JP6967163B2 - センサ - Google Patents
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Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)、図1(b)、図2(a)及び図2(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図1(a)は、図2(b)の矢印ARからみた、センサの一部の平面図である。図1(b)は、図2(b)のA1−A2線断面図である。図2(a)は、図2(b)のB1−B2線断面図である。図2(b)は、斜視図である。
変形可能部11は、第1端部11aと第2端部11bとの間の領域11cをさらに含む。この領域11cは、少なくともZ軸方向に変位可能である。
これらの図は、図1(b)に対応する断面図である。
第2実施形態に係るセンサも、第1構造体10、第2構造体20及び検出部30を含む。以下、第2実施形態に関して、第1実施形態とは異なる部分について説明する。
これらの図は、図1(b)に対応する断面図である。
図7は、図1(a)のC1−C2線断面に対応する断面図である。
センサ123a〜123eにおいては、膜部15が設けられている。図8(a)〜図8(e)においては、変形可能部11は膜部15の下に設けられている。図8(a)〜図8(e)においては、膜部15の第1面15aが描かれている。センサ123a〜123eにおいては、膜部15の平面形状は、円形状である。この場合、支持部10H(図示しない)も、円形状である。
これらの図の横軸は周波数f(Hz)である。縦軸は、規格化された感度SAである。これらの図には、センサ123a、123b及び123fの特性が例示されている。
図10(a)に示すように、基板21(例えばシリコン基板)の上に、酸化シリコン層22が設けられ、その上にシリコン層23が設けられる。シリコン層23の一部に不純物が導入され、機能層24が形成される。機能層24は、例えば、ピエゾ抵抗層である。
10…第1構造体、 10H…支持部、 10a〜10d…第1〜第4部分、 11…変形可能部、 11a、11b…第1、第2端部、 11c…領域、 11g…ギャップ、 15…膜部、 15a、15b…第1、第2面、 15d…凹部、 15p…凸部、 16…膜、 20…第2構造体、 21…基板、 22…酸化シリコン層、 23…シリコン層、 24…機能層、 25…導電膜、 26…樹脂層、 27…樹脂膜、 30…検出部、 35e、35f…第1、第2電極、 45…液体、 110〜115、123a〜123f…センサ、 AR…矢印、 SA…感度、 f…周波数。
(構成1)
支持部と、
前記支持部の第1部分に支持された変形可能部と、
膜部であって、前記膜部の少なくとも一部は前記支持部の第2部分及び前記変形可能部と接続された膜部と、
を含む第1構造体と、
前記第1構造体と接続された第2構造体であって、前記第1構造体と前記第2構造体との間に液体が設けられる、前記第2構造体と、
前記変形可能部の変形に応じた信号を出力する検出部と、
を備えたセンサ。
前記膜部は、前記第2部分と前記変形可能部との間の空間を塞ぐ、構成1記載のセンサ。
前記変形可能部は、第1端部と、第2端部と、前記第1端部と前記第2端部の間の領域と、を含み、
前記第1端部は、前記第1部分と接続され、
前記第1端部から前記第2端部への方向は、第1方向に沿い、
前記領域から前記第2部分への方向は、前記第1方向と交差する第2方向に沿う、構成1または2に記載のセンサ。
前記第2端部は、前記支持部の第3部分に支持された、構成3記載のセンサ。
前記支持部は、第4部分をさらに含み、
前記第2部分と前記第4部分との間に前記領域が設けられ、
前記膜部は、前記第4部分とさらに接続された、構成3または4に記載のセンサ。
前記膜部は、前記第4部分と前記変形可能部との間の空間を塞ぐ、構成5記載のセンサ。
前記膜部は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向において、前記変形可能部と重なる、構成3〜6のいずれか1つに記載のセンサ。
前記膜部の、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向における位置と、前記領域の前記第3方向における位置と、の間の前記第3方向に沿う距離は、増減する、構成3〜6のいずれか1つに記載のセンサ。
前記距離は、前記増減を繰り返す、構成8記載のセンサ。
前記膜部は、前記液体と対向する第1面を含み、
前記第1面は、凸部を含み、
前記凸部は、前記第1方向に沿って延びる、構成3〜9のいずれか1つに記載のセンサ。
前記膜部は、前記液体と対向する第1面を含み、
前記第1面は、凸部を含み、
前記凸部は、前記第2方向に沿って延びる、構成3〜9のいずれか1つに記載のセンサ。
前記膜部は、前記液体と対向する第1面を含み、
前記第1面は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記複数の凸部または前記複数の凹部は、放射状に並ぶ、構成3〜9のいずれか1つに記載のセンサ。
前記膜部は、前記液体と対向する第1面を含み、
前記第1面は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記複数の凸部または前記複数の凹部は、環状に並ぶ、構成3〜9のいずれか1つに記載のセンサ。
前記膜部の少なくとも一部は、コルゲート状である、構成1〜13のいずれか1つに記載のセンサ。
前記膜部の材料は、前記変形可能部の材料とは異なる、構成1〜14のいずれか1つに記載のセンサ。
前記膜部のバネ定数は、前記変形可能部のバネ定数よりも小さい、構成1〜15のいずれか1つに記載のセンサ。
前記膜部のヤング率は、前記変形可能部のヤング率よりも低い、構成1〜16のいずれか1つに記載のセンサ。
前記変形可能部は、シリコンを含み、
前記膜部は、有機物を含む、構成1〜17のいずれか1つに記載のセンサ。
前記膜部は、パラキシレン系ポリマー及びゴムの少なくともいずれかを含む、構成1〜18のいずれか1つに記載のセンサ。
前記検出部は、
前記変形可能部の一部に接続された第1電極と、
前記変形可能部の別の一部に接続された第2電極と、
を含む、構成1〜19のいずれか1つに記載のセンサ。
Claims (20)
- 支持部と、
前記支持部の第1部分に支持された変形可能部と、
膜部であって、前記膜部の少なくとも一部は前記支持部の第2部分及び前記変形可能部と接続された膜部と、
を含む第1構造体と、
前記第1構造体と接続された第2構造体であって、前記第1構造体と前記第2構造体との間に液体が設けられる、前記第2構造体と、
前記変形可能部の変形に応じた信号を出力する検出部と、
を備えたセンサ。 - 前記膜部は、前記第2部分と前記変形可能部との間の空間を塞ぐ、請求項1記載のセンサ。
- 前記変形可能部は、第1端部と、第2端部と、前記第1端部と前記第2端部の間の領域と、を含み、
前記第1端部は、前記第1部分と接続され、
前記第1端部から前記第2端部への方向は、第1方向に沿い、
前記領域から前記第2部分への方向は、前記第1方向と交差する第2方向に沿う、請求項1記載のセンサ。 - 前記第2端部は、前記支持部の第3部分に支持された、請求項3記載のセンサ。
- 前記支持部は、第4部分をさらに含み、
前記第2部分と前記第4部分との間に前記領域が設けられ、
前記膜部は、前記第4部分とさらに接続された、請求項3記載のセンサ。 - 前記膜部は、前記第4部分と前記変形可能部との間の空間を塞ぐ、請求項5記載のセンサ。
- 前記膜部は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向において、前記変形可能部と重なる、請求項3記載のセンサ。
- 前記膜部の、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向における位置と、前記領域の前記第3方向における位置と、の間の前記第3方向に沿う距離は、増減する、請求項3記載のセンサ。
- 前記距離は、前記増減を繰り返す、請求項8記載のセンサ。
- 前記膜部は、前記液体と対向する第1面を含み、
前記第1面は、凸部を含み、
前記凸部は、前記第1方向に沿って延びる、請求項3記載のセンサ。 - 前記膜部は、前記液体と対向する第1面を含み、
前記第1面は、凸部を含み、
前記凸部は、前記第2方向に沿って延びる、請求項3記載のセンサ。 - 前記膜部は、前記液体と対向する第1面を含み、
前記第1面は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記複数の凸部または前記複数の凹部は、放射状に並ぶ、請求項3記載のセンサ。 - 前記膜部は、前記液体と対向する第1面を含み、
前記第1面は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記複数の凸部または前記複数の凹部は、環状に並ぶ、請求項3記載のセンサ。 - 前記膜部の少なくとも一部は、コルゲート状である、請求項1記載のセンサ。
- 前記膜部の材料は、前記変形可能部の材料とは異なる、請求項1記載のセンサ。
- 前記膜部のバネ定数は、前記変形可能部のバネ定数よりも小さい、請求項1記載のセンサ。
- 前記膜部のヤング率は、前記変形可能部のヤング率よりも低い、請求項1記載のセンサ。
- 前記変形可能部は、シリコンを含み、
前記膜部は、有機物を含む、請求項1〜17のいずれか1つに記載のセンサ。 - 前記膜部は、パラキシレン系ポリマー及びゴムの少なくともいずれかを含む、請求項1記載のセンサ。
- 前記検出部は、
前記変形可能部の一部に接続された第1電極と、
前記変形可能部の別の一部に接続された第2電極と、
を含む、請求項1記載のセンサ。
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