JP6974473B2 - 量子ビットディフェージングを低減するための選択的キャッピング - Google Patents
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Description
本出願は、35U.S.C.§119(e)の下で、2016年12月29日に出願された米国仮出願第62/440,304号の便益を主張するものであり、それはこれによって、全体として参照により組み込まれる。
102 ジョセフソン接合
200 SQUID幾何形状、構造
202a 超伝導体領域
202b 超伝導体領域
202c 超伝導体領域
204a ジョセフソン接合領域
204b ジョセフソン接合領域
210 電極間の底部にある領域
300 キャッピング層構造
302a 共平面導波路セクション
302b 接地平面セクション
302c SQUIDセクション
304 ジョセフソン接合
306 キャッピング層構造
306a 分離した部分、半分部
306b 分離した部分、半分部
310 超伝導体材料
320 誘電体基板
400 キャッピング層構造
410 キャッピング層構造
412 長方形領域
414 長方形領域
416 キャッピング層接続部分、中央誘電体部分
420 キャッピング層構造
422 分離した部分
424 分離した部分
426 距離
500 キャッピング層構造
502a 第1の部分
502b 第2の部分
506 ギャップ
Claims (19)
- 基板と、
前記基板の上面に配置される超伝導体トレースを備え、前記超伝導体トレースの経路を中断する少なくとも1つのジョセフソン接合を有する超伝導量子干渉デバイス(SQUID)であって、前記超伝導体トレースは、対応する超伝導臨界温度以下において超伝導特性を示す第1の超伝導体材料を含む、超伝導量子干渉デバイス(SQUID)と、
前記SQUIDの上面上の誘電体キャッピング層であって、前記誘電体キャッピング層は、前記SQUIDの前記超伝導体トレースの大部分を覆い、前記キャッピング層は、開口部であって、前記SQUIDの第1の領域が当該開口部を通じてカバーされていない、開口部を備え、前記SQUIDの前記第1の領域は、第1のジョセフソン接合を備える、誘電体キャッピング層とを備えるデバイス。 - 前記SQUIDの前記第1の領域は、第2のジョセフソン接合を備え、前記第2のジョセフソン接合は、前記誘電体キャッピング層内の前記開口部を通じて露出される、請求項1に記載のデバイス。
- 前記SQUIDは、リングに配置され、
前記誘電体キャッピング層は、第1のキャッピング層部分、第2のキャッピング層部分、および前記第1のキャッピング層部分を前記第2のキャッピング層部分に接続する接続部分を備え、かつ
前記誘電体キャッピング層の前記接続部分は、前記リングによって囲まれる内部領域内の前記基板の前記上面を覆う、請求項1または請求項2に記載のデバイス。 - 前記誘電体キャッピング層の前記接続部分は、前記リングによって囲まれる前記内部領域内の前記基板の前記上面の全体を覆う、請求項3に記載のデバイス。
- 前記開口部は、前記接続部分の第1の側に第1のセクションおよび前記接続部分の第2の反対側に第2のセクションを備え、
前記第1のジョセフソン接合は、前記開口部の第1のセクションを通じて露出され、かつ
前記SQUIDは、前記開口部の前記第2のセクションを通じて露出される第2のジョセフソン接合を備える、請求項3または4に記載のデバイス。 - 前記SQUIDは、リングに配置され、前記リングの内部内の前記基板の前記上面は、前記誘電体キャッピング層内の前記開口部を通じて露出される、請求項1から5のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記誘電体キャッピング層は、第1の部分および前記誘電体キャッピング層の前記第1の部分から分離した第2の部分を備え、かつ
前記誘電体キャッピング層内の前記開口部は、前記誘電体キャッピング層の前記第1の部分と前記誘電体キャッピング層の前記第2の部分との間に位置する、請求項1から6のいずれか一項に記載のデバイス。 - 前記誘電体キャッピング層の前記第1の部分のエッジ全体は、前記誘電体キャッピング層の前記第2の部分のエッジ全体から一様な分離距離だけ分離される、請求項7に記載のデバイス。
- 前記誘電体キャッピング層の前記第1の部分のエッジおよび前記誘電体キャッピング層の前記第2の部分のエッジは、前記第1のジョセフソン接合に至るまで延びるが、前記第1のジョセフソン接合を覆わない、請求項7または請求項8に記載のデバイス。
- 前記デバイスは、前記誘電体キャッピング層内の前記開口部内に露出される第2のジョセフソン接合を備え、かつ
前記誘電体キャッピング層の前記第1の部分の前記エッジおよび前記誘電体キャッピング層の前記第2の部分の前記エッジは、前記第2のジョセフソン接合に至るまで延びるが、前記第2のジョセフソン接合を覆わない、請求項9に記載のデバイス。 - 前記誘電体キャッピング層の前記第1の部分のエッジおよび前記誘電体キャッピング層の前記第2の部分のエッジは、前記第1のジョセフソン接合から離して配置される、請求項7から請求項10のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記デバイスは、前記誘電体キャッピング層内の前記開口部内に露出される第2のジョセフソン接合を備え、かつ
前記誘電体キャッピング層の前記第1の部分の前記エッジおよび前記誘電体キャッピング層の前記第2の部分の前記エッジは、前記第2のジョセフソン接合から離して配置される、請求項11に記載のデバイス。 - 前記誘電体キャッピング層は、前記誘電体キャッピング層の下面から前記誘電体キャッピング層の上面に延びる1ミクロン以下の非ゼロ厚さを有する、請求項1から12のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記キャッピング層は、酸化シリコン、窒化シリコンまたはシリコンである、請求項1から13のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記誘電体キャッピング層の幅は、前記誘電体キャッピング層が、前記超伝導体トレースの対向するエッジを越えて延びるように、前記超伝導体トレースの幅よりも広い、請求項1から14のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記キャッピング層は、約2ミクロン以下前記超伝導体トレースの外側エッジを越えて延びる、請求項1から15のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記SQUIDは、
前記超伝導体トレースが第1の幅を有する第1のセクションと、
前記超伝導体トレースが前記第1の幅よりも小さい第2の幅を有する第2のセクションとを備え、
前記第2のセクションは、前記第1のジョセフソン接合を備え、
前記誘電体キャッピング層は、前記第1のセクションにおける前記超伝導体トレースの上面を覆い、かつ
前記第2のセクションにおける前記超伝導体トレースの前記上面は、前記誘電体キャッピング層内の前記開口部を通じて露出される、請求項1から16のいずれか一項に記載のデバイス。 - 前記デバイスは、キュービットである、請求項1から17のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記基板は、シリコンまたはサファイアである、請求項1から18のいずれか一項に記載のデバイス。
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