JP6607054B2 - Photosensitive resin composition, cured product, black matrix, and image display device - Google Patents

Photosensitive resin composition, cured product, black matrix, and image display device Download PDF

Info

Publication number
JP6607054B2
JP6607054B2 JP2016009107A JP2016009107A JP6607054B2 JP 6607054 B2 JP6607054 B2 JP 6607054B2 JP 2016009107 A JP2016009107 A JP 2016009107A JP 2016009107 A JP2016009107 A JP 2016009107A JP 6607054 B2 JP6607054 B2 JP 6607054B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
resin composition
photosensitive resin
mass
surfactant
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016009107A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2017129740A (en
Inventor
卓也 植松
貴裕 宮崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Chemical Corp filed Critical Mitsubishi Chemical Corp
Priority to JP2016009107A priority Critical patent/JP6607054B2/en
Publication of JP2017129740A publication Critical patent/JP2017129740A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6607054B2 publication Critical patent/JP6607054B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、硬化物、ブラックマトリックス及び画像表示装置に関する。特に、基板への密着力に優れた感光性樹脂組成物、それを硬化させてなる硬化物、該硬化物からなるブラックマトリックス、及び該ブラックマトリックスを有する画像表示装置に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a cured product, a black matrix, and an image display device. In particular, the present invention relates to a photosensitive resin composition having excellent adhesion to a substrate, a cured product obtained by curing the photosensitive resin composition, a black matrix made of the cured product, and an image display device having the black matrix.

カラーフィルタは、通常、ガラス、プラスチック等の透明基板の表面に黒色のブラックマトリックス(以下、「BM」と略記することがある。)を形成し、続いて、赤、緑、青等の3種以上の異なる画素を順次、ストライプ状またはモザイク状等のパターンで形成したものである。   A color filter usually forms a black black matrix (hereinafter sometimes abbreviated as “BM”) on the surface of a transparent substrate such as glass or plastic, and then three types such as red, green, and blue. The above different pixels are sequentially formed in a striped pattern or a mosaic pattern.

カラーフィルタの代表的な製造方法としては、現在、顔料分散法が用いられている。この方法では、まず黒色顔料を含有する感光性樹脂組成物を透明基板上に塗布した後に乾燥させ、さらに画像露光、現像した後、200℃以上の高温処理により硬化させることでBMを形成する。これを赤、緑、青等の色ごとに繰り返すことでカラーフィルタを形成する。   A pigment dispersion method is currently used as a representative method for producing a color filter. In this method, first, a photosensitive resin composition containing a black pigment is applied on a transparent substrate, dried, further exposed to an image, developed, and then cured by high-temperature treatment at 200 ° C. or higher to form a BM. A color filter is formed by repeating this for each color such as red, green, and blue.

BMは、赤、緑、青等の画素の間に格子状、ストライプ状またはモザイク状に配置するのが一般的であり、画素間の混色抑制によるコントラスト向上または光漏れを防止する役目を持っている。このため、BMには高い遮光性が要求される。   The BM is generally arranged in a grid, stripe, or mosaic between pixels such as red, green, and blue, and has a role of preventing contrast improvement or light leakage by suppressing color mixture between pixels. Yes. For this reason, the BM is required to have high light shielding properties.

また、BMの後に形成する赤、緑、青等の画素のエッジ部は、このBMと重なるため、BMの膜厚の影響を受けて、重なり部分で段差が形成される。この重なり部分では、画素の平坦性が損なわれ、液晶セルギャップの不均一化あるいは液晶の配向の乱れを発生させ表示能力の低下を起こす。   Further, since the edge portions of the red, green, and blue pixels formed after the BM overlap with the BM, a step is formed at the overlapping portion due to the influence of the BM film thickness. In this overlapping portion, the flatness of the pixel is impaired, and the liquid crystal cell gap becomes nonuniform or the alignment of the liquid crystal is disturbed, resulting in a decrease in display capability.

そのため、近年は特にBMの薄膜化が求められており、薄膜化した際にも十分な遮光性を発現させるために、感光性樹脂組成物中における顔料含有割合はより高くなる方向にある。ただし、顔料は架橋に寄与しないため、顔料成分の増加はBMと基板との密着力低下に繋がってしまう。   Therefore, in recent years, particularly BM thinning has been demanded, and the pigment content in the photosensitive resin composition tends to be higher in order to develop sufficient light-shielding properties even when thinned. However, since the pigment does not contribute to crosslinking, an increase in the pigment component leads to a decrease in the adhesion between the BM and the substrate.

また近年、製造したカラーフィルタをパネルに組み上げる際に、従来、額縁部を別に形成して、そこにシール剤を塗ってアレイ基板と貼り合わせていたが、工程削減の為、BM形成時にBMで額縁部を同時に形成し、そこにシール剤を塗って貼り合わせる方式が行われるようになってきた。そのため従来にも増して、カラーフィルタ基板とBMとの密着性向上が要求されるようになってきている。また、製造パネルの海外への輸送も行われており、輸送中に高温・高湿な環境に曝されてもBMの基板密着性が低下しない事も重要となってきている。   Also, in recent years, when assembling the manufactured color filter on a panel, conventionally, a frame portion was separately formed, and a sealant was applied to the panel to attach it to the array substrate. A method of forming a frame portion at the same time and applying a sealant to the frame portion and bonding the frame portion has come to be performed. For this reason, an improvement in the adhesion between the color filter substrate and the BM is required more than ever. In addition, production panels are being transported overseas, and it has become important that the substrate adhesion of the BM does not deteriorate even when exposed to a high temperature and high humidity environment during transportation.

以上で述べたように、BMの薄膜化に伴いBMへの要求特性が高まりつつある中、画素やBMの基板への密着を改善する方法として、感光性樹脂組成物に密着向上剤を添加する方法が検討されており、例えば特許文献1には、エポキシ、(メタ)アクリル、ビニルなどのシランカップリング剤を用いることで、BMの密着性が改善することが記載されている。また、特許文献2には、2級、3級アミン、ケチミン系、イソシアネート系のシランカップリング剤を用いることで現像密着性を改善することが記載されている。特許文献3には、光重合性ビニル基を有するシランカップリング剤を用いて感度と密着性を改善することが記載されている。   As described above, as the required characteristics of BM are increasing as BM becomes thinner, an adhesion improver is added to the photosensitive resin composition as a method for improving adhesion of pixels and BM to the substrate. For example, Patent Document 1 describes that the adhesion of BM is improved by using a silane coupling agent such as epoxy, (meth) acryl, and vinyl. Patent Document 2 describes that development adhesion is improved by using a secondary, tertiary amine, ketimine-based, or isocyanate-based silane coupling agent. Patent Document 3 describes that sensitivity and adhesion are improved by using a silane coupling agent having a photopolymerizable vinyl group.

特開平10−133370号公報JP-A-10-133370 特開2008−129463号公報JP 2008-129463 A 韓国登録特許第10−1308246号公報Korean Registered Patent No. 10-1308246

本発明者らが鋭意検討を重ねた結果、特許文献1や2に記載されている感光性樹脂組成物では、高顔料濃度の場合には、加熱硬化後の基板密着性が実用上十分ではなく、更に高温高湿環境に暴露後の基板密着性が大きく低下することが見出された。また、特許文献3に記載されている感光性樹脂組成物では、高温高湿環境に暴露後の基板密着性が実用上十分ではないことが見出された。
そこで本発明は、加熱硬化後及び高温高湿環境暴露後の基板密着性が良好となる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
As a result of intensive studies by the present inventors, in the photosensitive resin composition described in Patent Documents 1 and 2, the substrate adhesion after heat curing is not practically sufficient in the case of a high pigment concentration. Furthermore, it has been found that the substrate adhesion after exposure to a high temperature and high humidity environment is greatly reduced. Further, it has been found that the photosensitive resin composition described in Patent Document 3 does not have practically sufficient substrate adhesion after exposure to a high temperature and high humidity environment.
Then, an object of this invention is to provide the photosensitive resin composition from which the board | substrate adhesiveness after heat curing and high-temperature, high-humidity environment exposure becomes favorable.

本発明者らは前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、感光性樹脂組成物に特定構造の有機ケイ素化合物及び特定物性を示す界面活性剤を含有させることにより、前記課題を解決できることを見出した。即ち本発明の要旨は以下に存する。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by including a photosensitive resin composition containing an organosilicon compound having a specific structure and a surfactant exhibiting specific physical properties. . That is, the gist of the present invention is as follows.

[1] アルカリ可溶性樹脂(a)、光重合性モノマー(b)、光重合開始剤(c)、色材(d)、分散剤(e)、有機ケイ素化合物(f)及び界面活性剤(g)を含む感光性樹脂組成物であって、
有機ケイ素化合物(f)が、少なくとも下記一般式(1)で表される構造を有する有機ケイ素化合物(f−1)を含有し、
界面活性剤(g)が、下記一般式(I)を満たす界面活性剤(g−1)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
[1] Alkali-soluble resin (a), photopolymerizable monomer (b), photopolymerization initiator (c), colorant (d), dispersant (e), organosilicon compound (f) and surfactant (g A photosensitive resin composition comprising:
The organosilicon compound (f) contains at least an organosilicon compound (f-1) having a structure represented by the following general formula (1),
A surfactant (g) contains a surfactant (g-1) that satisfies the following general formula (I): A photosensitive resin composition.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

(上記式中、R1〜R3は各々独立に、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基である。Raは下記式(1−1)で表される基である。*は結合手である。) (In the above formula, R 1 to R 3 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group optionally having a substituent. Ra is a group represented by the following formula (1-1). * Is a bond.)

Figure 0006607054
Figure 0006607054

(上記式中、R4及びR5は各々独立に、置換基を有していてもよいアルキレン基であり、R6は水素原子又はメチル基である。*はSi原子との結合手である。) (In the above formula, R 4 and R 5 are each independently an alkylene group which may have a substituent, R 6 is a hydrogen atom or a methyl group. * Is a bond with a Si atom. .)

Δγ(トルエン)>Δγ(プロピレングリコールモノメチルエーテル) (I)
(ただし、Δγ(トルエン)は、トルエンの表面張力(mN/m,25℃)から、界面活性剤(g−1)の0.1質量%トルエン溶液の表面張力(mN/m,25℃)を減じた値を意味する。同様に、Δγ(プロピレングリコールモノメチルエーテル)は、プロピレングリコールモノメチルエーテルの表面張力(mN/m,25℃)から、界面活性剤(g−1)の0.1質量%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液の表面張力(mN/m,25℃)を減じた値を意味する。)
Δγ (toluene)> Δγ (propylene glycol monomethyl ether) (I)
(However, Δγ (toluene) is derived from the surface tension of toluene (mN / m, 25 ° C.) to the surface tension of 0.1% by weight toluene solution of surfactant (g-1) (mN / m, 25 ° C.). Similarly, Δγ (propylene glycol monomethyl ether) is 0.1 mass of surfactant (g-1) from the surface tension (mN / m, 25 ° C.) of propylene glycol monomethyl ether. (It means a value obtained by reducing the surface tension (mN / m, 25 ° C.) of a% propylene glycol monomethyl ether solution.)

[2] 界面活性剤(g−1)がフッ素系界面活性剤である、[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[3] 光重合開始剤(c)がオキシムエステル系化合物である、[1]又は[2]に記載の感光性樹脂組成物。
[4] 前記オキシムエステル系化合物が、置換されていてもよいカルバゾリル基を有する、[3]に記載の感光性樹脂組成物。
[5] 色材(d)が黒色色材である、[1]〜[4]の何れかに記載の感光性樹脂組成物。
[2] The photosensitive resin composition according to [1], wherein the surfactant (g-1) is a fluorosurfactant.
[3] The photosensitive resin composition according to [1] or [2], wherein the photopolymerization initiator (c) is an oxime ester compound.
[4] The photosensitive resin composition according to [3], wherein the oxime ester-based compound has an optionally substituted carbazolyl group.
[5] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [4], wherein the color material (d) is a black color material.

[6] 色材(d)の含有割合が全固形分量に対して40質量%以上である、[1]〜[5]の何れかに記載の感光性樹脂組成物。
[7] 分散剤(e)が塩基性官能基を有する高分子分散剤である、[1]〜[6]の何れかに記載の感光性樹脂組成物。
[8] アルカリ可溶性樹脂(a)がカルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂を含有する、[1]〜[7]の何れかに記載の感光性樹脂組成物。
[6] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [5], wherein the content ratio of the coloring material (d) is 40% by mass or more based on the total solid content.
[7] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [6], wherein the dispersant (e) is a polymer dispersant having a basic functional group.
[8] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [7], wherein the alkali-soluble resin (a) contains an epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group.

[9] [1]〜[8]の何れかに記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化物。
[10] [9]に記載の硬化物からなるブラックマトリックス。
[11] 膜厚1μmあたりの光学濃度が4.0以上であることを特徴とする、[10]に記載のブラックマトリックス。
[12] [10]又は[11]に記載のブラックマトリックスを有する画像表示装置。
[9] A cured product obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [8].
[10] A black matrix comprising the cured product according to [9].
[11] The black matrix according to [10], wherein the optical density per 1 μm film thickness is 4.0 or more.
[12] An image display device having the black matrix according to [10] or [11].

本発明によれば、加熱硬化後及び高温高湿環境暴露後の基板密着性が良好となる、感光性樹脂組成物を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the photosensitive resin composition from which the board | substrate adhesiveness after heat-curing and high-temperature, high-humidity environment exposure becomes favorable can be provided.

本発明のカラーフィルタを備えた有機EL素子の一例を示す断面概略図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows an example of the organic EL element provided with the color filter of this invention.

以下、本発明の実施の形態を具体的に説明するが、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更して実施することができる。
なお、本発明において、「(メタ)アクリル」とは「アクリル及び/又はメタクリル」を意味し、「(メタ)アクリレート」、「(メタ)アクリロイル」についても同様である。
Embodiments of the present invention will be specifically described below, but the present invention is not limited to the following embodiments, and various modifications can be made within the scope of the gist of the present invention.
In the present invention, “(meth) acryl” means “acryl and / or methacryl”, and the same applies to “(meth) acrylate” and “(meth) acryloyl”.

本発明において「全固形分」とは、感光性樹脂組成物中又は後述するインク中に含まれる、溶剤以外の全成分を意味するものとする。
本発明において、重量平均分子量とは、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)をさす。
また、本発明において、「アミン価」とは、特に断りのない限り、有効固形分換算のアミン価を表し、分散剤の固形分1gあたりの塩基量と当量のKOHの重量で表される値である。なお、測定方法については後述する。
In the present invention, the “total solid content” means all components other than the solvent contained in the photosensitive resin composition or in the ink described later.
In the present invention, the weight average molecular weight refers to a polystyrene equivalent weight average molecular weight (Mw) by GPC (gel permeation chromatography).
Further, in the present invention, the “amine value” means an amine value in terms of effective solid content, unless otherwise specified, and is a value represented by the weight of KOH equivalent to the base amount per 1 g of the solid content of the dispersant. It is. The measuring method will be described later.

[感光性樹脂組成物]
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂(a)、光重合性モノマー(b)、光重合開始剤(c)、色材(d)、分散剤(e)、有機ケイ素化合物(f)及び界面活性剤(g)を含む感光性樹脂組成物であって、有機ケイ素化合物(f)が、少なくとも下記一般式(1)で表される構造を有する有機ケイ素化合物(f−1)を含有し、界面活性剤(g)が、下記一般式(I)を満たす界面活性剤(g−1)を含有することを特徴とする。
[Photosensitive resin composition]
The photosensitive resin composition of the present invention comprises an alkali-soluble resin (a), a photopolymerizable monomer (b), a photopolymerization initiator (c), a colorant (d), a dispersant (e), an organosilicon compound (f ) And a surfactant (g), wherein the organosilicon compound (f) is an organosilicon compound (f-1) having a structure represented by at least the following general formula (1): And the surfactant (g) contains a surfactant (g-1) that satisfies the following general formula (I).

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記式中、R1〜R3は各々独立に、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基である。Raは下記式(1−1)で表される基である。*は結合手である。 In said formula, R < 1 > -R < 3 > is a hydrogen atom or the alkyl group which may have a substituent each independently. R a is a group represented by the following formula (1-1). * Is a bond.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記式中、R4及びR5は各々独立に、置換基を有していてもよいアルキレン基であり、R6は水素原子又はメチル基である。*はSi原子との結合手である。 In the above formula, R 4 and R 5 are each independently an alkylene group which may have a substituent, and R 6 is a hydrogen atom or a methyl group. * Is a bond with a Si atom.

Δγ(トルエン)>Δγ(プロピレングリコールモノメチルエーテル) (I)
ただし、Δγ(トルエン)は、トルエンの表面張力(mN/m,25℃)から、界面活性剤(g−1)の0.1質量%トルエン溶液の表面張力(mN/m,25℃)を減じた値を意味する。同様に、Δγ(プロピレングリコールモノメチルエーテル)は、プロピレングリコールモノメチルエーテルの表面張力(mN/m,25℃)から、界面活性剤(g−1)の0.1質量%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液の表面張力(mN/m,25℃)を減じた値を意味する。)
Δγ (toluene)> Δγ (propylene glycol monomethyl ether) (I)
However, Δγ (toluene) is the surface tension (mN / m, 25 ° C) of a 0.1% by weight toluene solution of the surfactant (g-1) from the surface tension of toluene (mN / m, 25 ° C). Means a reduced value. Similarly, Δγ (propylene glycol monomethyl ether) is determined from the surface tension of propylene glycol monomethyl ether (mN / m, 25 ° C.), and the surface of a 0.1 mass% propylene glycol monomethyl ether solution of surfactant (g-1). It means a value obtained by reducing the tension (mN / m, 25 ° C.). )

本発明の感光性樹脂組成物は更に、分散助剤、多官能チオール化合物を含有していてもよく、必要に応じて、更にその他の密着向上剤、塗布性向上剤、現像改良剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤等、その他の配合成分を含んでいてもよく、通常、各配合成分が、有機溶剤に溶解又は分散した状態で使用される。
本発明の特徴は、感光性樹脂組成物が有機ケイ素化合物(f−1)と共に界面活性剤(g−1)を含有することにある。まず、有機ケイ素化合物(f)について説明する。
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain a dispersion aid and a polyfunctional thiol compound, and if necessary, other adhesion improvers, coatability improvers, development improvers, ultraviolet absorptions. Other compounding components such as an agent and an antioxidant may be contained, and each compounding component is usually used in a state dissolved or dispersed in an organic solvent.
The feature of the present invention is that the photosensitive resin composition contains the surfactant (g-1) together with the organosilicon compound (f-1). First, the organosilicon compound (f) will be described.

<有機ケイ素化合物(f)>
本発明における有機ケイ素化合物(f)は、少なくとも下記一般式(1)で表される構造を有する有機ケイ素化合物(f−1)を含有する。
<Organic silicon compound (f)>
The organosilicon compound (f) in the present invention contains at least an organosilicon compound (f-1) having a structure represented by the following general formula (1).

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記式中、R1〜R3は各々独立に、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基である。Raは下記式(1−1)で表される基である。*は結合手である。 In said formula, R < 1 > -R < 3 > is a hydrogen atom or the alkyl group which may have a substituent each independently. R a is a group represented by the following formula (1-1). * Is a bond.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記式中、R4及びR5は各々独立に、置換基を有していてもよいアルキレン基であり、R6は水素原子又はメチル基である。*はSi原子との結合手である。 In the above formula, R 4 and R 5 are each independently an alkylene group which may have a substituent, and R 6 is a hydrogen atom or a methyl group. * Is a bond with a Si atom.

前記一般式(1)のR1〜R3における、アルキル基は、直鎖状でも分岐状でも、環状でもよいが、反応性の観点から直鎖状であることが好ましい。アルキル基の炭素数は特に限定されないが、好ましくは8以下、より好ましくは6以下、さらに好ましくは4以下、特に好ましくは3以下、最も好ましくは2以下であり、通常1以上である。前記下限値以下とすることで、取扱い易さや反応性が良好となる傾向がある。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。これらの中でも、反応性の観点から、メチル基、エチル基、プロピル基、又はブチル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、アルコキシ基、アリール基、水酸基、チオール基、アルキルチオ基などが挙げられ、保存安定性などの観点から、ハロゲン原子又はアルコキシ基が好ましい。また、反応速度の観点からは、無置換であることが好ましい。
The alkyl group in R 1 to R 3 in the general formula (1) may be linear, branched or cyclic, but is preferably linear from the viewpoint of reactivity. The number of carbon atoms of the alkyl group is not particularly limited, but is preferably 8 or less, more preferably 6 or less, further preferably 4 or less, particularly preferably 3 or less, most preferably 2 or less, and usually 1 or more. By setting it to the lower limit value or less, the handleability and reactivity tend to be good.
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, a cyclopentyl group, and a cyclohexyl group. Among these, from the viewpoint of reactivity, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, or a butyl group is preferable, and a methyl group or an ethyl group is more preferable.
Examples of the substituent that the alkyl group may have include a halogen atom, an alkoxy group, an aryl group, a hydroxyl group, a thiol group, and an alkylthio group. From the viewpoint of storage stability, a halogen atom or an alkoxy group is preferable. . Further, from the viewpoint of reaction rate, it is preferably unsubstituted.

また前記一般式(1−1)のR4及びR5における、アルキレン基は、直鎖状でも分岐状でも、環状でもよい。アルキレン基の炭素数は特に限定されないが、好ましくは1以上、より好ましくは2以上、さらに好ましくは3以上であり、また好ましくは10以下、より好ましくは8以下である。前記下限値以上とすることで取扱い易さや保存安定性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでレジストへの相溶性が良好となる傾向がある。
アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、1,3−プロピレン基、1,2−プロピレン基、1,4−ブチレン基、1,2−ブチレン基、1,5−ペンチレン基、1,6−ヘキシレン基、シクロヘキシレン基、メチレンシクロヘキシレン基、2−エチル−2メチルブタン−1,4−ジイル基などが挙げられる。これらの中でも、取扱い易さやレジストへの相溶性の観点から、メチレン基、エチレン基、1,3−プロピレン基、1,2−プロピレン基、1,4−ブチレン基、又は1,2−ブチレン基、2−エチル−2メチルブタン−1,4−ジイル基が好ましく、エチレン基、1,3−プロピレン基、又は1,2−プロピレン基、2−エチル−2メチルブタン−1,4−ジイル基がより好ましい。
アルキレン基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、アルコキシ基、アリール基、水酸基、チオール基、アルキルチオ基、下記一般式(1−2)で表される基、下記一般式(1−3)で表される基などが挙げられ、保存安定性などの観点から、ハロゲン原子又はアルコキシ基が好ましい。また、反応速度の観点からは、無置換であることが好ましい。
The alkylene group in R 4 and R 5 in the general formula (1-1) may be linear, branched or cyclic. The number of carbon atoms of the alkylene group is not particularly limited, but is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, still more preferably 3 or more, and preferably 10 or less, more preferably 8 or less. When it is at least the above lower limit value, the handleability and storage stability tend to be good, and when it is at most the above upper limit value, the compatibility with the resist tends to be good.
Specific examples of the alkylene group include methylene group, ethylene group, 1,3-propylene group, 1,2-propylene group, 1,4-butylene group, 1,2-butylene group, 1,5-pentylene group, 1 , 6-hexylene group, cyclohexylene group, methylenecyclohexylene group, 2-ethyl-2methylbutane-1,4-diyl group and the like. Among these, methylene group, ethylene group, 1,3-propylene group, 1,2-propylene group, 1,4-butylene group, or 1,2-butylene group from the viewpoint of easy handling and compatibility with resist 2-ethyl-2methylbutane-1,4-diyl group is preferred, ethylene group, 1,3-propylene group, 1,2-propylene group, 2-ethyl-2methylbutane-1,4-diyl group is more preferred. preferable.
Examples of the substituent that the alkylene group may have include a halogen atom, an alkoxy group, an aryl group, a hydroxyl group, a thiol group, an alkylthio group, a group represented by the following general formula (1-2), and a general formula (1 -3) and the like. From the viewpoint of storage stability, a halogen atom or an alkoxy group is preferable. Further, from the viewpoint of reaction rate, it is preferably unsubstituted.

Figure 0006607054

Figure 0006607054
Figure 0006607054

Figure 0006607054

上記式中、R8及びR9は各々独立に、置換基を有していてもよいアルキレン基であり、R7及びR10は各々独立に、水素原子又はメチル基である。*は結合手である。なお、置換基を有していてもよいアルキレン基としては、R5として記載したものを好ましく適用することができる。 In the above formula, R 8 and R 9 are each independently an alkylene group which may have a substituent, and R 7 and R 10 are each independently a hydrogen atom or a methyl group. * Is a bond. In addition, as an alkylene group which may have a substituent, what was described as R < 5 > can be applied preferably.

前記一般式(1)で表される構造を有する有機ケイ素化合物としては、例えば、以下のものが挙げられる。   Examples of the organosilicon compound having the structure represented by the general formula (1) include the following.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

Figure 0006607054
Figure 0006607054

有機ケイ素化合物(f−1)は、下記一般式(1−4)で表されるイソシアネート基を有する有機シラン化合物と、下記一般式(1−5)で表される水酸基を有する(メタ)アクリロイルオキシ化合物とを触媒の存在下でウレタン化反応させる公知の方法で得ることができる。   The organosilicon compound (f-1) is an organosilane compound having an isocyanate group represented by the following general formula (1-4) and a (meth) acryloyl group having a hydroxyl group represented by the following general formula (1-5) It can be obtained by a known method in which an oxy compound is urethanated in the presence of a catalyst.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記式中、R1〜R4は前記一般式(1)及び(1−1)と同義である。 In said formula, R < 1 > -R < 4 > is synonymous with the said General formula (1) and (1-1).

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記式中、R5及びR6は前記一般式(1−1)と同義である。 In said formula, R < 5 > and R < 6 > are synonymous with the said General formula (1-1).

この反応における触媒としては、例えばジブチルスズマレート、トリブチルスズアセテ−ト、ジメチルスズジクロリド、ジブチルスズジアセテート、ジブチルスズジラウレート等の有機スズ化合物;N−メチルモルホリン、トリエチルアミン、N−メチルピペリジン、N、N−ジメチルシクロヘキシルアミン、ピリジン等の第3級アミンが有用であり、その添加量は、前記一般式(2−1)のシラン化合物に対し、0.001〜1質量%、特に、0.01〜0.1質量%が好ましい。反応温度は、0〜50℃が好ましく、20〜40℃がより好ましい。反応時間は1〜24時間の間で適宜選択することができる。上記の反応は、通常無溶媒で良いが、必要に応じ、例えば、ヘキサン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、テトラヒドロフラン、アセトニトリル等の有機溶媒を用いてもよい。反応の終点は、反応物の赤外吸収スペクトル測定を行い、イソシアネート基の2266.1cm-1の吸収が無いことで確認できる。 Examples of the catalyst used in this reaction include organotin compounds such as dibutyltin malate, tributyltin acetate, dimethyltin dichloride, dibutyltin diacetate, and dibutyltin dilaurate; N-methylmorpholine, triethylamine, N-methylpiperidine, N, N-dimethyl Tertiary amines such as cyclohexylamine and pyridine are useful, and the addition amount thereof is 0.001 to 1% by mass, particularly 0.01 to 0. 0% with respect to the silane compound of the general formula (2-1). 1% by mass is preferred. 0-50 degreeC is preferable and, as for reaction temperature, 20-40 degreeC is more preferable. The reaction time can be appropriately selected from 1 to 24 hours. The above reaction may usually be performed without a solvent, but an organic solvent such as hexane, cyclohexane, benzene, toluene, xylene, tetrahydrofuran, or acetonitrile may be used as necessary. The end point of the reaction can be confirmed by measuring the infrared absorption spectrum of the reaction product and not having absorption of 2266.1 cm −1 of the isocyanate group.

有機ケイ素化合物(f)は、有機ケイ素化合物(f−1)以外の有機ケイ素化合物を含んでいてもよく、例えば、有機ケイ素化合物(f−1)の多量体などを含んでいてもよい。
有機ケイ素化合物(f−1)以外の有機ケイ素化合物の具体例としては、以下のような、ビニル基、エポキシ基、スチリル基、メタクリル基、アクリル基、1級、2級、3級アミノ基、ウレイド基、メルカプト基、イソシアネート基などを有するものが挙げられる。
The organosilicon compound (f) may contain an organosilicon compound other than the organosilicon compound (f-1), for example, a multimer of the organosilicon compound (f-1).
Specific examples of the organosilicon compound other than the organosilicon compound (f-1) include the following vinyl group, epoxy group, styryl group, methacryl group, acrylic group, primary, secondary, tertiary amino group, Examples thereof include those having a ureido group, a mercapto group, an isocyanate group and the like.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

感光性樹脂組成物中の有機ケイ素化合物(f)の含有割合は特に限定されないが、全固形分中0.01質量%以上であることが好ましく、0.1質量%以上であることがより好ましく、0.5質量%以上がさらに好ましく、1質量%以上が特に好ましく、また、25質量%以下であることが好ましく、20質量%以下であることがより好ましく、10質量%以下であることがさらに好ましく、5質量%以下であることがよりさらに好ましく、3質量%以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで基板との密着を良好にできる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでアルカリ現像時に基板に残渣が残ることを抑制できる傾向がある。
また、有機ケイ素化合物(f)中の有機ケイ素化合物(f−1)の含有割合は特に限定されないが、20質量%以上であることが好ましく、50質量%以上であることがより好ましく、70質量%以上であることがさらに好ましく、通常100質量%以下である。前記下限値以上とすることで基板との密着を良好にできる傾向がある。
The content ratio of the organosilicon compound (f) in the photosensitive resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.1% by mass or more in the total solid content. 0.5% by mass or more is more preferable, 1% by mass or more is particularly preferable, 25% by mass or less is preferable, 20% by mass or less is more preferable, and 10% by mass or less is preferable. More preferably, it is more preferably 5% by mass or less, and particularly preferably 3% by mass or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that adhesion to the substrate can be improved, and when the amount is not more than the upper limit, there is a tendency that it is possible to suppress residue from remaining on the substrate during alkali development.
Further, the content ratio of the organosilicon compound (f-1) in the organosilicon compound (f) is not particularly limited, but is preferably 20% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, and 70% by mass. % Or more, more preferably 100% by mass or less. There exists a tendency which can make favorable contact | adherence with a board | substrate by setting it as the said lower limit or more.

次に界面活性剤(g)について説明する。
<界面活性剤(g)>
本発明における界面活性剤(g)は下記一般式(I)を満たす界面活性剤(g−1)を含有する。
Next, the surfactant (g) will be described.
<Surfactant (g)>
The surfactant (g) in the present invention contains a surfactant (g-1) that satisfies the following general formula (I).

Δγ(トルエン)>Δγ(プロピレングリコールモノメチルエーテル) (I)
ただし、Δγ(トルエン)は、トルエンの表面張力(mN/m,25℃)から、界面活性剤(g−1)の0.1質量%トルエン溶液の表面張力(mN/m,25℃)を減じた値を意味する。同様に、Δγ(プロピレングリコールモノメチルエーテル)は、プロピレングリコールモノメチルエーテルの表面張力(mN/m,25℃)から、界面活性剤(g−1)の0.1質量%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液の表面張力(mN/m,25℃)を減じた値を意味する。
Δγ (toluene)> Δγ (propylene glycol monomethyl ether) (I)
However, Δγ (toluene) is the surface tension (mN / m, 25 ° C) of a 0.1% by weight toluene solution of the surfactant (g-1) from the surface tension of toluene (mN / m, 25 ° C). Means a reduced value. Similarly, Δγ (propylene glycol monomethyl ether) is determined from the surface tension of propylene glycol monomethyl ether (mN / m, 25 ° C.), and the surface of a 0.1 mass% propylene glycol monomethyl ether solution of surfactant (g-1). It means a value obtained by reducing the tension (mN / m, 25 ° C.).

界面活性剤(g−1)は前記一般式(I)を満たすものであれば特に限定されないが、アニオン系、カチオン系、非イオン系、両性界面活性剤等各種のものを用いることができ、中でも、液晶パネルに適用の際の電圧保持率への影響などの観点から、非イオン系界面活性剤を用いるのが好ましい。また、レジスト塗膜均一性の観点から、フッ素系又はシリコン系の界面活性剤であることが好ましく、フッ素系の界面活性剤であることがより好ましい。   The surfactant (g-1) is not particularly limited as long as it satisfies the general formula (I), but various types such as anionic, cationic, nonionic, and amphoteric surfactants can be used. Among these, it is preferable to use a nonionic surfactant from the viewpoint of influence on the voltage holding ratio when applied to a liquid crystal panel. Further, from the viewpoint of resist film uniformity, a fluorine-based or silicon-based surfactant is preferable, and a fluorine-based surfactant is more preferable.

また、界面活性剤(g−1)のΔγ(トルエン)の値は特に限定されないが、1.8以上が好ましく、2.0以上がより好ましく、2.2以上がさらに好ましく、また、3.0以下が好ましく、2.8以下がより好ましく、2.6以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで塗膜均一性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでレジスト中の顔料分散安定性が良好となる傾向がある。   Further, the value of Δγ (toluene) of the surfactant (g-1) is not particularly limited, but is preferably 1.8 or more, more preferably 2.0 or more, further preferably 2.2 or more, and 3. 0 or less is preferable, 2.8 or less is more preferable, and 2.6 or less is more preferable. When it is at least the lower limit value, the coating film uniformity tends to be good, and when it is at most the upper limit value, the pigment dispersion stability in the resist tends to be good.

また、界面活性剤(g−1)のΔγ(プロピレングリコールモノメチルエーテル)の値は特に限定されないが、1.5以上が好ましく、1.7以上がより好ましく、1.9以上がさらに好ましく、また、2.7以下が好ましく、2.5以下がより好ましく、2.3以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで塗膜均一性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高温高湿下に暴露後の基板密着低下が抑制される傾向がある。
表面張力の測定には、例えば、協和界面科学社製の表面張力計DY−700やDY−500などを用いることができる。
Further, the value of Δγ (propylene glycol monomethyl ether) of the surfactant (g-1) is not particularly limited, but is preferably 1.5 or more, more preferably 1.7 or more, further preferably 1.9 or more, 2.7 or less is preferable, 2.5 or less is more preferable, and 2.3 or less is more preferable. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for coating-film uniformity to become favorable, and there exists a tendency for the board | substrate adhesion fall after exposure to high temperature and high humidity to be suppressed by setting it as the said upper limit or less.
For example, a surface tension meter DY-700 or DY-500 manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. can be used for measuring the surface tension.

このような界面活性剤(g−1)としては、例えば、F−554(DIC社製)等が挙げられる。なお、界面活性剤(g)は、界面活性剤(g−1)以外のその他の界面活性剤を含んでいてもよい。その他の界面活性剤としては、例えば、TSF4460(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製)、DFX−18(ネオス社製)、BYK−300、BYK−325、BYK−330(ビックケミー社製)、KP340(信越シリコーン社製)、F−470、F−475、F−478、F−559(DIC社製)、SH7PA(東レ・ダウコーニング社製)、DS−401(ダイキン社製)、L−77(日本ユニカー社製)、FC4430(3Mジャパン社製)等が挙げられる。   Examples of such a surfactant (g-1) include F-554 (manufactured by DIC). The surfactant (g) may contain other surfactants other than the surfactant (g-1). Examples of other surfactants include TSF4460 (manufactured by Momentive Performance Materials), DFX-18 (manufactured by Neos), BYK-300, BYK-325, BYK-330 (manufactured by BYK Chemie), KP340 ( Shin-Etsu Silicone), F-470, F-475, F-478, F-559 (DIC), SH7PA (Toray Dow Corning), DS-401 (Daikin), L-77 ( Nippon Unicar Co., Ltd.), FC4430 (manufactured by 3M Japan), and the like.

感光性樹脂組成物中の界面活性剤(g)の含有割合は特に限定されないが、全固形分中0.01質量%以上であることが好ましく、0.05質量%以上であることがより好ましく、また、1.0質量%以下であることが好ましく、0.7質量%以下であることがより好ましく、0.5質量%以下であることがさらに好ましく、0.3質量%以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることでレジスト塗布均一性がよくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでレジスト感度が下がらない傾向がある。
また、界面活性剤(g)中の界面活性剤(g−1)の含有割合は特に限定されないが、30質量%以上であることが好ましく、40質量%以上であることがより好ましく、50質量%以上であることがさらに好ましく、通常100質量%以下である。前記下限値以上とすることで硬化膜を高温高湿下に暴露後の密着力低下が抑制される傾向がある。
The content ratio of the surfactant (g) in the photosensitive resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more in the total solid content. Further, it is preferably 1.0% by mass or less, more preferably 0.7% by mass or less, further preferably 0.5% by mass or less, and 0.3% by mass or less. Is particularly preferred. When the lower limit value is set, the resist coating uniformity tends to be improved, and when the upper limit value is set, the resist sensitivity tends not to decrease.
Further, the content ratio of the surfactant (g-1) in the surfactant (g) is not particularly limited, but is preferably 30% by mass or more, more preferably 40% by mass or more, and 50% by mass. % Or more, more preferably 100% by mass or less. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for the adhesive force fall after exposure of a cured film to high temperature, high humidity to be suppressed.

前述のとおり、式(I)において、Δγ(トルエン)は、トルエンの表面張力(mN/m,25℃)から、界面活性剤(g−1)の0.1質量%トルエン溶液の表面張力(mN/m,25℃)を減じた値を意味する。これは界面活性剤が溶剤中でどれだけ界面活性作用を発揮したかの指標となる。Δγ(プロピレングリコールモノメチルエーテル)についても同様である。
よって、式(I)により極性溶剤であるプロピレングリコールモノメチルエーテル中よりも無極性溶剤であるトルエン中で機能する界面活性剤を選定していることになる。(フッ素系界面活性剤などでは水に不溶なものも多いため、幅広く溶解する極性溶剤のプロピレングリコールモノメチルエーテルを使用している。)
界面活性剤の親水性・疎水性バランスの観点からは、極性溶剤中で有効に機能する界面活性剤は親水性が大きめの傾向がある。逆に、無極性溶剤中で有効に機能する界面活性剤は相対的に親水性が低めの傾向がある。式(I)では、相対的に親水性の低めな界面活性剤を選定していることになる。
As described above, in the formula (I), Δγ (toluene) represents the surface tension (mN / m, 25 ° C.) of toluene from the surface tension (0.1% by mass) of a 0.1% by mass toluene solution of the surfactant (g-1). mN / m, 25 ° C.). This is an index of how much the surfactant exerted the surfactant action in the solvent. The same applies to Δγ (propylene glycol monomethyl ether).
Therefore, the surfactant which functions in toluene which is a nonpolar solvent rather than propylene glycol monomethyl ether which is a polar solvent is selected according to the formula (I). (Since many fluorine-based surfactants are insoluble in water, we use propylene glycol monomethyl ether, a polar solvent that dissolves widely.)
From the viewpoint of the hydrophilic / hydrophobic balance of the surfactant, the surfactant that functions effectively in the polar solvent tends to have a higher hydrophilicity. Conversely, surfactants that function effectively in nonpolar solvents tend to be relatively hydrophilic. In formula (I), a relatively low hydrophilic surfactant is selected.

<基板密着効果>
有機ケイ素化合物(f−1)は前記一般式(1)の構造により、基板と硬化膜の間の密着向上効果をもたらすが、その作用は以下の通りと考えられる。
<Board adhesion effect>
The organosilicon compound (f-1) has the effect of improving the adhesion between the substrate and the cured film due to the structure of the general formula (1), and its action is considered as follows.

まず、シラン部位を有することにより、そのシラノール基が基板の極性基と水素結合などの相互作用で吸着する。Siに結合しているアルコキシ基は硬化前の膜中の水分(環境湿度由来やアルカリ現像水溶液で処理される時の取込み分)の作用を受けて加水分解によりシラノール基となった後、高温加熱処理により基板表面の水酸基などとの間で脱水縮合を起こし、基板と強固な化学結合を形成するものと考えられる。
このような強固な結合は、カラーフィルタ製造時の塗布乾燥処理時やアルカリ現像液処理時や200℃以上の高温加熱処理時においても形成される。
First, by having a silane site, the silanol group is adsorbed by an interaction such as hydrogen bonding with the polar group of the substrate. Alkoxy groups bonded to Si are heated to high temperatures after being hydrolyzed to become silanol groups under the action of moisture in the film before curing (derived from environmental humidity or taken up when processed with an aqueous alkaline developer). It is considered that the treatment causes dehydration condensation with the hydroxyl group on the substrate surface to form a strong chemical bond with the substrate.
Such a strong bond is also formed at the time of coating / drying processing at the time of manufacturing a color filter, at the time of processing with an alkaline developer, or at a high temperature heat treatment at 200 ° C. or higher.

また、前記一般式(1−1)中のウレタン結合部位は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂、光重合性モノマー、分散剤などに含まれるカルボキシル基、エステル基、エポキシアクリレート基などの極性基と、水素結合や電荷的な相互作用による結合を行うことによって、有機ケイ素化合物(f−1)を介して感光性樹脂組成物と基板とがより強固に密着すると考えられる。
特に光重合性モノマー中にエステル結合を有する場合や分散剤中にウレタン結合を有する場合には、特に、この効果が相乗的に向上する。
Moreover, the urethane bond part in the said General formula (1-1) is a carboxyl group, ester group, an epoxy acrylate group, etc. which are contained in alkali-soluble resin in a photosensitive resin composition, a photopolymerizable monomer, a dispersing agent, etc. It is considered that the photosensitive resin composition and the substrate are more firmly adhered to each other through the organosilicon compound (f-1) by bonding with the polar group through hydrogen bonding or charge interaction.
This effect is synergistically improved especially when the photopolymerizable monomer has an ester bond or the dispersant has a urethane bond.

さらに前記一般式(1−1)中の不飽和基は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂や光重合性モノマー中の不飽和基と、カラーフィルタ製造時の紫外線照射や高熱処理に架橋すると考えられる。特に感光性樹脂組成物中の光重合開始剤が、オキシムエステルのような高感度のものを含有する場合は、その効果が相乗的に向上すると考えられる。   Furthermore, the unsaturated group in the general formula (1-1) is cross-linked to the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition or the unsaturated group in the photopolymerizable monomer, and to ultraviolet irradiation or high heat treatment during color filter production. I think that. In particular, when the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition contains a highly sensitive material such as an oxime ester, the effect is considered to be synergistically improved.

このように、前記一般式(1)中のシラン部位、前記一般式(1−1)中のウレタン結合部位、及び不飽和基部位の相乗的な効果により、基板と感光性樹脂組成物との密着性が大きく向上するものと考えられる。また塗膜中に不均一な部分があると基板密着低下の原因となりえるが、界面活性剤(g−1)は前記一般式(I)を満たすことにより、均一な塗膜形成に寄与する。   Thus, due to the synergistic effect of the silane moiety in the general formula (1), the urethane bond site in the general formula (1-1), and the unsaturated group moiety, the substrate and the photosensitive resin composition It is considered that the adhesion is greatly improved. Further, if there is a non-uniform portion in the coating film, it may cause a decrease in substrate adhesion, but the surfactant (g-1) contributes to the formation of a uniform coating film by satisfying the general formula (I).

<高温高湿下に暴露後の基板密着低下の抑制効果>
通常、界面活性剤はハジキ抑制など塗工性向上のために添加されるが、塗膜形成後も塗膜中に残るため、その後の工程で悪影響しないように用途に応じた選定が必要である。
界面活性剤(g−1)は前記一般式(I)を満たすことにより、高温高湿下に暴露後の基板密着低下の抑制効果を有するが、その作用は以下の通りと考えられる。
<Inhibition effect on decrease in substrate adhesion after exposure to high temperature and high humidity>
Usually, surfactants are added to improve coatability such as repellency control, but remain in the coating after forming the coating. Therefore, selection according to the application is necessary so as not to adversely affect the subsequent steps. .
The surfactant (g-1) has the effect of suppressing the decrease in adhesion of the substrate after exposure to high temperature and high humidity by satisfying the general formula (I), and the action is considered as follows.

界面活性剤の基本性能である塗工性向上効果を保ったまま、親水性・疎水性バランスがより疎水性の高い界面活性剤から選択することにより、高温高湿下に暴露された時の硬化膜全体への吸湿を抑えていると考えられる。
また、基板と硬化膜の界面では、界面活性剤が親水性部分をガラスなどの基板側に向けて集まるが、界面活性剤の親水性を弱めることによって、この界面へ集まる水分量も抑えられると考えられる。
更にフッ素系の界面活性剤とすることで、塗膜形成時にフッ素化された基を気相側に突きだして表面を覆うため、硬化膜形成後も表面は疎水化されており水分の透過を抑えていると考えられる。
硬化膜の吸湿は、硬化膜を膨張させて、基板との間に応力を発生させる。こうした応力は硬化膜の微小なクラックの原因となるため基板密着力の低下に繋がる。高温高湿下での透湿・吸湿を抑えることが基板密着低下の抑制に効果的である。
Curing when exposed to high temperatures and high humidity by selecting from surfactants with a higher hydrophilic / hydrophobic balance while maintaining the coatability improvement effect that is the basic performance of surfactants. It is thought that moisture absorption to the whole film is suppressed.
In addition, at the interface between the substrate and the cured film, the surfactant gathers with the hydrophilic portion facing the substrate side such as glass, but by reducing the hydrophilicity of the surfactant, the amount of moisture gathered at this interface can be suppressed. Conceivable.
Furthermore, by using a fluorosurfactant, the surface is covered with a fluorinated group that protrudes toward the gas phase when the coating is formed. It is thought that.
The moisture absorption of the cured film expands the cured film and generates stress between the substrate and the substrate. Since such stress causes micro cracks in the cured film, it leads to a decrease in substrate adhesion. Suppressing moisture permeation and moisture absorption under high temperature and high humidity is effective in suppressing decrease in substrate adhesion.

<アルカリ可溶性樹脂(a)>
本発明の感光性樹脂組成物はアルカリ可溶性樹脂(a)を含む。アルカリ可溶性樹脂(a)は、感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して得られる硬化膜を露光後、露光部と非露光部のアルカリ現像に対する溶解性が変化するようなものであれば特に限定されてないが、カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂であるのが好ましい。また、エチレン性不飽和基を有するものが好ましく、エチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が、更に好ましい。具体的には、カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂やアクリル共重合樹脂が挙げられ、好ましいものとしてより具体的には、後述の(A1−1)、(A1−2)、(A2−1)、(A2−2)、(A2−3)及び(A2−4)として記載のものが挙げられ、これらは1種を用いても2種以上を用いてもよい。上記の中でも、カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1)、(A1−2)が特に望ましい。
<Alkali-soluble resin (a)>
The photosensitive resin composition of this invention contains alkali-soluble resin (a). The alkali-soluble resin (a) is particularly limited as long as the solubility of the exposed portion and the non-exposed portion in alkali development changes after exposure of the cured film obtained by applying and drying the photosensitive resin composition. Although not made, it is preferably an alkali-soluble resin having a carboxyl group. Moreover, what has an ethylenically unsaturated group is preferable, and alkali-soluble resin which has an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group is still more preferable. Specific examples include an epoxy (meth) acrylate resin and an acrylic copolymer resin having a carboxyl group, and more preferable examples are (A1-1), (A1-2), (A2- Examples include 1), (A2-2), (A2-3) and (A2-4), and these may be used alone or in combination of two or more. Among the above, epoxy (meth) acrylate resins (A1-1) and (A1-2) having a carboxyl group are particularly desirable.

カラーフィルタ作成時、アルカリ現像液に非露光部が溶解するために、高分子樹脂として、水酸基、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基などの酸性の官能基を有した高分子樹脂が適用される。これらの中でもアルカリ現像液に対する溶解性の観点から、カルボキシル基を有した高分子樹脂が好ましい。また、リン酸基やスルホン酸基は、カルボキシル基よりも酸性度は高いものの、感光性樹脂組成物中の塩基性基を有する開始剤、モノマー、分散剤、その他の添加剤などと反応しやすく、保存安定性が悪くなる場合がある。   When creating a color filter, a polymer resin having an acidic functional group such as a hydroxyl group, a carboxyl group, a phosphoric acid group, or a sulfonic acid group is applied as a polymer resin so that the non-exposed portion is dissolved in an alkaline developer. The Among these, from the viewpoint of solubility in an alkaline developer, a polymer resin having a carboxyl group is preferable. In addition, although phosphoric acid groups and sulfonic acid groups have higher acidity than carboxyl groups, they easily react with initiators, monomers, dispersants and other additives having basic groups in the photosensitive resin composition. , Storage stability may deteriorate.

また、前記一般式(1)で表される、ウレタン結合部位を有する有機ケイ素化合物(f−1)が、アルカリ可溶性樹脂におけるカルボキシル基等の極性基と、水素結合や電荷的な相互作用による結合をし、感光性樹脂組成物と基板との密着性をより向上させる傾向がある。   In addition, the organosilicon compound (f-1) having a urethane bond site represented by the general formula (1) is bonded to a polar group such as a carboxyl group in an alkali-soluble resin by a hydrogen bond or a charge interaction. The adhesion between the photosensitive resin composition and the substrate tends to be further improved.

さらに、前記一般式(1)で表される、不飽和基を有する有機ケイ素化合物(f−1)は、アルカリ可溶性樹脂におけるエチレン性不飽和基と、カラーフィルタ製造時の紫外線照射時や高熱処理時に互いに架橋し、さらに基板との密着性を向上させる傾向がある。   Furthermore, the organosilicon compound (f-1) having an unsaturated group represented by the general formula (1) includes an ethylenically unsaturated group in an alkali-soluble resin, ultraviolet irradiation at the time of manufacturing a color filter, and high heat treatment. Sometimes they tend to crosslink with each other and further improve adhesion to the substrate.

また、カルボキシル基とエチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂としてエポキシ(メタ)アクリレート樹脂を用いた場合には、この樹脂中の不飽和結合やカルボキシル基をより多く付加させることが可能となり、また、芳香環構造を多く含ませたり、立体的に嵩高い脂環式構造を含ませたりすることが可能となり、有機ケイ素化合物(f−1)との相互作用がさらに大きくなり、基板との密着性がより一層向上する傾向がある。   In addition, when an epoxy (meth) acrylate resin is used as an alkali-soluble resin having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group, it becomes possible to add more unsaturated bonds and carboxyl groups in the resin. It is possible to include a large amount of an aromatic ring structure or a sterically bulky alicyclic structure, and the interaction with the organosilicon compound (f-1) is further increased, and the substrate is in close contact with the substrate. There is a tendency for the property to be further improved.

カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂としては、例えば、以下のエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1)及び/又はエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−2)が挙げられる。   Examples of the epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group include the following epoxy (meth) acrylate resin (A1-1) and / or epoxy (meth) acrylate resin (A1-2).

<エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1)>
エポキシ樹脂にα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多塩基酸及び/又はその無水物を反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
<エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−2)>
エポキシ樹脂にα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多価アルコール、及び多塩基酸及び/又はその無水物と反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
<Epoxy (meth) acrylate resin (A1-1)>
It was obtained by adding an α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group to an epoxy resin, and further reacting a polybasic acid and / or an anhydride thereof. Alkali-soluble resin.
<Epoxy (meth) acrylate resin (A1-2)>
An α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group is added to an epoxy resin, and further reacted with a polyhydric alcohol and a polybasic acid and / or an anhydride thereof. The alkali-soluble resin obtained by this.

(カルボキシル基とエチレン性不飽和基結合を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1))
原料となるエポキシ樹脂として、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(例えば、三菱化学社製の「エピコート(登録商標。以下同じ。)828」、「エピコート1001」、「エピコート1002」、「エピコート1004」等)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ(例えば、日本化薬社製の「NER−1302」(エポキシ当量323,軟化点76℃))、ビスフェノールF型樹脂(例えば、三菱化学社製の「エピコート807」、「EP−4001」、「EP−4002」、「EP−4004等」)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ樹脂(例えば、日本化薬社製の「NER−7406」(エポキシ当量350,軟化点66℃))、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニルグリシジルエーテル(例えば、三菱化学社製の「YX−4000」)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(例えば、日本化薬社製の「EPPN−201」、三菱化学社製の「EP−152」、「EP−154」、ダウケミカル社製の「DEN−438」)、(o,m,p−)クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(例えば、日本化薬社製の「EOCN(登録商標。以下同じ。)−102S」、「EOCN−1020」、「EOCN−104S」)、トリグリシジルイソシアヌレート(例えば、日産化学社製の「TEPIC(登録商標)」)、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂(例えば、日本化薬社製の「EPPN(登録商標。以下同じ。)−501」、「EPN−502」、「EPPN−503」)、脂環式エポキシ樹脂(ダイセル社製の「セロキサイド(登録商標。以下同じ。)2021P」、「セロキサイドEHPE」)、ジシクロペンタジエンとフェノールの反応によるフェノール樹脂をグリシジル化したエポキシ樹脂(例えば、DIC社製の「EXA−7200」、日本化薬社製の「NC−7300」)、下記一般式(a1)〜(a4)で表されるエポキシ樹脂、等を好適に用いることができる。具体的には、下記一般式(a1)で表されるエポキシ樹脂として日本化薬社製の「XD−1000」、下記一般式(a2)で表されるエポキシ樹脂として日本化薬社製の「NC−3000」、下記一般式(a4)で表されるエポキシ樹脂として新日鐵住金化学社製の「ESF−300」等が挙げられる。
(Epoxy (meth) acrylate resin (A1-1) having carboxyl group and ethylenically unsaturated group bond)
As an epoxy resin used as a raw material, for example, bisphenol A type epoxy resin (for example, “Epicoat (registered trademark; the same applies hereinafter) 828”, “Epicoat 1001”, “Epicoat 1002”, “Epicoat 1004” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, etc. ), Epoxy obtained by reaction of alcoholic hydroxyl group of bisphenol A type epoxy resin and epichlorohydrin (for example, “NER-1302” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (epoxy equivalent 323, softening point 76 ° C.)), bisphenol F type resin ( For example, “Epicoat 807”, “EP-4001”, “EP-4002”, “EP-4004 etc.” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), an epoxy resin obtained by the reaction of an alcoholic hydroxyl group of bisphenol F type epoxy resin with epichlorohydrin (For example, “NER-7 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. 06 ”(epoxy equivalent 350, softening point 66 ° C.)), bisphenol S type epoxy resin, biphenyl glycidyl ether (eg“ YX-4000 ”manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), phenol novolac type epoxy resin (eg Nippon Kayaku Co., Ltd.) "EPPN-201" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, "EP-152", "EP-154" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, "DEN-438" manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.), (o, m, p-) cresol novolac type epoxy resin (For example, “EOCN (registered trademark) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.”) “102S”, “EOCN-1020”, “EOCN-104S”), triglycidyl isocyanurate (for example, “TEPIC manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.) (Registered trademark) ”), trisphenolmethane type epoxy resin (for example,“ EPPN (registered trademark) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. ) -501 "," EPN-502 "," EPPN-503 "), cycloaliphatic epoxy resin (" Celoxide (registered trademark; the same applies hereinafter) 2021P "," Celoxide EHPE "manufactured by Daicel Corporation), Di Epoxy resins obtained by glycidylation of a phenol resin by reaction of cyclopentadiene and phenol (for example, “EXA-7200” manufactured by DIC, “NC-7300” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), the following general formulas (a1) to (a4) The epoxy resin etc. which are represented by these can be used suitably. Specifically, “XD-1000” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. as an epoxy resin represented by the following general formula (a1) and “XD-1000” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. as an epoxy resin represented by the following general formula (a2) NC-3000 ”,“ ESF-300 ”manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. and the like can be given as epoxy resins represented by the following general formula (a4).

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記一般式(a1)において、b11は平均値を示し0〜10の数を示す。R11は水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、フェニル基、ナフチル基、又はビフェニル基を表す。なお、1分子中に存在する複数のR11は互いに同一であっても異なっていてもよい。 In the said general formula (a1), b11 shows an average value and shows the number of 0-10. R 11 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a phenyl group, a naphthyl group, or a biphenyl group. A plurality of R 11 present in one molecule may be the same as or different from each other.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記一般式(a2)において、b12は平均値を示し0〜10の数を示す。R21は水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、フェニル基、ナフチル基、又はビフェニル基を表す。なお、1分子中に存在する複数のR21は互いに同一であっても異なっていてもよい。 In the said general formula (a2), b12 shows an average value and shows the number of 0-10. R 21 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a phenyl group, a naphthyl group, or a biphenyl group. A plurality of R 21 present in one molecule may be the same as or different from each other.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記一般式(a3)において、Xは下記一般式(a3−1)又は(a3−2)で表される連結基を示す。但し、分子構造中に1つ以上のアダマンタン構造を含む。b13は2又は3の整数を示す。   In the general formula (a3), X represents a linking group represented by the following general formula (a3-1) or (a3-2). However, one or more adamantane structures are included in the molecular structure. b13 represents an integer of 2 or 3.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記一般式(a3−1)及び(a3−2)において、R31〜R34及びR35〜R37は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよいアダマンチル基、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1〜12のアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基を示す。また、式中の*印は(a3)中の結合部位を表す。 In the general formulas (a3-1) and (a3-2), R 31 to R 34 and R 35 to R 37 are each independently an adamantyl group, a hydrogen atom, or a substituent which may have a substituent. The alkyl group of C1-C12 which may have this, or the phenyl group which may have a substituent is shown. Moreover, * mark in a formula represents the binding site in (a3).

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記一般式(a4)において、p及びqはそれぞれ独立に0〜4の整数を表し、R41及びR42はそれぞれ独立してアルキル基又はハロゲン原子を表す。R43及びR44はそれぞれ独立してアルキレン基を表す。x及びyはそれぞれ独立して0以上の整数を表す。
これらの中で、一般式(a1)〜(a4)のいずれかで表されるエポキシ樹脂を用いるのが好ましい。
In the general formula (a4), p and q each independently represent an integer of 0 to 4, and R 41 and R 42 each independently represent an alkyl group or a halogen atom. R 43 and R 44 each independently represents an alkylene group. x and y each independently represents an integer of 0 or more.
Among these, it is preferable to use an epoxy resin represented by any one of the general formulas (a1) to (a4).

α,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとしては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、o−、m−、p−ビニル安息香酸、(メタ)アクリル酸のα位ハロアルキル、アルコキシル、ハロゲン、ニトロ、シアノ置換体などのモノカルボン酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルアジピン酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルマレイン酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルコハク酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルアジピン酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルテトラヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルマレイン酸、2−(メタ)アクリロイロキシブチルコハク酸、2−(メタ)アクリロイロキシブチルアジピン酸、2−(メタ)アクリロイロキシブチルヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシブチルフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシブチルマレイン酸、
(メタ)アクリル酸エステルとしては、(メタ)アクリル酸にε−カプロラクトン、β−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトン類を付加させ末端に1個の水酸基を有する単量体や、
或いはヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートのような末端に1個の水酸基を有する単量体や、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートのような末端に11個の水酸基を有する化合物に、(無水)コハク酸、(無水)フタル酸、(無水)マレイン酸などの酸(無水物)を付加させ、1個以上のエチレン不飽和基と末端に1個のカルボキシル基を有する(メタ)アクリル酸エステルなどが挙げられる。また、(メタ)アクリル酸ダイマーなども挙げられる。
Examples of α, β-unsaturated monocarboxylic acid or α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group include (meth) acrylic acid, crotonic acid, o-, m-, p-vinylbenzoic acid, (meta ) Monocarboxylic acid such as α-position haloalkyl, alkoxyl, halogen, nitro, cyano substituent of acrylic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl succinic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl adipic acid, 2- ( (Meth) acryloyloxyethyl phthalic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl maleic acid, 2- (meth) acryloyloxypropyl succinic acid, 2- ( (Meth) acryloyloxypropyl adipic acid, 2- (meth) acryloyloxypropyl tetrahydrophthalic acid, 2- (meth) a Acryloyloxypropylphthalic acid, 2- (meth) acryloyloxypropylmaleic acid, 2- (meth) acryloyloxybutyl succinic acid, 2- (meth) acryloyloxybutyladipic acid, 2- (meth) acryloyl Loxybutylhydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyloxybutylphthalic acid, 2- (meth) acryloyloxybutylmaleic acid,
The (meth) acrylic acid ester is a single monomer having one hydroxyl group at the terminal by adding lactones such as ε-caprolactone, β-propiolactone, γ-butyrolactone, δ-valerolactone to (meth) acrylic acid. Body,
Alternatively, a monomer having one hydroxyl group at the end, such as hydroxyalkyl (meth) acrylate, or a compound having one hydroxyl group at the end, such as pentaerythritol tri (meth) acrylate, is added to (anhydrous) succinic acid, (Meth) acrylic acid ester having one or more ethylenically unsaturated groups and one carboxyl group at the end by adding an acid (anhydride) such as (anhydrous) phthalic acid or (anhydrous) maleic acid . Moreover, (meth) acrylic acid dimer etc. are also mentioned.

これらの内、感度の点から、特に好ましいものは(メタ)アクリル酸である。
エポキシ樹脂にα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させる方法としては、公知の手法を用いることができる。例えば、エステル化触媒の存在下、50〜150℃の温度で、α,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとエポキシ樹脂とを反応させることができる。ここで用いるエステル化触媒としては、トリエチルアミン、トリメチルアミン、ベンジルジメチルアミン、ベンジルジエチルアミン等の3級アミン、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩等を用いることができる。
Of these, (meth) acrylic acid is particularly preferable from the viewpoint of sensitivity.
As a method of adding an α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group to the epoxy resin, a known method can be used. For example, reacting an α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group with an epoxy resin at a temperature of 50 to 150 ° C. in the presence of an esterification catalyst. it can. As the esterification catalyst used here, tertiary amines such as triethylamine, trimethylamine, benzyldimethylamine, and benzyldiethylamine, and quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride, and dodecyltrimethylammonium chloride can be used. .

なお、エポキシ樹脂、α,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステル、及びエステル化触媒は、いずれも1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
α,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルの使用量は、エポキシ樹脂のエポキシ基1当量に対し0.5〜1.2当量の範囲が好ましく、さらに好ましくは0.7〜1.1当量の範囲である。
α,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルの使用量が少ないと不飽和基の導入量が不足し、引き続く多塩基酸及び/又はその無水物との反応も不十分となる。また、多量のエポキシ基が残存することも有利ではない。一方、該使用量が多いとα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルが未反応物として残存する。いずれの場合も硬化特性が悪化する傾向が認められる。
In addition, the epoxy resin, the α, β-unsaturated monocarboxylic acid or the α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group, and the esterification catalyst may be used alone or in combination of two types. You may use the above together.
The amount of α, β-unsaturated monocarboxylic acid or α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group is preferably in the range of 0.5 to 1.2 equivalents relative to 1 equivalent of epoxy group of the epoxy resin. More preferably, it is in the range of 0.7 to 1.1 equivalents.
If the amount of α, β-unsaturated monocarboxylic acid or α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group is small, the amount of unsaturated groups introduced is insufficient, and the subsequent polybasic acid and / or anhydride thereof The reaction with is also insufficient. Also, it is not advantageous that a large amount of epoxy groups remain. On the other hand, when the amount used is large, α, β-unsaturated monocarboxylic acid or α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group remains as an unreacted product. In either case, there is a tendency for the curing properties to deteriorate.

多塩基酸及び/又はその無水物としては、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸、及びこれらの無水物等から選ばれた、1種又は2種以上が挙げられる。   Polybasic acids and / or anhydrides thereof include maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, benzophenone tetracarboxylic acid, methyl hexahydrophthal Examples thereof include one or more selected from acids, endomethylenetetrahydrophthalic acid, chlorendic acid, methyltetrahydrophthalic acid, biphenyltetracarboxylic acid, and anhydrides thereof.

好ましくは、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸、又はこれらの無水物である。特に好ましくは、テトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸、無水テトラヒドロフタル酸、又はビフェニルテトラカルボン酸二無水物である。   Preferred are maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, biphenyltetracarboxylic acid, or their anhydrides. Particularly preferred is tetrahydrophthalic acid, biphenyltetracarboxylic acid, tetrahydrophthalic anhydride, or biphenyltetracarboxylic dianhydride.

多塩基酸及び/又はその無水物の付加反応に関しても公知の手法を用いることができ、エポキシ樹脂へのα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルの付加反応と同様な条件下で、継続反応させて目的物を得ることができる。多塩基酸及び/又はその無水物成分の付加量は、生成するカルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の酸価が10〜150mgKOH/gの範囲となるような程度であることが好ましく、さらに20〜140mgKOH/gの範囲となるような程度であることが好ましい。前記下限値以上とすることでアルカリ現像性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで硬化性が良好となる傾向がある。   A known method can be used for addition reaction of polybasic acid and / or anhydride thereof, and α, β-unsaturated monocarboxylic acid or α, β-unsaturated monocarboxylic acid having carboxyl group to epoxy resin. The target product can be obtained by continuing the reaction under the same conditions as in the ester addition reaction. The addition amount of the polybasic acid and / or its anhydride component is preferably such that the acid value of the resulting carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate resin is in the range of 10 to 150 mg KOH / g, and further 20 It is preferable that it is a grade which becomes the range of -140 mgKOH / g. There exists a tendency for alkali developability to become favorable by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency for sclerosis | hardenability to become favorable by setting it as the said upper limit or less.

((A1−1)樹脂の合成と(A1−1)樹脂に多価アルコールを添加し分岐構造を導入した(A1−2)樹脂の合成)
上記(A1−1)樹脂の多塩基酸及び/又はその無水物の付加反応合成時に、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールなどの多価アルコールを添加し、多分岐構造を導入したものとしてもよい。
カルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、通常、エポキシ樹脂とα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物に、多塩基酸及び/又はその無水物を混合した後、もしくは、エポキシ樹脂とα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物に、多塩基酸及び/又はその無水物及び多価アルコールを混合した後に、加温することにより得られる。この場合、多塩基酸及び/又はその無水物と多価アルコールの混合順序に、特に制限はない。加温により、エポキシ樹脂とα,β−不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとの反応物と多価アルコールとの混合物中に存在するいずれかの水酸基に対して多塩基酸及び/又はその無水物が付加反応する。
((A1-1) Synthesis of Resin and (A1-1) Synthesis of Resin with Addition of Polyhydric Alcohol to Resin and Introduced Branch Structure)
In the addition reaction synthesis of the polybasic acid and / or anhydride thereof of the (A1-1) resin, polyhydric alcohol such as trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol is added, and a multi-branched structure is introduced. Also good.
The carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate resin is usually a reaction product of an epoxy resin and an α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group. Or after mixing the anhydride, or a reaction product of an epoxy resin and an α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group with a polybasic acid and / or Or it is obtained by heating after mixing the anhydride and polyhydric alcohol. In this case, the mixing order of the polybasic acid and / or its anhydride and the polyhydric alcohol is not particularly limited. Any hydroxyl group present in the mixture of the reaction product of the epoxy resin and the α, β-unsaturated monocarboxylic acid or the α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group and the polyhydric alcohol by heating. To the polybasic acid and / or its anhydride.

カルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、1種を単独で用いても、2種以上の樹脂を混合して用いても良い。
多価アルコールの使用量は、少な過ぎると効果が薄く、多過ぎると増粘やゲル化の可能性があるので、エポキシ樹脂成分とα,β−不飽和モノカルボン酸又はエステル部分にカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステル成分との反応物に対して、通常0.01〜0.5質量倍程度、好ましくは0.02〜0.2質量倍程度である。
The carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate resin may be used alone or as a mixture of two or more resins.
If the amount of polyhydric alcohol is too small, the effect is thin, and if it is too large, there is a possibility of thickening or gelation. Therefore, a carboxyl group is added to the epoxy resin component and the α, β-unsaturated monocarboxylic acid or ester moiety. It is about 0.01-0.5 mass times normally with respect to the reaction material with the (alpha), (beta)-unsaturated monocarboxylic acid ester component which has, Preferably it is about 0.02-0.2 mass times.

このようにして得られるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1、A1−2)の酸価は、通常10mgKOH/g以上、好ましくは50mgKOH/g以上であり、200mgKOH/g以下であることが好ましく、150mgKOH/g以下であることがより好ましい。前記下限値以上とすることで現像性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることでアルカリ耐性を良好にすることができる傾向がある。   The acid value of the epoxy (meth) acrylate resin (A1-1, A1-2) thus obtained is usually 10 mgKOH / g or more, preferably 50 mgKOH / g or more, and preferably 200 mgKOH / g or less. More preferably, it is 150 mgKOH / g or less. There exists a tendency for developability to become favorable by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can make alkali resistance favorable by setting it as the said upper limit or less.

エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(A1−1、A1−2)のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)測定によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は、1,000以上であることが好ましく、1,500以上であることがより好ましい。また、10,000以下であることが好ましく、8,000以下であることがより好ましく、6,000以下であることが更に好ましい。前記下限値以上とすることで感度、塗膜強度、アルカリ耐性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性や再溶解性を良好なものとすることができる傾向がある。   The weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene as measured by gel permeation chromatography (GPC) of the epoxy (meth) acrylate resin (A1-1, A1-2) is preferably 1,000 or more, and 1,500. More preferably. Further, it is preferably 10,000 or less, more preferably 8,000 or less, and still more preferably 6,000 or less. Sensitivity, coating film strength and alkali resistance tend to be good when the lower limit value is exceeded, and developability and re-dissolvability tend to be good when the upper limit value or less. .

(アクリル共重合樹脂(A2−1)(A2−2)(A2−3)(A2−4))
アクリル共重合樹脂としては、例えば、特開平7−207211号、特開平8−259876号、特開平10−300922号、特開平11−140144号、特開平11−174224号、特開2000−56118号、特開2003−233179号、特開2007−270147号などの各公報等に記載された様々な高分子化合物を使用することができるが、好ましくは、以下の(A2−1)〜(A2−4)の樹脂等が挙げられ、中でも、(A2−1)樹脂が特に好ましい。
(Acrylic copolymer resin (A2-1) (A2-2) (A2-3) (A2-4))
Examples of the acrylic copolymer resin include JP-A-7-207211, JP-A-8-259876, JP-A-10-300922, JP-A-11-140144, JP-A-11-174224, and JP-A-2000-56118. Various polymer compounds described in JP-A-2003-233179, JP-A-2007-270147, and the like can be used. Preferably, the following (A2-1) to (A2-) 4) resin etc. are mentioned, Among these, (A2-1) resin is particularly preferable.

(A2−1):エポキシ基含有(メタ)アクリレートと、他のラジカル重合性単量体との共重合体に対し、当該共重合体が有するエポキシ基の少なくとも一部に不飽和一塩基酸を付加させてなる樹脂、或いは当該付加反応により生じた水酸基の少なくとも一部に多塩基酸無水物を付加させて得られる樹脂
(A2−2):主鎖にカルボキシル基を含有する直鎖状アルカリ可溶性樹脂
(A2−3):前記(A2−2)樹脂のカルボキシル基部分に、エポキシ基含有不飽和化合物を付加させた樹脂
(A2−4):(メタ)アクリル系樹脂
(A2-1): With respect to a copolymer of an epoxy group-containing (meth) acrylate and another radical polymerizable monomer, an unsaturated monobasic acid is added to at least a part of the epoxy group of the copolymer. Resin obtained by addition, or resin obtained by adding a polybasic acid anhydride to at least a part of the hydroxyl group generated by the addition reaction (A2-2): linear alkali-soluble containing a carboxyl group in the main chain Resin (A2-3): Resin in which an epoxy group-containing unsaturated compound is added to the carboxyl group portion of the (A2-2) resin (A2-4): (Meth) acrylic resin

本発明の感光性樹脂組成物は、感度の観点から、エチレン性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂として(A1−1)、(A1−2)、(A2−1)、(A2−3)の少なくとも何れかを含むのがさらに好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、表面硬化性の観点から、エチレン性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂としてエポキシ(メタ)アクリレート樹脂である(A1−1)、(A1−2)の少なくとも何れかを含むのが特に好ましい。   From the viewpoint of sensitivity, the photosensitive resin composition of the present invention is (A1-1), (A1-2), (A2-1), (A2-3) as an alkali-soluble resin containing an ethylenically unsaturated group. It is more preferable that at least one of these is included. The photosensitive resin composition of the present invention is an epoxy (meth) acrylate resin as an alkali-soluble resin containing an ethylenically unsaturated group from the viewpoint of surface curability, and is at least one of (A1-1) and (A1-2). It is particularly preferable to include any of them.

本発明の感光性樹脂組成物は、その他のアルカリ可溶性樹脂を併用してもよい。
その他のアルカリ可溶性樹脂に制限は無く、カラーフィルタ用感光性樹脂組成物に通常使用される樹脂から選択すれば良い。例えば、特開2007−271727号公報、特開2007−316620号公報、特開2007−334290号公報などに記載のアルカリ可溶性樹脂などが挙げられる。
The photosensitive resin composition of the present invention may be used in combination with other alkali-soluble resins.
There is no restriction | limiting in other alkali-soluble resin, What is necessary is just to select from resin normally used for the photosensitive resin composition for color filters. Examples thereof include alkali-soluble resins described in JP2007-271727A, JP2007-316620A, JP2007-334290A, and the like.

アルカリ可溶性樹脂(a)の含有量は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは15質量%以上であり、通常90質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは50質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下である。前記下限値以上とすることで未露光部分の現像液に対する溶解性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで露光部への現像液の過剰な浸透を抑制することができ、画像のシャープ製や密着性が良好となる傾向がある。
尚、上述のように、本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂(a)として、前述の(A1−1)、(A1−2)、(A2−1)、(A2−2)、(A2−3)及び(A2−4)の少なくとも1種を含むのが好ましく、その他のアルカリ可溶性樹脂を含む場合、その含有割合は、アルカリ可溶性樹脂(a)の合計に対して、20質量%以下、好ましくは10質量%以下である。
Content of alkali-soluble resin (a) is 5 mass% or more normally with respect to the total solid of the photosensitive resin composition of this invention, Preferably it is 10 mass% or more, More preferably, it is 15 mass% or more, Usually, it is 90 mass% or less, Preferably it is 70 mass% or less, More preferably, it is 50 mass% or less, More preferably, it is 30 mass% or less. By setting the lower limit value or more, there is a tendency that the solubility of the unexposed portion in the developer tends to be good, and by setting the upper limit value or less, excessive penetration of the developer into the exposed portion can be suppressed. And there is a tendency for the image to be sharp and to have good adhesion.
In addition, as above-mentioned, the photosensitive resin composition of this invention is the above-mentioned (A1-1), (A1-2), (A2-1), (A2-2) as alkali-soluble resin (a). , (A2-3) and (A2-4) are preferably included, and when other alkali-soluble resin is included, the content ratio is 20 mass with respect to the total of the alkali-soluble resin (a). % Or less, preferably 10% by mass or less.

<光重合性モノマー(b)>
本発明の感光性樹脂組成物は、感度等の点から光重合性モノマー(b)を含有する。
本発明に用いられる光重合性モノマーとしては、分子内にエチレン性不飽和基を少なくとも1個有する化合物(以下、「エチレン性単量体」と称することがある)を挙げることができる。具体的には、例えば(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、アクリロニトリル、スチレン、及びエチレン性不飽和結合を1個有するカルボン酸と、多価又は1価アルコールのモノエステル、等が挙げられる。
<Photopolymerizable monomer (b)>
The photosensitive resin composition of this invention contains a photopolymerizable monomer (b) from points, such as a sensitivity.
Examples of the photopolymerizable monomer used in the present invention include compounds having at least one ethylenically unsaturated group in the molecule (hereinafter sometimes referred to as “ethylenic monomer”). Specifically, for example, (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid alkyl ester, acrylonitrile, styrene, a carboxylic acid having one ethylenically unsaturated bond, a monoester of polyhydric or monohydric alcohol, etc. Can be mentioned.

本発明においては、特に、1分子中にエチレン性不飽和基を二個以上有する多官能エチレン性単量体を使用することが望ましい。多官能エチレン性単量体におけるエチレン性不飽和基の数は通常2以上、好ましくは3以上、より好ましくは4以上、さらに好ましくは5以上、特に好ましくは6以上、また通常10以下、好ましくは8以下である。前記下限値以上とすることでレジストが高感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで重合時の硬化収縮が小さくなる傾向がある。
多官能エチレン性単量体の例としては、例えば脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルなどが挙げられる。
In the present invention, it is particularly desirable to use a polyfunctional ethylenic monomer having two or more ethylenically unsaturated groups in one molecule. The number of ethylenically unsaturated groups in the polyfunctional ethylenic monomer is usually 2 or more, preferably 3 or more, more preferably 4 or more, further preferably 5 or more, particularly preferably 6 or more, and usually 10 or less, preferably 8 or less. When the amount is not less than the lower limit, the resist tends to have high sensitivity, and when the amount is not more than the upper limit, curing shrinkage during polymerization tends to be small.
Examples of the polyfunctional ethylenic monomer include, for example, an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid; an ester of an aromatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid; an aliphatic polyhydroxy compound, and an aromatic polyhydroxy compound. Examples thereof include esters obtained by an esterification reaction of a polyvalent hydroxy compound such as a hydroxy compound with an unsaturated carboxylic acid and a polybasic carboxylic acid.

前記脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、グリセロールアクリレート等の脂肪族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル、これら例示化合物のアクリレートをメタクリレートに代えたメタクリル酸エステル、同様にイタコネートに代えたイタコン酸エステル、クロネートに代えたクロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマレイン酸エステル等が挙げられる。   Examples of the ester of the aliphatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid include ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolethane triacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, Acrylic acid esters of aliphatic polyhydroxy compounds such as pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, glycerol acrylate, etc. In the same way, itaconic acid ester instead of itaconate, Maleic acid esters in which instead of the crotonic acid ester or maleate was changed to and the like.

芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、ハイドロキノンジアクリレート、ハイドロキノンジメタクリレート、レゾルシンジアクリレート、レゾルシンジメタクリレート、ピロガロールトリアクリレート等の芳香族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル等が挙げられる。
多塩基性カルボン酸及び不飽和カルボン酸と、多価ヒドロキシ化合物のエステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも単一物ではないが、代表的な具体例を挙げれば、アクリル酸、フタル酸、及びエチレングリコールの縮合物、アクリル酸、マレイン酸、及びジエチレングリコールの縮合物、メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトールの縮合物、アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及びグリセリンの縮合物等が挙げられる。
Examples of esters of aromatic polyhydroxy compounds and unsaturated carboxylic acids include acrylic acid esters and methacrylic acid esters of aromatic polyhydroxy compounds such as hydroquinone diacrylate, hydroquinone dimethacrylate, resorcin diacrylate, resorcin dimethacrylate, and pyrogallol triacrylate. Etc.
The ester obtained by the esterification reaction of a polybasic carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid and a polyvalent hydroxy compound is not necessarily a single substance, but representative examples include acrylic acid, phthalic acid, and Examples include condensates of ethylene glycol, condensates of acrylic acid, maleic acid, and diethylene glycol, condensates of methacrylic acid, terephthalic acid, and pentaerythritol, condensates of acrylic acid, adipic acid, butanediol, and glycerin.

その他、本発明に用いられる多官能エチレン性単量体の例としては、ポリイソシアネート化合物と水酸基含有(メタ)アクリル酸エステル又はポリイソシアネート化合物とポリオール及び水酸基含有(メタ)アクリル酸エステルを反応させて得られるようなウレタン(メタ)アクリレート類;多価エポキシ化合物とヒドロキシ(メタ)アクリレート又は(メタ)アクリル酸との付加反応物のようなエポキシアクリレート類;エチレンビスアクリルアミド等のアクリルアミド類;フタル酸ジアリル等のアリルエステル類;ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物等が有用である。
これらは1種を単独で用いても良く、2種以上を併用しても良い。
In addition, as an example of the polyfunctional ethylenic monomer used in the present invention, a polyisocyanate compound and a hydroxyl group-containing (meth) acrylate ester or a polyisocyanate compound and a polyol and a hydroxyl group-containing (meth) acrylate ester are reacted. Urethane (meth) acrylates as obtained; epoxy acrylates such as addition reaction product of polyvalent epoxy compound and hydroxy (meth) acrylate or (meth) acrylic acid; acrylamides such as ethylenebisacrylamide; diallyl phthalate Allyl esters such as: vinyl group-containing compounds such as divinyl phthalate are useful.
These may be used alone or in combination of two or more.

光重合性モノマー(b)の割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常90質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは50質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下、よりさらに好ましくは20質量%以下、特に好ましくは10質量%以下である。光重合性モノマーの含有量が上記上限以下であることで、露光部への現像液の浸透性が適度となり良好な画像を得ることができる傾向にある。光重合性モノマー(b)の含有量の下限は、通常1質量%以上、好ましくは5質量%以上である。上記下限以上であることで、紫外線照射による光硬化を向上させるとともにアルカリ現像性も良好となる傾向にある。   The proportion of the photopolymerizable monomer (b) is usually 90% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, and further preferably 30% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. % Or less, more preferably 20% by mass or less, and particularly preferably 10% by mass or less. When the content of the photopolymerizable monomer is not more than the above upper limit, the permeability of the developer into the exposed area becomes appropriate, and a good image tends to be obtained. The lower limit of the content of the photopolymerizable monomer (b) is usually 1% by mass or more, preferably 5% by mass or more. By being more than the said minimum, it exists in the tendency for the photocuring by ultraviolet irradiation to improve, and for alkali developability to also become favorable.

<光重合開始剤(c)>
光重合開始剤は、光を直接吸収し、分解反応又は水素引き抜き反応を起こし、重合活性ラジカルを発生する機能を有する成分である。必要に応じて増感色素等の付加剤を添加して使用しても良い。
<Photopolymerization initiator (c)>
The photopolymerization initiator is a component having a function of directly absorbing light and causing a decomposition reaction or a hydrogen abstraction reaction to generate a polymerization active radical. If necessary, an additive such as a sensitizing dye may be added and used.

光重合開始剤としては、例えば、特開昭59−152396号公報、特開昭61−151197号各公報に記載のチタノセン化合物を含むメタロセン化合物;特開2000−56118号公報に記載のヘキサアリールビイミダゾール誘導体;特開平10−39503号公報記載のハロメチル化オキサジアゾール誘導体、ハロメチル−s−トリアジン誘導体、N−フェニルグリシン等のN−アリール−α−アミノ酸類、N−アリール−α−アミノ酸塩類、N−アリール−α−アミノ酸エステル類等のラジカル活性剤、α−アミノアルキルフェノン誘導体;特開2000−80068号公報、特開2006−36750号公報等に記載されているオキシムエステル誘導体等が挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiator include metallocene compounds including titanocene compounds described in JP-A-59-152396 and JP-A-61-151197, and hexaarylbi compounds described in JP-A-2000-56118. Imidazole derivatives; N-aryl-α-amino acids such as halomethylated oxadiazole derivatives, halomethyl-s-triazine derivatives and N-phenylglycine described in JP-A-10-39503, N-aryl-α-amino acid salts, Radical activators such as N-aryl-α-amino acid esters, α-aminoalkylphenone derivatives; oxime ester derivatives described in JP 2000-80068 A, JP 2006-36750 A, and the like. .

具体的には、例えば、チタノセン誘導体類としては、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロライド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ(2,6−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ(2,4−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,6−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウム〔2,6−ジ−フルオロ−3−(ピロ−1−イル)−フェニ−1−イル〕等が挙げられる。   Specifically, for example, titanocene derivatives include dicyclopentadienyl titanium dichloride, dicyclopentadienyl titanium bisphenyl, dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluoro Phen-1-yl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,4,6-trifluoropheny 1-yl), dicyclopentadienyl titanium di (2,6-difluorophen-1-yl), dicyclopentadienyl titanium di (2,4-difluorophen-1-yl), di (methylcyclopenta Dienyl) titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluorophen-1-yl), di (methylcyclone) Pentadienyl) titanium bis (2,6-difluorophen-1-yl), dicyclopentadienyltitanium [2,6-difluoro-3- (pyro-1-yl) -phen-1-yl] and the like. Can be mentioned.

また、ビイミダゾール誘導体類としては、2−(2’−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(2’−クロロフェニル)−4,5−ビス(3’−メトキシフェニル)イミダゾール2量体、2−(2’−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(2’−メトキシフエニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、(4’−メトキシフエニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体等が挙げられる。   Biimidazole derivatives include 2- (2′-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (2′-chlorophenyl) -4,5-bis (3′-methoxyphenyl) imidazole. Dimer, 2- (2′-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (2′-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, (4′-methoxy) Phenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer and the like.

また、ハロメチル化オキサジアゾール誘導体類としては、2−トリクロロメチル−5−(2’−ベンゾフリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−〔β−(2’−ベンゾフリル)ビニル〕−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−〔β−(2’−(6”−ベンゾフリル)ビニル)〕−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−フリル−1,3,4−オキサジアゾール等が挙げられる。   Examples of the halomethylated oxadiazole derivatives include 2-trichloromethyl-5- (2′-benzofuryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- [β- (2′- Benzofuryl) vinyl] -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- [β- (2 ′-(6 ″ -benzofuryl) vinyl)]-1,3,4-oxadiazole, 2 -Trichloromethyl-5-furyl-1,3,4-oxadiazole and the like.

また、ハロメチル−s−トリアジン誘導体類としては、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシカルボニルナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。   Examples of halomethyl-s-triazine derivatives include 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxynaphthyl) -4,6-bis ( Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxycarbonylnaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine and the like.

また、α−アミノアルキルフェノン誘導体類としては、2−メチル−1〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、4−ジメチルアミノエチルベンゾエ−ト、4−ジメチルアミノイソアミルベンゾエ−ト、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、2−エチルヘキシル−1,4−ジメチルアミノベンゾエート、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等が挙げられる。   Examples of α-aminoalkylphenone derivatives include 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4- Morpholinophenyl) -butanone-1,2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 4-dimethylaminoethylbenzoate, 4-dimethylaminoisoamylbenzoe -To, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, 2-ethylhexyl-1,4-dimethylaminobenzoate, 2,5-bis (4-diethylaminobenzal) cyclohexanone, 7-diethylamino-3- (4 -Diethylaminobenzoyl) coumarin, 4- (diethylamino) chalcone and the like It is.

光重合開始剤としては、特に、感度の点でオキシム誘導体類(オキシムエステル系化合物及びケトオキシムエステル系化合物)が有効であり、フェノール性水酸基を含むアルカリ可溶性樹脂を用いる場合などは、感度の点で不利になる場合があるため、特にこのような感度に優れたオキシム誘導体類(オキシムエステル系化合物及びケトオキシム系化合物)が有用である。オキシム誘導体類の中でも特に、基板との密着性の観点からオキシムエステル系化合物が好ましい。
オキシムエステル系化合物の光重合開始剤は、その構造の中に紫外線を吸収する構造と光エネルギーを伝達する構造とラジカルを発生する構造を併せ持っているために、少量で感度が高く、かつ熱反応に対しては安定であり、少量で高感度な感光性樹脂組成物の設計が可能である。特に、露光光源のi線(365nm)に対する光吸収性の観点から、置換されていてもよいカルバゾリル基(置換されていてもよいカルバゾール環を有する基)を含有するオキシムエステル系化合物の場合に、この構造特性が良好に発現されより好ましい。現在、市場では、遮光度が高く、薄膜なBM(ブラックマトリックス)が要求されており、顔料濃度も、ますます大きくなっている。このような状況においては、特に有効である。
As photopolymerization initiators, oxime derivatives (oxime ester compounds and ketoxime ester compounds) are particularly effective in terms of sensitivity, and when using an alkali-soluble resin containing a phenolic hydroxyl group, sensitivity is particularly high. In particular, such oxime derivatives (oxime ester compounds and ketoxime compounds) excellent in sensitivity are useful. Among oxime derivatives, an oxime ester compound is preferable from the viewpoint of adhesion to a substrate.
Photopolymerization initiators of oxime ester compounds have both a structure that absorbs ultraviolet rays, a structure that transmits light energy, and a structure that generates radicals. Therefore, it is possible to design a photosensitive resin composition that is stable and sensitive in a small amount. In particular, in the case of an oxime ester-based compound containing an optionally substituted carbazolyl group (a group having an optionally substituted carbazole ring) from the viewpoint of light absorption with respect to i-line (365 nm) of an exposure light source, This structural characteristic is favorably expressed and more preferable. Currently, the market demands a high degree of shading, a thin BM (black matrix), and the pigment concentration is also increasing. In such a situation, it is particularly effective.

前述のとおり、有機ケイ素化合物(f−1)は(メタ)アクリロイルオキシ基の不飽和基を有しており、これが感光性樹脂組成物に含まれるアルカリ可溶性樹脂や光重合性モノマー中の不飽和基と、カラーフィルタ製造時の紫外線照射時や高熱処理時に架橋し、基板との密着性を大きく向上させることができると考えられる。特に感光性樹脂組成物中の開始剤が前記の特徴を持ったオキシムエステルを含有する場合は、その効果が相乗的に向上するものと考えられる。   As described above, the organosilicon compound (f-1) has an unsaturated group of (meth) acryloyloxy group, which is unsaturated in an alkali-soluble resin or photopolymerizable monomer contained in the photosensitive resin composition. It is considered that the adhesion with the substrate can be greatly improved by crosslinking with the group at the time of ultraviolet irradiation at the time of manufacturing the color filter or at the time of high heat treatment. In particular, when the initiator in the photosensitive resin composition contains an oxime ester having the above characteristics, the effect is considered to be synergistically improved.

オキシムエステル系化合物としては、下記一般式(22)で示される構造部分を含む化合物が挙げられ、好ましくは、下記一般式(23)で示されるオキシムエステル系化合物が挙げられる。   Examples of the oxime ester compound include a compound containing a structural moiety represented by the following general formula (22), and preferably include an oxime ester compound represented by the following general formula (23).

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記式(22)中、R22は、それぞれ置換されていてもよい、炭素数2〜12のアルカノイル、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシカルボニルアルカノイル基、炭素数2〜10のアミノアルキルカルボニル基、炭素数7〜20のアリーロイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基、又は炭素数7〜20のアリールオキシカルボニル基を示す。 In the above formula (22), R 22 is an optionally substituted alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, a heteroarylalkanoyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenoyl group having 3 to 25 carbon atoms, and a carbon number. 3 to 8 cycloalkanoyl group, 3 to 20 alkoxycarbonylalkanoyl group, 8 to 20 phenoxycarbonylalkanoyl group, 3 to 20 heteroaryloxycarbonylalkanoyl group, 2 to 10 carbon atoms An aminoalkylcarbonyl group, an aryloyl group having 7 to 20 carbon atoms, a heteroarylloyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, or an aryloxycarbonyl group having 7 to 20 carbon atoms is shown.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

(式(23)中、R21aは、水素、またはそれぞれ置換されていてもよい、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数1〜20のアミノアルキル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数7〜20のアリーロイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基、炭素数7〜20のアリールオキシカルボニル基、又は炭素数1〜10のシクロアルキルアルキル基を示す。
21bは芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換基を示す。
(In formula (23), R 21a is hydrogen or an optionally substituted alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, or a heteroarylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms. , C3-C20 alkoxycarbonylalkyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkyl group, C1-C20 heteroaryloxycarbonylalkyl group or heteroarylthioalkyl group, C1-C20 aminoalkyl Group, alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, alkenoyl group having 3 to 25 carbon atoms, cycloalkanoyl group having 3 to 8 carbon atoms, aryloyl group having 7 to 20 carbon atoms, heteroarylloyl group having 1 to 20 carbon atoms, C2-C10 alkoxycarbonyl group, C7-C20 aryloxycarbonyl group, or C1-C10 A chloroalkylalkyl group is shown.
R 21b represents an arbitrary substituent containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring.

なお、R21aはR21bと共に環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキレン基、ポリエチレン基(−(CH=CH)r−)、ポリエチニレン基(−(C≡C)r−)あるいはこれらを組み合わせてなる基が挙げられる(なお、rは0〜3の整数である。)。
22aは、上記式(22)のおけるR22と同様の基を示す。
上記一般式(22)におけるR22及び上記一般式(23)におけるR22aとしては、好ましくは、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基が挙げられる。
R 21a may form a ring together with R 21b , and each of the linking groups thereof may have a substituent, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, a polyethylene group (— (CH═CH) r. -), A polyethynylene group (-(C≡C) r- ) or a group formed by a combination thereof (where r is an integer of 0 to 3).
R 22a represents the same group as R 22 in the above formula (22).
R 22 in the general formula (22) and R 22a in the general formula (23) are preferably an alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, a heteroarylalkanoyl group having 1 to 20 carbon atoms, and 3 to 8 carbon atoms. Of the cycloalkanoyl group.

上記一般式(23)におけるR21aとしては、好ましくは無置換のメチル基、エチル基、プロピル基などの直鎖アルキル基又はシクロアルキルアルキル基や、N−アセチル−N−アセトキシアミノ基で置換されたプロピル基が挙げられる。
また、上記一般式(23)におけるR21bとしては、好ましくは置換されていてもよいカルバゾール基、置換されていてもよいチオキサントニル基、置換されていてもよいフェニルスルフィド基が挙げられる。
R 21a in the general formula (23) is preferably substituted with a linear alkyl group such as an unsubstituted methyl group, ethyl group or propyl group or a cycloalkylalkyl group, or an N-acetyl-N-acetoxyamino group. And propyl group.
In addition, R 21b in the general formula (23) is preferably an optionally substituted carbazole group, an optionally substituted thioxanthonyl group, or an optionally substituted phenyl sulfide group.

オキシムエステル光重合開始剤(c)としては、R21bとして置換されていてもよいカルバゾール基を含有するものが、前述の理由からより好ましい。さらに、置換されていてもよい炭素数6〜25のアリール基、置換されていてもよい炭素数7〜25のアリールカルボニル基、置換されていてもよい炭素数5〜25のヘテロアリール基、置換されていてもよい炭素数6〜25のヘテロアリールカルボニル基、及びニトロ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の基を有するカルバゾール基が好ましい。特に、ベンゾイル基、トルオイル基、ナフトイル基、チエニルカルボニル基、及びニトロ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の基を有するカルバゾール基が好ましい。また、これらの基はカルバゾール基の3位に結合していることが望ましい。 As the oxime ester photopolymerization initiator (c), those containing a carbazole group which may be substituted as R 21b are more preferable for the reasons described above. Furthermore, an aryl group having 6 to 25 carbon atoms which may be substituted, an arylcarbonyl group having 7 to 25 carbon atoms which may be substituted, a heteroaryl group having 5 to 25 carbon atoms which may be substituted, and substitution A carbazole group having at least one group selected from the group consisting of a heteroarylcarbonyl group having 6 to 25 carbon atoms and a nitro group which may be used is preferable. In particular, a carbazole group having at least one group selected from the group consisting of a benzoyl group, a toluoyl group, a naphthoyl group, a thienylcarbonyl group, and a nitro group is preferable. These groups are preferably bonded to the 3-position of the carbazole group.

このようなオキシムエステル光重合開始剤(c)の市販品として、BASF社製のOXE−02、常州強力電子社製のTR−PBG−304やTR−PBG−314などがある。   Commercially available products of such oxime ester photopolymerization initiator (c) include OXE-02 manufactured by BASF, TR-PBG-304 and TR-PBG-314 manufactured by Changzhou Power Electronics.

オキシムエステル光重合開始剤(c)として、本発明に好適なオキシムエステル系化合物として具体的には、以下に例示されるような化合物が挙げられるが、何らこれらの化合物に限定されるものではない。   Specific examples of the oxime ester photopolymerization initiator (c) include compounds exemplified below as oxime ester compounds suitable for the present invention, but the oxime ester photopolymerization initiator (c) is not limited to these compounds. .

Figure 0006607054
Figure 0006607054

Figure 0006607054
Figure 0006607054

Figure 0006607054
Figure 0006607054

ケトオキシムエステル系化合物としては、下記一般式(24)で示される構造部分を含む化合物が挙げられ、好ましくは、下記一般式(25)で示されるオキシムエステル系化合物が挙げられる。   Examples of the ketoxime ester compound include a compound containing a structural portion represented by the following general formula (24), and preferably an oxime ester compound represented by the following general formula (25).

Figure 0006607054
Figure 0006607054

(上記一般式(24)において、R24は、前記一般式(22)におけるR22と同義である。) (In the general formula (24), R 24 has the same meaning as R 22 in the general formula (22).)

Figure 0006607054
Figure 0006607054

(上記一般式(25)において、R23aは、それぞれ置換されていてもよい、フェニル基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数2〜20のアルキルチオアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数1〜20のアミノアルキル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数7〜20のアリーロイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基、炭素数7〜20のアリールオキシカルボニル基、又は炭素数1〜10のシクロアルキルアルキル基を示す。 (In the above general formula (25), each R 23a may be a phenyl group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, or a heteroaryl having 1 to 20 carbon atoms. An alkyl group, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, a phenoxycarbonylalkyl group having 8 to 20 carbon atoms, an alkylthioalkyl group having 2 to 20 carbon atoms, a heteroaryloxycarbonylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or heteroary Ruthioalkyl group, C1-C20 aminoalkyl group, C2-C12 alkanoyl group, C3-C25 alkenoyl group, C3-C8 cycloalkanoyl group, C7-C20 aryloyl group , A C1-C20 heteroaryloyl group, a C2-C10 alkoxycarbonyl group, a C7-C2 0 aryloxycarbonyl group or a C1-C10 cycloalkylalkyl group is shown.

23bは芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換基を示す。
なお、R23aはR23bと共に環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキレン基、ポリエチレン基(−(CH=CH)r−)、ポリエチニレン基(−(C≡C)r−)あるいはこれらを組み合わせてなる基が挙げられる(なお、rは0〜3の整数である。)。
R 23b represents an arbitrary substituent containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring.
R 23a may form a ring together with R 23b , and the linking group thereof may have an optionally substituted alkylene group having 1 to 10 carbon atoms or a polyethylene group (— (CH═CH) r. -), A polyethynylene group (-(C≡C) r- ) or a group formed by a combination thereof (where r is an integer of 0 to 3).

24aは、それぞれ置換されていてもよい、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数4〜8のシクロアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数3〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基、炭素数7〜20のアリールオキシカルボニル基、炭素数2〜20のヘテロアリール基、又は炭素数2〜20のアルキルアミノカルボニル基を表す。)
上記一般式(24)におけるR24及び上記一般式(25)におけるR24aとしては、好ましくは、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数7〜20のアリーロイル基が挙げられる。
R 24a is an optionally substituted alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkenoyl group having 3 to 25 carbon atoms, a cycloalkanoyl group having 4 to 8 carbon atoms, a benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, carbon Heteroaryloyl group having 3 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, aryloxycarbonyl group having 7 to 20 carbon atoms, heteroaryl group having 2 to 20 carbon atoms, or alkylamino having 2 to 20 carbon atoms Represents a carbonyl group. )
R 24 in the general formula (24) and R 24a in the general formula (25) are preferably an alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, a heteroarylalkanoyl group having 1 to 20 carbon atoms, and 3 to 8 carbon atoms. And a cycloalkanoyl group and an aryloyl group having 7 to 20 carbon atoms.

上記一般式(25)におけるR23aとしては、好ましくは無置換のエチル基、プロピル基、ブチル基や、メトキシカルボニル基で置換されたエチル基またはプロピル基が挙げられる。
また、上記一般式(25)におけるR23bとしては、好ましくは置換されていてもよいカルバゾイル基、置換されていてもよいフェニルスルフィド基が挙げられる。
本発明に好適なケトオキシムエステル系化合物として具体的には、以下に例示されるような化合物が挙げられるが、何らこれらの化合物に限定されるものではない。
R 23a in the general formula (25) is preferably an unsubstituted ethyl group, propyl group, butyl group, or an ethyl group or propyl group substituted with a methoxycarbonyl group.
In addition, R 23b in the general formula (25) is preferably an optionally substituted carbazoyl group or an optionally substituted phenyl sulfide group.
Specific examples of the ketoxime ester-based compound suitable for the present invention include compounds exemplified below, but the ketoxime ester-based compound is not limited to these compounds.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

Figure 0006607054
Figure 0006607054

Figure 0006607054
Figure 0006607054

このようなオキシムエステル光重合開始剤(c)の市販品として、BASF社製のOXE−01、常州強力電子社製のTR−PBG−305などがある。   Commercially available products of such oxime ester photopolymerization initiator (c) include OXE-01 manufactured by BASF, TR-PBG-305 manufactured by Changzhou Strong Electronic Co., Ltd.

これらのオキシム及びケトオキシムエステル系化合物は、それ自体公知の化合物であり、例えば、特開2000−80068号公報や、特開2006−36750号公報に記載されている一連の化合物の一種である。
上記光重合開始剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
These oxime and ketoxime ester compounds are known compounds per se, and are, for example, one of a series of compounds described in JP-A No. 2000-80068 and JP-A No. 2006-36750.
The said photoinitiator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

その他に、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類;2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン誘導体類;ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体類;2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン、α−ヒドロキシ−2−メチルフェニルプロパノン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、2−メチル−(4’−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−1−プロパノン、1,1,1−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトン等のアセトフェノン誘導体類;チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体類;p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体類;9−フェニルアクリジン、9−(p−メトキシフェニル)アクリジン等のアクリジン誘導体類;9,10−ジメチルベンズフェナジン等のフェナジン誘導体類;ベンズアンスロン等のアンスロン誘導体類等も挙げられる。
これらの光重合開始剤の中では、前述の理由からオキシムエステル誘導体類が特に好ましい。
Other benzoin alkyl ethers such as benzoin methyl ether, benzoin phenyl ether, benzoin isobutyl ether and benzoin isopropyl ether; anthraquinone derivatives such as 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone and 1-chloroanthraquinone Benzophenone, Michler's ketone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, benzophenone derivatives such as 2-carboxybenzophenone; 2,2-dimethoxy-2-phenyl Acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, α-hydroxy-2-methylphenol Nylpropanone, 1-hydroxy-1-methylethyl- (p-isopropylphenyl) ketone, 1-hydroxy-1- (p-dodecylphenyl) ketone, 2-methyl- (4′-methylthiophenyl) -2-morpholino-1 Acetophenone derivatives such as propanone, 1,1,1-trichloromethyl- (p-butylphenyl) ketone; thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2 Thioxanthone derivatives such as 1,4-diethylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; benzoic acid ester derivatives such as ethyl p-dimethylaminobenzoate and ethyl p-diethylaminobenzoate; 9-phenylacridine, 9- (p- Methoxyph Yl) acridine derivatives acridine like; 9,10-dimethyl-benz phenazine phenazine derivatives such as; anthrone derivatives such as benzanthrone etc. may be mentioned.
Among these photopolymerization initiators, oxime ester derivatives are particularly preferable for the reasons described above.

<増感色素>
光重合開始剤には、必要に応じて、感応感度を高める目的で、画像露光光源の波長に応じた増感色素を併用させることができる。これら増感色素としては、特開平4−221958号、同4−219756号公報に記載のキサンテン色素、特開平3−239703号、同5−289335号公報に記載の複素環を有するクマリン色素、特開平3−239703号、同5−289335号に記載の3−ケトクマリン化合物、特開平6−19240号公報に記載のピロメテン色素、その他、特開昭47−2528号、同54−155292号、特公昭45−37377号、特開昭48−84183号、同52−112681号、同58−15503号、同60−88005号、同59−56403号、特開平2−69号、特開昭57−168088号、特開平5−107761号、特開平5−210240号、特開平4−288818号公報に記載のジアルキルアミノベンゼン骨格を有する色素等を挙げることができる。
<Sensitizing dye>
If necessary, the photopolymerization initiator can be used in combination with a sensitizing dye according to the wavelength of the image exposure light source for the purpose of increasing the sensitivity. These sensitizing dyes include xanthene dyes described in JP-A-4-221958 and JP-A-4-219756, coumarin dyes having a heterocyclic ring described in JP-A-3-239703 and JP-A-5-289335, and 3-ketocoumarin compounds described in Kaihei 3-239703 and 5-289335, pyromethene dyes described in JP-A-6-19240, and others, JP-A 47-2528, 54-155292, JP 45-37377, JP-A-48-84183, JP-A-52-112681, JP-A-58-15503, JP-A-60-88005, JP-A-59-56403, JP-A-2-6988, JP-A-57-168088. No. 5, JP-A-5-107761, JP-A-5-210240, and JP-A-4-288818. Mention may be made of a dye or the like having a skeleton.

これらの増感色素のうち好ましいものは、アミノ基含有増感色素であり、更に好ましいものは、アミノ基及びフェニル基を同一分子内に有する化合物である。特に、好ましいのは、例えば、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン、2−アミノベンゾフェノン、4−アミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,4−ジアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物;2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾオキサゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンゾオキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾ[4,5]ベンゾオキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾ[6,7]ベンゾオキサゾール、2,5−ビス(p−ジエチルアミノフェニル)1,3,4−オキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾチアゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンゾチアゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンズイミダゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンズイミダゾール、2,5−ビス(p−ジエチルアミノフェニル)1,3,4−チアジアゾール、(p−ジメチルアミノフェニル)ピリジン、(p−ジエチルアミノフェニル)ピリジン、(p−ジメチルアミノフェニル)キノリン、(p−ジエチルアミノフェニル)キノリン、(p−ジメチルアミノフェニル)ピリミジン、(p−ジエチルアミノフェニル)ピリミジン等のp−ジアルキルアミノフェニル基含有化合物等である。
このうち最も好ましいものは、4,4’−ジアルキルアミノベンゾフェノンである。
増感色素もまた1種を単独で用いても良く、2種以上を併用しても良い。
Among these sensitizing dyes, preferred are amino group-containing sensitizing dyes, and more preferred are compounds having an amino group and a phenyl group in the same molecule. Particularly preferred are, for example, 4,4′-dimethylaminobenzophenone, 4,4′-diethylaminobenzophenone, 2-aminobenzophenone, 4-aminobenzophenone, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,3′-diaminobenzophenone. Benzophenone compounds such as 3,4-diaminobenzophenone; 2- (p-dimethylaminophenyl) benzoxazole, 2- (p-diethylaminophenyl) benzoxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzo [4,5 ] Benzoxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzo [6,7] benzoxazole, 2,5-bis (p-diethylaminophenyl) 1,3,4-oxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) Benzothiazole, 2- (p-diethyl Aminophenyl) benzothiazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzimidazole, 2- (p-diethylaminophenyl) benzimidazole, 2,5-bis (p-diethylaminophenyl) 1,3,4-thiadiazole, (p -Dimethylaminophenyl) pyridine, (p-diethylaminophenyl) pyridine, (p-dimethylaminophenyl) quinoline, (p-diethylaminophenyl) quinoline, (p-dimethylaminophenyl) pyrimidine, (p-diethylaminophenyl) pyrimidine, etc. and p-dialkylaminophenyl group-containing compounds.
Of these, 4,4′-dialkylaminobenzophenone is most preferred.
A sensitizing dye may also be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

光重合開始剤(c)の含有量は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.1質量%以上、好ましくは0.5質量%以上、より好ましくは1質量以上、さらに好ましくは5質量%以上であり、通常30質量%以下、好ましくは20質量%以下、より好ましくは15質量%以下、さらに好ましくは10質量%以下である。前記下限値以上とすることで感度低下を抑制することができる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露部分の現像液に対する溶解性を良好とすることができる傾向がある。
特に、光重合開始剤(c)中のオキシムエステル系化合物が占める割合は、通常10質量%以上であり、好ましくは50質量%以上、より好ましくは90質量%以上である。前記下限値以上とすることで、本発明の感光性樹脂組成物として、本発明の有機ケイ素化合物(f−1)とアルカリ可溶性樹脂と組み合わせたとき、紫外線照射後、基板との密着性をさらに向上できる傾向がある。
Content of a photoinitiator (c) is 0.1 mass% or more normally with respect to the total solid of the photosensitive resin composition of this invention, Preferably it is 0.5 mass% or more, More preferably, it is 1 mass. More preferably, it is 5% by mass or more, usually 30% by mass or less, preferably 20% by mass or less, more preferably 15% by mass or less, and further preferably 10% by mass or less. When it is at least the lower limit, there is a tendency that it is possible to suppress a decrease in sensitivity, and when it is at most the upper limit, there is a tendency that the solubility of the unexposed portion in the developing solution can be improved.
In particular, the proportion of the oxime ester compound in the photopolymerization initiator (c) is usually 10% by mass or more, preferably 50% by mass or more, more preferably 90% by mass or more. By setting it to the above lower limit or more, when the organosilicon compound (f-1) of the present invention and an alkali-soluble resin are combined as the photosensitive resin composition of the present invention, the adhesion to the substrate is further increased after irradiation with ultraviolet rays. There is a tendency to improve.

光重合開始剤(c)と共に加速剤を用いる場合、加速剤の含有量は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0質量%以上、好ましくは0.02質量%以上で、通常10質量%以下、好ましくは5質量%以下であり、加速剤は、光重合開始剤(c)に対して0.1〜50質量%、特に0.1〜10質量%の割合で用いることが好ましい。前記下限値以上とすることで感度低下を抑制できる傾向があり、前記上限値以下とすることで未露光部分の現像液に対する溶解性を良好とすることができる傾向がある。   When using an accelerator with a photoinitiator (c), content of an accelerator is 0 mass% or more normally with respect to the total solid of the photosensitive resin composition of this invention, Preferably it is 0.02 mass%. In the above, it is usually 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less, and the accelerator is a proportion of 0.1 to 50% by mass, particularly 0.1 to 10% by mass with respect to the photopolymerization initiator (c). It is preferable to use in. There exists a tendency which can suppress a sensitivity fall by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can improve the solubility with respect to the developing solution of an unexposed part by setting it as the said upper limit or less.

また、増感色素を用いる場合、本発明の感光性樹脂組成物中に占める増感色素の配合割合は感光性樹脂組成物中の全固形分中、通常0〜20質量%、好ましくは0〜15質量%、更に好ましくは0〜10質量%である。   Moreover, when using a sensitizing dye, the compounding ratio of the sensitizing dye in the photosensitive resin composition of this invention is 0-20 mass% normally in the total solid in the photosensitive resin composition, Preferably it is 0-0. It is 15 mass%, More preferably, it is 0-10 mass%.

<色材(d)>
本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルタの画素やブラックマトリックスの形成等に用いられる場合には、色材を含有する。色材は、本発明の感光性樹脂組成物を着色するものをいう。色材としては、染顔料が使用できるが、耐熱性、耐光性等の点から顔料が好ましい。
<Coloring material (d)>
The photosensitive resin composition of the present invention contains a coloring material when used for forming a pixel of a color filter, a black matrix, or the like. A coloring material means what colors the photosensitive resin composition of this invention. As the coloring material, dyes and pigments can be used, but pigments are preferable from the viewpoint of heat resistance, light resistance and the like.

顔料としては青色顔料、緑色顔料、赤色顔料、黄色顔料、紫色顔料、オレンジ顔料、ブラウン顔料、黒色顔料等各種の色の顔料を使用することができる。また、その構造としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリレン系等の有機顔料の他に種々の無機顔料等も利用可能である。   As the pigment, various color pigments such as a blue pigment, a green pigment, a red pigment, a yellow pigment, a purple pigment, an orange pigment, a brown pigment, and a black pigment can be used. In addition to organic pigments such as azo, phthalocyanine, quinacridone, benzimidazolone, isoindolinone, dioxazine, indanthrene, and perylene, various inorganic pigments can be used. It is.

以下に、本発明に使用できる顔料の具体例をピグメントナンバーで示す。なお、以下に挙げる「C.I.ピグメントレッド2」等の用語は、カラーインデックス(C.I.)を意味する。
赤色顔料としては、C.I.ピグメントレッド1、2、3、4、5、6、7、8、9、12、14、15、16、17、21、22、23、31、32、37、38、41、47、48、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、50:1、52:1、52:2、53、53:1、53:2、53:3、57、57:1、57:2、58:4、60、63、63:1、63:2、64、64:1、68、69、81、81:1、81:2、81:3、81:4、83、88、90:1、101、101:1、104、108、108:1、109、112、113、114、122、123、144、146、147、149、151、166、168、169、170、172、173、174、175、176、177、178、179、181、184、185、187、188、190、193、194、200、202、206、207、208、209、210、214、216、220、221、224、230、231、232、233、235、236、237、238、239、242、243、245、247、249、250、251、253、254、255、256、257、258、259、260、262、263、264、265、266、267、268、269、270、271、272、273、274、275、276を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントレッド48:1、122、168、177、202、206、207、209、224、242、254、更に好ましくはC.I.ピグメントレッド177、209、224、254を挙げることができる。
Hereinafter, specific examples of pigments that can be used in the present invention are shown by pigment numbers. Note that terms such as “CI Pigment Red 2” mentioned below mean a color index (CI).
Examples of red pigments include C.I. I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 37, 38, 41, 47, 48, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 52: 2, 53, 53: 1, 53: 2, 53: 3, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 4, 60, 63, 63: 1, 63: 2, 64, 64: 1, 68, 69, 81, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 81: 4, 83, 88, 90: 1, 101, 101: 1, 104, 108, 108: 1, 109, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 147, 149, 151, 166, 168, 169, 170, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 178, 17 , 181, 184, 185, 187, 188, 190, 193, 194, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 214, 216, 220, 221, 224, 230, 231, 232, 233, 235 236, 237, 238, 239, 242, 243, 245, 247, 249, 250, 251, 253, 254, 255, 256, 257, 258, 259, 260, 262, 263, 264, 265, 266, 267 268, 269, 270, 271, 272, 273, 274, 275, 276. Of these, C.I. I. Pigment Red 48: 1, 122, 168, 177, 202, 206, 207, 209, 224, 242, 254, more preferably C.I. I. Pigment red 177, 209, 224, 254.

青色顔料としては、C.I.ピグメントブルー1、1:2、9、14、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、17、19、25、27、28、29、33、35、36、56、56:1、60、61、61:1、62、63、66、67、68、71、72、73、74、75、76、78、79を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、更に好ましくはC.I.ピグメントブルー15:6を挙げることができる。
緑色顔料としては、C.I.ピグメントグリーン1、2、4、7、8、10、13、14、15、17、18、19、26、36、45、48、50、51、54、55を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントグリーン7、36、58を挙げることができる。
Examples of blue pigments include C.I. I. Pigment Blue 1, 1: 2, 9, 14, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 17, 19, 25, 27, 28, 29, 33, 35, 36, 56, 56: 1, 60, 61, 61: 1, 62, 63, 66, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 75, 76, 78, 79. Of these, C.I. I. Pigment Blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, more preferably C.I. I. Pigment blue 15: 6.
Examples of green pigments include C.I. I. Pigment green 1, 2, 4, 7, 8, 10, 13, 14, 15, 17, 18, 19, 26, 36, 45, 48, 50, 51, 54, 55. Of these, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 58.

黄色顔料としては、C.I.ピグメントイエロー1、1:1、2、3、4、5、6、9、10、12、13、14、16、17、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、41、42、43、48、53、55、61、62、62:1、63、65、73、74、75、81、83、87、93、94、95、97、100、101、104、105、108、109、110、111、116、117、119、120、126、127、127:1、128、129、133、134、136、138、139、142、147、148、150、151、153、154、155、157、158、159、160、161、162、163、164、165、166、167、168、169、170、172、173、174、175、176、180、181、182、183、184、185、188、189、190、191、191:1、192、193、194、195、196、197、198、199、200、202、203、204、205、206、207、208を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントイエロー83、117、129、138、139、150、154、155、180、185、更に好ましくはC.I.ピグメントイエロー83、138、139、150、180を挙げることができる。   Examples of yellow pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1, 1: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 13, 14, 16, 17, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 41, 42, 43, 48, 53, 55, 61, 62, 62: 1, 63, 65, 73, 74, 75, 81, 83, 87, 93, 94, 95, 97, 100, 101, 104, 105, 108, 109, 110, 111, 116, 117, 119, 120, 126, 127, 127: 1, 128, 129, 133, 134, 136, 138, 139, 142, 147, 148, 150, 151, 153, 154, 155, 157, 158, 159, 160, 161, 162, 163, 164, 165, 166, 167, 168, 169, 170, 172, 17 174, 175, 176, 180, 181, 182, 183, 184, 185, 188, 189, 190, 191, 191: 1, 192, 193, 194, 195, 196, 197, 198, 199, 200, 202 , 203, 204, 205, 206, 207, 208. Of these, C.I. I. Pigment yellow 83, 117, 129, 138, 139, 150, 154, 155, 180, 185, more preferably C.I. I. Pigment yellow 83, 138, 139, 150, 180.

オレンジ顔料としては、C.I.ピグメントオレンジ1、2、5、13、16、17、19、20、21、22、23、24、34、36、38、39、43、46、48、49、61、62、64、65、67、68、69、70、71、72、73、74、75、77、78、79を挙げることができる。この中でも、好ましくは、C.I.ピグメントオレンジ38、71を挙げることができる。   Examples of orange pigments include C.I. I. Pigment Orange 1, 2, 5, 13, 16, 17, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 34, 36, 38, 39, 43, 46, 48, 49, 61, 62, 64, 65, 67, 68, 69, 70, 71, 72, 73, 74, 75, 77, 78, 79. Of these, C.I. I. And CI pigment oranges 38 and 71.

紫色顔料としては、C.I.ピグメントバイオレット1、1:1、2、2:2、3、3:1、3:3、5、5:1、14、15、16、19、23、25、27、29、31、32、37、39、42、44、47、49、50を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントバイオレット19、23、更に好ましくはC.I.ピグメントバイオレット23を挙げることができる。   Examples of purple pigments include C.I. I. Pigment Violet 1, 1: 1, 2, 2: 2, 3, 3: 1, 3: 3, 5, 5: 1, 14, 15, 16, 19, 23, 25, 27, 29, 31, 32, 37, 39, 42, 44, 47, 49, 50. Of these, C.I. I. Pigment violet 19, 23, more preferably C.I. I. And CI Pigment Violet 23.

また、本発明の感光性樹脂組成物が、カラーフィルタの樹脂ブラックマトリックス用感光性樹脂組成物である場合、色材(d)としては、黒色の色材を用いることができる。黒色色材は、黒色色材を単独でも良く、又は赤、緑、青等の混合によるものでも良い。また、これら色材は無機又は有機の顔料、染料の中から適宜選択することができる。
黒色色材を調製するために混合使用可能な色材としては、ビクトリアピュアブルー(42595)、オーラミンO(41000)、カチロンブリリアントフラビン(ベーシック13)、ローダミン6GCP(45160)、ローダミンB(45170)、サフラニンOK70:100(50240)、エリオグラウシンX(42080)、No.120/リオノールイエロー(21090)、リオノールイエローGRO(21090)、シムラーファーストイエロー8GF(21105)、ベンジジンイエロー4T−564D(21095)、シムラーファーストレッド4015(12355)、リオノールレッド7B4401(15850)、ファーストゲンブルーTGR−L(74160)、リオノールブルーSM(26150)、リオノールブルーES(ピグメントブルー15:6)、リオノーゲンレッドGD(ピグメントレッド168)、リオノールグリーン2YS(ピグメントグリーン36)等が挙げられる(なお、上記の( )内の数字は、カラーインデックス(C.I.)を意味する)。
Moreover, when the photosensitive resin composition of this invention is the photosensitive resin composition for resin black matrices of a color filter, a black coloring material can be used as a coloring material (d). The black color material may be a single black color material or a mixture of red, green, blue, and the like. These color materials can be appropriately selected from inorganic or organic pigments and dyes.
Color materials that can be mixed for preparing a black color material include Victoria Pure Blue (42595), Auramin O (41000), Catillon Brilliant Flavin (Basic 13), Rhodamine 6GCP (45160), Rhodamine B (45170). Safranin OK 70: 100 (50240), Erioglaucine X (42080), No. 120 / Lionol Yellow (21090), Lionol Yellow GRO (21090), Shimla First Yellow 8GF (21105), Benzidine Yellow 4T-564D (21095), Shimler First Red 4015 (12355), Lionol Red 7B4401 (15850), Fast Gen Blue TGR-L (74160), Lionol Blue SM (26150), Lionol Blue ES (Pigment Blue 15: 6), Lionogen Red GD (Pigment Red 168), Lionol Green 2YS (Pigment Green 36), etc. (The numbers in parentheses above mean the color index (CI)).

また、更に他の混合使用可能な顔料についてC.I.ナンバーにて示すと、例えば、C.I.黄色顔料20、24、86、93、109、110、117、125、137、138、147、148、153、154、166、C.I.オレンジ顔料36、43、51、55、59、61、C.I.赤色顔料9、97、122、123、149、168、177、180、192、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、C.I.バイオレット顔料19、23、29、30、37、40、50、C.I.青色顔料15、15:1、15:4、22、60、64、C.I.緑色顔料7、C.I.ブラウン顔料23、25、26等を挙げることができる。   Further, other pigments that can be used in combination are C.I. I. For example, C.I. I. Yellow pigments 20, 24, 86, 93, 109, 110, 117, 125, 137, 138, 147, 148, 153, 154, 166, C.I. I. Orange pigments 36, 43, 51, 55, 59, 61, C.I. I. Red pigments 9, 97, 122, 123, 149, 168, 177, 180, 192, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, C.I. I. Violet pigments 19, 23, 29, 30, 37, 40, 50, C.I. I. Blue pigment 15, 15: 1, 15: 4, 22, 60, 64, C.I. I. Green pigment 7, C.I. I. Examples thereof include brown pigments 23, 25, and 26.

また、単独使用可能な黒色色材としては、カーボンブラック、アセチレンブラック、ランプブラック、ボーンブラック、黒鉛、鉄黒、アニリンブラック、シアニンブラック、チタンブラック等が挙げられる。
これらの色材(d)の中では、感光性樹脂組成物が黒色の色材を用いる場合には、カーボンブラックが遮光率、画像特性の観点から好ましい。カーボンブラックの例としては、以下のようなカーボンブラックが挙げられる。
Examples of the black color material that can be used alone include carbon black, acetylene black, lamp black, bone black, graphite, iron black, aniline black, cyanine black, and titanium black.
Among these color materials (d), when a black color material is used as the photosensitive resin composition, carbon black is preferable from the viewpoints of light shielding rate and image characteristics. Examples of carbon black include the following carbon black.

三菱化学社製:MA7、MA77、MA8、MA11、MA100、MA100R、MA220、MA230、MA600、#5、#10、#20、#25、#30、#32、#33、#40、#44、#45、#47、#50、#52、#55、#650、#750、#850、#950、#960、#970、#980、#990、#1000、#2200、#2300、#2350、#2400、#2600、#3050、#3150、#3250、#3600、#3750、#3950、#4000、#4010、OIL7B、OIL9B、OIL11B、OIL30B、OIL31B デグサ社製:Printex(登録商標。以下同じ。)3、Printex3OP、Printex30、Printex30OP、Printex40、Printex45、Printex55、Printex60、Printex75、Printex80、Printex85、Printex90、Printex A、Printex L、Printex G、Printex P、Printex U、Printex V、PrintexG、SpecialBlack550、SpecialBlack350、SpecialBlack250、SpecialBlack100、SpecialBlack6、SpecialBlack5、SpecialBlack4、Color Black FW1、Color Black FW2、Color Black FW2V、Color Black FW18、Color Black FW18、Color Black FW200、Color Black S160、Color Black S170 キャボット社製:Monarch(登録商標。以下同じ。)120、Monarch280、Monarch460、Monarch800、Monarch880、Monarch900、Monarch1000、Monarch1100、Monarch1300、Monarch1400、Monarch4630、REGAL(登録商標。以下同じ。)99、REGAL99R、REGAL415、REGAL415R、REGAL250、REGAL250R、REGAL330、REGAL400R、REGAL55R0、REGAL660R、BLACK PEARLS480、PEARLS130、VULCAN(登録商標) XC72R、ELFTEX(登録商標)−8   Mitsubishi Chemical Corporation: MA7, MA77, MA8, MA11, MA100, MA100R, MA220, MA230, MA600, # 5, # 10, # 20, # 25, # 30, # 32, # 33, # 40, # 44, # 45, # 47, # 50, # 52, # 55, # 650, # 750, # 850, # 950, # 960, # 970, # 980, # 990, # 1000, # 2200, # 2300, # 2350 # 2400, # 2600, # 3050, # 3150, # 3250, # 3600, # 3750, # 3950, # 4000, # 4010, OIL7B, OIL9B, OIL11B, OIL30B, OIL31B Made by Degussa: Printex (registered trademark; The same.) 3, Printex3OP, Printex30, Printex30OP, Print x40, Printex45, Printex55, Printex60, Printex75, Printex80, Printex85, Printex90, Printex A, Printex L, Printex G, Printex P, Printex U, Printex V, PrintexG, SpecialBlack550, SpecialBlack350, SpecialBlack250, SpecialBlack100, SpecialBlack6, SpecialBlack5, SpecialBlack4, Color Black FW1, Color Black FW2, Color Black FW2V, Color Black FW18, Color Black FW18, Color black FW200, Color Black S160, Color Black S170 Cabot: Monarch (registered trademark; the same shall apply hereinafter) 120, Monarch280, Monarch460, Monarch800, Monarch880, Monarch900, Monarch1000, Monarch1, Monarch1100, Monarch1100, Monarch1100, Monarch1100, Monarch1100 The same shall apply hereinafter.) 99, REGAL99R, REGAL415, REGAL415R, REGAL250, REGAL250R, REGAL330, REGAL400R, REGAL55R0, REGAL660R, BLACK PEARLS480, PEARLS130, VULCAN (registered trademark) XC72R, ELFTEX (registered trademark) -8

コロンビヤンカーボン社製:RAVEN11、RAVEN14、RAVEN15、RAVEN16、RAVEN22RAVEN30、RAVEN35、RAVEN40、RAVEN410、RAVEN420、RAVEN450、RAVEN500、RAVEN780、RAVEN850、RAVEN890H、RAVEN1000、RAVEN1020、RAVEN1040、RAVEN1060U、RAVEN1080U、RAVEN1170、RAVEN1190U、RAVEN1250、RAVEN1500、RAVEN2000、RAVEN2500U、RAVEN3500、RAVEN5000、RAVEN5250、RAVEN5750、RAVEN7000
他の黒色顔料の例としては、チタンブラック、アニリンブラック、酸化鉄系黒色顔料、及び、赤色、緑色、青色の三色の有機顔料を混合して黒色顔料として用いることができる。
Made by Colombian Carbon: Raven11, Raven14, Raven15, Raven16, Raven22Raven30, Raven35, Raven40, Raven410, Raven420, Raven450, Raven500, Raven780, Raven850, Raven890, Raven1000, Raven10, Raven10, Raven10, Raven10, Raven10, Raven10, Raven10, Raven10 RAVEN1500, RAVEN2000, RAVEN2500U, RAVEN3500, RAVEN5000, RAVEN5250, RAVEN5750, RAVEN7000
As examples of other black pigments, titanium black, aniline black, iron oxide black pigments, and organic pigments of three colors of red, green, and blue can be mixed and used as black pigments.

カーボンブラックは、樹脂で被覆されたものを使用しても構わない。樹脂で被覆されたカーボンブラックを使用すると、ガラス基板への密着性や体積抵抗値を向上させる効果がある。樹脂で被覆されたカーボンブラックとしては、例えば特開平09−71733号公報に記載されているカーボンブラック等が好適に使用できる。
被覆処理するカーボンブラックとしては、NaとCaの合計含有量が100ppm以下であることが好ましい。カーボンブラックは、通常製造時の原料油や燃焼油(又はガス)、反応停止水や造粒水、更には反応炉の炉材等から混入したNaや、Ca,K,Mg,Al,Fe等を組成とする灰分がパーセントのオーダーで含有されている。この内、NaやCaは、各々数百ppm以上含有されているのが一般的であるが、これらが多く存在すると、透明電極(ITO)やその他の電極に浸透し、電気的短絡の原因となる場合があるからである。
Carbon black coated with a resin may be used. Use of carbon black coated with a resin has the effect of improving adhesion to a glass substrate and volume resistance. As carbon black coated with resin, for example, carbon black described in JP-A No. 09-71733 can be suitably used.
As carbon black to be coated, the total content of Na and Ca is preferably 100 ppm or less. Carbon black is usually raw material oil or combustion oil (or gas) at the time of production, reaction stop water or granulated water, Na mixed from furnace materials of the reactor, Ca, K, Mg, Al, Fe, etc. Is contained in the order of percent. Of these, Na and Ca are generally contained in a few hundred ppm or more, but if many of these are present, they penetrate into the transparent electrode (ITO) and other electrodes, causing electrical shorts. This is because there is a case.

これらのNaやCaを含む灰分の含有量を低減する方法としては、カーボンブラックを製造する際の原料油や燃料油(又はガス)並びに反応停止水として、これらの含有量が極力少ない物を厳選すること及びストラクチャーを調整するアルカリ物質の添加量を極力少なくすることにより可能である。他の方法としては、炉から製出したカーボンブラックを水や塩酸等で洗いNaやCaを溶解し除去する方法が挙げられる。   As a method for reducing the content of ash containing these Na and Ca, carefully select those with as little content as possible as raw oil, fuel oil (or gas) and reaction stop water when producing carbon black. This is possible by reducing the addition amount of the alkaline substance for adjusting the structure as much as possible. As another method, carbon black produced from the furnace is washed with water, hydrochloric acid or the like, and Na or Ca is dissolved and removed.

また、顔料として、硫酸バリウム、硫酸鉛、酸化チタン、黄色鉛、ベンガラ、酸化クロム等を用いることもできる。これら各種の顔料は、複数種を併用することもできる。例えば、色度の調整のために、緑色顔料と黄色顔料とを併用したり、青色顔料と紫色顔料とを併用することができる。   In addition, barium sulfate, lead sulfate, titanium oxide, yellow lead, bengara, chromium oxide, or the like can also be used as the pigment. These various pigments can be used in combination. For example, in order to adjust chromaticity, a green pigment and a yellow pigment can be used in combination, or a blue pigment and a violet pigment can be used in combination.

<顔料の粒径>
本発明に用いられる顔料の平均粒径としては、カラーフィルタの着色層とした場合に、所望の発色が可能なものであればよく、特に限定されず、用いる顔料の種類によっても異なるが、10〜100nmの範囲内であることが好ましく、10〜70nmの範囲内であることがより好ましい。該顔料の平均粒径が上記範囲であることにより、本発明の感光性樹脂組成物を用いて製造された液晶表示装置の色特性を高品質なものとすることができる。
また、顔料がカーボンブラックの場合の顔料平均粒径は、60nm以下が好ましく、50nm以下がさらに好ましい。また、顔料がカーボンブラックの場合の顔料平均粒径は、20nm以上が好ましい。顔料が大きくなりすぎると、散乱が大きくなり、遮光性やコントラストなどの色特性が低下する傾向がある。また、顔料粒径が小さすぎると、分散剤の量が多く必要になり、分散性が低下してくる傾向がある。
なお、上記顔料の平均粒径は、電子顕微鏡写真から一次粒子の大きさを直接計測する方法で求めることができる。具体的には、個々の一次粒子の短軸径と長軸径を計測し、その平均をその粒子の粒径とする。次に、100個以上の粒子について、それぞれの粒子の体積(質量)を、求めた粒径の直方体と近似して求め、体積平均粒径を求めそれを平均粒径とする。なお、電子顕微鏡は透過型(TEM)または走査型(SEM)のいずれを用いても同じ結果を得ることができる。
<Particle particle size>
The average particle diameter of the pigment used in the present invention is not particularly limited as long as it can produce a desired color when it is used as a colored layer of a color filter, and varies depending on the type of pigment used. It is preferably in the range of ˜100 nm, more preferably in the range of 10 to 70 nm. When the average particle diameter of the pigment is within the above range, the color characteristics of the liquid crystal display device produced using the photosensitive resin composition of the present invention can be made high quality.
In addition, when the pigment is carbon black, the average particle diameter of the pigment is preferably 60 nm or less, and more preferably 50 nm or less. Further, when the pigment is carbon black, the average particle diameter of the pigment is preferably 20 nm or more. If the pigment becomes too large, scattering increases and color characteristics such as light shielding properties and contrast tend to deteriorate. On the other hand, if the pigment particle size is too small, a large amount of dispersant is required, and the dispersibility tends to decrease.
In addition, the average particle diameter of the pigment can be obtained by a method of directly measuring the size of primary particles from an electron micrograph. Specifically, the minor axis diameter and major axis diameter of each primary particle are measured, and the average is taken as the particle diameter of the particle. Next, for 100 or more particles, the volume (mass) of each particle is obtained by approximating a cuboid with the obtained particle size, and the volume average particle size is obtained and used as the average particle size. The same result can be obtained regardless of whether the electron microscope is a transmission type (TEM) or a scanning type (SEM).

また、本発明の感光性樹脂組成物は、少なくとも顔料を含むことが好ましいが、その他に、本発明の効果に影響を及ぼさない範囲で染料を併用しても良い。併用できる染料としては、アゾ系染料、アントラキノン系染料、フタロシアニン系染料、キノンイミン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、カルボニル系染料、メチン系染料等が挙げられる。   Moreover, although it is preferable that the photosensitive resin composition of this invention contains a pigment at least, you may use together a dye in the range which does not affect the effect of this invention besides. Examples of dyes that can be used in combination include azo dyes, anthraquinone dyes, phthalocyanine dyes, quinoneimine dyes, quinoline dyes, nitro dyes, carbonyl dyes, and methine dyes.

アゾ系染料としては、例えば、C.I.アシッドイエロー11、C.I.アシッドオレンジ7、C.I.アシッドレッド37、C.I.アシッドレッド180、C.I.アシッドブルー29、C.I.ダイレクトレッド28、C.I.ダイレクトレッド83、C.I.ダイレクトイエロー12、C.I.ダイレクトオレンジ26、C.I.ダイレクトグリーン28、C.I.ダイレクトグリーン59、C.I.リアクティブイエロー2、C.I.リアクティブレッド17、C.I.リアクティブレッド120、C.I.リアクティブブラック5、C.I.ディスパースオレンジ5、C.I.ディスパースレッド58、C.I.ディスパースブルー165、C.I.ベーシックブルー41、C.I.ベーシックレッド18、C.I.モルダントレッド7、C.I.モルダントイエロー5、C.I.モルダントブラック7等が挙げられる。   Examples of the azo dye include C.I. I. Acid Yellow 11, C.I. I. Acid Orange 7, C.I. I. Acid Red 37, C.I. I. Acid Red 180, C.I. I. Acid Blue 29, C.I. I. Direct Red 28, C.I. I. Direct Red 83, C.I. I. Direct Yellow 12, C.I. I. Direct Orange 26, C.I. I. Direct Green 28, C.I. I. Direct Green 59, C.I. I. Reactive Yellow 2, C.I. I. Reactive Red 17, C.I. I. Reactive Red 120, C.I. I. Reactive Black 5, C.I. I. Disperse Orange 5, C.I. I. Disperse thread 58, C.I. I. Disperse blue 165, C.I. I. Basic Blue 41, C.I. I. Basic Red 18, C.I. I. Molded Red 7, C.I. I. Moldant Yellow 5, C.I. I. Examples thereof include Moldant Black 7.

アントラキノン系染料としては、例えば、C.I.バットブルー4、C.I.アシッドブルー40、C.I.アシッドグリーン25、C.I.リアクティブブルー19、C.I.リアクティブブルー49、C.I.ディスパースレッド60、C.I.ディスパースブルー56、C.I.ディスパースブルー60等が挙げられる。
この他、フタロシアニン系染料として、例えば、C.I.パッドブルー5等が、キノンイミン系染料として、例えば、C.I.ベーシックブルー3、C.I.ベーシックブルー9等が、キノリン系染料として、例えば、C.I.ソルベントイエロー33、C.I.アシッドイエロー3、C.I.ディスパースイエロー64等が、ニトロ系染料として、例えば、C.I.アシッドイエロー1、C.I.アシッドオレンジ3、C.I.ディスパースイエロー42等が挙げられる。
Examples of anthraquinone dyes include C.I. I. Bat Blue 4, C.I. I. Acid Blue 40, C.I. I. Acid Green 25, C.I. I. Reactive Blue 19, C.I. I. Reactive Blue 49, C.I. I. Disperse thread 60, C.I. I. Disperse Blue 56, C.I. I. Disperse Blue 60 etc. are mentioned.
Other examples of the phthalocyanine dye include C.I. I. Pad Blue 5 and the like are quinone imine dyes such as C.I. I. Basic Blue 3, C.I. I. Basic Blue 9 and the like are quinoline dyes such as C.I. I. Solvent Yellow 33, C.I. I. Acid Yellow 3, C.I. I. Disperse Yellow 64 and the like are nitro dyes such as C.I. I. Acid Yellow 1, C.I. I. Acid Orange 3, C.I. I. Disperse Yellow 42 and the like.

色材(d)の含有割合は、感光性樹脂組成物中の全固形分量に対して通常1〜70質量%の範囲で選ぶことができる。この範囲の中では、20質量%以上がより好ましく、40質量%以上がさらに好ましく、また、60質量%以下がより好ましい。   The content rate of a coloring material (d) can be normally selected in 1-70 mass% with respect to the total amount of solids in the photosensitive resin composition. In this range, 20 mass% or more is more preferable, 40 mass% or more is more preferable, and 60 mass% or less is more preferable.

本発明の感光性樹脂組成物は、前述したように種々な用途に使用することができるが、優れた画像形成性は、カラーフィルタ用ブラックマトリックスの形成に使用した場合に、特に効果的である。ブラックマトリックス形成に使用する場合には色材(d)として、前述したカーボンブラックやチタンブラック等の黒色色材を使用するか、黒色以外の色材を複数種類混合し黒色に調整して使用すれば良い。その中でも分散安定性の観点から、カーボンブラックを使用することが、特に好ましい。   The photosensitive resin composition of the present invention can be used for various applications as described above, but excellent image forming properties are particularly effective when used for forming a black matrix for a color filter. . When using it for forming a black matrix, use a black color material such as carbon black or titanium black described above as the color material (d), or mix several types of color materials other than black and adjust to black. It ’s fine. Among these, it is particularly preferable to use carbon black from the viewpoint of dispersion stability.

本発明は特に黒色顔料の顔料濃度が大きくなる領域で効果が大きい。特に近年は遮光度を上げるために黒色顔料濃度を多くする必要がある。上記、効果の大きい領域の黒色顔料の含有量は感光性樹脂組成物の全固形分に対し40質量%以上の領域である。45質量%以上であることが、より効果が大きく、50質量%以上であることが、さらに効果が大きく発揮できる。   The present invention is particularly effective in the region where the pigment concentration of the black pigment increases. Particularly in recent years, it is necessary to increase the black pigment concentration in order to increase the degree of light shielding. The content of the black pigment in the region where the effect is large is a region of 40% by mass or more with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. The effect is greater when it is 45% by mass or more, and the effect can be further enhanced when it is 50% by mass or more.

感光性樹脂組成物において、黒色顔料が上記含有量の範囲内で含有されることにより、遮光性(光学密度、OD値)の高い感光性樹脂組成物を得ることができる。具体的には、黒色顔料の含有量を45質量%以上とすることにより、本発明の感光性樹脂組成物を用いて厚さ1μmのブラックマトリックスを形成した場合における光学濃度を4.0以上の値とすることができる。光学濃度は、より好ましくは4.2以上である。遮光性が高い領域では、紫外線が深部に透過しにくく、光重合による架橋が、特に基板と細線の密着する部分で弱いが、本発明の感光性樹脂組成物を用いた場合は、特に顔料濃度が大きく場合に、本発明の効果をよく確認できる。顔料濃度としては40〜65質量%が特に効果的である。前記下限値以上とすることで色濃度に対する膜厚が大きくなりすぎるのを抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで十分な画像形成性を確保しやすい傾向がある。   In the photosensitive resin composition, when the black pigment is contained within the above content range, a photosensitive resin composition having high light shielding properties (optical density, OD value) can be obtained. Specifically, by setting the black pigment content to 45% by mass or more, the optical density when the black matrix having a thickness of 1 μm is formed using the photosensitive resin composition of the present invention is 4.0 or more. Can be a value. The optical density is more preferably 4.2 or more. In regions with high light shielding properties, ultraviolet rays are difficult to penetrate deeply, and crosslinking due to photopolymerization is weak particularly in the area where the substrate and fine wires are in close contact, but particularly when the photosensitive resin composition of the present invention is used, the pigment concentration When the value is large, the effect of the present invention can be confirmed well. A pigment concentration of 40 to 65% by mass is particularly effective. When it is at least the lower limit, there is a tendency that the film thickness with respect to the color density is prevented from becoming too large, and when it is at most the upper limit, there is a tendency that sufficient image formability is easily secured.

なお感光性樹脂組成物において、色材(d)の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂(a)100質量部あたり、通常20〜500質量部、好ましくは30〜300質量部、より好ましくは40〜200質量部の範囲である。前記下限値以上とすることで未露光部分の現像液に対する溶解性の低下を抑制しやすい傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望の画像膜厚が得やすい傾向がある。   In the photosensitive resin composition, the content ratio of the coloring material (d) is usually 20 to 500 parts by mass, preferably 30 to 300 parts by mass, more preferably 40 to 200, per 100 parts by mass of the alkali-soluble resin (a). It is the range of mass parts. By setting it to the lower limit value or more, there is a tendency that it is easy to suppress a decrease in the solubility of the unexposed portion in the developer, and by setting the upper limit value or less, a desired image thickness tends to be obtained.

<分散剤(e)>
本発明においては、色材を微細に分散させ、且つその分散状態を安定化させることが品質の安定性確保には重要なため、分散剤を含むことが好ましい。
分散剤としては、官能基を有する高分子分散剤が好ましく、更には、分散安定性の面からカルボキシル基;リン酸基;スルホン酸基;又はこれらの塩基;一級、二級又は三級アミノ基;四級アンモニウム塩基;ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の官能基を有する高分子分散剤が好ましい。中でも特に、一級、二級又は三級アミノ基;四級アンモニウム塩基;ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の塩基性官能基を有する高分子分散剤が特に好ましい。これら塩基性官能基を有する高分子分散剤を使用することにより、分散性を良好にでき、高い遮光性を達成できる傾向がある。
<Dispersant (e)>
In the present invention, it is important to finely disperse the color material and stabilize the dispersion state, so that it is important to ensure the stability of the quality.
As the dispersant, a polymer dispersant having a functional group is preferable, and further, from the viewpoint of dispersion stability, a carboxyl group; a phosphoric acid group; a sulfonic acid group; or a base thereof; a primary, secondary, or tertiary amino group. A quaternary ammonium base; a polymer dispersant having a functional group such as a group derived from a nitrogen-containing heterocycle such as pyridine, pyrimidine and pyrazine, is preferable. Among these, a polymer dispersant having a basic functional group such as a primary, secondary or tertiary amino group; a quaternary ammonium base; a group derived from a nitrogen-containing heterocycle such as pyridine, pyrimidine, pyrazine, or the like is particularly preferable. By using the polymer dispersant having these basic functional groups, there is a tendency that the dispersibility can be improved and a high light-shielding property can be achieved.

また高分子分散剤としては、例えばウレタン系分散剤、アクリル系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリアリルアミン系分散剤、アミノ基を持つモノマーとマクロモノマーからなる分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレンジエステル系分散剤、ポリエーテルリン酸系分散剤、ポリエステルリン酸系分散剤、ソルビタン脂肪族エステル系分散剤、脂肪族変性ポリエステル系分散剤等を挙げることができる。   Examples of polymer dispersants include urethane dispersants, acrylic dispersants, polyethyleneimine dispersants, polyallylamine dispersants, dispersants composed of amino group-containing monomers and macromonomers, and polyoxyethylene alkyl ethers. Examples thereof include a dispersant, a polyoxyethylene diester dispersant, a polyether phosphate dispersant, a polyester phosphate dispersant, a sorbitan aliphatic ester dispersant, and an aliphatic modified polyester dispersant.

このような分散剤の具体例としては、商品名で、EFKA(登録商標。エフカーケミカルズビーブイ(EFKA)社製。)、Disperbyk(登録商標。ビックケミー社製。)、ディスパロン(登録商標。楠本化成社製。)、SOLSPERSE(登録商標。ルーブリゾール社製。)、KP(信越化学工業社製)、ポリフロー又はフローレン(登録商標。共栄社化学社製。)、アジスパー(登録商標。味の素ファインテクノ社製。)等を挙げることができる。
これらの高分子分散剤は1種を単独で使用してもよく、又は2種以上を併用してもよい。
Specific examples of such a dispersant are trade names of EFKA (registered trademark, manufactured by EFKA Chemicals Beebuy (EFKA)), Disperbyk (registered trademark, manufactured by BYK Chemie), and Disparon (registered trademark, Enomoto Kasei). , SOLSPERSE (registered trademark, manufactured by Lubrizol Corporation), KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow or Florene (registered trademark, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), Ajisper (registered trademark, manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.) Etc.).
These polymer dispersants may be used alone or in combination of two or more.

これらの内、密着性及び直線性の面から、分散剤(e)は塩基性官能基を有するウレタン系高分子分散剤及び/又はアクリル系高分子分散剤を含むことが、特に好ましい。特にはウレタン系高分子分散剤が密着性の面で好ましい。また分散性、保存性の面から、塩基性官能基を有し、ポリエステル及び/又はポリエーテル結合を有する高分子分散剤が好ましい。   Among these, it is particularly preferable that the dispersant (e) contains a urethane polymer dispersant and / or an acrylic polymer dispersant having a basic functional group in terms of adhesion and linearity. In particular, a urethane-based polymer dispersant is preferable in terms of adhesion. From the viewpoint of dispersibility and storage stability, a polymer dispersant having a basic functional group and having a polyester and / or polyether bond is preferred.

本発明の有機ケイ素化合物(f−1)は、前述のように、その有機シラン部位、ウレタン結合部位、エチレン性不飽和基部位が相乗的に作用して、高温高湿度下や室温下での硬化物と基板との密着性を向上させる。この有機ケイ素化合物(f−1)のウレタン結合部位が、ウレタン系高分子分散剤のウレタン結合部位と水素結合などの親和力で結合をつくり、さらに基板との密着性を向上させることができると考えられる。そのために、本発明にはウレタン系高分子分散剤が特に好ましい。   As described above, the organosilicon compound (f-1) of the present invention has a synergistic action of its organosilane site, urethane bond site, and ethylenically unsaturated group site, so that it can be used at high temperature and high humidity or at room temperature. Improves adhesion between the cured product and the substrate. It is considered that the urethane bond site of the organosilicon compound (f-1) can form a bond with the urethane bond site of the urethane-based polymer dispersant with an affinity such as hydrogen bond, and can further improve the adhesion to the substrate. It is done. Therefore, urethane polymer dispersants are particularly preferred in the present invention.

高分子分散剤の重量平均分子量(Mw)は通常700以上、好ましくは1000以上であり、また通常100,000以下、好ましくは50,000以下であり、より好ましくは30,000以下である。前記上限値以下とすることで、顔料濃度が高い時でもアルカリ現像性が良好となる傾向がある。
ウレタン系及びアクリル系高分子分散剤としては、例えばDisperbyk160〜167、182シリーズ(いずれもウレタン系)、Disperbyk2000,2001等(いずれもアクリル系)(以上すべてビックケミー社製)が挙げられる。上記の塩基性官能基を有し、ポリエステル及び/又はポリエーテル結合を有するウレタン系高分子分散剤で重量平均分子量30,000以下の得に好ましいものとしてDisperbyk167、182などが上げられる。
The weight average molecular weight (Mw) of the polymer dispersant is usually 700 or more, preferably 1000 or more, and usually 100,000 or less, preferably 50,000 or less, more preferably 30,000 or less. By setting it to the upper limit or less, the alkali developability tends to be good even when the pigment concentration is high.
Examples of urethane-based and acrylic polymer dispersants include Disperbyk 160 to 167, 182 series (both are urethane-based), Disperbyk 2000, 2001, etc. (both are acrylic-based) (all manufactured by Big Chemie). Disperbyk 167, 182 and the like are preferable as a urethane polymer dispersant having a basic functional group and having a polyester and / or polyether bond and having a weight average molecular weight of 30,000 or less.

(ウレタン系高分子分散剤)
ウレタン系高分子分散剤として好ましい化学構造を具体的に例示するならば、例えば、ポリイソシアネート化合物と、分子内に水酸基を1個又は2個有する数平均分子量300〜10,000の化合物と、同一分子内に活性水素と3級アミノ基を有する化合物とを反応させることによって得られる、重量平均分子量1,000〜200,000の分散樹脂等が挙げられる。
(Urethane polymer dispersant)
If a chemical structure preferable as a urethane polymer dispersant is specifically exemplified, for example, the same as a polyisocyanate compound and a compound having a number average molecular weight of 300 to 10,000 having one or two hydroxyl groups in the molecule Examples thereof include a dispersion resin having a weight average molecular weight of 1,000 to 200,000, which is obtained by reacting an active hydrogen with a compound having a tertiary amino group in the molecule.

上記のポリイソシアネート化合物の例としては、パラフェニレンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、トリジンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、リジンメチルエステルジイソシアネート、2,4,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、4,4′−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、ω,ω′−ジイソシネートジメチルシクロヘキサン等の脂環族ジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、α,α,α′,α′−テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の芳香環を有する脂肪族ジイソシアネート、リジンエステルトリイソシアネート、1,6,11−ウンデカントリイソシアネート、1,8−ジイソシアネート−4−イソシアネートメチルオクタン、1,3,6−ヘキサメチレントリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート、トリス(イソシアネートフェニルメタン)、トリス(イソシアネートフェニル)チオホスフェート等のトリイソシアネート、及びこれらの3量体、水付加物、及びこれらのポリオール付加物等が挙げられる。ポリイソシアネートとして好ましいのは有機ジイソシアネートの三量体で、最も好ましいのはトリレンジイソシアネートの三量体とイソホロンジイソシアネートの三量体である。これらは1種を単独で用いても良く、2種以上を併用しても良い。   Examples of the polyisocyanate compound include paraphenylene diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, and tolidine diisocyanate. Aromatic diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, lysine methyl ester diisocyanate, 2,4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, dimer acid diisocyanate and other aliphatic diisocyanates, isophorone diisocyanate, 4,4'-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), ω, ω Alicyclic diisocyanates such as '-diisocyanate dimethylcyclohexane, xylylene diisocyanate, α, α, α', α'-tetramethyl Aliphatic diisocyanates having aromatic rings such as luxylylene diisocyanate, lysine ester triisocyanate, 1,6,11-undecane triisocyanate, 1,8-diisocyanate-4-isocyanate methyloctane, 1,3,6-hexamethylene triisocyanate , Triisocyanates such as bicycloheptane triisocyanate, tris (isocyanatephenylmethane), tris (isocyanatephenyl) thiophosphate, and trimers thereof, water adducts, and polyol adducts thereof. Preferred as the polyisocyanate are trimers of organic diisocyanate, and most preferred are trimerene of tolylene diisocyanate and trimer of isophorone diisocyanate. These may be used alone or in combination of two or more.

イソシアネートの三量体の製造方法としては、前記ポリイソシアネート類を適当な三量化触媒、例えば第3級アミン類、ホスフィン類、アルコキシド類、金属酸化物、カルボン酸塩類等を用いてイソシアネート基の部分的な三量化を行い、触媒毒の添加により三量化を停止させた後、未反応のポリイソシアネートを溶剤抽出、薄膜蒸留により除去して目的のイソシアヌレート基含有ポリイソシアネートを得る方法が挙げられる。   As a method for producing an isocyanate trimer, the polyisocyanate may be converted into an isocyanate group using an appropriate trimerization catalyst such as tertiary amines, phosphines, alkoxides, metal oxides, carboxylates and the like. And the trimerization is stopped by adding a catalyst poison, and then the unreacted polyisocyanate is removed by solvent extraction and thin-film distillation to obtain the desired isocyanurate group-containing polyisocyanate.

同一分子内に水酸基を1個又は2個有する数平均分子量300〜10,000の化合物としては、ポリエーテルグリコール、ポリエステルグリコール、ポリカーボネートグリコール、ポリオレフィングリコール等、及びこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数1〜25のアルキル基でアルコキシ化されたもの及びこれら2種類以上の混合物が挙げられる。   Examples of the compound having a number average molecular weight of 300 to 10,000 having one or two hydroxyl groups in the same molecule include polyether glycol, polyester glycol, polycarbonate glycol, polyolefin glycol and the like, and one terminal hydroxyl group of these compounds has a carbon number. Examples thereof include those alkoxylated with 1 to 25 alkyl groups and mixtures of two or more thereof.

ポリエーテルグリコールとしては、ポリエーテルジオール、ポリエーテルエステルジオール、及びこれら2種類以上の混合物が挙げられる。ポリエーテルジオールとしては、アルキレンオキシドを単独又は共重合させて得られるもの、例えばポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレン−プロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール、ポリオキシヘキサメチレングリコール、ポリオキシオクタメチレングリコール及びそれらの2種以上の混合物が挙げられる。   Polyether glycols include polyether diols, polyether ester diols, and mixtures of two or more of these. Examples of the polyether diol include those obtained by homopolymerizing or copolymerizing alkylene oxide, such as polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyethylene-propylene glycol, polyoxytetramethylene glycol, polyoxyhexamethylene glycol, polyoxyoctamethylene glycol, and the like. The mixture of 2 or more types of these is mentioned.

ポリエーテルエステルジオールとしては、エーテル基含有ジオールもしくは他のグリコールとの混合物をジカルボン酸又はそれらの無水物と反応させるか、又はポリエステルグリコールにアルキレンオキシドを反応させることによって得られるもの、例えばポリ(ポリオキシテトラメチレン)アジペート等が挙げられる。ポリエーテルグリコールとして最も好ましいのはポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール又はこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数1〜25のアルキル基でアルコキシ化された化合物である。   Polyether ester diols include those obtained by reacting a mixture of ether group-containing diols or other glycols with dicarboxylic acids or their anhydrides or reacting polyester glycols with alkylene oxides, such as poly (poly And oxytetramethylene) adipate. Most preferred as the polyether glycol is polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyoxytetramethylene glycol or a compound in which one terminal hydroxyl group of these compounds is alkoxylated with an alkyl group having 1 to 25 carbon atoms.

ポリエステルグリコールとしては、ジカルボン酸(コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン酸、フマル酸、マレイン酸、フタル酸等)又はそれらの無水物とグリコール(エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、2−メチル−1,3−プロパンジオール、2−メチル−2−プロピル−1,3−プロパンジオール、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、2−メチル−2,4−ペンタンジオール、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオール、2−エチル−1,3−ヘキサンジオール、2,5−ジメチル−2,5−ヘキサンジオール、1,8−オクタメチレングリコール、2−メチル−1,8−オクタメチレングリコール、1,9−ノナンジオール等の脂肪族グリコール、ビスヒドロキシメチルシクロヘキサン等の脂環族グリコール、キシリレングリコール、ビスヒドロキシエトキシベンゼン等の芳香族グリコール、N−メチルジエタノールアミン等のN−アルキルジアルカノールアミン等)とを重縮合させて得られたもの、例えばポリエチレンアジペート、ポリブチレンアジペート、ポリヘキサメチレンアジペート、ポリエチレン/プロピレンアジペート等、又は前記ジオール類又は炭素数1〜25の1価アルコールを開始剤として用いて得られるポリラクトンジオール又はポリラクトンモノオール、例えばポリカプロラクトングリコール、ポリメチルバレロラクトン及びこれらの2種以上の混合物が挙げられる。ポリエステルグリコールとして最も好ましいのはポリカプロラクトングリコール又は炭素数1〜25のアルコールを開始剤としたポリカプロラクトンである。   Polyester glycol includes dicarboxylic acid (succinic acid, glutaric acid, adipic acid, sebacic acid, fumaric acid, maleic acid, phthalic acid, etc.) or anhydrides thereof and glycol (ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol, Dipropylene glycol, tripropylene glycol, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 2,3-butanediol, 3-methyl-1,5-pentanediol, neopentyl glycol 2-methyl-1,3-propanediol, 2-methyl-2-propyl-1,3-propanediol, 2-butyl-2-ethyl-1,3-propanediol, 1,5-pentanediol, , 6-hexanediol, 2-methyl-2,4- Nanthanediol, 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol, 2-ethyl-1,3-hexanediol, 2,5-dimethyl-2,5-hexanediol, 1,8-octamethylene glycol, Aliphatic glycols such as 2-methyl-1,8-octamethylene glycol and 1,9-nonanediol, alicyclic glycols such as bishydroxymethylcyclohexane, aromatic glycols such as xylylene glycol and bishydroxyethoxybenzene, N -N-alkyl dialkanolamines such as methyldiethanolamine) obtained by polycondensation, such as polyethylene adipate, polybutylene adipate, polyhexamethylene adipate, polyethylene / propylene adipate, etc., or the diol or carbon number 1 to 25 monovalent Polylactone diol or polylactone monool obtained by using an alcohol as an initiator, for example, polycaprolactone glycol, polymethyl valerolactone and mixtures of two or more thereof. Most preferred as the polyester glycol is polycaprolactone glycol or polycaprolactone initiated with an alcohol having 1 to 25 carbon atoms.

ポリカーボネートグリコールとしては、ポリ(1,6−ヘキシレン)カーボネート、ポリ(3−メチル−1,5−ペンチレン)カーボネート等、ポリオレフィングリコールとしてはポリブタジエングリコール、水素添加型ポリブタジエングリコール、水素添加型ポリイソプレングリコール等が挙げられる。
これらは1種を単独で用いても良く、2種以上を併用しても良い。
Examples of polycarbonate glycol include poly (1,6-hexylene) carbonate and poly (3-methyl-1,5-pentylene) carbonate. Examples of polyolefin glycol include polybutadiene glycol, hydrogenated polybutadiene glycol, and hydrogenated polyisoprene glycol. Is mentioned.
These may be used alone or in combination of two or more.

同一分子内に水酸基を1個又は2個有する化合物の数平均分子量は、通常300〜10,000、好ましくは500〜6,000、更に好ましくは1,000〜4,000である。
本発明に用いられる同一分子内に活性水素と3級アミノ基を有する化合物を説明する。活性水素、即ち、酸素原子、窒素原子又はイオウ原子に直接結合している水素原子としては、水酸基、アミノ基、チオール基等の官能基中の水素原子が挙げられ、中でもアミノ基、特に1級のアミノ基の水素原子が好ましい。
The number average molecular weight of the compound having one or two hydroxyl groups in the same molecule is usually 300 to 10,000, preferably 500 to 6,000, and more preferably 1,000 to 4,000.
A compound having an active hydrogen and a tertiary amino group in the same molecule used in the present invention will be described. Examples of the active hydrogen, that is, a hydrogen atom directly bonded to an oxygen atom, a nitrogen atom or a sulfur atom include a hydrogen atom in a functional group such as a hydroxyl group, an amino group, and a thiol group. The hydrogen atom of the amino group is preferable.

3級アミノ基は、特に限定されないが、例えば炭素数1〜4のアルキル基を有するアミノ基、又はヘテロ環構造、より具体的にはイミダゾール環又はトリアゾール環、などが挙げられる。
このような同一分子内に活性水素と3級アミノ基を有する化合物を例示するならば、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジエチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジプロピル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジブチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジメチルエチレンジアミン、N,N−ジエチルエチレンジアミン、N,N−ジプロピルエチレンジアミン、N,N−ジブチルエチレンジアミン、N,N−ジメチル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジエチル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジプロピル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジブチル−1,4−ブタンジアミン等が挙げられる。
The tertiary amino group is not particularly limited, and examples thereof include an amino group having an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or a heterocyclic structure, more specifically, an imidazole ring or a triazole ring.
Examples of such compounds having an active hydrogen and a tertiary amino group in the same molecule include N, N-dimethyl-1,3-propanediamine, N, N-diethyl-1,3-propanediamine, N , N-dipropyl-1,3-propanediamine, N, N-dibutyl-1,3-propanediamine, N, N-dimethylethylenediamine, N, N-diethylethylenediamine, N, N-dipropylethylenediamine, N, N -Dibutylethylenediamine, N, N-dimethyl-1,4-butanediamine, N, N-diethyl-1,4-butanediamine, N, N-dipropyl-1,4-butanediamine, N, N-dibutyl-1 , 4-butanediamine and the like.

また、3級アミノ基が含窒素ヘテロ環構造である場合の該含窒素ヘテロ環としては、ピラゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、テトラゾール環、インドール環、カルバゾール環、インダゾール環、ベンズイミダゾール環、ベンゾトリアゾール環、ベンゾオキサゾール環、ベンゾチアゾール環、ベンゾチアジアゾール環等のN含有ヘテロ5員環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、アクリジン環、イソキノリン環等の含窒素ヘテロ6員環が挙げられる。これらの含窒素ヘテロ環のうち好ましいものはイミダゾール環又はトリアゾール環である。   In addition, when the tertiary amino group is a nitrogen-containing heterocyclic structure, examples of the nitrogen-containing heterocyclic ring include pyrazole ring, imidazole ring, triazole ring, tetrazole ring, indole ring, carbazole ring, indazole ring, benzimidazole ring, benzo N-containing hetero 5-membered ring such as triazole ring, benzoxazole ring, benzothiazole ring, benzothiadiazole ring, etc., nitrogen-containing hetero 6-membered ring such as pyridine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, acridine ring, isoquinoline ring A ring is mentioned. Among these nitrogen-containing heterocycles, preferred are an imidazole ring or a triazole ring.

これらのイミダゾール環とアミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、1−(3−アミノプロピル)イミダゾール、ヒスチジン、2−アミノイミダゾール、1−(2−アミノエチル)イミダゾール等が挙げられる。また、トリアゾール環とアミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、5−(2−アミノ−5−クロロフェニル)−3−フェニル−1H−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−4H−1,2,4−トリアゾール−3,5−ジオール、3−アミノ−5−フェニル−1H−1,3,4−トリアゾール、5−アミノ−1,4−ジフェニル−1,2,3−トリアゾール、3−アミノ−1−ベンジル−1H−2,4−トリアゾール等が挙げられる。中でも、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジエチル−1,3−プロパンジアミン、1−(3−アミノプロピル)イミダゾール、3−アミノ−1,2,4−トリアゾールが好ましい。   Specific examples of these compounds having an imidazole ring and an amino group include 1- (3-aminopropyl) imidazole, histidine, 2-aminoimidazole, 1- (2-aminoethyl) imidazole and the like. Further, specific examples of the compound having a triazole ring and an amino group include 3-amino-1,2,4-triazole, 5- (2-amino-5-chlorophenyl) -3-phenyl-1H-1 , 2,4-triazole, 4-amino-4H-1,2,4-triazole-3,5-diol, 3-amino-5-phenyl-1H-1,3,4-triazole, 5-amino-1 , 4-diphenyl-1,2,3-triazole, 3-amino-1-benzyl-1H-2,4-triazole and the like. Among them, N, N-dimethyl-1,3-propanediamine, N, N-diethyl-1,3-propanediamine, 1- (3-aminopropyl) imidazole, 3-amino-1,2,4-triazole preferable.

これらは1種を単独で用いても良く、2種以上を併用しても良い。
ウレタン系高分子分散剤を製造する際の原料の好ましい配合比率はポリイソシアネート化合物100質量部に対し、同一分子内に水酸基を1個又は2個有する数平均分子量300〜10,000の化合物が10〜200質量部、好ましくは20〜190質量部、更に好ましくは30〜180質量部、同一分子内に活性水素と3級アミノ基を有する化合物が0.2〜25質量部、好ましくは0.3〜24質量部である。
These may be used alone or in combination of two or more.
The preferred blending ratio of the raw materials for producing the urethane-based polymer dispersant is 10 compounds having a number average molecular weight of 300 to 10,000 having one or two hydroxyl groups in the same molecule with respect to 100 parts by mass of the polyisocyanate compound. To 200 parts by mass, preferably 20 to 190 parts by mass, more preferably 30 to 180 parts by mass, and 0.2 to 25 parts by mass of a compound having an active hydrogen and a tertiary amino group in the same molecule, preferably 0.3. -24 parts by mass.

ウレタン系高分子分散剤の製造はポリウレタン樹脂製造の公知の方法に従って行われる。製造する際の溶媒としては、通常、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸セロソルブ等のエステル類、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水素類、ダイアセトンアルコール、イソプロパノール、第二ブタノール、第三ブタノール等一部のアルコール類、塩化メチレン、クロロホルム等の塩化物、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル等のエーテル類、ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキサイド等の非プロトン性極性溶媒等が用いられる。これらは1種を単独で用いても良く、2種以上を併用しても良い。   Manufacture of a urethane type polymer dispersing agent is performed in accordance with the well-known method of polyurethane resin manufacture. As a solvent for production, usually, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone, isophorone, esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, benzene, toluene, xylene, hexane Hydrocarbons such as diacetone alcohol, isopropanol, sec-butanol, tert-butanol, etc., chlorides such as methylene chloride and chloroform, ethers such as tetrahydrofuran and diethyl ether, dimethylformamide, N-methyl Aprotic polar solvents such as pyrrolidone and dimethyl sulfoxide are used. These may be used alone or in combination of two or more.

上記製造に際して、通常、ウレタン化反応触媒が用いられる。この触媒としては、例えば、ジブチルチンジラウレート、ジオクチルチンジラウレート、ジブチルチンジオクトエート、スタナスオクトエート等の錫系、鉄アセチルアセトナート、塩化第二鉄等の鉄系、トリエチルアミン、トリエチレンジアミン等の3級アミン系等の1種又は2種以上が挙げられる。   In the above production, a urethanization reaction catalyst is usually used. Examples of the catalyst include tin-based compounds such as dibutyltin dilaurate, dioctyltin dilaurate, dibutyltin dioctate, and stannous octoate, iron-based compounds such as iron acetylacetonate and ferric chloride, triethylamine, and triethylenediamine. 1 type, or 2 or more types, such as a secondary amine type | system | group, are mentioned.

<アミン価の測定方法>
分散剤の3級アミン価は、分散剤試料中の溶剤を除いた固形分1gあたりの塩基量と当量のKOHの質量で表し、次の方法により測定することができる。
100mLのビーカーに分散剤試料の0.5〜1.5gを精秤し、50mLの酢酸で溶解する。pH電極を備えた自動滴定装置を使って、この溶液を0.1mol/LのHClO4(過塩素酸)酢酸溶液にて中和滴定する。滴定pH曲線の変曲点を滴定終点とし次式によりアミン価を求める。
<Method of measuring amine value>
The tertiary amine value of the dispersant is represented by the mass of KOH equivalent to the amount of base per gram of solid content excluding the solvent in the dispersant sample, and can be measured by the following method.
Disperse 0.5-1.5 g of the dispersant sample in a 100 mL beaker and dissolve with 50 mL of acetic acid. This solution is neutralized with a 0.1 mol / L HClO 4 (perchloric acid) acetic acid solution using an automatic titrator equipped with a pH electrode. Using the inflection point of the titration pH curve as the end point of titration, the amine value is determined by the following formula.

アミン価[mgKOH/g]=(561×V)/(W×S)
〔但し、W:分散剤試料秤取量[g]、V:滴定終点での滴定量[mL]、S:分散剤試料の固形分濃度[質量%]を表す。〕
同一分子内に活性水素と3級アミノ基を有する化合物の導入量は反応後のアミン価で1〜100mgKOH/gの範囲に制御するのが好ましい。より好ましくは5〜95mgKOH/gの範囲である。アミン価は、塩基性アミノ基を酸により中和滴定し、酸価に対応させてKOHのmg数で表した値である。アミン価が上記範囲より低いと分散能力が低下する傾向があり、また、上記範囲を超えると現像性が低下しやすくなる。
Amine value [mgKOH / g] = (561 × V) / (W × S)
[However, W: Weighing amount of dispersant sample [g], V: Titration amount at the end of titration [mL], S: Solid content concentration [mass%] of the dispersant sample. ]
The introduction amount of the compound having active hydrogen and tertiary amino group in the same molecule is preferably controlled in the range of 1 to 100 mgKOH / g in terms of the amine value after the reaction. More preferably, it is the range of 5-95 mgKOH / g. The amine value is a value obtained by neutralizing and titrating a basic amino group with an acid, and representing the acid value in mg of KOH. When the amine value is lower than the above range, the dispersing ability tends to be lowered, and when it exceeds the above range, the developability tends to be lowered.

なお、以上の反応で高分子分散剤にイソシアネート基が残存する場合には更に、アルコールやアミノ化合物でイソシアネート基を潰すと生成物の経時安定性が高くなるので好ましい。
ウレタン系高分子分散剤の重量平均分子量(Mw)は通常1,000〜200,000、好ましくは2,000〜100,000、より好ましくは3,000〜50,000の範囲である。特に30,000以下が好ましい。この分子量が1,000未満では分散性及び分散安定性が劣り、200,000を超えると溶解性が低下し分散性が劣ると同時に反応の制御が困難となる傾向がある。分子量が30,000以下であると、特に顔料濃度の高い場合でも、アルカリ現像性が良好となる傾向がある。このような特に好ましい市販のウレタン分散剤の例としてDisperbyk167、182(ビックケミー社)などが挙げられる。
In addition, when an isocyanate group remains in the polymer dispersant by the above reaction, it is preferable to further crush the isocyanate group with an alcohol or an amino compound because the stability of the product with time is increased.
The weight average molecular weight (Mw) of the urethane-based polymer dispersant is usually in the range of 1,000 to 200,000, preferably 2,000 to 100,000, more preferably 3,000 to 50,000. In particular, 30,000 or less is preferable. If the molecular weight is less than 1,000, the dispersibility and dispersion stability are poor, and if it exceeds 200,000, the solubility tends to be low and the dispersibility is poor, and at the same time, the reaction tends to be difficult to control. When the molecular weight is 30,000 or less, alkali developability tends to be good even when the pigment concentration is particularly high. Examples of such a particularly preferred commercially available urethane dispersant include Disperbyk 167 and 182 (Bic Chemie).

分散剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分中、通常50質量%以下、好ましくは30質量%以下、より好ましくは20質量%以下、通常1質量%以上、好ましくは3質量%以上、より好ましくは5質量%以上、さらに好ましくは7質量%以上である。また、分散剤の含有量は、色材(d)に対して、通常5質量%以上、特に10質量%以上であり、通常200%質量%以下、特に80質量%以下であることが好ましい。前記下限値以上とすることで十分な分散性を確保しやすい傾向があり、また、前記上限値以下とすることで他の成分の割合を減らすことなく、色濃度、感度、成膜性などを十分なものとしやすい傾向がある。   The content of the dispersant is usually 50% by mass or less, preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, usually 1% by mass or more, preferably 3% by mass in the total solid content of the photosensitive resin composition. As mentioned above, More preferably, it is 5 mass% or more, More preferably, it is 7 mass% or more. Further, the content of the dispersant is usually 5% by mass or more, particularly 10% by mass or more, and usually 200% by mass or less, and particularly preferably 80% by mass or less, with respect to the coloring material (d). There is a tendency to ensure sufficient dispersibility by setting the lower limit value or more, and by reducing the ratio of other components by setting the upper limit value or less, the color density, sensitivity, film formability, etc. There is a tendency to be sufficient.

特に、分散剤としては、高分子分散剤と顔料誘導体とを併用することが好ましいが、この場合、顔料誘導体の配合割合は本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.1質量%以上で、通常10質量%以下、好ましくは5質量%以下とすることが好ましい。   In particular, it is preferable to use a polymer dispersant and a pigment derivative in combination as the dispersant. In this case, the blending ratio of the pigment derivative is usually 0 with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition of the present invention. .1% by mass or more, usually 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less.

<チオール類>
本発明の感光性樹脂組成物は、高感度化、基板への密着性の向上のため、チオール類を添加することが好ましい。チオール類の種類としては、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、エチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、プロピレングリコールビス(3−メルカプトブチレート);(略してPGMB),ブタンジオールビス(3−メルカプトブチレート)、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン;(商品名;カレンズMT BD1、昭和電工(株)製)、ブタンジオールトリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート);(商品名;カレンズMT PE1、昭和電工(株)製)、ペンタエリスリトールトリス(3− メルカプトブチレート)、エチレングリコールビス(3−メルカプトイソブチレート)、ブタンジオールビス(3−メルカプトイソブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトイソブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート);(略してTPMB) トリメチロールプロパントリス(2−メルカプトイソブチレート);(略してTPMIB)、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン;(商品名;カレンズMT NR1、昭和電工(株)製)等が挙げられ、これらは種々のものが1種を単独で、或いは2種以上を混合して使用できる。好ましくは上記、PGMB、TPMB、TPMIB、カレンズMT BD1、カレンズMT PE1、カレンズMT NR1などの多官能チオールが好ましく、その中でもカレンズMT BD1、カレンズMT PE1、カレンズMT NR1がさらに好ましく、カレンズMT PE1が特に好ましい。
<Thiols>
It is preferable to add thiols to the photosensitive resin composition of the present invention in order to increase sensitivity and improve adhesion to the substrate. Types of thiols include hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-dimethylmercaptobenzene, butanediol bisthiopropionate, butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, trimethylolpropane tristhioglycolate , Butanediol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhiopropionate, trimethylolpropane tristhioglycolate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, trishydroxyethyl tristhiopropionate, Ethylene glycol bis (3-mercaptobutyrate), propylene glycol bis (3-mercaptobutyrate); (PGMB for short), Diol (3-mercaptobutyrate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane; (trade name; Karenz MT BD1, manufactured by Showa Denko KK), butanediol trimethylolpropane tris (3-mercapto) Butyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate); (trade name; Karenz MT PE1, Showa Denko KK), pentaerythritol tris (3-mercaptobutyrate), ethylene glycol bis (3-mercaptoiso) (Butyrate), butanediol bis (3-mercaptoisobutyrate), trimethylolpropane tris (3-mercaptoisobutyrate), trimethylolpropane tris (3-mercaptobutyrate); (TPMB for short) trimethylolpropane tris (2 Mercaptoisobutyrate); (TPMIB for short), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione (Trade name; Karenz MT NR1, manufactured by Showa Denko Co., Ltd.) and the like, and various of these may be used alone or in combination of two or more. Preferred are polyfunctional thiols such as PGMB, TPMB, TPMIB, Karenz MT BD1, Karenz MT PE1, Karenz MT NR1, among which Karenz MT BD1, Karenz MT PE1 and Karenz MT NR1 are more preferable, and Karenz MT PE1 is preferable. Particularly preferred.

チオール化合物を用いる場合、チオール化合物の含有量は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.1質量%以上、好ましくは0.3質量%以上、更に好ましくは0.5質量以上であり、通常10質量%以下、好ましくは5質量%以下である。前記下限値以上とすることで感度低下を抑制できる傾向があり、前記上限値以下とすることで保存安定性を良好なものとしやすい傾向がある。   When a thiol compound is used, the content of the thiol compound is usually 0.1% by mass or more, preferably 0.3% by mass or more, more preferably 0%, based on the total solid content of the photosensitive resin composition of the present invention. 0.5 mass or more, usually 10 mass% or less, preferably 5 mass% or less. There exists a tendency which can suppress a sensitivity fall by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which is easy to make a storage stability favorable by setting it as the said upper limit or less.

<溶剤>
本発明の感光性樹脂組成物は、通常、エチレン性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂(a)、光重合性モノマー(b)、光重合開始剤(c)、色材(d)、分散剤(e)、有機ケイ素化合物(f)、界面活性剤(g)及び必要に応じて使用される各種材料が、有機溶剤に溶解又は分散した状態で使用される。
有機溶剤としては、沸点(圧力1013.25[hPa]条件下。以下、沸点に関しては全て同様。)が100〜300℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは120〜280℃の沸点をもつ溶剤である。
このような有機溶剤としては、例えば、次のようなものが挙げられる。
<Solvent>
The photosensitive resin composition of the present invention usually contains an alkali-soluble resin (a) containing an ethylenically unsaturated group, a photopolymerizable monomer (b), a photopolymerization initiator (c), a color material (d), a dispersion. The agent (e), the organosilicon compound (f), the surfactant (g), and various materials used as necessary are used in a state of being dissolved or dispersed in an organic solvent.
As an organic solvent, it is preferable to select an organic solvent having a boiling point (under a pressure of 101.25 [hPa], hereinafter the same for boiling points) in the range of 100 to 300 ° C. More preferably, it is a solvent having a boiling point of 120 to 280 ° C.
Examples of such organic solvents include the following.

エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、プロピレングリコール−t−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、メトキシメチルペンタノール、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、3−メチル−3−メトキシブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルのようなグリコールモノアルキルエーテル類;   Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, propylene glycol-t-butyl ether, diethylene glycol monomethyl Ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, methoxymethylpentanol, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, 3-methyl-3-methoxybutanol, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol Monoe Ether, glycol monoalkyl ethers such as tripropylene glycol methyl ether;

エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルのようなグリコールジアルキルエーテル類; エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテートのようなグリコールアルキルエーテルアセテート類;   Glycol dialkyl ethers such as ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, Ethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, methoxy Tyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, triethylene glycol monomethyl ether acetate, triethylene glycol mono Glycol alkyl ether acetates such as ethyl ether acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate;

エチレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサノールジアセテートなどのグリコールジアセテート類; シクロヘキサノールアセテートなどのアルキルアセテート類; アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテルのようなエーテル類; アセトン、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソアミルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチルアミルケトン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルノニルケトン、メトキシメチルペンタノンのようなケトン類; エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、メトキシメチルペンタノール、グリセリン、ベンジルアルコールのような1価又は多価アルコール類; n−ペンタン、n−オクタン、ジイソブチレン、n−ヘキサン、ヘキセン、イソプレン、ジペンテン、ドデカンのような脂肪族炭化水素類; シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシルのような脂環式炭化水素類;   Glycol diacetates such as ethylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanol diacetate; alkyl acetates such as cyclohexanol acetate; amyl ether, diethyl ether, dipropyl ether, diisopropyl ether, Ethers such as dibutyl ether, diamyl ether, ethyl isobutyl ether, dihexyl ether; acetone, methyl ethyl ketone, methyl amyl ketone, methyl isopropyl ketone, methyl isoamyl ketone, diisopropyl ketone, diisobutyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, ethyl amyl ketone , Methyl butyl ketone, methyl hexyl ketone, methyl nonyl ketone, methoxymethyl pentanone Mono ketones such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, butanediol, diethylene glycol, dipropylene glycol, triethylene glycol, methoxymethylpentanol, glycerin, benzyl alcohol Aliphatic alcohols such as n-pentane, n-octane, diisobutylene, n-hexane, hexene, isoprene, dipentene and dodecane; alicyclic rings such as cyclohexane, methylcyclohexane, methylcyclohexene and bicyclohexyl Formula hydrocarbons;

ベンゼン、トルエン、キシレン、クメンのような芳香族炭化水素類; アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチレングリコールアセテート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、ブチルステアレート、エチルベンゾエート、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、γ−ブチロラクトンのような鎖状又は環状エステル類; 3−メトキシプロピオン酸、3−エトキシプロピオン酸のようなアルコキシカルボン酸類;   Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, cumene; amyl formate, ethyl formate, ethyl acetate, butyl acetate, propyl acetate, amyl acetate, methyl isobutyrate, ethylene glycol acetate, ethyl propionate, Propyl propionate, butyl butyrate, isobutyl butyrate, methyl isobutyrate, ethyl caprylate, butyl stearate, ethyl benzoate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, 3-methoxy Linear or cyclic esters such as ethyl propionate, propyl 3-methoxypropionate, butyl 3-methoxypropionate, and gamma-butyrolactone; alkoxy groups such as 3-methoxypropionic acid and 3-ethoxypropionic acid Bonn acids;

ブチルクロライド、アミルクロライドのようなハロゲン化炭化水素類; メトキシメチルペンタノンのようなエーテルケトン類; アセトニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類等: 上記に該当する市販の溶剤としては、ミネラルスピリット、バルソル#2、アプコ#18ソルベント、アプコシンナー、ソーカルソルベントNo.1及びNo.2、ソルベッソ#150、シェルTS28 ソルベント、カルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、メチルセロソルブ(「セロソルブ」は登録商標。以下同じ。)、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ジグライム(いずれも商品名)などが挙げられる。   Halogenated hydrocarbons such as butyl chloride and amyl chloride; Ether ketones such as methoxymethylpentanone; Nitriles such as acetonitrile and benzonitrile, etc .: Examples of commercially available solvents corresponding to the above include mineral spirits and valsols # 2, Apco # 18 Solvent, Apco Thinner, Soak Solvent No. 1 and no. 2, Solvesso # 150, Shell TS28 Solvent, carbitol, ethyl carbitol, butyl carbitol, methyl cellosolve ("Cerosolve" is a registered trademark, the same shall apply hereinafter), ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, methyl cellosolve acetate, diglyme (any Product name).

これらの有機溶剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
フォトリソグラフィー法にてカラーフィルタの画素又はブラックマトリックスを形成する場合、有機溶剤としては沸点が100〜200℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは120〜170℃の沸点を持つものである。
上記有機溶剤のうち、塗布性、表面張力などのバランスが良く、組成物中の構成成分の溶解度が比較的高い点からは、グリコールアルキルエーテルアセテート類が好ましい。
These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.
When forming a pixel or black matrix of a color filter by photolithography, it is preferable to select an organic solvent having a boiling point in the range of 100 to 200 ° C. More preferably, it has a boiling point of 120 to 170 ° C.
Of the above organic solvents, glycol alkyl ether acetates are preferred from the viewpoints of good balance of coatability, surface tension and the like, and relatively high solubility of the constituent components in the composition.

また、グリコールアルキルエーテルアセテート類は、単独で使用してもよいが、他の有機溶剤を併用してもよい。併用する有機溶剤として、特に好ましいのはグリコールモノアルキルエーテル類である。中でも、特に組成物中の構成成分の溶解性からプロピレングリコールモノメチルエーテルが好ましい。なお、グリコールモノアルキルエーテル類は極性が高く、添加量が多すぎると顔料が凝集しやすく、後に得られる感光性樹脂組成物の粘度が上がっていくなどの保存安定性が低下する傾向があるので、溶剤中のグリコールモノアルキルエーテル類の割合は5質量%〜30質量%が好ましく、5質量%〜20質量%がより好ましい。   In addition, glycol alkyl ether acetates may be used alone or in combination with other organic solvents. As the organic solvent used in combination, glycol monoalkyl ethers are particularly preferable. Of these, propylene glycol monomethyl ether is particularly preferred because of the solubility of the constituent components in the composition. Glycol monoalkyl ethers are highly polar, and if the amount added is too large, the pigment tends to aggregate, and the storage stability tends to decrease such as the viscosity of the photosensitive resin composition obtained later increases. The proportion of glycol monoalkyl ethers in the solvent is preferably 5% by mass to 30% by mass, and more preferably 5% by mass to 20% by mass.

また、150℃以上の沸点をもつ有機溶剤(以下「高沸点溶剤」と称す場合がある。)を併用することも好ましい。このような高沸点溶剤を併用することにより、感光性樹脂組成物は乾きにくくなるが、組成物中における顔料の均一な分散状態が、急激な乾燥により破壊されることを防止する効果がある。すなわち、例えばスリットノズル先端における、色材などの析出・固化による異物欠陥の発生を防止する効果がある。このような効果が高い点から、上述の各種溶剤の中でも、特にジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、及びジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートが好ましい。   It is also preferable to use an organic solvent having a boiling point of 150 ° C. or higher (hereinafter sometimes referred to as “high boiling point solvent”). By using such a high boiling point solvent together, the photosensitive resin composition becomes difficult to dry, but there is an effect of preventing the uniform dispersion state of the pigment in the composition from being destroyed by rapid drying. That is, for example, there is an effect of preventing the occurrence of a foreign matter defect due to precipitation or solidification of a color material or the like at the tip of the slit nozzle. Among these various solvents, diethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, and diethylene glycol monoethyl ether acetate are particularly preferable because of such high effects.

有機溶剤中の高沸点溶剤の含有割合は、3質量%〜50質量%が好ましく、5質量%〜40質量%がより好ましく、5質量%〜30質量%が特に好ましい。高沸点溶剤の量が少なすぎると、例えばスリットノズル先端で色材などが析出・固化して異物欠陥を惹き起こす可能性があり、また多すぎると組成物の乾燥温度が遅くなり、後述するカラーフィルタ製造工程における、減圧乾燥プロセスのタクト不良や、プリベークのピン跡といった問題を惹き起こすことが懸念される。   The content of the high boiling point solvent in the organic solvent is preferably 3% by mass to 50% by mass, more preferably 5% by mass to 40% by mass, and particularly preferably 5% by mass to 30% by mass. If the amount of the high boiling point solvent is too small, for example, a coloring material may precipitate and solidify at the tip of the slit nozzle to cause a foreign matter defect, and if it is too much, the drying temperature of the composition will be slowed down. There is a concern that the filter manufacturing process may cause problems such as tact defects in the vacuum drying process and pin marks of prebaking.

なお沸点150℃以上の高沸点溶剤が、グリコールアルキルエーテルアセテート類であってもよく、またグリコールアルキルエーテル類であってもよく、この場合は、沸点150℃以上の高沸点溶剤を別途含有させなくてもかまわない。
好ましい高沸点溶剤として、例えば前述の各種溶剤の中ではジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサノールジアセテート、トリアセチンなどが挙げられる。
The high boiling point solvent having a boiling point of 150 ° C. or higher may be glycol alkyl ether acetates or glycol alkyl ethers. In this case, a high boiling point solvent having a boiling point of 150 ° C. or higher is not separately contained. It doesn't matter.
Preferred examples of the high boiling point solvent include diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, 1,3-butylene glycol diacetate, and 1,6-hexanol diester. Examples include acetate and triacetin.

本発明の感光性樹脂組成物において、有機溶剤の含有量は特に限定されないが、塗布し易さや粘度安定性の観点から、感光性樹脂組成物中の全固形分量が好ましくは5質量%以上、より好ましくは8質量%以上、さらに好ましくは10質量%以上、また、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、さらに好ましくは25質量%以下、特に好ましくは20質量%以下である。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the content of the organic solvent is not particularly limited, but from the viewpoint of easy application and viscosity stability, the total solid content in the photosensitive resin composition is preferably 5% by mass or more, More preferably 8% by mass or more, further preferably 10% by mass or more, preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, still more preferably 25% by mass or less, and particularly preferably 20% by mass or less. .

<感光性樹脂組成物のその他の配合成分>
本発明の感光性樹脂組成物には、上述の成分の他、密着向上剤、塗布性向上剤、現像改良剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、顔料誘導体等を適宜配合することができる。
<Other ingredients of the photosensitive resin composition>
In addition to the above-described components, the photosensitive resin composition of the present invention can be appropriately mixed with an adhesion improver, a coatability improver, a development improver, an ultraviolet absorber, an antioxidant, a pigment derivative, and the like.

(密着向上剤)
基板との密着性を改善するため、有機ケイ素化合物(f)以外の密着向上剤を本発明の感光性樹脂組成物に含有させてもよく、例えば、リン酸系密着向上剤、その他の密着向上剤等が挙げられる。
(Adhesion improver)
In order to improve the adhesion to the substrate, an adhesion improver other than the organosilicon compound (f) may be included in the photosensitive resin composition of the present invention. For example, a phosphate adhesion improver, other adhesion enhancement Agents and the like.

リン酸系密着向上剤としては、(メタ)アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類が好ましく、中でも下記一般式(g1)、(g2)、(g3)で表されるものが好ましい。   As the phosphate-based adhesion improver, (meth) acryloyloxy group-containing phosphates are preferable, and those represented by the following general formulas (g1), (g2), and (g3) are particularly preferable.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記一般式(g1)、(g2)、(g3)において、R51は水素原子又はメチル基を示し、l及びl’は1〜10の整数、mは1、2又は3である。
その他の密着向上剤としては、TEGO*Add Bond LTH(Evonik社製)などが上げられる。これらの燐酸基含有化合物やその他の密着剤も1種類を単独で用いても、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
In the general formulas (g1), (g2), and (g3), R 51 represents a hydrogen atom or a methyl group, l and l ′ are integers of 1 to 10, and m is 1, 2, or 3.
Other examples of the adhesion improver include TEGO * Add Bond LTH (manufactured by Evonik). These phosphoric acid group-containing compounds and other adhesives may be used alone or in combination of two or more.

(顔料誘導体)
本発明の感光性樹脂組成物には、分散性、保存性向上のため、顔料誘導体を含有させてもよい。顔料誘導体としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、キノフタロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、アントラキノン系、インダンスレン系、ペリレン系、ペリノン系、ジケトピロロピロール系、ジオキサジン系等の誘導体が挙げられるが、中でもフタロシアニン系、キノフタロン系が好ましい。
(Pigment derivative)
The photosensitive resin composition of the present invention may contain a pigment derivative for improving dispersibility and storage stability. As pigment derivatives, azo, phthalocyanine, quinacridone, benzimidazolone, quinophthalone, isoindolinone, dioxazine, anthraquinone, indanthrene, perylene, perinone, diketopyrrolopyrrole, dioxazine Among them, derivatives such as phthalocyanines and quinophthalones are preferable.

顔料誘導体の置換基としてはスルホン酸基、スルホンアミド基及びその4級塩、フタルイミドメチル基、ジアルキルアミノアルキル基、水酸基、カルボキシル基、アミド基等が顔料骨格に直接又はアルキル基、アリール基、複素環基等を介して結合したものが挙げられ、好ましくはスルホン酸基である。またこれら置換基は一つの顔料骨格に複数置換していても良い。顔料誘導体の具体例としてはフタロシアニンのスルホン酸誘導体、キノフタロンのスルホン酸誘導体、アントラキノンのスルホン酸誘導体、キナクリドンのスルホン酸誘導体、ジケトピロロピロールのスルホン酸誘導体、ジオキサジンのスルホン酸誘導体等が挙げられる。これらは1種を単独で用いても良く、2種以上を併用しても良い。   Substituents of pigment derivatives include sulfonic acid groups, sulfonamide groups and quaternary salts thereof, phthalimidomethyl groups, dialkylaminoalkyl groups, hydroxyl groups, carboxyl groups, amide groups, etc. directly on the pigment skeleton or alkyl groups, aryl groups, and complex groups. Examples thereof include those bonded via a ring group and the like, and a sulfonic acid group is preferable. Further, a plurality of these substituents may be substituted on one pigment skeleton. Specific examples of the pigment derivative include phthalocyanine sulfonic acid derivatives, quinophthalone sulfonic acid derivatives, anthraquinone sulfonic acid derivatives, quinacridone sulfonic acid derivatives, diketopyrrolopyrrole sulfonic acid derivatives, and dioxazine sulfonic acid derivatives. These may be used alone or in combination of two or more.

<感光性樹脂組成物の製造方法>
本発明の感光性樹脂組成物(以下、「レジスト」と称することがある。)は、常法に従って製造される。
通常、色材(d)は、予めペイントコンディショナー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミル、ストーンミル、ジェットミル、ホモジナイザー等を用いて分散処理するのが好ましい。分散処理により色材(d)が微粒子化されるため、レジストの塗布特性が向上する。また、色材(d)として黒色色材を使用した場合は遮光能力の向上に寄与する。
<Method for producing photosensitive resin composition>
The photosensitive resin composition of the present invention (hereinafter sometimes referred to as “resist”) is produced according to a conventional method.
Usually, it is preferable to disperse the color material (d) in advance using a paint conditioner, a sand grinder, a ball mill, a roll mill, a stone mill, a jet mill, a homogenizer or the like. Since the color material (d) is finely divided by the dispersion treatment, the resist coating characteristics are improved. Further, when a black color material is used as the color material (d), it contributes to an improvement in light shielding ability.

分散処理は、通常、色材(d)、分散剤(e)、有機溶剤、及び必要に応じて並びにアルカリ可溶性樹脂(a)の一部又は全部を併用した系にて行うことが好ましい。(以下、分散処理に供する混合物、及び該処理にて得られた組成物を「インク」又は「顔料分散液」と称することがある。)特に分散剤として高分子分散剤を用いると、得られたインク及びレジストの経時の増粘が抑制される(分散安定性に優れる)ので好ましい。
なお、感光性樹脂組成物に配合する全成分を含有する液に対して分散処理を行った場合、分散処理時に生じる発熱のため、高反応性の成分が変性する可能性がある。従って、高分子分散剤を含む系にて分散処理を行うことが好ましい。
In general, the dispersion treatment is preferably performed in a system in which a coloring material (d), a dispersing agent (e), an organic solvent, and, if necessary, a part or all of the alkali-soluble resin (a) are used in combination. (Hereinafter, the mixture to be subjected to the dispersion treatment and the composition obtained by the treatment may be referred to as “ink” or “pigment dispersion”.) In particular, when a polymer dispersant is used as the dispersant, the mixture is obtained. In addition, it is preferable because thickening of the ink and resist over time is suppressed (excellent dispersion stability).
In addition, when a dispersion treatment is performed on a liquid containing all components to be blended in the photosensitive resin composition, a highly reactive component may be modified due to heat generated during the dispersion treatment. Therefore, it is preferable to perform the dispersion treatment in a system containing a polymer dispersant.

サンドグラインダーで色材(d)を分散させる場合には、0.1〜8mm程度の径のガラスビーズ又はジルコニアビーズが好ましく用いられる。分散処理条件は、温度は通常、0℃から100℃であり、好ましくは、室温から80℃の範囲である。分散時間は液の組成及び分散処理装置のサイズ等により適正時間が異なるため適宜調節する。レジストの20度鏡面光沢度(JIS Z8741)が100〜200の範囲となるように、インキの光沢を制御するのが分散の目安である。レジストの光沢度が低い場合には、分散処理が十分でなく荒い顔料(色材)粒子が残っていることが多く、現像性、密着性、解像性等が不十分となる可能性がある。また、光沢値が上記範囲を超えるまで分散処理を行うと、顔料が破砕して超微粒子が多数生じるため、却って分散安定性が損なわれる傾向がある。   When the color material (d) is dispersed with a sand grinder, glass beads or zirconia beads having a diameter of about 0.1 to 8 mm are preferably used. In the dispersion treatment conditions, the temperature is usually from 0 ° C. to 100 ° C., and preferably from room temperature to 80 ° C. The dispersion time is appropriately adjusted because the appropriate time varies depending on the composition of the liquid and the size of the dispersion treatment apparatus. The standard of dispersion is to control the gloss of the ink so that the 20-degree specular gloss (JIS Z8741) of the resist is in the range of 100 to 200. When the glossiness of the resist is low, the dispersion treatment is not sufficient, and rough pigment (coloring material) particles often remain, which may result in insufficient developability, adhesion, resolution, and the like. . Further, when the dispersion treatment is performed until the gloss value exceeds the above range, the pigment is crushed and a large number of ultrafine particles are generated, so that the dispersion stability tends to be impaired.

次に、上記分散処理により得られたインキと、レジスト中に含まれる、上記の他の成分を混合し、均一な溶液とする。レジストの製造工程においては、微細なゴミが液中に混じることが多いため、得られたレジストはフィルター等により濾過処理するのが望ましい。   Next, the ink obtained by the dispersion treatment and the other components contained in the resist are mixed to obtain a uniform solution. In the resist manufacturing process, fine dust is often mixed in the liquid, and thus the obtained resist is preferably filtered by a filter or the like.

[硬化物]
本発明の感光性樹脂組成物を硬化させることで、硬化物を得ることができる。感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化物は、画素、ブラックマトリックスや着色スペーサーなどのカラーフィルタを構成する部材として好適に用いることができる。
[Cured product]
A cured product can be obtained by curing the photosensitive resin composition of the present invention. A cured product obtained by curing the photosensitive resin composition can be suitably used as a member constituting a color filter such as a pixel, a black matrix, or a colored spacer.

[ブラックマトリックス]
次に、本発明の感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリックスについて、その製造方法に従って説明する。
[Black Matrix]
Next, the black matrix using the photosensitive resin composition of the present invention will be described in accordance with its production method.

(1) 支持体
ブラックマトリックスを形成するための支持体としては、適度の強度があれば、その材質は特に限定されるものではない。おもに透明基板が使用されるが、材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルフォンなどの熱可塑性樹脂製シート、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリ(メタ)アクリル系樹脂などの熱硬化性樹脂シート、又は各種ガラスなどが挙げられる。この中でも、耐熱性の観点からガラス、耐熱性樹脂が好ましい。また、基板の表面にITO、IZO等の透明電極が成膜されている場合も有る。透明基板以外では、TFTアレイ上に形成することも可能である。
(1) Support The support for forming the black matrix is not particularly limited as long as it has an appropriate strength. A transparent substrate is mainly used. Examples of the material include polyester resins such as polyethylene terephthalate, polyolefin resins such as polypropylene and polyethylene, thermoplastic resin sheets such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, and polysulfone, and epoxy resins. And thermosetting resin sheets such as unsaturated polyester resins and poly (meth) acrylic resins, and various glasses. Among these, glass and heat resistant resin are preferable from the viewpoint of heat resistance. In some cases, a transparent electrode such as ITO or IZO is formed on the surface of the substrate. Other than the transparent substrate, it can be formed on the TFT array.

支持体には、接着性などの表面物性の改良のため、必要に応じ、コロナ放電処理、オゾン処理、大気圧プラズマ処理、シランカップリング剤や、ウレタン系樹脂などの各種樹脂の薄膜形成処理などを行っても良い。
透明基板の厚さは、通常0.05〜10mm、好ましくは0.1〜7mmの範囲とされる。また各種樹脂の薄膜形成処理を行う場合、その膜厚は、通常0.01〜10μm、好ましくは0.05〜5μmの範囲である。
For the support, to improve surface properties such as adhesiveness, corona discharge treatment, ozone treatment, atmospheric pressure plasma treatment, silane coupling agents, and thin film formation treatment of various resins such as urethane resins, etc. May be performed.
The thickness of the transparent substrate is usually 0.05 to 10 mm, preferably 0.1 to 7 mm. Moreover, when performing the thin film formation process of various resin, the film thickness is 0.01-10 micrometers normally, Preferably it is the range of 0.05-5 micrometers.

(2) ブラックマトリックス
上述の本発明の感光性樹脂組成物により、本発明のブラックマトリックスを形成するには、透明基板上に本発明の感光性樹脂組成物を塗布して乾燥した後、該試料の上にフォトマスクを置き、該フォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化或いは光硬化することによりブラックマトリックスを形成させる。
(2) Black matrix In order to form the black matrix of the present invention by the above-described photosensitive resin composition of the present invention, the photosensitive resin composition of the present invention is applied on a transparent substrate and dried, and then the sample is coated. A black mask is formed by placing a photomask on the substrate and exposing the image through the photomask, developing, and thermosetting or photocuring as necessary.

(3) ブラックマトリックスの形成
(3−1) 感光性樹脂組成物の塗布
ブラックマトリックス用の感光性樹脂組成物の透明基板上への塗布は、スピナー法、ワイヤーバー法、フローコート法、ダイコート法、ロールコート法、又はスプレーコート法などによって行うことができる。中でも、ダイコート法によれば、塗布液使用量が大幅に削減され、かつ、スピンコート法によった際に付着するミストなどの影響が全くなく、異物発生が抑制されるなど、総合的な観点から好ましい。
(3) Formation of black matrix (3-1) Application of photosensitive resin composition Application of a photosensitive resin composition for a black matrix onto a transparent substrate is performed by a spinner method, a wire bar method, a flow coating method, or a die coating method. , Roll coating method or spray coating method. In particular, the die coating method significantly reduces the amount of coating solution used, and has no influence from mist adhering to the spin coating method. To preferred.

塗膜の厚さは、厚すぎると、パターン現像が困難となるとともに、液晶セル化工程でのギャップ調整が困難となることがあり、薄すぎると顔料濃度を高めることが困難となり所望の色発現が不可能となることがある。塗膜の厚さは、乾燥後の膜厚として、通常0.2〜10μmの範囲とするのが好ましく、より好ましいのは0.5〜6μmの範囲、更に好ましいのは1〜4μmの範囲である。   If the thickness of the coating film is too thick, pattern development becomes difficult, and it may be difficult to adjust the gap in the liquid crystal cell forming process. May become impossible. The thickness of the coating is usually preferably in the range of 0.2 to 10 μm as the film thickness after drying, more preferably in the range of 0.5 to 6 μm, and still more preferably in the range of 1 to 4 μm. is there.

(3−2) 塗膜の乾燥
基板に感光性樹脂組成物を塗布した後の塗膜の乾燥は、ホットプレート、IRオーブン、又はコンベクションオーブンを使用した乾燥法によるのが好ましい。乾燥の条件は、前記溶剤成分の種類、使用する乾燥機の性能などに応じて適宜選択することができる。乾燥時間は、溶剤成分の種類、使用する乾燥機の性能などに応じて、通常は、40〜200℃の温度で15秒〜5分間の範囲で選ばれ、好ましくは50〜130℃の温度で30秒〜3分間の範囲で選ばれる。
(3-2) Drying of the coating film The drying of the coating film after applying the photosensitive resin composition to the substrate is preferably performed by a drying method using a hot plate, an IR oven, or a convection oven. Drying conditions can be appropriately selected according to the type of the solvent component, the performance of the dryer used, and the like. The drying time is usually selected in a range of 15 seconds to 5 minutes at a temperature of 40 to 200 ° C., preferably 50 to 130 ° C., depending on the type of solvent component and the performance of the dryer used. It is selected in the range of 30 seconds to 3 minutes.

乾燥温度は、高いほど透明基板に対する塗膜の接着性が向上するが、高すぎるとアルカリ可溶性樹脂が分解し、熱重合を誘発して現像不良を生ずる場合がある。なお、この塗膜の乾燥工程は、温度を高めず、減圧チャンバー内で乾燥を行う、減圧乾燥法であっても良い。
(3−3)露光
画像露光は、感光性樹脂組成物の塗膜上に、ネガのマスクパターンを重ね、このマスクパターンを介し、紫外線又は可視光線の光源を照射して行う。この際、必要に応じ、酸素による光重合性層の感度の低下を防ぐため、光重合性の塗膜上にポリビニルアルコール層などの酸素遮断層を形成した後に露光を行っても良い。上記の画像露光に使用される光源は、特に限定されるものではない。光源としては、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク、蛍光ランプなどのランプ光源や、アルゴンイオンレーザー、YAGレーザー、エキシマレーザー、窒素レーザー、ヘリウムカドミニウムレーザー、半導体レーザーなどのレーザー光源などが挙げられる。特定の波長の光を照射して使用する場合には、光学フィルタを利用することもできる。
The higher the drying temperature, the better the adhesion of the coating film to the transparent substrate. However, when the drying temperature is too high, the alkali-soluble resin is decomposed, and thermal polymerization may be induced to cause development failure. In addition, the drying process of this coating film may be a reduced pressure drying method in which drying is performed in a reduced pressure chamber without increasing the temperature.
(3-3) Exposure Image exposure is performed by superimposing a negative mask pattern on the coating film of the photosensitive resin composition and irradiating an ultraviolet light source or a visible light source through the mask pattern. At this time, if necessary, exposure may be performed after forming an oxygen blocking layer such as a polyvinyl alcohol layer on the photopolymerizable coating film in order to prevent a decrease in sensitivity of the photopolymerizable layer due to oxygen. The light source used for said image exposure is not specifically limited. As the light source, for example, a xenon lamp, a halogen lamp, a tungsten lamp, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a medium pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, a carbon arc, a fluorescent lamp, a lamp light source, an argon ion laser, a YAG laser, Examples include an excimer laser, a nitrogen laser, a helium cadmium laser, and a laser light source such as a semiconductor laser. An optical filter can also be used when used by irradiating light of a specific wavelength.

(3−4)現像
本発明に係るブラックマトリックスは、感光性樹脂組成物による塗膜を、上記の光源によって画像露光を行った後、有機溶剤、又は、界面活性剤とアルカリ性化合物とを含む水溶液を用いる現像によって、基板上に画像を形成して作製することができる。この水溶液には、更に有機溶剤、緩衝剤、錯化剤、染料又は顔料を含ませることができる。
(3-4) Development The black matrix according to the present invention is an aqueous solution containing an organic solvent or a surfactant and an alkaline compound after image-exposing the coating film of the photosensitive resin composition with the above light source. An image can be formed on a substrate by development using a film. This aqueous solution may further contain an organic solvent, a buffering agent, a complexing agent, a dye or a pigment.

アルカリ性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、メタケイ酸ナトリウム、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム、リン酸水素ナトリウム、リン酸水素カリウム、リン酸二水素ナトリウム、リン酸二水素カリウム、水酸化アンモニウムなどの無機アルカリ性化合物や、モノ−・ジ−又はトリエタノールアミン、モノ−・ジ−又はトリメチルアミン、モノ−・ジ−又はトリエチルアミン、モノ−又はジイソプロピルアミン、n−ブチルアミン、モノ−・ジ−又はトリイソプロパノールアミン、エチレンイミン、エチレンジイミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)、コリンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられる。これらのアルカリ性化合物は、2種以上の混合物であっても良い。   Alkaline compounds include sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, sodium silicate, potassium silicate, sodium metasilicate, sodium phosphate, potassium phosphate Inorganic alkaline compounds such as sodium hydrogen phosphate, potassium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, ammonium hydroxide, mono-di- or triethanolamine, mono-di- or trimethylamine Mono-di- or triethylamine, mono- or diisopropylamine, n-butylamine, mono-di- or triisopropanolamine, ethyleneimine, ethylenediimine, tetramethylammonium hydroxide (TMAH), choline, etc. Machine alkaline compounds. These alkaline compounds may be a mixture of two or more.

界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤、アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキルスルホン酸塩類、スルホコハク酸エステル塩類などのアニオン性界面活性剤、アルキルベタイン類、アミノ酸類などの両性界面活性剤が挙げられる。   Examples of the surfactant include nonionic surfactants such as polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl aryl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, sorbitan alkyl esters, monoglyceride alkyl esters, and alkylbenzene sulfonic acids. Examples include anionic surfactants such as salts, alkylnaphthalene sulfonates, alkyl sulfates, alkyl sulfonates, and sulfosuccinate esters, and amphoteric surfactants such as alkylbetaines and amino acids.

有機溶剤としては、例えば、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコール、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、フェニルセロソルブ、プロピレングリコール、ジアセトンアルコールなどが挙げられる。有機溶剤は、単独で用いても良く、また、水溶液と併用しても良い。
現像処理の条件は特に制限はなく、通常、現像温度は10〜50℃の範囲、中でも15〜45℃、特に好ましくは20〜40℃で、現像方法は、浸漬現像法、スプレー現像法、ブラシ現像法、超音波現像法などのいずれかの方法によることができる。
Examples of the organic solvent include isopropyl alcohol, benzyl alcohol, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, phenyl cellosolve, propylene glycol, diacetone alcohol and the like. The organic solvent may be used alone or in combination with an aqueous solution.
The development processing conditions are not particularly limited, and the development temperature is usually in the range of 10 to 50 ° C., particularly 15 to 45 ° C., particularly preferably 20 to 40 ° C. The development methods are immersion development, spray development, brush Any of a developing method, an ultrasonic developing method and the like can be used.

(3−5)熱硬化処理
現像の後の基板には、熱硬化処理又は光硬化処理、好ましくは熱硬化処理を施す。この際の熱硬化処理条件は、温度は100〜280℃の範囲、好ましくは150〜250℃の範囲で選ばれ、時間は5〜60分間の範囲で選ばれる。
以上のようにして形成させたブラックマトリックスは底部の幅は通常3〜50μm、好ましくは4〜30μm、特に高細線の場合には4〜8μmが好ましく、高さは通常0.5〜5μm、好ましくは1〜4μmである。また、体積低効率は1×1013Ω・cm以上、好ましくは1×1014Ω・cm以上であり、比誘電率は6以下、好ましくは5以下である。 さらに、厚さ1μm当たりの光学濃度(OD)が3.0以上、好ましくは3.5以上、より好ましくは4.0以上、特に好ましくは4.2以上である。
(3-5) Thermosetting treatment The substrate after development is subjected to thermosetting treatment or photocuring treatment, preferably thermosetting treatment. The thermosetting treatment conditions at this time are selected such that the temperature is in the range of 100 to 280 ° C, preferably 150 to 250 ° C, and the time is in the range of 5 to 60 minutes.
The black matrix formed as described above has a bottom width of usually 3 to 50 μm, preferably 4 to 30 μm, particularly 4 to 8 μm in the case of a high fine wire, and a height of usually 0.5 to 5 μm, preferably Is 1 to 4 μm. Further, the low volume efficiency is 1 × 10 13 Ω · cm or more, preferably 1 × 10 14 Ω · cm or more, and the relative dielectric constant is 6 or less, preferably 5 or less. Furthermore, the optical density (OD) per 1 μm thickness is 3.0 or more, preferably 3.5 or more, more preferably 4.0 or more, and particularly preferably 4.2 or more.

[その他のカラーフィルタ画像の形成]
ブラックマトリックスを設けた透明基板上に、上記(3−1)〜(3−5)と同じプロセスで赤色、緑色、青色のうち一色の色材を含有する感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、塗膜の上にフォトマスクを重ね、このフォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化又は光硬化により画素画像を形成させ、着色層を作成する。この操作を、赤色、緑色、青色の三色の感光性樹脂組成物についてそれぞれ行うことによって、カラーフィルタ画像を形成することができる。これらの順番は上記に限定されるものではない。
[Formation of other color filter images]
On a transparent substrate provided with a black matrix, a photosensitive resin composition containing a color material of one color of red, green, and blue is applied by the same process as (3-1) to (3-5) above and dried. After that, a photomask is overlaid on the coating film, and a pixel image is formed through image exposure, development, and thermosetting or photocuring as necessary through this photomask to form a colored layer. A color filter image can be formed by performing this operation for each of the three color photosensitive resin compositions of red, green, and blue. The order of these is not limited to the above.

[着色スペーサー]
本発明の感光性樹脂組成物は、ブラックマトリックス以外に着色スペーサー用のレジストとして使用することも可能である。スペーサーをTFT型LCDに使用する場合、TFTに入射する光によりスイッチング素子としてTFTが誤作動を起こすことがあり、着色スペーサーはこれを防止するために用いられ、例えば、特開平8−234212号公報にスペーサーを遮光性とすることが記載されている。着色スペーサーは着色スペーサー用のマスクを用いる以外は前述のブラックマトリックスと同様の方法で形成することができる。
[Coloring spacer]
The photosensitive resin composition of the present invention can be used as a resist for colored spacers in addition to the black matrix. When a spacer is used in a TFT type LCD, the TFT may malfunction as a switching element due to light incident on the TFT, and a colored spacer is used to prevent this, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 8-234212. Describes that the spacer is light-shielding. The colored spacer can be formed in the same manner as the black matrix described above except that a mask for the colored spacer is used.

(3−6) 透明電極の形成
カラーフィルタは、このままの状態で画像上にITOなどの透明電極を形成して、カラーディスプレー、液晶表示装置などの部品の一部として使用されるが、表面平滑性や耐久性を高めるため、必要に応じ、画像上にポリアミド、ポリイミドなどのトップコート層を設けることもできる。また一部、平面配向型駆動方式(IPSモード)などの用途においては、透明電極を形成しないこともある。
(3-6) Formation of transparent electrode In this state, the color filter forms a transparent electrode such as ITO on the image and is used as a part of components such as a color display and a liquid crystal display device. In order to enhance the property and durability, a top coat layer such as polyamide or polyimide can be provided on the image as necessary. Further, in some applications such as a planar alignment type drive system (IPS mode), the transparent electrode may not be formed.

[画像表示装置]
本発明の画像表示装置としては、画像や映像を表示する装置であれば特に限定は受けないが、後述する液晶表示装置や有機ELディスプレイ等が挙げられる。
[液晶表示装置]
本発明の液晶表示装置は、上述の本発明のブラックマトリックスを有するものであり、カラー画素やブラックマトリックスの形成順序や形成位置等特に制限を受けるものではない。
[Image display device]
The image display device of the present invention is not particularly limited as long as it is a device that displays an image or video, and examples thereof include a liquid crystal display device and an organic EL display described later.
[Liquid Crystal Display]
The liquid crystal display device of the present invention has the above-described black matrix of the present invention, and is not particularly limited in terms of the formation order and formation position of the color pixels and the black matrix.

液晶表示装置は、通常、カラーフィルタ上に配向膜を形成し、この配向膜上にスペーサーを散布した後、対向基板と貼り合わせて液晶セルを形成し、形成した液晶セルに液晶を注入し、対向電極に結線して完成する。配向膜としては、ポリイミド等の樹脂膜が好適である。配向膜の形成には、通常、グラビア印刷法及び/又はフレキソ印刷法が採用され、配向膜の厚さは数10nmとされる。熱焼成によって配向膜の硬化処理を行った後、紫外線の照射やラビング布による処理によって表面処理し、液晶の傾きを調整しうる表面状態に加工される。   A liquid crystal display device usually forms an alignment film on a color filter, spreads spacers on the alignment film, and then bonds to a counter substrate to form a liquid crystal cell, injects liquid crystal into the formed liquid crystal cell, Complete by connecting to the counter electrode. As the alignment film, a resin film such as polyimide is suitable. For the formation of the alignment film, a gravure printing method and / or a flexographic printing method is usually employed, and the thickness of the alignment film is several tens of nm. After the alignment film is cured by thermal baking, it is surface-treated by irradiation with ultraviolet rays or a rubbing cloth to be processed into a surface state in which the tilt of the liquid crystal can be adjusted.

スペーサーとしては、対向基板とのギャップ(隙間)に応じた大きさのものが用いられ、通常2〜8μmのものが好適である。カラーフィルタ基板上に、フォトリソグラフィ法によって透明樹脂膜のフォトスペーサー(PS)を形成し、これをスペーサーの代わりに活用することもできる。対向基板としては、通常、アレイ基板が用いられ、特にTFT(薄膜トランジスタ)基板が好適である。   As the spacer, a spacer having a size corresponding to the gap (gap) with the counter substrate is used, and usually a spacer having a size of 2 to 8 μm is preferable. A photo spacer (PS) of a transparent resin film can be formed on the color filter substrate by photolithography, and this can be used instead of the spacer. As the counter substrate, an array substrate is usually used, and a TFT (thin film transistor) substrate is particularly preferable.

対向基板との貼り合わせのギャップは、液晶表示装置の用途によって異なるが、通常2〜8μmの範囲で選ばれる。対向基板と貼り合わせた後、液晶注入口以外の部分は、エポキシ樹脂等のシール材によって封止する。シール材は、UV照射及び/又は加熱することによって硬化させ、液晶セル周辺がシールされる。
周辺をシールされた液晶セルは、パネル単位に切断した後、真空チャンバー内で減圧とし、上記液晶注入口を液晶に浸漬した後、チャンバー内をリークすることによって、液晶を液晶セル内に注入する。液晶セル内の減圧度は、通常、1×10-2〜1×10-7Paであるが、好ましくは1×10-3〜1×10-6Paである。また、減圧時に液晶セルを加温するのが好ましく、加温温度は通常30〜100℃であり、より好ましくは50〜90℃である。減圧時の加温保持は、通常10〜60分間の範囲とされ、その後液晶中に浸漬される。液晶を注入した液晶セルは、液晶注入口をUV硬化樹脂を硬化させて封止することによって、液晶表示装置(パネル)が完成する。
The gap for bonding to the counter substrate varies depending on the use of the liquid crystal display device, but is usually selected in the range of 2 to 8 μm. After being bonded to the counter substrate, portions other than the liquid crystal injection port are sealed with a sealing material such as an epoxy resin. The sealing material is cured by UV irradiation and / or heating, and the periphery of the liquid crystal cell is sealed.
The liquid crystal cell whose periphery is sealed is cut into panel units, then decompressed in a vacuum chamber, the liquid crystal injection port is immersed in liquid crystal, and then the liquid crystal is injected into the liquid crystal cell by leaking in the chamber. . The degree of reduced pressure in the liquid crystal cell is usually 1 × 10 −2 to 1 × 10 −7 Pa, preferably 1 × 10 −3 to 1 × 10 −6 Pa. Moreover, it is preferable to heat a liquid crystal cell at the time of pressure reduction, and heating temperature is 30-100 degreeC normally, More preferably, it is 50-90 degreeC. The warming hold during decompression is usually in the range of 10 to 60 minutes, and then immersed in the liquid crystal. The liquid crystal cell into which the liquid crystal is injected has a liquid crystal display device (panel) completed by sealing the liquid crystal injection port by curing the UV curable resin.

液晶の種類には特に制限がなく、芳香族系、脂肪族系、多環状化合物等、従来から知られている液晶であって、リオトロピック液晶、サーモトロピック液晶等のいずれでも良い。サーモトロピック液晶には、ネマティック液晶、スメスティック液晶及びコレステリック液晶等が知られているが、いずれであっても良い。   The type of liquid crystal is not particularly limited, and is a conventionally known liquid crystal such as an aromatic, aliphatic, or polycyclic compound, and may be any of lyotropic liquid crystal, thermotropic liquid crystal, and the like. As the thermotropic liquid crystal, nematic liquid crystal, smectic liquid crystal, cholesteric liquid crystal and the like are known, but any of them may be used.

[有機ELディスプレイ]
本発明の有機ELディスプレイは、本発明のカラーフィルタを用いて作製されたものである。
[Organic EL display]
The organic EL display of the present invention is produced using the color filter of the present invention.

本発明のカラーフィルタを用いて有機ELディスプレイを作成する場合、例えば図1に示すように、まず透明支持基板10上に、感光性樹脂組成物により形成されたパターン(すなわち、画素20、及び隣接する画素20の間に設けられた樹脂ブラックマトリックス(図示せず))が形成されてなるカラーフィルタを作製し、該カラーフィルタ上に有機保護層30及び無機酸化膜40を介して有機発光体500を積層することによって、有機EL素子100を作製することができる。なお、画素20及び樹脂ブラックマトリックスの内、少なくとも一つは本発明の感光性樹脂組成物を用いて作製されたものである。有機発光体500の積層方法としては、カラーフィルタ上面へ透明陽極50、正孔注入層51、正孔輸送層52、発光層53、電子注入層54、及び陰極55を逐次形成していく方法や、別基板上へ形成した有機発光体500を無機酸化膜40上に貼り合わせる方法などが挙げられる。このようにして作製された有機EL素子100を用い、例えば「有機ELディスプレイ」(オーム社,2004年8月20日発光,時任静士、安達千波矢、村田英幸著)に記載された方法等にて、有機ELディスプレイを作製することができる。   When producing an organic EL display using the color filter of the present invention, for example, as shown in FIG. 1, first, a pattern (that is, the pixel 20 and the adjacent region) formed on the transparent support substrate 10 by the photosensitive resin composition. A color filter in which a resin black matrix (not shown) provided between the pixels 20 to be formed is formed, and the organic light-emitting body 500 is formed on the color filter via the organic protective layer 30 and the inorganic oxide film 40. The organic EL element 100 can be manufactured by stacking layers. In addition, at least one of the pixel 20 and the resin black matrix is manufactured using the photosensitive resin composition of the present invention. As a method for laminating the organic light emitter 500, a transparent anode 50, a hole injection layer 51, a hole transport layer 52, a light emitting layer 53, an electron injection layer 54, and a cathode 55 are sequentially formed on the upper surface of the color filter. For example, a method of adhering the organic light-emitting body 500 formed on another substrate onto the inorganic oxide film 40 can be used. A method described in, for example, “Organic EL display” (Ohm, Inc., August 20, 2004, light emission, Shizushi Tokito, Chiba Adachi, Hideyuki Murata) using the organic EL element 100 manufactured in this manner, etc. Thus, an organic EL display can be produced.

なお、本発明のカラーフィルタは、パッシブ駆動方式の有機ELディスプレイにもアクティブ駆動方式の有機ELディスプレイにも適用可能である。   The color filter of the present invention can be applied to both passive drive type organic EL displays and active drive type organic EL displays.

次に、合成例、実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。   Next, although a synthesis example, an Example, and a comparative example are given and this invention is demonstrated more concretely, this invention is not limited to a following example, unless the summary is exceeded.

<カーボンブラックインクの調製>
以下の組成及び方法で顔料、分散剤、分散助剤、溶剤を調合し、カーボンブラックインクを調製した。
具体的にはまず、顔料、分散剤、分散助剤の固形分と溶剤が以下の量比となるように調合した。
・顔料:R1060(コロンビア社製カーボンブラック);100質量部
・分散剤:BYK167(ビックケミー社製塩基性ウレタン分散剤);20質量部(固形分換算)
・分散助剤(顔料誘導体):S12000(ルーブリゾール社製、酸性基を有するフタロシアニン系顔料誘導体);2.0質量部
・溶剤;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA):226.6質量部
<Preparation of carbon black ink>
A carbon black ink was prepared by preparing a pigment, a dispersant, a dispersion aid, and a solvent by the following composition and method.
Specifically, first, the solid content of the pigment, the dispersant, and the dispersion aid and the solvent were prepared so as to have the following quantitative ratio.
Pigment: R1060 (carbon black manufactured by Columbia); 100 parts by mass Dispersant: BYK167 (basic urethane dispersant manufactured by Big Chemie); 20 parts by mass (in terms of solid content)
Dispersing aid (pigment derivative): S12000 (manufactured by Lubrizol, phthalocyanine pigment derivative having an acidic group); 2.0 parts by mass; solvent; propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA): 226.6 parts by mass

これらを十分に攪拌・混合し、分散液を得た。
次に、ペイントシェーカーにより25〜45℃の範囲で6時間分散処理を行った。ビーズとしては、直径0.5mmのジルコニアビーズを用い、分散液60質量部に対しビーズ180質量部の割合で加えた。分散終了後、フィルターによりビーズと分散液を分離して、固形分35質量%のカーボンブラックインクを調製した。
These were sufficiently stirred and mixed to obtain a dispersion.
Next, the dispersion process was performed in the range of 25-45 degreeC with the paint shaker for 6 hours. As beads, zirconia beads having a diameter of 0.5 mm were used and added at a ratio of 180 parts by mass of beads to 60 parts by mass of the dispersion. After the dispersion, the beads and the dispersion were separated by a filter to prepare a carbon black ink having a solid content of 35% by mass.

<合成例1:アルカリ可溶性樹脂(1)の合成> <Synthesis Example 1: Synthesis of alkali-soluble resin (1)>

Figure 0006607054
Figure 0006607054

上記構造のエポキシ化合物(エポキシ当量264)50g、アクリル酸13.65g、メトキシブチルアセテート60.5g、トリフェニルホスフィン0.936g、及びパラメトキシフェノール0.032gを、温度計、攪拌機、冷却管を取り付けたフラスコに入れ、攪拌しながら90℃で酸価が5mgKOH/g以下になるまで反応させた。反応には12時間を要し、エポキシアクリレート溶液を得た。
上記エポキシアクリレート溶液25質量部及び、トリメチロールプロパン(TMP)0.76質量部、ビフェニルテトラカルボン酸2無水物(BPDA)3.3質量部、テトラヒドロフタル酸無水物(THPA)3.5質量部を、温度計、攪拌機、冷却管を取り付けたフラスコに入れ、攪拌しながら105℃までゆっくり昇温し反応させた。
樹脂溶液が透明になったところで、3−メトキシブチルアセテート(MBA)で希釈し、固形分50質量%となるよう調製し、酸価115mgKOH/g、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)2600のアルカリ可溶性樹脂(1)を得た。
50 g of epoxy compound having the above structure (epoxy equivalent 264), 13.65 g of acrylic acid, 60.5 g of methoxybutyl acetate, 0.936 g of triphenylphosphine, and 0.032 g of paramethoxyphenol were attached to a thermometer, a stirrer and a cooling pipe. The reaction was continued at 90 ° C. with stirring until the acid value was 5 mgKOH / g or less. The reaction took 12 hours to obtain an epoxy acrylate solution.
25 parts by mass of the above epoxy acrylate solution, 0.76 parts by mass of trimethylolpropane (TMP), 3.3 parts by mass of biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 3.5 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride (THPA) Was put into a flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a cooling tube, and the temperature was slowly raised to 105 ° C. while stirring to react.
When the resin solution became transparent, it was diluted with 3-methoxybutyl acetate (MBA) to prepare a solid content of 50% by mass, an acid value of 115 mg KOH / g, and a polystyrene-reduced weight average molecular weight (Mw) measured by GPC. ) 2600 alkali-soluble resin (1) was obtained.

<合成例2:光重合開始剤(1)の合成> <Synthesis Example 2: Synthesis of Photopolymerization Initiator (1)>

(ジケトン体)
エチルカルバゾール(5g、25.61mmol)とo−ナフトイルクロリド(5.13g、26.89mmol)を30mlのジクロロメタンに溶解し、氷水バスにて2℃に冷却して攪拌し、AlCl3(3.41g、25.61mmol)を添加した。さらに室温にて3時間攪拌後、反応液にクロトノイルクロリド(2.81g、26.89mmol)の15mlジクロロメタン溶液を加え、AlCl3(4.1g、30.73mmol)を添加し、さらに1時間30分攪拌した。反応液を氷水200mlにあけ、ジクロロメタン200mlを添加し有機層を分液した。回収した有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥後、減圧下濃縮し、白色固体(10g)のジケトン体を得た。
(Diketone body)
Ethylcarbazole (5 g, 25.61 mmol) and o-naphthoyl chloride (5.13 g, 26.89 mmol) are dissolved in 30 ml of dichloromethane, cooled to 2 ° C. with an ice-water bath and stirred, and then AlCl 3 (3. 41 g, 25.61 mmol) was added. Further, after stirring at room temperature for 3 hours, a 15 ml dichloromethane solution of crotonoyl chloride (2.81 g, 26.89 mmol) was added to the reaction solution, then AlCl 3 (4.1 g, 30.73 mmol) was added, and another 1 hour 30 hours. Stir for minutes. The reaction solution was poured into 200 ml of ice water, 200 ml of dichloromethane was added, and the organic layer was separated. The collected organic layer was dried over anhydrous magnesium sulfate and concentrated under reduced pressure to obtain a diketone body as a white solid (10 g).

(オキシム体)
ジケトン体(3.00g、7.19mmol)、NH2OH・HCl(1.09g、15.81mmol)、及び酢酸ナトリウム(1.23g、15.08mmol)をイソプロパノール30mlに混合し、3時間還流した。
反応終了後、反応液を濃縮し、得られた残渣に酢酸エチル30mlを加え、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液30ml、飽和食塩水30mlで洗浄、無水硫酸マグネシウムで乾燥した。ろ過後、有機層を減圧下濃縮し、固体1.82gを得た。これをカラムクロマトグラフィーで精製し、淡黄色固体2.22gのオキシム体を得た。
(Oxime body)
Diketone (3.00 g, 7.19 mmol), NH 2 OH · HCl (1.09 g, 15.81 mmol), and sodium acetate (1.23 g, 15.08 mmol) were mixed with 30 ml of isopropanol and refluxed for 3 hours. .
After completion of the reaction, the reaction mixture was concentrated, 30 ml of ethyl acetate was added to the resulting residue, washed with 30 ml of saturated aqueous sodium hydrogen carbonate solution and 30 ml of saturated brine, and dried over anhydrous magnesium sulfate. After filtration, the organic layer was concentrated under reduced pressure to obtain 1.82 g of a solid. This was purified by column chromatography to obtain 2.22 g of an oxime compound as a pale yellow solid.

(オキシムエステル体)
オキシム体(2.22g、4.77mmol)とアセチルクロリド(1.34g、17.0mmol)をジクロロメタン20mlに加えて氷冷し、トリエチルアミン(1.77g、17.5mmol)を滴下して、そのまま1時間反応した。薄層クロマトグラフィーにより原料の消失を確認した後、水を加えて反応を停止した。反応液を飽和炭酸水素ナトリウム水溶液5mlで2回、飽和食塩水5mlで2回洗浄し、無水硫酸ナトリウムで乾燥した。濾過後、有機層を減圧下濃縮し、得られた残渣をカラムクロマトグラフィー(酢酸エチル/ヘキサン=2/1)で精製して、0.79gの淡黄色固体の光重合開始剤(1)を得た。光重合開始剤(1)の1H−NMRの化学シフトを以下に示す。
(Oxime ester)
The oxime (2.22 g, 4.77 mmol) and acetyl chloride (1.34 g, 17.0 mmol) were added to 20 ml of dichloromethane, and the mixture was ice-cooled. Triethylamine (1.77 g, 17.5 mmol) was added dropwise, and 1 Reacted for hours. After confirming disappearance of the raw material by thin layer chromatography, water was added to stop the reaction. The reaction solution was washed twice with 5 ml of saturated aqueous sodium hydrogen carbonate solution and twice with 5 ml of saturated brine, and dried over anhydrous sodium sulfate. After filtration, the organic layer was concentrated under reduced pressure, and the resulting residue was purified by column chromatography (ethyl acetate / hexane = 2/1) to obtain 0.79 g of a light yellow solid photopolymerization initiator (1). Obtained. The chemical shift of 1 H-NMR of the photopolymerization initiator (1) is shown below.

1H−NMR(CDCl3):σ1.17(d,3H),1.48(t,3H),1.53(s,3H),1.81(s,3H),2.16(s,3H),2.30(s,3H), 3.17−3.32(m,2H),4.42(q,2H),4.78−4.94(br,1H),7.45−7.59(m,5H),7.65(dd,1H),7.95(m,2H),8.04(m,2H),8.14(dd,1H),8.42(d,1H),8.64(d,1H) 1 H-NMR (CDCl 3 ): σ 1.17 (d, 3H), 1.48 (t, 3H), 1.53 (s, 3H), 1.81 (s, 3H), 2.16 (s 3H), 2.30 (s, 3H), 3.17-3.32 (m, 2H), 4.42 (q, 2H), 4.78-4.94 (br, 1H), 7. 45-7.59 (m, 5H), 7.65 (dd, 1H), 7.95 (m, 2H), 8.04 (m, 2H), 8.14 (dd, 1H), 8.42 (D, 1H), 8.64 (d, 1H)

光重合開始剤(1)の構造は以下の通りである。   The structure of the photopolymerization initiator (1) is as follows.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

<光重合開始剤(2)>
その他以下の光重合開始剤(2)を準備した。
光重合開始剤(2):Irgacure OXE02(BASF社製)
<Photopolymerization initiator (2)>
In addition, the following photopolymerization initiator (2) was prepared.
Photopolymerization initiator (2): Irgacure OXE02 (manufactured by BASF)

Figure 0006607054
Figure 0006607054

<有機ケイ素化合物>
以下の有機ケイ素化合物(1)〜(5)を準備した。なお、有機ケイ素化合物(1)及び(2)は有機ケイ素化合物(f−1)に該当し<有機ケイ素化合物(f)>で述べられた方法で得られる。
有機ケイ素化合物(1):
<Organic silicon compound>
The following organosilicon compounds (1) to (5) were prepared. The organosilicon compounds (1) and (2) correspond to the organosilicon compound (f-1) and can be obtained by the method described in <Organic silicon compound (f)>.
Organosilicon compound (1):

Figure 0006607054
Figure 0006607054

有機ケイ素化合物(2):   Organosilicon compound (2):

Figure 0006607054
Figure 0006607054

有機ケイ素化合物(3):   Organosilicon compound (3):

Figure 0006607054
Figure 0006607054

有機ケイ素化合物(4):   Organosilicon compound (4):

Figure 0006607054
Figure 0006607054

有機ケイ素化合物(5):   Organosilicon compound (5):

Figure 0006607054
Figure 0006607054

<光重合性モノマー>
光重合性モノマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD DPHA(日本化薬製))を準備した。
<Photopolymerizable monomer>
Dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD DPHA (manufactured by Nippon Kayaku)) was prepared as a photopolymerizable monomer.

<界面活性剤>
界面活性剤として以下の界面活性剤(1)〜(2)を準備した。
界面活性剤(1):メガファックF−554(DIC社製、フッ素系)
界面活性剤(2):メガファックF−559(DIC社製、フッ素系)
各界面活性剤の特徴は表1の通りとなっている。
<Surfactant>
The following surfactants (1) to (2) were prepared as surfactants.
Surfactant (1): Megafac F-554 (DIC Corporation, fluorine-based)
Surfactant (2): Megafac F-559 (manufactured by DIC, fluorine-based)
The characteristics of each surfactant are as shown in Table 1.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

ただし、トルエン及びプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)の表面張力は以下のとおりである。
トルエンの表面張力: 27.9mN/m(25℃)
プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME): 27.1mN/m(25℃)
また、表1より、界面活性剤(1)は一般式(I)の関係を満たしている。
However, the surface tension of toluene and propylene glycol monomethyl ether (PGME) is as follows.
Surface tension of toluene: 27.9 mN / m (25 ° C.)
Propylene glycol monomethyl ether (PGME): 27.1 mN / m (25 ° C.)
Further, from Table 1, the surfactant (1) satisfies the relationship of the general formula (I).

<実施例1>
(ブラックレジスト1の調合)
<カーボンブラックインクの調整>で調整したカーボンブラックインクを用いて、表2に記載の割合となるように各成分を加え、スターラーにより攪拌、溶解させて、ブラックレジスト1を調製した。ブラックレジスト中の固形分は15質量%である。
<Example 1>
(Preparation of black resist 1)
Using the carbon black ink prepared in <Adjustment of carbon black ink>, each component was added so as to have the ratio shown in Table 2, and stirred and dissolved with a stirrer to prepare black resist 1. The solid content in the black resist is 15% by mass.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

なお、表2中の略称の意味は以下のとおりである。
DPHA:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
PGMEA: プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
MBA:3−メトキシブチルアセテート
In addition, the meaning of the abbreviation in Table 2 is as follows.
DPHA: Dipentaerythritol hexaacrylate PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate MBA: 3-methoxybutyl acetate

<実施例2>
(ブラックレジスト2の調合)
実施例1の光重合開始剤(1)を光重合開始剤(2)に変更したこと以外は、実施例1のブラックレジスト1と同様にブラックレジスト2を調製した。
<実施例3>
(ブラックレジスト3の調合)
実施例1の有機ケイ素化合物(1)を有機ケイ素化合物(2)に変更したこと以外は、実施例1のブラックレジスト1と同様にブラックレジスト3を調製した。
<Example 2>
(Preparation of black resist 2)
A black resist 2 was prepared in the same manner as the black resist 1 of Example 1, except that the photopolymerization initiator (1) of Example 1 was changed to the photopolymerization initiator (2).
<Example 3>
(Preparation of black resist 3)
A black resist 3 was prepared in the same manner as the black resist 1 of Example 1, except that the organosilicon compound (1) of Example 1 was changed to the organosilicon compound (2).

<比較例1>
(ブラックレジスト4の調合)
実施例1において有機ケイ素化合物を添加しなかったこと(有機ケイ素化合物の占めていた1.5質量%分にはPGMEA溶剤を添加)、及び、界面活性剤(1)を界面活性剤(2)に変更したこと以外は、実施例1のブラックレジスト1と同様にブラックレジスト4を調製した。
<比較例2>
(ブラックレジスト5の調合)
実施例1において有機ケイ素化合物(1)を有機ケイ素化合物(3)に変更したこと、及び、界面活性剤(1)を界面活性剤(2)に変更したこと以外は、実施例1のブラックレジスト1と同様にブラックレジスト5を調製した。
<Comparative Example 1>
(Preparation of black resist 4)
The organosilicon compound was not added in Example 1 (the PGMEA solvent was added to 1.5% by mass occupied by the organosilicon compound), and the surfactant (1) was the surfactant (2). A black resist 4 was prepared in the same manner as the black resist 1 of Example 1 except that the change was changed to.
<Comparative Example 2>
(Preparation of black resist 5)
The black resist of Example 1 except that the organosilicon compound (1) was changed to the organosilicon compound (3) and the surfactant (1) was changed to the surfactant (2) in Example 1. A black resist 5 was prepared in the same manner as in 1.

<比較例3>
(ブラックレジスト6の調合)
比較例2において有機ケイ素化合物(3)を有機ケイ素化合物(4)に変更したこと以外は、比較例2のブラックレジスト5と同様にブラックレジスト6を調製した。
<比較例4>
(ブラックレジスト7の調合)
比較例2において有機ケイ素化合物(3)を有機ケイ素化合物(5)に変更したこと以外は、比較例2のブラックレジスト5と同様にブラックレジスト7を調製した。
<比較例5>
(ブラックレジスト8の調合)
実施例1において界面活性剤(1)を界面活性剤(2)に変更したこと以外は、実施例1のブラックレジスト1と同様にブラックレジスト8を調製した。
<比較例6>
(ブラックレジスト9の調合)
実施例1において有機ケイ素化合物(1)を有機ケイ素化合物(3)に変更したこと以外は、実施例1のブラックレジスト1と同様にブラックレジスト9を調製した。
<Comparative Example 3>
(Preparation of black resist 6)
A black resist 6 was prepared in the same manner as the black resist 5 of Comparative Example 2 except that the organosilicon compound (3) was changed to the organosilicon compound (4) in Comparative Example 2.
<Comparative Example 4>
(Preparation of black resist 7)
A black resist 7 was prepared in the same manner as the black resist 5 of Comparative Example 2 except that the organosilicon compound (3) was changed to the organosilicon compound (5) in Comparative Example 2.
<Comparative Example 5>
(Preparation of black resist 8)
A black resist 8 was prepared in the same manner as the black resist 1 of Example 1, except that the surfactant (1) was changed to the surfactant (2) in Example 1.
<Comparative Example 6>
(Preparation of black resist 9)
A black resist 9 was prepared in the same manner as the black resist 1 of Example 1, except that the organosilicon compound (1) was changed to the organosilicon compound (3) in Example 1.

(レジストの評価)
(1)ブラックレジスト硬化膜の作製
調製したブラックレジスト1〜11をスピンコーターにてガラス基板に塗布し、減圧乾燥後、ホットプレートで100℃にて150秒間乾燥した。続いて、得られた乾燥塗布膜に対し、高圧水銀灯により40mJで露光マスクなしで全面露光を行った後、室温(23℃)下、超純水で0.04質量%KOH水溶液に調整したアルカリ現像液で溶解時間の1.4倍の時間、スプレー現像することによりブラックレジスト膜を得た。その後、230℃のオーブンで30分間、ポストベークを行って、膜厚1.0μmのブラックレジスト硬化膜を作成した。なお、溶解時間とは、現像処理時に未露光部の感光層が溶解して基板全体が見え始める時間であり、各々のブラックレジストの溶解時間は30〜40秒であった。
(Evaluation of resist)
(1) Production of cured black resist film The prepared black resists 1 to 11 were applied to a glass substrate with a spin coater, dried under reduced pressure, and then dried with a hot plate at 100 ° C for 150 seconds. Subsequently, the entire surface of the obtained dried coating film was exposed with a high-pressure mercury lamp at 40 mJ without an exposure mask, and then the alkali adjusted to a 0.04 mass% KOH aqueous solution with ultrapure water at room temperature (23 ° C.). A black resist film was obtained by spray development with a developer for 1.4 times the dissolution time. Thereafter, post-baking was performed in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to prepare a black resist cured film having a thickness of 1.0 μm. The dissolution time is the time when the unexposed portion of the photosensitive layer is dissolved and the entire substrate begins to be visible during the development process, and the dissolution time of each black resist is 30 to 40 seconds.

なお、ブラックレジスト硬化膜の膜厚は、膜の一部をカッターで削って段差部を設けたうえで段差測定装置Alpha−Step−500(KLA−Tencor社)で測定した。なお、膜厚はスピンコーターの回転数を変えることで調整可能である。   The film thickness of the black resist cured film was measured with a step measuring device Alpha-Step-500 (KLA-Tencor) after part of the film was shaved with a cutter to provide a stepped portion. The film thickness can be adjusted by changing the rotation speed of the spin coater.

(2)基板密着力評価(加熱硬化後)
(1)で作製した各ブラックレジスト硬化膜について、室温に戻した後に2.5cm角のベタ板を切出し、熱硬化型シール剤ストラクトボンドXN−21−S(三井化学社製)を利用してアルミ製スタッドピン(P/N:901106U、径2.7mm)(Quad Group社製)を接合し、測定用サンプルを作製した。作製したサンプルを、薄膜密着強度測定機Romulus(Quad Group社製)を用いて、2.0kg/sの速さで引っ張り試験を行い、ブラックレジスト硬化膜とガラス基板が破断したときの破断強度と接着面積から以下の式により基板密着応力を求めた。
基板密着応力(kg/cm2)=破断強度(kg)/接着面積(cm2
ここから基板密着強度(%)を、比較例1における基板密着応力(kg/cm2)の値を100%とした時の相対値(%)として求めた。結果を表3−1及び表3−2に示した。
(2) Evaluation of substrate adhesion (after heat curing)
About each black resist cured film produced in (1), after returning to room temperature, a 2.5 cm square solid plate is cut out, and a thermosetting sealant Structbond XN-21-S (Mitsui Chemical Co., Ltd.) is used. Aluminum stud pins (P / N: 901106U, diameter 2.7 mm) (manufactured by Quad Group) were joined to prepare a measurement sample. The prepared sample was subjected to a tensile test at a rate of 2.0 kg / s using a thin film adhesion strength measuring device Romulus (manufactured by Quad Group), and the breaking strength when the black resist cured film and the glass substrate were broken. The substrate adhesion stress was determined from the adhesion area by the following formula.
Substrate adhesion stress (kg / cm 2 ) = breaking strength (kg) / bonding area (cm 2 )
From this, the substrate adhesion strength (%) was determined as a relative value (%) when the value of substrate adhesion stress (kg / cm 2 ) in Comparative Example 1 was taken as 100%. The results are shown in Tables 3-1 and 3-2.

(3)基板密着力評価(高温高湿環境に暴露後)
(2)と同様の手順でアルミ製スタッドピンを接合した測定用サンプルを作製した後、更に120℃、2気圧、相対湿度100%の水蒸気雰囲気下で2時間暴露させた(プレッシャークッカー試験、PCT)。測定サンプルを室温に戻した後に、(2)と同様の手順で基板密着応力の測定を行った。ここでも基板密着強度(%)は、比較例1における加熱硬化後の基板密着応力(kg/cm2)の値を100%とした時の相対値(%)として求めた。結果を表3−1及び表3−2に示した。
(3) Evaluation of substrate adhesion (after exposure to high temperature and high humidity environment)
After preparing a measurement sample in which aluminum stud pins were joined in the same procedure as (2), it was further exposed for 2 hours in a steam atmosphere at 120 ° C., 2 atm and relative humidity 100% (pressure cooker test, PCT ). After returning the measurement sample to room temperature, the substrate adhesion stress was measured in the same procedure as (2). Here, the substrate adhesion strength (%) was determined as a relative value (%) when the value of the substrate adhesion stress (kg / cm 2 ) after heat curing in Comparative Example 1 was taken as 100%. The results are shown in Tables 3-1 and 3-2.

(基板密着評価判定基準)
基板密着強度は、比較例1のブラックレジスト硬化膜(加熱硬化後)の基板密着応力を100%とした相対値(%)で表し比較した。
・A:基板密着強度が150%以上。
・B:基板密着強度が150%未満〜120%以上。
・C:基板密着強度が120%未満〜110%以上。
・D:基板密着強度が110%未満。
(Substrate adhesion evaluation criteria)
The substrate adhesion strength was expressed and compared in terms of a relative value (%) with the substrate adhesion stress of the black resist cured film (after heat curing) of Comparative Example 1 as 100%.
A: The substrate adhesion strength is 150% or more.
B: Substrate adhesion strength is less than 150% to 120% or more.
C: The substrate adhesion strength is less than 120% to 110% or more.
D: Substrate adhesion strength is less than 110%.

Figure 0006607054
Figure 0006607054

Figure 0006607054
Figure 0006607054

表3−1及び表3−2に示されるように、本発明の感光性樹脂組成物(実施例1〜3)は、有機ケイ素化合物(f−1)及び界面活性剤(g−1)を含有することにより、加熱硬化後の基板密着性が向上し良好となる。更に、高温高湿環境下に暴露後においても高い基板密着性を示し良好となることが分かる。以下に表3−1及び表3−2の結果について説明する。   As shown in Table 3-1 and Table 3-2, the photosensitive resin composition (Examples 1 to 3) of the present invention contains an organosilicon compound (f-1) and a surfactant (g-1). By containing, the substrate adhesion after heat-curing is improved and improved. Furthermore, it can be seen that even after exposure in a high temperature and high humidity environment, high substrate adhesion is exhibited and good. The results of Table 3-1 and Table 3-2 will be described below.

比較例1では、有機ケイ素化合物を含まず、界面活性剤(g−1)に属しない界面活性剤(2)を用いており、基板密着力は低い。
比較例2〜5では、有機ケイ素化合物(f−1)及びそれ以外の各種有機ケイ素化合物と、界面活性剤(g−1)に属しない界面活性剤(2)を組合せて用いている。有機ケイ素化合物を含有しない比較例1と比較すると、基板密着性の向上は認められるが効果は大きくない。
比較例2は界面活性剤(g−1)に属しない界面活性剤(2)を、比較例6は界面活性剤(g−1)に属する界面活性剤(1)を、いずれも有機ケイ素化合物(f−1)に属しない有機ケイ素化合物(3)と組合わせて用いている。基板密着性に大きな差異はないが、界面活性剤(1)を用いた方が高温高湿環境に暴露後の基板密着性はやや高くなっているが、十分ではなかった。
In Comparative Example 1, a surfactant (2) that does not contain an organosilicon compound and does not belong to the surfactant (g-1) is used, and the substrate adhesion is low.
In Comparative Examples 2 to 5, the organosilicon compound (f-1) and other various organosilicon compounds and a surfactant (2) that does not belong to the surfactant (g-1) are used in combination. Compared with Comparative Example 1 containing no organosilicon compound, an improvement in substrate adhesion is observed, but the effect is not great.
Comparative Example 2 is a surfactant (2) that does not belong to surfactant (g-1), Comparative Example 6 is a surfactant (1) that belongs to surfactant (g-1), both of which are organosilicon compounds. It is used in combination with an organosilicon compound (3) not belonging to (f-1). Although there is no significant difference in substrate adhesion, the substrate adhesion after exposure to a high-temperature and high-humidity environment is slightly higher when the surfactant (1) is used, but it is not sufficient.

実施例1〜3では、有機ケイ素化合物(f−1)に属する有機ケイ素化合物と界面活性剤(g−1)に属する界面活性剤を組合せて同時に用いているが、加熱硬化後、及び高温高湿環境に暴露後の基板密着性が共に大きく向上していることが分かる。これは、有機ケイ素化合物(f−1)の持つシラン部位がガラスと結合したこと、ウレタン部位が他の素材の極性部位との相互作用で密着性を高めたこと、及び、不飽和二重結合部位が樹脂の架橋度を高めたことが水分の浸透速度を下げているためと考えられる。また、膜と基板の界面に界面活性剤が多く集まると、それ自体は架橋や密着に寄与しないため、密着力低下の原因となりえるが、親水性を抑えた界面活性剤(g−1)と組合せた場合は、ブラックレジスト膜とガラス基板の界面を覆う界面活性剤の分子数は少なくなると考えられる。これにより、レジスト膜と基板の界面では有機ケイ素化合物(f−1)のシラン部位とウレタン部位が有効に機能し加熱硬化後の密着力を高めることが出来る。更に、界面活性剤(g−1)はブラックレジスト膜表面に多く集まることで、膜表面の疎水性を高める。これにより、膜表面からの水分透過を抑制し、高温高湿環境に暴露後の密着力低下を抑えていると考えられる。このように、有機ケイ素化合物(f−1)と界面活性剤(g−1)を組み合わせて使うと、単独で用いた場合よりも大きな改善効果が得られる。   In Examples 1 to 3, an organosilicon compound belonging to the organosilicon compound (f-1) and a surfactant belonging to the surfactant (g-1) are used in combination at the same time. It can be seen that both the adhesion to the substrate after exposure to a wet environment is greatly improved. This is because the silane part of the organosilicon compound (f-1) is bonded to glass, the urethane part is improved in adhesion by the interaction with the polar part of other materials, and the unsaturated double bond It is thought that the site has increased the degree of cross-linking of the resin because the water penetration rate is reduced. In addition, when a large amount of surfactant is collected at the interface between the film and the substrate, the surfactant itself does not contribute to crosslinking or adhesion, which may cause a decrease in adhesion, but the surfactant (g-1) with reduced hydrophilicity and When combined, it is considered that the number of molecules of the surfactant covering the interface between the black resist film and the glass substrate is reduced. Thereby, the silane site | part and urethane site | part of an organosilicon compound (f-1) function effectively in the interface of a resist film and a board | substrate, and can improve the adhesive force after heat-hardening. Further, the surfactant (g-1) is concentrated on the surface of the black resist film, thereby increasing the hydrophobicity of the film surface. Thereby, it is considered that moisture permeation from the film surface is suppressed and a decrease in adhesion after exposure to a high temperature and high humidity environment is suppressed. As described above, when the organosilicon compound (f-1) and the surfactant (g-1) are used in combination, a greater improvement effect than that obtained when used alone can be obtained.

以上述べてきたように、本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、加熱硬化後及び高温高湿環境に暴露後の基板密着性が良好となる感光性樹脂組成物が提供可能となる。   As described above, by using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to provide a photosensitive resin composition having good substrate adhesion after heat curing and exposure to a high temperature and high humidity environment.

Claims (12)

アルカリ可溶性樹脂(a)、光重合性モノマー(b)、光重合開始剤(c)、色材(d)、分散剤(e)、有機ケイ素化合物(f)及び界面活性剤(g)を含む感光性樹脂組成物であって、
有機ケイ素化合物(f)が、少なくとも下記一般式(1)で表される構造を有する有機ケイ素化合物(f−1)を含有し、
界面活性剤(g)が、下記一般式(I)を満たす界面活性剤(g−1)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 0006607054
(上記式中、R1〜R3は各々独立に、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基である。Raは下記式(1−1)で表される基である。*は結合手である。)
Figure 0006607054
(上記式中、R4及びR5は各々独立に、置換基を有していてもよいアルキレン基であり、R6は水素原子又はメチル基である。*はSi原子との結合手である。)
Δγ(トルエン)>Δγ(プロピレングリコールモノメチルエーテル) (I)
(ただし、Δγ(トルエン)は、トルエンの表面張力(mN/m,25℃)から、界面活性剤(g−1)の0.1質量%トルエン溶液の表面張力(mN/m,25℃)を減じた値を意味する。同様に、Δγ(プロピレングリコールモノメチルエーテル)は、プロピレングリコールモノメチルエーテルの表面張力(mN/m,25℃)から、界面活性剤(g−1)の0.1質量%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液の表面張力(mN/m,25℃)を減じた値を意味する。)
Including alkali-soluble resin (a), photopolymerizable monomer (b), photopolymerization initiator (c), colorant (d), dispersant (e), organosilicon compound (f) and surfactant (g) A photosensitive resin composition comprising:
The organosilicon compound (f) contains at least an organosilicon compound (f-1) having a structure represented by the following general formula (1),
A surfactant (g) contains a surfactant (g-1) that satisfies the following general formula (I): A photosensitive resin composition.
Figure 0006607054
(In the above formula, R 1 to R 3 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group optionally having a substituent. Ra is a group represented by the following formula (1-1). * Is a bond.)
Figure 0006607054
(In the above formula, R 4 and R 5 are each independently an alkylene group which may have a substituent, R 6 is a hydrogen atom or a methyl group. * Is a bond with a Si atom. .)
Δγ (toluene)> Δγ (propylene glycol monomethyl ether) (I)
(However, Δγ (toluene) is derived from the surface tension of toluene (mN / m, 25 ° C.) to the surface tension of 0.1% by weight toluene solution of surfactant (g-1) (mN / m, 25 ° C.). Similarly, Δγ (propylene glycol monomethyl ether) is 0.1 mass of surfactant (g-1) from the surface tension (mN / m, 25 ° C.) of propylene glycol monomethyl ether. (It means a value obtained by reducing the surface tension (mN / m, 25 ° C.) of a% propylene glycol monomethyl ether solution.)
界面活性剤(g−1)がフッ素系界面活性剤である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 1 whose surfactant (g-1) is a fluorine-type surfactant. 光重合開始剤(c)がオキシムエステル系化合物である、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 1 or 2 whose photoinitiator (c) is an oxime ester type compound. 前記オキシムエステル系化合物が、置換されていてもよいカルバゾリル基を有する、請求項3に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 3, wherein the oxime ester-based compound has an optionally substituted carbazolyl group. 色材(d)が黒色色材である、請求項1〜4の何れか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-4 whose color material (d) is a black color material. 色材(d)の含有割合が全固形分量に対して40質量%以上である、請求項1〜5の何れか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-5 whose content rate of a coloring material (d) is 40 mass% or more with respect to the total amount of solids. 分散剤(e)が塩基性官能基を有する高分子分散剤である、請求項1〜6の何れか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the dispersant (e) is a polymer dispersant having a basic functional group. アルカリ可溶性樹脂(a)がカルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂を含有する、請求項1〜7の何れか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-7 in which the alkali-soluble resin (a) contains an epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group. 請求項1〜8の何れか1項に記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化物。   Hardened | cured material formed by hardening the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-8. 請求項9に記載の硬化物からなるブラックマトリックス。   A black matrix comprising the cured product according to claim 9. 膜厚1μmあたりの光学濃度が4.0以上であることを特徴とする、請求項10に記載のブラックマトリックス。   The black matrix according to claim 10, wherein an optical density per 1 μm of film thickness is 4.0 or more. 請求項10又は11に記載のブラックマトリックスを有する画像表示装置。   An image display device comprising the black matrix according to claim 10.
JP2016009107A 2016-01-20 2016-01-20 Photosensitive resin composition, cured product, black matrix, and image display device Active JP6607054B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016009107A JP6607054B2 (en) 2016-01-20 2016-01-20 Photosensitive resin composition, cured product, black matrix, and image display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016009107A JP6607054B2 (en) 2016-01-20 2016-01-20 Photosensitive resin composition, cured product, black matrix, and image display device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017129740A JP2017129740A (en) 2017-07-27
JP6607054B2 true JP6607054B2 (en) 2019-11-20

Family

ID=59396674

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016009107A Active JP6607054B2 (en) 2016-01-20 2016-01-20 Photosensitive resin composition, cured product, black matrix, and image display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6607054B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022124296A1 (en) 2020-12-10 2022-06-16 三菱ケミカル株式会社 Photosensitive resin composition, cured product, black matrix, and image display device
WO2023181855A1 (en) * 2022-03-23 2023-09-28 三菱ケミカル株式会社 Photosensitive composition and pattern formation method

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101308246B1 (en) * 2006-10-20 2013-09-13 동우 화인켐 주식회사 A colored photosensitive resin composition, color filter, liquid crystal display device and imaging device having the same
JP5646426B2 (en) * 2011-09-30 2014-12-24 富士フイルム株式会社 Colored photosensitive composition, color filter, method for producing the same, and liquid crystal display device
JP6166055B2 (en) * 2013-02-15 2017-07-19 株式会社日本触媒 Curable resin composition and use thereof
JP6365118B2 (en) * 2013-09-20 2018-08-01 三菱ケミカル株式会社 Photosensitive resin composition, cured product obtained by curing it, black matrix, and image display device
JP6520091B2 (en) * 2013-12-16 2019-05-29 Jsr株式会社 Colored composition, colored cured film and display device
KR20170031135A (en) * 2014-07-11 2017-03-20 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition, cured product, black matrix, and image display device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017129740A (en) 2017-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6361838B2 (en) Photosensitive coloring composition, cured product, black matrix, coloring spacer, and image display device
JP5343410B2 (en) Photosensitive colored resin composition for color filter, color filter, liquid crystal display device and organic EL display
JP6341351B1 (en) Photosensitive resin composition, cured product, and image display device
JP6620743B2 (en) Resin, photosensitive resin composition, cured product, color filter, and image display device
JP2013167687A (en) Photosensitive coloring resin composition, color filter, and liquid-crystal display
JP2013011845A (en) Photosensitive colored resin composition for color filter, color filter, liquid crystal display device, and organic electroluminescent display
JP5957952B2 (en) Photosensitive colored resin composition, color filter, and liquid crystal display device
JP7188115B2 (en) Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition, cured product, and image display device
JP2013195681A (en) Photosensitive resin composition, color filter, liquid crystal display device, and organic el display
JP6344108B2 (en) Photosensitive resin composition, cured product obtained by curing the same, black matrix, and image display device
JP6607054B2 (en) Photosensitive resin composition, cured product, black matrix, and image display device
JP7120234B2 (en) Photosensitive resin composition, cured product, black matrix and image display device
JP2013065000A (en) Photosensitive colored resin composition, color filter and liquid crystal display
JP2012083549A (en) Photosensitive coloring resin composition for color filter, color filter, liquid crystal display device, and organic el display
JP2018159930A (en) Photosensitive resin composition, cured product obtained by curing the same, black matrix and image display device
JP6065645B2 (en) Photosensitive resin composition, cured product obtained by curing the same, color filter, and liquid crystal display device
JP6874805B2 (en) Photosensitive resin composition, cured product obtained by curing this, black matrix and image display device
WO2023182350A1 (en) Pigment dispersion liquid, photosensitive resin composition, cured product, black matrix, image display device, and method for producing pigment dispersion liquid
WO2022091951A1 (en) Method for producing carboxy-group-containing resin and method for controlling molecular weight of carboxy-group-containing resin
WO2022091905A1 (en) Method for producing carboxy-group-containing resin-containing solution and method for stabilizing carboxy-group-containing resin
JP2022063445A (en) Photosensitive coloring composition, cured product, black matrix and image display device
JP2022060893A (en) Process for producing oxime ester-based compound and process for producing photosensitive resin composition

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20170421

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20181026

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190917

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190924

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20191007

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6607054

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151