JP6966876B2 - 極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置 - Google Patents
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Description
2 チャンバー
3 移動機構
5 試料基板
6 瞬間凍結機構
7 光学顕微鏡
8 制御機構
9 試料溶液
Claims (7)
- 所定の試料溶液の設けられる基礎となる試料基板と、当該試料基板上へ所定の温度に制御された所定の試料溶液を所定容量吐出させるように形成された試料吐出機構と、当該試料吐出機構から吐出された上記試料溶液を有する試料基板を収納するものであって所定の温度及び湿度に制御されたチャンバーと、当該チャンバー内へ上記試料基板を移動させる移動機構と、上記試料吐出機構にて吐出された上記試料溶液の状態を測定する光学顕微鏡と、当該光学顕微鏡にて測定された上記試料溶液の試料基板上への拡散面積の値、その厚さの値、または試料基板上に形成される液滴の接触角度の値、に関するもののうち、少なくともいずれか一つのものを基に、次の回における上記試料吐出機構からの試料溶液の吐出量、上記チャンバー内の温度、及び上記チャンバー内の湿度を含む諸条件を制御する制御機構と、上記試料溶液が取付けられた後、上記測定の済んだ状態の試料基板を瞬時に凍結させる瞬間凍結機構と、からなるようにしたことを特徴とする極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置。
- 請求項1記載の極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置において、上記試料基板上に形成される試料溶液を液滴状の形態からなるようにするとともに、このような液滴状の試料溶液を、上記試料基板上において、複数個、それぞれの吐出量が異なった状態のものを連続的に、それぞれ異なった個所に形成させるようにした構成からなることを特徴とする極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置。
- 請求項1記載の極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置において、水もしくは所定の添加剤を含む水溶液の薄膜からなる試料基板をあらかじめ形成させておくようにしたことを特徴とする極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置。
- 請求項1記載の極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置において、上記の試料吐出機構に加え、所定量の水もしくは添加剤を含む水溶液の微小液滴を吐出する第2の吐出機構を備え、試料吐出前に、試料基板上に水膜もしくは所定の添加剤を含む水膜を形成させるようにしたことを特徴とする極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置。
- 請求項1記載の極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置において、試料基板に対して光もしくは電磁波を照射する機構、電流もしくは電位もしくは磁場を印加する機構、または、所定の化学物質を投入する機構を有するようにしたことを特徴とする極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置。
- 請求項1記載の極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置において、試料基板上の複数位置での請求項1記載の測定値を、その位置座標と測定値の情報とをメモリーを含む所定のデータ蓄積手段上に保持し、この蓄積されたデータを電子顕微鏡観察用のデータと共有することのできるようにしたことを特徴とする極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置。
- 請求項1記載の極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置において、極低温透過型電子顕微鏡の低倍率観察時に目視または画像認識装置にて判別することのできるようなものであって、所定の形態パターンを有する水膜からなる試料を作成するようにしたことを特徴とする極低温透過型電子顕微鏡用試料作成装置。
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