 500 formed on another substrate onto the inorganic oxide film 40. Using the organic EL element 100 thus produced, for example, the method described in "Organic EL Display" (Ohmsha, August 20, 2004, Luminous, Shizushi Tokito, Chihaya Adachi, Hideyuki Murata), etc. , An organic EL display can be manufactured.

なお、本発明のカラーフィルターは、パッシブ駆動方式の有機ELディスプレイにもアクティブ駆動方式の有機ELディスプレイにも適用可能である。 The color filter of the present invention can be applied to both a passive drive type organic EL display and an active drive type organic EL display.

次に、合成例、実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。 Next, the present invention will be described in more detail with reference to synthetic examples, examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples as long as the gist of the present invention is not exceeded.

<カーボンブラックインクの調製>
以下の組成及び方法で顔料、分散剤、分散助剤(顔料誘導体)、溶剤を調合し、カーボンブラックインクを調製した。
具体的にはまず、顔料、分散剤、分散助剤の固形分と溶剤が以下の量比となるように調合した。
・顔料:RAVEN1060U(ビルラー社製、カーボンブラック);52.00質量部
・分散剤:DISPERBYK−167(ビックケミー社製、塩基性ウレタン分散剤);7.30質量部(固形分換算)
・分散助剤(顔料誘導体):S12000(ルーブリゾール社製、酸性基を有するフタロシアニン系顔料誘導体);1.03質量部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA);112.04質量部
<Preparation of carbon black ink>
A carbon black ink was prepared by blending a pigment, a dispersant, a dispersion aid (pigment derivative), and a solvent according to the following composition and method.
Specifically, first, the solid content of the pigment, the dispersant, and the dispersion aid and the solvent were prepared so as to have the following amount ratios.
-Pigment: RAVEN1060U (manufactured by Biller, carbon black); 52.00 parts by mass-Dispersant: DISPERBYK-167 (manufactured by Big Chemie, basic urethane dispersant); 7.30 parts by mass (solid content conversion)
-Dispersion aid (pigment derivative): S12000 (manufactured by Lubrizol, phthalocyanine pigment derivative having an acidic group); 1.03 parts by mass-Solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA); 112.04 parts by mass

これらを十分に攪拌・混合し、分散液を得た。
次に、ペイントシェーカーにより25〜45℃の範囲で6時間分散処理を行った。ビーズとしては、直径0.5mmのジルコニアビーズを用い、分散液60質量部に対しビーズ180質量部の割合で加えた。分散終了後、フィルターによりビーズと分散液を分離して、固形分35質量%のカーボンブラックインクを調製した。
These were sufficiently stirred and mixed to obtain a dispersion liquid.
Next, a paint shaker was used to perform a dispersion treatment in the range of 25 to 45 ° C. for 6 hours. As the beads, zirconia beads having a diameter of 0.5 mm were used, and the beads were added at a ratio of 180 parts by mass to 60 parts by mass of the dispersion liquid. After the dispersion was completed, the beads and the dispersion were separated by a filter to prepare a carbon black ink having a solid content of 35% by mass.

<合成例1:アルカリ可溶性樹脂(1)の合成> <Synthesis Example 1: Synthesis of alkali-soluble resin (1)>

Figure 0006977662
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上記化学構造のエポキシ化合物(エポキシ当量264)50g、アクリル酸13.65g、3−メトキシブチルアセテート60.5g、トリフェニルホスフィン0.936g、及びパラメトキシフェノール0.032gを、温度計、攪拌機、冷却管を取り付けたフラスコに入れ、攪拌しながら90℃で酸価が5mgKOH/g以下になるまで反応させた。反応には12時間を要し、エポキシアクリレート溶液を得た。
得られたエポキシアクリレート溶液25質量部及び、トリメチロールプロパン(TMP)0.76質量部、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)3.3質量部、テトラヒドロフタル酸無水物(THPA)3.5質量部を、温度計、攪拌機、冷却管を取り付けたフラスコに入れ、攪拌しながら105℃までゆっくり昇温し反応させた。
樹脂溶液が透明になったところで、3−メトキシブチルアセテート(MBA)で希釈し、固形分50質量%となるよう調製し、酸価115mgKOH/g、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)2,600のアルカリ可溶性樹脂(1)を得た。
50 g of an epoxy compound (epoxy equivalent 264) having the above chemical structure, 13.65 g of acrylic acid, 60.5 g of 3-methoxybutyl acetate, 0.936 g of triphenylphosphine, and 0.032 g of paramethoxyphenol were added to a thermometer, stirrer, and cooling. The mixture was placed in a flask equipped with a tube and reacted at 90 ° C. with stirring until the acid value became 5 mgKOH / g or less. The reaction took 12 hours to obtain an epoxy acrylate solution.
25 parts by mass of the obtained epoxy acrylate solution, 0.76 parts by mass of trimethylolpropane (TMP), 3.3 parts by mass of biphenyltetracarboxylic acid dianhydride (BPDA), 3.5 parts by mass of tetrahydrophthalic acid anhydride (THPA). The mass part was placed in a flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a cooling tube, and the temperature was slowly raised to 105 ° C. while stirring to react.
When the resin solution became transparent, it was diluted with 3-methoxybutyl acetate (MBA) to prepare a solid content of 50% by mass, had an acid value of 115 mgKOH / g, and had a polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) measured by GPC. ) 2,600 alkali-soluble resin (1) was obtained.

<合成例2:アルカリ可溶性樹脂(2)の合成> <Synthesis Example 2: Synthesis of Alkali-Soluble Resin (2)>

Figure 0006977662
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上記化学構造のエポキシ化合物(エポキシ当量240)7.3g、アクリル酸2.2g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート6.4g、テトラエチルアンモニウムクロライド0.18g、及びp−メトキシフェノール0.007gを温度計、攪拌機、冷却管を取り付けたフラスコに入れ、攪拌しながら100℃で酸価が5mgKOH/g以下になるまで反応させた。反応には9時間を要し、エポキシアクリレート溶液を得た。
得られたエポキシアクリレート溶液16質量部、トリメチロールプロパン(TMP)0.4質量部、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)3.5質量部、テトラヒドロフタル酸無水物(THPA)0.06質量部、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)14質量部を、温度計、攪拌機、冷却管を取り付けたフラスコに入れ、攪拌しながら105℃までゆっくり昇温して反応させ、固形分40質量%、酸価100mgKOH/g、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)10,400のアルカリ可溶性樹脂(2)を得た。
7.3 g of epoxy compound (epoxy equivalent 240) with the above chemical structure, 2.2 g of acrylic acid, 6.4 g of propylene glycol monomethyl ether acetate, 0.18 g of tetraethylammonium chloride, and 0.007 g of p-methoxyphenol were added to a thermometer and agitator. The mixture was placed in a flask equipped with a cooling tube and reacted at 100 ° C. with stirring until the acid value became 5 mgKOH / g or less. The reaction took 9 hours to obtain an epoxy acrylate solution.
16 parts by mass of the obtained epoxy acrylate solution, 0.4 parts by mass of trimethylolpropane (TMP), 3.5 parts by mass of biphenyltetracarboxylic acid dianhydride (BPDA), 0.06 parts by mass of tetrahydrophthalic acid anhydride (THPA). 40 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) and 14 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) were placed in a flask equipped with a thermometer, a stirrer and a cooling tube, and the temperature was slowly raised to 105 ° C. while stirring to react, and the solid content was 40% by mass. An alkali-soluble resin (2) having an acid value of 100 mgKOH / g and a weight average molecular weight (Mw) of 10,400 in terms of polystyrene measured by GPC was obtained.

<光重合開始剤(1)> <Photopolymerization initiator (1)>

Figure 0006977662
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国際公開第第2015/036910号に記載の方法で合成した上記化学構造の光重合開始剤(1)を用いた。得られた光重合開始剤(1)をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)に溶解して0.01質量%溶液を調製し、分光光度計U−3900H(日立ハイテクサイエンス社製)を用いて吸収スペクトルを測定したところ、波長320nm〜400nmの範囲における極大吸収波長は331nmであった。 The photopolymerization initiator (1) having the above chemical structure synthesized by the method described in International Publication No. 2015/036910 was used. The obtained photopolymerization initiator (1) is dissolved in propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) to prepare a 0.01 mass% solution, which is absorbed using a spectrophotometer U-3900H (manufactured by Hitachi High-Tech Science). When the spectrum was measured, the maximum absorption wavelength in the wavelength range of 320 nm to 400 nm was 331 nm.

<光重合開始剤(2)> <Photopolymerization initiator (2)>

Figure 0006977662
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国際公開第2008/078678号に記載の方法で合成した上記化学構造の光重合開始剤(2)を用いた。光重合開始剤(1)と同様の方法で吸収スペクトルを測定したところ、極大吸収波長は368nmであった。 A photopolymerization initiator (2) having the above chemical structure synthesized by the method described in International Publication No. 2008/07786 was used. When the absorption spectrum was measured by the same method as that of the photopolymerization initiator (1), the maximum absorption wavelength was 368 nm.

<光重合開始剤(3)>
光重合開始剤(3)として、常州強力電子新材料社製のTR−PBG−314(以下の化学構造を有する化合物)を用いた。
<Photopolymerization initiator (3)>
As the photopolymerization initiator (3), TR-PBG-314 (compound having the following chemical structure) manufactured by Changzhou Strong Electronics New Materials Co., Ltd. was used.

Figure 0006977662
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光重合開始剤(1)と同様の方法で吸収スペクトルを測定したところ、極大吸収波長は339nmであった。 When the absorption spectrum was measured by the same method as that of the photopolymerization initiator (1), the maximum absorption wavelength was 339 nm.

<光重合開始剤(4)>
光重合開始剤(4)として、常州強力電子新材料社製のTR−PBG−358(以下の化学構造を有する化合物)を用いた。
<Photopolymerization initiator (4)>
As the photopolymerization initiator (4), TR-PBG-358 (compound having the following chemical structure) manufactured by Changzhou Strong Electronics New Materials Co., Ltd. was used.

Figure 0006977662
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光重合開始剤(1)と同様の方法で吸収スペクトルを測定したところ、極大吸収波長は344nmであった。 When the absorption spectrum was measured by the same method as that of the photopolymerization initiator (1), the maximum absorption wavelength was 344 nm.

<光重合性モノマー>
光重合性モノマーとして共栄社化学社製のライトアクリレートPE−4A、日本化薬製のKAYARAD DPCA−20を準備した。
<Photopolymerizable monomer>
Light acrylate PE-4A manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd. and KAYARAD DPCA-20 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. were prepared as photopolymerizable monomers.

Figure 0006977662
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Figure 0006977662
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<密着向上剤>
密着向上剤として、シランカップリング剤である信越化学工業社製のKBM−5103、及び、リン酸系密着向上剤である日本化薬社製のKAYAMER PM−21を準備した。
<Adhesion improver>
As the adhesion improver, KBM-5103 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., which is a silane coupling agent, and KAYAMER PM-21 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., which is a phosphoric acid-based adhesion improver, were prepared.

Figure 0006977662
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Figure 0006977662
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<塗布性向上剤>
塗布性向上剤として界面活性剤であるDIC社製のメガファックF−554(含フッ素基・親油性基含有オリゴマー、ノニオン型界面活性剤)を準備した。
<Applicability improver>
As a coatability improver, Megafuck F-554 (fluorine-containing group / lipophilic group-containing oligomer, nonionic type surfactant) manufactured by DIC Co., Ltd., which is a surfactant, was prepared.

<実施例1>
(ブラックレジスト1の調製)
前記<カーボンブラックインクの調製>で調製したカーボンブラックインクを用いて、表1に記載の割合となるように各成分を加え、スターラーにより攪拌、溶解させて、ブラックレジスト1を調製した。ブラックレジスト1中の全固形分は15質量%である。
<Example 1>
(Preparation of black resist 1)
Using the carbon black ink prepared in <Preparation of carbon black ink>, each component was added so as to have the ratio shown in Table 1, and the mixture was stirred and dissolved by a stirrer to prepare black resist 1. The total solid content in the black resist 1 is 15% by mass.

Figure 0006977662
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なお、表1中の溶剤の略称の意味は以下のとおりである。
PGMEA: プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
MBA: 3−メトキシブチルアセテート
EDGAC: ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート
The meanings of the abbreviations for the solvents in Table 1 are as follows.
PGMEA: Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate MBA: 3-Methoxybutyl Acetate EDGAC: Diethylene Glycol Monoethyl Ether Acetate

<実施例2>
(ブラックレジスト2の調製)
表1に示すブラックレジスト1において、光重合開始剤の合計量はそのままで、光重合開始剤(1)及び(2)の混合比率(質量%)を表2に示すように変更したこと以外は、ブラックレジスト1と同じ方法で固形分濃度15質量%のブラックレジスト2を調製した。
<Example 2>
(Preparation of black resist 2)
In the black resist 1 shown in Table 1, the total amount of the photopolymerization initiators remains the same, except that the mixing ratio (% by mass) of the photopolymerization initiators (1) and (2) is changed as shown in Table 2. , Black resist 2 having a solid content concentration of 15% by mass was prepared by the same method as that of black resist 1.

Figure 0006977662
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<実施例3>
(ブラックレジスト3の調製)
表1に示すブラックレジスト1において、光重合開始剤の合計量はそのままで、光重合開始剤(1)及び(2)の混合比率(質量%)を表2に示すように変更したこと以外は、ブラックレジスト1と同じ方法で固形分濃度15質量%のブラックレジスト3を調製した。
<Example 3>
(Preparation of black resist 3)
In the black resist 1 shown in Table 1, the total amount of the photopolymerization initiators remains the same, except that the mixing ratio (% by mass) of the photopolymerization initiators (1) and (2) is changed as shown in Table 2. , Black resist 3 having a solid content concentration of 15% by mass was prepared by the same method as that of black resist 1.

<比較例1>
(ブラックレジスト4の調製)
表1に示すブラックレジスト1において、光重合開始剤の合計量はそのままで、光重合開始剤(1)及び(2)の混合比率(質量%)を表2に示すように変更したこと以外は、ブラックレジスト1と同じ方法で固形分濃度15質量%のブラックレジスト4を調製した。
<Comparative Example 1>
(Preparation of black resist 4)
In the black resist 1 shown in Table 1, the total amount of the photopolymerization initiators remains the same, except that the mixing ratio (% by mass) of the photopolymerization initiators (1) and (2) is changed as shown in Table 2. , Black resist 4 having a solid content concentration of 15% by mass was prepared by the same method as that of black resist 1.

<比較例2>
(ブラックレジスト5の調製)
表1に示すブラックレジスト1において、光重合開始剤の合計量はそのままで、光重合開始剤(1)及び(2)の混合比率(質量%)を表2に示すように変更したこと以外は、ブラックレジスト1と同じ方法で固形分濃度15質量%のブラックレジスト5を調製した。
<Comparative Example 2>
(Preparation of black resist 5)
In the black resist 1 shown in Table 1, the total amount of the photopolymerization initiators remains the same, except that the mixing ratio (% by mass) of the photopolymerization initiators (1) and (2) is changed as shown in Table 2. , Black resist 5 having a solid content concentration of 15% by mass was prepared by the same method as that of black resist 1.

<実施例4>
(ブラックレジスト6の調製)
実施例2のブラックレジスト2において、光重合開始剤の合計量はそのままで、光重合開始剤(2)を光重合開始剤(3)に変更したこと以外は、ブラックレジスト2と同じ方法で固形分濃度15質量%のブラックレジスト6を調製した。
<Example 4>
(Preparation of black resist 6)
In the black resist 2 of Example 2, the total amount of the photopolymerization initiator remains the same, and the photopolymerization initiator (2) is changed to the photopolymerization initiator (3). A black resist 6 having a component concentration of 15% by mass was prepared.

<実施例5>
(ブラックレジスト7の調製)
実施例2のブラックレジスト2において、光重合開始剤の合計量はそのままで、光重合開始剤(2)を光重合開始剤(4)に変更したこと以外は、ブラックレジスト2と同じ方法で固形分濃度15質量%のブラックレジスト7を調製した。
<Example 5>
(Preparation of black resist 7)
In the black resist 2 of Example 2, the total amount of the photopolymerization initiator remains the same, and the photopolymerization initiator (2) is changed to the photopolymerization initiator (4). A black resist 7 having a component concentration of 15% by mass was prepared.

(ブラックレジストの評価)
(1)ブラックマトリックス(BM)細線パターンの作製
調製したブラックレジスト1〜7をスピンコーターにてガラス基板に塗布し、減圧乾燥後、ホットプレートで90℃にて100秒間乾燥した。なお、それぞれ塗布膜厚が約1.2μmとなるように塗布条件を調整した。続いて、得られた乾燥塗布膜に対し、露光機(オーク製作所社製EXF−2829−F−00)を用いて、高圧水銀灯(オーク製作所社製ADH−3000M−F−N、光学フィルターなし)により35mJ/cmで、開口幅1〜10μm(1μm刻み)および15μmの直線状開口部を有する露光マスクを介してパターン露光(プロキシミティギャップ:180μm)を行った。その後、室温(23℃)下、超純水で0.04質量%に調製したKOH水溶液をアルカリ現像液として用いて溶解時間の2.2倍の時間、スプレー現像(スプレー圧力:0.1MPa)して、未露光部を除去した後、超純水でスプレー洗浄(スプレー圧力:0.1MPa)を行い、BM細線パターンを形成した。なお、溶解時間とは、現像処理時に未露光部のブラックレジスト膜が溶解して基板表面が見え始めるまでの時間であり、各々のブラックレジストの溶解時間は20〜30秒の範囲であった。
(Evaluation of black resist)
(1) Preparation of Black Matrix (BM) Fine Line Pattern The prepared black resists 1 to 7 were applied to a glass substrate with a spin coater, dried under reduced pressure, and then dried on a hot plate at 90 ° C. for 100 seconds. The coating conditions were adjusted so that the coating film thickness was about 1.2 μm. Subsequently, the obtained dry coating film was subjected to a high-pressure mercury lamp (ADH-3000M-F-N manufactured by ORC Manufacturing Co., Ltd., without an optical filter) using an exposure machine (EXF-2829-F-00 manufactured by ORC Manufacturing Co., Ltd.). At 35 mJ / cm 2 , pattern exposure (proximity gap: 180 μm) was performed through an exposure mask having an opening width of 1 to 10 μm (in 1 μm increments) and a linear opening of 15 μm. Then, at room temperature (23 ° C.), a KOH aqueous solution prepared to 0.04% by mass with ultrapure water was used as an alkaline developing solution for 2.2 times the dissolution time, and spray development (spray pressure: 0.1 MPa). Then, after removing the unexposed portion, spray cleaning (spray pressure: 0.1 MPa) was performed with ultrapure water to form a BM fine line pattern. The dissolution time was the time until the black resist film in the unexposed portion was dissolved and the surface of the substrate was visible during the development process, and the dissolution time of each black resist was in the range of 20 to 30 seconds.

(2)BM細線パターン評価
作製した現像後のBM細線パターンに対して光学顕微鏡観察を行い、BM細線形成状態を確認し、細線密着と感度の評価を行った。結果を表3に示した。なお、細線密着と感度の評価は以下の基準にて行った。
(2) Evaluation of BM fine line pattern The BM fine line pattern produced after development was observed with an optical microscope to confirm the BM fine line formation state, and the fine line adhesion and sensitivity were evaluated. The results are shown in Table 3. The fine line adhesion and sensitivity were evaluated according to the following criteria.

(細線密着評価)
BM細線は、アルカリ現像中にBM細線/ガラス基板の接着面が浸食されて差込みが発生し、細線密着性が悪くなる場合がある。光学顕微鏡により10μm以下のラインパターン部分を観察し、例えば、8μm以上のパターンが密着し7μm以下のパターンが剥離していた場合には、細線密着を8μmと評価し、以下の通り分類した(ここでは例えば、露光マスクの開口部の幅が7μmに対応するパターンを、7μmのパターンと記載している。)。なお、評価が「○」であれば細線密着性が良好であり、「◎」であればさらに良好であると評価でき、「×」は細線密着性が悪いと評価される。
◎:7μm以上のパターンの細線が密着している。
〇:8μm以上のパターンの細線が密着している(7μm以下のパターンは剥離)。
×:9μm以上のパターンの細線が密着している(8μm以下のパターンは剥離)。
(Thin line adhesion evaluation)
In the BM fine wire, the adhesive surface of the BM fine wire / glass substrate may be eroded during alkaline development to cause insertion, resulting in poor wire adhesion. A line pattern portion of 10 μm or less was observed with an optical microscope. For example, when a pattern of 8 μm or more adhered and a pattern of 7 μm or less was peeled off, the fine line adhesion was evaluated as 8 μm and classified as follows (here). Then, for example, a pattern corresponding to the width of the opening of the exposure mask of 7 μm is described as a pattern of 7 μm). If the evaluation is "○", the fine line adhesion is good, if it is "◎", it can be evaluated to be even better, and if it is "×", the fine line adhesion is evaluated to be poor.
⊚: Fine lines having a pattern of 7 μm or more are in close contact with each other.
〇: Fine lines of patterns of 8 μm or more are in close contact (patterns of 7 μm or less are peeled off).
X: Fine lines of patterns of 9 μm or more are in close contact (patterns of 8 μm or less are peeled off).

(感度評価)
ブラックレジストは感光性樹脂組成物としての露光感度が上がると、形成されるBM細線の線幅が増える傾向にある。光学顕微鏡により15μmのラインパターンの線幅を測長して、感度の判定を以下の通り分類した(ここで例えば、露光マスクの開口部の幅が15μmに対応するパターンを、15μmのパターンと記載している。)。なお、評価が「○」であれば感度が良好であると評価でき、「×」は感度が低いと評価される。
○:15μmのパターンの線幅が15μm以上。
×:15μmのパターンの線幅が15μm未満。
(Sensitivity evaluation)
As the exposure sensitivity of the black resist as a photosensitive resin composition increases, the line width of the BM fine lines formed tends to increase. The line width of the line pattern of 15 μm was measured with an optical microscope, and the determination of sensitivity was classified as follows (for example, the pattern corresponding to the width of the opening of the exposure mask of 15 μm is described as a pattern of 15 μm. is doing.). If the evaluation is "◯", it can be evaluated that the sensitivity is good, and if the evaluation is "x", it is evaluated that the sensitivity is low.
◯: The line width of the 15 μm pattern is 15 μm or more.
X: The line width of the 15 μm pattern is less than 15 μm.

Figure 0006977662
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表3に示すように、実施例1〜5のBM細線は、いずれも細線密着と感度が共に良好であった。比較例1のBM細線は、高感度を示す一方で細線密着が低い結果となった。また、比較例2のBM細線は、良好な細線密着を示す一方で感度が低い結果となった。 As shown in Table 3, all of the BM fine wires of Examples 1 to 5 had good thin line adhesion and sensitivity. The BM fine wire of Comparative Example 1 showed high sensitivity, but the result was that the fine wire adhesion was low. Further, the BM fine wire of Comparative Example 2 showed good adhesion to the fine wire, but the sensitivity was low.

比較例1では、BM表面の硬化が強いがBM内部の硬化は不十分なため、線幅が太い割りに細線密着が悪い結果となっていると考えられる。比較例2では、BM表面の硬化が緩いがBM内部の硬化は強めのため線幅が細い割りに、細線密着が良い結果となっていると考えられる。また、実施例1〜5では、BM表面と内部の硬化がバランスよく進んでいることが細線密着と高感度の両立に繋がっていると考えられる。 In Comparative Example 1, the surface of the BM is strongly cured, but the inside of the BM is not sufficiently cured. Therefore, it is considered that the fine line adhesion is poor even though the line width is wide. In Comparative Example 2, the surface of the BM is loosely cured, but the inside of the BM is strongly cured, so that it is considered that the fine line adhesion is good even though the line width is narrow. Further, in Examples 1 to 5, it is considered that the well-balanced progress of hardening of the BM surface and the inside leads to both fine line adhesion and high sensitivity.

実施例1〜5は高感度であることで線幅は太くなるが、以下に挙げる観点からメリットが多く望ましいことである。
・感度に余裕がある分、光重合開始剤の減量が可能で、減量分をアルカリ可溶性樹脂や光重合性モノマーなどに置換えることで耐現像性や基板密着性等の性能向上に振り分けられること。
・目標線幅の形成に必要な露光量が下がる分、露光速度が増加できて生産性が向上する。一方、比較例1も高感度の結果であるが、BM内部の硬化は不十分であるため、光重合開始剤の減量や露光量の低減を行うと更なる細線密着悪化を引き起こす。
In Examples 1 to 5, the line width becomes thick due to the high sensitivity, but it is desirable because there are many merits from the following viewpoints.
・ The amount of photopolymerization initiator can be reduced as much as there is a margin in sensitivity, and by replacing the reduced amount with an alkali-soluble resin or photopolymerizable monomer, it can be allocated to improve performance such as development resistance and substrate adhesion. ..
-As the amount of exposure required to form the target line width decreases, the exposure speed can be increased and productivity is improved. On the other hand, Comparative Example 1 is also a result of high sensitivity, but since the curing inside the BM is insufficient, if the amount of the photopolymerization initiator is reduced or the exposure amount is reduced, further deterioration of fine line adhesion is caused.

本発明の効果に関して詳細な機構は明らかになっていないが以下のように考えられる。すなわち、フェニルスルフィド系の光重合開始剤は330nm付近のUV吸収能力に優れているが、一般式(I)で示される光重合開始剤(c1)が持つ縮合複素環のベンゾフラン部は色材、特にカーボンブラックとの相互作用力を高めることにより光重合開始剤(c1)の色材粒子表面への吸着を促進する。色材に吸収された光は重合に寄与せず露光感度低下の大きな原因となるが、光重合開始剤が色材表面を覆うことで、光重合開始剤に対する光吸収率が向上する。また、光重合開始剤の色材への吸着は、相対的に樹脂成分中の光重合開始剤濃度を下げるため、深部への光透過性が向上する。これにより、レジスト膜の内部硬化性が向上し、細線密着性の改善に繋がると考えられる。 Although the detailed mechanism for the effect of the present invention has not been clarified, it is considered as follows. That is, the phenyl sulfide-based photopolymerization initiator has an excellent UV absorption capacity near 330 nm, but the benzofuran portion of the condensed heterocycle possessed by the photopolymerization initiator (c1) represented by the general formula (I) is a coloring material. In particular, by enhancing the interacting force with carbon black, the adsorption of the photopolymerization initiator (c1) on the surface of the coloring material particles is promoted. The light absorbed by the coloring material does not contribute to the polymerization and is a major cause of the decrease in exposure sensitivity. However, when the photopolymerization initiator covers the surface of the coloring material, the light absorption rate for the photopolymerization initiator is improved. Further, the adsorption of the photopolymerization initiator on the coloring material relatively lowers the concentration of the photopolymerization initiator in the resin component, so that the light transmission to the deep part is improved. It is considered that this improves the internal curability of the resist film and leads to the improvement of the fine line adhesion.

ただし、光重合開始剤(c1)だけでは、露光光源のUV波長域の低波長側の一部しか利用しておらず、十分な感度が得られないため、極大吸収波長が長波長域にある光重合開始剤(c2)と組合せることで感度、特に表面感度が底上げできる。光重合開始剤(c1)と光重合開始剤(c2)の間には極大吸収波長の差があるため、併用による内部硬化性への影響は抑えられる。これらにより、表面感度と内部硬化を同時に高めることができたと考えられる。
以上より、本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、高感度かつ細線密着性能に優れる感光性樹脂組成物が提供可能であることがわかる。
However, since the photopolymerization initiator (c1) alone uses only a part of the low wavelength side of the UV wavelength range of the exposure light source and sufficient sensitivity cannot be obtained, the maximum absorption wavelength is in the long wavelength range. Sensitivity, especially surface sensitivity, can be raised by combining with the photopolymerization initiator (c2). Since there is a difference in the maximum absorption wavelength between the photopolymerization initiator (c1) and the photopolymerization initiator (c2), the influence on the internal curability due to the combined use can be suppressed. It is considered that these made it possible to increase the surface sensitivity and the internal curing at the same time.
From the above, it can be seen that by using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to provide a photosensitive resin composition having high sensitivity and excellent fine wire adhesion performance.

本発明を特定の態様を用いて詳細に説明したが、本発明の意図と範囲を離れることなく様々な変更および変形が可能であることは、当業者にとって明らかである。なお、本出願は2016年9月16日付で出願された日本特許出願(特願2016−181932)に基づいており、その全体が引用により援用される。 Although the present invention has been described in detail with particular embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible without departing from the intent and scope of the invention. This application is based on a Japanese patent application filed on September 16, 2016 (Japanese Patent Application No. 2016-181932), which is incorporated by reference in its entirety.

10 透明支持基板
20 画素
30 有機保護層
40 無機酸化膜
50 透明陽極
51 正孔注入層
52 正孔輸送層
53 発光層
54 電子注入層
55 陰極
100 有機EL素子
500 有機発光体
10 Transparent support substrate 20 pixels 30 Organic protective layer 40 Inorganic oxide film 50 Transparent anode 51 Hole injection layer 52 Hole transport layer 53 Light emitting layer 54 Electron injection layer 55 Cathode 100 Organic EL element 500 Organic light emitter

Claims (10)

(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤及び(d)色材を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(c)光重合開始剤が、下記一般式(I)で表される光重合開始剤(c1)、及び、波長320nm〜400nmの範囲における極大吸収波長が334nm以上である光重合開始剤(c2)を含有し(但し、前記光重合開始剤(c1)と2,4−ジエチルチオキサントンとの組合せ、及び、前記光重合開始剤(c1)とビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイドとの組合せを除く。)
前記(c)光重合開始剤における、前記光重合開始剤(c1)の含有割合が30質量%以上60質量%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 0006977662
(式(I)中、Rは置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
は置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
kは0又は1を表す。
〜Rは各々独立に、任意の1価の置換基を表す。
l、m及びoは各々独立に、0〜3の整数を表す。nは0又は1を表す。)
A photosensitive resin composition containing (a) an alkali-soluble resin, (b) a photopolymerizable monomer, (c) a photopolymerization initiator, and (d) a coloring material.
The (c) photopolymerization initiator is a photopolymerization initiator (c1) represented by the following general formula (I), and a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength of 334 nm or more in the wavelength range of 320 nm to 400 nm. It contains c2) (however, the combination of the photopolymerization initiator (c1) and 2,4-diethylthioxanthone, and the photopolymerization initiator (c1) and bis (2,4,6-trimethylbenzoyl)-. Excluding the combination with phenylphosphin oxide.) ,
A photosensitive resin composition, wherein the content ratio of the photopolymerization initiator (c1) in the (c) photopolymerization initiator is 30% by mass or more and 60% by mass or less.
Figure 0006977662
(In formula (I), R 1 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
R 2 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
k represents 0 or 1.
R 3 to R 6 each independently represent an arbitrary monovalent substituent.
l, m and o each independently represent an integer of 0 to 3. n represents 0 or 1. )
全固形分に対する前記(c)光重合開始剤の含有割合が2質量%以上である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the content ratio of the (c) photopolymerization initiator with respect to the total solid content is 2% by mass or more. 前記(c)光重合開始剤における、前記光重合開始剤(c2)の含有割合が40質量%以上である、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the content ratio of the photopolymerization initiator (c2) in the (c) photopolymerization initiator is 40% by mass or more. 前記光重合開始剤(c2)が、フルオレン骨格又はカルバゾール骨格を有する光重合開始剤である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the photopolymerization initiator (c2) is a photopolymerization initiator having a fluorene skeleton or a carbazole skeleton. 前記光重合開始剤(c2)が、下記一般式(II)で表される光重合開始剤である、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 0006977662
(式(II)中、Rは置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
は置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
pは0又は1を表す。
は任意の1価の置換基を表す。qは0〜3の整数を表す。
Xは−N(R10)−又は−C(R11)(R12)−を表す。
10〜R12は各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。R11とR12は相互に結合して環を形成していてもよい。)
The photosensitive resin composition according to claim 4, wherein the photopolymerization initiator (c2) is a photopolymerization initiator represented by the following general formula (II).
Figure 0006977662
(In formula (II), R 7 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
R 8 represents an alkyl group which may have a substituent or an aromatic ring group which may have a substituent.
p represents 0 or 1.
R 9 represents any monovalent substituent. q represents an integer of 0 to 3.
X represents −N (R 10 ) − or −C (R 11 ) (R 12 ) −.
R 10 to R 12 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent, or an aromatic ring group which may have a substituent. R 11 and R 12 may be coupled to each other to form a ring. )
前記(d)色材がカーボンブラックである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the coloring material (d) is carbon black. 全固形分に対する前記(d)色材の含有割合が30質量%以上である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the content ratio of the coloring material (d) with respect to the total solid content is 30% by mass or more. 前記(a)アルカリ可溶性樹脂が、カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂を含有する、請求項1〜7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 7, wherein the alkali-soluble resin (a) contains an epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を硬化させた硬化物。 A cured product obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 8. 請求項9に記載の硬化物を有する画像表示装置。 An image display device having the cured product according to claim 9.
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